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MSQ Series 로터리 테이블/랙 피니언 타입 사이즈 1, 2, 3, 7, 10, 20, 30, 50, 70, 100, 200 261

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Page 1: MSQ Series · 로터리테이블 MSQ Series 랙 & 피니언 타입 좌우 대칭형 외부 쇼크 업소버 부착부착 소형시리즈/사이즈 1,2,3,7 길이방향의~ 치수를

MSQ Series

로터리 테이블/랙 피니언 타입

사이즈:1, 2, 3, 7, 10, 20, 30, 50, 70, 100, 200

261

Page 2: MSQ Series · 로터리테이블 MSQ Series 랙 & 피니언 타입 좌우 대칭형 외부 쇼크 업소버 부착부착 소형시리즈/사이즈 1,2,3,7 길이방향의~ 치수를

테이블면의 높이를 낮춘 박형 타입의

대형 구름 베어링 3~4배의 축하중(CRQ시리즈와 비교)

워크의 설치가 용이●테이블 내경/외경 공차 기본형 :MSQB H9/h9 고정도형:MSQA H8/h8●위치결정 핀 구멍

●중공축 테이블에 설치한 기기의 배선, 배관을 수납

각도조정범위:0~190°

내부 업소버 부착

2~5배의 운동에너지(조정볼트 부착과 비교)

테이블의 레이디얼•스러스트 방향으로의

이동량 :0.01mm 이하

고정도 베어링을 채용테이블의 레이디얼•스러스트 방향으로의 이동량을 감소

기준지름(구멍) 핀 구멍

핀 구멍

본체의 설치가 용이●기준지름:보스, 구멍

●위치결정 핀 구멍

●2방향에서 설치

기준지름(보스)

고정도형

MSQA

단면•측면 방향에서 배관설치조건에 따라서 배관위치를 선택할 수 있습니다.

구름 베어링

고정도 베어링

고정도형

단면방향

A포트측면방향

B포트측면방향

B포트

A포트

262

기본형

MSQB중공축

테이블 내외경

회전중심과 워크의 중심 맞춤용

위치결정핀 구멍

회전방향의 위치 결정용

사이즈

중공지름

1ø3.5

2ø3.8

3ø5

7ø6

사이즈

중공지름

10ø6

20ø9

30ø12

50ø13

70ø16

200ø24

100ø19

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로터리테이블 MSQ Series랙 & 피니언 타입

좌우 대칭형

외부 쇼크 업소버 부착외부 쇼크 업소버 부착

소형시리즈/사이즈 1,2,3,7

길이방향의 치수를 단축조정볼트, 내부 업소버의 돌출이 없어서 길이 방향의 설치 공간을 절감

4~10배의 허용 운동에너지(내부 업소버 부착과의 비교)

저에너지용과 고에너지용의 2종류의쇼크 업소버를 준비

0.2 0.3 0.4 0.60.5 1.00.90.80.7요동시간 (s/90°)

관성

모멘

트(k

g・m

2 )

1

0.1

0.01

0.001

0.0001

조정 볼트 부착

내부 업소버 부착

고에너지용

저에너지용

외부 업소버 부착

허용 운동에너지 비교(사이즈30의 경우)

테이블 높이는 조정볼트 부착, 내부 업소버 부착과 동일

표준형90°

180° 대칭형

뛰어난 설치성몸체의 소형화뿐 아니라 배선, 배관 처리도 변경하여 공간절약화를 실현. 소형 몸체의 장점을 최대한 살린 설치가 가능.

요동각도:90° , 180°

소형�경량

본체 설치 시의 중심 맞춤이 용이자유 설치

측면설치밑면설치윗면설치

기준지름(구멍)핀 구멍

소형시리즈/사이즈 1,2,3,7

사이즈

1237

형식

MSQB1AMSQB2AMSQB3AMSQB7A

mm

A50.556 60 73.5

B28 30 34.541

C25 28 30.534.5

D16 18 20.523

치수질량(g) 70105150250사진은 MSQB1A

기준지름(구경)

핀 구멍

설치조건에 맞추어 선택할 수 있는 배선, 배관방향오토스위치, 스피드 컨트롤러 부착예

CD

A

B

요동 테이블 유니트

A포트

B포트B포트

A포트

263

Page 4: MSQ Series · 로터리테이블 MSQ Series 랙 & 피니언 타입 좌우 대칭형 외부 쇼크 업소버 부착부착 소형시리즈/사이즈 1,2,3,7 길이방향의~ 치수를

테이블 변위량(참고값)� 회전 중심에서 100mm 떨어진 점 A에 하중을 작용시켰을 때 점 A에서의 변위량입니다.

MSQ2A

MSQ1A

MSQ3A

MSQ7A

변위

100

하중A

0 5 10 15 20 25 30

10203040

400

0 10 20 30 40 50

10203040

190200

250

300

0 10 20 30 40 50 60 70

50130150

200

250

300

0 20 40 60 80 100 120

350변위량 μm

하중 N변위량 μm

하중 N

변위량 μm

하중 N

변위량 μm

하중 N

MSQ20

MSQ10

MSQ30

MSQ50

MSQB

10(기

본형)

MSQA10(고정도형)

MSQA30(고정도형)

MSQB30(기

본형)

MSQA20(고정도형)

MSQB

20(기

본형)

0

100

80

60

40

20

987654321

변위량 μm

하중 N

MSQB

1A(기본

형)

MSQA1A(

고정도형)

0

20

40

60

80

100

12108642

변위량 μm

하중 N

MSQB

2A(기본

형)

MSQA2A(고정도형)

0

20

40

60

80

100

18161412108642

변위량 μm

하중 N

MSQB3A(

기본형)

MSQA3A(고정도형)

0

20

40

60

80

100

24222018161412108642

변위량 μm

하중 N

MSQB7A(

기본형)

MSQA7A(

고정도형

MSQ Series

350

300

250

200

15012050

MSQA50(고정도형)

MSQB

50(기

본형)

264

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테이블 변위량(참고값)회전 중심에서 100mm 떨어진 점 A에 하중을 작용시켰을 때 점 A에서의 변위량입니다.

MSQB70 MSQB100

MSQB200

변위

100Arm 하중

A

변위량 μm

하중 N806040 120100200

80

70

60

50

40

30

20

10

변위량 μm

하중 N

변위량 μm

하중 N

908070605040302010

300250200150100500

180160140120

80

70

60

50

40

30

20

10

806040 100200

흔들림 정도:180°요동시의 변위량(참고값)

테이블 외주면의 흔들림량

테이블 윗면의 흔들림량

측정장소

테이블 윗면의 흔들림량

테이블 외주면의 흔들림량

MSQA MSQB0.030.03

0.10.1

표중의 값은 실효값이며 보증값은 아닙니다.

mm

로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series

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MSQB오토스위치 추가기호

무기호Sn

2개 부착1개 부착n개 부착

오토스위치

무기호 오토스위치 없음(자석내장)

사이즈

A

E

조정볼트 부착

1237

※구입후, 포트 위치는 변경할 수 없습니다.

형식표시방법

A M9BW1기본형

MSQA A M9BW1고정도형

사이즈:1, 2, 3, 7MSQ Series로터리 테이블/랙 피니언 타입

※오토스위치의 품번은 아래표를 참조하십시오.※오토스위치는 동봉되어 출하(미조립)됩니다.

접속포트 위치

무기호

단면포트

정면포트

※※내수성 향상타입의 오토스위치를 부착하는 것은 가능합니다만, 로터리 액추에이터는 내수성 향상 타입으로 되어 있지 않습니다.※리드선길이 표시기호 0.5m……………무기호 (예)M9NW  1m…………… M (예)M9NWM  3m…………… L (예)M9NWL  5m…………… Z (예)M9NWZ

주1) D-F8를 사용하는 경우는 철 등의 자성체에서 10mm 이상 떨어뜨려 설치해 주십시오.※오토스위치는 동봉 출하(미조립)됩니다.

※표시의 무접점 오토스위치는 주문 생산됩니다.

적용 오토스위치의 종류/오토스위치의 상세 사양은 별도 문의하십시오.

종류

무접점

오토스위치

특수기능리드선취출

그로메트

표시등

배선(출력)

3선(NPN)

3선(PNP)

2선

3선(NPN)3선(PNP)

2선

3선(NPN)3선(PNP)

2선

부하전압

DC

24V

AC

리드선 길이(m)※

0.5(무기호)

3(L)

1(M)

적용부하프리와이어

커넥터

IC회로

M9NVF8N

M9PVF8P

M9BVF8B

M9NWVM9PWVM9BWV※※M9NAV※※M9PAV※※M9BAV

오토스위치 품번

종취출

M9N—

M9P—

M9B—

M9NWM9PWM9BW

※※M9NA※※M9PA※※M9BA

횡취출

릴레이,PLC

5(Z)

5V,12V

12V

진단표시(2색표시)

내수성 향상품(2색표시)

12V

5V,12V

12V

5V,12V

IC회로

IC회로

※무접점 오토스위치 프리와이어 커넥터부착 상세 내용은 별도 문의하십시오.

소구경/단스트로크의 액추에이터는 고빈도로 작동시키면 조건에 따라 배관 내에 결로(물방울)가 발생하는 경우가 있습니다.액추에이터에 배관하는 것만으로도 결로의 발생을 방지합니다. 상세사항은 WEB 카탈로그 IDK Series를 참조하십시오.

모이스춰컨트롤 튜브IDK Series

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표시기호

고정도형

기본형

BK

PA(진공포트)

클린 시리즈

외형치수도클린시리즈에는 회전 중심부에 중공 구멍이 없습니다.

기본형11-MSQB�A고정도형11-MSQA�A

사이즈

1237

BK PA5.37.59.57

M3×0.5M3×0.5M3×0.5M5×0.8

상기 이외의 치수는 기본형·고정도형과 동일합니다.

1 2 3 7

M3×0.5 M5×0.8

1237

0.001 0.00150.002 0.006

ø6 ø8 ø10 ø12

0.2~0.7

0.2~1.0

1 2 3 77580

105115

150165

250265

(g)

사양

사이즈

사용유체

최고사용압력

최저사용압력

주위온도 및 사용유체온도

쿠션

각도조정범위

최대요동각도

실린더 내경

포트사이즈

공기(무급유)

0.7MPa

0.1MPa

0~60℃(단, 동결 없어야 함)

0~190°

190°

허용 운동에너지와 요동시간 조정범위

사이즈 허용운동에너지(mJ) 작동상 안정된 요동시간 조정범위(s/90°)

질량

사이즈

기본형

고정도형

러버쿠션없음

주) 오토스위치의 질량을 제외한 값입니다.

주) 허용치를 넘는 운동 에너지로 동작시켰을 경우, 제품 내부에 파손이 생겨 사용이 불가능해질 우려가 있으므로, 운동 에너지가 허용치를 넘지 않도록 설계시·운동시에는 충분히 주의해 주십시오.

로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series

몸체 측면의 진공 포트에서 진공 흡인하므로 제품 내부의 발진을 클린룸 안으로 비산시키지 않습니다.

11 MSQ

A

AB

1237

1 M9BWB A E S형식표시방법

오토스위치추가기호

오토스위치

사이즈

클린시리즈진공타입

조정볼트 부착

고정도형

기본형접속포트 위치

무기호

E단면포트

정면포트

사양

주1)상세한 사항은「클린룸용 공기압 기기」 카탈로그를 참조하십시오.

상기 이외는 11-MSQA는 고정도형, 11-MSQB는 기본형과 동일합니다.

청정도 Class(ISO Class)ISO Class 3주1)

흡입유량(참고값)1L/min(ANR)

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조정볼트B

조정볼트A

위치결정 핀구멍

22.5°

시계 방향회전

반시계 방향회전

A포트B포트

B포트

최대요동범위 190°

시계방향 회전단

조정범위 95°

빈시계방향

회전단

조정범위

95°

시계방향

90° 요동

조정볼트B로조정하는 폭

조정볼트A로조정하는 폭

90° 요동

조정볼트B로조정하는 폭

조정볼트A로조정하는 폭

90° 요동

조정볼트B로조정하는 폭

조정볼트A로조정하는 폭

조정볼트A로

조정하는 폭

조정볼트B로조정하는 폭

핀 구멍의 요동범위

180° 요동

조정볼트A

조정볼트B

(반시계방향 회전단 조정용)

(시계방향 회전단 조정용)

위치결정용 핀 구멍

190°(최대)요동

사이즈

1237

각도조정나사 1회전당 조정각도

8.2° 10.0° 10.9° 10.2°

조정볼트 부착, 내부 업소버 부착

MSQ Series

요동방향 및 요동각도

•A포트에서 가압하면 테이블은 시계 방향으로 회전하고, B포트에서 가압하면, 반시계 방향으로 회전합니다.•조정볼트를 조정하여 그림의 범위에서 회전단을 설정할 수가 있습니다.

(시계방향 회전단 조정용)

(반시계방향 회전단 조정용)

주)· 그림은 위치결정 핀구멍의 요동범위를 나타냅니다. · 그림의 핀구멍 위치는 조정볼트 A,B를 동일하게 체결하여 요동각도 180°로 조정한 경우의 반시계방향 회전단을 나 타냅니다.

요동각도범위 설정예

•조정볼트 A,B의 조정으로 아래 그림과 같이 다양한 요동 범위를 설정할 수 있습니다. (그림은 위치 결정핀 구멍의 요동범위를 나타냅니다.)

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!6!7!8

!8

!1

er

@1 !2

!9

u@0q

!7

o i t !0 y w@4!5!4 @3@2 !3

12345678910111213141516

17

18

192021222324

번호 부품명 재질

본체

커버

플레이트

패킹

엔드커버

피스톤

피니언

육각너트

조정볼트

쿠션패드

테이블

베어링 리테이너

자석

웨어링

피스톤 패킹

깊은홈 볼베어링

깊은홈 볼베어링

특수 베어링

십자구멍부착 0번 냄비머리작은나사

십자구멍부착 냄비머리작은나사

십자구멍부착 냄비머리작은나사

십자구멍부착 0번 냄비머리작은나사

육각구멍부착 볼트

평행 핀Seal와셔

육각구멍부착 고정나사

O-ring

알루미늄합금

알루미늄합금

알루미늄합금

NBR알루미늄합금

스테인리스

크롬 몰리브덴강

강선

강선

탄성재

알루미늄합금

알루미늄합금

—수지

NBR베어링강

베어링강

강선

강선

스테인리스

탄소강

NBR스테인리스

NBR

비고

알루마이트

알루마이트

크로메이트

알루마이트

알루마이트

알루마이트

사이즈:3, 7

기본형

고정도형

기본형

고정도형

사이즈:1~3사이즈:7

구조도

구성부품

※23 육각구멍부착 고정나사는 접속포트 위치에 따라 장착위치가 바뀝니다.※부품 단품으로의 출하 대응은 하지 않습니다.

MSQA�A(고정도형)

로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series

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(mm)

사이즈

1237

DH27h829h833h839h8

DI27.5h829.5h834h840h8

DJ14H814H817H820H8

DL4.5H85 H86 H87 H8

FE8.29.79.79.5

HA13.515.515.516.5

UV29.533.536 39.5

(mm)

øDL

(U

V)H

AFE

øDIøDHøDJ

고정도형/MSQA�A

외형치수도/사이즈1, 2, 3, 7

기본형/MSQB�A

사이즈

1237

BC4.55.55.55.5

JJM3×0.5M3×0.5M3×0.5M4×0.7

JK3.53.53.54.5

JUM3×0.5M4×0.7M5×0.8

M6×1

PM3×0.5M3×0.5M3×0.5M5×0.8

WDM3×0.5M3×0.5M3×0.5M4×0.7

S50.556 60 73.5

Q16 18 20.523

SD10.813.415.215.4

SF24.426.231 37.4

SU 9.411.311.814.9

UU25 28 30.534.5

WA 9.510 12 14

WB2H92H92H93H9

WC2223

WE4.85.35.36.5

WF20212529

XA22.524.527 32.5

XB2H92H92H93H9

XC2223

YA11 11.513.515.5

YB2H92H92H93H9

YC2223

BD32343845

BE17 18.523 30

BG11 12.615.518.4

BH 8.2 9.210.512.2

BI30354050

BJ4.54.54.55

D27h929h933h939h9

DD27.5h929.5h934 h940 h9

DE14H914H917H920H9

DF3.53.85 6

DG4.5H95 H96 H97 H9

FA4.85.35.36.5

FB2 2.52.52.5

FD3.74.24.24.5

H9

10 10 11.5

J3.33.34.24.2

JB3.53.54.54.5

JCM4×0.7M4×0.7M5×0.8M5×0.8

JD2.22.22.52.5

JE5.35.36 6

JFM4×0.7M4×0.7M4×0.7M5×0.8

JG4445

JA6 6 7.57.5

(mm)

사이즈

1237

A28 30 34.541

AU2.83.64.44.8

AV11 12.615.518.4

AW 8.2 9.210.512.2

AX5.57 8

10

AY1.52 2.53

BA35374350

BB39.645.146.759.2

(mm)

사이즈

1237

(mm)

JD

BJ

BI

1WA

1XAW

B 유효

깊이 W

C

22.5゚

XB 유

효깊

이 X

CBE

WF

BABD

YB 유효깊이 YC

1YA

ASFAV

AXAY

SDA

W

BH

BG

( UU

)H

QFAFD

BC

유효

깊이

1.2

유효

깊이

FB

(Max.≒SU) SAU BB

øDGøDF(관통)

øDDøD

øDE

2×JF깊이JG

8×WD깊이WE(주8등분)4×JJ깊이JK

JA C.B.깊이 JB2×J 관통

2×P

2×P

2×JC

2×JU

MSQ Series

(정면포트 사용 시에는 육각 구멍부착 고정나사로 막음)

단면포트

(단면포트 사용시에는 육각구멍부착 고정나사로 막음)

정면포트

본체 밑면에서부터 나사 탭 깊이 JE(JD는 포함하지 않음)

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형식표시방법

로터리 테이블/랙 피니언 타입

사이즈:10, 20, 30, 50, 70, 100, 200MSQ Series

MSQ B 10 A M9BW

10 20 30 50 70100200

AR

조정볼트 부착내부 업소버 부착

10203050

MSQ A 10 A M9BW

M5Rc1/8G1/8

NPT1/8

사이즈

사이즈

기본형

고정도형

오토스위치 추가기호무기호

Sn

2개 부착1개 부착n개 부착

오토스위치무기호 오토스위치 없음(자석내장)

※오토스위치의 품번은 아래표를 참조하십시오.

포트나사 종류

무기호

무기호

-XF-XN

단면포트의 종류 사이즈

10, 2030, 50,70, 100,

200※측면포트는 모두 M5입니다.

A96

A93A90

3선

(NPN 상당) —

24V그로메트

24V

2선

3선(NPN)3선(PNP)

2선

3선(NPN)3선(PNP)

2선

3선(NPN)3선(PNP)

2선

DC AC 5(Z)

오토스위치

유접점

무접점

오토스위치

그로메트

100V100V 이하

1(M)

IC회로

—IC회로

IC회로

IC회로

IC회로

릴레이,PLC

릴레이,PLC

진단표시(2색표시)

내수성 향상품(2색표시)

5V

12V

5V,12V

12V

5V,12V

12V

5V,12V

12V

3(L)

적용 오토스위치의 종류/오토스위치 개별의 상세 사양은 홈페이지 WEB 카탈로그를 참조해 주십시오.

종류 특수기능리드선취출

표시등

배선(출력)부하전압 리드선 길이(m)※

0.5(무기호)

적용부하프리와이어

커넥터

오토스위치 품번

종취출 횡취출

※1 내수성 향상 타입의 오토스위치를 부착하는 것은 가능합니다만, 로터리 액추에이터는 내수성 향상 타입으로 되어 있지 않습니다.※2 리드선 길이 1m 타입은 D-A93만 대응됩니다.※리드선길이 표시기호 0.5m……………무기호 (예)M9NW  1m…………… M (예)M9NWM  3m…………… L (예)M9NWL  5m…………… Z (예)M9NWZ

※오토스위치는 동봉 출하(미조립)됩니다.

※표시의 무접점 오토스위치는 주문 생산됩니다.

※무접점 오토스위치 프리와이어 커넥터부착 상세 홈페이지 상의 WEB 카탈로그를 참조해 주십시오.

A96V※2A93V

A90V

M9NVM9PVM9BVM9NWVM9PWVM9BWV

※1M9NAV※1M9PAV※1M9BAV

M9NM9PM9BM9NWM9PWM9BW

※1M9NA※1M9PA※1M9BA

●―

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10500510530540

2094094010401040

301230123013501350

501990201021502170

7028802890

10040904100

20075807650

(g)

표시기호

기본형/MSQB

고정도형/MSQA

MSQ Series

단면포트 측면포트

공기(무급유)

1MPa

0.6MPa 주1)

0.1MPa

0~60℃(단, 동결 없어야 함)

러버 쿠션

쇼크 업소버

0~190゜190゜

조정볼트 부착

내부업소버 부착

조정볼트 부착

내부업소버 부착

기본형

고정도형

단면포트

측면포트

10 20 30 50 70 100 200

M5×0.8M5×0.8

Rc1/8, G1/8, NPT1/8

RBA0805-X692 RBA1006-X692 RBA1411

-X692

주1) 업소버의 최대허용추력에 따라 액추에이터의 최고사용압력이 제한됩니다.주2) 내부 업소버 부착의 요동각도를 아래 표의 값보다 작게 설정하면, 업소버의 유효 스트로크 보다도 피스톤의 스트로크가 작아져, 에너지 흡수능력이 저하되므로 주의하십시오.

업소버형식 RBA2015-X821 RBA2725

-X821

0.2MPa

ø15 ø18 ø21 ø25 ø28 ø32 ø40

0.1MPa —

사이즈

에너지 흡수능력이저하되지 않는 최소요동각도

52° 43° 40° 60° 71° 62° 82°

20 30 70 100 2005010

주2)

쇼크 업소버의 수명은 사용조건에 따라 로터리 테이블 본체와는 다릅니다.교환의 기준은 개별주의사항란을 참조해 주십시오.

사양

사이즈

사용유체

최고사용압력

최저사용압력

주위온도 및 사용유체온도

쿠션

각도조정범위

최대요동각도

실린더 내경

포트사이즈

허용 운동에너지와 요동시간 조정범위

사이즈

1020305070100200

조정 볼트 부착

0.0070.0250.0480.0810.2400.3200.560

내부 업소버 부착

0.0390.1160.1160.2941.1001.6002.900

허용운동에너지(J) 주1)

조정 볼트 부착

0.2~1.0 0.2~0.7

0.2~1.00.2~1.50.2~2.00.2~2.5

내부 업소버 부착 주2)작동상 안정된 요동시간 조정범위(s/90°)

주1) 허용치를 넘은 운동 에너지로 동작시켰을 경우, 제품 내부에 파손이 생겨 사용이 불가능해질 우려가 있으므로, 운동 에너지가 허용치를 넘지 않도록 설계시·운동 시에는 충분히 주의해 주십시오.

주2) 내부 업소버 부착의 요동시간을 표보다 길게 설정하고 싶은 경우, 쇼크 업소버의 에너지 흡수능력은 현저하게 저하되므로 주의해 주십시오.

주) 오토스위치의 질량을 제외한 값입니다.

질량

사이즈

기본형

고정도형

조정볼트 부착

내부업소버 부착

조정볼트 부착

내부업소버 부착

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반시계방향회전

시계방향회전B포트

A포트

22.5°

5°위치결정 핀구멍

조정볼트A(반시계방향 회전단 조정용)

조정볼트B(시계방향 회전단 조정용)

시계방향

시계방향 회전단

반시

계방향

회전단

조정범위 95°

조정

범위

95°

최대요동범위 190°

조정볼트A로조정하는 폭

조정볼트A로조정하는 폭

조정볼트A로조정하는 폭

조정볼트B로조정하는 폭

조정볼트B로조정하는 폭

조정볼트B로조정하는 폭

90° 요동90° 요동90° 요동

180° 요동190°(최대) 요동핀 구멍의 요동범위

조정볼트B로조정하는 폭

조정볼트A로조정하는 폭위치결정 핀 구멍

조정볼트B(시계방향 회전단 조정용)

조정볼트A(반시계방향 회전단 조정용)

사이즈

10 20 30 50 70100200

각도조정나사 1회전당 조정각도

10.2° 7.2° 6.5° 8.2° 7.0° 6.1° 4.9°

조정볼트 부착, 내부 업소버 부착

요동방향 및 요동각도

•A포트에서 가압하면 테이블은 시계 방향으로 회전하고, B포트에서 가압하면, 반시계 방향으로 회전합니다.•조정볼트를 조정하여 그림의 범위에서 회전단을 설정할 수가 있습니다. •내부 업소버 부착의 경우도 동일하게 요동각도를 설정할 수 있습니다.

•조정볼트 A,B의 조정으로 아래 그림과 같이 다양한 요동 범위를 설정할 수 있습니다. (그림은 위치 결정핀 구멍의 요동범위를 나타냅니다.)

•내부 업소버 부착의 경우도 동일하게 요동각도를 설정할 수 있습니다.

요동각도범위 설정예

로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series

주) ·그림은 위치결정 핀구멍의 요동범위를 나타냅니다. ·그림의 핀구멍 위치는 조정볼트 A,B를 동일하게 체결하여 요동각도 180°로 조정한 경우의 반시계방향 회전단을 나 타냅니다.

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외형치수도클린시리즈에는 회전 중심부에 중공 구멍이 없습니다.

형식표시방법 사양

11 MSQ

사이즈

클린시리즈진공타입

AB

고정도형

기본형

10203050

10B

주1)상세한 사항은「클린룸용 공기압 기기」 카탈로그를 참조하십시오.

상기 이외는 11-MSQA는 고정도형, 11-MSQB는 기본형과 동일합니다.

흡입유량(참고값)1L/min(ANR)

기본형11-MSQB□A11-MSQB□R

고정도형11-MSQA□A11-MSQA□R

사이즈

10203050

DC(H9)20283235

DA(h9)46616777

DB(h9)45606575

DD(h9)35404854

HB20222224

HC5667

HD59656877

(mm)

상기 이외의 치수는 기본형과 동일합니다.

사이즈

10203050

DA(h8)46616777

DB(h8)45606575

DC(H8)20283235

DD(h8)35404854

HA15.519.519.521.5

HB24303034

HC5667

HD63737687

HE 9.513.513.515.5

(mm)

상기 이외의 치수는 고정도형과 동일합니다.

오토스위치추가기호

AR

조정볼트 부착

쇼크 업소버 부착

M9BWA

포트종류

무기호

무기호

-XF-XN

M5Rc1/8G1/8

NPT1/8

단면포트의 종류 사이즈

10, 20

30, 50

※측면포트는 모두 M5입니다.

MSQ Series

오토스위치

무기호 오토스위치 없음(자석내장)※오토스위치의 품번에 대해서는 P.255를 참조해 주십시오.

M5×0.8 깊이5(진공 포트)

HE

øDD

øDAøDBøDC

M5×0.8 깊이5(진공 포트)

øDAøDBøDC

(H

D)

HC

HB

11.5

5.5

øDD

HB

(H

D)

HC

HA

클린 시리즈

몸체 측면의 진공 포트에서 진공 흡입하므로 제품 내부의 발진을 클린룸 안으로 비산시키지 않습니다.

청정도 Class(ISO Class)ISO Class 3주1)

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@1!2!5!4!9@6u@3@0@2@9#0!3@0

q

#1 o i @7 @8 t !0 y !6 !7 !8 !1 @5 e r w@4

MSQA □□(고정도형)

MSQ □□ R(내부 업소버 부착)

로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series

구조도

교환부품

부품명사이즈

10P523010-5

번호 부품명 수량

41213171827

패킹

가스켓

가스켓

웨어링

피스톤 패킹

Seal 와셔

111442

20P523020-5

번호 부품명 수량

41213171827

패킹

가스켓

가스켓

웨어링

피스톤 패킹

Seal 와셔

111442

30P523030-5

번호 부품명 수량

41213171827

패킹

가스켓

가스켓

웨어링

피스톤 패킹

Seal 와셔

111442

50P523040-5

번호 부품명 수량

41213171827

패킹

가스켓

가스켓

웨어링

피스톤 패킹

Seal 와셔

111442

70P391050-5

번호 부품명 수량

41217182729

패킹

가스켓

웨어링

피스톤 패킹

Seal 와셔

O-ring

144424

100P391060-5

번호 부품명 수량

41217182729

패킹

가스켓

웨어링

피스톤 패킹

Seal 와셔

O-ring

144424

200P391070-5

번호 부품명 수량

41217182729

패킹

가스켓

웨어링

피스톤 패킹

Seal 와셔

O-ring

144424

패킹 세트

패킹 세트에

포함되는 부품

구성부품

1

2

34

5

67

8

910

11

12131415161718

번호 부품명 재질

본체

커버

플레이트

패킹

엔드커버

피스톤

피니언

소형 육각너트

육각너트

조정볼트

쿠션패드

 ー패킹 리테이너

가스켓

가스켓

테이블

베어링 리테이너

자석

웨어링

피스톤 패킹

알루미늄 합금

알루미늄 합금

알루미늄 합금

NBR

알루미늄 합금

스테인리스

크롬 몰리브덴강

강선

크롬 몰리브덴강

탄성재

―알루미늄 합금

NBRNBR

알루미늄 합금

알루미늄 합금

―수지

NBR

비고

알루마이트

니켈도금

도장

크로메이트

니켈도금

도장

크로메이트

크로메이트

알루마이트

알루마이트

사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200

사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200

클린사양

클린사양 이외

클린사양

클린사양 이외

19

20

21

22

23

24

25

26

2728293031

번호 부품명 재질

베어링

니들 베어링

베어링

앵귤러 베어링

십자구멍부착 0번 냄비머리작은나사

십자구멍부착 냄비머리작은나사

낮은머리 육각구멍부착 볼트

육각구멍부착 볼트

육각구멍부착 볼트

육각구멍부착 볼트

푸시 너트

CS형 스냅링

평행 핀평행 KeySeal 와셔

플러그

O-ring강구

쇼크 업소버

베어링강

베어링강

강선

스테인리스

강선

강선

스테인리스

스테인리스

강선

스테인리스

탄소강

NBR강선

NBR스테인리스

비고

니켈 도금

사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200기본형

고정도형

사이즈: 20〜 50사이즈: 70〜200사이즈: 10 사이즈: 20〜 50사이즈: 70〜200

사이즈: 10〜 70사이즈: 100〜200사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200사이즈: 10〜 50사이즈: 70〜200

사이즈: 70〜200만사이즈: 70〜200만

※부품단품으로는 주문 대응을 하고 있지 않습니다.

그리스 팩(10g)이 부속됩니다. 그리스 팩만 필요한 경우는 아래 품번으로 주문해 주십시오.그리스 팩 품번:GR-S-010(10g)

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외형치수도/사이즈 10, 20, 30, 50

기본형/MSQB�A

내부 쇼크 업소버 부착MSQA□RMSQB□R

고정도형MSQA□A/조정 볼트 부착MSQA□R/내부 쇼크 업소버 부착

사이즈

10203050

AA55.470.875.485.4

JCM 8×1.25M10×1.5 M10×1.5 M12×1.75

JD12151518

JJM5×0.8 M6×1 M6×1 M8×1.25

JUM 8×1 M10×1 M10×1 M14×1.5

PM5×0.8M5×0.8Rc1/8※

Rc1/8※

WDM5×0.8 M6×1 M6×1 M8×1.25

S 92117127152

Q34374046

SD9

10 11.514.5

SE13121415

SF45606575

SU17.725 25 31.4

UU47545766

WA15 20.523 26.5

WB3H94H94H95H9

WC3.54.54.55.5

WE 8101012

WF32434855

XA27363945

XB3H94H94H95H9

XC3.54.54.55.5

YA19242833

YB3H94H94H95H9

YC3.54.54.55.5

A50657080

AU 6.6 7.6 7.610

AV20 27.529 38

AW15.516 18.522

AX12141419

AY4556

BA 9.512 12 15.5

BB34.546 50 63

BC27.830 32 37.5

BD 60 76 84100

BE27343750

CA4.56 6.5

10

CB28.530.533.537.5

D45h960h965h975h9

DD46h961h967h977h9

DE20H928H932H935H9

DF 6 91213

FA 8101012

FB4 6 4.55

FC3 2.53 3

FD4.56.56.57.5

H13171720

J 6.8 8.6 8.610.5

JA11141418

JB 6.5 8.5 8.510.5

DG15H917H922H926H9

(mm)

사이즈

10203050

DH45h860h865h875h8

DI46h861h867h877h8

DJ20H828H832H835H8

DK 6 91213

DL15H817H822H826H8

FE10 15.516.517.5

HA18.526 27 30

UV52.563 67 76

(mm)

사이즈

10203050

(mm)

※Rc1/8 이외에 G1/8, NPT1/8도 선택 가능합니다.

MSQ Series

사이즈

10203050

FU31.534.734.751.7

(mm)

(Max.≒FU)

øDK(관통)øDL

øDIøDHøDJ

(U

V)H

AFE

øDF(관통)AU

CA

XB유효깊이XC

WF

BE

유효깊이

FB

유효깊이

FC

(Max.≒ SU) SBA øDG

2×P포트

2×M5×0.8포트(플러그로 막음)

8×WD×깊이WE(주8등분)

4×JJ깊이8

2×J 관통JA C.B.깊이 JB

화살표시부

2×JU2×JC깊이JD

BB

SE BC

AW

AAASFAVAXAY

SD

WAXA

2

222.5°

45°

CB (

UU)

QH

FAFD

2YA

YB유효깊이

YC

BA

øDEøD

øDDBD

WB유효깊이W

C

WB유효깊이W

C

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외형치수도/사이즈 70, 100, 200

기본형/MSQB�A

사이즈

70100200

AA 90101119

JCM12×1.75M12×1.75M16×2

JD181825

JK101013

JJ M 8×1.25 M 8×1.25 M12×1.75

JUM20×1.5M20×1.5M27×1.5

WD M 8×1.25

M10×1.5 M12×1.75

S170189240

Q535974

SD182229

SF 79 90108

SU34.234.340.2

UU 75 86106

WA32.537.544

WB5H96H98H9

WC5.56.58.5

WE12.514.516.5

WF677790

XA545969

XB5H96H98H9

XC3.54.54.5

YA394954

YB5H96H98H9

YC3.54.56.5

AB 92102120

A 84 95113

AV425060

AW25.529.536.5

AX272736

AY 8 810

BA171724

BB 75 85103

BC44.550.565.5

BD110130150

BE576680

CB364257

D88h998h9116h9

DD90h9100h9118h9

DE46H956H964H9

DF161924

FA12.514.516.5

FB569

FC3.53.55.5

FD 91215

H222732

J10.410.414.2

JA17.517.520

JB10.510.512.5

DG22H924H932H9

(mm)

사이즈

70100200

FU55.455.579.5

(mm)

사이즈

70100200

(mm)

쇼크 업소버 부착MSQB�R

※Rc1/8 이외에 G1/8, NPT1/8도 선택 가능합니다.

(UU)

WF

AX

(Max.≒SU)

AY

45°

AAYB

유효깊이

YC

2YA

9

øDG

XB유효깊이XC

2

XA

BB

15SD

30°

BC

CB

AW

AB

ASFAV

2WA

22.5°

BE

BD

유효깊이

FBFD

FAH

Q유효깊이

FC

øDDøD

øDE

8 BA BA

S

øDF(관통)

2×JU

2×M5×0.8(플러그)포트

2×Rc1/8포트

2×JC깊이JD

2×J 관통JA C.B.깊이 JB

4×JJ 깊이 JK

8×WD깊이WE(주8등분)

(Max.≒FU)

화살표시부

WB유효깊이W

C

로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series

Page 18: MSQ Series · 로터리테이블 MSQ Series 랙 & 피니언 타입 좌우 대칭형 외부 쇼크 업소버 부착부착 소형시리즈/사이즈 1,2,3,7 길이방향의~ 치수를

278

MSQ

오토스위치의추가기호

무기호Sn

2개 부착1개 부착n개 부착

접속포트위치 및 요동각도

2345

표준형

대칭형

180° 90°180° 90°

AB

고정도형

기본형

오토스위치

무기호 오토스위치 없음(자석내장)

사이즈

LH

저 에너지용 쇼크 업소버고 에너지용 쇼크 업소버

요동각도

180° 90°2:표준형, 180°

4:대칭형, 180°

3:표준형, 90°

5:대칭형, 90°

10203050

우측 표를 참조하십시오.

형식표시방법

쇼크 업소버 종류

무기호X

표준품주문제작사양

B 10 L주문제작사양 또는 포트 종류

M9BW2

접속포트위치/요동각도

표준형

대칭형

접속포트위치

※오토스위치의 품번은 아래표를 참조하십시오.

무기호무기호

-XF-XN

M5Rc1/8G1/8

NPT1/8

단면 포트 종류 사이즈

10, 20

30, 50

※측면 포트는 모두 M5입니다.※주문제작사양과의 조합은 할 수 없습니다.

로터리 테이블/랙 피니언 타입

사이즈:10, 20, 30, 50MSQ Series 외부 업소버 부착

접속포트

접속포트

접속포트

접속포트

주문제작사양은 P.284를 참조해 주십시오.

A96

A93A90

3선

(NPN 상당) —

24V그로메트

24V

2선

3선(NPN)3선(PNP)

2선

3선(NPN)3선(PNP)

2선

3선(NPN)3선(PNP)

2선

DC AC 5(Z)

오토스위치

유접점

무접점

오토스위치

그로메트

100V100V 이하

1(M)

IC회로

—IC회로

IC회로

IC회로

IC회로

릴레이,PLC

릴레이,PLC

진단표시(2색표시)

내수성 향상품(2색표시)

5V

12V

5V,12V

12V

5V,12V

12V

5V,12V

12V

3(L)

적용 오토스위치의 종류/오토스위치 개별의 상세 사양은 홈페이지 WEB 카탈로그를 참조해 주십시오.

종류 특수기능리드선취출

표시등

배선(출력)부하전압 리드선 길이(m)※

0.5(무기호)

적용부하프리와이어

커넥터

오토스위치 품번

종취출 횡취출

※1 내수성 향상 타입의 오토스위치를 부착하는 것은 가능합니다만, 로터리 액추에이터는 내수성 향상 타입으로 되어 있지 않습니다.※2 리드선 길이 1m 타입은 D-A93만 대응됩니다.※리드선길이 표시기호 0.5m……………무기호 (예)M9NW  1m…………… M (예)M9NWM  3m…………… L (예)M9NWL  5m…………… Z (예)M9NWZ※오토스위치는 동봉 출하(미조립)됩니다.

※표시의 무접점 오토스위치는 주문 생산됩니다.

※무접점 오토스위치 프리와이어 커넥터부착 상세 홈페이지 상의 WEB 카탈로그를 참조해 주십시오.

A96V※2A93V

A90V

M9NVM9PVM9BVM9NWVM9PWVM9BWV

※1M9NAV※1M9PAV※1M9BAV

M9NM9PM9BM9NWM9PWM9BW

※1M9NA※1M9PA※1M9BA

●―

Page 19: MSQ Series · 로터리테이블 MSQ Series 랙 & 피니언 타입 좌우 대칭형 외부 쇼크 업소버 부착부착 소형시리즈/사이즈 1,2,3,7 길이방향의~ 치수를

279

10203050

0.2~1.0

10600570670640

1150109013401290

1460139016901620

2390228027202600

20 30 50

주2)

(g)

10 7.1° 8.6°

20 6.9° 8.0°

30 6.2° 7.3°

50 9.6° 10.5°

주1) 허용치를 넘는 운동 에너지로 동작시켰을 경우, 제품 내부에 파손이 생겨 사용이 불가능해질 우려가 있으므로, 운동 에너지가 허용치를 넘지 않도록 설계시·운동시에는 충분히 주의해 주십시오.

주2) 표중의 값은 요동개시부터 쇼크 업소버가 작동하여 감속할 때까지의 시간을 나타냅니다. 감속후, 요동단에 도달하기까지 필요로 하는 시간은 사용조건(부하의 관성모멘트, 요동각도, 사용압력)에 따라 다르지만 약 0.2~2s 정도 필요합니다.

또한, 쇼크 업소버가 작용하는 각도는 요동단에서 아래표에 나타내는 범위까지입니다.

OrderMade 주문제작사양

(상세 내용은 P.284를 참조해 주십시오.)표시각도 사양/내용

외부 조정 볼트 부착-X232

단면포트 측면포트

로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series

공기(무급유)

1MPa0.2MPa

0~60℃(단, 동결 없어야 함)

쇼크 업소버

RB1006RB1007

90 ,゚ 180゜각 요동단 ±3゜

저에너지용

고에너지용

단면포트

측면포트

10 20 30 50

M5×0.8M5×0.8

Rc1/8, G1/8, NPT1/8

RB1411RB1412

RB0805RB0806

ø15 ø18 ø21 ø25

업소버 형식

쇼크 업소버의 수명은 사용조건에 따라 로터리 테이블 본체와는 다릅니다.교환의 기준은 개별주의사항란을 참조해 주십시오.

사양

사이즈

사용유체

최고사용압력

최저사용압력

주위온도 및 사용유체온도

쿠션

요동각도

각도조정범위

실린더 내경

포트사이즈

표시기호

저 에너지용 쇼크 업소버

0.1610.5740.8051.310

고 에너지용 쇼크 업소버

0.2311.0601.2101.820

허용 운동에너지와 요동시간 조정범위

사이즈허용운동에너지(J) 주1) 작동상 안정된

요동시간 조정범위(s/90°)

사이즈

저에너지용

고에너지용

질량

사이즈

90° 사양

180°사양

90°사양

180°사양

주) 오토스위치의 질량을 제외한 값입니다.

기본형

고정도형

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280

밑면 위치결정 핀구멍 위치밑면 위치결정 핀구멍 위치

밑면 위치결정 핀구멍 위치

위치결정용 핀 구멍

밑면 위치결정 핀구멍 위치

위치결정용 핀 구멍

표준형

대칭형

MSQ Series

180°

3°3°

3°3°22.5°

90°

3°3°

3°3°22.5°

시계방향회전

B포트

반시계방향회전A포트

위치결정용 핀 구멍위치결정용 핀 구멍

180°용 90°용

°

°

681위

동요대최

471위동요소최

A포트

°6

9위

동요

대최

°4

8위

동요

소최

A포트

90°

3°3°

3°3°22.5°

180°

3°3°

3°3°

22.5°

A포트

B포트

시계방향회전

반시계방향회전

위치결정용 핀 구멍

90°용

°6

9위

동요

대최

범°

48

위동

요소

A포트

180°용

°

°

681위

동요대최

471위동요소최

위치결정용 핀 구멍

A포트

위치결정용 핀 구멍위치결정용 핀 구멍

요동방향 및 요동각도

•A포트에서 가압하면 테이블은 시계 방향으로 회전하고, B포트에서 가압하면, 반시계 방향으로 회전합니다.•쇼크 업소버를 조정하여 그림의 범위에서 회전단을 설정할 수가 있습니다.

사이즈

10203050

각도조정나사 1회전당 조정각도

1.4°1.2°1.1°1.3°

외부 업소버 부착주)·그림은 테이블 윗면 위치결정 핀구멍의 요동범위를 나타냅니다. ·그림의 핀구멍 위치는 쇼크 업소버를 동일하게 체결하여 요동각 180°, 90°로 조정한 경우의 반시계방향 회전단을 나타냅니다.

시계방향

시계방향

시계방향

시계방향

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교환부품

부품명세트번호

10P523010-6패킹 세트

비고

부품내역은 P.259에 기재된 교환부품에서 @7Seal 와셔를 제외한 것입니다.20

P523020-630

P523030-650

P523040-6그리스 팩(10g)이 부속됩니다. 그리스 팩만 필요한 경우는 아래 품번으로 주문해 주십시오.그리스 팩 품번:GR-S-010(10g)

※부품 단품으로는 주문 대응은 하고 있지 않습니다.

각부 명칭

로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series

구성부품

엔드커버

테이블

Arm업소버 홀더

육각구멍부착 볼트

육각구멍부착 볼트

육각너트

쇼크 업소버

알루미늄 합금

알루미늄 합금

크롬 몰리브덴강

알루미늄 합금

스테인리스

스테인리스

강선

-

12345678

도장

알루마이트

니켈 도금

알루마이트

번호 부품명 재질 비고

y q ue trw i

281

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282

기본형/MSQB� �

사이즈

10203050

AA55.470.875.485.4

JB 6.5 8.5 8.510.5

JA11141418

J 6.8 8.6 8.610.5

JD12151518

JC M 8×1.25

M10×1.5 M10×1.5 M12×1.75

KM 8×1 M10×1 M10×1 M14×1.5

PM5×0.8M5×0.8Rc1/8※

Rc1/8※

WDM5×0.8 M6×1 M6×1 M8×1.25

S 92117127152

Q34374046

ND4446

NC12.516.516.519.5

NB5.58 8 8.5

NA10141419

SD9

10 11.514.5

SE13121415

SF45606575

UU47545766

WA15 20.523 26.5

WB3H94H94H95H9

WC3.54.54.55.5

WE 8101012

WF32434855

YA19242833

YB3H94H94H95H9

YC3.54.54.55.5

A50657080

BA 9.512 12 15.5

BB34.546 50 63

BC27.830 32 37.5

BD 60 76 84100

CA4.56 6.5

10

CB28.530.533.537.5

D45606575

DD46616777

DE20H928H932H935H9

DF 6 91213

DG15H917H922H926H9

EA52.961.863.186.8

EB44.355.360.371.4

EC33.543 46 56

ED14 18 19.522

EE 97.2117.1123.4158.2

FA 8101012

FB4 6 4.55

FC3 2.53 3

FD4.56.56.57.5

GA20252732

GB15.619.521.528

GC11141418

GD 7.5 9.5 9.511.5

GE45.256.461.572.9

H13171720

EF 80100110130

(mm)

사이즈

10203050

DH45606575

DI46616777

DJ20H828H832H835H8

DK 6 91213

DL15H817H822H826H8

FE10 15.516.517.5

HA18.526 27 30

NE11 17 18 18.5

NF18 25.526.529.5

UV52.563 67 76

(mm)

사이즈

10203050

(mm)

LH

LH

고정도형MSQA� �

※Rc1/8 이외에 G1/8, NPT1/8도 선택 가능합니다.

MSQ Series

외형치수도/외부업소버 부착 사이즈10, 20, 30, 50

대칭형

밑면 위치 결정핀 구멍의 위치

화살표시부

주1)180° 사양의 경우, 이 부품은 없습니다.

øDK(관통)

øDIøDH

NF

NE

(U

V)

FE HA

øDJ

øDL

YB유효깊이

YC

2 YA

YB유효깊이

YC

2YA

øDF(관통)

BD

øDDøD

NA

ND

GD

0.5

GC

NB

NC

WF

유효깊이

FBFD

FA

øDE

H

GE(Arm

동작범위

)

GA

EDEC

EF

EB

(M

ax.≒

EE)

(M

ax.≒

EA)

EB

2WA

GB

AA

CB

CA

WB유효깊이W

C22.5゚

(U

U)

Q유효깊이

FCS

BA øDGSF

BCSE

SD

BB

A

주1)포트

주1)

주1)

2×JJA깊이 C.B.깊이 JB

2×M5×0.8포트(플러그로 막음)

2×K쇼크 업소버

8×WD×깊이 WE(주8등분)

2×P포트

BA2×JC깊이JD

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283

10 20 30 50 70100200

190°190°190°190°190°190°190°

A27353949546181

B 45 62 68 83 95108139

90°80°65°50°45°40°35°

동작각도θm10°10°10°10°10°10°10°

응차각도

유접점 오토스위치 무접점 오토스위치

A31394353586585

B 49 66 72 87 99112143

42°35°30°24°22°19°14°

동작각도θm10°10°10°10°10°10°10°

응차각도

D-M9□(V), D-M9□W(V)D-A9□, D-A9□V

1237

D-M9□(V), D-M9□W(V)

190°190°190°190°

A20.922.824.428.7

49°50°47°31°

동작각도θm10°10°10°10°

응차각도

D-F8□B

16.918.820.424.7

20°20°15°15°

동작각도θm10°10°10°10°

응차각도

무접점 오토스위치

동작각도 θm : 오토스위치 단품이 동작하는 범위 Lm을 축의 요동각도로 환산한 값응차각도 : 오토스위치 응차를 각도로 환산한 값 주) 위 표의 값은 기준이며, 보증하는 것은 아닙니다.  실제 설정시에는 오토스위치의 동작상태를 확인한 후 조정하시기 바랍니다.

동작각도 θm : 오토스위치 단품이 동작하는 범위 Lm을 축의 요동각도로 환산한 값응차각도 : 오토스위치 응차를 각도로 환산한 값 주) 위 표의 값은 기준이며, 보증하는 것은 아닙니다.  실제 설정시에는 오토스위치의 동작상태를 확인한 후 조정하시기 바랍니다.

BA

최고감도위치

마그넷

적정부착위치에서의동작범위(Lm/2)

오토스위치단품의 동작범위 Lm

BBAA

D-F8 사용의 경우D-M9 사용의 경우

·사이즈 : 10~200

오토스위치 적정부착위치(요동단 검출 시)

·사이즈 : 1~7

사이즈 요동각도

사이즈 요동각도

로터리 테이블/랙 피니언 타입 MSQ Series

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OrderMade

MSQ Series

주문제작사양상세 치수・사양 및 납기에 관해서는 당사에 확인해 주십시오.

표시기호

-X232외부 조정볼트 부착1 업소버의 유효 스트로크를 짧게함으로써 흡수시간을 단축하여 택트 타입 향상이 가능.

MSQ

접속포트 위치 및 요동각도

주문제작사양

2345

표준형

대칭형

180° 90°180° 90°

AB

고정도형

기본형오토스위치

사이즈

LH

저 에너지용 쇼크 업소버고 에너지용 쇼크 업소버

10203050

쇼크 업소버의 종류

B 10 L M9BW2 X

※오토스위치에 대해서는 P.278을 참조해 주십시오.

외부 조정볼트 부착

X232

사이즈

10203050

저 에너지 쇼크 업소버

0.1610.5740.8051.310

고 에너지 쇼크 업소버

0.2311.0601.2101.820

허용 운동 에너지(J)

형식표시방법

사양

주1)표중에 기재된 허용 운동 에너지는 쇼크 업소버의 전 스트로크를 사용했을 때의 값입니다. 조정볼트로 쇼크 업소버의 유효 스트로크를 짧게한 경우, 허용 에너지는 표중의 값보다 저하하므로 주의해 주십시오.

주2)택트 타임의 단축을 목적으로 쇼크 업소버의 스트로크를 조정하는 경우, 일단 쇼크 업소버의 전 스트로크를 사용하는 위치에 설정하고, 제품의 동작상태를 보면서 서서히 유효 스트로크를 짧게 조정해 주십시오.

주3)쇼크 업소버는 소모부품입니다. 동작 종단에서 바운드가 발생하는 등, 에너지 흡수능력의 저하가 확인된 경우, 쇼크 업소버의 유효 스트로크를 길게 위치를 재조정해 주십시오. 전 스트로크를 사용하더라도 바운드가 억제되지 않는 경우, 새로운 쇼크 업소버로 교환이 필요합니다.

유효 스트로크

조정 볼트

쇼크 업소버

◆EG

◆NG

조정 볼트

대칭형

주)

주)180° 사양의 경우, 이 부품은 없습니다.

외형치수도

사이즈

10203050

EG47.46267.680

NG4.54.54.87

(mm)

※상기 이외의 치수는 표준형과 동일합니다.

284

Page 25: MSQ Series · 로터리테이블 MSQ Series 랙 & 피니언 타입 좌우 대칭형 외부 쇼크 업소버 부착부착 소형시리즈/사이즈 1,2,3,7 길이방향의~ 치수를

285

wMSQ시리즈는 러버쿠션 또는 쇼크 업소버가 내장되어 있어 각도조정

을 하는 경우에는 가압상태(최저사용압력 : 조정볼 트부착, 내부 업소

버 부착 0.1MP 이상, 외부 업소버 부착 0.2MPa 이상)로 하여 주십시

오.

q쇼크 업소버 고정 너트의 체결 토크는 다음 표에 따라 주십시오.사이즈

체결토크N・m 1.67

20 3010.8

70 10062.83.14 23.5

w쇼크 업소버의 밑면에 부착된 나사는 절대로 돌리지 마십시오.(조정용 나사가 아닙니다.) 기름 누설이 원인이 됩니다.

사이즈

에너지 흡수능력이 저하되지않는 최소 요동각도

52° 43° 40° 60° 71° 62° 82°

2005010

20 30 70 100 2005010

밑면부 나사회전 불가

q요동각도의 조정이 가능한 각도조정 나사(조정볼트 또는 쇼크 업소

버)가 표준 장착되어 있습니다. 각도조정나사 1회전당 조정각도를 표에 나타냅니다.요동방향 및 요동각도, 요동각도 범위의 설정예는 아래 페이지를 참조 하십시오. MSQ/사이즈 1~7  → P.268 MSQ/사이즈 10~200  → P.273 MSQ/외부 업소버 부착 → P.280

조정볼트 부착, 내부 업소버 부착

사이즈

10203050

각도조정나사 1회전당 조정각도

1.4°1.2°1.1°1.3°

사이즈

1 2 3 7 10 20 30 50 70100200

각도조정나사 1회전당 조정각도

8.2° 10.0° 10.9° 10.2° 10.2° 7.2°6.5°8.2°7.0°6.1°4.9°

외부 업소버 부착

요동 각도 조정

주의

요동각도 조정

쇼크 업소버

주의

t쇼크 업소버는 소모부품입니다.에너지 흡수능력의 저하가 인정되는 경우에는 교환이 필요합니다.

r쇼크 업소버 부착 제품은 원활한 동작을 얻기 위한 것이 아니라 부하

의 운동에너지를 흡수하고, 제품의 파손을 방지하는 것을 목적으로 합니다. 부하를 원활하게 정지시키는 경우에는 사용조건에 적절한 사이즈의 쇼크 업소버를 제품외부에 설치 할 필요가 있으므로 주의 하십시오.

사이즈

10 20 30 50 70100200

쇼크 업소버 형식

RBA0805-X692

RBA1006-X692

RBA1411-X692

RBA2725-X821

RBA2015-X821

내부 업소버 부착

사이즈

10

20

30

50

쇼크 업소버 형식

RB0805RB0806RB1006RB1007RB1006RB1007RB1411RB1412

타입

저에너지용

고에너지용

저에너지용

고에너지용

저에너지용

고에너지용

저에너지용

고에너지용

외부 업소버 부착

MSQ Series

①속도 조정은 저속측에서부터 서서히 실시해 주십시오.속도 조정은 고속측에서부터 하면 기기류의 파손을 초래하여 인체 및 기기, 장치에 손상을 주는 원인이 됩니다.

速度調整

①무급유 대응품이므로 급유는 하지 마십시오.출하시에는 그리스로 윤활되어 있으므로 급유하면 제품사양을 만족

하지 않는 원인이 됩니다.

①동작 속도가 빠르고 부하의 관성이 큰 경우에는 큰 에너지가 액추에이터에 가해져 파손의 원인이 됩니다. P.22 기종선정방

법에 따라 적정한 작동시간을 구할 수 있습니다.

②포트 입구에 있는 고정 오리피스를 재가공 등을 통해 크게 하

지 마십시오. 이 고정 오리피스를 지름을 크게하면 액추에이터

의 작동속도가 증가하고 충격력이 증대하여 액추에이터가 파

손되는 원인이 됩니다.

속도조정

경고

급유

주의

주의

로터리 테이블/제품개별 주의사항①사용하기 전에 반드시 숙지하십시오.

외부 업소버 부착이 요동각도 조정범위는 각 요동단 ±3°입니다. 이 범위를 넘어 조정한 경우 쇼크 업소버의 내구성이 저하될 우려가 있으므로 주의하십시오.

e내부 업소버 부착의 요동각도를 아래 표의 값보다 작게 설정하면,

업소버의 유효 스트로크 보다도 피스톤의 스트로크가 작아지며, 에

너지 흡수능력이 저하되므로 주의해 주십시오.

Page 26: MSQ Series · 로터리테이블 MSQ Series 랙 & 피니언 타입 좌우 대칭형 외부 쇼크 업소버 부착부착 소형시리즈/사이즈 1,2,3,7 길이방향의~ 치수를

286

사이즈

1237

검출 가능한 최저 요동각도

25°25°20°20°

MSQ Series로터리 테이블/제품개별 주의사항②사용하기 전에 반드시 숙지하십시오.

쇼크 업소버의 수명 및 교환시기

q카탈로그 사양범위 내에서 사용 가능한 작동 횟수는 100만회

를 기준으로 해 주십시오.주)수명횟수(적절한 교환시기)는 상온(20〜25℃)시의 값입니다. 온도 조건 등에

따라 다른 경우가 있으므로, 상기 동작횟수 이내 일지라도 교환해야 하는 경우가 있습니다.

주의

쇼크업소버와 Arm의 충돌부에서 마모 가루가 발생합니다.

마모 가루가 악영향을 미치는 장소에서는 사용하지 마십시오.

외부 업소버 부착

주의

●스피드 컨트롤러

AS121F/엘보타입

AS131F/유니버셜 타입

●원터치 피팅

원터치・미니 K Q2시리즈

●미니어처 피팅 M3시리즈

사이즈 1, 2, 3의 관접속구는 M3×0.5를 사용하고 있으므로 직접 스피드 컨트롤러 및 피팅을 접속하는 경우, 아래 시리즈를 사용하십시오.

스피드 컨트롤러�피팅

주의

사이즈 1, 2, 3, 7에서 스위치 홈 1개에 2개의 오토스위치를 부착하는 경

우, 검출 가능한 최저 요동각도는 아래의 값입니다.

오토스위치

주의

사이즈 1, 2, 3, 7은 특수공구를 필요로 하므로 분해할 수 없습니다.사이즈 10, 20, 30, 50의 고정도형은 앵귤러형 베어링에 테이블을 압입

하고 있으므로 분해할 수 없습니다.

보수�점검

주의