low-duty-ratio patterning on a heterogeneous surface
TRANSCRIPT
������������ ��� ����� �� � � ��� � ��� ����� ��
�� �� ���� ��� � ���� ��� � �������� ����� ��� ���� �� � �
�� ������������
����� �� �� �� ������� ��� ����� ���� ���������� � ���� � � �� �� �� �� ������� ��� ���� � ���� � ��� ���������� � ����������� � � ���� !"#$ �������� %�� ������� ��� �� ����&� � � ���������� � � � ���� �������'()� ���������*(+� ��� �� � ������������� �����,(�-� ����� � � ����� ��� �� ��� ���� �!"#�� ��� ������� �� ��������� �� �� ��� %� ����� � ��������� �� �� �� ������� ��� � ���� �� � . �� � ������ ��������� �� �� �� ������� ���������� � ��� �� � ����� ������ � � � ��� ��� ������ ����� ��� �� ��� �� /����� � ������� �� ��������� ���
0� ��� � �.� � ���� ���� � ������ ��������� �� ��� �� ������ �� ����� � ��� ���� � �� � � ������ �� ������� � ����� ���� � � ������� ���� � �� ���� � � �� ���� ��� � ���� ���.��� �� ����� ��� �, ��� %��������� ��������� �� �� �� ������ ����� �� � � �������� �� ��������� � ����� 1 ����& ��� �� �� �� ������� � � � ���� � � ������� � ��������� ����������� ��� ���� ���� �� � ������� ������� � � ����� ������
�� ����� �� ����������
0 ��� �� �� �� �� ����� �������2��)� � � ������ ���������� �� �� �� ������� �� � ���� � � ��� ���������� �� �� ������ ��� ������ ����� � � ������������ � ���� ���� �������� 3��� ��� ��� �� �
� ��� � �� ��� � ���� ���� �� ����� ��� � ����� �� � ������ � �� � ������ ��� � �� ��� �� �� �� � ������� % � �� � �� �� �� ������� � �� � � �� 2��������� �$ �4��$ � � � ���� � � � �������� � ������ ������ � � ����� � ������ ��� � ���� /�� ��������� � � �� ��� ����� � ������� ��� � ������ � �� ����� � � � ��������*� 1 ���� � ������ �!$ ��� � ���� ������ ����� � �� ������������ ���������� ����� �! ����� ��� ���.���� ����� ��� �, ����5� ��.� �� � ���� /�� ����� � ������� �� �� �4������ ����� � �� ��� ������� 1 /�� �� ��� ������������� ����� � ���� �� � ���������� ����� ��������� �� ��
� � � ��� ����� � ��� ��� �� ����� �� � ��� � ������� � ���� ��� ����� 1�� � ��� ��� �� � � ��� ��� ����� � � ���� ��� ���� � ��� �� ������� ������ ������ ��� � /� �� ���� ��� � ����� %���� � � � ���� � �� �� � ���� ��� ����$ ��� � �������� �� ��� � ���� � ����� ��� ���$ � � � ���� � /� ��� ������ � ������� ���� �� � ���� ��� �� %���������� � � ��������� ����� ��� �� �� � ��� ���������� ������ ���� �� � ������� ��� ���� ��� �������� ����6�� ��� � � ���� �� ��� �� �� �� ���� � �����6�� �� ����� �� � ������� #��� � ��� ����������� � � � �� ��� � ��� ���� ���.��� � � �� ������� � ������ �� �� ��� �� ������ ���� �������� ���0����� ��� ��������7� ���� � ������� ���� ��� � ����������� #��� � ����� �� ���������� #0#08$��+�',� ��� � ���� ��� �� ���� ��������� �� ��� ����� � � ���������������� ��� 8�������� � �� ��� ������ 8�9$�'�� � � � � ��������*� ��� ��� � ���� �� � ������� ���� ������ ��� �������� ��� � ��� ��� �� � �� %� ��� ��� � ������ � � ����� ������������� �� � �� ��� ����� ���� ����''�
0� ����&��� � �� �� �� ������ � � � ��������� �������� � . � � � ��� �� 8�9 � � � � ����� ������� �� ������ � ������� ���� ��� ������� �� � ������ �� ����� ���� ������������ ����� �� ����� � ������� �� � ������ � � ����� ��� ��� � � ���� �� ����� ��� � � � �������� 1 ��� /�� �� � ��� ��� ����� � � � ��������� ���� �� � ������������ ����� !��� � �� � �� �� �� ������ �� ���� ��
���� ����� �� � ����� ��� ��������� ���� �������� ���������� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ����
("#$ %��&� �� �� ���� '� �� ���� (� )� ���� )�� � %��*
+,!��� �& �!���,�� � �� ���� �� +��-� .�/�� �� 0 �1��2�/3+��-�� ����4�� 5�����6������7 !� �!���82 -��,�*�
"##$ 9!�2 :��* :�2 2-;;��/�< �3 /!� .�/�� �� ���� =�2���,! �� /�� %������� �& /!� ����� +,�� ,� � < � �� ���� � >�- <�/�� 5�?+�>6/!��-�! /!� .�.? 232/��2 2/�/-/� �/ +��-� .�/�� �� 0 �1��2�/3�
" ���. ���� � ����� �� �� �� ������ �� ��� ����� �� ����� � ������ �� ���� ����� �� � ������� ��� ������������ � ��������� � ����� 1�� � ��6��� ���� �� � �� � ���� � ������� � ���� �� ������ ��� � ��������� � � ������ ���� � ��6����� ����� �.� ����� 0� � �� ����� � ���� �� ���� ��� � ����� �.� �����%��� �� �� �� ������ �� ����&� � � ������� � ��������� ������ ����� ��� �� �� ���������� � � ��� � ���������� ���� ��� ��� �������� :��� � ������ � ��� ��� ���� ��� ���������� ��� ����� �� ��� ����� � � � ��������� "� � ����� ������ ��� ���� �� ������� �� � ����� �� � ���� ����
����
�����
����� � ������ � � ������������ ����� ������ ���� ��� � ����� � � ����� � ��������� ������ �� ������ ��� ���� �� �� � ���� ���� � �� �� � �� � �� �� �� ������� %�� � � �� ������� � � ������ � � ������������ ����� ��������� ���� ������ �� � ����; � � ���� � � ������ �� ������������ ���� ��� � �� ������� � ������ �� ����� ��� � � ������������ ���� � �������� ����� �� � ����� � ��������� ����� <��� ������ � ������������ ���� �� ��� ���� � ����� ������ ��������� ���� � � ������� � � � ������� ��������������� ���� ����� � ����� � ����������� ������ � ������ ������$ �� ��� � �� ��� ���� � �� � ����������������
%��� � ��������� ������� �� ����������� �������� ������� �� " ������ �� ���� �� ��� ��� � ������ ��� � �� ����� �� ��� � � ��� � ���� ��� 8�9 �� ���� 8�� ���.� �� ��� ��� � ��������� �� ��� � � � ����� �8�9 ��. ��� �� � � ���� � � � ���� �� � � ������ � ������ ���� �� � ������� ������ �� �� �� � ��� ���� � � ��� %� � � � � ������� �� �������� �� ����%� ��� �� ����� �� �� �������� � � ��� ��� �� � �� ����� � 8�9� %� ���� � � � �� �� � � �� ���������� ��� � ��� ���� � ��� � �� � � ���� � � � ����� � �� � ������ %� � ���� ���� � � ������������ � ��� � � � ��� ����� �� � � � ����� �� �� ��������� /��$ �<#!$ ��� �� ��� � ��� ����� 0�� ��� � � � �� � ������ ������ �� /� �� ���������� � ������ �� � ������������ �����
:� � � ���� ������ ��� � ���� � �� �� � ����� �� ������ �� ���� ��$� %� � ��� � � ��� �� �� � ����� �� ��� � �� �� � �� � ���� �� � �������� ����� %��������� � ���� ������ � ��� �� ��� � � � ����� ���� ��� � � ��� ���� ���� �� ��� � ��� �� ����&� � �� �� �� � ����� 0� ����� �� � �� ���� � � ���� � ����� �� ��� � ����� ��� �� � � �� �� � ����� � ��� ������ ������ �� �� �� � �������� �� � �� ���%� ���� � � �������� �� ����� ����� � � �� ��� ���� ����� ���� �� � ����� ������ � � �������� � � ������� ��� ����� � � �� � ���� � ������ ��� �� � ������� � �� � �� ���� � ���� �$� %� ������� � ����� �� �� ��� � �� ��� ���� � ���� � � ������� ������� �� �� �� ����� � � ��� � � � ���� � ����� %��� ���� �� ����� �� ������ ����� � ��������� ���� ���� ��$� 0 �� ��� �� � �� � ���.��� � � ����� � ���� ���� ��� �������� �� ������ ��������� � �� ���� � � ��� ����� � �� �����
%� �<#! � ��� ��� �� � /����� �� � � ������� �� ����� � ���� � ����� � �� ������ ������ ! �� ����� ��� ��� � � � ��������� ����� � � ����� ����� � ������� ��� � ��� �������� ��� � �� ������� �� ���� �� ������ %� � ���� ��� � � � ���������� ��� �4�� �� ���� �� "� �� /���� � � � ������ ��� � ��� � � � ��������� �� = � ��� ���� ������ �� "�� � ���������� ������ ��� ������ � � ������� �� � �� �� ���� �-, >8$ �� � �����
������� %� �� �� � ���� ��� � � � ������ ����! �� ���� �/��� ����� � � � ���� �� �4��� "�� �� ����� � ��� ���� � � ������ �� � �� �� ���� �,, >8$ ��� �� ��� � ������ �, >8 ����� ��� ��
����� �� � ����� � � � �� ����� 0 �� ��� .� ���� ����� ����� ��� ������ � � � ��� ������ �� ���� � � ��� ����� ��� � �� �� �� � � � ��� � ����� ����� � �� ��� � ������ ���� ���� ������ ������ � � ����'-(')� %��� ����� � ��� � ������ �� ��� �� ������ ����� ��� � � ������� ����� � ���� ��� ����� � � ����
!� �� �� ����� ' �� � ����� ��� � ��� � �� ���� �� ��� "�#$ ����� �� �� �.� � ���� �� ���� � �������� � � � ��� ��� ���� ���� �� ����� � ��� ��� �� ,�� ��� ���� ? ' ��� ���� ���� ? ', ��$� ����� '� �� ��
���� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ���� ����������� ���� ����� �� � ����� ��� ���������
������ � +,!���/�, <������ �& /!� ��:�<-/3���/�� ;�//�� � � :�/! � ���2�<-�� &��� :!� 2�&/ ���<� � 5�� ,�;�����3 &��,� ��/!����;!36 �2 -2�< &��;��;�//�� � �7 �6 2;� �,��/� � 5�� <�; ,��/� �6 /!� &��2/ ;��3��� � � 2-��2/��/�@ �6 ;��,� � � ���2/�����, ���< :�/! � ��: <-/3 ��/�� 5��AA � /!�2&��-��6 � /� /!� ,��/�< &��� /� &��� � 2/�-,/-�� :�/! � �� �2,-2 �3 ��/!��2�&/ ���<� � "�B$ �� ,�;�����3�&��,� ��/!����;!3 "��$@ ,6 ����1� � /!� ���<@<6 �&/�� <�3� �� ,��/� � /!� ;��;�//�� :�/! /!� 2�,� < ;��3��� /!�/ !�2 ����22�/�� 2�/�� /��;���/-��� ��� ��:�� /!� /!�/ �& /!� &��2/@ �6 �&/�� <�3� ��2���,/�1��3 <�:�//� � /!� ��3�� �& /!� ,��/�< 2�,� < ;��3���� -/���C� � /!��� �2,-2 �<��2 52�� /!� ,��,��6@ &6 ��&/� � �&& /!� ;��;�//�� �
����
�����
�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�
� ������ ����� �� � � � ������ ����� '� � ������� � ������ ��� � �� ��� � �� �� � ����� �!���� ����� '� � ���� ��� � ����� �� ��� � ������ = � �� ����� '�� �� �� �� ���� ������� ����� �������� � ���� �� �� � � ������ ��� �� ��� �� � ���� � � ������� �� ��� � ���� ����� �������� ������ �� � � �� � �� ��� %� ����� � ��������� ���� ����� ��� �� ���� � ����������� ������ ������ ����� �� ���� � �� �� �� �� ����� '�� "�# ������� ����� � � � �6��� �� ����� '�� ��� �� �� �� �������� '��� %� ��������� ��� ��� ��� ��� "�# ����������� �� � �� � � ��������� ���� ��� ��� � ����
%�� /������� ����� �� � ��� �� � ����5� �������� � ���� ���� �� ���� � � �� � ������ !�: ������$�� �� ������ � � �� �� �4�� ������$ � � � �� ��� �� ������ �� � ����� � � ���������� ������ ���������
% �� � �� � � ��������� ������� ������ 6�������� �� ��� ����� ���� �� � /� ��� ������� � � �����#0#08 ���� � ���� ��� �� � ������� � ���� ������� � ����� �� �� �� ���� �� ����6�� ����� �� ����� � / ���� ��� � ��� ��� � ,�) ��� ����� �� ��� �� ��� � � ����� ��� ������ �� %� ������ ������ ������ �� ������ %� ���� � � ���� � ��� � ���� ������ �� ��� �� � �� �� �� �� ����� -�� ����� �� �� ����� ���� �� �� ����� %� � /� � �� � �� ����� -� ���/����� �� "�# ��� � ��������� ��� ��� ��� ��� ������ �� �� �� �� ������ -��� ��������� 1�� � ���
��� � ���� � /� �� � �� ����� � ��� ���� ������� ��� �� � /� �� ���� � ���� � ����� ���� �� �� ����� -� ��� � ��� � /� �� � ��� ������������ ��� � ����� ��� �� �������� � �� ���. � �! ��� ���� �/��� %� ����� ��� ������ � �� ������ � ��@� ��� �� �� �� ����� -�� "� ������� ������ ����.��� � � ����� � ���� ���� ��� � ������� �� ���������� � �� ���� � � � �� ��� � � � ����������� � � ����� �� ����� -� � �� ���� ��� � ��� ����� �� � ���.��� � ,�7) �� � � � ����� ����� � ����� %�� ������ �� ��� ���� � ������� ���. ���� � �!�� �, ���A � � �4�� ��� - ���A � � �!�
0� ��������� �� �� ��� � � ��� ���� � ���� ��&�� ��� � ������ B ���� �� �� � ���� � � � ������� ��& �� ��� � � ��� ��� �<#! �� ����� ���� ��� ����� �� �����'*� ��� � ���� ��& �� ��� ������� ),, ��� � � ��� ������ %��� �� � ���� ��& ����� � ����� �� ����� �� � ���� ��& � � � �� ����� � �� �����
% �� ��� �� ������ �� � � ��������� ��������"�# ��� ��� �� ���� � � ��� ��� ���� ���� �� ������ � � �� ���� � � � ��������� �������; ��� ���������� �� � � � ������ ��� � ���� � ������ ��� ��� �� � ����� ��� ������ ��� ��� � ������ � ��������� %� ����� ���� ��� � ��� ���� � ���� /�����', �� ��� � ��� ������� � 7, ��� ���� �� � ��� ��� ������� /����� ,�')� %� ����� �� �� �� �� ����� 2� %� �� ���� ��� � ��������� ��� �4�� ���� 2�$ �� �� � �����
���� ����� �� � ����� ��� ��������� ���� ����������� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ����
������ � ?;/�,�� ��,��2,�;3 �����2 �/ 1����-2 2/���27 �6 %�%! ;��;�//�� &����< �3 2�&/ ���<� � :�/! � !��! <-/3 ��/�� �& ��� :!��� /!� �� � :�</! �2�� �� � < /!� 2;�,� :�</! �2 � ��� �6 ?;/�,�� ����� �&/�� 2;� �,��/� � /!� ;��;�//�� :�/! %+� ,6 '�:�//�< %+ ��3��� <6 ?;/�,�� ����� �&/�� ��&/� � �&&/!� ;��;�//�� � 2!�:� � /!� &� �� <�2���< ��:�<-/3���/�� ;�//�� � �6 9!����<��� 2�� �� �>( ����� �& /!� &� �� ;�//�� :�/! � ��: <-/3 ��/�� �& ���� :!�,!,����2;� <2 /� /!� 2E-��� � 5<6� &6 +�,/�� �� ;��&��� �& /!� <�//�< �� � � 5�6�
����
�����
�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�
��� �� � ������ ���� �� � � ��� ������ ������ ��-,, �� � � ��� ��� )), �� � � ��� � � ��������%��� ������ ��� � ��� ��� ���� ������ �� /���� ������ ��� ���� � ����� ����� �� �� � ��� ������ 7, �� ��� � ���� �� ', ��� ���� � ������������ 2$ ������ %� ������ ���� � ���� � � � ����� � ��������� � � ���� ������� � ����� ����6�� ����� �� � ������ �� 0 ��� ����� � ��� � ������ ������/� ��� B�� � ��� �� � ������������ ���� ��� ��� � /� ��� � � ������ ������ �� /�� ���
!����� ���� � ������ ��� �! ����� �� � � ���� ��� ���� �� � ������� ��� �� � �� ���� � ������������ �� ����� �� ',, �� ���� ���� 2�$� %� ���� � �������� �� �� ),, �� � � ��� ��� *,, �� � ���� � � �������� %���� � ���.��� � ), �� � �! ������ � � ��� ��� ',, �� � � ��� �� � ���� � �� ����� %��� �� � ����� ���� ���� �������� �� �� ���� ��� � ���.��� �� � ������� %� �� ��� ��� ������ �� �� �� ���� /����� -7 �� ��� �� � �!� ���� �� � ���� � ������ ��� � �� �� � �! �� ������� � � ��� � � �������� ������ � ����� � ������� ��� � ����� ��� � � ������� �� �� � �! ���� 2�$� %� �� ��� ����� ��� � ������ � ��������� �� � ������� ���� ���� 2�$� %�� ����� �� ��� ���������� �� � ��������� �������� <� � � ���� ���
�� � � �������� � ���� ���.��� � � ������� �� ������ ������ ��� �� � � ������� ���� � � � /�������� ���� �� �� �� ����� 2�� � � /����� � �� ), �� �� ��� ���� � �� ',, �� � � ���� %� ��������'5� �� ������ ������� � ����� �� � ��������� �� ��������� � �� ��� � �6��� � � � ����� � � �� ��������� � � ����� ��������� � ����� %� �� �� �������� ���� ���� &� ��� ��������� ���� ���.���� ��������� �� � ������� ���� ���� �������� " ����������� ������ ������� ���������� ������ � ��� ������� %���� �� � ���.��� � � ���� � � ������� ���� � � �������� �� ��� � ������� �� � ������ ��� � ���������� ���� � ������� ����
�������� � �� � ���� �� �� ��� � ����� ����� ������ � ���� �� � �� ���.� %� � ����� ����������� � � ����� � ���� �� ���� /�� �� �� � � �� ��� �� �� � � ���.� �� ������ �� ��������� �� �������� � ������ %� ����� � ���� ��� � ��� �� ���.�� ����� � � � ����� � ���� �� ������ ������� � ������ � � � ��� �� �������� �� ���� � � ����� ������� -� 0� ������� � ���� � ���� �� ��� � ������� ����� �� ���� ��� �� �� � ����� � ��� � � ���������� � ��� �� ��� � � ����������� � ����� ��� ������� � ��� � ����� � ����� � ���� � ������� � ���� �� ��� � �������'7�
���� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ���� ����������� ���� ����� �� � ����� ��� ���������
������ � �6 ?;/�,�� ��,��2,�;3 ����� �& /!� ;�//�� �< ;��3��� ��F�2 :�/! � ��2�<-�� �6 '���/�� ,����� ����� �& /!� ;�//�� �< 2��;�� 5� ,�G� ,�6�,6 �/��/,!�< ��2-�/ �& ���,��/�< ���22 ,� &���� � � ��2�<-�� ��3��� 9!� :!�/� ��F�2 � < ���,* ��//�,� �& /!� ����� ,����2;� < /� �� � < ���� ���22 2-��2/��/�� ��2;�,/�1��3� <6 9!����<��� 2�� �� �>( ����� �& /!� ��F � 5�6� �6 +�,/�� �� �>( ����� �& /!� <�//�< �� � � 5<6�
����
�����
�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�
�� ����������
1 ��� ��� ���� � ���. ���� � ����� ������ �� ���� �� �� ��� ���� ����� %� �� ���� �� ������� ������� �� � � ������� �� ��������� � ���� ���� � ��� � ������� ����� � ���� � �� � � ������ �� ��� � � �� � ������ � � ��� ���� ���.�������� ��� �, ��� 0� � ����� � ����� �.� ���� � � �� �� � ������� 0� � ����� �� ��������� �� ��� �� ������� ��� ��� ��� !"# ������� �� ��� ������� �������� ��������� �� �� �� ������� � ��� �� ��� �� � � ����� ��� ������� �� ���� �������� ��� % �� ����� ����� � ���� � �� �� �� ������� � ��� ����&� ������� � � � ��������� �������� %��� � ��������� �������� ��� � ������� ���� ��� �� � ������� � � ���� ������� � ���� ��� ��� ������� �� ����� � ������ ���� ���.��� ��� � ���� � ��� � � ����6�� �������� 0� ��� � ��������� �������� � /���� � �� �������� ��� ��� � ������ � ��� ��� ���� ��� ������������� ����� �� ��� ����� � �������� %��� �� ����� ���� ���� �� /���� �� �� �� �� ������ '��-� ������� ���� �� ����� 0� ���� ������� �� �� ��� �- ��@- �� ������ ��� � ������ �����
�� !" ��# ���
C��� ���� � ��� ��� � ��������� ����� �� ��� �� �� ��������� /��$ �<#!� !������ �72� < � 8 �����$� %� � ����� ������ �� ������ �<#! ������ ����� �� ��� � ��������� ����� ������ �� �� ��� ������ � ��� ����� ��� �������� "� ��� ���� � �� ���� �� �<#! ��� � ����� ������� ����� � � � ���� ���� � �� � � ������� ��� ����� � ����� 93 !��� �$ ��� � ��� � �- ��$ ���� /�� ���� ��� ��� ��� ������� %� ����� � ���� ��� ����� �� ����� ��� ���� ������� � ����� �� �� �� �� ��� ��� � � ��� � ���� �� /����� ����� ++A� D� %� ��.��� 0���$ ��� �� ��&� ��� � � * ��� ������ ���� �� ��� ��� � � � � ����� � ��� � �� 2��������� �$ �4��$ ���������� � ������ ����� �? ', ,,, �� �(� ��������������� � ������ ��$� ��� ? �-,(�7) >8� "������$ ��� �������� � ������ �!$ �? ',,,� �E�? ��,*� ��' ? �,, >8� � ����! ���� 0���F �; ����������� � ������ ����$� 1 ��� ��, ���A �4�� � ��� � �� ���� � ��� �� -� ��� ) ���A �! � ��� ���� ���� �/�� /�� ��� ����� ++A� !������ ��� 8������ 8 ��9%<�$� %� �4�� � ��� � ��� ������ �� � ����� ��$ � ����� ��� � �<#! � �� ��� ����� � � ������ � � �4�� ������ �������� � ����� ������ G � = ��('$ � � � �� ���� � ���� ��� ����� � � �� ��� �� � ���� "�� ������� � ������� � � ����� � ������ �� �� ��������� � � � ��� � � ��� ��������-, ���� � �� � ������ ��� � ��������� ������� �� ��� � �� ����� ��*� � ����������� �� ��� ������ 8�9$ �'��� %� ��������� � ���� ��� ��� ��� � ��� ��� ���� � � ������ �', >8$�� � ��� � � � �� %� - ���A � ��� � � �! ��� ������ �� � ������� � 2,,, ��� � � -, �� % �� � ������� � ���� � ��� ������� � *, >8 � � ,�) �� <���� � � �! ���� ��� ������ �� ������ � � - ��� � ��, >8� ����� ��� ��� ��� ��� ��'�
% �� � � ����� � ������� ����� � 8���� ��� ����� ��������� ��� ��� �� ���� � ����� "�� � �������� � 8� ���� 8H�5!I� 8���. � ���$ ��� ��� �� � /� �� 8�� " ���� �� ���� �� �� "�#� <����� 0������ <����� � -�,,$ �� � ���� � ������ � �� ��� ����� ���� �� �� :������ �J*,$ ����� /���� � � ������ � � �����
H����; #���� +� ',,)����� ���� �; #�� +� ',,)
�������� ����; D��� '+� ',,)
(��� "� I����� =� "� "�� � C� I��� B� "� ������.� 3� #� 1�������
���� �� � � �� �$$%� ��� '�+��'� 9� H �.� ��� K� 9��� �� #���.�� %� �� H������ #� K �� !� 3� D� # �
����� ����� � �� � ��� �$$$� ��� '*,'��-� #� �L���� !� 1������ D� #���.� 3� I������� M� !���� ��!�
�$$&� "#$� 755��2� 3� =��� � �� <� C���� D� �� < ������ "� I����������% �!% � �$$$�
"�� '-)*��)� �� <� C���� 3� =��� � D� �� < ������ D� "� H ���� "� I����� �����
� �� � ��� �$$&� �$� -+,,��*� "� !����� 4� ����� � D� �� < ������ C� D� "���� "� I����� ����!��
�''�� $�� 5,2���5� 3� 9�� 1� 9�� D� K� � 3� N����� �� K���� D� !��� �&�� �� �� �''�� $'�
�,2+��7� 8� 9� � H� J���� N� N����� D� ��� K� B��� �� ��%%��& (�� �)�� *���
�''�� �+#� �)7��+� N� N����� N� 1���� H� J���� K� B��� ��%� � �''�� ''� -5-5�
��,� I� �� 9� !� D� ���.� 8� "� #��.��� D� 8� !���� #� #�.����� *�� �� �''�� �#,� �5,'�
���� B� N����� N� 9�� 8� "� #��.��� �&�� �� �� �''�� $'� �25'���'� D� "�&����� <� "� #����� D� 9� 3��&��� <� H� B������ *�� �� �''��
�##� �',)���-� B� N���� 0� 9� #� �� H����� �� %� B��� ��� �&�� �� �� �''�� $'�
)*+���2� I� I������� "� !������ ����!�� �''�� $�� �7+-���)� I� I������� "� !������ ����� � �� � ��� �''�� �+� 2)-*�
���� ����� �� � ����� ��� ��������� ���� ����������� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ���
������ � +�,/�� �� �>( ;��&���2 �& � �� � � < 2;�,� ;�//�� �/ &�-� 2/���2�& /!� ��:�<-/3���/�� ;�//�� � �7 �6 %��;�//�� &����< �3 2�&/ ���<� ���6 �&/�� 2;� �,��/� � /!� ;��;�//�� :�/! %+� ,6 �&/�� <�:�//� � /!� 2;� �,��/�< ;��;�//�� � <6 >� �� ;�//�� �&/�� <�22��1� � %+� :!��� /!� � 2�/2!�:2 /!� /!����<��� 2�� �� ����� �& /!� %+ �� � &����<�
����
�����
�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�
��*� K� !� I��� I� K� !��� B� B� 9� �--%� ����� � ��� �''�� .#� ''7)���5� H� !����� !� B����������� I� D�� ��� ����� � �� � ��� �''�� �+�
))-2���7� !� K� 8� �� �� H� I������ �� D� H��� �� �--%� ����� � ��� �$$%� +.�
-��2���+� C� I��� K� J��� J��#� N�� � 3� #� 1������� �&�� �� �� �$$(� #�
*)���',� =� 9� D �� 0� !� 8� �� �� J�� 3� #� 1������� �&�� �� �� �$$$� $$�
+2*��'�� I� K� !��� K� !� I��� B� B� 9� �&�� �� �� �''�� $"� �-7*��''� B� K �� I� #� 9� <� I����� B� B� 9� �--%� ����� � ��� �''�� �,�
�5+-�
�'-� 3� H��� ����� � �� � ��� �$$�� +�� 5)��'2� 0� I��������� ��� 1� 1� 3������� <� �� C����� ����!�� �''�� $.�
-'**��')� D� #��� �� �� �� 3��� ����� � �� � ��� �''�� ��� ',) ),2����'*� %� 1� :� �� D� 8� 9 �� <� �� 1 ��� I� C� ����� 3� #� 1�������
����!�� �''�� $�� )-�2��'5� �$ "� 4��O� ����!��� /���&�� *��� �$))� '�� '-� �$ H� !����� !� B��
��������� I� D�� ��� �� �����0 ���& ��� ��� � �''�� $"� 2+')��'7� #� !� 8��� !� 9� ����� �� 1� D� <�����.� ���� *�%�& /�%� �'''� ".#�
',-�
PPPPPPPPPPPPPPPPPPPPPP
���� � ���� �� ���� ������ ���� � ��� ����� �� !��� ���� ����������� ���� ����� �� � ����� ��� ���������
����
�����
�� �� ��� � ���D��:�'-/3�=�/�� %�//�� � � � � ��/����� ��-2 +-�&�,�