유기세정, 표면개질, 광경화 등의 Process의 성능을

한국우시오 Demo평가 시스템으로 확인 할 수 있습니다.

한국우시오

데모평가시스템

Excimer

Plasma

LED Cure

사양

조사 파장 172nm

방사 조도 170mW/㎠ or higher

조도 균일도 ±15%

조사 영역 510mm

반송 속도 150-7690mm/min

유기물 세정 메커니즘

유전체 베리어 방전 Excimer Lamp에 의한 세정

표면 개질 측정

조사 후 표면 친수화에 의한 접촉각 변화

발광 파장역

172nm Excimer Vuv 이용한 데모 평가

고조도, 고에너지 VUV를 이용한 표면세정 / 개질을 통한 프로세스 개선

특징

종래의 Lamp에 없는 단파장 / 단일파장고효율 : 저전력에서 빛으로의 에너지 변환 효율이 높음순시 점멸점등이 가능(Shutter 불필요)설치방향이 자유자재 / 저온 조사 / 대면적 조사

친환경적(수은 미사용)

용도

표면 유기물 미세 세정 / 표면 친수화

Ultra / UV-XEFL

무수은 ・ 임의 파장만을 선택 조사

특징

무수은 : 수은을 사용하지 않습니다.

적정파장 : 임의 파장만을 발산할 수 있습니다.

복수의 LAMP 채용으로 혼합광 조사가 가능합니다.

수시점등 : 수시점등 및 점멸이 가능합니다.

수명은 점등적산 시간으로 실질적인 장수명화

용도

광중합

광중합 개시제와 Lamp광 Spector 일치

표면 유기물 미세 세정

Plasma 방전을 이용한 데모 평가

표면 세정 / 개질을 통한 프로세스 개선

특징

낮은 유지 보수 비용 / 낮은 Utility 비용 (Low N2)대면적 조사 / No plasma damage / ESD FreeCompact한 Size로 설치 및 유지 보수 용이Particle Free

용도

표면 유기물 미세 세정 / 표면 친수화

Low N2

45%~40% 저감 가능

조사 영역 Conventional Precise Ⅱ400mm 200~170 120

550mm 250~220 165

620mm 280~250 190

730mm 330~300 220

1100mm 490~450 320

1300mm 590~550 370

1500mm 660~630 470

2200mm 1050~990 620

※초기 접촉각 50° , 5m/min, 조사 후 10° 미만

Performance높은 생산성

ESD제전 효과

UV-LED 빛을 이용한 데모 평가

고조도, 고에너지 VUV를 이용한 표면 세정 / 개질을 통한 프로세스 개선

사양

Module Type E075ⅡHD E075Z HD

냉각 방식 공냉

조사 영역 75×10mm 75×15mm

Size / 중량 28×76×135mm 33×76×135mm

파장 365mm

방사 조도 4.2mW/㎠ 이상 3.6mW/㎠ 이상

Driver 입력 전압/전류 DC 48V / Max 96W DC 48V / Max 144W

조도 Control 10~100%

중요 특징Edgeless 설계로 확장 가능

Daisy-chain으로 2개 이상 mocdule 연결 가능

특징

LED의 기판실장기술에 의해 고조도를 Compact한 광원사이즈로 실현, 장치의 소형화에 공헌.점등 직후 적은 조도 감쇄로 수지나 Ink의 안정적 경화가 가능.1m이상의 대형사이즈도 대응 가능.순시점등・소등 가능발열이 적고, 오존이 발생하지 않기 때문에 배기용 Duct불요

친환경 제품(수은미사용)

용도

Roll Film표면 Coating을 위한 경화전자부품의 접착Display, Touchpanel의 합착 및 경화, UV Inkjet PrinterUV Ink의 건조

Compact한 UV 조사 장치

USHIO의 광원 및 SYSTEM 기술을 활용한 UV 조사 장치의 제안

조사 파장 172nm

방사 조도 10mW/㎠ 이상

조사 영역 80mm×50mm

Size / 중량조사기 (WxDxH) ：209mm×148mm×66mm, 3.5kg전원 (WxDxH) ： 120mm×210mm×95mm, 1.5kg

Utility전원： AC100～240V±10V, 0.15kVA 이상, 50/60HZ

오존 발생량 ： 약 15mg/min배기 능력 ： 1～2m3/min

N2 Free

LowCost

Compact

Min Excimer 실험용에 최적화된 Excimer VUV 조사 장치

광원 UVL 메탈할라이드 램프

조사 파장 340~440mm

유효 조사 영역 115mm(W)

Lamp 전력 전환 단계식(1.0kw/1.5kw)

조사 거리 4단계(120, 150, 180, 210mm)

반송 속도 0.2～2m/min

Conveyor 1.5kw UV 조사 장치

고출력 Type(SP-11)7500mW/cm2 의 고조도 실현

(종래: 4080mW/cm2)

LED Type(SPL2)・Fiber광원 방식을 채용 – 장수명/고안정 조사

・방열 Jig가 불요

・고출력을 실현

・개별 제어가 가능

Spot UV 조사 장치 고조도 Type / LED Type

SIZE(mm) 155(W)×325(D)×240(H)

무게 약 8.5kg

광원 275W 신형LAMP

기능

・전력변환：275W/220W 2단

・외부제어：가능

・Shutter timer：가능

광원파장 300～500nm　Broad 파장

RoHS 대응

형식 UIT-250(본체)

표시 액정 디지털 표시, 조도 4단위, 적산광량 5단위

기능 Real time 조도, Peak 조도, 적산 광량, 3단계 Range 전환, Auto Power Off(5분)

조도분포 출력 아날로그 0-1V 출력, 기록시간 최대 2분 또는 4분(기록계 접속)

Sample rate 16 또는 32 Sample /sec

통신 사양 통신사양 : 반2종, 동기방식 : Start-Stop 동기(비동기), Baud rate : 4800bps(고정), 전송 Code : ASCⅡ, Data 길이 : 8bit(고정), Stop bit : 1, Parity : 없음, Delimiter : CR

Size 75(W) × 160(D) × 15(H)

중량 250g 이하, 본체만(배터리 포함하지 않음)

전원 LR04 배터리 3개

측정 SENSOR

형식 VUV-S172 UVD-C254 UVD-S254 UVD-S313 UVD-C365 UVD-S365 UVD-C405 UVD-S405

자외선 적산 광량계

Excimer 대전제거, HDD디스크세정, 레지스트 애싱, 레지스트 잔사 애싱, 플라스틱 기판 세정, 금속표면의 세정,개질,

PDP형광체 평가, Low-k 경화, 분석평가전의 세정, 가스 분해, 산화막의 생성,각종 건조, Glass-Film의 접착, 섬유개질,

유기EL봉지관의 접착성 향상

Plasma 세정, 애싱, 접착력 향상, 건조

LED Cure 반도체, 액정, 화상처리, 광학, 정밀기기, 의료, 3D프린터

적용사례

Plasma

Excimer

LED Cure

빛을 열에너지, 광화학 에너지로 이용하여,

새로운 빛 시장을 창조한다.

주소 : 서울특별시 서초구 강남대로 363 (서초동, 덕흥빌딩 14층)(우. 137-858)

대표전화 : 02-587-1115 FAX. 02-587-1118

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대표전화 : 031-211-0480

서울본사

기흥 사무실(DEMO 평가)

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