アドバンスト真空測定ソリューション

PRODUCT GUIDE FOR VACUUM GAUGES, CONTROLLERS AND MODULES

Vacuum

Gauging

アドバンスト真空測定ソリューション

Stabil-Ion® ゲージ、コントローラ、モジュール

シリーズ360、シリーズ 370 Stabil-Ion®ゲージ

• 精密加工、ストレス緩和アノードのオールメタルが形状を保持

• グリッド及びフィラメントの損傷を防止する頑丈なステンレススチール構造

• 正確な位置に固定されたデュアルフィラメントにより安定性とキャリブレーションを維持

• 汚染やスピードシステムポンプダウンを防ぐ真空焼成コンポーネント

• 独特な設計と精密な製造プロセスによる長期寿命、正確な測定

シリーズ370 Stabil-Ion® 真空測定システム

• Stabil-IonとConvectron用のオールメタル、ラックマウントコントローラは、CE対応の耐ノイズ性

• 圧力測定範囲 E-9 Pa～

• デュアルconvectronゲージオプションにより圧力測定範囲を大気圧まで拡大し、Stabil-Ionゲージ　の自動オン/オフを可能にする

• 3つのゲージに対し同時に3桁の表示圧力

• RS-232またはRS-485のコンピュータインターフェイスオプション

シリーズ347 Stabil-Ion® モジュール

• コンパクトなパッケージで、優れたStabil-Ionゲージパフォーマンス

• E-8 Pa～ の正確な真空圧力測定

• 稼働時間向上のためのデュアルゲージフィラメント

• ガラスを排除したオールメタルデザインにより、RFに対する高い耐性を提供

• 迅速かつ簡単にゲージ交換できるモジュラーデザイン

MKSは、既存の10E-9 Pa ～200KPa真空測定製品ラインの他に、正確で信頼性の高い真空測定技術を持つグランビル•フィリップス真空計、電子機器、モジュラー真空製品、それらを組合せたソリューションが加わった事で、最善かつ広範囲の真空圧力測定ソリューションにより、半導体プロセスツール、分析機器、教育•政府の研究、工業プロセス等の様々な真空プロセスの品質と生産性向上のための精度、安定性と信頼性を提供します。

MKSの真空計、トランスデューサ、センサ及びコントローラはConvectron®、マイクロIon®、MicroPirani™、ピエゾ、ホット/コールドカソード、STABIL-Ion®、およびMEMSベースのマルチセンサ技術を含む複数の圧力測定技術から成っています。これらの真空計、トランスデューサは単体又は、組合せた一体型での使用により、ガス単体からの観点、活性ガス(Aggressive Gas)の圧力範囲、許容範囲(Tolerance)をカバーした、様々な圧力、真空測定オプションをご使用いただけます。

Stabil-Ion®製品は、ベアード•アルパート（BA）ホットカソードゲージ技術とエレクトロニクスの最も正確な製品です。これらは、正確で再現性のある真空圧力表示が重要な真空研究及び製造プロセスに使用されています。 Stabil-Ionゲージは長期的な精度維持のために開発されたオールメタルB-Aスタイルゲージです。多くの特許を取得した設計の特徴は、一般的なB-Aゲージ製品で発生する不正確さと圧力表示の変化

Vacuum Measurement Products

Micro-Ion® ゲージ、コントローラ、モジュール

Micro-Ion®ゲージは、オールメタル、頑丈な筐体で世界最小のB-Aスタイルゲージです。マイクロイオンゲージは、コンパクトで、信頼性が高く、費用対効果があり、広い範囲の真空圧力を測定します。マイクロイオンモジュールは、複数のオプションは異なる機能を有しており、E-7Pa から大気圧の広い範囲での正確な圧力測定が可能です。

シリーズ355小型B-Aゲージ

• グリッド及びフィラメントの損傷を防止し、ガラス割れのリスクを無くした頑丈なオール　メタル筐体

• 5E-8～7 Paの圧力測定

• 体積が従来のガラスB-Aゲージの5％未満

• 消費電力は一般的なガラスゲージやヌードB-Aゲージのわずか8％

• デュアルタングステンやバーンアウト耐性のイットリア被覆イリジウムフィラメントによる　長いゲージ寿命

シリーズ 358 Micro-Ion® 真空ゲージコントローラ

• コンパクト、高い信頼性、ラックマウントコントローラによる最適なマイクロイオンゲージ　パフォーマンス

• 真空圧力測定範囲E-8 Pa～

• デュアルconvectronゲージオプションにより圧力測定範囲を大気圧まで拡大し、Stabil-Ionゲ　ージの自動オン/オフを可能にする

• 最大6つまでのセットポイントリレーによるプロセス制御オプションおよび強制個別操作可能

• RS-232またはRS-485のコンピュータインターフェイスオプション

シリーズ354, 392, 390 Micro-Ion®モジュール

• シリーズ354/マイクロイオン：真空圧力測定範囲5E-7Pa ～7Pa

• シリーズ392/マイクロイオンプラス：測定範囲 E-7 Pa～大気圧

• シリーズ390/マイクロンイオンATM：測定範囲E-7Pa～大気圧 および ガス種に依存しない大気圧を測定可能

ベアード•アルパート真空ゲージ、コントローラ

ガラス管ゲージとヌードB-Aゲージは、低価格で優れた真空測定を提供します。 UHVシステム用ヌードB-Aゲージは、一般的にシリーズ307およびシリーズ350 UHV真空計コントローラと共に使用しE-9Paまでの圧力を測定します。シリーズ307および350コントローラは使いやすく、オプションの圧力セットポイントにより、バルブの切り替え、インターロック、アラーム等の様々なシステム機能のコントロールが可能です。

シリーズ274 グラス、ヌードB-A ゲージ

• 業界標準電極電圧による広範囲のエミッション電流10μA～10 mA

• バーンアウト耐性フィラメントおよび標準真空接続で利用可能

• 電子衝撃（EB）によって脱ガスできます。一部、抵抗値（I2R）によって脱ガスできるものもあります

• 1E-7 Pa～1E-1 Pa 範囲での良好な真空圧力測定により経済的なコスト効果を提供します

• ガラス管またはヌードモデルで利用可能

シリーズ307 、350 UHVコントローラ

• 下限測定限界：エミッション電流10 mAおよびゲージ感度25Torrで 2E-9PaまたはB-Aゲージの 　X線限界

• 上限測定限界：エミッション電流0.1 mAおよびゲージ感度25Torrで1Pa

• エミッション電流：0.01 ～ 10 mAで制御、調整可能

• 対数アナログ出力：０～１０Vdc、１V/１桁

• SPDTリレー付き最大6チャンネルのプロセスセットポイントは圧力測定範囲全域で設定可能で　あり、強制個別操作可能

• RS-232またはRS-485のコンピュータインターフェイス

Vacuum Measurement Products

コールドカソードゲージ、モジュール、トランスデューサ

シリーズ500コールドカソードゲージは卓越した精度のコールドカソードゲージです。マイクロプロセッサ監視と制御を備えたモダンな設計技術により、長寿命、高精度、及び容易な予測とメンテナンスを実現します。970シリーズは、コールドカソード、MicroPirani™およびピエゾの1～3個のセンサを使用した、コンパクト、低コスト、汎用トランスデューサのファミリーです。これらのセンシング技術を組み合わせることでE-6Paから大気圧の広範囲の測定が可能です。コンパクト、広範囲測定、低コストに加え、970シリーズは、デジタル通信、または自律アナログ装置としての操作が可能です。970シリーズは、971B UniMag（コールドカソード）、972B DualMag（マイクロピラニ/コールドカソード）と974B QuadMag（ピエゾ/ マイクロピラニ/コールドカソード）の3機種です。ディスプレイとIP54エンクロージャオプションがあります。

シリーズ500コールドカソードゲージモジュール

• E-8Pa ～１Paの広い測定範囲

• キャリブレーションゲージのオプションは、±10％の精度を提供します

• 寿命予測が可能であり、メンテナンスが容易

• USBインターフェースとGP接続ソフトウェアは、セットアップとモニターゲージ操作に使用します

• バッフルは、プロセスチャンバに入り込む物からスパッタされた材料を守ります

シリーズ970B コールドカソードトランスデューサ

• E-6Pa～133KPaの広い測定範囲

• コールドカソードゲージは、より長寿命を実現するため圧力5E-2Pa でオンにします

• スモールフットプリントのデザインは、ツールリアルエステートをセーブします

• ユーザが保守出来るアノードモジュールデザインで、ダウンタイムの短縮と修理費用の削減を実現します

• 操作を容易にするため、すべてのトランスデューサでアナログ、デジタル通信の両方を搭載しています

• 単一のアナログ出力と個々のセンサの測定値を組み合わせる事で、インターフェースをシンプルにします

422, 423 & 431 I-Mag® コールドカソード真空センサ

• E-9Pa～１Paの広い測定範囲

• 精度向上のためのデュアルフィードスルーイオンコレクション

• 放射線耐性、高温タイプオプション

• 取り外し可能なチューブでセンサのクリーニングが容易

• 単離されたコレクタによりセンサチューブが汚染されにくい

Vacuum Gauge Transducers & Modules

Vacuum Quality Monitor (VQM ®) Systems

MicroPirani™/Piezo Loadlock

MicroPirani & differential Piezo for fast, accurate, gas-independent atmospheric measurement on loadlocks

Convection enhanced Pirani is factory calibrated

Micro-Ion gauge provides high sensitivity for low noise & higher accuracy

Micro-Ion, Conductron, and two Piezo sensors provide extended range & gas-independent high pressure measurement

Micro-Ion & Conductron are combined for full range measurement

Stabil-Ion gauge provides unmatched stability/repeatability over time

Double inverted magnetron provides unprecedented accuracy & predictive maintenance

World’s fastest, lowestpower mass spectrometer; full data collection, spectral deconvolution & data logging

Extends pressure range of VQM for process monitoring & control applications up to 3 Torr.

MicroPirani provides measurement 1 – 2 decades lower than standard Pirani gauges

MicroPirani & absolutePiezo for increased accuracy & gas-independent measurement at higher pressures

MEMS based Piezo sensor for gas-independent measurement

MicroPirani

DualTrans™ MicroPirani/Absolute Piezo

Mini-Convectron®

Absolute Piezo

Micro-Ion®

Micro-Ion ATM

Micro-Ion Plus

Stabil-Ion®

Cold Cathode Gauge

UniMag™

DualMag™

QuadMag™

VQM Differential Pump System

Vacuum Quality Monitor (VQM)System

COLD CATHODE ION SENSOR

COLD CATHODE ION SENSOR

COLD CATHODE ION SENSOR HEAT-LOSS SENSOR

PRESSURE MEASUREMENT RANGE

OPERATING PRESSURE RANGE

HOT CATHODE ION SENSOR

HOT CATHODE ION SENSOR

Stand-alone compact cold cathode

Combination cold cathode, MicroPirani, differential Piezo

Combination cold cathode, MicroPirani HEAT-LOSS SENSOR

ABSOLUTE / DIFFERENTIAL DIAPHRAGM SENSOR

HEAT-LOSS SENSORABSOLUTE / DIFFERENTIAL

DIAPHRAGM SENSOR

HEAT-LOSS SENSOR

HEAT-LOSS SENSOR ABSOLUTE / DIFFERENTIAL DIAPHRAGM SENSOR

HEAT-LOSS SENSOR ABSOLUTE DIAPHRAGM SENSOR

10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 10 100 1000 10000 100000

10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 10 100 1000 10000 100000

Vacuum Gauges

Vacuum Gauge Controllers

Convection-enhanced Pirani gauge provides high accuracy & repeatability

Based on inverted magnetron design with unique dual feedthrough for increased range & accuracy

Most accurate Bayard-Alpert features an all metal gauge tube forstability & long-term repeatability

Pressure measurement for an economical cost, available with burn-out resistant filaments & standard connections

Smallest Bayard-Alpert style, more rugged with wide range, generates less heat, greater burnout resistance

Single Convectron controller includes pre-programmed gas curves

Micro-Ion half rack with optional two convectrons

Dual (sequential) Stabil-Ion full rack controller w/optional two Convectrons provides high accuracy & repeatable measurement

Bayard-Alpert full rack controller with optional two Convectron gauges

Bayard-Alpert UHV half rack controller with optional two Convectron gauges

Stand-alone, single channel, or tool for configuration & for advanced system diagnostics

Supports a wide range of sensor technologies including cold & hot cathode, Pirani, Piezo & Baratron® gauges

Versatile half-rack controller provide pressure measurement along with flow & pressure control

Convectron® Pirani

Convectron®

I-Mag® Cold Cathode

Micro-Ion®

Stabil-Ion®

Bayard-Alpert

Stabil-Ion®

Glass/NudeBayard-Alpert Ionization

Bayard-Alpert

Bayard-Alpert UHV

Vacuum GaugeController

Micro-Ion®Bayard-Alpert

For Series 900 Transducers

OPTIONAL: UHV BAYARD-ALPERT GAUGE

OPTIONAL: 2 CONVECTRON GAUGES

1 OR 2 BAYARD-ALPERT GAUGES

1 CONVECTRON GAUGE

NUDE

OPTIONAL: 2 CONVECTRON GAUGES

OPTIONAL: 2 CONVECTRON GAUGES

OPTIONAL: 2 CONVECTRON GAUGES

GLASS

1 MICRO-ION GAUGE

1 OR 2 STABIL-ION GAUGE

1 UHV BAYARD-ALPERT GAUGE

PRESSURE MEASUREMENT RANGE

PRESSURE MEASUREMENT RANGE

Vacuum SystemController

COLD CATHODE SENSOR

HEAT-LOSS SENSOR

CAPACITANCE DIAPHRAGM GAUGE AND PIEZO DIAPHRAGM GAUGE

FLOW RANGE - 2.0 x 10-3 SCCM to 1,000 SLM

PRESSURE CONTROL RANGE

10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 10 100 1000 10000 100000

10-9 10-8 10-7 10-6 10-5 10-4 10-3 10-2 10-1 1 10 100 1000 10000 100000

Mini-Convectron®, Convectron®ゲージ、コントローラ、モジュール

コンベクトロンゲージはE-2Paから大気圧までを正確に測定でき、30年以上に渡って多くの真空プロセスに使用されている世界的にスタンダードなコンベクションゲージです。コンベクトロンゲージは工場出荷時に一つ一つ校正しています。シリーズ475コンベクトロンゲージコントローラは、エレクトロニクス、デザイン共に最新技術を搭載しています。コンベクトロンゲージとエレクトロニクスをコンパクトなモジュラー設計で組合せたミニコンベクトロンモジュールは、数十通りのオプションや機能によりE-1Paから大気圧までを正確に測定します。

シリーズ275 Mini-Convectron® モジュール

• DeviceNetデジタルインタフェースによりシステム統合が容易

• E-1 Pa～大気圧の広い測定範囲

• 個別に校正されたゲージは高い測定精度を保証します

• コンパクト、頑丈、RF及びノイズ免疫モジュールはCE取得

• 2つのソフトウェア制御のセットポイントリレーによるセーフティーインターロック

シリーズ275 Convectron® 真空ゲージ

• E-2 Pa～大気圧の広い真空圧力測定範囲

• 個別に校正されたゲージは高い測定精度を保証します

• 限られたスペースでのインストールが容易

• 真空管継手の幅広い選択肢により真空システムへのインストールが容易

• 頑丈な構造

シリーズ475 Convectron®ゲージコントローラ

• ベンチトップ、パネルマウント用の高性能でコンパクトなコントローラ

• E-2 Pa～大気圧の広い真空圧力測定範囲

• アナログ出力、セットポイントリレー、シリアル通信インターフェースのI / Oオプション

• N2、アルゴン、ヘリウム、CO2、O2のガス曲線は事前プログラムされています

• 階層式メニューによるシンプルな構成、キャリブレーション、パラメータ設定可能

• 自動診断機能

• RS-232またはRS-485のコンピュータインターフェイス

900シリーズトランスデューサ

真空トランスデューサ900シリーズは真空測定範囲が広く、超コンパクトデザインのマイクロプロセッサベース自立型ゲージです。システム統合のためにデザインされた900シリーズは、アナログ、デジタル通信の両方に対応しており、MicroPirani™およびピエゾセンサを含めMEMSベースの技術が組み込まれています。また、精度を落とさずにあらゆる方向で取り付けられるのでインストールが簡単です。900シリーズ共通の特徴、機能：

• １E-3Pa～200KPa • 制御処理のための最大3セットポイントリレー • RS-232またはRS-485のデジタルインタフェース

• アナログ電圧出力 • 一体型ディスプレイタイプあり

シリーズ901P MicroPirani™/Piezo Loadlock トランスデューサ

• E-3 Pa～133KPaの正確な絶対測定、ガス依存しない（８～１３３KPa）

• 高速、正確、再現性の圧力測定でプロセスサイクル時間削減

• アナログ出力とデジタル通信でインテグレーションが容易

シリーズ902B絶対圧ピエゾトランスデューサ

• 10Pa～133KPaのフルスケールレンジ

• 高価な従来のトランスデューサの代替となる低コストトランスデューサ

• ガス依存しない正確な全圧力測定用

• 強固なデザインとステンレススチール構造により過酷なプロセスに適しています

• ソリッドステートピエゾセンサは空気や振動による損傷に耐性があります

シリーズ910 DualTrans™ MicroPirani™/絶対圧ピエゾトランスデューサ

• 2つのセンサーを含むトランスデューサによる省スペースと幅広い測定範囲

• E-3 Pa～200K Paの絶対圧測定

• ガス依存しない15～200KPaの絶対圧測定

• 高速、正確、再現性の圧力測定でプロセスサイクル時間削減

シリーズ925 MicroPirani™ トランスデューサ

• E-3 Pa ～大気圧の測定レンジで20年以上に渡り標準ピラニです

• 高精度でプロセス制御を改善

• N2、アルゴン、ヘリウム、H2、H2O、キセノン、CO2のガス曲線は事前プログラムされています

900シリーズ真空ログソフトウェア

• 900シリーズトランスデューサ用のデータログソフトウェア • 診断ツール

• 真空排気曲線図 • ライセンス不要なフリーウェア

• RORリークテスト

Vacuum Measurement Products

コンビネーションゲージ/システムコントローラ

MKSは幅広いゲージテクノロジとシステム調整により、様々なアプリケーションで使用出来る柔軟性の高い真空計コントローラを提供します。これらの汎用性真空コントローラは、電力供給し、圧力制御、キャリブレーション、システム診断プログラムのオプションにより、最大6台の真空ゲージ又はマスフローコントローラの同時リードアウトを可能にします。これらは、OEMアプリケーション向け真空ゲージの新しい標準を作ります。

シリーズ937B デジタルコンビネーション真空ゲージシステム

• 最大6台の組み合わされた真空計を同時に読み出します

• E-9 Pa～1.3MPaの広い測定範囲

• 直接的なメニューでセットアップが容易

• 大きく読みやすいバックライトディスプレイ

• トール、ミリバール、パスカル、ミクロンの圧力単位の中から設定可能

• 最大6台の加熱されたBaratron®キャパシタンスマノメータ構成可能

• 改良された可変ヒステリシス付きプロセスコントロールのための独立した12個のリレーセットポイント

シリーズ 946真空システムコントローラ

• 最大6台の真空計または、6台のマスフローコントローラの同時制御や読み出しによる優れた多用　途性

• 圧力測定、流量、バルブ、圧力の制御機能

• MKSバルブと使用する際、別途圧力制御エレクトロニクスを用意する必要の無い、クローズループ圧力制御オプション

• 全ての構成でRS-232/485コンピュータ制御が標準搭載されているのでシステムインターフェイスが容易

シリーズPDR900コントローラ

• 900シリーズトランスデューサ用シングルチャンネルコントローラ

• LCDメニュー表示による簡単なユーザインタフェース

• 読みやすい5桁のLEDディスプレイ

• 3つの高出力セットポイントリレーによるプロセス制御

• プラグアンドプレイ機能を使用可能なオートセットアップ

• システム診断のためのリーク検出ツール

• プロセス監視のためのデータロギングツール

• トランスデューサパラメータのセットアップと設定が容易

• セットポイントリレーの状態を明確かつ簡潔に表示するフロントパネルインジケータ

Vacuum Measurement Products

Y= Yes Y + (#) = possible number of gauges or set points.* Low power Nude gauge only.

Vacuum Gauge Controllers

307 350 358 370 475 937B 946 PDR900

Gau

ges

and

Tran

sduc

ers

Cold Cathode Gauge Y(3) Y(3)

For U

se w

ith S

erie

s 90

0 Tr

ansd

ucer

s

Stabil-Ion UHV Gauge Y(2)

Micro-Ion Gauge Y(1)

Convectron Gauge Y(2) Y(2) Y(2) Y(2) Y(1) Y(6) Y(6)

B-A Glass or Nude Gauge Y(2) Y(1) Y(3)* Y(3)*

Nude UHV Ionization Gauge Y(2) Y(1)

Thermocouple Gauge Y(2)

Baratron® Capacitance Manometer Y(1) Y(1) Y(1) Y(6) Y(6)

Mass Flow Controllers Y(6)

Feat

ures

Adjustable Process Control Relays Y(6) Y(6) Y(6) Y(6) Y(2) Y(12) Y(12) Y(3)

Analog Output(s) Y Y Y Y Y Y Y Y

RS-232 Interface Y Y Y Y Y Y Y Y

RS-485 Interface Y Y Y Y Y Y Y

IEEE 488 Interface Y Y

Profibus Interface Y

Vacuum Quality Monitor

バキュームクオリティモニタ(VQM®) システム

バキュームクオリティモニタシステムは研究室や生産設備にて真空システム内のガスの品質や構成をモニタするために使用されます。一般的な使用方法は、システムベースライン設定、ポストチャンバPM確認、リーク検出、汚染のチェック、およびシステム内の真空の全体的な品質の監視です。VQMで使われているセンサは最新の最速技術を使用した自動レゾナンスイオントラップ質量分析計ゲージです。

シリーズ835 VQM 質量分析計システム

• 80ミリ秒で1～145 amu、120ミリ秒で1-300amu 範囲の全圧・分圧測定

• 一般的な10種の主要構成ガスのパーセンテージ、絶対値、全圧・分圧のトレンドグラフに即ア　クセス

• 水素とヘリウムを正確に測定（ゼロブラスト無し）

• 真空システムでご使用中のガスで簡単に単一ガス校正可能

• わずか15 Wの所要電力

• 1～50メートルのケーブルを使用し遠隔でのゲージ取り付けが可能

シリーズ835 VQM® 差動ポンプシステム

• シリーズ835VQMの全ての利点を5E-7 Pa～400Paの範囲で動作可能

• 基本圧力とプロセス圧力での操作用に、オリフィスデザインのゲートバルブ搭載

• スキャン範囲1～145amu、またはオプションで1～300 amuスキャン可能

• ソフトウェアAPI、LabVIEW Vis又は専用出力によるプロセスコントロール

これらの製品、技術またはソフトウェアは米国輸出管理規則に従い提供されています。米国の法規に反する高度核燃料処理、化学兵器もしくは生物兵器、またはミサイル技術活動に係るエンドユーザーに対する流用もしくは移動、またはエンドユースのための流用もしくは移動は禁止されています。以下の製品は、米国および現地政府の輸出許可なく、他国に輸出してはならない。絶対圧トランスデューサ　バラトロン： ECCN 2B230 / ＦＴＩＲマルチガスアナライザ： ECCN 2B351 / エアーガード大気アナライザ： ECCN 1A004

GPPG ‘15.05.J