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CARACTERIZAÇÃO DE MATERIAIS E INTERFACES Copyright : Prof. Dr. Herman S. Mansur, 2011

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CARACTERIZAÇÃO DE MATERIAIS E INTERFACES

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Page 1: Modulo Microscop i A

CARACTERIZAÇÃO DE

MATERIAIS E INTERFACES

Copyright : Prof. Dr. Herman S. Mansur, 2011

Page 2: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica:

Fundamentos, Teoria e Aplicações

Práticas

Dra. Alexandra A. P. Mansur

Prof. Dr. Herman S. Mansur

Page 3: Modulo Microscop i A

Sumário

• Introdução

• Histórico

• Fundamentos

• Microscopia Óptica

• Princípios

• Parâmetros

• Equipamento

• Microscopia de Luz Transmitida

Page 4: Modulo Microscop i A

Introdução

MICROSCOPIA = micro scopio

Page 5: Modulo Microscop i A

Introdução

MicroscópiosResolução

aproximada(a)Ampliação Fonte

Requisito

amostraCristalografia

Olho Humano 100m --- LuzMaterial

(Volume)Não

Microscópio de Luz 100nm 5~1500x Luz

Material

(Superfície)

polida

Não

Microscópio eletrônico de varredura

-MEV10nm 100~200,000x

Feixe

eletrônico

Material

(Volume)

Sim/Não

dependendo modelo

Microscópio eletrônico de

transmissão – MET0.5nm 1,000~300,000x

Feixe

eletrônico

Filmes finos

(espessura

~100 nm)

Sim

Microscópio eletrônico de

transmissão de alta resolução – MET0.1nm 3,000~1,000,000x

Feixe

eletrônico

Filmes finos

(espessura

~100 nm)

Sim

Microscopia óptica Microscopia Eletrônica de

Varredura

Microscopia Eletrônica de

Transmissão

Nanoscopia

Page 6: Modulo Microscop i A

Fundamentos

violeta

Comprimento de onda (nm)

vermelho azul

750 nm 400 nm

c = .

E= h . = h . c/

Radiação

Eletromagnética

Page 7: Modulo Microscop i A

Fundamentos

Interação Radiação/Matéria: Absorção

Luz Branca

Luz Verde

Objeto

Verde

Luz Branca

Luz Branca

Objeto

Branco

Luz Branca

Objeto

Preto

Quando a radiação atravessa um objeto sua intensidade é atenuada. Este fenômeno decorre da absorção desta

radiação provocada por transições energéticas no material, sejam estas nucleares, eletrônicas, vibracionais ou

rotacionais

Page 8: Modulo Microscop i A

Fundamentos

Interação Radiação/Matéria: Reflexão

A reflexão da luz (e das outras formas de radiação eletromagnética) ocorre quando as ondas encontram

uma superfície ou outro limite que não absorve (ou absorve parcialmente) a energia da radiação envolvida

e devolve as ondas para fora desta superfície. A luz que chega à superfície é denominada onda incidente

e a que deixa a superfície é denominada onda refletida. A reflexão pode ser especular ou difusa.

Page 9: Modulo Microscop i A

Fundamentos

Interação Radiação/Matéria: Refração

n1 . sen 1 = n2 . sen 2

n = velocidade da luz no vácuo = c/v

velocidade da luz no meio

É a alteração na direção de propagação de um feixe incidente ao passar de um meio de densidade

óptica para outro de densidade diferente. Este desvio da direção de propagação depende das diferenças

de índice de refração dos meios e do comprimento de onda da radiação.

Page 10: Modulo Microscop i A

Qual é a velocidade da luz :

. no vidro

. no diamante

Page 11: Modulo Microscop i A

Fundamentos

Interação Radiação/Matéria: Refração

Page 12: Modulo Microscop i A

Calcule o desvio das radiações limitesda região do visível ao passar do arpara o vidro

Comprimento de onda

(nm)

vermelhovioleta azul

Page 13: Modulo Microscop i A

Fundamentos

Interação Radiação/Matéria: Difração

É a mudança na direção de propagação de um feixe de radiação incidente decorrente da presença de

obstáculo no caminho óptico. Esta mudança de direção depende das dimensões físicas do obstáculo, do

comprimento de onda da radiação incidente e do ângulo de incidência. Este fenômeno promove a formação

de interferências construtivas e destrutivas.

Page 14: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Princípio de Funcionamento

A microscopia ótica se baseia na

possibilidade de formação de

imagens ampliadas reais ou

virtuais de objetos que são

colocados diante de lentes

esféricas

Page 15: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Princípio de Funcionamento – Microscópio Composto

Page 16: Modulo Microscop i A

• Aspectos mais importantes:

Resolução

Contraste

Profundidade de campo

Distorção

Microscopia Óptica

Page 17: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Parâmetros: Resolução

2 objetos visualizados com

baixa resolução

2 objetos visualizados com

alta resolução

1,22 .

2 . n . sen() rd =

Page 18: Modulo Microscop i A

• Lei de Abbe (Abbe’s Law)

rD= resolução pontual;

n= índice de refração;

=comprimento de onda da radiação;

= ângulo da radiação incidente;

Microscopia Óptica

1,22 .

2 . n . sen() rd =

NA = abertura numérica

Page 19: Modulo Microscop i A

Baseado na Lei de Abbe qual afaixa de resolução típica para amicroscopia ótica?

1,22 .

2 . n . sen() rd =

Page 20: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Parâmetros: Ampliação

Aumento = altura da imagem/altura do objeto

AumentoMO = Aumento da objetiva x Aumento da Ocular

Page 21: Modulo Microscop i A

Tipicamente, as ampliações das lentes

objetivas situam-se na faixa de 4X a 100X.

As lentes oculares geralmente oferecem

aumentos de 8X a12X, sendo 10X as mais

comuns.

Portanto, ampliações típicas de

microscopia óptica situam-se na faixa de

~40X a ~1000X.

Microscopia Óptica

Page 22: Modulo Microscop i A

Faixa de ampliação útil: 500 x N.A. --- 1000 x N.A.

Page 23: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Parâmetros: Contraste

Contraste: É o número de tons presentes em uma

imagem.

Page 24: Modulo Microscop i A

• Profundidade de Campo:

Dimensão linear máxima entre um plano

acima (+) ou abaixo (-) e o plano de

foco do espécime observado (pf ou plano

focal).

Microscopia Óptica

Page 25: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Parâmetros: Profundidade de Campo

Page 26: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Parâmetros: Profundidade de Campo

Importância do preparo da amostra!!!!

Page 27: Modulo Microscop i A

Calcule a profundidade de campo para cada uma das lentes

abaixo.

Page 28: Modulo Microscop i A

Calcule a profundidade de campo para cada uma das lentes

abaixo.

Ar

Óleo

Page 29: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Parâmetros: Aberrações

Erros das lentes ou aberrações na

microscopia óptica são causados

por artefatos resultantes da

interação da luz com o vidro das

lentes. São dois os tipos

principais de aberrações:

esféricas e cromáticas

Page 30: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Parâmetros: Aberrações Esféricas

Estes artefatos ocorrem quanto as ondas de luz que passam através da

periferia das lentes não são trazidas para um mesmo foco que as que

passam na região mais central da lente e que sofrem apenas ligeira refração

quando comparado com o maior grau de refração sofrido pelas ondas que

passam nas extremidades.

Page 31: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Parâmetros: Aberrações Cromáticas

A aberração cromática é um tipo de defeito óptico resultante do fato da luz

branca ser composta de diferentes comprimentos de onda. Quando a luz

branca passa através de lentes convexas as diferentes radiações são

refratadas de acordo com a sua freqüência

Page 32: Modulo Microscop i A

Microscopia Óptica

Parâmetros: Curvatura de Campo

Page 33: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica

Copyright : Prof. Dr. Herman S. Mansur, 2011

Page 34: Modulo Microscop i A

Solicitações Propriedades

Volume (“Bulk”)

Recobrimento

Interface

Superfície

Diagrama representativo da caracterização de um material

Page 35: Modulo Microscop i A

Volume

(“Bulk”)

Recobrimento

Interface

Superfície

Fóton

Elétron

Íon

FótonElétronÍon

Diagrama esquemático da interação radiação-partículas com o material

Page 36: Modulo Microscop i A

Sinais resultantes da interação do feixe de elétrons primários com a amostra.

Page 37: Modulo Microscop i A

Representação esquemática da interação elétrons-matéria e principais sinais

detectados na microscopia eletrônica

Page 38: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

O equipamento de microscopia eletrônica de varredura

possui um feixe eletrônico em foco (feixe primário), que

varre a superfície da amostra, produzindo elétrons

secundários, elétrons retroespalhados e raios X. Os

detectores medem a intensidade do sinal em função da

posição (x, y, I) na amostra formando a imagem em um

monitor com aumentos de até 300.000X (Pulker, 1987)

Limitação da ampliação:

Aumentos de até 900.000X – Limite técnico teórico

Máximo de 50.000X

Usualmente 10.000X-30.000X

Page 39: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Aplicações:

• Metais, cerâmicas, polímeros, semicondutores...

• Identificação de fases, constituintes e segregações;

• Análise de superfície de fraturas

• Caracterização microestrutural em áreas biológicas,

engenharia, geologia, semicondutores...

Principais características:

• Resolução da ordem de 2 a 5 nm

• Imagens com diferenciação de composição química

• Topografia de picos e vales (profundidade de foco: 3D)

• Análise química qualitativa e quantitativa, não destrutiva

e com precisão de 1 -2%

• Mapa de concentração elementar

Page 40: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Histórico - Imagem:

• 1935 – Knoll fez a descrição da concepção do MEV

• 1938 – amostras finas (TEM); 8000X; d = 50nm

• 1942 – amostras espessas (MEV); d = 500 nm (MO=100nm)

• 1965 – primeiro MEV comercial

Avanços: fontes de elétrons; eletrônica;

computacional; imagens digitalizadas;

desenvolvimento de programas para

aquisição e processamento de imagens

Dias atuais...

Page 41: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Histórico – Análise química:

• 1913 – Moseley identificou que a frequência emitida pelo raio-

X característico é função do número atômico do elemento (área

1mm2)

• Década de 40 – patente da ideia de microanálise utilizando

microscópio óptico para focar a área e feixe de elétrons para

excitar uma pequena área (1µm2)

• 1949-1951 – Castaing converteu a intensidade do raio-X em

composição química pela definição do parâmetro k que é a

razão entre a intensidade da radiação emitida por um elemento

da amostra (Ii) pela intensidade emitida por um padrão

contendo o mesmo elemento (I(i)): k = Ii/I(i)• 1956 – primeira microssonda comercial

• Dias atuais: praticamente todo o microscópio eletrônico possui

detector de raios-X característicos.

Page 42: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Diagrama representativo de funcionamento do microscópio

eletrônico de varredura convencional.

Page 43: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Efeito do Vácuo

• É necessário em função do baixo livre caminho médio dos elétrons, comparado

com a radiação: se tiver ar presente na câmara os elétrons não chegariam na

amostra

• Problemas: Amostras com elevada umidade não são estáveis em alto-vácuo.

• Soluções:

• Retirar a umidade desde de que não destrua a estrutura do material (via

química)

• agentes quelantes que promovem o escoramento da estrutura através da

formação de ligações estáveis

Page 44: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Page 45: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Page 46: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Page 47: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Distância de Trabalho

Page 48: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Page 49: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Page 50: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Page 51: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

• Função da estabilidade do feixe

• Eletrons de menor energia são

mais defletidos que os de maior

energia

Page 52: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

• Spot size = Abertura final = é o tamanho do feixe que incide na amostra

• O microscópio não pode resolver detalhes menores que o spot size

• É função da corrente do feixe, da distância de trabalho e da aceleração

da voltagem

Page 53: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Page 54: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Page 55: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Interações Elétron-Amostra

Page 56: Modulo Microscop i A

Modelos representativos das interações atômicas decorrentes da

perturbação do material com o feixe primário.

Page 57: Modulo Microscop i A

Feixe primário

Elétrons secundários

Elétrons

retroespalhados

Raios X característicos

Elétrons Auger

Luminescência Catódica

Raios X contínuos

Raios X fluorescentes

Material

Sinais resultantes da interação do feixe de elétrons primários com a amostra.

Diagrama esquemático mostrando vários dos efeitos causados pela interação de

um feixe de elétrons com um alvo sólido

Page 58: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Elétrons secundários (SE):

• São elétrons da amostra que foram ejetados a partir da interação do feixe

primário.

• São elétrons de baixa energia (< 50 eV)

• Em função da baixa energia são capazes de escapar somente de uma região

muito rasa (<0,50µm) da superfície da amostra

• Oferecem a melhor resolução de imagem

• Este tipo de imagem fornece informações sobre a topografia da amostra: picos

são brilhantes e vales são escuros

Page 59: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Elétrons retroespalhados (BSE):

• São elétrons do feixe primário que foram ejetados da amostra após choques

aproximadamente elásticos com o núcleo dos átomos que compõem o material

• Apresentam elevada energia : 50eV até à tensão de aceleração do feixe

• Sua maior energia resulta em um maior volume de interação na amostra (1 a 3

µm), reduzindo a resolução

• Este tipo de elétrons fornece informação sobre a composição química: o

contraste é resultado das diferenças de número atômico na amostra

• Maiores números atômicos retroespalham mais elétrons gerando áreas mais

brilhantes nas imagens.

• Não permite a identificação dos materiais mas da heterogeneidade da composição

Page 60: Modulo Microscop i A

Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV)

Page 61: Modulo Microscop i A

(a) (b)

Figura.7.15 – Fotomicrografias de ouro em carbono observadas no MEV

utilizando (a) SE e (b) BSE.

Page 63: Modulo Microscop i A

Feixe eletrônico

Superfície

amostra

Plano de foco

Região em foco

Profundidade de

campo

Ilustração relativa á profundidade de campo obtida em MEV.

Profundidade de campo:

Page 64: Modulo Microscop i A

Profundidade de campo:

Page 65: Modulo Microscop i A

Aspectos Importantes na Execução e Interpretação de Resultados

de MEV

Aumento de E

Volume de

interação

Profundidade de

penetração

Aumento de Z

Variação do volume de interação e profundidade de penetração do feixe de

elétrons da amostra com o aumento da energia do feixe (E) e com o aumento do

número atômico (Z) dos elementos que compõem a amostra.

Page 66: Modulo Microscop i A

Raios- X característicos : Espectroscopia de

Energia Dispersiva (EDS)

• É uma análise de espectroscopia

• Usualmente está acoplada em

microscópios eletrônicos de varredura

Page 67: Modulo Microscop i A

Sinais resultantes da interação do feixe de elétrons primários com a amostra.

Page 68: Modulo Microscop i A

Raios- X característicos : Espectroscopia de

Energia Dispersiva (EDS)

Page 69: Modulo Microscop i A

Raios- X característicos : Espectroscopia de

Energia Dispersiva (EDS)

Page 70: Modulo Microscop i A

Raios- X característicos : Espectroscopia de

Energia Dispersiva (EDS)

Page 71: Modulo Microscop i A

Raios- X característicos : Espectroscopia de

Energia Dispersiva (EDS)

Page 72: Modulo Microscop i A

Raios- X característicos : Espectroscopia de

Energia Dispersiva (EDS)

Page 73: Modulo Microscop i A

Raios- X característicos : Espectroscopia de

Energia Dispersiva (EDS)

• Os picos detectados no espectro indicam os elementos presentes na amostra

• A intensidade dos picos estão associados com a concentração do elementoo

C

O

Na

Al

Si

Si

P

P

Ca

Ca

Ca

Ca

Au

Au

Au

Au

keV0

100

200

300

400

500

600

700

800

900

1000

0 5 10

Page 74: Modulo Microscop i A

Raios- X característicos : Espectroscopia de

Energia Dispersiva (EDS)

Accelerating voltage (kV) 15.0

Beam current (nA) 750.000

Magnification 30

Live time 30

Preset Time (s) 30

Elt XRay Int Error K Kratio W% A% ZAF

C Ka 204.9 2.6136 0.5459 0.2037 68.52 79.97 3.3659

O Ka 39.4 1.1457 0.0582 0.0217 12.55 11.00 5.7841

Na Ka 55.2 1.3564 0.0379 0.0142 2.52 1.54 1.7812

Al Ka 19.2 0.7990 0.0126 0.0047 0.63 0.33 1.3285

Si Ka 121.6 2.0133 0.0846 0.0316 3.80 1.90 1.2030

P Ka 289.8 3.1081 0.2281 0.0851 10.55 4.77 1.2389

Ca Ka 24.1 0.8968 0.0327 0.0122 1.44 0.50 1.1799

1.0000 0.3732 100.00 100.00

Page 75: Modulo Microscop i A

7.2.3.1. Aplicações de Microscopia Eletrônica de Varredura e EDS

(a) (b)

Figura.7.18. a)Fratura frágil de aço (500x);

b) Imagem madeira da planta Switenia macrophylla.

Page 76: Modulo Microscop i A

Figura.7.19. Fotomicrografia

de Inseto

(a) (b)

Figura.7.20. Olhos compostos de mosca, a) sem danificar;

b) danificado pelo feixe (5 kV x 1, 100).

Page 77: Modulo Microscop i A

Figura.7.21. Papel de filtro, a) 5 kV ; b) 25 kV (x 1400)

Figura.7.22. Micrografia de Pó sinterizado, a) 5 kV ; b) 25 kV (x 7200)

Page 78: Modulo Microscop i A

Figura.7.23. Fotomicrografia de Inseto Figura.7.23. Fotomicrografia dos óvulos

de acaro de carpete Hymenolepis

dimunata.

Page 79: Modulo Microscop i A

Figura.7.24. Imagem de elétrons secundários de espuma de poliestireno

Page 80: Modulo Microscop i A

(c)

(b)(a)

Figura.7.25. Micrografia de sistemas biológicos; a) hemácias; b) ácaro;c) Streptococcus

Page 81: Modulo Microscop i A

Figura.7.26. Espectro de EDS de liga Nd-Fe-B utilizado na

fabricação de imas permanentes.

Page 82: Modulo Microscop i A

7.2.4. Microscopia Eletrônica de Varredura

Ambiental (MEV-Ambiental)

Figura.7.27.

Representação

esquemática de um

microscópio eletrônico

de varredura ambiental.

Copyright : Prof. Dr. Herman S. Mansur, 2011

Page 83: Modulo Microscop i A

Figura.7.27a. Detalhe do sistema de pressão do MEV ambiental

Page 84: Modulo Microscop i A

7.2.4.1. Aplicações de Microscopia Eletrônica de Varredura

Ambiental

Figura.7.28. Imagens de Nitreto de silício (esquerda) e cerâmica

convencional (direita)

a) Amostras não-condutoras

Page 85: Modulo Microscop i A

b) Amostras hidratadas

Figura.7.29. Imagens de grãos de pólen

Page 86: Modulo Microscop i A

Figura.7.30. Imagens de cabelo humano com gotículas de água (esquerda)

e papel úmido (direita)

Page 87: Modulo Microscop i A

7.2.5. Microscopia Eletrônica de Transmissão

(MET)

imagem

Lentes de projeção

Lentes objetivas

amostra

iluminação

Figura.7.31. Diagrama

representativo do

equipamento de

microscopia eletrônica de

transmissão (MET)

Copyright : Prof. Dr. Herman S. Mansur, 2011

Page 88: Modulo Microscop i A

Exemplos de aplicações:

• Imagens da superfície do material com resolução da ordem de 0,2 nm.

• Análise de defeitos, degraus ;

• Análise de nanopartículas;

• Avaliação de filmes finos e contornos de grão;

• Análise de precipitação e recristalização "in situ";

• Identificação de composição de fases.

Page 89: Modulo Microscop i A

(a)(b)

Figura.7.32. Imagem por MET de: a) ultra-estrutura de partículas

poliméricas-Látex; b) detalhe ampliação superior (30.000x)

Page 90: Modulo Microscop i A

Figura.7.33. Imagens de Ultra-estrutura

de Tecidos e Células: fibroblasto

Figura.7.34. Capilares vasculares –

Células sanguíneas vermelhas

(vermelho), células endoteliais (azul)

e colágeno (laranja)

Page 91: Modulo Microscop i A

Figura.7.35. Fotomicrografias de microscopia eletrônica de transmissão de

interface esmalte, dentina com sistema restaurador composto de polímero

(“resina”) e partículas inorgânicas (“carga ou reforço”)

Page 92: Modulo Microscop i A

7.2.5.1. Preparação de Amostras para Microscopia Eletrônica de

Transmissão (MET)

• Etapas que devem ser cumpridas no

sentido de obter amostras (biológicas,

poliméricas e compósitos) orgânicas

estáveis para observação por MET

Page 93: Modulo Microscop i A

• Fixação do material, geralmente utilizando glutaraldeído (agente reticulante de moléculas de proteína) e tetróxidode ósmio (estabilizador de membranas).

• Desidratação da amostra;

• Permeação com resina para polimerização em um bloco sólido. Sem esta estrutura a amostra colapsaria em alto vácuo;

• Corte da amostra: utilização de um equipamento ultramicrótomo, para produzir amostras com seção de 15 – 100 nm de espessura. O ultramicrótomo consiste de finas laminas de vidro ou diamante;

• As amostras delgadas obtidas são colocadas em reticulados metálicos e recobertas com filme fino polimérico (formvar) para observação no microscópio;