pシリーズパージメータ - tokyokeiso.co.jp · p-774 掲載ページ p.27 p-810...

半導体プロセスから一般工業プロセスまでトータルにカバーします

Pシリーズパージメータ

ISO 9001 CertifiedJQA-2172

P-100掲載ページ

P.3


P.11 P-620掲載ページ

P.17




P.23



P.15




P.9

PシリーズパージメータPRODUCTSINFORMATION


P.25





P.33





P.40


P.42 YP掲載ページ

P.44 XP掲載ページ

P.46掲載ページ

P.47リードスイッチタイプ警報出力用付属ユニット

掲載ページ

P.49警報出力用付属ユニット

PAU

このカタログでは各形式での計測可能な流量レンジを

液体では　水（密度1.0 g/cm3、粘度1.0 mPa･s）気体では　0℃、0 MPaの空気の流量に換算した値で示しています。

実際の計測条件がこれらと異なる場合には、下記の換算をしてからこのカタログをご参照願います。なお、製品納入後に仕様条件が変更になった場合は、補正計算をご参照願います。

流量定格について

●主要気体物性表

気体計測の場合

計測ガスの密度、使用圧力、使用温度により換算します。換算は下式で行ないます。

1）ノルマル流量表示の場合

QAIR=Q0 Ｘ γ0 Ｘ 273+T0 Ｘ 0.1013

1.293 273 0.1013+P0QAIR：空気換算流量Q0 ：当該ガス仕様での流量　（ノルマル状態流量：0 ℃, 0 MPa）

γ0 ：流体密度　kg/m3（nor）T0 ：使用温度　℃P0 ：使用圧力　MPa

2）状況下流量表示の場合

QAIR=Q0 Ｘ γ0 Ｘ 273 Ｘ 0.1013+P0

1.293 273+T0 0.1013QAIR：空気換算流量Q0 ：当該ガス仕様での流量　（状況下流量：T0 ℃, P0 MPa）

γ0 ：流体密度　kg/m3（nor）

T0 ：使用温度　℃P0 ：使用圧力　MPa

液体計測の場合

密度が水（1.0g/cm3）と異なる場合

Q=Q0ｘ γ0(γ1-1)

(γ1-γ0)Q ：水換算流量Q0 ：当該液体での流量γ0 ：液体密度　g/cm3

γ1 ：フロート密度　g/cm3

代表的な液体用フロートの密度

フロート材質

密度（g/cm3）

フッ素樹脂

2.2

ステンレス

7.9

注 1）形式によってはフロート内部に重りを入れ密度調整を実施しております。

注２）リードスイッチ警報接点の場合マグネット内蔵のため、上記表とは密度が異なります。

通常2 mPa･s程度までの粘度の液体はPシリーズパージメータで計測することができます。高粘度液体（油など）の計測に際してはコンピュータによる補正計算を致しますのでお問い合わせください。

無　　機　　化　　合　　物

有　　機　　化　　合　　物

at 0 ℃ 0.0093 0.0212 0.0137 0.0179 0.0166 0.0138 0.0116 0.0131 0.0123 0.0171 0.0192 0.0093 0.0170 0.0146 0.0084 0.0166 -

0.0117 0.0186

at 20 ℃ 0.0100 0.0222 0.0146 0.0188 0.0177 0.0147 0.0126 0.0143 0.0132 0.0181 0.0203 - -

0.0153 0.0088 0.0175 -

0.0124 0.0196

粘　　度　　mPa･s密度 kg/m3（nor） at 0 ℃、0 MPa 0.7713 1.783 1.988 1.340 1.250 1.977 2.927 1.639 3.214 1.293 1.429 2.335 3.645 7.139 0.08994 1.251 1.696 1.539 0.1785

NH3 Ar N2O NO CO CO2 SO2 CR2 (AIR) O2 C2N2 HBr Br2 H2 N2 F2 H2S He

気体名

アンモニアアルゴン亜酸化窒素酸化窒素一酸化炭素炭酸ガス亜硫酸ガス塩化水素塩素空気酸素シアン臭化水素臭素水素窒素フッ素硫化水素ヘリウム

at 0 ℃ 0.0096 0.0066 0.0069 0.0070 0.0075 0.0086 0.0068 0.0094 0.0094 0.0098 0.0091 0.0093 0.0069 0.0075 0.0068 0.0078 0.0059 0.0068 0.0062 0.0087 0.0102 0.0085 -

at 20 ℃ 0.0102 -

0.0074 - -

0.0092 -

0.0101 -

0.0106 0.0099 0.0100 0.0074 0.0080 -

0.0084 -

0.0074 - -

0.0108 0.0091 0.0130

粘　　度　　mPa･s密度 kg/m3（nor） at 0 ℃、0 MPa 1.171 2.593 2.595 2.683 2.057 1.356 3.309 1.260 2.880 2.308 3.792 5.329 2.703 2.020 2.683 1.879 3.847 3.488 3.221 1.430 0.7168 2.057 0.8405

分子式

C2H2 C3H6O C4H10 C3H8O C2H6O C2H6

C4H10O C2H4

CH2CR2 CHCR3 C4H10 C3H8 C3H8O C3H6 C6H14 C6H6 C5H12 CH4O CH4

C2H6O 13A

気体名

アセチレンアセトンイソブタン

エタノールエタンエチルエーテルエチレン塩化エチル塩化メチル塩化メチレンクロロホルムブタンプロパンプロピルアルコールプロピレンヘキサンベンゼンペンタンメタノールメタンメチルエーテル都市ガス

イソプロピルアルコール

分子式

HCRC2H5CRCH3CR

1

PシリーズパージメータPURGEMETERS目次・早見表

INDEX & QUICK REFERENCE

△ △ 　 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ △ ○ ○ ○ △ ○ ○

△ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ ○ △ ○

△ △ △ △ ○ △ △ ○ ○ ○ ○

ユニット製作の対応を打診したい

ＣＥ、ＵＬ規格の対応を打診したい

ＳＷ、ＶＣＲ接続にしたい

警報接点が欲しい

納期優先、すぐ欲しい

高温対応品が欲しい

内面電解研磨品が欲しい

コンパクト希望（全長１５０㎜以内）

樹脂製が欲しい

フッ素樹脂製が欲しい

大流量を計測する

小流量を計測する

薬液・純水を計測する

気体を計測する

液体を計測する

用途別分類表

掲載ページ

形　式 P-100 P-200 P-300 P-400 P-510 P-520 P-530 P-620 P-710 P-771 P-772 P-773 P-774 P-810 P-820 P-830 P-850 P-880 P-900 P-010 P-060 YP XP リードスイッチ警報ユニット PAUオプティカルアラームユニット

製品ご選定時のアドバイス

製品選定時のアドバイス取付方法オプションについてその他オプションについてバルブ位置選定、フロート読み取り位置、製造番号について等補正計算について等

3 5 7 9 11 13 15 17 19 21 23 25 27 29 31 33 35 37 39 40 42 44 46 47 49 50 52 53 54 55

△ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △

○ △ △ ○ ○ △ ○

△ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △ △

△ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○ △ ○ ○ ○ △ ○ ○ ○ ○

△ △ ○ ○ ○ ○

△ △ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

△ △ △ △ △ ○ △ △ ○ ○ ○ ○ ○ △ △ △ △ △ △ △ △

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ △ △ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

○　最適　　△　対応可

2

P-100

■　基本形式コード

■　ご注文方法

■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，（仕様により製作できない場合もありますのでご相談ください。）特殊目盛，チェック弁内蔵タイプ，バルブロック機構付，ゴム管継手付，各種継手付………等（詳細はその他オプション　ワンポイントアドバイスをご参照願います。）

測定対象液体全般, 気体全般

流量レンジ

空　気

水

有効目盛範囲流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管

パッキン

本体サポートカバー

接続方法

取付方法

標　準オプション標　準

オプション

最小レンジ： 4～20 mL/min（nor）最大レンジ： 5～50 L/min（nor）

最小レンジ：5～50 mL/min 最大レンジ：0.4～2 L/min

10：1 ±5 ％F.S.

0.8 MPa

120 ℃

標準

SUS304

耐熱ガラス

NBR（max.80 ℃）

アルミニウムポリカーボネート Rc1/4 Rc1/8, NPT1/4, NPT1/8 パネルの前面ロックナット取付ベゼルによるパネル取付, パネル埋込取付,スタンド付等 0.5 kg

・空気は0 ℃, 0 MPa（1atm）の流量です。

・流量レンジをご選定する際は、標準流量表をご参照願います。

・ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。

一部10：2となります。

パッキンがPTFEの場合は使用圧力0.5 MPaまでとなります。

標準品はパッキン材質がNBRのため、max.80 ℃となります。オプション（形式コードでご指定ください。） SUS316

フッ素ゴム（max.120 ℃）, CR（max.80 ℃）, PTFE（max.120 ℃） EPDM（max.80 ℃）

詳細は基本形式コードをご参照願います。

詳細はご注文方法をご参照願います。

方　式取付可否

リードスイッチ警報一般形

CE, UL対応形 PAUオプティカルアラームユニット

○ ○ ○

概略質量（標準タイプ） ※最高使用温度は、一般的なデータであり、ご使用条件や環境によって変わることがあります。

■　警報接点および出力

■※標準流量表（ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。）

流れ方向

バルブ

警報出力

接液（ガス）部材質

パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細

P-10 -L -40 0 N -R 21 2 Z

R

N Z

N C F E T Z

4 6 Z

0 A B C D E Z

0 L

U Z

0 1 9

1/8 1/4（標準）特殊

Rcねじ（標準）

NPTねじ特殊

NBR（標準） CR フッ素ゴム EPDM PTFE 特殊

SUS304（標準） SUS316 特殊

なしリードスイッチ下限OPEN リードスイッチ下限CLOSE リードスイッチ上限OPEN リードスイッチ上限CLOSE PAUアラームユニット付属特殊

なし下（ガス体は、大気圧目盛の場合）上（ガス体は、加圧目盛または二次側が負圧の場合）特殊

下後→上後（標準）下　→上　特殊

通常はこのコードをご選定願います。バルブは外付となります。

バルブ位置選定ガイドをご参照願います。

機能掲載ページをご参照願います。

アンモニアガスの場合にご選定願います。接液（ガス）部材質がSUS316のみ対応可

パネルの前面ロックナット取付です。これ以外の取付方法は、取付方法オプションでご選定願います。

※目盛長によって異なる場合があります。　標準流量表以下の流量も承ります。詳細は、ご相談ください。

■　概　　要標準タイプパージメータ。抜群の納入実績を誇ります。気体、液体全てに対応します。各種装置組込みから、工業プロセスのパージまで広い用途に対応します。PTFEパッキン対応可能。

■　主な用途　一般装置用（小流量）

■　標準仕様

基本形式コード

（形式コード表にてご選定願います。）

詳細仕様ご指定項目

Ｐ-10□-□□-□□-□□ 流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥

（ご指定方法は製品ご選定時のアドバイスをご参照願います。）

4～20 mL/min（nor） 6～30 mL/min（nor） 10～50 mL/min（nor） 10～100 mL/min（nor）☆1 20～200 mL/min（nor） 30～300 mL/min（nor） 50～500 mL/min（nor） 0.1～1 L/min（nor） 0.2～2 L/min（nor） 0.3～3 L/min（nor） 0.5～5 L/min（nor） 1～10 L/min（nor） 2～20 L/min（nor） 3～30 L/min（nor）

5～50 L/min（nor）

AIR（0MPa,0℃）

水

AIR（0MPa,0℃）

警報設定範囲

水

警報設定範囲

警報出力コードが0およびEの時警報出力コードがA～Dの時☆4 5～50 mL/min 10～100 mL/min 20～200 mL/min 30～300 mL/min 50～500 mL/min 0.1～1 L/min☆2

0.3～1.5 L/min

0.4～2 L/min

1～10 L/min（nor）☆3








50～500 mL/min 0.1～1 L/min

100～400 mL/min 0.2～0.8 L/min

3

※1　パッキン材質がPTFEの場合、max.1 L/min（nor）未満の流量はバルブ付の製作ができません。※2　標準流量表以外の仕様の場合、製作都合により流量レンジの変更をお願いすることがあり

ます。☆1　100 mL/min（nor）未満は10：2 ☆4　液体の粘度は1.0 mPa·sとなります。☆2　1 L/minを超えると10：2☆3　10 L/min（nor）を超えると10：2

■ 外形寸法　　●標準タイプ　 P－ 100－ U0－ 4N－□□の外形寸法図です。

■パネルの前面ロックナット取付■バルブ上側

● パネルカット寸法

D d M14 M14 M18 M18

H 16 16 20 20

Rc 1/8 NPT 1/8 Rc 1/4 NPT 1/4

接続口径穴径寸法（mm）

部品名称標準材質製作可能材質本体サポートアルミニウム　　　　　－本体接液部　 SUS304 SUS316テーパ管　耐熱ガラス

フロート　 SUS316,ガラス,

— PTFE,ルビーパッキン　 NBR フッ素ゴム,CR,EPDM,PTFE継手　 SUS304 SUS316バルブ　 SUS304 SUS316カバーポリカーボネート　　　　　－

○印の付いている部品は、計測流体に接触します。※：仕様により適切な材質を選定します。

※

○○

○

○○○

・部品材質SUS304は、製作都合によりSUS316を使用する場合があります。・製作都合によりJIS材相当品のASTM, AISI材を使用する場合があります。

●警報出力コードがＡ～Ｄの場合

●警報出力コードがＥの場合

A リードスイッチ下限OPEN B リードスイッチ下限CLOSE C リードスイッチ上限OPEN D リードスイッチ上限CLOSE

E PAUアラームユニット付属



●パネル埋込取付タイプ　P－100－U0－4N－□□の外形寸法図です。

■ パネル埋込取付（取付方法オプションコード　 C 　） ■ バルブ上側

● 標準材質

● ベゼルによるパネル取付タイプ　　　P－ 100－L0－4N－□□の外形寸法図です。

■ ベゼルによるパネル取付（取付方法オプションコード　 D 　） ■ バルブ下側

注）警報出力コードがA～Dの場合、パネルは非磁性材をご使用ください。

4

T

OPEN SHUT

KOYOKO

SIE

2-D(30)

(MAX.36) 35 19

4.5

(140)

115

4.5

2-d

115

2-φH

パネルMAX.t.10

IN

OUT

パネルカット

T

OPEN SHUT

KOYOKO

SIE

2-D(30)

(MAX.36) 35 19

4.5

(140)

115

2-d

82

φ25

IN

OUT

62

20

13(7)

16.5

4-φ5

パネル

30

4-M4深5

パネルカット

T

OPEN SHUT

KOYOKO

SIE

2-D

(30)

(MAX.36) 35 19

4.5

(140)

115

2-d

IN

OUT

145

160

35

34

175

160

35

50

4-φ4.5 4-M4用(サラ穴)

4-M4深5

パネル

パネルカット

P-200■　概　　要標準タイプパージメータ。面間200 mmで目盛が長く見易く、高精度。実験装置などに広く使用されます。大流量タイプのP-510形と面間寸法が共通です。


■　標準仕様








■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2点警報，リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，特殊目盛，チェック弁内蔵タイプ，バルブロック機構付，ゴム管継手付，各種継手付…………等（詳細はその他オプションをご参照願います。）


流量レンジ

空　気

水

有効目盛範囲流量指示精度最高使用圧力

最高使用温度

材　質

本体接液部テーパ管

パッキン


接続方法

取付方法


オプション

概略質量（標準タイプ）

最小レンジ：5～50 mL/min（nor）最大レンジ：6～60 L/min（nor）


10：1 ±3 ％F.S. 0.8 MPa

120 ℃

標準

SUS304 耐熱ガラス

NBR（max.80 ℃）

アルミニウムポリカーボネート Rc1/4 Rc1/8,NPT 1/4,NPT 1/8 パネルの前面ロックナット取付ベゼルによるパネル取付, パネル埋込取付,スタンド付等 0.6 kg

・空気は0 ℃, 0 MPa（1atm）　の流量です。・流量レンジをご選定する　際は、標準流量表をご参　照願います。・ガス体で使用圧力が　0 MPa以外の場合、　1ページをご参照願います。一部10：2となります。標準品はパッキン材質が NBRのため、max.80 ℃となります。

オプション（形式コードでご指定願います。） SUS316

フッ素ゴム（max.120 ℃）, CR（max.80 ℃）, EPDM（max.80 ℃）詳細は基本形式コードをご参照ください。





○ ○ ○

※最高使用温度は、一般的なデータであり、ご使用条件や環境によって変わることがあります。


■※ 標準流量表（ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。）

流れ方向

バルブ

警報出力


パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細P-20 -L -40 0 N -R 2

12Z

R

N

ZNCFEZ

46Z

0ABCDEZ

0L

U

Z019

1/81/4（標準）特殊

Rcねじ（標準）

NPTねじ

特殊NBR（標準）CRフッ素ゴムEPDM特殊

SUS304（標準）SUS316特殊

なしリードスイッチ下限OPENリードスイッチ下限CLOSEリードスイッチ上限OPENリードスイッチ上限CLOSEPAUアラームユニット付属特殊


下後→上後（標準）下　→上特殊




アンモニアガスの場合にご選定願います。

パネルの前面ロックナット取付です。これ以外の取付方法は、取付方法オプションでご選定願います。

※目盛長によって異なる場合があります。

　標準流量表以下の流量も承ります。詳細は、ご相談ください。

☆1: 40 L/min（nor）を超えると10：2

☆2: 液体の粘度は1.0 mPa・sとなります。

5～50 mL/min（nor） 10～100 mL/min（nor） 20～200 mL/min（nor） 30～300 mL/min（nor） 50～500 mL/min（nor） 0.1～1 L/min（nor） 0.2～2 L/min（nor） 0.5～5 L/min（nor） 1～10 L/min（nor） 2～20 L/min（nor） 3～30 L/min（nor） 5～50 L/min（nor） 6～60 L/min（nor）

AIR（0MPa,0℃）

水

AIR（0MPa,0℃）

警報設定範囲

水

警報設定範囲

警報出力コードが0およびEの時警報出力コードがA～Dの時 5～50 mL/min 10～100 mL/min 20～200 mL/min 50～500 mL/min 0.1～1 L/min 0.15～1.5 L/min 0.2～2 L/min

1～10 L/min（nor） 2～20 L/min（nor） 3～30 L/min（nor） 4～40 L/min（nor）☆1


2～8 L/min（nor） 4～16 L/min（nor） 6～24 L/min（nor） 8～32 L/min（nor） 10～40 L/min（nor）

50～500 mL/min 0.1～1 L/min

100～400 mL/min 0.2～0.8 L/min

☆2

5

● パネルカット寸法

D d M14 M14 M18 M18

H 16 16 20 20


Rc 1/8 NPT 1/8 Rc 1/4 NPT 1/4


6

T

OPEN SHUT

KOYOKO

SIE

2-D(30)

(MAX.36) 35 19

4.5

(225)

200

4.5

2-d200

2-φH

パネルMAX.t.10

IN

OUT

パネルカット

T

OPEN SHUT

KOYOKO

SIE

2-D(30)

(MAX.36) 35 19

4.5

(225)

200

2-d

167

φ25

IN

OUT

147

20

13(7)

16.5

4-φ5

パネル

30

4-M4 深5

パネルカット

T

OPEN SHUT

KOYOKO

SIE

2-D

(30)

(MAX.36) 35 19

4.5

(225)

200

2-d

IN

OUT

227

238

35

34

255

238

35

50

4-φ4.5 4-M4用(サラ穴)

4-M4深5

パネル

パネルカット







● 標準材質

部品名称標準材質製作可能材質本体サポートアルミニウム　　　　　－本体接液部　 SUS304 SUS316テーパ管　耐熱ガラス


— PTFE,ルビーパッキン　 NBR フッ素ゴム,CR,EPDM継手　 SUS304 SUS316バルブ　 SUS304 SUS316カバーポリカーボネート　　　　　－


※

○○

○

○○


■ 外形寸法　　●標準タイプ　 P－ 200－ U0－ 4N－□□の外形寸法図です。

■パネルの前面ロックナット取付■バルブ上側

●パネル埋込取付タイプ　P－200－ U0－4N－□□の外形寸法図です。

■ パネル埋込取付（取付方法オプションコード　 C 　） ■ バルブ上側

● ベゼルによるパネル取付タイプ　　　P－ 200－L0－4N－□□の外形寸法図です。

■ ベゼルによるパネル取付（取付方法オプションコード　 D 　） ■ バルブ下側

P-300■　概　　要ストレートタイプのコンパクト設計。簡易な構造で手軽に流量監視を行うことができます。

■　主な用途　配管直接取付一般用

■　標準仕様




■　標準流量表（ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。）

■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2重目盛，特殊目盛，ゴム管継手付，各種継手付……………等（詳細はその他オプションのご説明をご参照願います。）


流量レンジ

空　気

水


最高使用温度

材　質


パッキン

取付方法


最小レンジ：80～800 mL/min（nor）最大レンジ：6～60 L/min（nor）最小レンジ：5～50 mL/min 最大レンジ：0.2～2 L/min 10：1 ±3 ％F.S. 0.8 MPa

120 ℃

標準

SUS304 耐熱ガラス NBR（max.80 ℃）

・空気は0 ℃, 0 MPa（1atm）の　流量です。・流量レンジをご選定する際は、　標準流量表をご参照願います。・ガス体で使用圧力が0 MPa以外　の場合、1ページをご参照願い　ます。　　標準品はパッキン材質がNBRのため、max.80 ℃となります。オプション（形式コードでご指定ください。） SUS316 フッ素ゴム（max.120 ℃）, CR（max.80 ℃）, EPDM（max.80 ℃）,




× × ×


保護管 C2700T Rc1/4 Rc1/8,3/8,1/2 NPT1/8,1/4,3/8,1/2 JIS10KFF等配管取付

0.4 kg

標　準

標　準

オプション

オプション

詳細は基本形式コードをご参照ください。

付属金具によるパネル取付, フランジ取付等

接続方法


AIR （0 MPa,0 ℃） 80～800 mL/min（nor） 0.1～1 L/min（nor） 0.2～2 L/min（nor） 0.3～3 L/min（nor） 0.5～5 L/min（nor） 1～10 L/min（nor） 2～20 L/min（nor） 3～30 L/min（nor） 5～50 L/min（nor） 6～60 L/min（nor）

　　　　水

5～50 mL/min

10～100 mL/min 20～200 mL/min 30～300 mL/min 50～500 mL/min 0.1～1 L/min 0.15～1.5 L/min

0.2～2 L/min


パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細 P-300- 4 -RN 2

1 2 3 4 Z

N C F E Z

4 6 Z

1/8 1/4（標準） 3/8 1/2 特殊

Rcネジ（標準） NPTネジ特殊

R N Z フランジの場合はZをご選定願います。 NBR（標準） CR フッ素ゴム EPDM 特殊

SUS304（標準） SUS316 特殊

アンモニアガスの場合にご選定願います。

フランジの場合は3/8、1/2以上の接続口径となります。




Ｐ-300-□□-□□ 流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥


7

■　外形寸法

●　標準タイプ　P-300-4N-R2の外形寸法図です。　　　　　　● パネル取付タイプ（付属金具付）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 P-300-4N-R2の外形寸法図です。

部品名称標準材質製作可能材質本体　 SUS304 SUS316 テーパ管　耐熱ガラス ―

フロート　 SUS316. ガラス,

— PTFE, ルビーパッキン　 NBR フッ素ゴム, CR, EPDM 保護管 C2700T SUS304 ロックナット C3604 SUS304

●標準材質

○ ○

○ ○

○印の付いている部品は、計測流体に接触します。 ※：仕様により適切な材質を選定します。

※


（取付方法オプションコード　F　）

8

注）Rc3/8のときはアダプター付となります。（R1/4×Rc3/8）

P-400■　概　　要オールステンレス本体の耐食用途タイプ。パネル取付のほかフランジ接続も対応します。

■　主な用途　耐食装置用

■　標準仕様








■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2重目盛，特殊目盛，ゴム管継手付，各種継手付，……………等（詳細はその他オプションをご参照願います。）


　　AIR（0 MPa, 0 ℃） 80～800 mL/min（nor） 0.1～1 L/min（nor） 0.2～2 L/min（nor） 0.3～3 L/min（nor） 0.5～5 L/min（nor） 1～10 L/min（nor） 2～20 L/min（nor） 3～30 L/min（nor） 5～50 L/min（nor） 6～60 L/min（nor）

5～50 mL/min 10～100 mL/min 20～200 mL/min 30～300 mL/min 50～500 mL/min 0.1～1 L/min 0.15～1.5 L/min

0.2～2 L/min

水

本体接液材質がPVCの場合、0.12～1.2 L/min（水）まで

■　標準流量表（ガス体で使用圧力が 0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。）


流量レンジ

空　気

水


最高使用温度

材　質


パッキン

本　体カバー

接続方法

取付方法


オプション概略質量（標準タイプ）



10：1 ±3 ％F.S. 1 MPa（材質PVCは0.5 MPa）

120 ℃（PVCは60 ℃まで）

標準

SUS304 耐熱ガラス

NBR（max.80 ℃）

SCS14 アクリル Rc1/4 NPT1/4，JIS10KFF等パネルの前面ロックナット取付フランジ配管取付,スタンド付等 0.9 kg

標準品はパッキン材質が NBRのため、max.80 ℃となります。オプション（形式コードでご指定ください。） SUS316, PVC PVC　詳細は基本形式コードをご参照願います。詳細はご注文方法をご参照願います。

・空気は0 ℃, 0 MPa（1atm）　の流量です。・流量レンジをご選定する　際は、標準流量表をご参　照願います。・ガス体で使用圧力が0 MPa 　以外の場合、1ページを　ご参照願います。




× × ×

フッ素ゴム（max.120 ℃）, CR（max.80 ℃）, PTFE（max.120℃ 本体PVCは不可）


9

N C F T Z

4 6 P Z

00 L

U

0

1

9

NBR（標準） CR フッ素ゴム PTFE 特殊

SUS304（標準） SUS316 PVC 特殊

なしなし下（ガス体は、大気圧目盛の場合）上（ガス体は、加圧目盛または二次側が負圧の場合）

下後→上後（標準）

通常はこのコードをご選定願います。


下　→上　

特殊

アンモニアガスの場合に選定ご願います。

材質PVCはこのコードのみご選定可。バルブは外付（PVC不可）となります。

流れ方向

バルブ

警報出力


パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細

P-40 -L -40 0 N -R 2

1

2

3 4 1 2 3 4 3 4 5 6 Z

R N Z Z

Rc1/8（R1/4×Rc1/8オスメスソケット付属） Rc1/4（標準） Rc3/8（R1/4×Rc3/8オスメスソケット付属） Rc1/2（R1/4×Rc1/2オスメスソケット付属） NPT1/8（R1/4×NPT1/8 オスメスソケット付属） NPT1/4 NPT3/8（R1/4×NPT3/8 オスメスソケット付属） NPT1/2（R1/4×NPT1/2 オスメスソケット付属）フランジ接続（10A）フランジ接続（15A）フランジ接続（20A）フランジ接続（25A）特殊

パネルの前面ロックナット取付です。これ以外の【取付方法】は、取付方法オプションでご選定願います。

規格は別途ご指示ください。

●フランジ継手付タイプ（バルブなし、フランジ接続のP-400-00-4N-Z4の外形寸法図です。）

●流れ方向ストレートタイプ（流れ方向下→上のねじ接続のP-401-00-4N-R2の外形寸法図です。）

■　外形寸法

●標準タイプ（バルブ上側、パネルの前面ロックナット取付のP-400-U0-4N-R2の外形寸法図です。）

部品名称標準材質製作可能材質本体　 SCS14 PVC テーパ管　耐熱ガラス ―

フロート　 SUS316, ガラス,

—

PTFE, ルビーパッキン　 NBR フッ素ゴム, CR, PTFE 継手　 SUS304 SUS316 バルブ　 SUS304 カバーアクリル SPCC, SUS304 取付板 SPCC

●標準材質

SUS304

SUS316

○ ○

○

○ ○ ○


※


（取付方法オプションコード　E　）

10

パネルカット

注）Rc1/2以上はアダプター付となります。（R3/8× Rc1/2）

P-510■　概　　要比較的大きな流量まで対応するパージメータです。小流量タイプのP-200形と同一面間寸法です。

■　主な用途　一般装置用（大流量）

■　標準仕様




Ｐ-51□-□□-□□-□□

流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥




■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2点警報，警報接点前面可変タイプ，リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，特殊目盛，ゴム管継手付，各種継手付……等（詳細はその他オプションをご参照願います。）


流量レンジ

空　気

水


最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管

パッキン


接続方法

取付方法

標　準

オプション

標　準

オプション


最小レンジ：2.5～25 L/min（nor）最大レンジ：60～600 L/min（nor）

最小レンジ：0.1～1L/min 最大レンジ：3～30L/min

10：1 ±5 ％F.S. 0.8 MPa

120 ℃

標準

SCS14 耐熱ガラス NBR（max.80 ℃） SPCCまたはC2801P アクリル Rc3/8 Rc1/2,NPT3/8,NPT1/2,3/8SW, 3/8VCR,JIS10KFF等パネルの前面ねじ（M3）取付，パネルの前面ロックナット取付ベゼルによるパネル取付,パネル埋込取付,スタンド付,フランジ配管取付等 1.6 kg

・空気は0 ℃, 0 MPa（1atm）　の流量です。・流量レンジをご選定する　際は、標準流量表をご参照　願います。・ガス体で使用圧力が0 MPa 　以外の場合、1ページを　ご参照願います。

標準品はパッキン材質が NBRのため、max.80 ℃となります。

オプション（形式コードでご指定願います。）フッ素ゴム（max.120 ℃）, CR（max.80 ℃）, EPDM（max.80 ℃）




○ ○ ○





2.5～25 L/min（nor） 3～30 L/min（nor） 5～50 L/min（nor） 10～100 L/min（nor） 20～200 L/min（nor） 30～300 L/min（nor） 40～400 L/min（nor） 50～500 L/min（nor） 60～600 L/min（nor）

AIR（MPa,0 ℃）

水

AIR（0 MPa,0 ℃）

警報設定範囲

水

警報設定範囲

警報出力コードが0およびEの時警報出力コードがA～Dの時 0.1～1 L/min

0.2～2 L/min 0.3～3 L/min 0.5～5 L/min 1～10 L/min 1.5～15 L/min 2～20 L/min 3～30 L/min

5～50 L/min（nor） 10～100 L/min（nor） 20～200 L/min（nor） 30～300 L/min（nor） 40～400 L/min（nor） 50～500 L/min（nor） 60～600 L/min（nor）

10～40 L/min（nor） 20～80 L/min（nor） 40～160 L/min（nor） 60～240 L/min（nor） 80～320 L/min（nor） 100～400 L/min（nor） 120～480 L/min（nor）

0.2～2 L/min 0.3～3 L/min 0.5～5 L/min 1～10 L/min 1.5～15 L/min 2～20 L/min 3～30 L/min

0.4～1.6 L/min 0.6～2.4 L/min 1～4 L/min 2～8 L/min 3～12 L/min 4～16 L/min 6～24 L/min※2 ※2

※1※1


※1　フロート材質がPVCになります。※ 2　粘度1.0 mPa・sのみ可※　標準流量表以外の仕様の場合、製作都合により流量レンジの変更をお願いするこ

とがあります。

11

流れ方向

バルブ

警報出力


パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細 P-51 -L -40 0 N -R 3

3 4 5 6 3 4 5 3 4 5 6 3 4 5 3 3 4 5 3 4 5 6 Z

R

L

N

M S

V

Z

Z

N C F E Z

4

6

Z0 A B C D E Z

0 L

U Z

0 1 9

Rc3/8（標準） Rc1/2 Rc3/4 Rc1 Rc3/8 Rc1/2 Rc3/4 NPT3/8 NPT1/2 NPT3/4 NPT1 NPT3/8 NPT1/2 NPT3/4 3/8 SW 3/8 VCR 1/2 VCR 3/4 VCR フランジ接続（10A）フランジ接続（15A）フランジ接続（20A）フランジ接続（25A）特殊

NBR（標準） CR フッ素ゴム EPDM 特殊

SCS14/SUS304（標準）

SCS14/SUS316

特殊なしリードスイッチ下限OPEN リードスイッチ下限CLOSE リードスイッチ上限OPEN リードスイッチ上限CLOSE PAUアラームユニット付属特殊

なし下（ガス体は、大気圧目盛の場合）上（ガス体は、加圧目盛または　二次側が負圧の場合）特殊

下後→上後（標準）下　→上特殊　




PVC、PTFEの場合はP-520形をご選定願います。テーパ管もフッ素樹脂製の場合はP-7□□シリーズをご選定願います。

アンモニアガスの場合に選定願います。

パネルの前面ねじ（M3）取付または配管取付



流れ方向コードが1 （下→上）のみ選定可

流れ方向コードが1 （下→上）のみ選定可

パネルの前面ロックナット取付


規格は別途ご指示ください

■ 外形寸法　　

●標準タイプ（バルブ上側、パネルの前面ねじ（M3）取付タイプのP-510-U0-4N-R3の外形寸法図です。）

●ベゼルによるパネル取付タイプ　　（バルブ上側、ベゼルによるパネル取付のP-510-L0-4N-R3の外形寸法図です。）

　　　　 ●パネル取付タイプ（バルブ上側、パネルの前面ロックナット取付のP-510-U0-4N-L3の外形寸法図です。）

パネル前面取付の場合接続口径、規格によりパネルカットの穴径寸法が異ります。下図寸法表をご参照願います。

D

穴径寸法

H

28

28

32

32

38

22

32

32

後方寸法

L

26

26

26

26

28

（34）

（38）

（38）

d

M26

M26

M30

M30

M36

M20

M28

M28

接続口径

Rc 3/8

NPT 3/8

Rc 1/2

NPT 1/2

Rc 3/4

3/8 SW

3/8 VCR

1/2 VCR


●警報出力コードが E の場合





● パネルカット寸法　　

○ ○ ○ ○ ○ ○

部品名称標準材質製作可能材質本体 SCS14 ― テーパ管耐熱ガラス ― フロート※1 SUS304, PTFE SUS316 パッキン NBR フッ素ゴム, CR, EPDM スピンドル SUS304 SUS316 バルブ SUS304 SUS316 取付板※2 SPCC SUS304 カバーアクリル ―

●標準材質

○印の付いている部品は、計測流体に接触します。 ※1：仕様により適切な材質を選定します。 ※2：警報出力コードがAからDの場合は、標準材質はC2801Pとなります。・部品材質SUS304は、製作都合によりSUS316を使用する場合があります。・製作都合によりJIS材相当品のASTM, AISI材を使用する場合があります。

（取付方法オプションコード　D　）


12

OPEN SHUT

(229)

(54)

200

45(MAX.42)

2-d

2-D

IN

OUT

L

200

2-φH

パネルカット

パネルMAX.t.10

OPEN SHUT

(229)

(54)

200

45(MAX.42) 2-Rc3/8

IN

OUT

200

(22.5)

155

(22.5)

29

2-φ28

4-φ4

パネルカット

OPEN SHUT

(54)

200

45(MAX.42)

2-Rc3/8

IN

OUT

(229)

240

60

窓部(124×40)

43

29

128

155

13.5

13.5

22.5

2-φ54-φ6(φ11サラモミ)

φ27

パネル

パネルカットベゼル(板厚3mm)

P-520■　概　　要樹脂製本体でプロセスへの金属イオンの混入を低減しました。半導体製造プロセスの純水、超純水の計測に適します。警報接点付も対応します。

■　主な用途　純水ライン用

■　標準仕様



■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。２点警報，リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，特殊目盛，各種継手付……………等（詳細はその他オプションのご説明をご参照願います。）


■　標準流量表警報出力コードが0およびEの時警報出力コードが　A～Dの時

1～10 L/min 1.2～12 L/min 2.4～10 L/min 1.5～15 L/min 1.5～15 L/min 3～12 L/min 2～20 L/min 2～20 L/min 4～16 L/min 3～30 L/min 3～30 L/min 6～24 L/min 4～40 L/min 4～40 L/min 8～32 L/min 4.5～45 L/min 4.5～45 L/min 9～36 L/min 5～50 L/min 5～50 L/min 10～40 L/min 12～60 L/min 12～60 L/min 18～48 L/min

警報設定範囲水水






（1～10 L/min 以下の場合はご相談ください。）

測定対象液体全般

流量レンジ水

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

材　質本体接液部

テーパ管

パッキン

本体サポート

カバー

接続方法

取付方法

Rc1/2

Rc3/4,NPT1/2,NPT3/4等

パネルの前面ねじ取付

パネル埋込取付等

1.2 kg

標　準

オプション

標　準

オプション


最小：1～10※ L/min

最大：12～60 L/min

10：1

±5 ％F.S.

0.5 MPa

60 ℃

標準

PVC（max.60 ℃）

耐熱ガラス

フッ素ゴム

SUS304

透明PVC

流量レンジをご選定する際は、

標準流量表をご参照願います。

一部10：2となります

本体材質　耐熱PVCはmax.80 ℃，

（PTFEはmax.80 ℃）となります。

オプション（形式コードでご指定ください。）

耐熱PVC（max.80 ℃），PTFE（max.80 ℃）

EPDM

詳細は基本形式コードをご参照

願います。

詳細はご注文方法をご参照願い

ます。

方　式取付可否リードスイッチ警報

一般形 ○ CE，UL対応形 ○ PAUオプティカルアラームユニット ○

※1～10 L/min以下の場合はご相談ください。 ※最高使用温度は、一般的なデータであり、ご使用条件や環境によって変わることがあります。

流れ方向

バルブ

警報出力

接液部材質

パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細 P-52 -L -P0 0 F -R 4

流れ方向下後→上後（バルブなしのみ）　　　　　　　　は面間160mm

4 1/2（標準） 5 3/4 6 1 Z 特殊

R Rcねじ（標準）パネルの前面ネジ取付です。これ以外の取付 N NPTねじ方法は，取付方法オプションでご選定願います。 Z 特殊

F フッ素ゴム（標準） E EPDM Z 特殊

P PVC（標準） T PTFE 4 SUS304 Z 特殊

0 なし A リードスイッチ下限OPEN B リードスイッチ下限CLOSE 機能掲載ページをご参照願います。 C リードスイッチ上限OPEN D リードスイッチ上限CLOSE E PAUアラームユニット付属

0 なし L 下 Z 特殊

0 下後→上後（標準）通常はこのコードをご選定願います。 1 下　→上バルブ付はご選定できません。 9 特殊


13

■　注意P-520-L（バルブ付）は、仕様によりリスト規制（輸出令別表第一 3項（2）-7）に該当します。詳細は別途お問い合わせください。

■ 外形寸法　　●標準タイプ

　（バルブ下側、パネルの前面ねじ取付のP-520-L0-PF-R4の外形寸法です。）

●流れ方向ストレートタイプ

（バルブなし、流れ方向　下→上のパネルの前面ねじ取付のP-521-00-PF-R5の外形寸法図です。）

（MAX.60） 64150


●警報出力コードが Eの場合





部品名称標準材質製作可能材質本体　 PVC PTFE, SUS304 テーパ管耐熱ガラス ― フロート　 PVC, SUS304, PTFE — パッキン　フッ素ゴム EPDM フロート軸　 FEP被覆SUS316 ― フロート受　 PVC PTFE バルブ　 PVC PTFE 支柱 SUS304 ― カバー透明PVC ―

●標準材質

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○


※


14

(取付用,裏面)4-M6 深7

64

50

150

190

64

4-φ750

150

パネルカット

OUT

IN注）警報出力コードがA～D の場合パネルは非磁性材をご使用下さい。

P-530■　概　　要P-510シリーズよりコンパクト。しかも大流量まで対応可能なパージメータです。スウェジロック、VCR接続も承ります。

■　主な用途　一般装置用（大流量）

■　標準仕様



■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，特殊目盛………等（詳細はその他オプションのご説明をご参照願います。）


■　標準流量表（ガス体で使用圧力が0 MPaの場合、1ページをご参照願います。）

10～ 50 L/min（nor）




AIR（0 MPa, 0 ℃）

水

AIR（0 MPa, 0 ℃）

警報設定範囲

水

警報設定範囲

警報出力コードが0の時警報出力コードがA～Dの時

0.2～2 L/min

0.3～3 L/min

0.5～5 L/min

1～ 10 L/min




20～ 80 L/min（nor）



0.3～3 L/min

0.5～5 L/min

1～ 10 L/min

0.6～ 2.4 L/min

1～ 4 L/min

2～ 8 L/min







空　気

流量レンジ

水

最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管

パッキン

本体サポート

カバー

接続方法

取付方法

Rc3/8

Rc1/2,NPT3/8,NPT1/2, 3/8SW,3/8VCR等


ベゼルによるパネル取付, パネル埋込取付 0.6 kg

標　準

オプション

標　準

オプション


120 ℃

標準

SUS304

耐熱ガラス

NBR（max.80 ℃）

アルミニウム

アクリル

標準品はパッキン材質がNBRのため、max.80 ℃となります。


SUS316

フッ素ゴム（max.120 ℃）,

CR（max.80 ℃）,

EPDM（max.80 ℃）

詳細は基本形式コードをご参照願

います。

詳細はご注文方法をご参照願いま

す。


一般形 × CE，UL対応形 ○ PAUオプティカルアラームユニット ×

最小： 10～50 L/min（nor）最大： 50～250 L/min（nor）最小： 0.2～2 L/min 最大： 1～10 L/min

・空気は0 ℃，0 MPa(1atm)の流量　です。・流量レンジをご選定する際は、標　準流量表をご参照願います。・ガス体で使用圧力が0 MPa以外の　場合、1ページをご参照願います。

ガスは10：2となります。

差圧0.05 MPa以下の場合はP-510をご選択下さい。

10：1（10：2）

±5 ％F.S.

0.8 MPa

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力


流れ方向

バルブ

警報出力

接液部材質

パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細 P-53 -L -40 0 N -R 3

3 3/8（標準） 4 1/2 Z 特殊

N NBR（標準） C CR アンモニアガスの場合にご選定願います。 F フッ素ゴム E EPDM Z 特殊

4 SUS304（標準）

6 SUS316

Z 特殊 0 なし A リードスイッチ下限OPEN B リードスイッチ下限CLOSE


C リードスイッチ上限OPEN D リードスイッチ上限CLOSE Z 特殊

0 なし L 下（ガス体は，大気圧目盛の場合） U 上（ガス体は，加圧目盛または　　二次側が負圧の場合） Z 特殊

0 下後→上後（標準）通常はこのコードをご選定願います。 9 特殊

PVC、PTFEの場合はP-520形をご選定願います。テーパ管もフッ素樹脂製の場合はP-7□□シリーズをご選定願います。

R Rcねじ（標準）

N NPTねじ

S SW

V VCR

Z 特殊


ベゼルによるパネル取付等もご選定可能です。詳細は取付方法オプションをご参照願います。

パネルの前面ネジ取付

15

■ 外形寸法　　

●P-530-L0-4N-R3の外形寸法図です。

●P-530-UA-4N-R3の外形寸法図です。

●警報出力コードがＡ～Ｄの場合 A リードスイッチ下限OPEN B リードスイッチ下限CLOSE C リードスイッチ上限OPEN D リードスイッチ上限CLOSE


パネルカット

部品名称標準材質製作可能材質本体 SUS304 SUS316 テーパ管耐熱ガラス ― フロート SUS304 SUS316 パッキン NBR フッ素ゴム, CR, EPDM フロート軸 SUS316 ― フロート受 POM ― バルブ SUS304 SUS316 継手 SUS304 SUS316 取付板アルミニウム ― カバーアクリル ―

●標準材質

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

○印の付いている部品は、計測流体に接触します。


16

パネルカット

注）パネルは非磁性材をご使用ください。


流量レンジ水

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管

パッキン

継　手

接続方法

取付方法

標　準

オプション

標　準


最小レンジ：0.1～1 L/min

最大レンジ：1～ 10 L/min

10：1

±10 ％F.S.

1 MPa

60 ℃

標準

アクリル

アクリル

NBR

C3604

Rc3/8

3/8SW，NPT3/8等

パネル前面のねじ取付

0.3 kg




○ ○ ×

オプション

フッ素ゴム，CR

SUS304，SUS316

詳細は基本形式コードを

ご参照願います。


P-620





Ｐ-620-□□-□□-□□ 流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥




■　標準流量表

■　概　　要アクリル成型コンパクトタイプ。液体専用。コンパクトでも10L/minまで計測できます。フロースイッチとして広く使用されています。パネルに取り付けたままでメンテナンス可能です。

■　主な用途　半導体製造装置冷却水ライン

■　標準仕様

警報出力コードが0の時 0.1～1 L/min※1

0.2～2 L/min 0.3～3 L/min 0.5～5 L/min 0.6～6 L/min 0.8～8 L/min 1～10 L/min

警報コードがA～Dの時 0.1～1 L/min 0.4～1.2 L/min 0.2～2 L/min 0.3～3 L/min 0.5～5 L/min 0.6～6 L/min 0.8～8 L/min 1～10 L/min

　警報設定範囲 0.2～0.8 L/min 0.5～1 L/min 0.4～1.6 L/min 1～2.4 L/min 2～4 L/min 2～4.8 L/min 2～6.4 L/min 2～8 L/min

水水 ※1

※2

バルブ

警報出力

接液部材質

パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細P-620 -U -B0 N -R 3

3 3/8（標準） Z 特殊

R Rcねじ（標準） N NPTねじ S SW Z 特殊

N NBR（標準） C CR F フッ素ゴム Z 特殊

B C3604（標準） 4 SUS304 6 SUS316 Z 特殊

0 なし A リードスイッチ下限OPEN B リードスイッチ下限CLOSE

機能掲載ページをご参照願います。 C リードスイッチ上限OPEN D リードスイッチ上限CLOSE Z 特殊

0 なし U 上 Z 特殊

※1　外形寸法が異なります。形式コードP620-U□ -4N-R3形のみ製作致します。※2　接続規格SWの場合、0.75 L/mimから可能。　　

17

■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。警報接点前面可変タイプ,リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛 ,特殊目盛 ,ゴム管継手付 ,各種継手付…等（詳細はその他オプションをご参照願います。）

8

124

7 5

4

7636 36 76

20

3

2

9

1

6

2-D

28 （MAX.36） 36 L

ＯＵＴ

ＩＮ

パネル

2-Ｍ4（深6）

2-φH2-φ5

4

18

OPEN SHUT

TO

KYO KEISO

■ 外形寸法　　 ●標準タイプ（バルブ上側、パネルの前面ねじ取付のP-620-U0-BN-□□の外形寸法図です。）



● P-620-U□ -□□ -□□の外形寸法図です（レンジが0.1～ 1L/minの場合は異なります、お問い合わせください。）

●標準材質　　部品名称本体、テーパ管パッキンフロート※ キャップバルブ本体バルブニードル継手目盛板

　　標準材質アクリル NBR SUS304,SUS316,PVC C3604 C3604 SUS304 C3604 アクリル

　製作可能材質　　　 ― フッ素ゴム, CR 　　　 ― SUS304, SUS316 SUS304, SUS316 SUS316 SUS304, SUS316 　　　 ―

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

○印の付いている部品は、計測流体に接触します。 ※：仕様により適切な材質を選定します。・部品材質SUS304は、製作都合によりSUS316を使用する場合があります。・製作都合によりJIS材相当品のASTM, AISI材を使用する場合があります。

o s

28124

3620

762-φH

2-φ5

（MAX.36） 36 L

2-DOUT

→ OUT

2-M4 （深6）

IN ←

3620

76

接続口径 D

穴径寸法 H 27 27 22

後方寸法 L 20 20 （30）

Rc 3/8 NPT3/8 SW 3/8

パネルカット

パネルカット

注）パネルは非磁性材をご使用ください。

18

測定対象液体全般，気体全般

流量レンジ

水

空　気

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管

パッキン

本体サポート

カバー

接続方法

取付方法

標　準

オプション

標　準


最小レンジ： 3～ 30 mL/min 最大レンジ： 0.4～2 L/min

最小レンジ： 50～500 mL/min（nor）

最大レンジ： 2 ～ 20 L/min（nor）

10：1

±5 ％F.S.

0.5 MPa

70 ℃

大流量タイプはP-772をご選定願います。

・空気は0 ℃，0 MPa（1atm）　の流量です。・流量レンジをご選定する　際は、標準流量表をご参　照願います。・ガス体で使用圧力が0 MPa 　以外の場合、1ページをご　参照願います。

標準

ETFE

耐熱ガラス

PTFE

ポリアセタール

ポリカーボネート

Rc1/8

チューブ接続OD：6.35 mm,

6 mm, 8 mm

パネルの前面ねじ取付または

パネル埋込取付 0.1 kg




× × ○

オプション（形式コードで

ご指定ください。）

PFA（接続規格コードT）

PCTFE

オプションでPPSも承ります。

詳細は基本形式コードを

ご参照願います。

詳細はご注文方式をご参照

願います。


P-710










■　概　　要オールフッ素樹脂パージメータ。各種腐食性溶液の計測にも万全の対応。軽量 ,超コンパクト。


■　標準仕様

■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2重目盛，特殊目盛，各種継手付……………等（詳細はその他オプションをご参照願います。）

バルブ

警報出力

テーパ管材質

パッキン材質

接続規格

接続口径記入例

詳　細

P-710 -U -G0 T -R 1 1 Rc1/8（標準）接続規格コードRの時のみ A φ6.35×1t 接続規格コードTの時のみ B φ6×1t C φ8×1t

R Rcねじ（標準） T ピラー継手

　　（スーパーフィッティング） Z 特殊

T PTFE G 耐熱ガラス（標準） T PCTFE

0 なし E PAUアラームユニット付属 Z 特殊

CR（クッション）気体、バルブ下、および警報出力コードは選択できません。

接続規格コードTの時のみ接続規格コードTの時のみ

0 L

U

Z



50 ～ 500 mL/min（nor） 0.1 ～ 1 L/min（nor） 0.2 ～ 2 L/min（nor） 0.3 ～ 3 L/min（nor） 0.5 ～ 5 L/min（nor） 1 ～ 10 L/min（nor） 2 ～ 20 L/min（nor）

3 ～ 30 mL/min（水のみ） 5 ～ 50 mL/min 10 ～ 100 mL/min 20 ～ 200 mL/min 30 ～ 300 mL/min 50 ～ 500 mL/min 0.1 ～ 1 L/min 0.12 ～ 1.2 L/min 0.4 ～ 2 L/min

※ 水 AIR（0 MPa, 0 ℃）

50 ～ 500 mL/min 0.1 ～ 1 L/min 0.12 ～1.2 L/min 0.4 ～ 2 L/min

水

テーパ管材質コードがTの時テーパ管材質コードがGの時

※ 0.12～1.2 L/min以上はバルブコード0, Uのみ

19

■ 外形寸法　　 ●標準タイプ（バルブ上側、パネルねじ取付のP-710-U0-GT-R1の外形寸法図です。）

●警報出力コードがEの場合 E PAUアラームユニット付属

※テーパ管材質がPCTFEの場合、警報出力コードは選択できません。


2-φ19

2-Rc1/81023（MAX.35） 29

20 4-φ3.84-φ3.8 20

18

100

79 6010

OUT

4-φ3.820

7910

79±1

14.5

φ17.3

109

100

100

IN

M3 サラ穴

パネル埋込取付パネル前面取付

O C

　部品名称標準材質製作可能材質本体サポートポリアセタール PPS樹脂本体 ETFE PFA（接続規格コードT）テーパ管耐熱ガラス PCTFEパッキン PTFE — フロート PTFE,ガラス,ルビー —バルブ本体 PCTFE ―バルブニードル PCTFE ―カバーポリカーボネート ―


●標準材質

※

○○○○○○

20

P-771■　概　　要オールフッ素樹脂、ウルトラクリーンパージメータ。接液部はもとより、機構部分からも金属を排除し、雰囲気に対しても錆などの発生を防止します。全PFA成型、チューブ直結継手採用。純水、超純水、薬液など半導体製造プロセスでの液体流量計測に最適。

■　主な用途　半導体製造ラインの超純水、薬液用

■　標準仕様








■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2重目盛，特殊目盛……………等（詳細はその他オプションをご参照願います。）


流量レンジ水

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管

パッキン

本体サポート

カバー

接続方法

取付方法

標　準

オプション

標　準



10：1

±5 ％F.S.

0.5 MPa

60 ℃

標準

PFA 一体成型

PFA

PTFE バルブ付

PVC バルブ付

PVC

チューブエンド接続OD： 6.35 mm， ID： 4.35 mm

チューブエンド接続OD： 6 mm， 8 mm ねじ接続： Rc1/8


0.2 kg




× × ○



大流量タイプはP-772を

ご選定願います。





　　　　水

3～15 mL/min

2～20 mL/min

3～30 mL/min

5～50 mL/min

10～100 mL/min

20～200 mL/min

30～300 mL/min

50～500 mL/min

0.1～1 L/min

0.2～2 L/min

※

※

※


バルブ

警報出力

接液部材質

パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細

P-771 -U -T0 W -T A A φ6.35×1t（標準） B φ6×1t C φ8×1t 1 Rc1/8 Z 特殊

T チューブエンド継手（標準） R Rcねじ Z 特殊

W なし／溶接構造（標準） T PFA（標準）テーパ管材質もPFAです。 Z 特殊 0 なし

E PAUアラームユニット付属 Z 特殊

0 なし U 上

Z 特殊


21

※密度／粘度が1.0 g/cm3／1.0 mPa・s以外の　場合、流量指示精度が±8%（F.S）以上となり　ます。　　

■　外形寸法

●P-771-U0-TW-TA（チューブエンド継手）　　　　　　　　　　　　　　　　

●警報出力コードがＥの場合E PAUアラームユニット付属機能掲載ページをご参照願います。

●P-771-U0-TW-R1（Rc1/8継手）


●標準材質部品名称本体、テーパ管フロートフロートストッパバルブ本体バルブニードル継手カバー目盛板

　標準材質 PFA一体成型 PTFE PFA PCTFE PCTFE PFA PVC 透明PVC

製作可能材質 ― ― ― ― ― ― ― ―

○ ○ ○ ○ ○ ○

22

80

4-φ4.5

2-φ18

102

23

パネルカット

O C

110

34 28

80

28

80

4

2-φ6.35×t1.0

(MAX.35)

4-M4深5

5050110

110

O C

34 28

80

434 28

80

4

2-Rc1/8

(MAX.35)

80

4-φ4.5

2-φ18

102

23

4-M4深5

パネルカット

P-772■　概　　要オールフッ素樹脂、ウルトラクリーンパージメータ。P-771同様チューブ直結式継手採用の超クリーン構造。本体・テーパ管一体成形、バルブ・キャップ部溶接構造で抜群のシール性を確保。純水、超純水、薬液など最大45L/minまで対応。

■　主な用途　半導体製造ラインの超純水、純水薬液用

■　標準仕様





Ｐ-772-□□-□-□□ 流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥



■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2点警報，リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，特殊目盛……………等（詳細はその他オプションをご参照願います。）

接続方法


流量レンジ水

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管

パッキン

本体サポート

カバー

取付方法

標　準　

オプション

標　準

オプション


最小レンジ：0.06～0.6 L/min 最大レンジ：4.5～45 L/min

10：1

±5 ％F.S.

0.5 MPa

60 ℃ 高温使用max.90 ℃対応タイ

プも承ります。ご相談ください。

標準

PFA

PFA 一体成型

PTFE バルブ付

PVC

PVC

チューブエンド接続/OD： 19 mm，ID：15.8 mm

Rc1/2，3/4，NPT1/2，3/4等


パネル埋込取付

0.8 kg




○ ○ ○






警報出力コードが0およびEの時　　　　水 0.06～0.6 L/min 0.1～1 L/min 0.2～2 L/min 0.3～3 L/min 0.5～5 L/min 0.6～6 L/min 1～10 L/min 1.5～15 L/min 2～20 L/min 3～30 L/min 4～40 L/min 4.5～45 L/min

警報コードがA～Dの時　　　　　水 0.3～3 L/min 0.5～5 L/min 0.6～6 L/min 1～10 L/min 1.5～15 L/min 2～20 L/min 3～30 L/min 4～40 L/min

　警報設定範囲 0.6～2.4 L/min 1～4 L/min 1.2～4.8 L/min 2～8 L/min 3～12 L/min 4～16 L/min 6～24 L/min

8～32 L/min



バルブ

警報出力

接液部材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細

P-772 -U -T0 -T D D φ19×1.6t（標準） 4 1/2 5 3/4

Z 特殊 φ10／8, 12／10, 12.7／9.5, 19／16, 25／22, 25.4／22.2

T チューブエンド継手（標準） R Rcねじ N NPTねじ Z 特殊

T PFA（標準）テーパ管材質もPFAです。 Z 特殊

0 なし A リードスイッチ下限OPEN B リードスイッチ下限CLOSE C リードスイッチ上限OPEN D リードスイッチ上限CLOSE E PAUアラームユニット付属 Z 特殊

0 なし U 上

Z 特殊


23

■　注意P-772-U（バルブ付）は、仕様によりリスト規制（輸出令別表第一 3項（2）-7）に該当します。詳細は別途お問い合わせください。


●警報出力コードがEの場合






●標準材質部品名称本体、テーパ管フロートフロートストッパバルブ本体バルブニードル目盛板サポート板カバー

　標準材質 PFA一体成型 PTFE PFA PCTFE PCTFE 透明PVC PVC PVC

製作可能材質 ― ― ― ― ― ― ― ―

○ ○ ○ ○ ○

■ 外形寸法●標準タイプ（バルブなし、パネルの前面ねじ取付のP-772-00-T-TDの外形寸法図です。）

●P-772-UA-T-R4の外形寸法図です。


24

200

60 54

(70)

150

2-φ19×1.6t

3 85

(15)

98

42

20110

20

42

2-φ40

4-φ6

50 110

パネルカットパネル埋込取付

4-φ6

200

60 (MAX.43) 54 (15)

150

2-Rc1/298

42 4-φ6

20110

20

42

2-φ40

4-φ6

50 110

パネルカットパネル埋込取付

φ40

206

20

φ16

P-773■　概　　要P-773はすべてPFAで一体成型したパージメータです。シール部もすべて融着構造とし、Oリングなどによる機械的なシール部を排除しました。またフロート軸もなくクリーン度がさらに向上しました。面間寸法115 mmのコンパクトな形状で各装置のアッセンブリも容易です。


■　標準仕様



■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，特殊目盛…………等（詳細はその他オプションのご説明をご参照願います。）



バルブ

警報出力

流量レンジ

接続規格

記入例

詳　細 P-773 -U A0 5

1 Rc1/4 2 Rc3/8 3 NPT1/4 4 NPT3/8 5 チューブエンド継手（3/8“ ×t1.59） 6 チューブエンド継手（1/2“ ×t1.59） 7 チューブエンド継手（φ8 ×t1.0） 8 チューブエンド継手（φ10 ×t1.0） 9 チューブエンド継手（φ12 ×t1.0） Z 特殊

A 0.1～1 L/min 警報出力コード0の場合のみご選定可 B 0.2～2 L/min 1 0.3～3 L/min 2 0.5～5 L/min 3 1～10 L/min Z その他特殊


0 なし U 上

バルブ位置選定ガイドをご参照願います。 Z 特殊

標　準


流量レンジ水

最小；0.1～1 L/min

最大；1～10 L/min

有効目盛範囲 10：1

流量指示精度 ±5 ％F.S.

最高使用圧力 0.5 MPa

最高使用温度 60 ℃

材　質標準

オプション（形式コードにて

ご指定ください。）

本体接液部一体成型

テーパ管

パッキンバルブ付

本体サポート

カバー

　チューブエンド接続OD：3/8"～

接続方法　　　（詳細形式コードをご参照願います。）詳細は基本形式コードを

その他 Rc1/4，3/8，NPT1/4，3/8等ご参照願います。

取付方法

標　準


詳細はご注文方法をご参照

願います。

概略質量（標準タイプ）0.6 kg


一般形 × CE，UL対応形 ○ PAUオプティカルアラームユニット ○

PFA

PFA

PTFEPVC

PVC


警報出力コードが0およびEの時警報出力コードがA～Dの時

　　　　　　　　　　　　水警報設定範囲

0.2～2 L/min 0.4～1.6 L/min

0.3～3 L/min 1～2.4 L/min

0.5～5 L/min 1～4 L/min

1～10 L/min 2～8 L/min

水

0.1～ 1 L/min

0.2～ 2 L/min

0.3～ 3 L/min

0.5～ 5 L/min

1 ～10 L/min






Ｐ-773-□-□□□ 流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥

25

■　外形寸法●P-773-00□ 2（バルブなし） ●P-773-U0□ 7（バルブ付）

●P-773-UA□ 7（EN対応警報接点付）










製作可能材質 ― ― ― ― ― ― ― ―

○ ○ ○ ○ ○


26

42

144

W1 W2

115

φ24

2-Rc3/8

2-M4深5

115

74

W3

2-φ25

2-φ5

パネルカット

流量レンジコード W1 W2 W3

A 39 13 22

B,1 43 10 22

2,3 53 264

W1W2

115

φ24

2-φ8×t1.0

2-M4深5

42

144

(60)(MAX.50)

115

74

W3

2-φ25

2-φ5

パネルカット

流量レンジコード W1 W2 W3

A 39 13 22

B,1 43 10 22

2,3 53 264

W1W2

115

φ24

2-φ8×t1.0

2-M4深5

W4

144

(60)(MAX.50)

115

74

W3

2-φ25

2-φ5

パネルカット

13

78

流量レンジコード W1 W2 W3 W4

B,1 43 10 22 42

2,3 53 26 484

P-774■　概　　要P-774は東京計装のオールフッ素樹脂パージメータシリーズに新しく追加された面間100 mmタイプのパージメータです。PFA一体成形の本体・継手部と融着構造のシール部で抜群のクリーン度を確保します。


■　標準仕様






流量レンジ水

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

材　質

本体接液部テーパ管パッキン

本体サポート

カバー

接続方法

取付方法

標　準

標　準


最小：0.1～1 L/min

最大：0.7～7 L/min

10：1

±5 ％F.S.

0.5 MPa

60 ℃

標準

PFA

PFA

PTFE

PVC

PVC


0.5 kg

大流量タイプはP-772および

P-773形をご選定願います。

一体成型

バルブ付

詳細は基本形式コードをご

参照願います。

詳細はご注文方法をご参照

願います。




× ○ ○

φ10ピラー継手（スーパーフィッティング）


警報出力コードが0およびEの時

　　　水

0.1～1 L/min

0.2～2 L/min

0.3～3 L/min

0.5～5 L/min

0.6～6 L/min

0.7～7 L/min

　　　　水

0.3～3 L/min

0.5～5 L/min

0.6～6 L/min

0.7～7 L/min

警報設定範囲

0.6～2.4 L/min

1.0～4.0 L/min

1.2～4.8 L/min

1.4～5.6 L/min

警報出力コードがA～Dの時






Ｐ-774-□□-□□-□ 流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥

バルブ

警報出力

接液部材質

パッキン材質

接続規格

記入例

詳　細P-774 -U -T0 W -P

P

ZWZ

TZ

0ABCDEZ

0

U

Z

チューブエンドφ10ピラー継手特殊

なし/溶接構造（標準）特殊

PFA（標準）特殊

なしリードスイッチ下限OPENリードスイッチ下限CLOSEリードスイッチ上限OPENリードスイッチ上限CLOSEPAUアラームユニット付属特殊

なし

上

特殊


テーパ管材質もPFAです。

スーパーフィッテング

■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。警報接点前面可変タイプ，リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，特殊目盛…………等（詳細はその他オプションをご参照願います。）

27

■　外形寸法●バルブ、出力なし、P-774-00-TW-Pの外形図です。

パネルカット










製作可能材質 ― ― ― ― ― ― ― ―

○ ○ ○ ○ ○

注）警報出力コードがA～Dの場合、パネルは非磁性材をご使用下さい。

28

●バルブ付P-774-U0-TW-Pの外形図です。100

34 40 (28)

124

2×M4深5

パネルカット図

(MAX.41)

10020

76

P-810■　概　　要半導体製造プロセスの各種ガスの流量測定に最適。外周シール採用で高信頼。各種装置で豊富な使用実績。電解研磨処理、低リークの高品位タイプもあります。

■　主な用途　半導体製造装置気体用，リーク量重視ライン用

■　標準仕様



■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2 重目盛，特殊目盛，スタンド付，ゴム管継手付，各種継手付……………等（詳細はその他オプションをご参照願います。）

測定対象水, 気体全般

流量レンジ

空　気

水

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管パッキン


接続方法

取付方法

標　準

オプション

標　準



最小レンジ：5～50 mL/min

最大レンジ：0.2～2 L/min 10：1 P-813：±3 ％ F.S. P-812：±5 ％ F.S. 0.8 MPa 120 ℃

標準

SCS14

耐熱ガラスフッ素ゴム(max.120 ℃) SUS304 透明PVC Rc1/4 Rc1/8, NPT1/4, 1/4, 3/8SW, 1/4, 3/8VCR等パネルの前面ロックナット取付ベゼルによるパネル取付 0.6 kg（P-813）

・空気は0 ℃, 0 MPa（1 atm）の流量です。・流量レンジをご選定する際は、標準流量表をご参照願います。・ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。

フッ素ゴムシールの場合です。オプション（形式コードでご指定ください。） SUS316（SUS316Lも承ります。ご相談ください。） CR(max.80 ℃)

詳細は基本形式コードをご参照願います。詳細はご注文方法をご参照願います。

方　式　取付可否



P-812 × × ○

P-813 × × ○



■　P-812形 /標準流量表（ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。）

警報出力コードが0およびEの時　　AIR（0MPa, 0℃） 5～50 mL/min（nor） 10～100 mL/min（nor） 20～200 mL/min（nor） 30～300 mL/min（nor） 50～500 mL/min（nor） 0.1～1 L/min（nor） 0.2～2 L/min（nor） 0.3～3 L/min（nor） 0.5～5 L/min（nor） 1～10 L/min（nor） 2～20 L/min（nor） 3～30 L/min（nor） 5～50 L/min（nor） 6～60 L/min（nor）

5～50 mL/min 10～100 mL/min 20～200 mL/min 30～300 mL/min 50～500 mL/min 0.1～1 L/min

0.15～1.5 L/min 0.2～2 L/min

　　　　　　水

■　P-813形 /標準流量表（ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。）

　　AIR（0 MPa, 0 ℃） 10～50 mL/min（nor） 20～100 mL/min（nor） 40～200 mL/min（nor） 60～300 mL/min（nor） 50～500 mL/min（nor）☆1 0.1～1 L/min（nor） 0.2～2 L/min（nor） 0.3～3 L/min（nor） 0.5～5 L/min（nor） 1～10 L/min（nor） 2～20 L/min（nor） 3～30 L/min（nor）☆2 10～50 L/min（nor） 12～60 L/min（nor）

　　　　水

5～50 mL/min 10～100 mL/min 20～200 mL/min 30～300 mL/min 50～500 mL/min 0.1～1 L/min☆3

0.3～1.5 L/min 0.4～2 L/min

☆1　500 mL/min（nor）未満は10：2 ☆2　30 L/min（nor）を超えると10：2 ☆3　1 L/minを超えると10：2

バルブ

面間寸法

警報出力


パッキン材質

接続規格


詳　細

P-81 -32 -60 F -R 2 1 1/8 接続規格R，Nのみご選定可 2 1/4（標準） 3 3/8 接続規格S，Vのみご選定可 Z 特殊

R Rcねじ（標準） N NPTねじ S SW V VCR Z 特殊

F フッ素ゴム（標準） C CR アンモニアガスの場合にご選定願います。 Z 特殊

6 SCS14（標準） E SUS316／電解研磨仕様高品位タイプ Z 特殊

0 なし E PAUアラームユニット付属 Z 特殊

0 なし 1 上部ベローバルブ（ハイグレードバルブ） 2 下部ベローバルブ（ハイグレードバルブ） 3 上部ニードルバルブ 4 下部ニードルバルブ Z 特殊


標準流量表がこのコードによって異なります。ご注意下さい。

ベゼルによるパネル取付等も可能です。詳細は取付方法オプションをご参照願います。

2 145 mm 3 224 mm 9 特殊






29

■ 外形寸法　●標準タイプ（Rc1/4接続、ベローバルブ付）（バルブ上側、パネルの前面ロックナット取付のP81□-10-6F-R2の外形寸法図です。）

　●標準タイプ（SW1/4接続、ニードバルブ付）（バルブ下側、パネルの前面ロックナット取付のP-81□ -40-6F-S2の外形寸法図です。）

●ベゼルによる取付タイプ　　（バルブなし、ベゼルによるパネル取付のP81□ -00-6F-S2の外形寸法図です。）

形式

P-812

P-813

L1

170

249

L2

145

224

L3

175

254

L4

190

265

L5

205

280

寸法（mm）接続口径

Rc 1/8,NPT1/8

Rc 1/4,NPT1/4

1/4 SW

3/8 SW

1/4 VCR

3/8 VCR

穴径寸法（d）（mm）

16

22

16

22

22

32

後方寸法L（mm）

（20.5）

（20.5）

（28）

（30）

（30）

（34.5）

■　寸法表 ■　パネルカット寸法表



部品名称標準材質製作可能材質本体　　SCS14 SUS316, SUS316L テーパ管　　耐熱ガラス ―

フロート　　SUS316, ガラス ―

　ルビーパッキン　　フッ素ゴム CR パッキン押え　　SUS316 ― 継手　　SUS316 ― バルブ　　SUS316 ― 取付板　SUS304 ― カバー　透明PVC ― ○印の付いている部品は、計測流体に接触します。 ※：仕様により適切な材質を選定します。

●標準材質

※

○ ○

○ ○ ○ ○ ○



30

パネルカット

P-820■　概　　要P-810同様各種半導体装置に幅広く使用されています。リードスイッチタイプの警報接点付も製作します。

■　主な用途　半導体製造装置用

■　標準仕様



■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2点警報，リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，特殊目盛，ゴム管継手付，各種継手付……等（詳細はその他オプションをご参照願います。）


測定対象水, 気体全般

流量レンジ

空　気

水

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管パッキン


接続方法

取付方法

標　準

オプション

標　準




10：1 P-823：±3％F.S. P-821：±5％F.S. 0.8 MPa 120 ℃

標準

SCS14 耐熱ガラスフッ素ゴム(max.120 ℃) SPCC アクリル Rc1/4 Rc1/8, NPT1/8, 1/4, 3/8SW, 1/4, 3/8VCR等パネルの前面ロックナット取付ベゼルによるパネル取付 0.6 kg（P-821）


オプション（形式コードでご指定ください。） SUS316（SUS316Lも承ります。ご相談ください。）

CR(max.80 ℃)






P-821 ○ ○ ○

P-823 ○ ○ ○

・空気は0 ℃, 0 MP（1 atm）　の流量です。・流量レンジをご選定する際は、　標準流量表をご参照願いま　す。・ガス体で使用圧力が0 MPa 　以外の場合、1ページをご参　照願います。


■※P-821形 /標準流量表（ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。）

バルブ

面間寸法

警報出力


パッキン材質

接続規格


詳　細

P-82 -31 -60 F -R 2 1 1/8 接続規格R，Nのみご選定可 2 1/4（標準） 3 3/8 接続規格S，Vのみご選定可 Z 特殊

R Rcねじ（標準） N NPTねじ S SW V VCR Z 特殊

F フッ素ゴム（標準） C CR アンモニアガスの場合にご選定願います。 Z

6 SCS14（標準） E SUS316／電解研磨仕様高品位タイプ Z 特殊


0 なし 1 上部ベローバルブ（ハイグレードバルブ） 2 下部ベローバルブ（ハイグレードバルブ） 3 上部ニードルバルブ 4 下部ニードルバルブ Z 特殊


標準流量表がこのコードによって異なります。ご注意下さい。

ベゼルによるパネル取付等も可能です。詳細は取付方法オプションをご参照願います。

1 115 mm 3 224 mm 9 特殊

■※P-823形 /標準流量表（ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場合、1ページをご参照願います。）

4～20 mL/min（nor） 6～30 mL/min（nor） 10～50 mL/min（nor） 10～100 mL/min（nor）☆1 20～200 mL/min（nor） 30～300 mL/min（nor） 50～500 mL/min（nor） 0.1～1 L/min（nor） 0.2～2 L/min（nor） 0.3～3 L/min（nor） 0.5～5 L/min（nor） 1～10 L/min（nor） 2～20 L/min（nor）

3～30 L/min（nor）☆2 10～50 L/min（nor） 12～60 L/min（nor）

AIR（0MPa,0℃）

水

AIR（0MPa,0℃）

警報設定範囲

水

警報設定範囲

警報出力コードが0およびEの時警報出力コードがA～Dの時☆6 5～50 mL/min 10～100 mL/min 20～200 mL/min 30～300 mL/min 50～500 mL/min

0.1～1 L/min

0.3～1.5 L/min☆3 0.4～2 L/min

1～10 L/min（nor）☆4 3～15 L/min（nor） 6～30 L/min（nor） 10～50 L/min（nor）

2～8 L/min（nor） 3～12 L/min（nor） 6～24 L/min（nor） 10～40 L/min（nor）

50～500 mL/min 0.1～1 L/min☆5

0.3～1.5 L/min

100～400 mL/min 0.2～0.8 L/min

0.3～1.2 L/min

※目盛長によって異なる場合があります。　標準流量表以下の流量も承ります。詳細は、ご相談ください。 ☆1　100 mL/min（nor）未満は10：2 ☆4　10 L/min（nor）を超えると10：2 ☆2　30 L/min（nor）を超えると10：2 ☆5　1 L/minを超えると10：2 ☆3　1 L/minを超えると10：2 ☆6　液体の粘度は1.0mPa･sとなります。

5～50 mL/min（nor） 10～100 mL/min（nor） 20～200 mL/min（nor） 30～300 mL/min（nor） 50～500 mL/min（nor） 0.1～1 L/min（nor） 0.2～2 L/min（nor） 0.3～3 L/min（nor） 0.5～5 L/min（nor） 1～10 L/min（nor） 2～20 L/min（nor）

3～30 L/min（nor） 5～50 L/min（nor） 6～60 L/min（nor）

AIR（0MPa,0℃）

水

AIR（0MPa,0℃）

警報設定範囲

水

警報可変範囲

警報出力コードが0およびEの時警報出力コードがA～Dの時☆7 5～50 mL/min 10～100 mL/min 20～200 mL/min 30～300 mL/min 50～500 mL/min 0.1～1 L/min 0.15～1.5 L/min 0.2～2 L/min





50～500 mL/min 0.1～1 L/min

0.15～1.5 L/min

100～400 mL/min 0.2～0.8 L/min

0.3～1.2 L/min

※目盛長によって異なる場合があります。　標準流量表以下の流量も承ります。詳細は、ご相談ください。 ☆7　液体の粘度は1.0mPa･sとなります。





　P-82□-□□-□□-□□ 流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥

31

■ 外形寸法　

●標準タイプ（Rc1/4接続、ニードルバルブ付）（バルブ下側、パネルの前面ロックナット取付のP82□-40-6F-R2の外形寸法図です。）

　

●標準タイプ（1/4SW接続、ニードバルブ付）（バルブ上側、パネルの前面ロックナット取付のP-82□ -30-6F-S2 の外形寸法図です。）

●ベゼルによるパネル取付タイプ　　（バルブ上側、ベゼルによるパネル取付のP82□ -30-□□ -□□の外形寸法図です。）

形式

P-821

P-823

L1

143

252

L2

115

224

L3

145

254

L4

160

265

L5

175

280

寸法（mm）接続口径

Rc 1/8,NPT1/8

Rc 1/4,NPT1/4

1/4 SW

3/8 SW

1/4 VCR

3/8 VCR

穴径寸法d（mm）

16

22

16

22

22

32

後方寸法L（mm）

（22）

（22）

（29.5）

（31.5）

（30）

（35.5）

■　寸法表 ■　パネルカット寸法表

パネルカット


●警報出力コードが Eの場合





●標準材質部品名称標準材質製作可能材質本体　 SCS14 ― テーパ管　耐熱ガラス ―

フロート　 SUS316, ガラス, ―

ルビーパッキン　フッ素ゴム CR スピンドル　 SUS316 ― 継手　 SUS316 ― バルブ　 SUS316 ― 取付板 SPCC ― カバーアクリル ―


※

○ ○

○

○ ○ ○ ○




32

パネルカット

P-830■　概　　要CEマーキング，EN規格対応P-830は従来のパージメータの構造、材質を検討・改良し、耐熱130℃をクリアーしました。

■　主な用途　半導体製造装置冷却水ライン。

■　標準仕様



■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。リードスイッチリード線長さご指定，2重目盛，特殊目盛，ゴム管継手付，各種継手付……等（詳細はその他オプションのご説明をご参照願います。）







　P-831-□□-□□-□□ 流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション① ② ③ ④ ⑤ ⑥

接続方法

取付方法

測定対象液体全般（水相当）

流量レンジ水

最小；0.1～1.0 L/min

最大；1.5～7 L/min

有効目盛範囲 10：1 一部10：2となります。

流量指示精度 ±10 ％F.S.

最高使用圧力 1 MPa

最高使用温度 130 ℃

材　質

本体接液部

テーパ管

パッキン

本体サポート

カバー

標　準 3/8SW 詳細は基本形式コードをご参照

オプション Rc3/8,NPT3/8等願います。

標　準パネルの前面ねじ取付


概略質量（標準タイプ）0.5 kg


一般形 × CE，UL対応形 ○ PAUオプティカルアラームユニット ×

標準

SCS14/SUS304

耐熱ガラス

フッ素ゴム

アルミニウム

アクリル

※最高使用温度は、一般的なデータであり、ご使用条件や環境によって変わることがあります。バルブ

警報出力

接液部材質

パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細

P-831 -U -6A F -S 3 3 3/8 Z 特殊

R Rcねじ N NPTねじ S SW（標準） Z 特殊

F フッ素ゴム Z 特殊

6 SCS14/SUS304 0 なし A リードスイッチ下限OPEN B リードスイッチ下限CLOSE 機能掲載ページをご参照願います。 C リードスイッチ上限OPEN D リードスイッチ上限CLOSE Z 特殊

0 なし U 上 Z 特殊

警報出力コードが0の時警報出力コードがA～Dの時

0.1～1.0 L/min 0.1～1.0 L/min 0.1～0.8 L/min

0.4～1.5 L/min 0.4～1.5 L/min 0.4～1.2 L/min

0.2～2 L/min 0.2～2 L/min 0.6～1.6 L/min

0.3～3 L/min 0.3～3 L/min 0.6～2.4 L/min

0.4～4 L/min 0.4～4 L/min 0.8～3.2 L/min

0.5～5 L/min 0.5～5 L/min 1～4 L/min

1.5～7 L/min 2～7 L/min 3～5.6 L/min

警報可変範囲水　水

33

■　外形寸法

●P-831-U□ -6F-R3（バルブ付）

●P-831-U□ -6F-S3（バルブ付　警報接点付）

注）接続継手がRc3/8, NPT3/8のパネル組付けの際は一度継手を外してから取付けてください。

注）・パネルは非磁性材をご使用ください。・接続継手がRc3/8, NPT3/8のパネル組付けの際は　一度継手を外してから取付けてください。



部品名称標準材質製作可能材質本体　 SCS14 ― テーパ管　耐熱ガラス ― フロート　 SUS316 ― フロート軸　 SUS316 ― Oリング　フッ素ゴム ― バルブ　 SUS304 SUS316 継手　 SUS304 SUS316 取付板アルミニウム ― カバーアクリル ―

●標準材質

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

○印の付いている部品は、計測流体に接触します。・部品材質SUS304は、製作都合によりSUS316を使用する場合があります。・製作都合によりJIS材相当品のASTM, AISI材を使用する場合があります。

パネルの厚さは2.5 mmまで

34

パネルカット

パネルカット

35

P-850

一般装置用

部品名称標準材質製作可能材質本体 ○ SCS14 - テーパ管 ○ -

フロート※ ○ -

パッキン ○ フッ素ゴム CR

バルブ ○ 取付板保護カバーポリカーボネート -

P-850は全長100mm、面間80mmのコンパクト形パージメータです。コンパクトサイズのため各種装置の組込に最適です。液体・気体にも対応できます。

■ 概　要

■ 主な用途

■ 標準仕様

■ 材質構成

○印の付いている部品は、計測流体に接触します。 ※：仕様により適切な材質を選定します。・部品材質SUS304は製作都合によりSUS316を使用する場合があ　ります。・製作都合によりJIS相当材のASTM、AISI材を使用する場合があり　ます。

SUS316ガラスルビー

NBR

耐熱ガラス

SUS304SPCC

SUS316SUS304

■ 標準流量表標準品はコード品となります。コード品の流量に関しては基本形式コードをご参照ください。

指定目盛流量表（ガス体で計測条件が空気、0 MPa、0 ℃以外の場合、1ページをご参照願います。）

■ 基本形式コード

方式取付可否一般形 × UL対応形 ×

×

■ 警報接点及び出力

リードスイッチ警報

PAUオプティカルアラームユニット

空気（at 0 MPa、0 ℃）20 ～ 2 0 0 mL/min(nor)50 ～ 5 0 0 mL/min(nor) 0.1 ～ 1 L/min(nor) 0.5 ～ 5 L/min(nor) 1 ～ 10 L/min(nor) 2 ～ 20 L/min(nor)

水（1.0 g/cm3、1.0 mPa・s） 5 ～ 50 mL/min 10 ～ 1 0 0 mL/min 20 ～ 2 0 0 mL/min 30 ～ 3 0 0 mL/min 50 ～ 5 0 0 mL/min 0.1 ～ 1 L/min

測定対象

空気

液体

気体

液体

有効目盛範囲

流量指示精度最高使用圧力最高使用温度

標準洗浄処理接続方法標準概略質量

気体（空気、窒素）液体（水相当密度：1.0 g/cm3、粘度：1.0 mPa・s）最小：20～200mL/min(nor)最大：2～20L/min(nor) 最小：5～50mL/min最大：0.1～1L/min最小：20～200mL/min(nor)最大：2～20L/min(nor) 最小：5～50mL/min最大：0.1～1L/min 10 ： 1 ±5 %F.S. 0.5 MPa60 ℃禁油処理（超音波洗浄）Rc1/8約200 g

流量レンジ（コード品）

流量レンジ（指定目盛）

流体仕様：空気、0 MPa（1 atm）、20 ℃の目盛となります。

流体仕様：水相当、1.0 g/cm3、1.0 mPa・sの目盛となります。

計測条件：空気、0 MPa、0 ℃に換算した流量です。

L 1 - 0 - 4 N - R 11

RN

NFCZ

46

0LU

記入例

詳細

流量レンジ

バルブ位置


パッキン材質

接続規格

接続口径

P-850-1/8

Rc（標準）NPT

NBR（標準）フッ素ゴムCR特殊

本体： SCS14/バルブ： SUS304（標準）本体： SCS14/バルブ： SUS316

無し下部バルブ上部バルブ

流体仕様流体：水相当密度： 1.0 g/cm3粘度： 1.0 mPa・sの目盛となります。

流体仕様流体：空気圧力： 0 MPa（1atm）温度： 20 ℃の目盛となります。

5 ～ 50 mL/min10 ～ 100 mL/min30 ～ 300 mL/min50 ～ 500 mL/min60 ～ 600 mL/min 0.1 ～ 1 L/min20 ～ 200 mL/min（nor） 0.1 ～ 1 L/min（nor） 0.3 ～ 3 L/min（nor） 0.6 ～ 6 L/min（nor） 1 ～ 10 L/min（nor） 1.5 ～ 15 L/min（nor） 2 ～ 20 L/min（nor）お客様指定目盛

L 0L 1L 2L 3L 4L 5G 0G 1G 2G 3G 4G 5G 60 0

バルブ付の場合は一次側、二次側の圧力をご指示下さい。ご指示がない場合は差圧0.05MPaでバルブを設計致します。差圧によってはバルブ付の製作ができない場合があり別途ご相談させて頂くことがあります。コード品： L□及びG□は差圧0.05MPaにてバルブを設計した製品となります。

36

■ 取付方法オプションオプションとして次の様な取付方法をご指定できます。

コードNo.

A

B

C

取付方法

パネル前面ロックナット取付

パネル前面ねじ取付


注文時に基本形式コードの末尾に追加してください。例）P-850-L1-0-4N-R1-C（パネル埋込取付）

■ 外形寸法・P-850-□□-0-□□-□□（配管支持取付）

(100)

(23)

80

(22) (10.5)

dOUT

dIN

・P-850-□□-U-□□-□□-A（パネル前面ロックナット取付）

(100)

(23) (22) (10.5)

80

(MAX.23)

80

∅16

∅16

パネルMAX.t5 パネルカット

dOUT

dIN

■ その他製作可能オプションオプションとして各種継手付をご指定できます。（詳細はその他のオプションの説明を参照願います。）

・P-850-□□-L-□□-□□-B（パネル前面ねじ取付）

(23)

(100)

(10.5)

4×M3

(MAX.23) (22)

80 4617

80

∅16

∅16

dOUT

dIN

パネルカット

4×∅3.5

14

（注意）固定ねじが長い場合、テーパ管を破損する恐れがあります。ねじ長さ：パネル厚＋3 mm以下として下さい。

・P-850-□□-U-□□-□□-C（パネル埋込取付）

16

5619.5

95

7.5

15

∅15

(100)

(23) (22) (10.5)

80

(MAX.23)

パネルカット

4×∅3.5

4×M3深6

dOUT

dIN

37

面間寸法

バルブ位置

バルブカラー

警報出力

接ガス部材質

パッキン材質

接続規格


詳　細

P-88 1 - U B 0 - 6 F - R 2Rc1/8Rc1/4(標準)NPT1/8NPT1/41/4" SW相当3/8" SW相当1/4" VCR相当3/8" VCR相当

1 2 1 2 2 3 2 3

F C E Z

R

N

S

V

フッ素ゴム(標準)CREPDM特殊

SCS14/SUS3166無し0

ブルー(標準)グリーンシルバーイエローオレンジバルブ無しの場合は空欄

B G S Y O

0LU

無し下部バルブ上部バルブ

1 2 3 Z

115mm130mm145mm特殊

P-880


■　概　　要P-880は超微小流量の計測を可能とした気体計測用面積流量計です。また、従来製品のP-100/200/810/820シリーズのバルブを精密に流量制御出来る様に改良いたしました。超微小流量の計測・流量制御に適した流量計です。

■　特　　長

❏ 超微小流量計測0.15～ 1.5 mL/min(nor)の超微小流量から6～60 L/min(nor)の流量まで計測が可能です。

❏ 流量調整が容易精密な流量制御が可能です。流量計の入口側圧力および出口側圧力をご指示いただければ、最適なバルブを選定いたします。

❏ 豊富な面間寸法流量計の取り合い寸法(面間寸法)を115、130、145mmに設定してありますので用途に応じて選択できます。

❏ コンパクト・軽量設計従来品のP-810と比較して、幅寸法が3mm小さくなり、製品重量が約半分になりました。

■　主な用途１）機器組込み２）バイオ産業３）半導体関連ガス機器

■　標準仕様

■　標準流量表AIR (at 0 MPa, 0 ℃)

0.15～1.5 mL/min(nor) 0.5～ 5 mL/min(nor) 0.6～ 6 mL/min(nor) 0.8～ 8 mL/min(nor) 1～ 10 mL/min(nor) 2～ 20 mL/min(nor) 4～ 40 mL/min(nor) 6～ 60 mL/min(nor) 8～ 80 mL/min(nor) 10～ 100 mL/min(nor)20～ 200 mL/min(nor)

40～ 400 mL/min(nor)60～ 600 mL/min(nor)80～ 800 mL/min(nor) 0.1～ 1 L/min(nor) 0.4～ 4 L/min(nor) 0.6～ 6 L/min(nor) 0.8～ 8 L/min(nor) 1 ～ 10 L/min(nor) 2 ～ 20 L/min(nor) 4 ～ 40 L/min(nor) 6 ～ 60 L/min(nor)

標準流量表以外の流量も承ります。詳細はご相談ください。

測定対象

流量

レンジ空　気

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

外部リークレート

材　質

接続方法

本体接液部

テーパ管

パッキン

取付板

カバー

標　準

オプション

標　準

標準洗浄処理

取付方法

気体全般

最小レンジ：0.15～1.5 mL/min(nor)

最大レンジ：6～60 L/min(nor)

10:1

±5 %F.S.

1 MPa

120 ℃

1×10-7 Pa・m3/s(He)以下

標準

SCS14/SUS316

耐熱ガラス

フッ素ゴム (max.120 ℃)

A5052(白色アルマイト)

透明PVC

Rc1/4Rc1/8NPT1/8,　1/41/4", 3/8"SW相当1/4", 3/8"VCR相当

・空気は0 ℃, 0 MPa(1 atm)の流量です。・流量レンジを選定する際は、標準流量表をご参照願います。

パッキン材質により異なります。

CR (max.80 ℃)EPDM (max.80 ℃)


概略質量

注1

注1. この数値は、弊社試験により得られた代表値であり、保証値ではありません。注2. 最高使用温度は、一般的なデータであり、ご使用条件や環境によって変わることがあります。

禁油処理（超音波洗浄）, 禁水処理

パネル前面にロックナット取付

約280 g(面間115 mmタイプ)

注2

38

■　外形寸法●P-881-U□0-6□ -R2

● P-882-L□ 0-6□ -S2

● P-883-00-6□ -V2

IN

OUT

115

138

1427

(35)

26

2×Rc1/4

2×M18

2×φ20


IN

OUT

130

153

2627(35)26

2×1/4"SW相当

2×M20

2×φ22


168

2726

IN

OUT

145

31.3

2×1/4"VCR相当

2×M20

2×φ22


P-900■　概　　要オールステンレス本体のスマートパージメータ。統一材質による低価格、短納期を達成しました。

■　主な用途　耐食装置用

■　標準仕様



■　その他製作可能なオプション次の様なオプションをご指定できます。2重目盛，特殊目盛，ゴム管継手付，各種継手付，…………等（詳細はその他オプションのご説明をご参照願います。）



■　外形寸法

●標準タイプ（バルブ上側、パネルの前面ネジ取付のP-90□-UO-4F-R2の外形寸法図です。）

面間寸法

バルブ

警報出力


パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細

P-90 -L -41 0 F -R 2 2 1/4 Z 特殊

R Rcねじ（標準） N NPTねじ Z 特殊

F フッ素ゴム Z 特殊

4 SUS304（標準） 6 SUS316 Z 特殊

0 なし Z 特殊

0 なし L 下（ガス体は、大気圧目盛の場合） U 上（ガス体は、加圧目盛または　　二次側が負圧の場合） Z 特殊

1 114 mm 2 224 mm 9 特殊


接続規格コードRのみご選定可接続規格コードNのみご選定可

寸　法（mm）

L2

114

224

　形　式

P-901

P-902

L1

146

256

部品名称標準材質製作可能材質本体　 SUS304 SUS316 テーパ管　耐熱ガラス ―


ルビーパッキン　フッ素ゴム — バルブ　 SUS316 — 取付板 SUS304 ― カバーポリカーボネート ―


●標準材質

※

○ ○

○ ○ ○


AIR（0 MPa,0 ℃）　　　　　　　　　　　　　　水 80～800 mL/min（nor）

5～50 mL/min

0.1～1 L/min（nor） 0.2～2 L/min（nor） 10～100 mL/min 0.3～3 L/min（nor） 20～200 mL/min 0.5～5 L/min（nor） 30～300 mL/min 1～10 L/min（nor） 50～500 mL/min 2～20 L/min（nor） 3～30 L/min（nor）

0.1～1 L/min

　　　5(10)～50 L/min（nor） 0.15～1.5 L/min

6(12)～60 L/min（nor） 0.2～2 L/min

0.25～2.5 L/min

★

★形式コードP-901の場合、30 L/min（nor）を超えると10：2






測定対象液体全般，気体全般

最小：80～800 mL/min（nor）

空　気最大：6～60 L/min（nor）

流量レンジ

水

最小：5～50 mL/min 最大：0.25～2.5 L/min 有効目盛範囲 10：1 一部10：2となります。流量指示精度

P-902：±3 ％F.S. P-901：±5 ％F.S. 最高使用圧力 0.8 MPa 最高使用温度 120 ℃ 材　質標準オプション（形式コードでご指定願います。）本体接液部 SUS304 テーパ管耐熱ガラスパッキンフッ素ゴム本体サポート SUS304 カバーポリカーボネート接続方法

標　準 Rc1/4　　　　　　　　詳細は基本形式コードをご参照オプション NPT1/4　　　　　　　願います。取付方法

標　準パネルの前面ねじ取付

詳細はご注文方法をご参照　　　　　　　　　　願います。概略質量（標準タイプ）0.5 kg（Ｐ-901）

SUS316も承ります。

・空気は0 ℃,0 MPa（1 atm）の流量です。・流量レンジをご選定する際は、標準　流量表をご参照願います。・ガス体で使用圧力が0 MPa以外の場　合、1ページをご参照願います。

方　式取付可否 × × ×

リードスイッチ警報


一般形 CE，UL対応形


39

P-010■　概　　要P-010シリーズは、ご好評いただいているP-100シリーズに、使用流体を水・空気・窒素用に限定してロット生産に対応したパージメータです。同一仕様で10台以上ご必要な場合は是非ご検討下さい。また、レーザーによる凸形レンズ方式の採用で、目盛が読みやすくなりました。

■　主な用途　一般装置用（小流量）、水ライン、空気／窒素ライン用

■　形式コード



■　標準流量表（ガス体で使用圧力が 0 MPa以外の場合はご相談下さい。）

40

■　標準仕様　

測定対象

流量レンジ

・気体は20 ℃、0 MPa (1atm) 　の目盛です。・流量は形式コードで選定　願います。

標準品はパッキン材質が NBRのため、max.80 ℃となります。

水

気　体

（空気 / 窒素）

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

接続方法　　標　準

　　　　　オプション

取付方法


本体接液部

テーパ管

パッキン

本体サポート

前面パネル

目盛板

最小レンジ：5～50 mL/min

最大レンジ：0.4～2 L/min

最小レンジ：0.1～1 L/min（nor）

最大レンジ：5～50 L/min（nor）

10:1 一部10:2となります。

±5 %F.S.

0.8 MPa

120 ℃

標準

SCS14

耐熱ガラス

NBR（max.80 ℃）フッ素ゴム（max.120 ℃）

A6063-T5

ABS


Rc1/4

NPT1/4

パネル前面のロックナット取付

0.35 kg

材　質

液体

気体（空気／窒素： 0 ℃, 0 MPa）


方　式

リードスイッチ警報一般形 CE, UL対応形


取付可否 × × ×

0.1～1 L/min（nor）








AIR（0 MPa,0 ℃）

水

5～50 mL/min

10～100 mL/min

20～200 mL/min

30～300 mL/min

50～500 mL/min

0.1～1 L/min

0.3～1.5 L/min

0.4～2 L/min


流れ方向

バルブ

警報出力


パッキン材質

接続規格

接続口径

記入例

詳　細 P-01 -L -40 0 N -R 2

2Z

R NNBR（標準）フッ素ゴム

SCS14（標準）

N F

40

0 L

U

0

1/4（標準）特殊

Rcねじ（標準） NPTねじ

なしなし下（ガス体は、大気圧目盛の場合）上（ガス体は、加圧目盛又は二次側が　負圧の場合）

下後→上後

パネルの前面ロックナット取付パネルの前面ロックナット取付



Ｐ-010-□0-□□-□□□


流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥


41

●パネルカット寸法

■ 外形寸法

●標準タイプP-010-U0-4N-R□（バルブ上側）

115

2–φH

パネルカット

115

（31） 17（30）

（140）

2–D

2–d

OUT

IN

（MAX.27）

D d M18 M18

H 20 20


Rc 1/4 NPT1/4

部品名称標準材質製作可能材質本体接液部　 SCS14 ― テーパ管　耐熱ガラス ― フロート　 SUS304/ガラス PTFE/ルビーパッキン　 NBR フッ素ゴム本体サポート　 A6063-T5 ― 前面パネル　 ABS ― 目盛板ポリカーボネート ―

●標準材質

○ ○ ○ ○


42

P-060■　概　　要アクリルの一体成型品で、超小型のスタンダードタイプのパージメータです。スマート＆低価格なので、ロット量産型に最適です。全長105 mm、幅22 mmと全長114 mm、幅 30 mmの 2機種があります。

■　主な用途　

水ライン、空気／窒素ライン用




■　標準仕様　

測定対象液体（水相当：密度1.0 g/cm3、粘度1.0 mPa･s）

気体（空気／窒素）

流量レンジ

・気体は20 ℃, 0 MPa 　（1 atm）の目盛です。・水相当は密度　1.0 g/cm3、粘度1.0 　mPa・sの目盛です。・流量レンジは形式　コードで選定願いま　す。

水

気　体

（空気/窒素）

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

本体接液部

フロート

パッキン

キャップ

継　手

目盛板

ロックナット

接続方法

取付方法


10：1　一部10：2 となります。

±5 % F.S.

0.5 MPa

50 ℃

最小レンジ： 10～100 mL/min

最大レンジ： 0.3～3 L/min

最小レンジ： 0.3～3 L/min

最大レンジ： 1～10 L/min

小流量タイプ

（本体コードA）

大流量タイプ

（本体コードB）

最小レンジ： 0.2～2 L/min（nor）

最大レンジ： 5～50 L/min（nor）

最小レンジ： 5～50 L/min（nor）

最大レンジ： 30～300 L/min（nor）

小流量タイプ

（本体コードA）

大流量タイプ

（本体コードB）

材　質

標　準

標　準

オプション

小流量タイプには付属しません。

（小流量タイプ）Rc1/8

（大流量タイプ）Rc3/8

Rc1/4

（小流量タイプ）

パネル前面ネジ取付

（大流量タイプ）

パネル前面ロックナット取付

（小流量タイプ） 95 g

（大流量タイプ） 120 g

PMMA

SUS304 / PTFE / ガラス / ルビー

NBR

POM

SUS304


POM

標準


取付可否 ○ ×

方　式リードスイッチ警報 CE, UL対応形 PAUオプティカルアラームユニット











水警報設定範囲水警報設定範囲

警報出力コードが0の時

小流量

タイプ

大流量

タイプ

警報出力コードがA～Dの時

10～100 mL/min

40～400 mL/min

0.1～1 L/min

0.2～2 L/min

0.5～2.5 L/min

0.3～3 L/min

0.3～3 L/min

0.5～5 L/min

1～10 L/min





0.1～1 L/min

0.2～2 L/min

0.5～2.5 L/min

0.3～3 L/min

0.3～3 L/min

0.5～5 L/min

1～10 L/min

0.2～0.8 L/min

0.4～1.6 L/min

0.5～2 L/min

0.6～2.4 L/min

0.6～2.4 L/min

1～4 L/min

2～8 L/min





AIR またはN2 0 MPa（1 atm）, 20 ℃

AIR またはN2 0 MPa（1 atm）, 20 ℃




P-062-□□□□□-□□-□□□ ご指定不要

水空気窒素

なしリードスイッチ下限OPEN リードスイッチ下限CLOSE リードスイッチ上限OPEN リードスイッチ上限CLOSE

バルブなしバルブ下

下後→ 上後他の液体／気体

0 0 0 10 0 0 40 0 1 00 0 2 00 0 2 50 0 3 00 0 2 00 0 5 00 1 0 00 2 0 00 3 0 00 5 0 0

LANZ

2

0ABCD

0L

記入例

詳　細 P-06 2 0 0 0 1-L -L 0 -R1 A

R1R2

Rc1/8（標準） Rc1/4

A 小流量タイプ（幅22 mm、全長105 mm）

水 : 100 mL/min " 400 mL/min " 1 L/min " 2 L/min " 2.5 L/min " 3 L/min気体 : 2 L/min (nor) " 5 L/min (nor) " 10 L/min (nor) " 20 L/min (nor) " 30 L/min (nor) " 50 L/min (nor)

■ 形式コード（本体コード： A）

水空気窒素

なしリードスイッチ下限OPEN リードスイッチ下限CLOSE リードスイッチ上限OPEN リードスイッチ上限CLOSE

バルブなしバルブ下

下後→ 上後他の液体／気体

0 0 3 00 0 5 00 1 0 00 5 0 01 0 0 02 0 0 03 0 0 0

LANZ

2

0ABCD

0L

記入例

詳　細 P-06 2 0 0 3 0-L -L 0 -R3 B

R2R3

Rc1/4Rc3/8（標準）

B 大流量タイプ（幅30 mm、全長114 mm）

水 : 3 L/min " 5 L/min " 10 L/min気体 : 50 L/min (nor) " 100 L/min (nor) " 200 L/min (nor) " 300 L/min (nor)

■ 形式コード（本体コード： B）

流れ方向

流体種類

流量レンジ

バルブ

警　報

接続口径

本体コード

流れ方向

流体種類

流量レンジ

バルブ

警　報

接続口径

本体コード

小流量タイプ大流量タイプ

43

■ 外形寸法●本体コードA　標準タイプ（口径Rc1/8）

(MAX.28) 26 12

10.5

84

3

深6

OUT

IN

63 84

10.5

22

105 14

▼ ▼

KEISOJAPAN

TOKYO

パネル

2-φ152-φ42-Rc1/8

2-M3

TOKYOJAPAN

KEISO

▼ ▼

(MAX.29)

114

30

8484

33 20

15

パネル（t=3～10）

2-M23

2-Rc3/82-φ25

IN

OUT

パネル

2-Rc1/82-φ15

2-φ4

深62-M3

2-M3

(MAX.28) 26 12

10.5

84

OUT

IN

63 84

10.5

2-φ15

48

13.5

57

12 12

14

22

105

深6

(1)

▼ ▼

KEISOJAPAN

TOKYO

114

30（1） (MAX.29) 33 20

15

IN

OUT

84

パネル（t=3～10）

2-M23

2-Rc3/8

32

2-φ25

1515

54 84φ12

（31）

●本体コードA（口径Rc1/8、警報付き） ●本体コードB（口径Rc3/8、警報付き）

●本体コードB　標準タイプ（口径Rc3/8）

パネルカットパネルカット

パネルカットパネルカット

注）並列に設置する場合（警報付き）フロート内にマグネットが埋め込まれている為、取付距離が短いとお互いに干渉し、正確な流量表示ができなくなることがあります。取付距離が50mm以下になる場合はご相談下さい。

PMMA SUS304/PTFE/ガラス/ルビー SUS304 SUS304 POM NBR SUS304 ポリカーボネート

本体フロートバルブ本体ニードルキャップパッキン継手目盛板

部品名称標準材質

●標準材質

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○


製作可能材質

― ― ― ― ― ― ― ―

44

YP■　概　　要YPは全長80 mm．面間60 mmのコンパクト形パージメータです。コンパクトサイズなので各種装置の組み込みに最適です。液体・気体用に対応できます。

■　主な用途　簡易な流量監視など

■　標準仕様







　YP-□-□□ ご指定不要

0.02 ~ 0.2 L/min (nor)

0.05 ~ 0.5 L/min (nor)

0.1 ~ 1 L/min (nor)

0.2 ~ 2 L/min (nor)

0.5 ~ 5 L/min (nor)

1.5 ~ 8 L/min (nor)

3 ~ 15 L/min (nor)

L -A1YP-

A1

A2

A3

A4

A5

A6

A7

0.02 ~ 0.2 L/min (nor)

0.05 ~ 0.5 L/min (nor)

0.1 ~ 1 L/min (nor)

0.2 ~ 2 L/min (nor)

0.5 ~ 5 L/min (nor)

1.5 ~ 8 L/min (nor)

3 ~ 15 L/min (nor)

5 ~ 30 mL/min

15 ~ 80 mL/min

30 ~ 100 mL/min

40 ~ 200 mL/min

100 ~ 500 mL/min

N1

N2

N3

N4

N5

W1

W2

W3

W4

W5

0

L

U

N6

N7

バルブ

流量レンジ

記入例

詳　細

空　気

窒　素

水相当

なし

下

上

方　式

リードスイッチ警報 CE, UL対応形


一般形取付可否 × × ×

液体（水相当：密度1.0 g/cm3，粘度1.0 mPa・s)

気体（空気，窒素）

・気体は20 ℃, 0 MPa（1 atm）　の目盛です。・水相当は密度1.0 g/cm3、　粘度1.0 mPa・sの目盛です。・流量レンジは形式コードで　選定願います。

10 : 1 一部10:2程度となります。

±10 % F.S.

0.4 MPa 耐圧試験値0.5 MPa

60 °C

下後→上後

0.2 kg

SUS316

標準

SPCC (Steel) マンセルN1.2ツヤ消シ

Rc1/8

: 0.02~0.2 L/min (nor)

: 3~15 L/min (nor)

: 5~30 mL/min

: 100~500 mL/min

流量レンジ


: 0.02~0.2 L/min (nor)

: 3~15 L/min (nor)窒素 (N2)

測定対象

空気(Air)

水相当

耐熱ガラス

フッ素ゴム



標　準

標　準

本体接液部

テーパ管

パッキン

本体サポート

カバー

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

材　質

接続方法

取付方法

流れ方向

最小レンジ最大レンジ

最小レンジ最大レンジ最小レンジ最大レンジ


バルブ上側

バルブ無し

●パネルに取付けられる際は、1度ロックナットを緩めパネルに取付後、再度ロックナットにて固定して下さい。●配管等にそのまま取付けられる際は、ロックナットは緩めずにご使用下さい。●取付の際は、配管応力がかからないようにして下さい。

■ 外形寸法

(24)

80

(MAX.23) (22) (12)

パネルカット

2-Rc1/8

OUT

IN

パネルMax.t5

6060

2-φ16

(24)

80

(22) (12)

2-Rc1/8

OUT

IN

パネル Max.t5

6060

パネルカット

2-φ16

○ ○ ○ ○ ○

― ― ― ― ― ― ― ―

部品名称本体 SUS316 テーパー管耐熱ガラスフロート SUS316,ガラス,ルビーパッキンフッ素ゴムバルブ SUS316 保護カバーポリカーボネート取付板 SPCC ロックナット C3604B


●標準材質標準材質

※


製作可能材質

45

46

パネルカット

●標準材質

XP■　概　　要エンジニアリングプラスチック一体成型本体を採用した標準仕様パージメータ。スマート、コンパクトなデザインです。即納、低価格でコストダウン、在庫低減に貢献します。

■　主な用途　短納期対応，一般装置用

■　標準仕様



詳細仕様ご指定項目　（お客様指定目盛の場合のみ）


XP-□□-□□ 流体名－流量レンジ－圧力－温度－取付方法オプション－その他オプション ① ② ③ ④ ⑤ ⑥




■　外形寸法

XP-□□ -U0 XP-□□ -L0

部品名称　　標準材質製作可能材質本体　ポリアセタール ― テーパ管　耐熱ガラス ― フロート　 SUS316,ガラスルビーパッキン　フッ素ゴム ― バルブ　ポリアセタール ― カバーポリカーボネート ― ○印の付いている部品は、計測流体に接触します。 ※：仕様により適切な材質を選定します。

※

○ ○ ○ ○ ○


流量レンジ

GAS （空気相当）

水

有効目盛範囲

流量指示精度

最高使用圧力

最高使用温度

材　質

本体接液部

テーパ管

パッキン

カバー

接続方法

取付方法

標　準

標　準


最小レンジ：0.1～1 L/min（nor）

最大レンジ：2～20 L/min（nor）

最小レンジ：0.02～0.1 L/min

最大レンジ：0.2～1.0 L/min

10：1

±5 ％F.S.

0.4 MPa

50 ℃

標準

POM（ポリアセタール）

耐熱ガラス

フッ素ゴム


Rc1/4


0.1 kg




× × ○


エンジニアリングプラスチック一体成型本体です。

・気体は20 ℃, 0 MPa（1 atm）　の目盛です。・水相当は密度1.0 g/cm3、　粘度1.0 mPa・sの目盛です。・流量レンジは形式コードで　選定願います。


流量レンジ

バルブ

警報出力

記入例

詳　細 XP- L1 0-L

0 なし E PAUアラームユニット付属

0 なし L 下（ガス体は，大気圧目盛の場合） U 上（ガス体は，加圧目盛の場合）

L1 0.02～0.1 L/min L2 0.04～0.2 L/min L3 水 0.06～0.3 L/min L4 0.1～0.5 L/min L5 0.2～1.0 L/min G1 0.1～1 L/min（nor） G2 0.3～3 L/min（nor） G3 0.6～6 L/min（nor） G4 1.0～10 L/min（nor） G5 2.0～20 L/min（nor） 00　お客様指定目盛詳細仕様ご指定項目をご参照願います。


GAS （空気相当）

IN

28 32 5

112

Rc1/4

2530

２×Ｍ４（深５）

80

Rc1/4ＯＵＴ

(MAX.23)

IN

28 32 5

112

Rc1/4

2530

２×Ｍ４（深５）

80

Rc1/4ＯＵＴ

(MAX.23)

2530 80

2×φ24

2×φ4.5

Pシリーズパージメータには流量警報用リードスイッチ接点を搭載することができます。フロート位置による瞬時流量監視に加え、下限または上限流量警報接点を得ることができますので、各種パージプロセスの断流監視、流入量制限などのコントロールにも有効です。（搭載可能形式および流量範囲に制限があります。ご注意下さい。）一般型リードスイッチの他にUL規格認証のリードスイッチ警報もありワールドワイドの要求にお応えします。

■　標準仕様●一般型リードスイッチリードスイッチタイプ警報製作可能形式　　 P-100,P-200,P-510,P-520,P-530,P-620,P-772,P-773,　　 P-774,P-820,P830,P-060

警報点数 1点（上限または下限）オプションで2点警報も製作します。ただし設定可能範囲など制限がありますので、詳細はお問い合わせ下さい。

警報設定可能範囲標準　フルスケールの20～ 80 %（上限：50～80 ％、下限：20～50 ％）※前面可変タイプの場合は、設定流量が標準と　異なります。　詳細はお問い合わせ下さい。

接　点リードスイッチ（自己保持形）最大接点容量 AC 10 VA,DC 10 W最大使用電圧 AC 125 V,DC 100 V最大負荷電流 0.5 A

接　続リード線（50 cm）接続（2 mもご指定可能です。）P-510形およびP-520形はその他オプションコードでターミナル不要のご指定ができます。

接断差

構　造防水構造周囲温度－10～ 60 ℃注）並列に設置する場合フロート内にマグネットが埋め込まれているため、取付距離が短いとお互いに干渉し、正確な流量表示ができなくなることがあります。取付距離が100 mm以下になる場合はご相談下さい。接点動作

● UL規格認証リードスイッチUL規格認証リードスイッチを使用した警報接点の製作が可能です。1．ファイルナンバー：E1795692．カテゴリ：NRNT2／NRNT83．UL規格：UL5084．仕様・スイッチ型番：RS-803SH-06，TS2-SH・最大使用電圧：DC 24 V・最大開閉容量：DC 10 W・使用電流範囲：DC 10μA～DC 0.5 A・接続：リード線接続（2 m付属）・構造：防水構造（IP67相当）・周囲温度：0～ 50 ℃リードスイッチ取付可能形式であれば、UL規格対応可能です。

● CEマーキングの対応についてリードスイッチ付製品をヨーロッパEU圏へ輸出する場合、次の対応をすることで、CEマーキングの対象外となり、輸出できます。1．リードスイッチの定格をUL規格認証リードスイッチと同じ仕様に限定する。

2．お客様の負荷がEMC指令適合品であり、製品設置周囲に、電磁波ノイズの発生源が無いこと。

＜対象除外理由＞1．EMC指令(2004/108/EC)リードスイッチ付製品は、電子部品を搭載した基板がないため、電磁波ノイズの発生源がありません。（外部ノイズの影響は、お客様の負荷や設置状況に依存しますので、メーカー側では判断できません。）

2．低電圧指令(2006/95/EC)リードスイッチの定格をUL規格認証リードスイッチと同じ仕様にすることで、低電圧指令範囲（AC 50～1000 V、又はDC 75～ 1500 V）の対象外となります。

リードスイッチタイプ　●警報付きパージメータ警報出力用付属ユニット

下限警報上限警報 P-□□□-□A P-□□□-□B P-□□□-□C P-□□□-□D

：CLOSE（接点閉）：OPEN （接点開）

：警報動作点：警報復帰点

（A接点）（B接点）（B接点）（A接点）下限　OPEN 下限　CLOSE 上限　OPEN 上限　CLOSE

リードスイッチを取付けたP-510パージメータ

注）パネルは非磁性体をご使用下さい。

※目盛長によって異なる場合もあります。

　　　形式 P-100,P-200,P-821 P-510,P-520,P-530,P-620, P-772,P-773,P-774,P-823, P-830,P-060

接断差（% F.S.） 25 20

47

●リードスイッチタイプ警報付パージメータ各形式の標準外形図

P-100-U□ -4N-R2形P-200-U□ -4N-R2形

P-510-L□ -4N-R3形

P-620-U□ -BN-R3形

P-823-3□ -6F-R2形

パネルカット

48

T

OPEN SHUT

KOYOKO

SIE

(10)

(30)

(L1)

2-Rc1/4

(MAX.36) 35 19

4.5

4.5

2-M18

パネルMAX.t.10

L2 L2

2-φ20

IN

OUT

L320

20

パネルカット

L1 L2

140 115

225 200

P-100-U□-4N-R2

P-200-U□-4N-R2

L3

75

160

OPEN SHUT

(53)or(59)

200

45(MAX.42)

2-Rc3/8

IN

OUT

(17) 22(229)

49(28)

200

(22.5)

155

(22.5)

29

2-φ28

2-φ4

パネルカット

33

IN

OUT

T

EKYK

O

O ISO

O S

32(MAX.31)

(252)

224

18 2-Rc1/4

224

20

2-φ22

φ10

上限CLOSE(ON)下限OPEN(OFF)

上限OPEN(OFF)下限CLOSE(ON)

上限警報の場合、リード線の取り出しは下になります。下限警報の場合、リード線の取り出しは上になります。

パネルカット

PAU　●オプティカルアラームユニット

警報出力用付属ユニット

■　概要PAUオプティカルセンシングタイプのアラームユニットで、ほとんどのパージメータに付加することができます。信頼性の高いオプティカル方式で断流警報、常用流量値確保の確認など、従来現場直示であった各種のパージメータ計測プロセスのリモート化を低コストで行なうことができます。

■　標準仕様取付可能パージメータ形式

形式：P-100,P-200,P-510,P-520,P-710,P-771,　P-772,P-773,P-774,P-810,P-820,　XPシリーズパージメータ

出力：オープンコレクタ（NPN）出力定格　DC 30 V,80 mA

動作：ダークON（遮光時にオープンコレクタON）応答時間：0.5 ms以下電源：DC 24 V± 10 %（電源リップル10 %以内）消費電流：37mA以下（投・受光器）感光調整ボリューム：装備動作表示：LED表示灯装備結線：コード引き出し式（リード線渡し）コード長：投光器0.1 mm2× 2C（2 m）

　受光器0.1 mm2× 3C（2 m）構造：防水密閉（IP64相当）材質：外装液晶ポリエステル（ポリプロピレン充填）周囲照度：3000ルクス以下周囲温度：－25～＋55 ℃（結露しないこと）周囲湿度：85 ％RH以下

■　PAUアラームユニットの使用例

■　パージメータへの取付例P-710-UE-GT-R1形

P-771-0E-TW-TB形

XP-□□ -LE形

オプティカルアラームユニットを取付けたP-771パージメータ

49

記入例・水・純水・その他の液体・N2 ・Air ・O2 ・H2 ・Ar ・He ・CO2 ・C3H8 ・その他のガス体

設計圧力のご指定設定基準温度のご指定

取付方法のご指定

オプションのご指定

液体の場合

ガス体の場合

液体の場合

ガス体の場合

常温（20℃）の場合

52ページのコード表にてご指定不要の場合

52ページのコード表にてご指定の場合

53ページのコード表にてご指定不要の場合

53ページのコード表にてご指定の場合

常温（20℃）以外の場合

ご記入例

流量体名のご指定（形式YP,P-850, XPはご指定不要）

※

最大流量のご指定 *（標準流量表を参照） *（形式P-773,YP,P-850, 　XPはご指定不要） ※ ※ ※

※P-850，XP，YP 形で、お客様指定目盛の場合はご指定下さい。


3,4

5,6

7,8

9,10

11,12

13,14

15,16

17,18

19,20

21,22

23,24

25,26

27,28

29,30

31,32

33,34

35,36

37,38

39

40,41

42,43

44

46

P-100

P-200

P-300

P-400

P-510

P-520

P-530

P-620

P-710

P-771

P-772

P-773

P-774

P-810

P-820

P-830

P-850

P-880

P-900

P-010

P-060

YP

XP


① ② ③ ④ ⑤ ⑥

流体名形式名流量レンジ圧力温度取付方法オプション

その他オプション

掲載ページ

0.4 MPa 未満

0.4 MPa 以上

基本形式のバ

ルブコードL

または大気圧

目盛の場合

基本形式のバ

ルブコードU

または加圧目

盛または二次

側真空の場合

ご指定下さい

ご指定不要

省略して下さい





ご指定下さい

ご指定不要

ご指定下さい

ご指定不要

ご指定下さい

ご指定不要

ご指定不要ご指定下さい

流量計の一次

側の圧力をご

指定下さい。

0 MPa（1 atm）

として納入いた

します。

選定可否表にて

コードNoをご指定下さい

選定可否表にて

コードNoをご指定下さい

□□℃ 等

□□□ MPa等

□□ MPa 等

□□ mL/min （nor）等

□□ L/min （nor）等

□□mL/ min等

□□L/ min等

ご不明な点がある場合には、51～55ページのワンポイントアドバイスをご参照願います。





・基本形式コードは、各シリーズの形式コード表にてご選定願います。・基本形式コードの中で「Z」等の　特殊なご選定をされる場合はご相談下さい。

・各形式に掲載している「ご注文方法」には、下記の様な記載があります。〈例〉P-100シリーズの場合

製品ご選定時のアドバイス

★ 詳細仕様ご指定項目　選定の手順→ ご指定不要の項目は省略して下さい。

50

・ご使用になる流体名をご指定願下さい。　　〈例〉水 , N2, AIR, O2, H2, Ar, He, CO2, C3H8等　

・流体の密度と粘度をご連絡下さい。上記例の様な流体名の

場合は、流体名のみで承ります。

・標準流量表をご参照の上、最大流量をご指定下さい。　* 0.2 ～ 2 L/min の場合→2 L/min　* 1～ 10 L/min（nor）の場合→10 L/min（nor）

・標準流量以外の流量レンジもご選定できますのでご指定下さい。

・標準流量表以外の流量単位も、ご選定できますのでご指定下さい。　　　〈流量単位例〉液体の場合→ ・1000 mL/min

　=1 L/min・1000 mL/h=1 L/h

ガス体の場合→ ・1000 mL/min（nor）　=1 L/min（nor）・1000 L/h（nor）=1 m3/h（nor）・1000 mL/min（std）　=1 L/min（std）・1000 L/h（std）=1 m3/h（std）等

・流体が、水（密度1.0 g/cm3，粘度1.0 mPa･s）または空気　（温度0 ℃，圧力0 MPa）以外の場合は、換算式にて補正し、　該当する流量レンジにあてはめます。　　　〈換算式〉

液体の場合 ― 1ページの右側をご参照願います。

ガス体の場合 ― 1ページの左側をご参照願います。

・使用圧力および圧力単位をご指定下さい。

〈記入例〉 0MPa（=1 atm）

0.1 MPa

・設計基準温度および温度単位をご指定下さい。

〈記入例〉　 20 ℃

＜国際単位系SIについて＞

計量法の改正により、新計量法に準拠したSI単位の使用が義務づけられましたので、仕様のご指示はSI単位系にてお願い致します。

ガラス管面積流量計の選択にあたっては、以下の事項を考慮、検討しご選定ください。

不適とされる流体の仕様条件および環境として1 動圧（衝撃圧力）が予想（ある）される流体ライン。

2 万が一ガラス管が破損した場合、二次的な災害が予想されるライン。

　・毒性（刺激性、麻酔性などを含む）のある流体　・引火性のある流体　・爆発性のある流体3 ガス体で、ガラスが破損した時にガラス片が飛散し、人身事故などが考えられる場合。

4 設置場所が、外部からの飛散してきた異物などでガラスの破壊が考えられる揚合。

5 運転がON・OFF運転で、フロートが急上昇し、その衝突でガラスが破損すると考えられる場合。

6 熱衝撃（急冷、急熱）の運転が予想されるライン。7 苛性ソーダ、フッ化水素などのガラスを浸食する流体。

・ガラス管面積流量計の選択についての注意事項

51

① 流体名　ワンポイントアドバイス

② 流量レンジ　ワンポイントアドバイス

③ 圧力　ワンポイントアドバイス

④ 温度　ワンポイントアドバイス

取付方法

コードNo. A B C D E F G




ベゼル（化粧板）によるパネル取付

付属金具によるパネル取付

スタンド付フランジ取付（JIS10K以外はご指定下さい）

形式掲載ページ

P-100

P-200

P-300

P-400

P-510

P-520

P-530

P-620

P-710

P-771

P-772

P-773

P-774

P-810

P-820

P-830

P-850

P-880

P-900

P-010

P-060（本体コードA）

P-060（本体コードB）

YP

XP

ご指定不要

ご指定不要

×

ご指定不要

ご指定不要

×

×

×

×

×

×

×

×

ご指定不要

ご指定不要

×

○

ご指定不要

×

ご指定不要

×

ご指定不要

○

×

×

×

×

×

ご指定不要

ご指定不要

ご指定不要

ご指定不要

ご指定不要

ご指定不要

ご指定不要

ご指定不要

ご指定不要

×

×

ご指定不要

○

×

ご指定不要

×

ご指定不要

×

×

ご指定不要

○

○

×

×

△

○

△

×

ご指定不要

△

△

△

×

×

×

×

○

×

×

×

×

×

×

×

○

○

×

×

○

×

○

×

×

×

×

×

×

○

○

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

○

○

○

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

○

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

×

○

○

×

○

○

×

×

×

×

×

×

×

×

○

○

×

×

×

×

×

×

×

×

×

3

5

7

9

11

13

15

17

19

21

23

25

27

29

31

33

35

37

39

40

42

42

44

46

取付方法オプション（選定可否表）

52

⑤ 取付方法オプション　ワンポイントアドバイス

　・標準取付方法以外の取付方法を以下にてご指定できます。　・ご希望の取付方法がある場合、下記コードNoをご指定下さい。　・ご指定不要の場合は省略して下さい。（基本形式コードで選択済みとなります。）　・△で取付ねじを付属する場合は別途ご指示下さい。

〈ご指定例〉標準仕様のP-100シリーズ、N2、1～10 L/min（nor）、バルブ下についてベゼルによるパネル取付をご指定したい場合

① ② ③ ④ ⑤ ⑥P-10□ -□□ -□□ -□□　-流体名-流量レンジ -圧力 -温度 -取付方法オプション-その他オプション

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　選定可否表のコードNoより　D　を指定する。従って、ご注文方法は、

P― 100―L0― 4N―R2―N2―10 L/min（nor）―D　となります。

バルブ下の標準形式流体名流量レンジベゼルによるパネル取付の指定

　　　　　　　　　　注）圧力、温度の指定は　ご指定不要　となるため省略となります。

その他オプション（選定可否表）

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　選定可否表のコードNoより　M　を指定する。従って、ご注文方法は、

P ― 510 ― UA ― 4N ― R3 ― 水 ― 20 L/min ― M　となります。

バルブ上、警報コードAの標準形式　流体名　流量レンジ　2点警報の指定

　　　　　　　　　　　　　　　　　　注）圧力、温度の指定は　ご指定不要　となるため省略となります。

オプション

コードNo. L M N O P Q R S T

2点警報 CE,UL対応リードスイッチを使用

ターミナル位置orターミナル無の指定

リードスイッチリード線長さの指定

2重メモリ／特殊目盛

チェック弁内蔵

バルブロック機構各種継手付警報前面

可変タイプ

正面からのアラーム位置設定可能となります。（P-773, P-774, P-830はご指定不要）

標準の1点警報に対して上下限警報,下 ,下限警報等2点警報のご指定ができます。

50ページ記載のリードスイッチを使用（P-530, P-830, P-060はご指定不要）

警報用のターミナル位置指定（背面，上部）orターミナル不要のご指定ができます。

標準リード線長さ50 cm に対して2 m の長さのご指定ができます。

二つの目盛、一点目盛、パーセント目盛等をご指定できます。

逆流防止のチェック弁を内蔵したタイプをご指定できます。

流量設定値ずれ防止機構付バルブのご指定ができます。

ＳＷ、ＶＣＲ,オスメスソケット，タケノコ継手等付属のご指定ができます。（サイズ、材質はご指定下さい）

オプション項目

形式掲載ページ P-100 P-200 P-300 P-400 P-510 P-520 P-530 P-620 P-710 P-771 P-772 P-773 P-774 P-810 P-820 P-830 P-850 P-880 P-900 P-010 P-060 （本体コードA） P-060 （本体コードB） YP XP

3 5 7 9 11 13 15 17 19 21 23 25 27 29 31 33 35 37 39 40

42

42

44 46

× × × × ○ × × ○ × × ×

ご指定不要ご指定不要 × ×

ご指定不要 × × × ×

×

× × ×

× △ × × ○ ○ × × × × ○ × × × △ × × × × ×

× × × ×

○ ○ × × ○ ○

ご指定不要 ○ × × ○ ○ ○ × ○

ご指定不要 × × × ×

ご指定不要

ご指定不要

× ×

× × × × ○ ○ × × × × × × × × × × × × × ×

× × × ×

○ ○ × × ○ ○ ○ ○ × × ○ ○ ○ ○ ○ ○ × × × ×

ご指定不要

ご指定不要 × ×

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ × × ○ ×

× × × ×

○ ○ × × ○ × × × × × × × × × × × × × × ×

× × × ×

○ ○ × × × × × × × × × × × × × × × × × ×

× × × ×

○ ○ ○ ○ ○ ○ × ○ ○ × × × × ○ ○ ○ ○ ○ ○ ×

× × × ×

（製作可否は　　　　ご相談下さい）

53

⑥ その他オプション　ワンポイントアドバイス　・以下の表の様なオプションをご指定できます。　・ご希望のオプションがある場合、下記のコードNoをご指定下さい。　・ご希望のオプションが二つ以上ある場合は、コードNoを続けてご指定下さい。　・オプションの詳細については、ご相談下さい。

〈ご指定例〉標準仕様のP-510シリーズで、パネルの前面ネジ取付、水、0.3 MPa、20 ℃、2～20 L/min、リードスイッチ下限OPEN警報付、バルブ上について　2点警報　をご指定したい場合

① ② ③ ④ ⑤ ⑥P-51□-□□ -□□ -□□　-流体名 -流量レンジ -圧力 -温度 -取付方法オプション -その他オプション

気体用

用　　途

液体用

条　　件

特になし

加圧気体

二次側が負圧

バルブ位置

上を推奨（下も可）

　　　　適　　用フロートを安定させるため上を推奨。

テーパ管部は加圧されるご指定圧力で納入します。

入口側にバルブをつけるとテーパ管部が真空となり、フロートがハンチングします。

上（出口側）

L/min （nor） AIR 0MPa 20℃

1）バルブ付の場合は一次側、二次側の圧力をご指示下さい。2）ご指示がない場合は、弊社としましては差圧0.05 MPaでバルブを設計致します。3）差圧0.05 MPa未満の仕様につきましては別途対応致します。4）気体用でバルブ位置を下（入口側）にご希望され圧力条件が大気圧（0 MPa）の場合、流量計出口側の圧力を大気圧（0 MPa）として製作致します。　詳しくはご相談下さい。

54

⑦ バルブ位置選定ガイド　ワンポイントアドバイス

⑧ 各種気体の密度　ワンポイントアドバイス・1ページ下段に主要気体物性表がございます。流量換算などの際にご参照願います。

⑨ フロートの読み取り位置　ワンポイントアドバイス・流量はガラス管上の目盛とフロート位置で読み取ります。読み取り位置はフロート形状により異なります。

　以下に一般的なフロート形状別の読み取り位置を示します。

　詳細は各製品の取扱説明書をご参照願います。

⑩ ご使用中の製品と同じものがご必要なとき　ワンポイントアドバイス・ご使用中の製品の弊社製造番号（工番）をご指定下さい。弊社製造記録により、同等製品を製作・納入致します。

　工番はテーパ管（ガラス管）下端に表示してございます。（工番例F98-123456-7）

中心

最上部最上部最大径部

最上部

1）液体計測仕様

Cγ =　　［γd（γf－γ）］/［γ（γf－γd）］Cγ ：換算係数γd ：設計密度（納入仕様書に記載されています。ご参照願います。）γ　：計測液体密度（今回計測する液体の密度です。）γf ：フロート部密度

・補正計算例水（密度 1.0 g/cm3）で設計された流量計にアルコール（密度0.8 g/cm3）を流し、流量計が10 L/minを示している場合。（フロート材質ステンレス）

アルコール真流量＝

10×　［1.0×（7.9－ 0.8）］/［0.8×（7.9－ 1.0）］

　　　　　　　　＝ 11.34 L/min

また設計条件と著しく粘度の異なる液体を計測する場合も誤差を発生することがあります。

この場合の補正につきましては個々の流量計の設計条件により異なりますのでお問い合わせ下さい。

2）気体計測仕様

●密度換算

Cγ＝　 γd／γCγ ：密度換算係数γd ：設計密度　kg/m3（nor）　　納入仕様書に記載されておりますのでご参照願います。γ ：計測気体密度　kg/m3（nor）

●圧力換算　目盛が（nor）または（std）表示の場合

Cp＝　（P+0.1013）／（Pd+0.1013）　目盛が使用状況下表示の場合

●温度換算　目盛が（nor）または（std）表示の場合

Ct＝　　（td+273）／（t+273）　目盛が使用状況下表示の場合

・補正計算例空気 1.293 kg/m3（nor）、20℃、0.3 MPaで設計された流量計で炭酸ガス 1.977 kg/m3（nor）を 40 ℃、0.6 MPaで流し、流量計が 10 L/min（nor）を表示している場合。

炭酸ガス真流量＝10×Cγ×Cp×Ct

　　　　　　　＝10×　 1.293/1.977

　　　　　　　　 ×　（0.6＋ 0.1013）/（0.3＋ 0.1013）

　　　　　　　　 ×　（20＋273）/（40＋273）

　　　　　　　＝ 10.34 L/min（nor）

55

⑪ 形式選択を早く行ないたい場合　ワンポイントアドバイス・2ページに目次・早見表 INDEX＆QUICK REFERENCEがございます。ご覧下さい。

⑫ 補正計算　ワンポイントアドバイス・パージメータは計測原理上、測定流体の仕様、物性値が設計条件と異なると指示誤差が発生します。　下記に補正方法を示します。

　　　Cp＝　（Pd+0.1013）／（P+0.1013）

　　　Ct＝　（t+273）／（td+273）

Cp ：圧力換算係数Pd ：設計圧力　MPa　納入仕様書に記載されておりますのでご参照願います。P ：運転圧力　MPa

　　　 Ct ：温度換算係数td ：設計温度　℃　納入仕様書に記載されておりますのでご参照願います。t ：運転温度　℃

Pシリーズパージメータ

●記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。●記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。

■仙台営業所〒981-3133 宮城県仙台市泉区泉中央 1-13-4　泉エクセルビルTEL：022-773-1451、FAX：022-773-1453

■茨城営業所〒310-0836 茨城県水戸市元吉田町 1042TEL：029-246-0666、FAX：029-246-0651

■長野営業所〒390-0852 長野県松本市大字島立 399-1　滴水ビルTEL：0263-40-0162、FAX：0263-40-0175

■富山営業所〒939-8006 富山県富山市山室 210-6　堀川山室ビルTEL：076-493-8311、FAX：076-493-8393

■大宮営業所〒330-0852 埼玉県さいたま市大宮区大成町 3-530 日の出ビルTEL：048-652-0388、FAX：048-666-6256

■厚木営業所〒243-0018 神奈川県厚木市中町 3-14-6　尾張屋ビルTEL：046-223-1141、FAX：046-223-5130

■静岡営業所〒416-0923 静岡県富士市横割本町 3-10　時田ビルTEL：0545-64-3551、FAX：0545-64-4026

■名古屋営業所〒461-0001 愛知県名古屋市東区泉 1-2-3　ソアービルTEL：052-953-4501、FAX：052-953-4516

■大阪営業所〒530-0026 大阪府大阪市北区神山町 8-1　梅田辰巳ビルTEL：06-6312-0471、FAX：06-6312-7949

■岡山営業所〒710-0055 岡山県倉敷市阿知 2-19-33　阿知ビルTEL：086-421-6511、FAX：086-421-6533

■徳山営業所〒745-0031 山口県周南市銀南街 1　徳山センタービルTEL：0834-21-0220、FAX：0834-21-6392

■北九州営業所〒802-0001 福岡県北九州市小倉北区浅野 2-14-1　小倉興産KMMビルTEL：093-521-4170、FAX：093-521-4185

■熊本営業所〒862-0949 熊本県熊本市中央区国府1-20-1 肥後水前寺ビルTEL：096-375-7327、FAX：096-375-7328

本　　社〒105-8558 東京都港区芝公園 1-7-24　芝東宝ビル TEL：03-3434-0441（代） FAX：03-3434-0455

流量計●面積式（パージメータ・パージセット含む） ●差圧式（オリフィス・Vコーン） ●電磁式 ●超音波式 ●コリオリ式 ●渦式 ●羽根車式 ●フローモニタ ●フロースイッチ ●サーマルフローメータ ●マスフローメータ・コントローラ ●定流量弁 ●サイトグラス ●開水路用流量計

液面計●フロート式 ●金属管式 ●サーボバランス式 ●スプリングバランス式 ●トルクチューブ式 ●磁歪式 ●電波式 ●超音波式 ●圧力式 ●レベルスイッチ（フロート式・ディスプレーサ式・静電容量式） ●光ファイバ・デジタルタンクゲージシステム ●舶用液面計システム ●受信計

その他●各種表示器 ●圧力発信器 ●流量積算・記録計 ●移動式定量出荷装置 ●自動車用測定装置 ●プロペラ風速計●LNG／LPG用密度計

製品品目

CF030F111-18OCT. 2013K

製品についてのお問い合わせを電子メールでも承ります。使用可否、形式選定などなんでも（Anything）ご遠慮なくどうぞ。

[email protected]

pシリーズ パージメータ - tokyokeiso.co.jp · p-774 掲載ページ p.27 p-810...

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pシリーズパージメータ - tokyokeiso.co.jp · p-774 掲載ページ p.27 p-810...