MULTI VACUUM GAUGE

VSLVG-7102Ver 2017

Low Vacuum Gauge 제품을 구입하여 주셔서 감사합니다.

사용하시기 젂에 안젂을 위한 주의 사항을 반드시 읽고 올바르게 사용해 주세요.

읽으싞 후 사용자가 늘 볼 수 있는 장소에 보관 하십시오.

안젂상의 주의

안전을 위한 주의사항 ----------------------------

본 기술 자료집에서는 안전 주의사항의 등급을 [경고]와 [주의]로 구분 하였습니다.

설치에 관한 사항 ----------------------------

① 주위 온도가 0℃ 이하 50℃ 이상인 장소.☞ 화재나 오작동의 위험이 있습니다.

② 계기 젂원의 젂압 변동이 심한 장소.☞ 고장이나 화재 위험이 있습니다.

③ 부식성 가스, 폭발성 가스가 있는 장소.☞ 고장이나 화재 위험이 있습니다.

④ 먼지, 분진, 기계적 진동, 충격이 있는 장소.☞ 고장의 우려가 있습니다.

취긃을 잘못한 경우, 위험한 상황이 발생하여 사망 또는 중상을 입을 가능성이예상되는 경우

취긃을 잘못한 경우, 위험한 상황이 발생하여 중상과 경상을 입을 가능성이 예상되는 경우 및 물적 손해 발생이 예상되는 경우 지시사항을 위반할 경우

※ 일반적인 vacuum gauge의 젃대치는 오염도에 따라 ±20%이며 정확한 진공을 알려면capacitance manometer sensor를 추첚합니다

1. 제품 구성품

Pi SENSOR (Ø 15) 게이지 고정쇠

※ PANEL CUT TYPE

D-TYPE 25PIN

D-TYPE 9PIN

CONNECTOR, CASE

SENSOR 케이블 AC Power 코드사용설명서(홈페이지 참고)

GAUGE Controller

개 요

Multi vacuum gauge는 TFT LCD에 touch screen을 장착한 Display type 으로써 low vacuum sensor와high vacuum sensor을 한꺼번에 Readout 하는 편리한 vacuum gauge 입니다.

Noise 에 강한 알루미늄 케이스를 사용하였으며 고진공 sensor는 오염시 분해세정이 가능 합니다.

저진공 sensor는 주위온도 또는 오염으로 인하여 측정치가 달라질수 있으므로 이상 동작시에는

보정하여 사용합니다.

• Measurement range : 10 ~ 10-7 Torr range ( Pirani & penning type)• Units of measure : Torr ( mbar & Pascal : option)• Display : TFT LCD touch screen• Input power : 220VAC 50/60Hz• Setpoint relays : two setpoint relays• Digital interface : RS232• Sensor type : Low vacuum (Pirani type) , High vacuum ( Penning type)• Sensor fitting : Pirani sensor - ø 15mm (standard) , NW16 (option)

Penning sensor - NW25 (standard) , 1.75”CF (option)• Sensor cable length : 3M (standard) , 20M (Maximum)

특 징

측정 범위 10 ~ 1.0 × 10-7 SENSOR CABLE기본 3M

※ 5 , 15 , 20 M

측정 단위 Torr RELAY OUTPUT Pi :2EA Pe :2EA

SENSOR TypePi : Ø 15

RELAY 접점용량AC 250V 1A

DC 30V 3APe : NW25

측정 개소 2 곳 사용 온도 범위 10 ~ 40 ℃

표시 방식 TFT LCD DISPLAY 입력 전원 AC 220V 50/60Hz 1A

PANNEL

CUT SIZE

204 × 86

※ PANEL CUT TYPEDIMENSIONS W242×H88×D203

“※” 선택사항입니다. “ ” 접점 용량을 지켜주세요.

2. GENERAL INFORMATION

Pe SENSOR (NW-25)

각 부 명 칭 기 능

① power switch gauge 전원 on / off

② LCD panel 현재 진공도 표시 및 설정값 표시

각 부 명 칭 설 명

① SENSOR CONNECTORSENSOR를 정격 CABLE로 연결.

※ SENSOR CABLE은 길이를 임의로 줄이거나늘려서는 안됨.

② AC220V INPUT

전원 CABLE을 연결 접지는 필수.

※ 입력 전원을 계속하여 ON/OFF를 반복하면

고장의 원인이 된다.

③ INTERFACE· Relay output

※ Relay 접점용량을 지킨다.

④ RS232 · RS232 통신 (Option)

3. 각부의 명칭

①

②

① ②

③ ④

4-1. TFT-LCD Vacuum Multi GAUGE 화면 설명

3

12

4

5

5

LCD 화면 터치입력 긂지

Set Point Relay

동작표시

각Gauge의Relay 동작설정값 표시

Sensor Real 측정값 표시

High Vacuum(Penning) 방젂 On Button

1 - 각각의 Gauge는 Relay를 동작 할 수 있는 2개의 Set Point를 설정할 수 있습니다.

2 - 설정한 Set Point 도달하면 Set Point 옆의 파띾색 상자가 빨갂색으로 변경이 됩니다.

3 - Screen Lock을 동작 시키면 화면의 터치가 동작을 하지 않습니다.

Screen Lock이 동작 할 때는 빨갂색 버튼으로 변경이 됩니다.

4 - PE On버튼은 High Vacuum(Penning)을 동작할 때 사용한다.

평상시에는 Penning Sensor에서 높은 젂압의 방젂을 하지 않습니다.

대기 상태에서 방젂을 할 시에는 센서가 오염이 되어 정확한 측정을 할 수 없기 때문입니다.

동작방법은 진공상태(1.0E-3)이하에서 PE On 버튼을 터치하면 High Vacuum Sensor값을 표시하는 부분에

“Start…”라는 글씨가 나타나며 5초 후에 측정이 시작됩니다.

만약 측정값이 나타나지 않으면 진공도가 -4승 영역이 아닙니다.

(Penning 측정영역 : 9.9E-4 ~ 1.0E-7)

5 - 측정된 현재 진공 값을 표시합니다.

6 – High Vacuum(Penning)을 Pirani 값이 “1.0E-3”이 되면 자동으로 방젂 start를 동작시키는 On/Off 버튼입니다.

6

High Vacuum(Penning) 자동 Start On/Off

4-2. TFT-LCD Set Point 입력방법

Low Vacuum 입력 범위는 7.6E+2 ~ 1.0E-3까지 입니다.

High Vacuum 입력 범위는 9.9E-4 ~ 1.0E-7까지 입니다.

방법은 다음과 같습니다.

1) 원하는 SetPoint1 또는 2의 영역을 터치합니다.

2) 아래와 같은 KeyPad가 화면에 나타납니다.

3) 입력하고자 하는 값이 Low Vacuum 영역의 3.0E-2를 원한다면 Key Pad에서 다음과 같이 입력을 합니다.

4) ‘3’ ‘.’ ‘0’ 여기까지 입력을 하면 자동으로 ‘E’가 나타납니다. 그리고 ‘-’ ‘2’를 누르고 엔터를 칩니다.

5) 원하는 Set Point영역에 입력한 값이 나타납니다.

주의 : - ‘E’ 는 자동으로 입력이 됩니다.

- 입력 범위가 아닌 영역을 입력할 경우에는 원래의 값으로 입력이 됩니다.

입력 값을 초기화 합니다.

입력한 값을 한 글자씩 지웁니다.

4-2. Serial 통신 (Ver 1.0)

통신 설정은 다음과 같다.

- Baud rate : 9600

- Data bit : 8 bit

- Stop bit : 1 bit

- Parity : No Parity

- Flow : No

Vacuum Science 의 TFT-LCD Vacuum Gauge는 Broadcasting 방식으로 일정 주기 마다 값을 통신을 합니다.

Protocol

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13

STX

V P I , X . X E - 0 X _

14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25

V P E , X . X E - 0 XETX

1. 1 - STX : 0x02

2. 6 – 12 : Low Vacuum Real 값

3. 18 – 24 : High Vacuum Real 값

ex) Low Vacuum : 3.6E-02, High Vacuum : 5.8E-06

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13

STX V P I , 3 . 6 E - 0 2 _

14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25

V P E , 5 . 8 E - 0 6 ETX

특이사항

1. High Vacuum 통신값 중에서 Penning을 켜지 않으면 “9.9E-09”값을 내보냅니다.

2. High Vacuum 통신값 중에서 Penning을 켜고 기다리는 시간에는 “1.0E-08”값을 내보냅니다.

3. 정상적으로 High Vacuum이 측정을 시작했지만 고진공 영역대가 아니면 “1.0E-03” 값을 내보냅니다.

5. INTERFACE CONNECTOR

Pin No. 설 명

1 low vacuum Relay1 COM

2 Low vacuum Relay2 NO(Normal Open)

3 Low vacuum Relay2 NC(Normal Close)

4 Low vacuum Relay2 COM

5 GND

6 Filter GND

7

8 Filter GND

9

10 GND

11 high vacuum Relay1 NO (Normal Open)

12 high vacuum Relay1 NC (Normal Close)

13 high vacuum Relay1 COM

14 Low vacuum Relay1 NO (Normal Open)

15 Low vacuum Relay1 NC (Normal Close)

16

17

18 GND

19 GND

20 External High Vacuum On/Off Input

21

22

23 high vacuum Relay2 COM

24 high vacuum Relay2 NC(Normal Close)

25 high vacuum Relay2 NO(Normal Open)

Pin No. 설 명

1

2 RS232 UART TXD(Controller 기준)

3 RS232 UART RXD(Controller 기준)

4

5 GND (RS232 통신용으로 사용 권장)

6

7

8

9

6. 각 부분 치수

Half rack type Panel cut type

Standard color : Black or combi (side white)Option : stained glass color mm

Ø 15 NW-16

7. 주문형 display mode

Only Penning gauge

Pirani & Penning gauge(standard) Only Pirani gauge

Dual Pirani gauge

고 장 증 상 고 장 원 인

진공을 뽑아도 LCD Display에

“ LOW “ 가 표시될 때

- SENSOR OPEN or (SENSOR CABLE 절단 or 대기압상태) or sensor 오염

- 진공이 측정 범위를 넘어선 고진공 상태 < 10-8 Torr range >

진공 특성이 좋지 않다.

(떨린다거나 동작을 안 할 때)

- SENSOR의 오염 . ※ SENSOR 분해 세척 요함.

- 전극이 중심에 조립 불량.

진공을 뽑아도 LCD Display에

“ HIGH“ 가 표시될 때.

- 진공 배기 상태이나 PENNING의 동작 영역이 아님.

- 진공이 측정 범위를 벗어난 저진공 상태 < 1.0×10-1 ~ 1.0×10-3 Torr range >

진공 센서를 세척해야 할 때는 ( Sensor 분해, 조립 , 세척 ) 참조

8. TROUBLE AND MEASURES

High Vacuum Gauge에서 발생할 수 있는 증상을 정리한 내용입니다.

아래 내용을 참고 하시기 바랍니다.

Low ×10-6 Torr range 이하의 영역에서는 Plasma start 어려우니 of/off 긂지 바람니다.

Vacuum Gauge를 A/S 맡겨야 할 경우에는 ( Gauge, Sensor, Sensor Cable ) 3가지를함께 보내 주셔야 정확한 A/S 및 Calibration을 할 수 있습니다.

Low Vacuum Gauge에서 발생할 수 있는 증상을 정리한 내용입니다.

아래 내용을 참고 하시기 바랍니다.

증 상 고 장 원 인

진공을 뽑아도 LCD Display에

“HIGH ”표시.

- SENSOR 단선.

- SENSOR CABLE 절단.

진공특성이 좋지 않다.- SENSOR의 오염 .

- 측정하는 주위의 온도가 낮음.

진공을 뽑아도 LCD Display에

“ LOW ”표시.

- 진공이 안 뽑히고 있음.

- Controller Board 이상 발생, 수리 의뢰.

PIRANI GAUGE 는 주위온도, 습도, SENSOR의 오염등으로 인하여

(7.6×102 ~ 1.0×101 Torr) 대역은 측정오차가 있습니다.

안정화 되는데 10분 정도 필요합니다.

PENNING SENSOR 세척방법 -----------------------

① 센서몸체 ② 전극판 ③ 스넵링 ④ 전극

① 센서몸체 뒤집어서 사포로 오염된 곳을 잘 긁어낸 후 이물질은 메칠알콜로 닦아냄

② 젂극판 , ③ 스넵링 , ④ 젂극도 사포로 오염된 곳 긁어낸 후 메칠알콜로 닦아냄

⑤ 오링은 메칠알콜로 닦아냄

(가장 좋은 방법은 젂해처리)

※ 전극 세척 시 전극 부분 휘어지지 않도록 주의

PENNING SENSOR 분해 및 조립 방법 -----------------

② 젂극판 ③ 스넵링 ④ 오링 ⑤ 자석케이스 ⑥ 자석 ⑦ 고젂압 연결부 ⑧ 젂극

분해

chamber결합된 상태에서 ⑦을 잡고 한바퀴 정도 돌린 후 chamber에서 sensor를 분리 ⑤ M3나사제거 후 ① 센서몸

체를 잡고 ⑦ 을 완젂 분리 ⑥ 자석 ⑤자석케이스⑧ 젂극을 제거① 센서몸체 뒤집어서 ③ 스넵링 을 스넵링 플라이어

로 집어 빼냄 ② 젂극판을 스넵링 플라이어로 집어 ① 센서몸체 홈에서 빼낸 후 메칠알콜로 세척작업

조립

① 센서몸체 뒤집어서 ② 젂극판을 스넵링 플라이어로 집어 ① 센서몸체에 넣음

③ 스넵링 을 스넵링 플라이어로 집어 ① 센서몸체 홈에 끼움

※ ② 전극판이 빠지지 않게 하기 위해 ③ 스넵링 을 끼우는 것임

① 센서몸체 똑바로 놔두고 ④ 오링 을 홈에 넣고, vacuum grease 를 바름

① 에 ⑤ 자석케이스 ⑥ 자석을 넣고, ⑦ 고젂압 연결부 안쪽에

⑧ 젂극을 꽂고(center 조립※ (전극이 center에 조립되었는지 뒤집어서 확인)

① 센서몸체 을 잡고 ⑦ 돌려서 조립 (chamber에 조립 후 조이면 꽉 조일 수 있음)

⑤ 자석케이스 나사 결합

① 센서몸체

9. 세척 및 조립 방법

⑤ 오링

기타 자세한 내용 및 기술지원을 원하시면 아래의 연락처로 연락을 주시면 기술지원을 받으실 수 있습니다.

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홈페이지 : www.vacuumscience.co.kr

Manual Update : 2017년 1월 22일

Ver 2.1

※ SENSOR 분해 조립시 콘넥터에 있는 나사와 sensor에 있는 검정색 점을그림과 같이 동일 방향으로 조립 하세요.