low-duty-ratio patterning on a heterogeneous surface

6
Low-Duty-Ratio Patterning on a Heterogeneous Surface** By D. Hahn Kim, M. Joon Kim, Jeong-Yong Park, and Hong H. Lee* 1. Introduction Patterned heterogeneous surfaces have drawn much interest recently. Formation of these heterogeneous surfaces has relied on microcontact printing [1] of self-assembled monolayer (SAM) materials. These surfaces have been utilized for phase separation of polymer blends, [2±5] patterning, [6±9] and biological applications. [10±13] Because of the functional groups present on SAMs, their surfaces are chemically heterogeneous. The impact of chemically heterogeneous surfaces have motivated us to look into a physicochemically heterogeneous surface, physical in the sense that the patterned surface does not have any at- tached functional groups but exhibits a difference in physical force. In this work, we present such a physicochemically heteroge- neous surface in which a thin film coated onto the surface is un- stable on certain parts of the surface, while it is stable on the other parts where the film thickness is larger than 10 nm. This physicochemically heterogeneous surface results from a differ- ence in interfacial potential. We utilize this heterogeneous sur- face for the purpose of patterning low-duty-ratio patterns, which has defied attempts by mold-based patterning of poly- mer layers. 2. Results and Discussion It has been shown in earlier studies [14,15] for physicochemi- cally heterogeneous surfaces that a film on a less wettable surface becomes unstable and ruptures because of the spatial gradient of microscale wettability. Given time, therefore, one would be left with a discontinuous film, part of which is con- fined to one type of surface and the other part to another type of surface. To form a heterogeneous surface, we chose poly(4- vinylphenol) (PVPh) for the purpose of constructing a pat- terned structure on a silicon substrate with a native oxide layer because of the ease with which the patterning can be carried out by simple soft molding. [16] We selected polystyrene (PS) as the coating material because of its well-established physical properties. PS films with thicknesses larger than 10 nm [17] are known to wet native oxide silicon substrates but dewet PVPh, with which it is incompatible. We exploited this differential wetting behavior to obtain our low-duty-pattern features as described below. For a line pattern, the duty ratio is defined as the ratio of line width to the space between lines. When the duty ratio is a lot less than unity, the polymer line width formed by patterning is much smaller than the exposed space between the lines. There- fore the polymer coated over a large area (space) has to be all transported and collected to a small area (line) for the space to be exposed, leaving no residual film in the space region. This patterning of low-duty-ratio patterns has proven to be very dif- ficult, eluding attempts by mold-based unconventional pattern- ing techniques when a polymer is used as an etch resist for subsequent deep etching into the substrate. Microcontact print- ing [1] does not provide enough resist thickness for deep etching into the substrate that is needed in typical device applications. Imprint lithography [18] leaves a residual layer after the imprint- ing. Micromolding in capillaries (MIMIC) [19,20] can be used, but it is neither applicable to isolated patterns nor to large-area applications. Capillary force lithography (CFL) [21] or soft mold- ing [16] can also be used, but a residual layer remains after the patterning when the duty ratio is low. The same can be said about the rapid flash-patterning method that was recently de- veloped. [22] In utilizing the heterogeneous surface for low-duty-ratio patterning, we took note of the fact that CFL or soft molding is effective in leaving no residual layer after patterning if the duty ratio is high, i.e., high-duty-ratio patterns in which a small amount of material on a small area needs to be collected into a large area for the patterning. We also exploited the fact that the negative of a low-duty-ratio pattern is a high-duty-ratio pattern. Suppose that a heterogeneous surface is made, in Adv. Funct. Mater. 2005, 15, 1445±1450 DOI: 10.1002/adfm.200500137 2005 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim 1445 ± [*] Prof. H. H. Lee, D. H. Kim, M. J. Kim, J.-Y. Park School of Chemical Engineering, Seoul National University Seoul, 151-742 (Korea) E-mail: [email protected] [**] This work was supported by the National Core Research Center Pro- gram of the Korea Science and Engineering Foundation (KOSEF) through the NANO systems Institute at Seoul National University. A thick film of patterned heterogeneous surface is introduced, in which the surface heterogeneity arises due to a difference in the characteristics of interfacial potential. When a liquid film is coated onto such a surface, the film is unstable only on certain parts of the surface and, consequently, dewetting takes place. In the other parts, the film is stable and no dewetting takes place. This heterogeneous surface is utilized for patterning low-duty-ratio patterns, which has proved challenging for any mold-based unconventional lithographies. Only the natural forces associated with capillarity and dewetting are responsible for the pattern- ing. As a result, defect-free and uniform patterning is possible over a large area. FULL PAPER

Upload: dh-kim

Post on 06-Jun-2016

212 views

Category:

Documents


0 download

TRANSCRIPT

������������ ��� ����� �� � � ��� � ��� ����� ��

�� �� ���� ��� � ���� ��� � �������� ����� ��� ���� �� � �

�� ������������

����� �� �� �� ������� ��� ����� ���� ���������� � ���� � � �� �� �� �� ������� ��� ���� � ���� � ��� ���������� � ����������� � � ���� !"#$ �������� %�� ������� ��� �� ����&� � � ���������� � � � ���� �������'()� ���������*(+� ��� �� � ������������� �����,(�-� ����� � � ����� ��� �� ��� ���� �!"#�� ��� ������� �� ��������� �� �� ��� %� ����� � ��������� �� �� �� ������� ��� � ���� �� � . �� � ������ ��������� �� �� �� ������� ���������� � ��� �� � ����� ������ � � � ��� ��� ������ ����� ��� �� ��� �� /����� � ������� �� ��������� ���

0� ��� � �.� � ���� ���� � ������ ��������� �� ��� �� ������ �� ����� � ��� ���� � �� � � ������ �� ������� � ����� ���� � � ������� ���� � �� ���� � � �� ���� ��� � ���� ���.��� �� ����� ��� �, ��� %��������� ��������� �� �� �� ������ ����� �� � � �������� �� ��������� � ����� 1 ����& ��� �� �� �� ������� � � � ���� � � ������� � ��������� ����������� ��� ���� ���� �� � ������� ������� � � ����� ������

�� ����� �� ����������

0 ��� �� �� �� �� ����� �������2��)� � � ������ ���������� �� �� �� ������� �� � ���� � � ��� ���������� �� �� ������ ��� ������ ����� � � ������������ � ���� ���� �������� 3��� ��� ��� �� �

� ��� � �� ��� � ���� ���� �� ����� ��� � ����� �� � ������ � �� � ������ ��� � �� ��� �� �� �� � ������� % � �� � �� �� �� ������� � �� � � �� 2��������� �$ �4��$ � � � ���� � � � �������� � ������ ������ � � ����� � ������ ��� � ���� /�� ��������� � � �� ��� ����� � ������� ��� � ������ � �� ����� � � � ��������*� 1 ���� � ������ �!$ ��� � ���� ������ ����� � �� ������������ ���������� ����� �! ����� ��� ���.���� ����� ��� �, ����5� ��.� �� � ���� /�� ����� � ������� �� �� �4������ ����� � �� ��� ������� 1 /�� �� ��� ������������� ����� � ���� �� � ���������� ����� ��������� �� ��

� � � ��� ����� � ��� ��� �� ����� �� � ��� � ������� � ���� ��� ����� 1�� � ��� ��� �� � � ��� ��� ����� � � ���� ��� ���� � ��� �� ������� ������ ������ ��� � /� �� ���� ��� � ����� %���� � � � ���� � �� �� � ���� ��� ����$ ��� � �������� �� ��� � ���� � ����� ��� ���$ � � � ���� � /� ��� ������ � ������� ���� �� � ���� ��� �� %���������� � � ��������� ����� ��� �� �� � ��� ���������� ������ ���� �� � ������� ��� ���� ��� �������� ����6�� ��� � � ���� �� ��� �� �� �� ���� � �����6�� �� ����� �� � ������� #��� � ��� ����������� � � � �� ��� � ��� ���� ���.��� � � �� ������� � ������ �� �� ��� �� ������ ���� �������� ���0����� ��� ��������7� ���� � ������� ���� ��� � ����������� #��� � ����� �� ���������� #0#08$��+�',� ��� � ���� ��� �� ���� ��������� �� ��� ����� � � ���������������� ��� 8�������� � �� ��� ������ 8�9$�'�� � � � � ��������*� ��� ��� � ���� �� � ������� ���� ������ ��� �������� ��� � ��� ��� �� � �� %� ��� ��� � ������ � � ����� ������������� �� � �� ��� ����� ���� ����''�

0� ����&��� � �� �� �� ������ � � � ��������� �������� � . � � � ��� �� 8�9 � � � � ����� ������� �� ������ � ������� ���� ��� ������� �� � ������ �� ����� ���� ������������ ����� �� ����� � ������� �� � ������ � � ����� ��� ��� � � ���� �� ����� ��� � � � �������� 1 ��� /�� �� � ��� ��� ����� � � � ��������� ���� �� � ������������ ����� !��� � �� � �� �� �� ������ �� ���� ��

���� ����� �� � ����� ��� ��������� ���� �������� ���������� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ����

("#$ %��&� �� �� ���� '� �� ���� (� )� ���� )�� � %��*

+,!��� �& �!���,�� � �� ���� �� +��-� .�/�� �� 0 �1��2�/3+��-�� ����4�� 5�����6������7 !� �!���82 -��,�*�

"##$ 9!�2 :��* :�2 2-;;��/�< �3 /!� .�/�� �� ���� =�2���,! �� /�� %������� �& /!� ����� +,�� ,� � < � �� ���� � >�- <�/�� 5�?+�>6/!��-�! /!� .�.? 232/��2 2/�/-/� �/ +��-� .�/�� �� 0 �1��2�/3�

" ���. ���� � ����� �� �� �� ������ �� ��� ����� �� ����� � ������ �� ���� ����� �� � ������� ��� ������������ � ��������� � ����� 1�� � ��6��� ���� �� � �� � ���� � ������� � ���� �� ������ ��� � ��������� � � ������ ���� � ��6����� ����� �.� ����� 0� � �� ����� � ���� �� ���� ��� � ����� �.� �����%��� �� �� �� ������ �� ����&� � � ������� � ��������� ������ ����� ��� �� �� ���������� � � ��� � ���������� ���� ��� ��� �������� :��� � ������ � ��� ��� ���� ��� ���������� ��� ����� �� ��� ����� � � � ��������� "� � ����� ������ ��� ���� �� ������� �� � ����� �� � ���� ����

����

�����

����� � ������ � � ������������ ����� ������ ���� ��� � ����� � � ����� � ��������� ������ �� ������ ��� ���� �� �� � ���� ���� � �� �� � �� � �� �� �� ������� %�� � � �� ������� � � ������ � � ������������ ����� ��������� ���� ������ �� � ����; � � ���� � � ������ �� ������������ ���� ��� � �� ������� � ������ �� ����� ��� � � ������������ ���� � �������� ����� �� � ����� � ��������� ����� <��� ������ � ������������ ���� �� ��� ���� � ����� ������ ��������� ���� � � ������� � � � ������� ��������������� ���� ����� � ����� � ����������� ������ � ������ ������$ �� ��� � �� ��� ���� � �� � ����������������

%��� � ��������� ������� �� ����������� �������� ������� �� " ������ �� ���� �� ��� ��� � ������ ��� � �� ����� �� ��� � � ��� � ���� ��� 8�9 �� ���� 8�� ���.� �� ��� ��� � ��������� �� ��� � � � ����� �8�9 ��. ��� �� � � ���� � � � ���� �� � � ������ � ������ ���� �� � ������� ������ �� �� �� � ��� ���� � � ��� %� � � � � ������� �� �������� �� ����%� ��� �� ����� �� �� �������� � � ��� ��� �� � �� ����� � 8�9� %� ���� � � � �� �� � � �� ���������� ��� � ��� ���� � ��� � �� � � ���� � � � ����� � �� � ������ %� � ���� ���� � � ������������ � ��� � � � ��� ����� �� � � � ����� �� �� ��������� /��$ �<#!$ ��� �� ��� � ��� ����� 0�� ��� � � � �� � ������ ������ �� /� �� ���������� � ������ �� � ������������ �����

:� � � ���� ������ ��� � ���� � �� �� � ����� �� ������ �� ���� ��$� %� � ��� � � ��� �� �� � ����� �� ��� � �� �� � �� � ���� �� � �������� ����� %��������� � ���� ������ � ��� �� ��� � � � ����� ���� ��� � � ��� ���� ���� �� ��� � ��� �� ����&� � �� �� �� � ����� 0� ����� �� � �� ���� � � ���� � ����� �� ��� � ����� ��� �� � � �� �� � ����� � ��� ������ ������ �� �� �� � �������� �� � �� ���%� ���� � � �������� �� ����� ����� � � �� ��� ���� ����� ���� �� � ����� ������ � � �������� � � ������� ��� ����� � � �� � ���� � ������ ��� �� � ������� � �� � �� ���� � ���� �$� %� ������� � ����� �� �� ��� � �� ��� ���� � ���� � � ������� ������� �� �� �� ����� � � ��� � � � ���� � ����� %��� ���� �� ����� �� ������ ����� � ��������� ���� ���� ��$� 0 �� ��� �� � �� � ���.��� � � ����� � ���� ���� ��� �������� �� ������ ��������� � �� ���� � � ��� ����� � �� �����

%� �<#! � ��� ��� �� � /����� �� � � ������� �� ����� � ���� � ����� � �� ������ ������ ! �� ����� ��� ��� � � � ��������� ����� � � ����� ����� � ������� ��� � ��� �������� ��� � �� ������� �� ���� �� ������ %� � ���� ��� � � � ���������� ��� �4�� �� ���� �� "� �� /���� � � � ������ ��� � ��� � � � ��������� �� = � ��� ���� ������ �� "�� � ���������� ������ ��� ������ � � ������� �� � �� �� ���� �-, >8$ �� � �����

������� %� �� �� � ���� ��� � � � ������ ����! �� ���� �/��� ����� � � � ���� �� �4��� "�� �� ����� � ��� ���� � � ������ �� � �� �� ���� �,, >8$ ��� �� ��� � ������ �, >8 ����� ��� ��

����� �� � ����� � � � �� ����� 0 �� ��� .� ���� ����� ����� ��� ������ � � � ��� ������ �� ���� � � ��� ����� ��� � �� �� �� � � � ��� � ����� ����� � �� ��� � ������ ���� ���� ������ ������ � � ����'-(')� %��� ����� � ��� � ������ �� ��� �� ������ ����� ��� � � ������� ����� � ���� ��� ����� � � ����

!� �� �� ����� ' �� � ����� ��� � ��� � �� ���� �� ��� "�#$ ����� �� �� �.� � ���� �� ���� � �������� � � � ��� ��� ���� ���� �� ����� � ��� ��� �� ,�� ��� ���� ? ' ��� ���� ���� ? ', ��$� ����� '� �� ��

���� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ���� ����������� ���� ����� �� � ����� ��� ���������

������ � +,!���/�, <������ �& /!� ��:�<-/3���/�� ;�//�� � � :�/! � ���2�<-�� &��� :!� 2�&/ ���<� � 5�� ,�;�����3 &��,� ��/!����;!36 �2 -2�< &��;��;�//�� � �7 �6 2;� �,��/� � 5�� <�; ,��/� �6 /!� &��2/ ;��3��� � � 2-��2/��/�@ �6 ;��,� � � ���2/�����, ���< :�/! � ��: <-/3 ��/�� 5��AA � /!�2&��-��6 � /� /!� ,��/�< &��� /� &��� � 2/�-,/-�� :�/! � �� �2,-2 �3 ��/!��2�&/ ���<� � "�B$ �� ,�;�����3�&��,� ��/!����;!3 "��$@ ,6 ����1� � /!� ���<@<6 �&/�� <�3� �� ,��/� � /!� ;��;�//�� :�/! /!� 2�,� < ;��3��� /!�/ !�2 ����22�/�� 2�/�� /��;���/-��� ��� ��:�� /!� /!�/ �& /!� &��2/@ �6 �&/�� <�3� ��2���,/�1��3 <�:�//� � /!� ��3�� �& /!� ,��/�< 2�,� < ;��3���� -/���C� � /!��� �2,-2 �<��2 52�� /!� ,��,��6@ &6 ��&/� � �&& /!� ;��;�//�� �

����

�����

�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�

� ������ ����� �� � � � ������ ����� '� � ������� � ������ ��� � �� ��� � �� �� � ����� �!���� ����� '� � ���� ��� � ����� �� ��� � ������ = � �� ����� '�� �� �� �� ���� ������� ����� �������� � ���� �� �� � � ������ ��� �� ��� �� � ���� � � ������� �� ��� � ���� ����� �������� ������ �� � � �� � �� ��� %� ����� � ��������� ���� ����� ��� �� ���� � ����������� ������ ������ ����� �� ���� � �� �� �� �� ����� '�� "�# ������� ����� � � � �6��� �� ����� '�� ��� �� �� �� �������� '��� %� ��������� ��� ��� ��� ��� "�# ����������� �� � �� � � ��������� ���� ��� ��� � ����

%�� /������� ����� �� � ��� �� � ����5� �������� � ���� ���� �� ���� � � �� � ������ !�: ������$�� �� ������ � � �� �� �4�� ������$ � � � �� ��� �� ������ �� � ����� � � ���������� ������ ���������

% �� � �� � � ��������� ������� ������ 6�������� �� ��� ����� ���� �� � /� ��� ������� � � �����#0#08 ���� � ���� ��� �� � ������� � ���� ������� � ����� �� �� �� ���� �� ����6�� ����� �� ����� � / ���� ��� � ��� ��� � ,�) ��� ����� �� ��� �� ��� � � ����� ��� ������ �� %� ������ ������ ������ �� ������ %� ���� � � ���� � ��� � ���� ������ �� ��� �� � �� �� �� �� ����� -�� ����� �� �� ����� ���� �� �� ����� %� � /� � �� � �� ����� -� ���/����� �� "�# ��� � ��������� ��� ��� ��� ��� ������ �� �� �� �� ������ -��� ��������� 1�� � ���

��� � ���� � /� �� � �� ����� � ��� ���� ������� ��� �� � /� �� ���� � ���� � ����� ���� �� �� ����� -� ��� � ��� � /� �� � ��� ������������ ��� � ����� ��� �� �������� � �� ���. � �! ��� ���� �/��� %� ����� ��� ������ � �� ������ � ��@� ��� �� �� �� ����� -�� "� ������� ������ ����.��� � � ����� � ���� ���� ��� � ������� �� ���������� � �� ���� � � � �� ��� � � � ����������� � � ����� �� ����� -� � �� ���� ��� � ��� ����� �� � ���.��� � ,�7) �� � � � ����� ����� � ����� %�� ������ �� ��� ���� � ������� ���. ���� � �!�� �, ���A � � �4�� ��� - ���A � � �!�

0� ��������� �� �� ��� � � ��� ���� � ���� ��&�� ��� � ������ B ���� �� �� � ���� � � � ������� ��& �� ��� � � ��� ��� �<#! �� ����� ���� ��� ����� �� �����'*� ��� � ���� ��& �� ��� ������� ),, ��� � � ��� ������ %��� �� � ���� ��& ����� � ����� �� ����� �� � ���� ��& � � � �� ����� � �� �����

% �� ��� �� ������ �� � � ��������� ��������"�# ��� ��� �� ���� � � ��� ��� ���� ���� �� ������ � � �� ���� � � � ��������� �������; ��� ���������� �� � � � ������ ��� � ���� � ������ ��� ��� �� � ����� ��� ������ ��� ��� � ������ � ��������� %� ����� ���� ��� � ��� ���� � ���� /�����', �� ��� � ��� ������� � 7, ��� ���� �� � ��� ��� ������� /����� ,�')� %� ����� �� �� �� �� ����� 2� %� �� ���� ��� � ��������� ��� �4�� ���� 2�$ �� �� � �����

���� ����� �� � ����� ��� ��������� ���� ����������� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ����

������ � ?;/�,�� ��,��2,�;3 �����2 �/ 1����-2 2/���27 �6 %�%! ;��;�//�� &����< �3 2�&/ ���<� � :�/! � !��! <-/3 ��/�� �& ��� :!��� /!� �� � :�</! �2�� �� � < /!� 2;�,� :�</! �2 � ��� �6 ?;/�,�� ����� �&/�� 2;� �,��/� � /!� ;��;�//�� :�/! %+� ,6 '�:�//�< %+ ��3��� <6 ?;/�,�� ����� �&/�� ��&/� � �&&/!� ;��;�//�� � 2!�:� � /!� &� �� <�2���< ��:�<-/3���/�� ;�//�� � �6 9!����<��� 2�� �� �>( ����� �& /!� &� �� ;�//�� :�/! � ��: <-/3 ��/�� �& ���� :!�,!,����2;� <2 /� /!� 2E-��� � 5<6� &6 +�,/�� �� ;��&��� �& /!� <�//�< �� � � 5�6�

����

�����

�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�

��� �� � ������ ���� �� � � ��� ������ ������ ��-,, �� � � ��� ��� )), �� � � ��� � � ��������%��� ������ ��� � ��� ��� ���� ������ �� /���� ������ ��� ���� � ����� ����� �� �� � ��� ������ 7, �� ��� � ���� �� ', ��� ���� � ������������ 2$ ������ %� ������ ���� � ���� � � � ����� � ��������� � � ���� ������� � ����� ����6�� ����� �� � ������ �� 0 ��� ����� � ��� � ������ ������/� ��� B�� � ��� �� � ������������ ���� ��� ��� � /� ��� � � ������ ������ �� /�� ���

!����� ���� � ������ ��� �! ����� �� � � ���� ��� ���� �� � ������� ��� �� � �� ���� � ������������ �� ����� �� ',, �� ���� ���� 2�$� %� ���� � �������� �� �� ),, �� � � ��� ��� *,, �� � ���� � � �������� %���� � ���.��� � ), �� � �! ������ � � ��� ��� ',, �� � � ��� �� � ���� � �� ����� %��� �� � ����� ���� ���� �������� �� �� ���� ��� � ���.��� �� � ������� %� �� ��� ��� ������ �� �� �� ���� /����� -7 �� ��� �� � �!� ���� �� � ���� � ������ ��� � �� �� � �! �� ������� � � ��� � � �������� ������ � ����� � ������� ��� � ����� ��� � � ������� �� �� � �! ���� 2�$� %� �� ��� ����� ��� � ������ � ��������� �� � ������� ���� ���� 2�$� %�� ����� �� ��� ���������� �� � ��������� �������� <� � � ���� ���

�� � � �������� � ���� ���.��� � � ������� �� ������ ������ ��� �� � � ������� ���� � � � /�������� ���� �� �� �� ����� 2�� � � /����� � �� ), �� �� ��� ���� � �� ',, �� � � ���� %� ��������'5� �� ������ ������� � ����� �� � ��������� �� ��������� � �� ��� � �6��� � � � ����� � � �� ��������� � � ����� ��������� � ����� %� �� �� �������� ���� ���� &� ��� ��������� ���� ���.���� ��������� �� � ������� ���� ���� �������� " ����������� ������ ������� ���������� ������ � ��� ������� %���� �� � ���.��� � � ���� � � ������� ���� � � �������� �� ��� � ������� �� � ������ ��� � ���������� ���� � ������� ����

�������� � �� � ���� �� �� ��� � ����� ����� ������ � ���� �� � �� ���.� %� � ����� ����������� � � ����� � ���� �� ���� /�� �� �� � � �� ��� �� �� � � ���.� �� ������ �� ��������� �� �������� � ������ %� ����� � ���� ��� � ��� �� ���.�� ����� � � � ����� � ���� �� ������ ������� � ������ � � � ��� �� �������� �� ���� � � ����� ������� -� 0� ������� � ���� � ���� �� ��� � ������� ����� �� ���� ��� �� �� � ����� � ��� � � ���������� � ��� �� ��� � � ����������� � ����� ��� ������� � ��� � ����� � ����� � ���� � ������� � ���� �� ��� � �������'7�

���� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ���� ����������� ���� ����� �� � ����� ��� ���������

������ � �6 ?;/�,�� ��,��2,�;3 ����� �& /!� ;�//�� �< ;��3��� ��F�2 :�/! � ��2�<-�� �6 '���/�� ,����� ����� �& /!� ;�//�� �< 2��;�� 5� ,�G� ,�6�,6 �/��/,!�< ��2-�/ �& ���,��/�< ���22 ,� &���� � � ��2�<-�� ��3��� 9!� :!�/� ��F�2 � < ���,* ��//�,� �& /!� ����� ,����2;� < /� �� � < ���� ���22 2-��2/��/�� ��2;�,/�1��3� <6 9!����<��� 2�� �� �>( ����� �& /!� ��F � 5�6� �6 +�,/�� �� �>( ����� �& /!� <�//�< �� � � 5<6�

����

�����

�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�

�� ����������

1 ��� ��� ���� � ���. ���� � ����� ������ �� ���� �� �� ��� ���� ����� %� �� ���� �� ������� ������� �� � � ������� �� ��������� � ���� ���� � ��� � ������� ����� � ���� � �� � � ������ �� ��� � � �� � ������ � � ��� ���� ���.�������� ��� �, ��� 0� � ����� � ����� �.� ���� � � �� �� � ������� 0� � ����� �� ��������� �� ��� �� ������� ��� ��� ��� !"# ������� �� ��� ������� �������� ��������� �� �� �� ������� � ��� �� ��� �� � � ����� ��� ������� �� ���� �������� ��� % �� ����� ����� � ���� � �� �� �� ������� � ��� ����&� ������� � � � ��������� �������� %��� � ��������� �������� ��� � ������� ���� ��� �� � ������� � � ���� ������� � ���� ��� ��� ������� �� ����� � ������ ���� ���.��� ��� � ���� � ��� � � ����6�� �������� 0� ��� � ��������� �������� � /���� � �� �������� ��� ��� � ������ � ��� ��� ���� ��� ������������� ����� �� ��� ����� � �������� %��� �� ����� ���� ���� �� /���� �� �� �� �� ������ '��-� ������� ���� �� ����� 0� ���� ������� �� �� ��� �- ��@- �� ������ ��� � ������ �����

�� !" ��# ���

C��� ���� � ��� ��� � ��������� ����� �� ��� �� �� ��������� /��$ �<#!� !������ �72� < � 8 �����$� %� � ����� ������ �� ������ �<#! ������ ����� �� ��� � ��������� ����� ������ �� �� ��� ������ � ��� ����� ��� �������� "� ��� ���� � �� ���� �� �<#! ��� � ����� ������� ����� � � � ���� ���� � �� � � ������� ��� ����� � ����� 93 !��� �$ ��� � ��� � �- ��$ ���� /�� ���� ��� ��� ��� ������� %� ����� � ���� ��� ����� �� ����� ��� ���� ������� � ����� �� �� �� �� ��� ��� � � ��� � ���� �� /����� ����� ++A� D� %� ��.��� 0���$ ��� �� ��&� ��� � � * ��� ������ ���� �� ��� ��� � � � � ����� � ��� � �� 2��������� �$ �4��$ ���������� � ������ ����� �? ', ,,, �� �(� ��������������� � ������ ��$� ��� ? �-,(�7) >8� "������$ ��� �������� � ������ �!$ �? ',,,� �E�? ��,*� ��' ? �,, >8� � ����! ���� 0���F �; ����������� � ������ ����$� 1 ��� ��, ���A �4�� � ��� � �� ���� � ��� �� -� ��� ) ���A �! � ��� ���� ���� �/�� /�� ��� ����� ++A� !������ ��� 8������ 8 ��9%<�$� %� �4�� � ��� � ��� ������ �� � ����� ��$ � ����� ��� � �<#! � �� ��� ����� � � ������ � � �4�� ������ �������� � ����� ������ G � = ��('$ � � � �� ���� � ���� ��� ����� � � �� ��� �� � ���� "�� ������� � ������� � � ����� � ������ �� �� ��������� � � � ��� � � ��� ��������-, ���� � �� � ������ ��� � ��������� ������� �� ��� � �� ����� ��*� � ����������� �� ��� ������ 8�9$ �'��� %� ��������� � ���� ��� ��� ��� � ��� ��� ���� � � ������ �', >8$�� � ��� � � � �� %� - ���A � ��� � � �! ��� ������ �� � ������� � 2,,, ��� � � -, �� % �� � ������� � ���� � ��� ������� � *, >8 � � ,�) �� <���� � � �! ���� ��� ������ �� ������ � � - ��� � ��, >8� ����� ��� ��� ��� ��� ��'�

% �� � � ����� � ������� ����� � 8���� ��� ����� ��������� ��� ��� �� ���� � ����� "�� � �������� � 8� ���� 8H�5!I� 8���. � ���$ ��� ��� �� � /� �� 8�� " ���� �� ���� �� �� "�#� <����� 0������ <����� � -�,,$ �� � ���� � ������ � �� ��� ����� ���� �� �� :������ �J*,$ ����� /���� � � ������ � � �����

H����; #���� +� ',,)����� ���� �; #�� +� ',,)

�������� ����; D��� '+� ',,)

(��� "� I����� =� "� "�� � C� I��� B� "� ������.� 3� #� 1�������

���� �� � � �� �$$%� ��� '�+��'� 9� H �.� ��� K� 9��� �� #���.�� %� �� H������ #� K �� !� 3� D� # �

����� ����� � �� � ��� �$$$� ��� '*,'��-� #� �L���� !� 1������ D� #���.� 3� I������� M� !���� ��!�

�$$&� "#$� 755��2� 3� =��� � �� <� C���� D� �� < ������ "� I����������% �!% � �$$$�

"�� '-)*��)� �� <� C���� 3� =��� � D� �� < ������ D� "� H ���� "� I����� �����

� �� � ��� �$$&� �$� -+,,��*� "� !����� 4� ����� � D� �� < ������ C� D� "���� "� I����� ����!��

�''�� $�� 5,2���5� 3� 9�� 1� 9�� D� K� � 3� N����� �� K���� D� !��� �&�� �� �� �''�� $'�

�,2+��7� 8� 9� � H� J���� N� N����� D� ��� K� B��� �� ��%%��& (�� �)�� *���

�''�� �+#� �)7��+� N� N����� N� 1���� H� J���� K� B��� ��%� � �''�� ''� -5-5�

��,� I� �� 9� !� D� ���.� 8� "� #��.��� D� 8� !���� #� #�.����� *�� �� �''�� �#,� �5,'�

���� B� N����� N� 9�� 8� "� #��.��� �&�� �� �� �''�� $'� �25'���'� D� "�&����� <� "� #����� D� 9� 3��&��� <� H� B������ *�� �� �''��

�##� �',)���-� B� N���� 0� 9� #� �� H����� �� %� B��� ��� �&�� �� �� �''�� $'�

)*+���2� I� I������� "� !������ ����!�� �''�� $�� �7+-���)� I� I������� "� !������ ����� � �� � ��� �''�� �+� 2)-*�

���� ����� �� � ����� ��� ��������� ���� ����������� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ���

������ � +�,/�� �� �>( ;��&���2 �& � �� � � < 2;�,� ;�//�� �/ &�-� 2/���2�& /!� ��:�<-/3���/�� ;�//�� � �7 �6 %��;�//�� &����< �3 2�&/ ���<� ���6 �&/�� 2;� �,��/� � /!� ;��;�//�� :�/! %+� ,6 �&/�� <�:�//� � /!� 2;� �,��/�< ;��;�//�� � <6 >� �� ;�//�� �&/�� <�22��1� � %+� :!��� /!� � 2�/2!�:2 /!� /!����<��� 2�� �� ����� �& /!� %+ �� � &����<�

����

�����

�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�

��*� K� !� I��� I� K� !��� B� B� 9� �--%� ����� � ��� �''�� .#� ''7)���5� H� !����� !� B����������� I� D�� ��� ����� � �� � ��� �''�� �+�

))-2���7� !� K� 8� �� �� H� I������ �� D� H��� �� �--%� ����� � ��� �$$%� +.�

-��2���+� C� I��� K� J��� J��#� N�� � 3� #� 1������� �&�� �� �� �$$(� #�

*)���',� =� 9� D �� 0� !� 8� �� �� J�� 3� #� 1������� �&�� �� �� �$$$� $$�

+2*��'�� I� K� !��� K� !� I��� B� B� 9� �&�� �� �� �''�� $"� �-7*��''� B� K �� I� #� 9� <� I����� B� B� 9� �--%� ����� � ��� �''�� �,�

�5+-�

�'-� 3� H��� ����� � �� � ��� �$$�� +�� 5)��'2� 0� I��������� ��� 1� 1� 3������� <� �� C����� ����!�� �''�� $.�

-'**��')� D� #��� �� �� �� 3��� ����� � �� � ��� �''�� ��� ',) ),2����'*� %� 1� :� �� D� 8� 9 �� <� �� 1 ��� I� C� ����� 3� #� 1�������

����!�� �''�� $�� )-�2��'5� �$ "� 4��O� ����!��� /���&�� *��� �$))� '�� '-� �$ H� !����� !� B��

��������� I� D�� ��� �� �����0 ���& ��� ��� � �''�� $"� 2+')��'7� #� !� 8��� !� 9� ����� �� 1� D� <�����.� ���� *�%�& /�%� �'''� ".#�

',-�

PPPPPPPPPPPPPPPPPPPPPP

���� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ���� ����������� ���� ����� �� � ����� ��� ���������

����

�����

�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�