ドライポンプ、油回転真空ポンプ、水封ポンプなどと組み合わせて使用することにより、粗引ポンプの排気速度が低下する 10,000 ～ 0.1Pa の領域で排気速度をアップすることが可能です。PRC-A シリーズは、PMB-C（M）同様、汎用型としての使用はもちろんのこと、特にポンプ外部および内部のクリーン度が要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたルーツ型ポンプです。PMB-040C,PMB-060C は、熱処理炉、溶解炉や大型成膜装置などの大容量排気として最適です。

オイルフリー： ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。

特殊表面処理： 主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を施してあります。ポンプ内部の傷や腐食を抑えることができます。

排気時間短縮に有効なPMB-CM型・PRC-A大気圧駆動型： 粗引ポンプとの同時起動が可能なので、標準型に比べ排気時間が短縮できます。

排気方向の選択可能（PMB-024C（M）、040C、060C）： 排気の方向を垂直・水平のどちらか選択できます。装置設計の自由度が大きくなり装置のコンパクト化も可能です。

特 長

PRC-006A

PMB-003C

メカニカルブースターポンプ【PRC-A/PMB-B, C（M）シリーズ】

蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング

真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気

分析機器、リークテスト装置

ガス置換、充填、真空断熱

熱処理炉、溶解炉

その他各種真空装置

用 途

低真

空ポ

ンプ

低真空ポンプ

PMB-001C（M） PRC-012A（大気圧駆動型）

PMB-024C（M）垂直方向排気仕様

PMB-024C（M）水平方向排気仕様

PMB-003C（M）

PRC-003A（大気圧駆動型）

PRC-006A（大気圧駆動型）

外 形 寸 法 図

Flange to �ange

dia

.150

30

8 80 9077 90 18

0

217271

117

173

79

429580

153113

25

208104 104

（潤滑室別排気口G3/8 オプション）

全閉外扇型フランジモータ3 Phase 0.4kW 2P　　　　　　　　　　　　　　　　AC200V/50Hz，60Hz AC220V/60Hz 　　　　　　　

メカニカルシール用排油口プラグ

排気口フランジVF50相当4-M8 Tap，Central diameter φ100

排油口プラグ

給油口プラグ

メカニカルシール用給油口プラグ

オイルレベルゲージ

吸気口フランジ VG50相当4-M8 Tap, Central diameter φ100

485

400 175

212

81

218

275

359.

5

dia.

273

357

(152)

360 140540759

124.5＊

(20) 406203 203188

112

113

4-dia.15

140 140170

320

4293

118

155

155

185 34

0

給油口

排油口

冷却水出口 Rc 3/8冷却水入口Rc 3/8

吸気口フランジJIS B 2290 VG100 相当

＊1 モータ　制御機器

排気口フランジJIS B 2290 VF80 相当

（対面）

328615 215

208245

534

235 195215

510(540)

210

4021

0

288 328

817 367

480

420

1184

145

55

155

270 264

143

138

(14 )

880

75 75

185 185

4-dia.18.5

dia

.250 90

288280

排気口フランジJIS B2290 VF200相当

オイルレベルゲージ

吸気口フランジJIS B2290 VG200相当

メカニカルシール用排油口プラグ

モータ 7.5kW, 2P

冷却水入口 Rc 1/2

冷却水出口 Rc 1/2

給油口プラグ

メカニカルシール用給油口プラグ

潤滑室別排気口G3/8オプション

排油口プラグ

280215615

155

460

367

380

20

817

1184

dia

.250

288

880

185 185

208

245

215615

615

295

90

288 328

264

264

528

328 288

210 210420

215

190 190

145

75 75

55

メカニカルシール用給油口プラグ

吸気口フランジJIS B2290 VG200相当

冷却水入口Rc 1/2

潤滑室別排気サポート（オプション）

冷却水出口Rc 1/2

排油口プラグメカニカルシール用排油口プラグ

4-φ18.5穴

モータ 7.5kW, 2P

排気口フランジJIS B2290 VF200相当

給油口プラグ

オイルレベルゲージ

45

152 151

dia

.163

185 115152 163

656

77(2

2 )(22 )

77

461 195

296

dia.135

330

119

120 12025

24 9430

115

115

90

230

290

(50)

(40) 4-dia.12

（潤滑室別排気口 G3/8 オプション） 給油口

プラグ

メカニカルシール用給油口プラグ

全閉外扇型フランジモータ 3 Phase 0.75kW 2P　　　　　　　　　　　　　　　AC200V/50Hz，60Hz AC220V/60Hz 　　　　　　　

排油口プラグ

オイルレベルゲージ

メカニカルシール用排油口プラグ

冷却水入口G3/8（PF3/8） 　　　　

冷却水出口 G3/8（PF3/8）　　　　　

吸気口フランジ VG80相当4-M10 Tap, Central diameter φ135

排気口フランジ VF80相当4-M10 Tap, Central diameter φ135

151163301

330

196369

185 115

(86) 575

155 141296

2477 94 115

145 26

0115

25

270120 120 4 - dia.12

97＊

冷却水入口Rc 3/8

冷却水入口Rc 3 / 8

＊1 モータ制御機器

吸気口フランジJIS B 2290 VG80相当

（対面）

給油口

排油口

排気口フランジJIS B 2290 VF80相当

618.5

97＊

(121)

145

145

120

32

(5.6)

4-dia.12

338 179166

406 212.5

250 110

356178 178

95

175 32

0

130 130300400

冷却水入口Rc 3 / 8 冷却水出口

Rc 3 / 8

吸気口フランジJIS B 2290 VG80相当

排油口（対面）

給油口

＊1 モータ　制御機器

排気口フランジJIS B 2290 VF80相当

単位：mm 単位：mm

単位：mm

単位：mm

単位：mm

単位：mm

単位：mm

メカニカルブースターポンプ【PRC-A/PMB-B, C（M）シリーズ】

＊1 モータ制御機器は大気圧駆動型に付属

給油口A

900（50Hz）940（60Hz）

1608772

420120

70

250 250580

70

18

680 648

370

235

32

475

205

352

排気口フランジ（A）VF200（JIS B2290）相当

排気口フランジ（B）VF200（JIS B2290）相当

吸気口フランジVG300（JIS B2290）相当

排油口A（反対側）

ベルトカバーVベルト5V-1120×2本

モーター 18.5kW/4Pスライドベース付モータプーリ50Hz φ300, 60Hz φ250

720

25

215

18

7

1452

3262

1000 732

170170

540555310

680

φ400φ315

φ20

0

φ300

310

43 52

800

排油口B

冷却水入口RC1/2

冷却水出口RC1/2

吸気口フィルター

PCD370

4-φ28穴

12-φ15穴

油面計油面計

給油口B

＊2 ＊2

給油口A

585

25

215

18

7

11822982

1000 597

120120405420195

440

φ350φ265

φ20

0

φ250

195

43 52

800

1570772

420120

70

250 250580

900（50Hz）940（60Hz）

70

18

680

648

370

210

32

510

170

352

給油口B

排気口フランジ（B）VF150（JIS B2290）相当

排気口フランジ（A）VF150（JIS B2290）相当

吸気口フランジVG250（JIS B2290）相当

排油口B

排油口A（反対側）

ベルトカバー

Vベルト5V-1120×2本

モーター 15kW/4Pスライドベース付モータプーリ50Hz φ300, 60Hz φ250

冷却水入口RC1/2

冷却水出口RC1/2

吸気口フィルター

PCD320

4-φ28穴

12-φ15穴

油面計油面計

＊2 ＊2

PMB-040C

PMB-060C

排 気 速 度 曲 線

単位：mm

単位：mm

600

500

400

300

200

100

00

10000

8000

6000

4000

2000

10 101 210–1 103 104 105Pa

L/min m /h3

圧力

排気速度

VD901VD601VD401

PMB-001C 50Hz

PMB-001C 60Hz

PMB-003C 50HzPRC-003A 50Hz

PMB-003C 60HzPRC-003A 60Hz

PRC-006A 50Hz

PRC-006A 60Hz

50000

40000

30000

20000

10000

3000

2500

2000

1500

1000

500

L/min m /h3

0010 101 210–1 103 104 105

Pa

圧力

排気速度

VS1501PKS-070

PRC-012A 50Hz

PRC-012A 60Hz

PMB-024C 50Hz

PMB-024C 60Hz

010 101 210–1 103 104 105

Pa0

100000

80000

60000

40000

20000

6000

5000

4000

3000

2000

1000

L/min m /h3

圧力

排気速度

PKS-070PKS-070×2

PMB-040B

PMB-060B

Type : PMB-001C, 003C, PRC-003A, 006AForepump : PMB-001C: VD401 PMB-003C, PRC-003A: VD601 PRC-006A: VD901Power : AC200V 50/60Hz 3φOil : ULVOIL R-4Gauge : Pirani : Capasitance Manometer

Pumping Speed(JIS B8316/1985)Type : PRC-012A, PMB-024CForepump : PRC-012A: VS1501 PMB-024C: PKS-070Power : AC200V 50/60Hz 3φOil : ULVOIL R-4Gauge : Pirani : Capasitance Manometer

Pumping Speed(JIS B8316/1985)Type : PMB-040C, 060CForepump : PMB-040C: PKS-070 PMB-060C: PKS-070×2Power : AC200V 50/60Hz 3φOil : ULVOIL R-7Gauge : Pirani : Capasitance Manometer

Pumping Speed(JIS B8316/1985) PMB-001C PMB-003C PRC-003A PRC-006A

PRC-012A PMB-024C

PMB-040C PMB-060C

＊2 保守に必要な最小スペース

当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

お問い合わせ

www.ulvac.co. jp株式会社アルバック 規格品事業部

国内販売： アルバック販売株式会社 ■東日本営業統括部 TEL03-5218-6011（代） ■西日本営業統括部 TEL06-6397-2281（代）海外販売： 株式会社アルバック ■規格品事業部 TEL+81-467-89-2261

仕 　 様

1327N-1/2013030000TL

注意： 本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。 到達圧力：4.0×10-1Pa＝3.0×10-3Torr、圧力：0.05/0.1/0.2/0.3MPa＝0.5/0.1/2/3kgf/cm2

＊1 13Paにおける測定値＊2 オプションの大容量モータも取り付けると吸入圧力、および圧力差を大きくとることができます。（PMB-003C、PMB-024Cのみ）＊3 ピラニ真空計での測定（補助ポンプ、使用油は標準）。マクラウド真空計では4.0×10-2Paになります。＊4 PMB-024CMは、大気⇨真空（655Pa以上）の繰り返し排気時間が5min以上にならないようにしてください。＊5 AC200V50・60Hz、AC220V60Hz、3相＊6 標準油の他に別途ポンプ油も用意してありますので、お問い合わせください。＊7 （　）油量値：水平排気仕様の値＊8 W=Width、D=Depth、H=Height

＊9 （　）質量値：PMB-CM型およびPRC-A大気圧駆動型の値

PRCシリーズは耐圧防爆、安増防爆には対応できません。

メカニカルブースターポンプ【PRC-A/PMB-B, C（M）シリーズ】

型式 PMB-001C,CM PMB-003C,CM PRC-003A PRC-006A PRC-012A PMB-024C,CM PMB-040C PMB-060C

実効排気速度 ＊150Hz

95（1580）m3/h（L/min）

280（4670）m3/h（L/min）

280（4670）m3/h（L/min）

500（8330）m3/h（L/min）

1000（16700）m3/h（L/min）

2000（33300）m3/h（L/min） 3800（63300）m3/h

（L/min）6200（103300）m3/h（L/min）

60Hz115（1920）m3/h（L/min）

330（5500）m3/h（L/min）

330（5500）m3/h（L/min）

600（10000）m3/h（L/min）

1200（20000）m3/h（L/min）

2400（40000）m3/h（L/min）

最大吸入圧 ＊2 50Hz 9.3×103Pa 1.2×103Pa 1.3×103Pa 8.0×102Pa8.0×102Pa

60Hz 6.2×103Pa 9.3×102Pa 1.1×103Pa 6.7×102Pa

最大許容圧力差 ＊2 50Hz 8.0×103Pa 4.0×103Pa 7.3×103Pa 5.6×103Pa ̶̶

60Hz 5.6×103Pa 3.3×103Pa 6.0×103Pa 4.7×103Pa ̶̶

到達圧力 ＊3 4.0×10-1Pa 6.7×10-1Pa

駆動可能圧力 ＊4 ～ 1.0×105（PRC-A大気圧駆動型、PMB-CM）

モータ（極数）＊5 0.4（2）kW 0.75（2）kW 2.2（2）kW 3.7（2）kW 7.5（2）kW 15（4）kW 18.5（4）kW

使用油 ＊6 ULVOIL R-4 ULVOIL R-7

所要油量 ＊7 0.35L 0.7L 1.5L 1.9L 4.0（2.2）L 8.0L

冷却水

冷却方式 空冷 空冷・水冷共用 水冷

一次側圧力 ̶̶ 0.3MPa 0.1～ 0.3MPa

出入口差圧 ̶̶ 0.05MPa 0.01MPa 0.05MPa

冷却水量 ̶̶ 2L/min 3L/min 10L/min

冷却水温度 ̶̶ 5～ 30℃

吸気口径 JIS B 2290 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当 VG250相当 VG300相当

排気口径 JIS B 2290 VF50相当 VF80相当 VF200相当 VF150相当 VF200相当

外形寸法 W×D×H ＊8 271×580×180mm

290×656×260mm

296×565×260mm

356×619×320mm

406×759×340mm

540×1237×470mm

772×1182×680mm

772×1452×680mm

質量 ＊9 23（24）kg 46（48）kg 51（54）kg 86（90）kg 118（123）kg 260（272）kg 970kg モータ無 1100kg モータ無

標準補助ポンプ VD401 VD601 VD901 VS1501 PKS-070 PKS-070×2台

オプション ̶̶ 1.5kW（2）モータ 大気圧駆動型 11kW（2）モータ ̶̶

潤滑室別排気ポート ̶̶