fizyczne podstawy mikrotechnologii
DESCRIPTION
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected]). FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII. PRÓŻNIOMIERZE. - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
![Page 1: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/1.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE
![Page 2: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/2.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE
Obecnie oferowane do sprzedaży próżniomierze umożliwiają pomiar
próżni w zakresie:
Torrp
mbarp
x
x
150010
20001012
12
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne
![Page 3: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/3.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
PRÓŻNIOMIERZE – ZAKRESY PRACY
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 4: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/4.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE -TYPY
1. Próżniomierze mechaniczne.
2. Próżniomierze hydrostatyczne.
3. Próżniomierze cieplno-przewodnościowe.
4. Próżniomierze jonizacyjne.
![Page 5: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/5.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZEMECHANICZNE
![Page 6: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/6.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE
SPIRALNE MEMBRANOWE
![Page 7: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/7.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE
SPIRALNE
![Page 8: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/8.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE SPIRALNE – ZAKRES PRACY
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 9: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/9.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE
px1
pATM
1000
800
600
400
200
0
mbar
![Page 10: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/10.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE
px1
pATM
1000
800
600
400
200
0
mbar
A
A
A-A
![Page 11: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/11.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE
px2
pATM
px2< px1
1000
800
600
400
200
0
mbar
![Page 12: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/12.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE
px3
pATM
px3<px2< px1
1000
800
600
400
200
0
mbar
![Page 13: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/13.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE SPIRALNE
Wskazania próżniomierza zależą od wartości ciśnienia
otoczenia
Zakres mierzonych ciśnień:
(1000÷10)mbar
px1
pATM
1000
800
600
400
200
0
mbar
![Page 14: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/14.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE
MEMBRANOWE
![Page 15: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/15.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MECHANICZNE – MEMBRANOWE - ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 16: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/16.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE
0
30
60
90
120
150
px1
mbar
![Page 17: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/17.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE
0
30
60
90
120
150
px1
mbar
MEMBRANA
![Page 18: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/18.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE
0
30
60
90
120
150
px2mbar
px2< px1
![Page 19: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/19.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE
0
30
60
90
120
150
px1
mbar
Wskazania próżniomierza zależą od wartości ciśnienia otoczenia
Zakres mierzonych ciśnień: (134÷2)mbar
![Page 20: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/20.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE PIEZO
ELEKTRYCZNE
![Page 21: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/21.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 22: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/22.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - BUDOWA
Wzorowano na: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD
VACUUM GmbH Cologne
p=0
px
![Page 23: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/23.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - BUDOWA
Wzorowano na: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD
VACUUM GmbH Cologne
p=0
px
GŁOWICA PRÓŻNIOMIERZA
PIEZO REZYSTORY
MEMBRANA KRZEMOWA
SZKLANE PODŁOŻE
![Page 24: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/24.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - BUDOWA
Wzorowano na: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD
VACUUM GmbH Cologne
p=0
px
GŁOWICA PRÓŻNIOMIERZA
PIEZO REZYSTORY
MEMBRANA KRZEMOWA
SZKLANE PODŁOŻE
CIŚNIENIE MIERZONE
CIŚNIENIE ODNIESIENIA
px
![Page 25: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/25.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - DZIAŁANIE
OBSZAR MEMBRANY
PIEZOREZYSTORY
PRÓŻNIA POMOCNICZA
p0
![Page 26: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/26.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - DZIAŁANIE
OBSZAR MEMBRANY
PIEZOREZYSTORY
PRÓŻNIA POMOCNICZA
p0
PRÓŻNIA MIERZONA
px
![Page 27: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/27.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE PIEZOELEKTRYCZNE - DZIAŁANIE
Naprężenia w piezorezystorach w obszarze membrany
wywołują zmiany rezystancji rezystorów w
układzie mostkowym
![Page 28: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/28.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE
POJEMNOŚCIOWE
![Page 29: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/29.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 30: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/30.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - BUDOWA
C1 C2
p1 p2
GŁOWICA
ELEKTRODA
MEMBRANA
Wzorowano na materiałach zawartych w: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM GmbH Cologne
![Page 31: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/31.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - BUDOWA
C1 C2
p1 p2
d dd
AC r 0
A – pow. elekt.d – odległość
![Page 32: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/32.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - DZIAŁANIE
C1C2
p1 p2
p2 > p1
C1 > C2d
AC r 0
d1 d2
![Page 33: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/33.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE MEMBRANOWE POJEMNOŚCIOWE - DZIAŁANIE
C1 C2
p1 p2
p1 > p2
C2 > C1d
AC r 0
d1 d2
![Page 34: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/34.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
![Page 35: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/35.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
typ1
![Page 36: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/36.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE typ1 – ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 37: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/37.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
760 Tr
500 Tr200 Tr50 Tr
pATM pATM
Rtęć
![Page 38: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/38.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
760 Tr
500 Tr200 Tr50 Tr
pATM px1
px1<pATM
![Page 39: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/39.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
760 Tr
500 Tr200 Tr50 Tr
pATM px2
px2<px1
![Page 40: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/40.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
760 Tr
500 Tr200 Tr50 Tr
pATM px2
hmmHgp
pmmHgh
mmHgph
x
x
x
760
760
760
Czułość dla rtęci 0.5 Tr
h
![Page 41: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/41.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
760 Tr
500 Tr200 Tr50 Tr
pATM px2
159.0
6.13
OLEJU
Hg
Zwiększenie czułości można osiągnąć poprzez
zamianę rtęci na olej h
![Page 42: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/42.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
TrTr
COLEJ2103
15
5.0
Czułość dla oleju
![Page 43: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/43.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
typ2
![Page 44: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/44.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE typ2 – ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 45: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/45.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
0 Tr5 Tr
10 Tr50 Tr
px1
px1<pATM
Próżnia pomocnicza
p0<<px
![Page 46: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/46.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
0 Tr5 Tr
10 Tr50 Tr
px2
px2<px1
Próżnia pomocnicza
p0<<px
![Page 47: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/47.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
0 Tr5 Tr
10 Tr50 Tr
px2
px2<px1
Próżnia pomocnicza
p0<<px
![Page 48: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/48.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE HYDROSTATYCZNE
0 Tr5 Tr
10 Tr50 Tr
px p0
h
x
x
x
x
ph
pph
pph
pp
0
0
0
![Page 49: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/49.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE
MC`LEODA
![Page 50: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/50.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 51: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/51.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – BUDOWA
KAPILARA POMIAROWA
ZBIORNIK O OBJĘTOŚCI V
KAPILARA PORÓWNAWCZA
RTĘĆ
px
![Page 52: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/52.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – BUDOWA
KAPILARA POMIAROWA
ZBIORNIK
KAPILARA PORÓWNAWCZA
RTĘĆ
DO OBSZARU PRÓŻNI
DO ZBIORNIKA Z RTĘCIĄ
px
![Page 53: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/53.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – ZASADA DZIAŁANIA
px
Rozpoczęcie pomiarów
Zbiornik pomiarowy i kapilara kompresyjna
są połączone z obszarem próżni o
ciśnieniu „px”px
![Page 54: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/54.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – ZASADA DZIAŁANIA
pxPomiary
Pomiar rozpoczyna się od podnoszenia słupa rtęci.
W momencie gdy rtęć przekroczy poziom X-X w zbiorniku pomiarowym
zostaje „uwięziona” porcja gazu o ciśnieniu
„px”
px
X X
![Page 55: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/55.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – ZASADA DZIAŁANIA
px
X X
Y Y
Pomiary
W momencie, gdy rtęć przekroczy poziom Y-Y
gaz „uwięziony” w zbiorniku i kapilarze
będzie sprężany w kapilarze pomiarowej
![Page 56: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/56.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – ZASADA DZIAŁANIA
px
Zakończenie pomiaru
Pomiar zostaje zakończony, gdy rtęć osiągnie określony
poziom (w kapilarze pomiarowej lub
kapilarze porównawczej)X X
Y Y
Z Z
![Page 57: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/57.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – ZASADA DZIAŁANIA
Odczyt wyniku
Po zakończeniu pomiaru należy odczytać różnicę:
w wysokości położenia słupa rtęci w kapilarze
porównawczej i pomiarowej
px
X X
Y Y
Z Z
lh2
h1
h
12 hhh
![Page 58: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/58.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
V0
VK
px
pK
h
K
xK
KKx
V
Vpp
VpVp
0
0
![Page 59: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/59.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
pK
h
ghhpp xK 12
px
ς – gęstość rtęcig – przyspieszenie
ziemskie
![Page 60: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/60.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
ghhV
VVp
ghhpV
Vp
K
Kx
xK
x
120
120
![Page 61: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/61.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
g
VV
hhVp
K
Kx
0
12
![Page 62: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/62.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
g
VV
hhVp
K
Kx
0
12
KVV 0
![Page 63: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/63.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
g
VV
hhVp
K
Kx
0
12
KVV 0
![Page 64: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/64.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
g
V
hhVp K
x
0
12
KVV 0
![Page 65: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/65.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
g
V
hhVp K
x
0
12
?KV
![Page 66: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/66.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
px
X X
Y Y
Z Z
lh2
h1
h
VK – objętość kapilary
1hlAVK A – pole przekroju kap.
l – wysokość kapilary
![Page 67: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/67.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – TEORIA
g
V
hhhlApx
0
121
ZALEŻNOŚĆ OGÓLNA
![Page 68: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/68.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMAR
REALIZACJA POMIARU
![Page 69: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/69.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMAR
METODA PODZIAŁKI KWADRATOWEJ
METODA PODZIAŁKI LINIOWEJ
REALIZACJA POMIARU
![Page 70: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/70.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMAR
METODA PODZIAŁKI KWADRATOWEJ
Przy pomiarze dowolnego ciśnienia rtęć doprowadzana jest zawsze do
poziomu Z-Z
![Page 71: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/71.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMAR
METODA PODZIAŁKI KWADRATOWEJ
px
X X
Y Y
Z Z
l h2
h1
h
12
2
hhh
hl
![Page 72: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/72.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
g
V
hhhlApx
0
121
g
V
hhhhApx
0
1212
![Page 73: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/73.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
g
V
hhhhApx
0
1212
![Page 74: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/74.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
g
V
hhApx
0
212
![Page 75: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/75.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
g
V
hhApx
0
212
12 hhh
![Page 76: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/76.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
g
V
hApx
0
2
![Page 77: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/77.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
g
V
hApx
0
2
KKgVA 0/
![Page 78: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/78.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
2hKp Kx
![Page 79: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/79.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
hKdp
dhC
KxK 2
1
Czułość metody zależy od wartości mierzonego ciśnienia
![Page 80: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/80.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMAR
METODA PODZIAŁKI LINIOWEJ
Przy pomiarze dowolnego ciśnienia rtęć doprowadzana jest zawsze do
poziomu „h1” w kapilarze pomiarowej
![Page 81: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/81.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMAR
METODA PODZIAŁKI LINIOWEJ
px
X X
Y Y
Z Z
lh2
h1
h
constH
Hhl
1
![Page 82: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/82.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
g
V
hhhlApx
0
121
g
V
hhAHpx
0
12
![Page 83: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/83.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
g
V
hhAHpx
0
12
12 hhh
![Page 84: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/84.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
gV
AHhpx
0
![Page 85: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/85.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
gV
AHhpx
0
gVAHKL 0/
![Page 86: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/86.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
hKp Lx
![Page 87: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/87.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE KOMPRESYJNE MC`LEODA – POMIAR
LxL Kdp
dhC
1
Czułość metody nie zależy od wartości mierzonego ciśnienia
![Page 88: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/88.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE CIEPLNO
PRZEWODNOŚCIOWE
![Page 89: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/89.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE CIEPLNO-PRZEWODNOŚCIOWE – ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 90: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/90.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE CIEPLNO PRZEWODNOŚCIOWE
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE
PIRANIEGO
![Page 91: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/91.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 92: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/92.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – IDEA
Idea pomiaru w próżniomierzu oporowym Piraniego polega na
rejestracji zmian oporu (rezystancji) włókna (drutu) oporowego rozpiętego
w głowicy wypełnionej gazem o mierzonym ciśnieniu
![Page 93: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/93.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – BUDOWA
Głowica próżniomierza
z włóknem oporowym w
kształcie spiralki
SZKLANA OBUDOWA GŁOWICY
WŁÓKNO OPOROWE W KSZTAŁCIE SPIRALKI
px
![Page 94: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/94.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – IDEA
Zmiana warunków odprowadzania ciepła od włókna, na przykład w wyniku zmian ciśnienia gazu w
otoczeniu włókna powoduje zmianę temperatury drutu oporowego i zmianę
rezystancji włókna
![Page 95: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/95.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – IDEA
Rejestracja zmian rezystancji włókna pomiarowego w układzie mostkowym
V GU
R1R2
R3
Rx
px
Ig
![Page 96: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/96.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px
Ciepło od włókna może być odprowadzane przez:
PROMIENIOWANIE
![Page 97: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/97.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px
Ciepło od włókna może być odprowadzane przez:
PROMIENIOWANIE
![Page 98: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/98.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
Ilość ciepła odprowadzana od włókna przez promieniowanie
240
4 / mWTTKq xRR
Tx – temperatura włókna oporowego
T0 – temperatura osłony
![Page 99: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/99.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px
Ciepło od włókna może być odprowadzane przez:
PRZEWODNICTWO CIEPLNE GAZU
(UNOSZENIE, KONWEKCJĘ)
![Page 100: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/100.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px
Ciepło od włókna może być odprowadzane przez:
PRZEWODNICTWO CIEPLNE GAZU
(UNOSZENIE, KONWEKCJĘ)
![Page 101: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/101.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
Ilość ciepła odprowadzana od włókna przez przewodnictwo cieplne gazu (konwekcję)
20 / mWpTTKq xxCC
Tx – temperatura włókna oporowegoT0 – temperatura osłonypx – ciśnienie otaczającego włókno gazu
![Page 102: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/102.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px
Ciepło od włókna może być odprowadzane przez:
PRZEWODNICTWO CIEPLNE
WYPROWADZEŃ
![Page 103: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/103.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px
Ciepło od włókna może być odprowadzane przez:
PRZEWODNICTWO CIEPLNE
WYPROWADZEŃ
![Page 104: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/104.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
Ilość ciepła odprowadzana od włókna przez doprowadzenia
2/ mWconstqC
![Page 105: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/105.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
Bilans równowagi
cieplnej
pxxCxRz qpTTKTTK
A
W 0
40
4
![Page 106: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/106.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px
10010110-2
10-1
10-3
10-4
10-5
ST
RA
TY
CIE
PŁ
A
CIŚNIENIE p [mbar]
IIIIII
![Page 107: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/107.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px1
10010110-2
10-1
10-3
10-4
10-5
ST
RA
TY
CIE
PŁ
A
CIŚNIENIE p [mbar]
I
PROMIENIOWANIE PRZEWODNICTWO CIEPLNE
WYPROWADZEŃ
![Page 108: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/108.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px2
px2> px1
10010110-2
10-1
10-3
10-4
10-5
ST
RA
TY
CIE
PŁ
A
CIŚNIENIE p [mbar]
LINIOWA ZALEŻNOŚĆ OD PRZEWODNICTWA CIEPLNEGO GAZU
![Page 109: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/109.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE OPOROWE PIRANIEGO – DZIAŁANIE
px3
10010110-2
10-1
10-3
10-4
10-5
ST
RA
TY
CIE
PŁ
A
CIŚNIENIE p [mbar]
px3> px2 > px1
PROMIENIOWANIE PRZEWODNICTWO
CIEPLNE GAZU
![Page 110: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/110.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE CIEPLNO PRZEWODNOŚCIOWE
PRÓŻNIOMIERZE TERMO
ELEKTRYCZNE
![Page 111: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/111.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE – ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 112: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/112.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE – IDEA
Idea pomiaru w próżniomierzu termoelektrycznym polega na
rejestracji zmian siły termoelektrycznej termopary
umieszczonej w głowicy wypełnionej gazem o mierzonym
ciśnieniu
![Page 113: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/113.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE – IDEA
W zależności od ciśnienia gazu w głowicy pomiarowej zmieniają się warunki przekazywania ciepła do
spoiny termopary (typ I) lub możliwości rozpraszania ciepła
(typ II)
![Page 114: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/114.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE
PRÓŻNIOMIERZ TERMO
ELEKTRYCZNY TYP I
![Page 115: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/115.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 1) – BUDOWA
GRZEJNIK
mV
TERMOPARA
px
![Page 116: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/116.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 1) – DZIAŁANIE
GRZEJNIK
mV
TERMOPARA
px
W zależności od ciśnienia gazu zmieniają się warunki
przekazywania ciepła do spoiny termopary
spx Tp ,
![Page 117: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/117.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 1) – DZIAŁANIE
GRZEJNIK
mV
TERMOPARApx1
SIŁA TERMOELEKTRYCZNA
UT1
![Page 118: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/118.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 1) – DZIAŁANIE
SIŁA TERMOELEKTRYCZNA
UT2
GRZEJNIK
mV
TERMOPARApx2
px2 > px1
UT2>UT1
![Page 119: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/119.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE
PRÓŻNIOMIERZ TERMO
ELEKTRYCZNY TYP II
![Page 120: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/120.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 2) – BUDOWA
GRZEJNIK
mV
TERMOPARA
px
![Page 121: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/121.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 2) – DZIAŁANIE
GRZEJNIK
mV
TERMOPARA
px
W zależności od ciśnienia gazu zmieniają się warunki
rozpraszania ciepła dostarczanego przez grzejnik
do spoiny termopary
spx Tp ,
![Page 122: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/122.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 2) – DZIAŁANIE
GRZEJNIK
mV
TERMOPARApx1
SIŁA TERMOELEKTRYCZNA
UT1
![Page 123: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/123.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE TERMOELEKTRYCZNE (TYP 2) – DZIAŁANIE
GRZEJNIK
mV
TERMOPARApx2
SIŁA TERMOELEKTRYCZNA
UT2
px2 > px1
UT2 < UT1
![Page 124: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/124.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZ TERMOELEKTRYCZNY (TYP 2) – CHARAKTERYSTYKA
UT
2.5
7.5
5.0
10
0
[mV]
110-1
10-2
10-3
ARGONPOWIETRZE, AZOT, TLEN WODÓR
CIŚNIENIE px [mbar]Zaczerpnięto z: A. Hałas „TECHNOLOGIA WYSOKIEJ PRÓŻNI” , PWN, Warszawa 1980
![Page 125: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/125.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE
![Page 126: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/126.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE
Z „GORĄCĄ” KATODĄ
JARZENIOWE
![Page 127: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/127.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE Z
GORĄCĄ KATODĄ
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE
![Page 128: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/128.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 129: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/129.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – BUDOWA
A A
GŁOWICA
KOLEKTOR ELEKTRONÓW
KOLEKTOR JONÓW
ŻARZONA KATODA
+ -
+ +- -
px
![Page 130: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/130.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
A A
ŻARZONA KATODA
+ -
+ +- -
px
Emisja elektronów
![Page 131: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/131.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
A A
Elektrony kierują się do anody
+ -
+ +- -
px
ANODA
![Page 132: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/132.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
A A
Jonizacja cząstek gazu
+ -
+ +- -
px
ANODA
![Page 133: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/133.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
A A
Jonizacja cząstek gazu
+ -
+ +- -
px
ANODA+
![Page 134: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/134.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
A A
zjonizowane cząsteczki
gazu kierują się do
kolektora + -
+ +- -
px
KOLEKTOR JONÓW+++
![Page 135: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/135.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
A AIKe
+ -
+ +- -
px
KOLEKTOR JONÓW
+++
ANODA KOLEKTOR
ELEKTRONÓW
IKj
![Page 136: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/136.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
Podczas pracy głowicy w obwodach obu kolektorów obserwuje się przepływ prądów:
Ike – prąd kolektora elektronów
Ikj – prąd kolektora jonów
![Page 137: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/137.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
IKe – prąd kolektora elektronów
eKKe III Ike – prąd kolektora elektronówIK – prąd elektronów emitowanych z katodyIe – prąd elektronów gen. w procesach jon.
![Page 138: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/138.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
IKj – prąd kolektora jonów
xjKj III IKj – prąd kolektora jonówIj – prąd jonowy (ilość zjon. cząsteczek gazu)Ix – prąd „szumowy”
![Page 139: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/139.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
Ilość elektronów generowanych w procesach jonizacji powinna być równa ilości
powstających w tych procesach jonów gazu
je II
![Page 140: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/140.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
W typowym zakresie mierzonych ciśnień:
xj II eK II Prąd jonowy jest znacznie
większy od prądu „szumowego”
Prąd elektronów z katody jest znacznie większy od prądu
elektronowego pojawiającego się w procesach jonizacji
![Page 141: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/141.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
W rezultacie:
jKj II KKe II Prąd kolektora jonów jest „prawie” równy prądowi
jonowemu
Prąd kolektora elektronów jest „prawie” równy prądowi
elektronów emitowanych z katody
![Page 142: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/142.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
+ -+++
KexKj ICpI
Kolektor jonówKolektor elektronów
IKe IKj
px
![Page 143: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/143.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
+ -+++
Kolektor jonówKolektor elektronów
IKe IKj
px
KexKj ICpI
Mierzone ciśnienie
![Page 144: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/144.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
Ke
Kj
x I
I
pC
1Czułość próżniomierza jonizacyjnego
![Page 145: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/145.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ
Charakterystyka próżniomierzy:
1. Próżniomierze wymagają skalowania. Dokładne teoretyczne wyznaczenie skali próżniomierza jest niemożliwe.
2. Wskazania próżniomierza zależą od rodzaju gazu (skalowanie najczęściej dla azotu lub powietrza)
![Page 146: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/146.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ
Charakterystyka próżniomierzy:
3. Dokładność pomiaru wysokich ciśnień jest duża (rzędu kilkunastu procent)
4. Pomiary ciśnień niskich są obarczone znacznym błędem (rzędu kilkuset procent)
5. Mała bezwładność wskazań
![Page 147: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/147.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z GORĄCĄ KATODĄ
Charakterystyka próżniomierzy:
6. Stosowanie wolframowych, żarzonych katod związane jest z ryzykiem ich „przepalenia” w przypadku gdy ciśnienie w głowicy jest zbyt wysokie
![Page 148: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/148.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE JARZENIOWE
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE
![Page 149: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/149.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJE JARZENIOWE – ZAKRES PRACY
PRÓŻNIOMIERZE MECHNICZNE
10-14
10-13
10-12
10-9
10-11
10-10
10-8
10-7
10-6
10-5
10-4
10-3
10-2
10-1
100
10110
2
p [mbar]
NISKA PRÓŻNIA
ŚREDNIA PRÓŻNIA
WYSOKA PRÓŻNIA
ULTRAWYSOKA PRÓŻNIA
mbar
37 1010 mbar
110 3
mbar
3101mbar
710
Informacja zaczerpnięta z: LEYBOLD VACUUM PRODUCTS AND REFERENCE BOOK 2001/2002 LEYBOLD VACUUM
GmbH Cologne
![Page 150: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/150.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – BUDOWA
GŁOWICAANODA
KOLEKTOR ELEKTRONÓW
KATODA KOLEKTOR
JONÓW
+
-px
A
B
U
R
![Page 151: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/151.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – BUDOWA
GŁOWICA
ANODA KOLEKTOR
ELEKTRONÓW
KATODA KOLEKTOR
JONÓW
+
-px
A
B
U
RZWIĘKSZENIE
CZUŁOŚCI GŁOWICY
![Page 152: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/152.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
U=2kV
+
-
px
A
B
R
Zainicjowanie wyładowania jarzeniowego
![Page 153: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/153.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
U=2kV
+
-
px
A
B
R
Zainicjowanie wyładowania jarzeniowego
![Page 154: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/154.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
U=2kV
+
-
px
A
B
R
Jonizacja cząsteczek gazu
+
![Page 155: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/155.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
U=2kV
+
-
px
A
B
R
+
„Wychwytywanie” jonów gazu przez katodę
![Page 156: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/156.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
U=2kV
+
-
px
A
B
R
+
Przemieszczanie się elektronów do anody
![Page 157: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/157.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
W układzie diodowym ilość
elektronów docierających do anody jest równa
ilości jonów bombardujących
obie katody
px
B
KATODA
ANODA+
-
xpI
![Page 158: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/158.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
xpCI I – rejestrowany w głowicy prąd (jonowy, elektr.)C – czułość głowicypx – mierzone ciśnienie
![Page 159: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/159.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
xpCI I – rejestrowany w głowicy prąd (jonowy, elektr.)C – czułość głowicypx – mierzone ciśnienie
![Page 160: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/160.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
xj III Ij – prąd jonowy lub elektronowy
Całkowity prąd rejestrowany w głowicy
Ix – prąd „szumowy”
![Page 161: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/161.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
emux III Iu – prąd upływnościowy
Prąd „szumowy”
Iem – prąd emisji polowej
![Page 162: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/162.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
Prąd „szumowy”R
ejes
trow
any
w g
łow
icy
prąd
Mierzone ciśnienie
I=Ix
I=Ij+Ix
![Page 163: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/163.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JON. Z ZIMNĄ KATODĄ – DZIAŁANIE
Prąd „szumowy”R
ejes
trow
any
w g
łow
icy
prąd
Mierzone ciśnienie
I=Iu+Iem
ZAKRES NISKICH CIŚNIEŃ
![Page 164: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/164.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE JARZENIOWE
Charakterystyka próżniomierzy:
1. Próżniomierze wymagają skalowania.
2. Wskazania w dużym stopniu zależą od składu gazu (skalowanie najczęściej wykonuje się dla azotu lub powietrza.
3. Mała bezwładność wskazań
![Page 165: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/165.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII
Dr inż. Krzysztof Waczyński, Instytut Elektroniki, Politechnika Śląska, Akademicka 16, 44-100 Gliwice (email: [email protected])
PRÓŻNIOMIERZE JONIZACYJNE JARZENIOWE
Charakterystyka próżniomierzy:
4. Podstawowe zalety to: duża czułość, odporność na nagłe zapowietrzenie w czasie pracy.
5. Próżniomierze mogą być stosowane tam gdzie dokładność nie jest najważniejsza ale istotna jest niezawodność praca próżniomierza
![Page 166: FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII](https://reader035.vdocuments.pub/reader035/viewer/2022062408/5681369d550346895d9e3f7d/html5/thumbnails/166.jpg)
FIZYCZNE PODSTAWY MIKROTECHNOLOGII