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TRANSCRIPT
1
デジタル情報家電用SoC技術の動向と
テクノロジーへのインパクト
松澤 昭
東京工業大学
大学院理工学研究科
電子物理工学専攻
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 2
内容
• デジタル情報家電の時代
• デジタル情報家電用SoC– メディアプロセッサー技術
– ローパワー技術
– アーキテクチャと消費電力
– アナログ・デジタル混載技術
• SoCの開発体系
• テクノロジーへのインパクト
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 3
内容
• デジタル情報家電の時代
• デジタル情報家電用SoC– メディアプロセッサー技術
– ローパワー技術
– アーキテクチャと消費電力
– アナログ・デジタル混載技術
• SoCの開発体系
• テクノロジーへのインパクト
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 4
デジタル情報家電の時代
デジカメ、カメラ付携帯電話、DVDレコーダー、デジタルTV、フラットディスプレー
などのデジタル情報家電機器が大成長。これらの機器には1~2個のシステムLSI (SoC)が使用されている。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 5
デジタル情報家電機器の急伸
デジタル情報家電機器が急伸し、従来のアナログ機器を完全に置き換えた
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 6
デジタル情報家電と半導体
携帯電話を入れるとデジタル情報家電の生産金額はPCの国内生産を上回った。このため、SoC, Flashメモリ, CCDなどの半導体売り上げは米国を抜いた。
日経エレクトロニクス 2003.10.27号 pp.129-130
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 7
デジタル情報家電用機器のコスト構成
100
80
60
40
20
0WideTV Internet TV Digital TV PC
30%30%
40%40%
25%25%
15%15%
40%40%
10%10%
10%10%
30%30%
10%10%
30%30%
55%55%
5%5%
5%5%
5%5%Labor costLabor cost
Softoware & patentSoftoware & patent
ComponentsComponents
SemiconductorSemiconductor40%40% 50%50%
Cost
occupa
tion (
%)
Analog base Digital base
PCと殆ど変わらなくなった
PC
機器のデジタル化によりコスト構成はPCと殆ど同じになった。半導体投入比率は倍増している。機器=半導体の時代になった。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 8
新たな半導体ビジネスの構図
従来の半導体技術オリエンティドなメーカーだけではなくアプリケーションオリエンティドなSoCを主体とするメーカーが出現する。
CPUCPU DRAMDRAM Logic(ASIC)Logic(ASIC)
NetworkAnalog
NetworkAnalog
CPUCPU DRAMDRAM Logic(ASIC)Logic(ASIC)
NetworkAnalog
NetworkAnalog
CPUCPU DRAMDRAM Logic(ASIC)Logic(ASIC)
NetworkAnalog
NetworkAnalogPC
DVD
DTV
CPUMaker
DRAMMaker
ASICMaker
AnalogMaker
Not appeared yet
Syst
em, A
pplic
atio
n
Conventional semiconductor makers (semiconductor technology base )
Future semiconductormakers
(Application base)
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 9
内容
• デジタル情報家電の時代
• デジタル情報家電用SoC– メディアプロセッサー技術
– ローパワー技術
– アーキテクチャと消費電力
– アナログ・デジタル混載技術
• SoCの開発体系
• テクノロジーへのインパクト
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 10
デジタル情報家電用SoCの分類
超高速メディアプロセッサー系
ローパワー処理系 アナ・デジ混載系
・デジタルTV・超高速動作
・携帯機器・低リーク/低電力
・DVD, デジカメ
・アナログ混載
デジタル情報家電用SoCは3分野に分類できる。
・超高速メディアプロセッサー系・ローパワー処理系・アナ・デジ混載系
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 11
内容
• デジタル情報家電の時代
• デジタル情報家電用SoC– メディアプロセッサー技術
– ローパワー技術
– アーキテクチャと消費電力
– アナログ・デジタル混載技術
• SoCの開発体系
• テクノロジーへのインパクト
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 12
超高速メディアプロセッサー型SoC
Tuner
AFE
ICCard
D-VHS
DVC
RD
RA
M
HDD SDRAMFlashFront End
Tuner
IEEE1394
HDD
0.13um CMOS, 6Cu35M Trs.CLK: 400MHz
メディアプロセッサー+マイクロプロセッサーによるSoCを用いてデジタルHDTVなどの超高速画像処理ができる。 M. Nakajima, et al., “A 400MHz 32b
Embedded Microprocessor Core AM34-1 with 4.0GB/S Cross-Bar Switch for SoC,” ISSCC, Dig. of Tech. Papers, pp. 342-343, 2002.
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 13
メディアプロセッサーの処理能力
Voic
eVo
ice
Rec
ogni
tion
Rec
ogni
tion0.010.01
0. 10. 1
11
1010
100100
10001000
Perf
orm
ance
(GO
PS)
Perf
orm
ance
(GO
PS)
10,00010,000AudioAudio VideoVideo VirtualVirtual
RealityReality
3D G
raph
ics
3D G
raph
ics
MPE
GM
PEG
-- 11 Enco
der
Enco
der
FAX/
Mod
emFA
X/M
odem
Soun
dSo
und
TVTV-- C
onfe
renc
eC
onfe
renc
e
MPE
GM
PEG
-- 11 Dec
oder
Dec
oder
MPE
GM
PEG
-- 22 Dec
oder
Dec
oder
HD
TV D
ecod
erH
DTV
Dec
oder
HD
TV E
ncod
erH
DTV
Enc
oder
MPE
GM
PEG
-- 22 Enco
der
Enco
der
Rea
l tim
eR
eal t
ime
3D G
raph
ics
3D G
raph
ics
Pentium IIIPentium III
メディアプロセッサーは汎用プロセッサーの1桁以上上の処理能力が求められる。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 14
MCU(AM33)121MHz
I-Cache4way,8KB
D-Cache4way,4KB
Crossbarswitch
Ext. busCont.
AV Decoder(Media PU)
TransportDecoder
DMA cont.
Instruction buss
Stream bus
STB peripheral I/O
SRAM8KB
Data bus
I/O bus
FLASH
SDRAM
Video
Audio
SoC for digital TV
Cash optimizationShort period interruption
SDRAM
SDRAMCont.
FrontEnd
Dedicated parallel bus
応用システムに特化したアーキテクチャ
The architecture optimization based on a system analysis is a key.
A. Matsuzawa, “System On a Chip and low Power Technologies for Digital Consumer Electronics,” Cool Chips, Proceedings, pp.149-173, 2000
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 15
0
50
100
5 15 20 2510
Data
Instruction
50
100
5 15 20 25100
Time (msec)
EPG process( non AV replay)
at AV replay
Occ
upat
ion
of e
xter
nal b
us (%
) Occ
upat
ion
of e
xter
nal b
us (%
)
Main Memory(SDRAM)
ExternalDevice
MCPTransportDecoder
Peripherals
Crossbarswitch
MCUInst. access
MCUData access
MCUI/O access
DMAcontroller
DMAtransport dec.
Bus-master
通常のPC処理に比べてAV処理ではバスの占有率が高く、処理速度が上がらない。
そこで、クロスバースイッチから構成される専用バス構成にしている。これにより処理速度は70%程度向上した。
A. Matsuzawa, “System On a Chip and low Power Technologies for Digital Consumer Electronics,” Cool Chips, Proceedings, pp.149-173, 2000
専用バス構造
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 16
内容
• デジタル情報家電の時代
• デジタル情報家電用SoC– メディアプロセッサー技術
– ローパワー技術
– アーキテクチャと消費電力
– アナログ・デジタル混載技術
• SoCの開発体系
• テクノロジーへのインパクト
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 17
ローパワー処理用SoC
MPEG4 Codec0.18um e-DRAM31M Tr90 mW@54MHz
15fps (Core@L1 decode)30 fps (Simple@L3 decode)
MPEG4 Decoder
0.18um CMOS11M Tr11 mW@27/54MHz
15fps (Core@L1 decode)
携帯型デジタル情報家電機器には超低電力・低リークのSoCが求められる。
T. Hashimoto, et al., “A 90mW MPEG4 Video Codec LSI with the Capability for Core Profile,”ISSCC, Dig. of Tech. Papers, pp. 140-141, 2001.
M. Ohashi, et al., “A 27MHz 11.1 mW MPEG4 Video Decoder LSI for Mobile Application,” ISSCC, Dig. of Tech. Papers, pp. 366-367, 2002.
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 18
低電力化技術
Video Input Video Output
VCE (Video Codec Engines)
DRAM(2Mb)
LM LM LMME VLC DCT
IDCTVLD PNR PAD CAD COMP
HIF(Host I/F)
Programmable DSP
DRAM(16Mb)
Main
MIF (Memory I/F)
DRAM(2Mb)
Sub Graph.
Filter
Inst. MemDSP Core Data Mem
LM LM
低電力化のためには素子の微細化・低電圧化の他にクロックあたりの処理能力を上げるために並列処理技術、専用ハードウエア処理回路・クロックゲートなどのシステム・アーキテクチャ・回路技術が総動員される。
0 5
PAD
COMP
40
6.1%
TextureDecoding
CAD
100
Kcycles
200
Core@L1Decoding
0
SoftwareHW Engine
WITH the Engines
26.5%
6.8%
63%
WITHOUT the Engines
24%Mcycles
ブロック図
ハードウエア処理の効果
1.5 GOPS: Simple@L112 GOPS: Simple@L36 GOPS: Core@L1
T. Hashimoto, et al., “A 90mW MPEG4 Video Codec LSI with the Capability for Core Profile,”ISSCC, Dig. of Tech. Papers, pp. 140-141, 2001.
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 19
内容
• デジタル情報家電の時代
• デジタル情報家電用SoC– メディアプロセッサー技術
– ローパワー技術
– アーキテクチャと消費電力
– アナログ・デジタル混載技術
• SoCの開発体系
• テクノロジーへのインパクト
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 20
LSI構成と消費電力
MPU DSP Dedicated LSI
GOPS
Pd (mW)
Pd (mW)/GOPS
0.9 0.8 2.4
7000 110 12
7800 138 5
Parallelism 2 16 96
3 order’s difference
Courtesy,Prof. Brodersen,UCB
LSIの構成の違いにより同一の処理能力でも消費電力は3桁違う。
汎用プロセッサーが最も電力を消費する。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 21
100 MIPS/W
10 MIPS/W
1 MIPS/W
0.1 0.3 0.5 0.7 1 3 5 7 10 20 30 50Power Consumption (W)
10
100
1000
Perf
orm
ance
(MIP
S)
AM30 /33
AM33 /200
1000 MIPS/W
20.2
20
0.07
Embedded
AM33 /150
AM34 /500
AM31 /66
AM32 Core /80
PPC750/266
PPC750/400
MMX Pentium/233
Mobile Pentium II/300
Alpha/600
UltraSPARC II/300Pentium II/450Celeron/400
EWS/PC
Game OrientedMobile Oriented
Controller OrientedPC/EWS Oriented
30
50
200
300
500
700
70
Trend of Performance/Power on 32-bit MPU/MCU
MPU/MCUにおける処理能力と消費電力
同じ処理能力でも情報家電系のプロセッサーは汎用プロセッサーに比べ1桁程度消費電力が小さい
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 22
LSIアーキテクチャの課題
Memory・Command・Data
ALU
Bus
M
L
M
L
M
L
M
L
M
L
M
L
M
L
M
L
Long wires
Centralized: Current general purpose MPU
Distributed: Parallel computing
MIPS=( 2 or 3) x Clock
Locate every needed circuits in the neighborhood
needs higher clock frequencyneeds longer wire lineneeds high speed devices
Large power dissipationTough timing skew, yet low processing ability
専用処理回路や並列構成にすればクロック速度が遅くとも処理能力を上げることができ、消費電力も下げることができる。しかし、アプリケーション特化の設計であり、汎用性が失われる。
Change the LSI architecture!!
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 23
デジタル情報家電用SoCの開発方向
デジカメ用SoC
デジカメ用SoC
DTV用SoC
DTV用SoC
DVD用SoC
DVD用SoC
携帯電話用SoC
携帯電話用SoC
デジカメ用SoC
デジカメ用SoCデジカメ用
SoCデジカメ用
SoCデジカメ用SoC
デジカメ用SoC
DTV用SoC
DTV用SoCDTV用
SoCDTV用SoCDTV用
SoCDTV用SoC
DVD用SoC
DVD用SoCDVD用
SoCDVD用
SoCDVD用SoC
DVD用SoC
携帯電話用SoC
携帯電話用SoC携帯電話用
SoC携帯電話用
SoC携帯電話用SoC
携帯電話用SoC
デジカメ用SoC
デジカメ用SoC
DTV用SoC
DTV用SoC
DVD用SoC
DVD用SoC
携帯電話用SoC
携帯電話用SoC
統一メディア
プロセッサー
統一メディア
プロセッサー
動的再構成回路
動的再構成回路
メモリー(SiP)メモリー(SiP)
・分野毎・製品毎のSoC ・分野毎SoC・統一メディアプロセッサー
・ソフトウエア処理化の促進(様々な用途に対応)・ダウンローダブル(出荷後の仕様変更可能)・動的再構成回路の使用(様々な用途に対応)・SiPにより多様なメモリーサイズと高速化に対応
今後の方向
アナログ
分野共通のメディア処理の台頭、開発コスト・TATの短縮などの理由から、SoC品種は統一される方向に向かう。汎用CPUに近い技術が要求される。
SoCの構成
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 24
内容
• デジタル情報家電の時代
• デジタル情報家電用SoC– メディアプロセッサー技術
– ローパワー技術
– アーキテクチャと消費電力
– アナログ・デジタル混載技術
• SoCの開発体系
• テクノロジーへのインパクト
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 25
アナ・デジ混在信号処理
Variable Gain Amp.
Variable Gain Amp.
Analog Filter
Analog Filter
A to DConverterA to D
ConverterDigital
FIR FilterDigital
FIR FilterViterbiError
Correction
ViterbiError
Correction
ClockRecoveryClock
RecoveryVoltage
ControlledOscillator
Voltage ControlledOscillator
DataOut
Analog circuit
Digital circuit
Pickup signal
・デジタル放送・通信・ネットワーク(DTV, ADSL, Ethernet, USBなど)・デジタル記録(HDD, DVD, DVCなど)
・デジタルカメラやディスプレーなどの入出力
アナデジ混在型信号処理は殆どのシステムに用いられている。
Data In(Erroneous)
Data Out(No error)
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 26
アナ・デジ混載SoC:DVDの完全ワンチップ化
0.13um, Cu 6Layer, 24MTrOkamoto, et al., ISSCC 2003
高性能アナログを含むDVDの全機能を0.13um技術を用いてワンチップに集積した。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 27
Home Home ServerServer
NetworkNetwork
ITSITS
CS/BSCS/BS
WW--CDMACDMA
HII StationHII Station
DVDDVDDVCDVC
Digital TVDigital TV
デジタルネットワーク社会
デジタルネットワーク化も現在の特徴である。ここでもアナログ・RF混載技術が使われる
ADSL, FTTH
DAB
Digital TV
Home network
Ethenet
IEEE 1394, USB, Blue tooth, Wireless LAN
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 28
CMOSの高周波化とアナログの困難さ
1995 2000 2005
1G
10G
100G
100M
Freq
uenc
y (H
z)
200M
500M
2G
5G
20G
50GfT : Bipolar (w/o
SiGe)
fT
Year
D R/C for HDDIEEE 1394
/60 (CMOS )
Digital circuits
fT : CMOS
0.35 um
0.25 um0.18 um
0.13 um
fT
CellularPhone
/10 (CMOS )
CDMA
RF circuits
5GHz W-LAN
RuleDesign 1
Perf
orm
ance
(Log
)
Scaling
(Log)
Integration 2
1L
∝
Speed 5.1
1L
∝
Dynamic range
5.1L∝
微細化によりMOSの高周波特性は向上し、高周波応用が可能になった。
しかし、電源電圧の低下はダイナミックレンジの低下を招き、アナログ混載を難しくしている。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 29
アナログ回路の低電圧化の困難さ
アナログ(上限)
アナログ(下限)
デジタル(上限)
デジタル(下限)
テクノロジーノード
‘00 ‘05 ‘100
1
2
3
4
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
Tech
nolo
gy n
ode
(0.1
um)
Analog (Upper)
Analog (Lower)
Digital (Upper)
Digital (Lower)
Technology node
‘00 ‘05 ‘10
Supp
ly v
olta
ge (V
)
ITRS ‘99
・アナログ回路では低電圧動作限界が1.5-1.2V程度と見られている。このことは0.13um以降の微細化が限界に達し、アナログの面積縮小と動作周波
数の限界が迫っていることを意味する
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 30
低電圧アナログの困難さ
0.1 1 10 10050
60
70
80
90
10095.918
51.938
SNRC 1 2, C,( )
SNRC 2 2, C,( )
SNRC 3 2, C,( )
SNRC 5 2, C,( )
1000.1 C
14bit
12bit
10bit
標本化回路では熱雑音をサンプリングし、これがノイズとなる
CnkTVn =2kT/Cノイズは
ここでnは関係する容量数
⎟⎟⎠
⎞⎜⎜⎝
⎛=
nkTCVSNR FS
dB8
log102
)(
SN
R (d
B)
容量 (pF)
0.1 1 10 100
VFS=5VVFS=3V
VFS=2V
VFS=1V
N=2として計算
フルスケール入力電圧をVFSとおくと
→高精度化=高ダイナミックレンジ化のためには容量か電圧を大きくしなければならない
→低電源電圧で同一のダイナミックレンジを取るためには容量を大きくしなければならない
微細化で電源電圧が下がると高性能アナログが設計しにくくなる
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 31
アナログ・I/O回路によるコストアップ
0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1
0.35um 0.25um 0.18um 0.13um0
0.1
0.2
0.3
0.4
0.5
0.6
0.7
0.8
0.9
1
0.35um 0.25um 0.18um 0.13um
(0.35um : 1)
Chip area Chip cost
I/OAnalog
Digital
Wafer cost increases 1.3xfor one generation
アナログ回路やI/O回路の面積縮小が図られなければ微細化によりチップコスト
は上昇する。
今後大規模アナログ回路のSoC搭載は難しくなる。
一部の本質的なアナログ回路以外はデジタルになっていく。1.A. Matsuzawa, “RF-SoC: Expectations and required condition,” IEEE Transaction on Microwave Theory and Techniques, Vol.50, No.1, pp.245-253, Jan. 2002.
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 32
内容
• デジタル情報家電の時代
• デジタル情報家電用SoC– メディアプロセッサー技術
– ローパワー技術
– アーキテクチャと消費電力
– アナログ・デジタル混載技術
• SoCの開発体系
• テクノロジーへのインパクト
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 33
開発期間の短縮
12 Mon
FirstDVD ROM
8xDVD ROM
12 Mon 3 Mon
12xDVD ROM
6 Mon 6 Mon12 Mon
Time‘97 ‘00
2.6GRAM
2nd G2.6GRAM
4.7GRAM
Combo16x
DVD ROMCombo
6x DVD ROM
Sale
s (A
.U)
デジタル情報家電機器の開発サイクルは短い。→短期間で確実な開発が求められる。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 34
システムに最適化されたSoC開発
システムに最適化されたプロセスからSoC設計までの開発スタイルが重要。
Process dev.Cell Lib. Dev.
SoC design
System target.
Process modif.Design modif.
UnconformitySpec. Cost and Time
Conventional
Advanced
Process dev.
Cell Lib. Dev.
SoC design
System target
MP
MP
Shorten dev. TAT
Collaboration System driven!
to solve boundary problems
A. Matsuzawa, 26.2 How to Make Efficient Communication, Collaboration, and Optimization from System to Chip [p. 417] , DAC 2003
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 35
SoC開発における様々な技術分野の力の結集
技術ロードマップの作成
System
SoC DesignCell Lib.
Process
Fab
EDA
Test
Package
Device
Mixed signalLarge system’s verification
ReliabilityHigh IddLow Ioff
Low-kCu
Cell heightHP AnalogHP I/O
Mixed signalClockingPower routing
EMI simCross-talk simMixed signal sim
Iddq testWafer burn-inMixed signal
POELow inductance
High yieldQuick ramp-upAnalog control
STIAnalog
Future demands, issues, and solutions
デジタル情報家電機器向けSoCの開発はシステムから工場までの最適化が必要である。A. Matsuzawa, 26.2 How to Make Efficient Communication, Collaboration, and Optimization from System to Chip [p. 417] , DAC 2003
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 36
内容
• デジタル情報家電の時代
• デジタル情報家電用SoC– メディアプロセッサー技術
– ローパワー技術
– アーキテクチャと消費電力
– アナログ・デジタル混載技術
• SoCの開発体系
• テクノロジーへのインパクト
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 37
技術の特徴とテクノロジーへのインパクト
• 応用特化のアーキテクチャ
• アナ・デジ混載対応が求められる
• コスト要求が厳しい
• 短期開発が求められる
• 品種あたりの生産個数が少ない
• 高速化要求は低い
• 低電力要求はやや高い
• 低リーク要求は同等
• 高集積要求は低い
• 高速化・低電力化・低リーク化・高集積化は必要であるが、これは汎用CPUと同等である
• アナログなどシステムに必要な機能集積要求が高い
• 低コスト化技術が強く求められる
• 短期開発可能な技術が必要
• 応用システムに応じて最適なテクノロジーノードが存在する(システム規模・性能が増大し続けない)
技術・製品の特徴 テクノロジーへのインパクト
(対汎用CPU比較にて)
機能集積度、チップコスト、開発コスト、開発期間などの展望が重要
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 38
テクノロジーへのインパクト:ロジック系
• デジタル情報家電用SoCがロジック系のテクノロジー開発に大きな技術インパクトを与えるとは考えにくい。
– 基本要求性能(集積度・速度・消費電力・リーク電流)は汎用プロセッサーと変わらず、この分野は汎用CPUがリードすると思われる。
– デジタル情報家電用SoCは応用特化の専用化により処理性能を上げ、消費電力を下げてきたが、開発コストの高騰や開発期間短縮により大量品以外は専用設計が困難になり、汎用的CPU使用がますます高まる。
– 速度は高速性はますます要求されるが汎用CPUほどではなく、超高速技術をリードする立場にはならないであろう。
– しいて言えば低消費電力・低リーク電流がより強く求められるが、状況は汎用CPUと同様である。
• したがって、配線の高密度化とLow-Kは強く求められるが、配線遅延の短縮は汎用CPUほどではない。トランジスタは駆動能力よりは低リーク電流重視程度の味付けの差程度と思われる。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 39
超高速動作の課題
・ 配線遅延時間が短縮される目処は殆どなさそうである。・ リピーターの面積・消費電力が急増し、許容限界を超える。・ メモリー間のデータ転送時間が70%程度となりCPU単体の速度向上効果が少ない
→ 今後クロック周波数増加による高速化は飽和する並列化やメモリーインターフェースの見直しで処理能力向上の方向へ
日経マイクロデバイス: 2003年8月号, pp.26ITRS 2001 Edition, pp. 261.
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 40
トランジスタパラメータの選択
1.8V 3V 5V1V 2.5V1.2V 1.5V
Design rule (um)
5
100
Del
ay ti
me
(Arb
itral
)
0.1 1.00.2 0.3 0.5
10
50 Low leak (3pA/um)
ConstantVt/VDD
Middle leak(1nA/um)
Scaled VT
Constant VT
Operating Voltage (V)
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1
1.2
1.4
1.6
1 2
0.13um (1.5V) 0.1um (1.0V)
Active current
Leak current
Active current
Leak current
Cur
rent
(A)
Generic Generic
0
0.2
0.4
0.6
0.8
1
1.2
1.4
1.6
1 2
0.13um (1.5V) 0.1um (1.0V)
Active current
Leak current
Active current
Leak current
Cur
rent
(A)
Generic Generic
・プロセスの微細化・低電圧化に伴いリーク電流が大きな課題になってきた。・携帯電話用途の低リーク電流トランジスタは速度劣化のおそれがある。・デジタルTV用のトランジスタはそれなりの速度が要求されるが90nm世代では
リーク電流が全消費電流の半分近くを占めるおそれも出てきた
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 41
システムLSIへの要求
デバイス・プロセスへの要求
高性能トランジスタの実現高性能
配線容量・抵抗の低減
高集積トランジスタ、配線のピッチ縮小による面積削減
低消費電力 低消費電力トランジスタの実現
高品質設計 高歩留、低特性変動
低コスト 面積の削減、マスク枚数の低減
デジタル情報家電用SoCのプロセス
・配線の階層化・Low-k配線絶縁膜
・Ion、Ioff、VDDの最適設定、
・マルチVt化
・配線長の低減・経時劣化の考慮
デジタルTV用SoC向けの仕様設定
⇒ 各種トレードオフの最適化と微細化の副作用への対策
トレードオフ
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 42
テクノロジーへのインパクト:メモリー系
• デジタル情報家電機器はメモリー関連のテクノロジーに多大なインパクトを与えるものと思われる。
– 不揮発性メモリーの大容量化への爆発的増加(1年で2倍)(デジカメ用途など) 微細化では追いつかない(3年で2倍)
• フラッシュの開発加速とMRAM, PRAM, などの他の大容量不揮発性メモリーの早
期実用化の促進
• 3次元積層パッケージ技術などの単位面積あたりのメモリー容量を増加させる技術開発が加速
– メモリー・ロジック間の大容量データ転送が必要(デジタルテレビ、ゲーム機)• DRAM混載はコスト増と、用途によってメモリーサイズが異なるシステムが実現し
にくいため、Chip On Chip技術などのチップ張り合わせ、もしくはなんらかの実装
での解決が期待される。
– 携帯機器向けにFeRAMなどの低電力・高速の不揮発メモリーの開発が加速
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 43
テクノロジーへのインパクト:メモリー系
メモリーの積層集積
携帯電話では限られた面積に大量のメモリーを集積する必要がある。また不揮発メモリーだけでなくSRAM, DRAMなど各種メモリーの組み合わさったシ
ステムになるため混載では難しい。高密度化・多層化は加速されるものと思われる。
30um 径、60umピッチのCoC接続点の電気特性は1mmの配線長と同等
Chip On Chip 技術を用いたCPU・メモリー間の高速・大容量接続
160Gb/s @123MHz
T. Ezaki, et al., ISSCC 2004, pp.140
メモリーシステム開発において実装技術が大きな鍵を握る
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 44
テクノロジーへのインパクト:アナログ系
• アナログ混載は必須になるが、搭載回路は極めて限定されたものになる。本質的に必要回路を除き、よりデジタル化される。
– 微細化による動作電圧の低下、かなりの回路が動作困難に– アナログ部のコスト増– 本質的に必要なアナログはADC, DAC, Low Noise Amp, VCO
• アナログオプションは最低限必要だが回路技術で増加を抑える方向– 必要なオプション:高精度MIM容量、厚膜配線、可変容量、トリプルウエル(高
抵抗基板)– 必要な性能:低VTミスマッチ、低1/fノイズ、高fT, fmax、低基板ノイズ
• RFの再構成可能技術が重要に– MEMS スイッチ
– 可変インダクター
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 45
ワイアレスSoCの開発
M. Zargari (Atheros), et al., ISSCC 2004, pp.96 K. Muhammad (TI), et al., ISSCC2004, pp.268
Discrete-time Bluetooth0.13um, 1.5V, 2.4GHz
Wireless LAN, 802.11 a/b/g0.25um, 2.5V, 23mm2, 5GHz
CMOSによるワイアレスネットワークの実現が当たり前になる。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 46
ワイアレスSoCの構成
Digital architecture: Direct conversion with discrete-time processing
LNA LPF Quantizer
Synthesizer
LPFMixer
1-2 GHzOSC
1-2 GHz
Digital processingΣΔADCSampleddata LPF
K. Muhammad (TI), et al., ISSCC2004, pp.268
Bluetooth receiver0.13um CMOS1.5V
RF IRF RF IRFLNA 1st Mixer 2nd MixerVGA LPF ADCTo Digital
250 MHz 20 MHz
IF SAW
1st Synthesizer 2nd Synthesizer
Analog Architecture: Super Heterodyne
1-2 GHz1.2-2.2 GHz
(Larger power, cost)
今後のワイアレスSoCはアナログ回路が最小になるような構成になる。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 47
ワイアレス分野の課題
IMT-2000RF
GSMRF
BluetoothRF
GPSRF
GPSBB
BluetothBB
GSMBB
IMT-2000BB
MCU
Power
ReconfigurableRF DSP
Unification
Yrjo Neuvo, ISSCC 2004, pp.32
Unified wireless system
Multi-standards and multi chipsFuture cellular phone needs 11 wireless standard!!
今後は携帯電話に11種類程度のRF通信・ネットワークが搭載される可能性があるためRF部分の統一化、再構成可能化が重要となる。
Current
Future
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 48
RF MEMS switch
J. DeNatale, ISSCC 2004, pp. 310
低損失のMEMS スイッチにより各種の機能を実現する
Select or change inductance and capacitanceSelect signals and circuits;As a result, enables reconfigurable RF circuits
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 49
可変インダクター
50%
h=10μm
x
Conductor plate
450μm
4μm
20μm
Sliding
2.4GHz to 5.1GHz
Sliding plate can vary inductance by 50%.Wide tunable range VCO (2.4GHz to 5.1GHz) has been realized.
TITech. Masu Lab.
可変インダクターの実現も重要である。Y. Yokoyama, et al., JJAP, Vol. 42, No. 4B, pp. 2190-2192, 2003.
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 50
様々な限界
10 -5
10 -4
10 -3
10 -2
10 -1
10 0
10 1
10 2
1970 1990 2010 2030 2050 Year
MPU LgJunction depthGate oxide thickness
Direct-tunneling limit in SiO2
Wave length of electron
Distance between Si atomsSize
(μm
), V
olta
ge(V
) Min. V supply
10 nm3 nm
0.3 nm
0.6V Error Rate limit (Digital)Electric energy vs. Thermal energy
1.2 ~1.5V Analog limit
集積回路技術はすでに様々な限界に直面している。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 51
デジタル情報家電がテクノロジーに与える本質的な影響
• 性能よりも製造・開発コスト、開発期間重視へ→ロードマップにこれらの指標を取り入れる必要あり
– 1品種あたりの生産個数が少なく、かつ価格が安い
– 3月毎の製品チェンジ
– 微細化によるマスクコストの急増
– 内部回路よりもI/O律速でチップシュリンクの効果低減
• アプリケーション毎に必要なテクノロジーが分化本流が後退、群雄割拠の時代へ
– アプリケーション毎にテクノロジーロードマップが必要
• 機能・性能・コストレンジが全て異なる
– ユビキタス、車載、バイオ、ロボットなどが次に控える
従来のテクノロジーロードマップはPC用の汎用CPUとメモリーが牽引。デジタル情報家電がPC用と拮抗する市場を形成するとこれは今後どうなるか。
STRJ WS: March 4, 2004, WG6 52
まとめ
• デジタル情報家電が急成長, PCに匹敵する産業に発展し、 SoCがこれらの情報家電機器を実現した。
• SoCは応用特化のアーキテクチャが取れるため汎用プロセッサーに比べて高速処理かつ低電力を実現できるが、今後はメディアプロセッサーの汎用化が進むため、汎用CPUに近い技術が求められる。
• SoCの場合、低コストかつ短期開発とともに、1品種あたりの売り上げが少ないため、低開発コストが強く求められる。
• テクノロジーへのインパクト:– ロジック:低電力・低リークに重点が置かれる– メモリー:不揮発性メモリーへの強い期待
より大容量化・高速化の要求によりSiP技術が不可欠に– アナログ・RF:MEMS スイッチなどの再構成可能なパッシッブに注目
• より本質的な変化– 性能よりも製造・開発コスト、開発期間重視へ– 用途の多様化により、必要技術が分化。用途毎のロードマップが必要