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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 1
VI-6
Transfert image par résine photosensible
Photoresist imaging
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 2
Sommaire Outlook
• Applications– gravure directe
– Métallisations électrolytiques
• Principe des résines négatives
• Types de résines
• Applications– Direct etching
– Electroplating
• Principle of negative photoresist
• Kinds of photoresist
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 3
Sommaire Outlook
• Gamme opératoire :– Préparation de surface
– Enduction / Laminage
– Insolation
– Développement
• Environnement• « Stripage »
• Flow of operations– Surface preparation
– Coating / Lamination
– Exposure
– Development
• Environment• Stripping
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 4
Applications Applications
• Couches internes• Circuits SF et DF• Circuits DF-TM
méthode « panel plating »
• Internal layer• SS & DS PCB• DS-PTH PCB panel
plating method
Gravure directe Direct etching
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 5
Applications Applications
Gravure directe Direct etching
Etching mask(positive pattern)
Réserve de gravure(image positive)
Tenting
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 6
Applications Applications
• Circuits DF-TM et MC méthode «pattern plating »
• DS-PTH & ML PCBs pattern plating method
Gravure inverse Inverse etching
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 7
Applications Applications
• Circuits hyperfréquences
• Connecteurs
• Microwave PCBs• Connectors
Nickelage / Dorure Nickel / Gold plating
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 8
Applications Applications
Métallisation et gravure inverse
Plating & Inverse etching
Réserve de métallisation(image négative)
Plating mask(negative pattern)
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 9
Principe des résines négativesNegative photoresist principle
résine monomère
+ inducteur de polymérisation
+ liant
Polymère
h (UV)
Facilement soluble
Easy to dissolve
Difficilement soluble
Hard to dissolve
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 10
Types de résines photosensiblesKinds of photoresists
• Résine liquide (application au rouleau)
• Résine électro-déposée (application par cataphorèse)
• Film sec (application par laminage)
• Liquid resist (roller coating)
• Electro-deposited resist (electrodeposition process )
•Dry film resist (lamination process)
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 11
Gamme opératoire Flow of operations
préparation de surface
étuvage
enduction / laminage
stabilisation
insolation
développement
séchage
Surface preparation
dry
coating / lamination
stabilization
exposure
development
dry
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 12
Préparation de surfaceSurface preparation
• But :
- Elimination des bavures
- Nettoyage du cuivre (oxydation, taches de doigts ...)
- Assurer une bonne adhérence de la résine photosensible
• Purpose :
- Burr removal
- copper cleaning
( oxides, finger prints.. )
- improve adhesion of photoresist
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 13
Préparation de surfaceSurface preparation
• Méthodes
- brosse abrasive
- brosse avec abrasif
- pulvérisation d ’abrasif
- décapage chimique
• Methods
- abrasive brushes
- brush with abrasives
- blasting with abrasives
- chemical cleaning
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 14
Nettoyage avec brosse abrasiveCleaning with abrasive brush
Brosse abrasiveAbrasive brush
Cylindre d ’acierSteel cylinder
EauWater
Rinçage HPHP rinse
&Séchage
Dry
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 15
Nettoyage avec brosse abrasiveCleaning with abrasive brush
Structure de la surface
Surface structure
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 16
Nettoyage avec brosse et abrasifsCleaning with brush and abrasive
Brosse nylonNylon brush
Eau + ponce/alumineWater + pumice/alumina
Rinçage HPHP rinse
&Séchage
Dry
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 17
Nettoyage par pulvérisation d’abrasifJet scrubbing with abrasive
Eau HP + ponce/alumineHP water + pumice/alumina
Rinçage HPHP rinse
&Séchage
Dry
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 18
Décapage chimiqueChemical cleaning
Gamme de travail Flow of operations
Décontamination organique
Organic contaminants removal
Micro-gravure
Micro-etch
Elimination des taches grasses
Oil, fingerprints removal
Elimination des oxydesSatinage du cuivre
Oxides removalrouthening the surface
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 19
Décapage chimiqueChemical cleaning
Microgravure Microetch
- Acide sulfurique et eau oxygénée - Sulfuric acid & hydrogen peroxide
Cu +H2O2 => CuO + H2O
CuO + H2SO4 => CuSO4 + 2 H2O
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 20
Décapage chimiqueChemical cleaning
Microgravure Microetch
- Persulfate de sodium - Sodium persulphate
Cu +Na2(S04)2 => Na2SO4 + CuSO4
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La fabrication des circuits intégrés
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Oxydation du cuivre Copper oxidation
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 22
Temps d ’attente maximumMaximum hold time
Cuivre de base - décapage chimiqueChemically cleaned vendor copper
2 heures2 hours
Cuivre de base brossé / cuivre chimiqueBrushed vendor or electroless copper
4 heures4 hours
Traitement à la poncePumiced (jet or brush) copper
6 heures6 hours
Cuivre passivéChemical anti-tarnish treated copper
8 heures8 hours
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 23
« Film sec »Dry film photoresist
Résine photosensible(20 à 70 µ)Photoresist
Feuille de protection (polyoléfine) release sheet
Support(polyester 25µ)
cover sheet(25µ mylar)
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 24
LaminageLamination
Fim sec collé par thermo-compression
Heat and pressure dry film bonding
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 25
LaminageLamination
Rouleau de film sec
Rouleau chauffant
Récupération du film de protection
release sheet collector
Photoresist roll
Heating roll
Laminateur
Laminator
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 26
LaminageLamination
Paramètres
•Température des rouleaux: ~ 100 °C•Température de sortie :
~ 60°C•Pression : ~ 3 bars•Vitesse : ~ 1,5 m/mn
Parameters
•Roll Temperature : ~ 100 °C
• Exit Temperature :~ 60°C
•Pressure : ~ 3 bars•Speed : ~ 1,5 m/mn
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 27
LaminageLamination
propriétés
• adhérence• conformation• tenue au « tenting »• productivité
Properties
• adhesion• conformation• tenting behaviour• productivity
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 28
LaminageLamination
Défaut de conformation de la résinePoor resist conformation
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 29
Temps de stabilisationStabilization time
• Permet le retour des panneaux à la température ambiante avant l ’exposition
•Empêche la déformation des masques photographiques
•Stabilise la résine photosensible
•Durée environ 15 mn
•Allow to cool the panels to room temperature prior to exposure
• Prevent from photomask deformation
• Stabilyze the photoresist
• Time about 15 mn
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 30
Insolation Exposure
polyester
émulsion
résine photo
Masque photographiqueUV UV UV
UV UV UV
Photoresistemulsionpolyester
Photomask
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 31
Insolation Exposure
Conditions
Lampes ~5 kW
Longueur d ’onde ~ 320 à 420 nm
Intensité d ’exposition
> 5 mW/cm²
Energie d ’exposition w~100 mJ/cm²
temps ~2s
Conditions
Lamps ~5 kW
Wave length ~ 320 à 420 nm
Exposure intensity
> 5 mW/cm²
Exposure energie w~100 mJ/cm²
temps ~2s
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 32
Insolation Exposure
Contrôle de l ’energie d ’exposition Exposure energy test
Echelle de gris RST à 25 plagesRST 25-step stablet
50% de résine restant après développement
50% of the resist remaining after developpment Résine développée
Stripped resist
Résine non développée
Totaly remaining resist
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 33
Insolation Exposure
Influence de l ’energie d ’exposition sur la largeur des lignes Effect of exposure energy on ligne width
-0,5-0,4-0,3-0,2-0,1
00,10,20,30,40,5
8 10 12 14 16 18 20
Energie d'expositon (échelle de gris RST)
Dif
fére
nce
(mil
s)
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 34
Insolation Exposure
Influence du hors contact Effect of off contact
UV
Masque photographiquePhotomask
Résine photosensiblePhotoresist
Polyester Polyester
Après développementAfter development
Emulsion Emulsion
Polyester Polyester
Film secDry film
Diffraction Diffraction
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 35
Insolation Exposure
Influence du hors contact Effect of off contact
UVMasque photographique
Photomask(Inversé) (reversed)
Résine photosensiblePhotoresist
Polyester Polyester
Après développementAfter development
Emulsion Emulsion
Polyester Polyester
Film secDry film
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 36
Développement Development
Pulvérisation de solvantSolvent spray
résine polymériséePolimerized resist
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 37
Développement DevelopmentParamètres
•Concentration en
Na2CO3 : ~ 1%
•température : ~ 30 °C
•temps de développement :~ 2 mn
•Point de lavage ~ 60 %
•Concentration en anti-mousse : ~ 0,15 ml/l
•Pressions des buses ~ 1,5 bars
•Charges en résine ~ 0,3 mil-m²/l
Parameters
•Developper concentration (Na2CO3) : ~ 1%
•temperature : ~ 30 °C
•Time to clean :~ 2 mn
•Breakpoint ~ 60 %
•Defoamer concentration ~ 0.15 ml/l
•Pressions des buses ~ 1.5 bars
•Developper loading ~0.3 mil-m²/l
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 38
Développement Development
Propriétés
•Qualité des talus
•Résolution (largeur des pistes - espacements
•Vitesse de developpement
Properties
•Sidewall quality
•Line/space resolution
•Developpement rate
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 39
Développement DevelopmentTitration du carbonate de soude
•Avec HCl 0,1 N
•Indicateur : méthyle orange
jaune => rouge saumon
Vs volume de solution
Va volume d ’acide utilisé
N normalité de l ’acide
m masse molaire du carbonate
(106 g)
T Titre en poids
T% = N . Va . m / 20 . Vs
Titration of sodium carbonate
•With 0.1 N HCl
•Indicator : methyl orange
Yellow => salmon/red
Vs sample volume
Va volume of acid required
N normality of the acid
m formulation weight of the carbonate (106 g)
T concentration
T% = N . Va . m / 20 . Vs
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 40
Développement Development
Point de lavage Breakpoint
Chambre de développementDevelopment chamber
D
dd/D 60%
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 41
Développement Development
Influence de la température Effect of temperature
14
16
18
20
22
24
30 35 40
température (°C)
tem
ps
de
dév
elol
pp
emen
t (s
)
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 42
Développement Development
Influence de charge en résine Effect resist loading
10
12
14
16
18
20
22
24
0 0,05 0,1 0,15 0,2 0,25 0,3 0,35 0,4
charge (mil-m²/l)
tem
ps
de
dév
elol
pp
emen
t (s
)
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 43
Développement Development
Rinçage
•A l ’eau dure
•Température 20 à 30 °C
•Pression > 1,5 bar
=> élimination des résidus de solution sur le cuivre
=> très important pour une bonne métallisation ou une bonne gravure
Rinsing
•With hard water
•Temperature 20 to 30 °C
•Pressure > 1.5 bar
=> remove residual developper chemistry
=> Very important for a good plating or etching
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 44
Développement Development
Séchage
•A l ’air chaud
=> évite l ’oxydation du cuivre
=> arrête l ’attaque des talus par la solution de développement
=> durcit la résine
Drying
•With hot air
=> prevent from copper oxidation
=> stop the developper to attak the resist sidewall
=>harden the resist
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 45
Environnement Environment
• Éclairage inactinique UV (jaune)
• Salle propre
exemple classe 10 000 (nombre de particules > 0,5µm par pied cube)
• Contrôle de la température (ex : 212°C)
• Contrôle du taux d ’humidité (ex : 55 5%)
• Safe lighting Yellow (UV free)
• Clean room
for exemple class 10000
(number of particles > 0.5µm per cubic foot)
• temperature regulation (ex: 212°C)
• Humidity regulation (ex : 55 5%)
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 46
« Stripage » Stripping
Procédé du « stripage »
•Pulvérisation d ’une solution de soude ou de potasse
•Le film sec se brise en formant des peaux
•Élimination des peaux par filtration
•Rinçage et séchage
Stripping Process
•Sodium hydroxide or potassium hydroxide spray
•The dry film resist breaks into skins
•Removing skins by filtration
•Rinse and dry
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 47
« Stripage » Stripping
Paramètres
•Concentration de la solution~ 1,5%
•Anti-mousse ~1,5 ml/l
•Température ~ 50°C
•Pression des buses ~ 1,8 bar
•Point de lavage ~50%
•Charge en résine< 0,5mil-m²/l
Parameters
•Stripper concentration ~ 1.5%
•Antifoam ~ 1.5 ml/l
•Temperature ~ 50°C
•Nozzles pressure ~ 1.8 bar
•Breakpoint ~50%
•Resist loading<0.5mil-m²/l
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La fabrication des circuits intégrés
VI-6 Transfert image 48
« Stripage » Stripping
Propriétés recherchées
•Vitesse de « stripage » élevée
•Faible oxydation du cuivre
•Faible attaque de l ’étain-plomb
Parameters
•Hight stripping rate
•Low copper oxidation
•Low tin-lead oxidation
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La fabrication des circuits intégrés
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« Stripage » Stripping
Effet de l ’exposition à la lumière blancheEffect of white light exposure
40
45
50
55
0 1 2 3 4 5
Temps d'exposition (jours)
Tem
ps d
e st
ripa
ge (
s)
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