ループキャリー 製品のご紹介

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1. ループキャリーとは？

半導体向けに開発した、クリーンルーム

階層間を垂直循環搬送する設備です。

循環方式による階層間多量搬送

コンセプト

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2. 基本構成

移載装置（入庫）

移載装置（出庫）

テンションユニット

給気

排気

壁

壁 壁

壁

壁

FFU

壁

給排気（ユーザー様）

移載装置（出庫）

移載装置（入庫）

平面図

循環エリア SUSカバーフレーム

乗場扉（入庫扉）

乗場扉（出庫扉）

耐火壁（ユーザー様）

チェーン

棚

標準回転方向は、時計回り。センターから左のライン（上げ）が、入庫センターから右のライン（下げ）が、出庫

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3. 特徴（基本仕様）

清浄度：0.3μm 100個/CF以下

最大高さ：45ｍまで可能

最大処理能力：9sec/個（400個/hr）

騒音値：68dB以下振動値：0.5G以下循環速度：Max10m/min

棚ピッチ：Min900mm※要求能力により設定します。※循環速度10m/minの場合、

棚ピッチは、1500mmとなります。

安全対策①FOUP落下防止柵（各棚）②チェーン伸び検知③チェーン落下防止ガイド④棚とロボットの衝突防止⑤扉はみ出し検知⑥点検扉インターロック

棚管理棚のバーコード情報を読み取り、位置情報と合わせて管理

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ループキャリー

最大搬送能力 9sec/個（400個/hr） 駆動電源 AC3φ 200V

循環速度 Max10m/min 制御電源 DC 24V

棚ピッチ Min900mm CDA 0.5Mpa

最大高さ 45m 制御盤 1面/基（1000W×350D×1800H）※移載機盤は、別置き（各階）標準機体外寸 2000W×1000D

保証清浄度 0.3μm 100個/CF以下 操作パネル 1台/基（ハンディタッチパネル）

騒音値 68dB以下 接続ボックス 各階に設置

振動値 0.5G以下 BCR 昇降路内に1箇所

循環駆動源 AC200V ギヤードモーター（INV制御） ID 各入庫ポートに設置

循環駆動方式 無給油チェーン 安全対策 ①FOUP落下防止柵（各棚）②チェーン伸び検知③チェーン落下防止ガイド④棚とロボットの衝突防止⑤扉はみ出し検知⑥点検扉インターロック

制御方式 PLC制御

扉駆動 エアシリンダー

移載機 スカラアームタイプ（サーボモータ）能力：9sec/個

4. 基本仕様一覧表

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5. 移載動作詳細※棚昇降と移載装置（Robot）昇降を同期

させている為、循環動作を止めたり、減速

させたりする事なく、かつ搬送物にかかる

衝撃も抑えて移載動作を行います。

衝突防止センサー（通過確認）

落下防止バー

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6. 動作画像

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ループキャリー

上位PC

Ethernet（TCP/IP）

ループキャリー用PLC

・搬送先指示・状態確認

・状態報告・動作報告

第一施設範疇

・入出庫動作報告・状態報告・IDデータ報告

入出庫タイミング指示

乗場機器PLC

乗場機器PLC

・コンベヤ制御・移載装置制御・フロア状態把握

7. 制御構成

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8. 清浄度の保ち方

壁

壁 壁

壁

壁

②駆動エリア（循環エリア周囲）

FFU

①搬送物循環エリア

１

２

３

③クリーンルーム

壁

圧力関係

③ ≧ ① ＞ ② を

成立させることで清浄度を維持します。

排気（除外）

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9-1. デモ機測定データ（振動）

＋G

－G

①入庫 ③出庫

②リターン部

①

②

③

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9-2. デモ機測定データ（パーティクル）

最下

FLより 900（ＰＬ）

FLより 2000

FLより3000

FLより3400

FLより4500

最上 187 177 153

5 3 2

１回目 ２回目 ３回目

０．１μｍ

０．3μｍ

206 227 216

2 26 5

１回目 ２回目 ３回目

０．１μｍ

０．3μｍ

230 231 385

6 3 26

１回目 ２回目 ３回目

０．１μｍ

０．3μｍ

406 314 327

8 8 1

１回目 ２回目 ３回目

０．１μｍ

０．3μｍ

650 397 345

19 10 6

１回目 ２回目 ３回目

０．１μｍ

０．3μｍ

366 383 404

19 22 27

１回目 ２回目 ３回目

０．１μｍ

０．3μｍ

928 1054 710

54 58 33

１回目 ２回目 ３回目

０．１μｍ

０．3μｍ

356 321 357

6 9 11

１回目 ２回目 ３回目

０．１μｍ

０．3μｍ

591 564 570

17 10 15

１回目 ２回目 ３回目

０．１μｍ

０．3μｍ

最下

FLより 900（ＰＬ）

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10. 諸条件

※床開口との取合いは、建築精度を考慮し、フレーム外寸法+各辺100mm以上を推奨しています。（前面を除く）

※フレーム最上部+1000mmの位置に施工用の吊材が必要です。吊下げ施工：耐荷重Min 1ton吊上げ施工：リフト全重量分の強度が必要。

標準寸法（床開口部）

標準寸法（メンテナンススペース）

標準寸法（高さ関係）

標準機体平面寸法 2000W×1000D

最小昇降路有効寸法 2600W×1670D

最小メンテナンススペース W=600mm/L=300mm

ピット深さ寸法 1250mm（最下パスラインによっては、無しでも可能)

上下間最小移載口寸法 1500mm

最上階 移載パスライン寸法 3300mm（最上階パスライン～本体フレーム上端まで)

FOUPＰＬ

FOUP

FOUP FOUPＰＬ

15

00

(上下

間最

小移

載口

寸法

)

ＦＯＵＰ

ドライブユニット

最上階ＰＬ

33

00

(最上

階最

小移

載Ｐ

Ｌ寸

法)

10

00

点検扉は各階に必要です。

300（最小メンテナンススペース寸法)

FFU

2000（本体寸法)

2600（昇降路有効寸法)

16

70

（昇

降路

有効

寸法

)

300（最小メンテナンススペース寸法)

600（最小メンテナンススペース寸法)

10

00

（本

体寸

法)

（鉄

骨内

寸法

)

70

点検ラダー

FFU

床開

口1270

70

床開口2400100 100

100

振止め（計8点）※各床開口に

固定します。