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Fabrication des microsystèmes
Applications
Outils de conception
Groupe de Microélectronique et Microsystèmes
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Photolythographie
Principes généraux
Fabrication des microsystèmes
Substrat (Si)
Couche photo-sensible
Masque
UV
Substrat (Si)Dissolutionde la couche
photo-sensibleexposée
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Photolythographie
Substrat (Si) Substrat (Si)
+ Déposition (physique ou chimique)
Dissolutionde la couche
photo-sensible
Fabrication des microsystèmes
Principes généraux
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PhotolythographieDéposition (physique ou chimique)
Substrat (Si)
Solution chimique
Substrat (Si)
+ Gravure (humide ou sèche)
Dissolutionde la couche
photo-sensible
Fabrication des microsystèmes
Principes généraux
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Photolythographie
Gravure (humide ou sèche)Déposition (physique ou chimique)
Substrat (Si) Substrat (Si)
IONS
+ Diffusion ou implantation d'impuretés (ions)
Dissolutionde la couche
photo-sensible
Fabrication des microsystèmes
Principes généraux
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Substrat de type p
nn
Oxyde
Source Gâchette Drain
Métal
Exemple: MOSFET
Fabrication des microsystèmes
Principes généraux
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Fabrication des microsystèmes
Applications
Outils de conception
Groupe de Microélectronique et Microsystèmes
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Circuits intégrés spécifiques (ASICs)
Micro-électronique Microcontrôleurs Microprocesseurs Circuits programmables (PLDs, FPGAs)
Fiabilité, sécurité, performance
Applications
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Micro-électromécanique Capteurs Moteurs Relais et Interrupteurs Composants électromagnétiques
Faibles consommation, poids, coût Possibilités d'intégration Fiabilité
Applications
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Microfluidique Conduits Valves, pompes, vannes Filtres, mélangeurs, échangeurs thermiques
Faible coût Optimisation des réactions et mélanges Fiabilité
Applications
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Fabrication des microsystèmes
Applications
Outils de conception
Groupe de Microélectronique et Microsystèmes
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Microélectronique
Outils de conception
if input='1' then output <= '0';else output <= output;end if;...
NUMÉRIQUE: VHDL (Hardware Description Language)
SynthèseConception
ANALOGIQUE: Schématique
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Micro Electro-Mécanique
Outils de conception
Synthèse
Conception