セパレートタイプアブソリュ－トリニヤスケ－ル - mitutoyo encoders...mitutoyo...

No. 99MBE073B22020年 2月 1日　発行（1）

ユーザーズマニュアル－取扱説明書－

ご使用前に本書をよくお読みのうえ、正しくお使いください。お読みになった後は、いつでも見られる所に必ず保管してください。

セパレートタイプアブソリュ－トリニヤスケ－ル

ABS ST700/ST700L（小型）シリーズ

*99MBE073B2*

No. 99MBE073B

�本書に関するお願いとご注意 y 本書に記載の使用法に依らない使用により損害が発生した場合には、弊社は一切その責任を負いかねます。

y 本商品を貸与または譲渡するときは、本書を本商品に添付してください。

y 本書を紛失または損傷されたときは、すみやかに営業または代理店に連絡してください。

y 本商品の操作は、本書をよく読んで内容を理解してから行ってください。

y 特に、冒頭の「安全上のご注意」「取り扱い上のご注意」の内容を十分にご理解いただいてから本商品をお使いください。

y 本書の内容は 2020年 2月現在の情報に基づいています。

y 本書の内容の一部または全部を転載・複製することは固くお断りいたします。

y 本文中の会社名、団体名、商品名などは、各社、各団体の商標、または登録商標です。

©2018-2020 Mitutoyo Corporation. All rights reserved.

�商品名および型番の対応商品名型番

セパレートタイプアブソリュ－トリニヤスケ－ル ABS ST7*8/ABS ST7*8L

No. 99MBE073Bi

取扱説明書で使用されるマーク本書で使用されているマークは大別すると 3種類（注意喚起、行為の禁止・強制、参考情報・参照先）です。さらに、汎用的に使用されるものと特定の内容を示すものがあります。特定の内容を示す場合には、マーク内に具体的な内容を示す絵が描かれます。

�潜在的な危険性に対する注意喚起を示すマークや文字

危険取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う危険が切迫して生じることが想定される」内容を示します。

警告取り扱いを誤った場合、「死亡または重傷を負う可能性が想定される」内容を示します。

注意取り扱いを誤った場合、「軽傷を負う可能性が想定される」内容を示します。

注記取り扱いを誤った場合、「物的損害の発生が想定される」内容を示します。

感電の危険性があることを示します。

�行為の禁止および行為の強制を示すマークや文字

行為の禁止の具体的な内容を示します。

行為の強制の具体的な内容を示します。

接地が必要であることを示します。

�参考情報や参照先を示すマークや文字Tips 本文に記載されている操作方法や手順を特定の条件に適用する場合の参考情報などを示します。

本書または外部マニュアルに、参照するべき情報がある場合は、参照先を示します。

例：○○の詳細は、「1.2 各部の名称と機能」（2 ページ）

No. 99MBE073Bii

安全上のご注意本商品の性能を十分に発揮するために、次のことを守ってご使用ください。

注記• ご使用の前に必ず本書をよくお読みください。

• 本商品を機械本体に取り付ける場合には、制御装置の電源がオフであることを確認してから行ってください。

• 各接続ケーブルのコネクターのねじ類は、シールドを確実に行うためしっかり締めてください。

• 接触不良を起こす恐れがありますので、コネクター部の接続端子には絶対に手を触れないでください。

取り扱い上のご注意

�本商品の用途や取り扱いについて y 本商品は測定器です。

本商品を測定以外の目的に使用しないでください。

y 本商品は工業用商品です。

本商品を工業用以外の用途で使用しないでください。

y 本商品は精密機器です。

本商品の取り扱いには十分ご注意ください。また、ご使用時に各部に衝撃を加えたり、無理な力をかけたりしないでください。

�設置環境 z振動に対して本商品を機械本体に取り付ける場合は、なるべく振動の少ない場所に設置してください。

振動の多い場所で長時間使用されますと、内部の精密部品に不具合が生じ、性能に影響を及ぼす場合があります。

z衝撃・防塵・防水に対して本商品にワークなどが当たり強い衝撃が加わったり、切削油や切粉が直接スケール本体にかかるのを防止するために、スケール本体全体を覆うようなカバーを用意してください。

z周囲温度および湿度に対して本商品の動作環境は下記に示しますが、急激に温度や湿度が変化する場所での使用は避けてください。

動作環境 (有効測定長 3m以下 ) (有効測定長 3.2～ 6m)温度：0 °C～ 50 °C 温度：0 °C～ 50 °C湿度：20 %～ 80 %RH（非結露）湿度：20 %～ 70 %RH（非結露）

No. 99MBE073Biii

電磁両立性について本商品は、欧州 EMC指令に適合していますが、この要求を超える電磁妨害に対しては保証外となり、適切な対策が必要となります。

EMC指令 EN61326-1

Immunity test requirement：Clause6.2 Table 2

Emission limit：Class B

Authorized representative and importer in the EU: Mitutoyo Europe GmbH Borsigstrasse 8-10,41469 Neuss,Germany

For the EU Directive

輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意本商品は、「外国為替及び外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1若しくは外国為替令別表に定める 16の項」によるキャッチオール規制貨物・キャッチオール規制技術（プログラムを含む）です。

本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になる場合があります。

また、本商品に機能を追加するためにオプションの追加や改造を行った場合、「外国為替及び外国貿易法の輸出貿易管理令別表第 1若しくは外国為替令別表に定める 1から 15の項」によるリスト規制貨物、リスト規制技術（プログラムを含む）に該当となることがあります。その場合の本商品の輸出および日本国非居住者への技術提供にあたっては、経済産業省の許可が必要になります。事前に弊社にご相談ください。

EU（欧州）諸国への輸出に関するご注意EU加盟国へ本商品を輸出される際は、英文の取扱説明書･EU適合宣言書（場合によっては輸出国公用語の取扱説明書･EU適合宣言書）が必要となる場合があります。詳細につきましては弊社にご相談ください。

日本国内で本商品を廃棄する際のご注意 y 事業者として廃棄する場合は、廃棄物の処理及び清掃に関する法律（廃棄物処理法）等の関連法令に従い、適正な廃棄処理をしてください。

y 個人として廃棄する場合は、各自治体の廃棄ルールに従ってください。

No. 99MBE073Biv

分別処理を行っている EU（欧州）諸国で電気・電子機器の廃棄をする際のご注意

商品または包装に記されたこのシンボルマークは、EU諸国の規制である廃電気電子機器指令（WEEE指令）に基づくもので、本商品を廃棄する時に一般家庭ゴミと一緒に捨てないようにするためのものです。

土壌に埋め立てする量を減らし環境への影響を低減するために、商品の再利用とリサイクルにご協力ください。

本商品の廃棄方法については、お買い上げになった小売店や代理店にお問い合わせください。

保証本商品は、厳重な品質管理のもとで製造されていますが、お客様の正常な使用状態において、万一お買い上げの日から 1年以内に故障した場合には、無償で修理させていただきます。お求めの代理店、または弊社営業へご連絡ください。

次のような場合には、保証期間内でも有償修理となります。

y 使用による通常の損耗によって生じた故障および損傷

y メンテナンス上、修理上や取り扱い上の誤り、および不当な改造による故障および損傷

y お買い上げ後の移動、落下や輸送による故障および損傷

y 火災、塩害、ガス害、異常電圧、雷サージおよび天災地変などによる故障および損傷

y ミツトヨによって指定または許可されているハードウェアやソフトウェア以外のハードウェアやソフトウェアと組み合わせて使用したことによる故障および損傷

y 高度に危険な活動に使用したことによる故障および損傷

本保証は日本国内において適切に設置され、本書に記載される指示に従って操作されている場合にのみ有効です。

本保証に規定される場合を除き、適用される法によって許される最大の範囲で、あらゆる性質の、すべての明示的・黙示的な条件、表明および保証（商品性に関する保証、特定の目的への適合性の保証、非侵害の保証または取引過程、使用または取引実務から生じる保証を含みますが、これらに限定されません）は、排除されます。

お客様は、お客様が意図された結果を実現するために本商品を選択したことによって生ずるすべての結果についての全責任を引き受けるものとします。

No. 99MBE073Bv

免責ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーは、いかなる場合においても、収益の損失、利益の損失、データの損失、または本商品の使用や使用不能によって生じた特別損害、直接損害、間接損害、派生的損害、付随的損害、または懲罰的損害について、原因および責任理論の如何にかかわらず、たとえミツトヨ、その関連会社またはそのサプライヤーが当該損害の可能性について通知を受けていた場合であっても、責任を負いません。

前記にもかかわらず、ミツトヨが、お客様による本商品の使用によって生じた損害または損失に対して責任があると判断された場合でも、いかなる場合においても、ミツトヨ、その関連会社およびそのサプライヤーのお客様に対する責任は、契約に基づくと、（過失を含む）不法行為とを問わず、本商品に対してお客様が支払った金額を超えないものとします。

国、州、または管轄地によっては、派生的損害または付随的損害に対する責任の排除または制限を認めていない場合があります。そのような国、州、または管轄地におけるミツトヨの責任は、法に認められる最大の範囲内で排除または制限されるものとします。

No. 99MBE073Bvi

本書について

�本書の位置付け、ドキュメントマップ本書の他に、ソフトウェア関連のマニュアルがあります。

zリニヤスケール関連

ABS ST700/700L（小型）シリーズユーザーズマニュアル（本書）

zソフトウェア関連

ABS ST700/ST700L（小型）シリーズ信号調整プログラムユーザーズマニュアル

　　ABS ST700/ST700L（小型）シリーズシステムパラメーター R/Wプログラム

ユーザーズマニュアル

�本書の対象読者と目的 z対象読者ABS ST700/ST700L（小型）シリーズセパレートタイプアブソリュートリニヤスケールを初めてご使用になる方を対象にしています。

また、図面を読んで指示を理解できることを前提とします。

z目的本書は、ABS ST700/ST700L（小型）シリーズセパレートタイプアブソリュートリニヤスケールをご理解いただくことを目的としています。

No. 99MBE073Bvii

viii No. 99MBE073B

目次

取扱説明書で使用されるマーク ……………………………………………………………… i

安全上のご注意 ………………………………………………………………………………… ii

取り扱い上のご注意 …………………………………………………………………………… ii

電磁両立性について …………………………………………………………………………… iii

輸出および非居住者への技術提供にあたってのご注意 …………………………………… iii

EU（欧州）諸国への輸出に関するご注意 …………………………………………………… iii

日本国内で本商品を廃棄する際のご注意 …………………………………………………… iii

分別処理を行っている EU（欧州）諸国で電気・電子機器の廃棄をする際のご注意 … iv

保証 ……………………………………………………………………………………………… iv

免責 ……………………………………………………………………………………………… v

本書について …………………………………………………………………………………… vi

目次 …………………………………………………………………………………………… viii

1 概要 ………………………………………………………………………………………… 1

1.1 特長 …………………………………………………………………………………… 11.2 システム構成および各部の名称 …………………………………………………… 21.3 主な作業の流れ ……………………………………………………………………… 3

2 取り付けの準備 …………………………………………………………………………… 5

2.1 機種の確認 …………………………………………………………………………… 52.1.1 システムパラメーターについて …………………………………………………………… 62.1.2 スケールベースと検出ヘッドの互換性 …………………………………………………… 6

2.2 設置条件 ……………………………………………………………………………… 72.2.1 防塵・防水 …………………………………………………………………………………… 72.2.2 磁気 …………………………………………………………………………………………… 7

2.3 スケール取り付け面の設計 ………………………………………………………… 82.3.1 スケール取り付け部の部材選定について ………………………………………………… 8

2.4 検出ヘッドブラケットの設計 ……………………………………………………… 9

3 機械本体への取り付け ……………………………………………………………………11

3.1 梱包内容の確認 ………………………………………………………………………113.2 スケールベースの取り付け …………………………………………………………12

3.2.1 スケールベース取り付け後の確認 …………………………………………………………12

ix No. 99MBE073B

3.3 検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け …………………………………133.3.1 検出ヘッドブラケットの取り付け …………………………………………………………133.3.2 検出ヘッドの取り付け ………………………………………………………………………13

3.4 ケーブルの処理 ………………………………………………………………………16

4 仕様 …………………………………………………………………………………………19

4.1 仕様一覧 ………………………………………………………………………………194.2 ピンアサイン …………………………………………………………………………20

4.2.1 ABS ST708A、ST708AL ……………………………………………………………………204.2.2 ABS ST748A、ST748AL三菱電機株式会社製仕様 MELSERVO MR-J2 ……………214.2.3 ABS ST748A、ST748AL三菱電機株式会社製仕様 MELSERVO MR-J3/MR-J4 ……214.2.4 ABS ST748、ST748L三菱電機株式会社製仕様 CNCシリーズ DS-D、MDS-DH、

MDS-Dn ………………………………………………………………………………………224.2.5 ABS ST758、ST758L ファナック株式会社 ………………………………………………224.2.6 ABS ST778A、ST778AL パナソニック株式会社 ………………………………………234.2.7 ABS ST788A、ST788AL 株式会社安川電機 ……………………………………………23

4.3 フィードバックケーブル長の計算 …………………………………………………244.4 取り付け寸法図 ………………………………………………………………………25

4.4.1 ABS ST700（小型）シリーズ………………………………………………………………254.4.2 ABS ST700L（小型）シリーズ ……………………………………………………………27

5 トラブルシューティング …………………………………………………………………29

5.1 アラーム機能 …………………………………………………………………………295.1.1 アラーム検出内容 ……………………………………………………………………………295.1.2 検出ヘッドの LED表示 ……………………………………………………………………30

5.2 アラームコード ………………………………………………………………………315.2.1 ABS ST748A、ST748AL ……………………………………………………………………315.2.2 ABS ST758、ST758L ………………………………………………………………………325.2.3 ABS ST778A、ST778AL ……………………………………………………………………345.2.4 ABS ST788A、ST788AL ……………………………………………………………………36

営業の窓口 ………………………………………………………………………………… App-1

サービスの窓口 …………………………………………………………………………… App-2

x No. 99MBE073B

1

1 概要

No. 99MBE073B

1 概要本章では、本商品の特長、各部の名称と機能、本商品を使用するうえでの主な作業の流れについて説明します。

1.1 特長リニヤスケールは、一定ピッチの目盛を持つ直線スケールを基準にして、移動量、変位量をデジタル量として出力します。

電子・半導体製造装置や工作機械をはじめ、さまざまな機器の移動量を正確に捉えることができます。

本商品は、電磁誘導検出方式を採用したアブソリュートスケールです。非接触検出のため、リニアモーターなどの高速・高加速度制御に最適です。また、検出ヘッドを従来体積比約 1/3に小型化したうえ、ケーブル取り出し口は 4方向のいずれかを選択可能、取り付け穴も上・横方向に用意しています。さらに、各社の高速シリアルインタフェースに対応し、以下のインタフェース仕様を用意しています。

y ファナック株式会社製仕様

y 三菱電機株式会社製仕様

y 株式会社安川電機製仕様

y パナソニック株式会社製仕様

y 株式会社ミツトヨ ENSIS®仕様

2

1 概要

No. 99MBE073B

1.2 システム構成および各部の名称リニヤスケール ABS ST700/ST700L（小型）シリーズの構成および各部の名称を下記に示します。

ABS ST700/ST700L（小型）シリーズフィードバックケーブルおよびサーボアンプ（お客様ご手配分）

サーボアンプ

①②

③

④

⑤

⑥

No. 名称① パワーオンおよびアラーム表示用 LED

② 検出ヘッド

③ ヘッドケーブル（1 m）

④ 出力コネクター

⑤ スケールベース

⑥ スケールベース取り付けねじ座ぐり

⑤

3

1 概要

No. 99MBE073B

1.2 システム構成および各部の名称リニヤスケール ABS ST700/ST700L（小型）シリーズの構成および各部の名称を下記に示します。

ABS ST700/ST700L（小型）シリーズフィードバックケーブルおよびサーボアンプ（お客様ご手配分）

サーボアンプ

①②

③

④

⑤

⑥

No. 名称① パワーオンおよびアラーム表示用 LED

② 検出ヘッド

③ ヘッドケーブル（1 m）

④ 出力コネクター

⑤ スケールベース

⑥ スケールベース取り付けねじ座ぐり

⑤

1.3 主な作業の流れ本商品を使用するために行う作業として、事前準備と機械本体への取り付け作業の流れを下図に示します。

�事前準備

スケール取り付け面の設計「2.3 スケール取り付け面の設計」（8 ページ）

検出ヘッドブラケットの設計「2.4 検出ヘッドブラケットの設計」（9 ページ）

�機械本体への取り付け作業

梱包内容の確認「3.1 梱包内容の確認」（11 ページ）

スケールベースの取り付け「3.2 スケールベースの取り付け」（12 ページ）

検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け

「3.3 検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け」（13 ページ）

ケーブルの処理「3.4 ケーブルの処理」（16 ページ）

検出ヘッドの信号調整

• スケールユニットの取り付け終了後は、『ABS ST700/ST700L（小型）シリーズ信号調整プログラムユーザーズマニュアル』の内容に従って、検出ヘッドの信号調整を行ってください。詳細は、『ABS ST700/ST700L（小型）シリーズ信号調整プログラムユーザーズマニュアル』（No. 99MBE040B）を参照してください。

• スケールベースおよび検出ヘッドに貼付してある「シリアル No.」が同一番号のもの同士を使用してください。

• スケールユニットの取り付け終了後の検出ヘッドの信号調整には、PCおよび周辺機器が必要です。『ABS ST700/ST700L（小型）シリーズ信号調整プログラムユーザーズマニュアル』の第 1章を参照して、必要な機器を準備してください。

4

1 概要

No. 99MBE073B

MEMO

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2 取り付けの準備

No. 99MBE073B

2 取り付けの準備この章では、本商品を機械本体に取り付けるための前準備について説明します。

2.1 機種の確認リニヤスケール ABS ST700/ST700L（小型）シリーズは、インタフェース仕様、有効測定長、ヘッドケーブルの取り出し方向により型番で選択します。

ご購入のリニヤスケールが、ご使用のサーボアンプに対応した機種であるかどうかを確認してください。

ST7 0 8ABS A L－100 A－R

インタフェース仕様 0 ：ミツトヨ ENSIS®　高速シリアル対応　　　　　ABS ST708A、ABS ST708AL4 ：三菱電機株式会社製仕様 MELSERVO　高速シリアル対応　　　　　ABS ST748A、ABS ST748AL 三菱電機株式会社製仕様 CNCシリーズ　高速シリアル対応　　　　　ABS ST748 、ABS ST748L 5 ：ファナック株式会社製仕様　高速シリアル対応　　　　　ABS ST758 、ABS ST758L7 ：パナソニック株式会社製仕様 MINAS　高速シリアル対応　　　　　ABS ST778A、ABS ST778AL8 ：株式会社安川電機製仕様Σシリ－ズ　高速シリアル対応　　　　　ABS ST788A、ABS ST788AL

検出ヘッド形状および分解能8 ：形状　　50 mm(W)× 28 mm(D)× 11 mm(H) 分解能　0.1 μm

シリ－ズ名セパレートタイプアブソリュートリニヤスケール ABS ST700（小型）シリーズ（有効測定長≦ 3 m） ABS ST700L（小型）シリーズ（3.2 m≦有効測定長≦ 6 m）

ヘッドケーブルの取り出し方向R ：右側D ：下側L ：左側U ：上側

表示無し： 100 mm ～ 3000 mm（ABS ST700（小型）シリーズ）L ：3200 mm ～ 6000 mm（ABS ST700L（小型）シリーズ）

通信方式A ：2線式表示無し：4線式

A ：スケールベースタイプ

有効測定長： 100 mm ～ 6000 mm

U：上側

L：左側

ヘッドケーブル取り出し方向図

R：右側

D：下側

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No. 99MBE073B

2.1.1 システムパラメーターについてリニヤスケール ABS ST700/ST700L（小型）シリーズでは、検出ヘッド内部にシステムパラメーター（スケール固有のパラメーター）を書き込んで使用することを前提としています。そのため、このシステムパラメーターの値が合わないと所定の性能を発揮できません。

通常のスケール供給では、検出ヘッドにシステムパラメーターを書き込んだ後、スケールと検出ヘッドをセットで出荷していますので、出荷時の組合せで使用すれば問題はありません。しかし、検出ヘッドが故障した場合や、検出ヘッドを後から加える場合（1つのスケールに 2個以上の検出ヘッドを後から加える場合など）には、対応するスケールのシステムパラメーターを検出ヘッドに書き込む必要があります。

• 下記の場合は、弊社営業までご相談ください。

- 使用している検出ヘッドが故障した場合

- 故障時のバックアップ用として検出ヘッドの在庫を保管したい場合

- 検出ヘッドを後から加える場合

• 使用しているスケールが破損した場合、スケールと検出ヘッドをともに交換する必要があります。

2.1.2 スケールベースと検出ヘッドの互換性ABS ST700（小型）シリーズと ABS ST700L（小型）シリーズのスケールベースは、それぞれ専用の検出ヘッドを使用しているため、互換性はありません。

スケールベース接続の可否検出ヘッドABS ST700（小型）シリーズ

（有効測定長 3 m以下用）可

ABS ST700（小型）シリーズ

（有効測定長 3 m以下用）

不可

ABS ST700L（小型）シリーズ

（有効測定長 3.2 m～ 6 m用）可

ABS ST700L（小型）シリーズ

（有効測定長 3.2 m～ 6 m用）

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No. 99MBE073B

2.2 設置条件

2.2.1 防塵・防水ABS ST700/ST700L（小型）シリーズは、切削液や塵に影響を受けないセンサーを採用していますが、検出ヘッドとスケールベースの間に塵などの侵入を防ぐ構造にはなっていないため、IP表示はしていません。

使用上、若干の切削液や塵などが付着してもスケールとしての機能は損なわれませんが、鉄粉などの混入は、その構造上、重度な故障が発生する恐れがありますので、できるだけ上記の環境にさらされない状態で使用してください。

また、検出ヘッドとスケールベースとの隙間（ギャップ）に h=0.4 mm前後の異物が侵入した状態で走査すると、スケールパターンや検出ヘッドの検出部を損傷する可能性があるため、十分に注意してください。

スケールベースと検出ヘッドには、水、油、塵などを防ぐカバーを設けることを推奨します。

2.2.2 磁気リニヤスケール ABS ST700/ST700L（小型）シリーズは、電磁誘導方式の測長センサーを採用しています。電磁誘導とは、対向させた 2つのコイルの片側に電流を流すと磁束が発生し、反対側のコイルに電流が発生する現象です。この基本原理を利用し、変位に応じて変化する発生電流を検出することで、変位量を求めています。そのため、スケールの近くに強磁界を発生する機器（例えばリニアモーターなど）がある場合には、下記点に注意してスケールユニットを取り付けてください。

y リニアモーターの近くにスケールユニットを配置する場合には、できるだけ磁気の影響を受けない場所に配置してください。

y やむを得ずリニアモーターの近くに配置する場合には、磁気が 3 mT以下の場所に配置してください。

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2.3 スケール取り付け面の設計「4.4 取り付け寸法図」を参考に、スケール取り付け部は下図のように設計してください。

スケール取り付け部の側面方向

マシンガイドに対するギャップ方向の取り付け面◇ 平行度　：　0.05 mm◇ 平面度　：　0.05/1000 mm

スケールベース固定用ねじM4× 0.7　ねじ深さ 6 mm 以上

マシンガイドに対するスケール取り付け部側面◇ 平行度　：　0.1 mm◇ 平面度　：　0.1/1000 mm

スケールベース逃げ

6 mm 以下として下さい

スケールベース

ギャップ方向

Tipsスケール取り付け部側面（上図）の設定ができない場合は、代わりに位置決め基準ピンを使用することもできます。このとき、基準ピンは取り付け穴ピッチに合わせて設定してください。その場合にも、マシンガイドに対する平行度は上記の規格値を確保してください。

2.3.1 スケール取り付け部の部材選定についてスケール取り付け部の部材選定は、温度変化の影響を考慮し、スケールベース材質に近い鉄系部材を推奨します。やむを得ずアルミ材などを使用する際は、標準温度および温度変化の少ない環境（推奨20 °C± 3 °C）に設置して使用してください。

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2.4 検出ヘッドブラケットの設計「4.4 取り付け寸法図」を参考に、検出ヘッドブラケットを設計します。検出ヘッドの側面方向およびギャップ方向に位置決め調整ができる形状とします。また、検出ヘッド固定ねじ穴は、検出ヘッドの側面方向やギャップ方向の調整を容易にするため、長穴にすることを推奨します。

検出ヘッドブラケット（側面取り付けの場合）

検出ヘッド固定用ねじ穴（側面取り付けの場合）◇ 検出ヘッドのギャップ方向への調整用として長穴を推奨

◇ 検出ヘッド固定用ねじ ⇒ M3× 0.5 長さ =L mm （長さ :L=A1＋ 3 mm～ 5 mm）

検出ヘッド固定用ねじ穴（上面取り付けの場合）◇ 検出ヘッドの側面方向への調整用として長穴を推奨

◇ 検出ヘッド固定用ねじ ⇒ M3× 0.5 長さ =L mm （長さ :L=A2＋ 2.5 mm～ 3 mm）

スケールベース取り付け面

検出ヘッドブラケット（上面取り付けの場合）

LED 確認窓

ブラケット肉厚（A2）


Tips• スケールベース取り付けの際は、スケールベース自身が取り付け部材を介して、GNDとしてアース接地（フレーム接地）できるよう設計してください。

• 検出ヘッドの取り付けねじの深さ（側面 5 mm、上面 3 mm）を考慮し、ブラケットの肉厚を決定してください。またブラケットの肉厚が不足するとブラケットの剛性が低くなり、サーボ機構自体の剛性が低下する場合がありますので、その点も考慮して肉厚を決定してください。

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MEMO

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3 機械本体への取り付け

No. 99MBE073B

3 機械本体への取り付けこの章では、本商品を機械本体に取り付ける手順、方法、注意事項について説明します。

3.1 梱包内容の確認取り付け作業を開始する前に、次の部品がそろっていることを確認してください。

なお、購入されたスケ－ルが指定の内容でない場合や不明点などがある場合には、お求めの代理店または弊社営業までご連絡ください。

名称数量備考スケールベース 1 有効測定長を確認してください。検出ヘッド 1※ 1 型番を確認してください。取り付けスペーサー 1 t=0.4 mmシリアル No.タグ 1 スケールベース、検出ヘッドと同一番号であることを確認してく

ださい。ユーザーズマニュアル 1 本書精度表 1保証書 1

※ 1：マルチヘッド仕様（検出ヘッドが 2個以上の特注仕様）の場合は、検出ヘッドの数量が異なります。

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3.2 スケールベースの取り付け• スケールベースを取り付ける場合には、スケールベース取り付け面およびスケールベース裏面をアルコールなどできれいに清掃してから取り付けてください。

• スケールベース表面の保護テープは剥がさないでください。

1 スケールベースをスケールベース取り付け面に確実に沿わせ、ねじを締め付ける


スケールベース取り付け面

Tips使用ねじ：M4× 0.7、6 mm以上

締付トルク：3 N･m～ 4 N･m

3.2.1 スケールベース取り付け後の確認スケールベースを取り付けた後、マシンガイドに対するスケールベース側面の平行度が 0.2 mm以下であることをテコ式ダイヤルゲージで確認してください。

マシンガイドに対するスケールベース側面の平行度　：　0.2 mm以下

テコ式ダイヤルゲージ

ガイドへ

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No. 99MBE073B

3.3 検出ヘッドブラケットと検出ヘッドの取り付け

3.3.1 検出ヘッドブラケットの取り付け

1 検出ヘッドブラケットを取り付ける

検出ヘッドブラケットは、検出ヘッドの側面との距離が所定の寸法になるように取り付けます。

検出ヘッド取り付け面

検出ヘッド取り付け面

検出ヘッドブラケット

側面取り付け

検出ヘッド検出ヘッド

スケールベースの側面方向

スケールベーススケールベース

上面取り付け


3.3.2 検出ヘッドの取り付け

検出ヘッドを取り付けて使用する際には、装着するブラケットに加え、機械本体を電気的に確実に接地した状態にしてください。接地せずに使用した場合、外部ノイズの影響を受ける場合があります。また、ブラケットの材質などで接地が難しい場合は、ヘッドケーブルのシールド部をアースバーなどで確実に接地して使用してください。

アースバーなど

例）アースバー使用図

検出ヘッドケーブル

シールド線（網線）ケーブルのビニール被覆を一部カット

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1 検出ヘッドを検出ヘッドブラケットに緩くねじ止めする（仮固定）

Tips検出ヘッドの取り付け方向が不明な場合は、下図で方向を確認してください。

検出ヘッド上のシ－ルの向き（正面に配置）

スケールベース取り付け用座ぐり検出ヘッド

2 検出ヘッドの検出面とスケールベースの目盛面の間に付属の取り付けスペーサー（t=0.4 mm）を挟む

差込方向 2

差込方向 1

取り付けスペーサー

3 ねじを締めて検出ヘッドを固定する

注記取り付けスペーサーで位置決めする際、検出ヘッドをスケ－ル側に強く押し付けた状態で固定すると、取り付けスペーサーが引き抜けないことがあります。その場合、取り付けスペーサーを無理に引き抜くと、スケ－ルベースの目盛面や検出ヘッドの検出面を損傷する可能性があります。

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• 検出ヘッドの側面に検出ヘッドブラケットを取り付ける場合は、以下のようにします。

使用ねじ：M3× 0.5、長さ =L mm（L=A1＋ 3 mm～ 5 mm）

締付トルク：3 N･m～ 3.5 N･m


検出ヘッド側面取り付け

ギャップ方向

スケールベーススケール取り付け部


0.4 mm± 0.1 mm

• 検出ヘッドの上面に検出ブラケットを取り付ける場合は、以下のようにします。

使用ねじ：M3× 0.5、長さ =L mm（L=A2＋ 2 mm～ 3 mm）

締付トルク：3 N･m～ 3.5 N･m


同一面で合せる

検出ヘッド上面取り付け

ギャップ方向

スケールベーススケール取り付け部


0.4 mm± 0.1 mm

• 検出ヘッドの上面に検出ヘッドブラケットを取り付ける場合、以下の手順で調整することを推奨します。

1 検出ヘッドブラケットに検出ヘッドを取り付ける

2 1の状態で端面を合わせる

3 検出ヘッドブラケットごとギャップ調整をする

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No. 99MBE073B

4 取り付けスペーサーを引き抜く

3.4 ケーブルの処理検出ヘッドを取り付けた後、ケーブルの接続および固定を実施してください。

フィードバックケーブルは、お客様の手配になります。「4.2 ピンアサイン」（20 ページ）を参照して、機種に対応したケ－ブルを準備してください。

1 ケーブルのねじれや曲がりに注意し、ケーブルを配置するヘッドケーブル、フィードバックケーブルは、電気的なノイズ源となる他のケーブル類と束ねたり、大電流をオン／オフするリレーの近くに配置すると、ノイズにより誤作動することがあります。

2 各ケーブルをケーブルクランプなどで固定する

ABS ST700/ST700L （小型）シリーズヘッドケーブル（固定部分）フィードバックケーブル

クランプ部品クランプ部品

Tips以下について特に注意してください。

• 振動によるコネクターの揺れに配慮してください。

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No. 99MBE073B

• ケーブルの繰り返し曲げが発生する場合、できるだけヘッドケーブル以降に接続されるフィードバックケーブル部が動くように配置してください。また、ケーブルクランプ部付近に応力が発生しないようにしてください。

ABS ST700/ST700L （小型）シリーズヘッドケーブル（固定部分）

フィードバックケーブル（オプション：ミツトヨ製の場合）

クランプ部品

曲げ半径 R100 mm 以上

• ヘッドケーブルに曲げが必要な場合には、下記の曲げ Rを確保してください。

ケーブル固定時

曲げ禁止長さ 40 mm ヘッドケーブル

曲げ半径 R30 mm 以上曲げ半径 R100 mm 以上

クランプ部品

ケーブル可動時

• 梱包品の「シリアル No.タグ」をサーボアンプ入力コネクター近傍のケーブルに固定し、リニヤスケールのシリアル No.を容易に確認できるようにすることを推奨します。

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MEMO

19

4 仕様

No. 99MBE073B

4 仕様この章では、本商品の仕様について説明します。

4.1 仕様一覧項目仕様

検出方式電磁誘導式アブソリュート位置検出方式形態セパレートタイプスケール分解能 0.1 μm有効測定長

（精度保証範囲）

ABS ST700（小型）シリーズ（有効測定長 3 m以下）

100/200/300/400/500/600/700/800/900/1000/1100/1200/

1300/1400/1500/1600/1700/1800/1900/2000/2100/2200/

2300/2400/2500/2600/2700/2800/2900/3000 mmABS ST700L（小型）シリーズ（有効測定長 3.2 m～ 6 m）

3200/3400/3600/3800/4000/4200/4400/4600/4800/5000/

5200/5400/5600/5800/6000 mm最大移動長有効測定長 +10 mm（「4.4 取り付け寸法図」（25 ページ）を参照）指示精度（20 °Cにおいて） 5+(5L0/1000) μm、L0：有効測定長 (mm)最大送り速度 5 m/s最大送り加速度 50 m/s2

線膨張係数 (12.0± 1.5)× 10-6/°C（取り付け部材の材質が鉄相当の場合）使用条件 (有効測定長 3m以下 ) (有効測定長 3.2～ 6m)

温度：0 °C～ 50 °C 温度：0 °C～ 50 °C湿度：20 %～ 80 %RH（非結露）湿度：20 %～ 70 %RH（非結露）

保存条件 (有効測定長 3m以下 ) (有効測定長 3.2～ 6m)温度：－ 20 °C～ 70 °C 温度：－ 20 °C～ 60 °C湿度：20 %～ 80 %RH（非結露）湿度：20 %～ 70 %RH（非結露）

供給電圧 5 V± 10 %（リップル＋スパイクノイズ成分が 100 mV以下のこと）最大消費電流 270 mA耐振動性（55 Hz～ 2000 Hz）300 m/s2

耐衝撃性（1/2sin、11 ms） 500 m/s2

インタフェースミツトヨ ENSIS® 高速シリアルインタフェース三菱電機株式会社製仕様 MELSERVO 高速シリアルインタフェース

三菱電機株式会社製仕様 CNCシリーズ高速シリアルインタフェースパナソニック株式会社製仕様 MINAS 高速シリアルインタフェース株式会社安川電機製仕様 Σシリ－ズ高速シリアルインタフェースファナック株式会社製仕様高速シリアルインタフェース

ヘッドケ－ブル長さ／径：1 m / ø3.8 mm最大ケーブル長 29 m（ヘッドケーブルを含む）EMC規格 CEマーク対応

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4 仕様

No. 99MBE073B

4.2 ピンアサイン• 電磁ノイズが影響する環境などで使用する場合は、耐ノイズ性の向上のため、以下の項目を推奨します。

- サーボアンプ近くで、フィードバックケーブルのシースを一部取り除き、シールド線をアースバーなどに接地する。

- サーボアンプ側コネクター（コネクター 3）でシールドにリード線を半田付けし、アンプ筐体などのフレームグランドに接地する。

• ケーブル長を長く設定する場合は、ここで示す結線の点線部（+5V、0V）を配線することを推奨します。

4.2.1 ABS ST708A、ST708AL

1 0V (LG) 1 0V (LG)3 +5V (P5) 3 +5V (P5)2 0V (LG) 2 0V (LG)4 +5V (P5) 4 +5V (P5)13 0V (LG) 13 0V (LG)11 +5V (P5) 11 +5V (P5)9 N.C 9 N.C10 N.C 10 N.C7 MR (RQ/DT) 7 MR (RQ/DT)8 MRR (_RQ/_DT) 8 MRR (_RQ/_DT)15 F.G 15 F.G

F.G F.G

ヘッドケーブル

出力コネクター

Dサブ 15ピン（ピンコンタクト）

ピン No. ピン No.信号名

シールドケーブル

※　　　はツイストペア線を示す

信号名

スケール側アンプ側

Dサブ 15ピン（ソケットコンタクト）

コネクタシェルコネクタシェル

コネクター 2

フィードバックケーブル

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4 仕様

No. 99MBE073B

4.2.2 ABS ST748A、ST748AL三菱電機株式会社製仕様 MELSERVO MR-J2

)GL(V01)GL(V01)GL(V01)5P(V5+81)5P(V5+3)5P(V5+3)GL(V02)GL(V02)GL(V02)5P(V5+91)5P(V5+4)5P(V5+4)GL(V011)GL(V031)GL(V031)5P(V5+02)5P(V5+11)5P(V5+11)GL(V021C.N9C.N9

10 N.C 10 N.CRM7)TD/QR(RM7)TD/QR(RM7RRM71)TD_/QR_(RRM8)TD_/QR_(RRM8

15 F.G 15 F.G F.GF.G F.G

10120-3000VE (3M)



Dサブ 15ピン（ピンコンタクト）ピン No. ピン No. ピン No.信号名


信号名信号名

スケール側

アンプ側



シェル

コネクター 2 コネクター 3



4.2.3 ABS ST748A、ST748AL三菱電機株式会社製仕様 MELSERVO MR-J3/MR-J4

1 0V (LG) 1 0V (LG)3 +5V (P5) 3 +5V (P5)

)GL(V02)GL(V02)GL(V02)5P(V5+1)5P(V5+4)5P(V5+4

13 0V (LG) 13 0V (LG)11 +5V (P5) 11 +5V (P5)9 N.C 9 N.C10 N.C 10 N.C

RM3)TD/QR(RM7)TD/QR(RM7RRM4)TD_/QR_(RRM8)TD_/QR_(RRM8


54593-1011 (Molex)





信号名信号名

スケール側

アンプ側



シェル




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4 仕様

No. 99MBE073B

4.2.4 ABS ST748、ST748L三菱電機株式会社製仕様 CNCシリーズ DS-D、MDS-DH、MDS-Dn

1 0V (LG) 1 0V (LG)

3 +5V (P5) 3 +5V (P5)

2 0V (LG) 2 0V (LG) 2 0V (LG)4 +5V (P5) 4 +5V (P5) 1 +5V (P5)13 0V (LG) 13 0V (LG)

11 +5V (P5) 11 +5V (P5)

9 N.C 9 N.C10 N.C 10 N.C5 MD(DT) 5 MD(DT) 7 MD6 MDR(_DT) 6 MDR(_DT) 8 MDR7 MR (RQ) 7 MR (RQ) 3 MR8 MRR (_RQ) 8 MRR (_RQ) 4 MRR15 F.G 15 F.G F.G

F.G F.G

54593-1011 (Molex)





信号名信号名

スケール側

アンプ側



シェル




4.2.5 ABS ST758、ST758L ファナック株式会社

DNG21DNG1DNG1V5+9V5+3V5+3DNG41DNG2DNG2V5+81V5+4V5+4

DNG31DNG31V5+02V5+11V5+11

9 N.C 9 N.C10 N.C 10 N.C

DS1DS5DS5DS_2DS_6DS_6QER5QER7QER7QER_6QER_8QER_8


PCR-E20FS(HONDA)

16





信号名信号名

スケール側

アンプ側






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4 仕様

No. 99MBE073B

4.2.6 ABS ST778A、ST778AL パナソニック株式会社

1 GND 1 0V (LG)3 +5V 3 +5V (P5)

V0E2)GL(V02DNG2V5E1)5P(V5+4V5+4

13 GND 13 0V (LG)11 +5V 11 +5V (P5)9 N.C 9 N.C10 N.C 10 N.C

SP5DS+/QER+7DS+/QER+7SP/6DS-/QER-8DS-/QER-8


55100-0600 (Molex)





信号名信号名

スケール側

アンプ側


コネクタシェルコネクタシェルシェル




4.2.7 ABS ST788A、ST788AL 株式会社安川電機

S5S2S2S/6S/6S/6CCV1CCV1CCV1DNG2DNG5DNG5

3 VCC 3 VCC9 GND 9 GND7 N.C 7 N.C F.G8 N.C 8 N.C

F.G F.G

55100-0600 (Molex)



Dサブ 9ピン（ソケットコンタクト）ピン No. ピン No. ピン No.信号名


信号名信号名

スケール側

アンプ側

Dサブ 9ピン（ピンコンタクト）


シェル




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4 仕様

No. 99MBE073B

4.3 フィードバックケーブル長の計算フィードバックケーブルを製作する場合は、以下の最大ケーブル長の計算方法を参考にしてください。

�構成

ABS ST700/ST700L（小型）シリ－ズフィードバックケーブルおよびサーボアンプ


サーボアンプ

中継コネクタ部電圧


�条件：ヘッドケーブル長が 1 mの場合名称仕様または記号単位

最大ケーブル長 L m使用線材の線材抵抗値 a Ω /m電源線仕様ペア数 b 本サーボアンプからの供給電圧（最小値） 4.95 *1 V消費電流値 0.27 A中継コネクター部電圧（最小値） 4.57 *2 V

*1 サーボアンプでの標準的な供給電圧です。

*2 ヘッドケーブル長が標準の1 m以上の場合、1 m当たり0.07 Vの電圧降下が発生します。ヘッドケーブルにおける電圧降下を考慮してください。

�計算式許容電圧降下 ≧ （消費電流 × 線材抵抗 × 2 × 最大ケーブル長） ÷ 電源線使用ペア数 (1)

式 (1)に上表の条件を当てはめると、以下のようになります。

(4.95－ 4.57) [V] ≧ (0.27 [A] × a [Ω /m] × 2 × L [m]) ÷ b [本 ] (2)

式 (2)を以下のように変形します。

L [m] ≦ b ( 4.95 - 4.57 )0.54 a

(3)

式 (3)を満足する最大ケーブル長（L [m]）、使用線材の線抵抗（a [Ω /m]）、電源線使用ペア数（b [本 ]）のフィードバックケーブルを製作してください。

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4 仕様

No. 99MBE073B

4.4 取り付け寸法図

4.4.1 ABS ST700（小型）シリーズ

�取り付け寸法図

スケールベース長：

L1

ヘッドケーブル長：

1 m

＋カウント

検出ヘッド

出力コネクタ形状

ST78

8Aの場合

上：

U（選択）

下：

D（選択）

左：

L（選択）

右：

R（選択）


スケール表面から

検出ヘッドまでの距離

ケーブル出し口指示図

G：マシンガイド

スケールベース中心位置：

L2

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4 仕様

No. 99MBE073B

�寸法表寸法表（ABS ST700（小型）シリーズ共通：有効測定長 3 m以下）

コード No. （*1、*2）

型番（*1、*3）有効測定長 (mm)

最大移動長 (mm)

L1

(mm)

L2

(mm)

L3

(mm)n

L4

(mm)Z

579-301＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)-100A-＊ 100 110 180 90 80

2

3579-302＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)-200A-＊ 200 210 280 140 130579-303＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)-300A-＊ 300 310 380 190 180579-304＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)-400A-＊ 400 410 480 240 230579-305＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)-500A-＊ 500 510 580 290

200

80


4

80


6

80


8

80


10

80


12

80


1480

17579-330＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)-3000A-＊ 3000 3010 3080 1540 130

*1: コード No.と型番のアスタリスク（＊）は、ヘッドケーブルの取り出し方向を示します。　R：右側（基準）、D：下側（選択）、L：左側（選択）、U：上側（選択）

*2: コード No.の□印は、以下を示します。　0：株式会社ミツトヨ ENSIS® 　3：三菱電機株式会社 CNCシリーズ　4：三菱電機株式会社 MELSERVO 　5：ファナック株式会社　7：パナソニック株式会社　8：株式会社安川電機

*3: 型番の◇印は、インタフェース仕様を示します。詳細は、「2.1 機種の確認」（5 ページ）を参照してください。

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4 仕様

No. 99MBE073B

4.4.2 ABS ST700L（小型）シリーズ

�取り付け寸法図スケールベース長：

L1

ヘッドケーブル長：

1 m

＋カウント

板ばね

検出ヘッド

出力コネクタ形状

ST78

8ALの場合

上：

U（選択）

下：

D（選択）

左：

L（選択）

右：

R（選択）


スケール表面から

検出ヘッドまでの距離

ケーブル出し口指示図

G：マシンガイド

スケールベース中心位置：

L2

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4 仕様

No. 99MBE073B

�寸法表寸法表（ABS ST700L（小型）シリーズ共通：有効測定長 3.2 m～ 6 m）

コード No. （*1、*2）

型番（*1、*3）有効測定長 (mm)

最大移動長 (mm)

L1

(mm)

L2

(mm)

L3

(mm)n

L4

(mm)Z

579-331＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)L-3200A-＊ 3200 3210 3280 1640

200

14 230 17579-332＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)L-3400A-＊ 3400 3410 3480 1740

16130

19579-333＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)L-3600A-＊ 3600 3610 3680 1840 230579-334＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)L-3800A-＊ 3800 3810 3880 1940

18130


20130


22130


24130


26130


28130

31579-345＊□ 8 ABS ST7◇ 8(A)L-6000A-＊ 6000 6010 6080 3040 230

*1: コード No.と型番のアスタリスク（＊）は、ヘッドケーブルの取出し方向を示します。

　R：右側（基準）、D：下側（選択）、L：左側（選択）、U：上側（選択）

*2: コード No.の□印は、以下を示します。　0：株式会社ミツトヨ ENSIS® 　3：三菱電機株式会社 CNCシリーズ　4：三菱電機株式会社 MELSERVO 　5：ファナック株式会社　7：パナソニック株式会社　8：株式会社安川電機

*3: 型番の◇印は、インタフェース仕様を示します。詳細は、「2.1 機種の確認」（5 ページ）を参照してください。

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5 トラブルシューティング

No. 99MBE073B

5 トラブルシューティングこの章では、検出ヘッド内部に備えられているアラーム検出機能と、各社インタフェースに対するアラームコードの内容を説明します。

5.1 アラーム機能ABS ST700/ST700L（小型）シリーズでは、検出ヘッド内部にアラーム検出機能を備えています。

5.1.1 アラーム検出内容アラーム検出機能によるアラームは、以下のように注意と異常の 2種類に大別されます。

y 注意：本センサーの信号強度の低下や検出ヘッド内部の温度異常などを検出しており、その要因を取り除くと通常の状態に復帰します。

y 異常：本センサーの信号強度異常や絶対位置検出異常などを検出しており、一度発生すると、リセットまたは電源の再投入まで異常検出状態が保持されます。

アラ－ム検出の種類内容

注意温度異常

検出ヘッドの内部温度が 65 °C以上になると出力し、60 °C以下になると通常状態に戻ります。

信号強度信号強度が 30 %以下になると出力し、30 %以上になると通常状態に戻ります。

異常

信号強度信号強度が 15 %以下、または 100 %になると出力します。トランスデューサー内部信号のバランスに異常が発生すると出力します。絶対値検出絶対値デ－タに異常が発生すると出力します。ハードウェア内部のハードウェアに異常が発生すると出力します。初期化電源投入時にシステムの初期化が正常に終了しないと出力します。オーバースピード最大送り速度（5 m/s）の超過を検出すると出力します。

信号強度の大きさは、下図のように 3つの領域に分けて表現しています。これを LEDで表示し、信号強度を容易に確認できます。信号強度の大きさは、正常領域で使用してください。注意領域や異常領域の場合は、アラームが出力されます。

30


No. 99MBE073B

100

50

0

-50

-1000-50-100 50 100

異常領域

正常領域

理想的な信号強度

注意領域

5.1.2 検出ヘッドの LED表示アラームが発生すると検出ヘッドのLEDが点灯（または点滅）します。以下のように、LEDの表示によって、アラームの内容を判断できます。

LEDの状態アラームの種類

内容注意異常正常

赤点灯後、消灯－－ ○

パワーオン LED

電源投入時に約 2秒間点灯し、電源が投入されたことを表示します。

赤点灯 ○ ○ －注意と異常の両方が発生すると赤点灯になります。その後、注意の要因が取り除かれると黄点灯になります。

黄点灯－ ○ －異常が発生すると黄点灯になります。サーボアンプからのコマンド操作、または検出ヘッドの電源オフまで保持されます。

黄点滅 ○ －－注意が発生すると黄点滅になります。注意の要因を取り除くことにより、LEDは消灯します。

Tips使用中にアラームが発生した場合には、「5.2 アラームコード」の内容を確認のうえ、サーボアンプメーカーまたは弊社営業までご連絡ください。

31


No. 99MBE073B

5.2 アラームコード

5.2.1 ABS ST748A、ST748ALABS ST748A、ST748ALのアラームと、三菱電機株式会社製サーボアンプに表示されるアラームコードとの関係を以下に示します。

サーボアンプ

アラームコードLEDの状態内容原因主な対処方法

AL2A 赤点灯／黄点灯スケールエラー発生 y 信号強度エラー

y トランスデューサーエラー

y 絶対値検出エラー

y ハードウェアエラー

y 初期化エラー

y オーバースピード

検出ヘッドが異常を検出しました。

y 信号調整プログラムの信号 Monitorで検出ヘッドとスケールの位置関係を確認してください。

y 必要に応じて、信号調整プログラムの信号調整 Startで信号調整を実施してください。

AL28 黄点滅スケールアラーム発生

y サーマルアラーム

y 信号強度アラーム

検出ヘッドが注意を検出しました。位置データに誤りはありませんが、取り付け、使用条件の見直しが必要です。

y 検出ヘッドの周辺温度が 60 °C以上になっている可能性があります。60 °C以上になっている場合は、駆動条件（速度や加速度）を見直してください。



32


No. 99MBE073B

サーボアンプ


AL16 －通信エラー発生

（サーボアンプ初期化時）

y サーボアンプ側で 3回連続エラーを受信しました（無応答を含む）

ABS ST748A、ST748ALとサーボアンプ間の通信異常が発生しました（サーボアンプの電源投入時から通信不可）。

y ケーブル類およびコネクターの結線を確認してください。

y ケーブルの引き回しを確認してください（大電流ケーブルのノイズによる影響など）。

y 電源投入時、ABS ST748A、ST748ALの LEDを確認し、電源が供給されているかを確認してください。

AL20 －通信エラー発生

（サーボアンプ制御時）

y サーボアンプ側で 3回連続エラーを受信しました（無応答を含む）

ABS ST748A、ST748ALとサーボアンプ間の通信異常が発生しました（サーボアンプで制御している途中で発生）。



5.2.2 ABS ST758、ST758LABS ST758、ST758Lのアラームと、ファナック株式会社製サーボアンプに表示されるアラームコードとの関係を以下に示します。

なお、NC装置のアラームコードは、フルクローズド制御でスケールを使用する場合と、リニアモーターでスケールを使用する場合で異なりますので、ご注意ください。

サーボアンプ


380（フルクロ接続時）

LED異常

365（リニアモーター時）

LED異常

赤点灯／黄点灯スケールエラー発生 y ハードウェアエラー


電源を再投入してください。再度異常を検出した場合は、検出ヘッドの交換が必要です。

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No. 99MBE073B

サーボアンプ



位相異常


位相異常

赤点灯／黄点灯スケールエラー発生 y 初期化エラー

y アブソリュートエラー


y オーバースピード

y 信号強度エラー

y 信号強度ウォーニング





シリアルデータエラー


シリアルデータエラー

－通信エラー発生 y 応答なし

ABS ST758、ST758Lと NC装置間の通信でスケールからのデータが受信できない異常が発生しました（応答なし）。




データ転送エラー


データ転送エラー

－通信エラー発生 y 通信異常

ABS ST758、ST758Lと NC装置間の通信でスケールからのシリアルデータに、CRCエラー、ストップビットエラーが発生しました（通信異常）。

ケーブルの引き回しを確認してください（大電流ケーブルのノイズによる影響など）。


ハード断線アラーム


ハード断線アラーム

－通信エラー発生 y ケーブル断線

ABS ST758、ST758Lと NC装置間の通信でケーブル断線による異常が発生しました。

ケーブル類およびコネクターの結線を確認してください。

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No. 99MBE073B

5.2.3 ABS ST778A、ST778ALABS ST778A、ST778ALのアラームと、パナソニック株式会社製サーボアンプ（MINAS A6シリーズ）に表示されるアラームコードとの関係を以下に示します。

Tipsここでのアラームコード番号は、サーボアンプがフルクローズドシステムの場合を記載しています。

サーボアンプ


Err51.0 黄点灯スケールエラー発生 y オーバースピード

検出ヘッドが速度超過による異常を検出しました。

y 駆動条件（指令速度）を見直してください。

Err51.1 赤点灯／黄点灯スケールエラー発生 y 初期化エラー

検出ヘッドが初期化中に異常を検出しました。



Err51.2 赤点灯／黄点灯スケールエラー発生 y ハードウェアエラー


電源を再投入してください。再度異常を検出した場合は、検出ヘッドの交換が必要です。

Err51.3 赤点灯／黄点灯スケールエラー発生 y アブソリュートエラー




35


No. 99MBE073B

サーボアンプ


Err51.4 赤点灯／黄点灯スケールエラー発生 y トランスデューサーエラー




Err51.5 黄点滅スケールアラーム発生

y 信号強度エラー




Err50.0

Err50.1

－通信エラー発生 ABS ST778A、ST778ALとサーボアンプ間の通信異常が発生しました。



36


No. 99MBE073B

5.2.4 ABS ST788A、ST788ALABS ST788A、ST788AL のアラームと、株式会社安川電機製サーボアンプ（Σシリーズ）に表示されるアラームコードとの関係を以下に示します。

なお、NC装置のアラームコードは、フルクローズド制御でスケールを使用する場合と、リニアモーターでスケールを使用する場合で異なりますので、ご注意ください。

サーボアンプ


A.8A3 *1

A.84U *2

赤点灯／黄点灯スケールエラー発生 y 信号強度エラー


y 絶対値検出エラー

y 初期化エラー




A.8A5 *1

A.85U *2

黄点灯スケールエラー発生 y オーバースピード

検出ヘッドが速度超過による異常を検出しました。

駆動条件（指令速度）を見直してください。

A.8A6 *1

A.860 *2

黄点滅スケールアラーム発生

y サーマルアラーム

y 信号強度アラーム


y 検出ヘッドの周辺温度が 60 °C以上になっている可能性があります。60 °C以上になっている場合は、駆動条件（速度や加速度）を見直してください。



*1 フルクローズド制御でスケールを使用する場合

*2 リニアモーターでスケールを使用する場合

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サーボアンプ


A.8A1 *1

A.891 *2

赤点灯／黄点灯スケールエラー発生 y ハードウェアエラー


検出ヘッドの交換が必要です。

A.CF1 *1

C90 *2

－通信エラー発生

（サーボアンプ制御時）

ABS ST788A、ST788ALとサーボアンプ間の通信異常が発生しました（サーボアンプで制御している途中で発生）。



*1 フルクローズド制御でスケールを使用する場合

*2 リニアモーターでスケールを使用する場合

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発行年月日版数改訂内容2018年 11月 1日改訂 1版全面改訂し発行2020年 2月 1日改訂 2版商品仕様の変更

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株式会社ミツトヨ神奈川県川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒 213-8533ホームページ : http://www.mitutoyo.co.jp

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