一般工業ガス用

圧力調整器

Ⅰ

分析用標準ガス・

理科学機器用

圧力調整器

Ⅱ

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス用圧力調整器

Ⅲ

一般工業ガス

供給設備・機器

Ⅳ

分析用標準ガス

供給設備・機器

Ⅴ

大臣認定について

Ⅶ

高圧ガスの法律

Ⅷ

参考資料

Ⅸ

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス供給設備・機器

Ⅵ

275

RTB-102型（10L用）

RTB-101～5型, RTB-10201/10302/10403/10504/10605型…10L容器用 RTB-401～5型, RTB-40201/40302/40403/40504/40605型…47L容器用

Ⅵ 供給装置, 機器類 マニュアル式シリンダー・キャビネット 1

マニュアル式シリンダー・キャビネット

A

10987654321

管高圧ベント弁低圧ベント弁低圧フィルター低圧ストップ弁圧力調整器高圧フィルター高圧空気作動弁逆止弁N2パージ弁

SV

AC100V

駆動用空気

ガス漏れ警報信号

PROCESS OUT

AV２1

F２１

R２1

V２１

CV2１

10L

AV1１

F1１

R1１

V１３

V１１

CV１１

MG

0.5MPa

V２３

V2４

CV２３

V１４

CV1３

V２２

CV２２

V１２

CV1２

F１２

Ｎ２ IN

F２２

SV

SV

VENT

10L

PROCESS OUT

CHIYODA SEIKIDEC.INC.

COMPOUND

GAUGEOIL&

WATERUSE

NO

CL 1.5

kgf/cm2

cmHg

７６

　　

OIL&WATER

USE NO

CL 1.5kgf/cm2

　　　

CHIYODA SEIKIDEC.INC.

COMPOUND

GAUGEOIL&

WATERUSE

NO

CL 1.5

kgf/cm2

cmHg

７６

　　

OIL&WATER

USE NO

CL 1.5kgf/cm2

　　　

VENT　OUT

PROCESS OUT

N2 IN

10l容器

F12CV13

V14 V13

R11

V11 AV11 V12 V21

CV23 F22

V24 V23

R21

F21F11

AV21 V22

CV22CV12

CV21CV11

10l容器

PROCESS OUT

1 2 34

5

678

9

10

1600（1900）

電気制御盤排気ダンパー

ガス検知器（検知部）

ガス検知器（表示部）

一般工業ガス用

圧力調整器

Ⅰ

分析用標準ガス・

理科学機器用

圧力調整器

Ⅱ

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス用圧力調整器

Ⅲ

一般工業ガス

供給設備・機器

Ⅳ

分析用標準ガス

供給設備・機器

Ⅴ

大臣認定について

Ⅶ

高圧ガスの法律

Ⅷ

参考資料

Ⅸ

半導体用特殊材料ガス

高純度・超高純度

キャリアガス供給設備・機器

Ⅵ

Ⅵ マニュアル式シリンダー・キャビネット

276

【特長】 ●半導体製造等に使用する毒性ガス容器を格納するガスボックスで、万一ガス洩れが発生しても室内への拡散を防止し、さらに上面よりガスを除害装置へ導くことができます。 ●BA管を標準仕様とし、TIG自動溶接による製作をしています。 ●緊急遮断、全自動式、その他特殊オーダー品は、別途ご用命下さい。

【仕様】

●連結管

●圧力調整器

【シリンダー・キャビネット使用機器類】

型式

RTB-101RTB-102RTB-103RTB-104RTB-105

本数

1本

2本

3本

4本

5本

W

500

850

1200

1550

1900

D

400

H

1600

10L容器用（標準サイズ） 継手＝SWGタイプ, VCRタイプ （mm）

型式

RTB-401RTB-402RTB-403RTB-404RTB-405

本数

1本

2本

3本

4本

5本

W

500

850

1200

1550

1900

D

400

H

1900

47L容器用（標準サイズ） 継手＝SWGタイプ, VCRタイプ （mm）

型式

RTB-10201RTB-10302RTB-10403RTB-10504RTB-10605

本数

1本

2本

3本

4本

5本

W

850

1200

1550

1900

2250

D

400

H

1600

10L容器用（標準サイズ）　パージ用N2ボンベ内蔵型 継手＝SWGタイプ, VCRタイプ （mm）

型式

RTB-40201RTB-40302RTB-40403RTB-40504RTB-40605

本数

1本

2本

3本

4本

5本

W

850

1200

1550

1900

2250

D

400

H

1900

47L容器用（標準サイズ）　パージ用N2ボンベ内蔵型 継手＝SWGタイプ, VCRタイプ （mm）

スウェジロック型 シングル ダブル　パージ付 VCR型 シングル ダブル　パージ付

EX-20mkⅡ-Ｇ2　SWG接続EX-100mkⅡ-Ｇ2　SWG接続

EX-20mkⅡ-Ｇ1　VCR接続EX-100mkⅡ-Ｇ1　VCR接続

EX-20-TD　VCR接続/SWG接続EX-100-TD　VCR接続/SWG接続

EX-M-20 EP仕様　VCR接続EX-M-100 EP仕様　VCR接続

EX-20-VC　本体VCRメス接続EX-M-20-VC, EP仕様　本体VCRメス接続

P156

P155

P156 P157

P159

参照 圧力調整器のポートアッセンブリー、継手オプション一覧表は、P172～176、 圧力計オプションは、P177, 178をご参照下さい。