Tanner Tools

L-Edit & HiPer

レイアウト・エディタ & 検証ツール 操作手引書

Windows版

タナーリサーチジャパン株式会社

“L-Edit & HiPer”は米国 Tanner Research, Inc.の登録商標です。

その他の社名、製品名は各社の商標又は登録商標です。

開発元 ： Tanner Research, Inc.

Web: http://www.tanner.com

連絡先 ： タナーリサーチジャパン株式会社

〒102-0094 東京都千代田区紀尾井町 3-32 紀尾井町WITHビル 4階

Tel: 03-3239-2840

Fax: 03-3239-2848

Email: support.jp@tanner.com

Web: www.tanner.jp

本書ご利用にあたりまして、お気付きの点がございましたら、

技術サポート(Email: support.jp@tanner.com )までご連絡をいただければ幸いです。

Revision 2006.08 印刷日： 06/9/5 9時 15分

目次

1. はじめに......................................................................................................................................... 4 1.1. Tanner Toolsの概要................................................................................................................................................... 4 2. L-Editの基礎 ............................................................................................................................... 5 2.1. オンラインマニュアル ............................................................................................................................................ 5 2.2. 画面の構成...................................................................................................................................................................... 5 2.3. カスタマイゼーション ............................................................................................................................................ 6 2.4. ツールバー と ステータスバー........................................................................................................................ 6 2.5. 新規のプロジェクトとセルの作成................................................................................................................... 7 2.6. マウス操作...................................................................................................................................................................... 8 2.7. 図形描画........................................................................................................................................................................... 9 2.8. 一表示操作....................................................................................................................................................................13 2.9. レイヤパレット .........................................................................................................................................................14 3. 階層の確認..................................................................................................................................16 3.1. デザインナビゲータ ...............................................................................................................................................16 3.2. セルのインスタンス ...............................................................................................................................................17 3.3. セルを開く....................................................................................................................................................................17 3.4. 階層化されたセルに関する操作......................................................................................................................18 4. テクノロジの設定方法 .........................................................................................................20 4.1. 設定画面の説明 .........................................................................................................................................................20 4.2. GDSIIの読み込み方法............................................................................................................................................25 5. インバータ レイアウトの作成 ........................................................................................26 5.1. サンプル回路の説明 ...............................................................................................................................................26 5.2. 新規ファイルの作成 ...............................................................................................................................................27 5.3. トランジスタレイアウトの作成......................................................................................................................28 5.4. クロスセクションビューア ( CSV )..............................................................................................................38 6. デザインルールチェック （DRC） ..............................................................................40 6.1. DRCルール設定 ........................................................................................................................................................40 6.2. DRCの実行...................................................................................................................................................................41 6.3. レイアウト上のエラーナビゲーション ......................................................................................................41 7. Interactive DRC .........................................................................................................................43 7.1. Interactive DRC ルールの設定..........................................................................................................................43 7.2. Interactive DRCを用いた ICのパターンレイアウト ...........................................................................44

2

8. HiPer機能 - Calibre及び Draculaの DRCファイルの利用..............................46 8.1. Calibre及び Dracula の DRCルールファイルの利用 ..........................................................................46 8.2. DRC ルールファイルの編集..............................................................................................................................47 8.3. DRCエラー の修正.................................................................................................................................................47 8.4. Mentor社 Calibreの DRC結果を L-Editに取り込む............................................................................47 9. T-Cell .............................................................................................................................................48 9.1. 7.1 T-Cellの実行 .......................................................................................................................................................48 9.2. T-Cellの記述について...........................................................................................................................................49 10. SDL, NHL, EXT , LVS, LVL機能を紹介するサンプルプロジェクトの説明50 10.1. SDL （Schematic Driven Layout）機能 .......................................................................................................50 10.2. NHL （Node Highlight）機能 ..............................................................................................................................53 10.3. 抽出機能（EXT）機能 ...........................................................................................................................................54 10.4. レイアウト対回路図機能 （LVS - Layout vs Schematic）.............................................................57 10.5. レイアウト対レイアウト 機能（LVL – Layout versus Layout） .................................................61

3

1. はじめに

本資料は、（米）Tanner Research社 EDA Division で開発した ICレイアウト設計ツール L-Edit

と検証ツール HiPerの操作手引書です。

Tanner Research社 EDA Divisionでは、IC設計及びマイクロマシン設計用 CAD Tool（総称、Tanner

Tools）を開発しております。Tanner Toolsは、1988年の販売開始以来、Windows環境で動作する

設計ツールとして高い評価を頂いております。

本資料では、L-Editの基本的な操作方法を中心にまとめてあります。 詳細な設定・説明に関し

ては、オンラインマニュアル ledit.pdf（英語）を参照して下さい。この資料で利用されたファイル

は次の ftpサイトからダウンロードできます。

ftp://ftp.tanner.com/outgoing/Tanner_Japan/ledit-hiper.zip

1.1. Tanner Toolsの概要

下の図は、Tanner Toolsの構成を示しています。Tanner Toolsは、全ての設計プロセスを通じて

設計データがスムーズに流れるように考慮されています。

設計コンセプト

VHDL/Verilog S-Edit 回路図入力

デジタルシミュレーション

合成

T-SPICE シミュレーションW-Edit 波形表示

L-Edit アナログレイアウトT-Cells & SDL

L-Edit SPRHiPer DRC

L-Edit 抽出

L-Edit LVS

L-Edit チップアセンプリ

HiPerフルチップ DRC

L-Editフルチップ抽出& LVS

テープアウト

L-Edit DRC

アナログデジタル

EDIF

SDF

SPIC

E

SPIC

E

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2. L-Editの基礎 この章では、L-Edit を使用する上での基礎となる画面構成、ファイル操作、そして、レイアウ

ト編集の基本機能について説明します。

2.1. オンラインマニュアル

オンラインマニュアルは、メニューの Help > Layout Editor からアクセスできます。閲覧のた

めに Acrobat Reader が必要です。Acrobat Reader （または Acrobat）がインストールされていな

い場合、CD-ROMまたはウェブからインストールしてください。

2.2. 画面の構成

次の図は、L-Editの画面構成です。基本構成は、Windowsの構成に則っています。

タイトルバー

アクティブになっているファ

イル名・セル名が表示されます。 メニュー

スタンダード ツールバー

頻繁に使用するコマンドが

アイコン化されています。

座標 バー

カーソルの座標が表示

されます。

レイヤ リスト

アクティブレイヤの名前が表示されます。

レイヤパレット

描画するレイヤを選択します。

マウスボタンバー

三つボタンマウスの左、中央、右ボタンの機能で

す。Ctrlや Shiftや Altキーを押すと変わります。

二つボタンマウスの場合、Alt+左ボタンが三つ

ボタンの中央にあたります。

レイヤ カテゴリ

レイヤパレットに表示されるレイヤを限定します。

オンラインマニュアル

セル・ウィンドウの＜最小化＞＜

最大化＞＜閉じる＞ができます。

描画用 ツールバー

図形を描画すコマンドがアイコ

ン化されています。

エアリアル ビュー ツールバー

データ全体における描画エリアの位置を表します。

ステータスバー

選択したオブジェクト名・コマンドモード等が表示されます。

コマンド ライン ツールバー

コマンドをタイプできます。

詳細ボタン

選択したオブジェクトの詳

細な情報が表示されます。

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2.3. カスタマイゼーション

メニューの Setup > Application で、様々なオプションがあります。この資料で、枠の中に表示

されるオプションが選択されている仮定で説明しています。

Setup Applicationの設定は L-Edit\ledit.ini

ファイルに保存されます

メニューで利用される言語の選択

描画するオブジェクトセット

オンのとき、貼り付けられるオブジェクトはマ

ウスのカーサーの位置に配置されます。オフの

とき、ウィンドゥの中心に配置されます。

2.4. ツールバー と ステータスバー

L-Edit には、吹き出しのように幾つかのツールバー と ステータスバーがあります。それぞれ

のバーは、表示/非表示・移動・サイズの変更などの設定ができます。メニューの View > Toolbars

または View > Status Bar から任意のツールバーを表示・非表示することができます。また、ツ

ールバーの開いているスペースで右クリックすると任意のバーを表示・非表示でききます。

6

2.5. 新規のプロジェクトとセルの作成

L-Edit を起動した時、新規のデザインが立ち上がり、Layout0 という名前の空のセルが表示さ

れます。L-Editが既に起動した時、新しいデザインを開きたい場合、メニューの File > New コマ

ンドを実行し、下図のように、File Type を Layoutに設定し、 Copy TDB setup file 欄でデフォル

トの <empty> を選択してください。

描画を Cellと呼ばれるシートの上に書きます。1つのデザインに多数のセルをつくれます。新

規にセルを作るために、Cell > New を選択します。

ledit.tdbは、サンプルデザインです。開い

ている他のデザインがあれば、このウィン

ドゥに表示されます。

注意： デザインのすべてのセルを閉じたら、そのデザインも自動的に閉じられます。

ヒント： レイヤ名やフィルパターンなどテクノロジ設定を参照できる TDBファイルがあれば、

Browse ボタンをクリックして、その TDB ファイルを選択してください。そうすると、テクノリ

ジ設定を位置からする必要がなくなります。

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2.6. マウス操作

ここでは、L-Editで図形を編集する時のマウス操作について説明をします。

マウスボタンは三つボタンを想定していますが、二つボタンの場合は、Alt + 左ボタンで中央

ボタンと同様の働きをします。ホイルつきマウスの場合、三つボタンとして利用できます。

マウスバーに、各ボタンでできる操作が表示されます。Shift, Ctrl, Alt キーとそれらの組み合

わせで、ボタンの操作が変わりますが、基本的に左ボタンは描画、 中央ボタンは移動、右ボタン

は選択の目的で利用されます。

ヒント： L-Editを始めてご利用される方は、Setup > Application > Mouse タブで マウスのカーサ

ーの上に各ボタンの操作を表意させると便利です。

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2.7. 図形描画

Drawing (図形描画)ツールバーで希望の図形アイコンを左クリックして描画モードを選択しま

す。下記に表示されているオブジェクトを描いてください。

ヒント： 、Draw ツールバーにデフォルトで直交図形のアイコンしか表示されていません。すべ

ての描画アイコンを表示するために、メニューの Setup > Application > General タブで Drawing

Modeのドロップダウンメニューから All Angle & curves を選択してください。ショートカットは、

Draw ツールバーの上に右クリックし、表示されたメニューから All Angle & curves（最後）の項目

にチェックマークを入れて置きます。

ヒント： 座標バーに、編集中に絶対座標を常に表示させるために、メニューの Setup > Application

> General タブの Locator bar Display During Editingで Absolute Format を選択します。qキーを押

すたびに座標バーは、絶対座標表示から相対座標表示(qキー押した座標に対して)に切り替わりま

す。

絶対座標表示 X,Y

相対座標表示 dx, dy, R （赤紫色）

ヒント：図形描画中は、ステータスバーにレイヤ名、長さ、幅、面積、周囲長などの情報が表示

されます。

ヒント： Multi Grid Toolbarで、Mouse Gridをそれぞれ別の値に設定できる 3つのMouse Gridアイ

コンが用意されています。細かい図形を描きたい場合、グリッドを小さく設定した Mouse Gridを

選択します。

ヒント：図形描画の編集中に ESC キーを押せば、描画が中止されます。ESC キーをもう一度

押すと描画モードから選択モードに変わります。

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2.7.1. 四角形、円形の描画

四角形の描画： 左下になる座標から右上になる座標までマウスの左ボタンでドラッグします。

円形の描画 ： 中心になる座標から直径までマウスの左ボタンでドラッグします。

（20, 5）

r = 3.5

（9.5, 10）

（0,0）

2.7.2. ポリゴン、線の描画

L-Edit Function 補助キー マウスボタン マウス操作

開始 左 クリック

頂点の付加 左 クリック

終了 右 クリック

頂点のキャンセル 中央 クリック

4,5 右) (

32

1

4,5 (右) 3

2

1ワイヤ

ポリゴン

2.7.3. Arc、Torusの（円弧）の描画

L-Edit Function

設置

描画の開始

ｽｲｰﾌﾟｱﾝｸﾞﾙ/半径

描画の終了

90°パイ

幅=2um

補助キー マウスボタン マウス操作

左 クリック

左 クリック

ドラッグ

左/右 クリック

90°円弧

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2.7.4. オブジェクトの選択

オブジェクトを選択するために、選択モード時は左/右クリック両方とも使えますが、描画モー

ド時は、右クリックのみ使えますので、選択はいつも右クリックでするように心かけてください。

ヒント：重なっているオブジェクトを選択するには、クリックするごとにマウスカーサーの下に

ある全てのオブジェクトが一つずつトグルに選択されますので、マウスを移動せずに選択される

までにクリックし続けてください。選択されているオブジェクトの情報は、ステータスバーに表

示されます。

L-Edit Function 補助キー マウスボタン マウス操作

オブジェクトを選択（描画モード時） 右 クリック

オブジェクトを選択（選択モード時） 左/右 クリック

範囲内のオブジェクトを選択（描画モード時） 右 ドラッグ

範囲内のオブジェクトを選択（選択モード時） 左 ドラッグ

オブジェクトを追加選択 Shift 右 クリック

範囲内のオブジェクトを追加選択 Shift 右 ドラッグ

オブジェクトの選択を解除 Alt 右 クリック

範囲内のオブジェクトの選択を解除 Alt 右 クリック

エッジの選択 Ctrl 右 クリック

選択したエッジの移動 中央 ドラッグ

エッジの追加選択 Ctrl-Shift 右 クリック

エッジの選択を解除 Ctrl-Alt 右 クリック

2.7.5. 一部のオブジェクトのみの表示・非表示

レイアウトで非表示したいオブジェクトタイプがある場合、メニューの View > Object で非表

示したいオブジェクトのタイプを選択します。ショートカットは、Drawツールバーの同類のアイ

コンの上で右クリックし、View のチェックマークを外します。

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2.7.6. 選択したオブジェクトの移動

オブジェクトの移動はいつも中央ボタンです（補助キーを押しても変わりません）。Altキーを

押せば、マウスの左ボタンでも移動できます。

ヒント： 垂直または垂直にオブジェクトを移動するために Shiftキーを押します。

ヒント： オブジェクトを移動するために、Ctrl+矢印キーも使えます。Nudge（少しづつ移動）の

量をメニューの Setup > Design > Drawing > Nudge で設定できます。または、Mouse Grid ツール

バーで、Snap Grid を設定し、 ボタンをクリックします。

2.7.7. 選択したオブジェクトの編集

ボックスや多角形の寸法の変更： エッジまたは頂点の上で、中央ボタンでドラッグします。

ワイヤの編集： 頂点の上で、中央ボタンでドラッグします。

練習： 下記のような多角形をつくり、片方のエッジにアークを作りなさい。

（ヒント： オブジェクトを選択し、Ctrlキーでエッジを選択します。Ctrlキーを押した状態で、

中央ボタンでドラッグします。）

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2.8. 一表示操作

ここでは、レイアウト画面の表示・移動等の方法について紹介します。 ズームとパンのコマン

ドを確認してください。

t

L-Edit Function ショートカットキー

ズーム .

オブジェクト全体を表示 Home

前の表示に切り替え X

ズームイン Z 後、左ドラッグ

パン (クリックの位置を画面中

央にする) Z 後、中央クリック

ズームアウト Z 後、右クリック

再描画 スペースバー

拡大/減少 Ctrl ＋ ホイル

パン（画面の移動） .

画面の垂直移動 ホイル

画面の垂直移動 Shift＋ ホイル

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2.9. レイヤパレット

多数のレイヤがある場合、希望のレイヤで描画することができます。今までの作業を

Single_Layer.tdb という名称で保存し、下記のファイルを開いてください。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\SPR\Lights\lights.tdb

レイヤカテゴリ

選択されたレイヤ

フィルタ

描画できるレイヤ

レイヤ パレット

L-Edit Function 補助キー マウスボタン マウス操作

レイヤの選択 左 クリック

レイヤを隠す 中央 クリック

ティップメニューを開く 右 クリック

全レイヤを隠す/全レイヤを表示 Ctrl 中央 クリック

Setup Layerダイアログを開く 左 ダブルクリック

レイヤパレットの「レイヤカテゴリ」ドロップダウンの中から、レイヤパレットで表示される

レイヤ（Drawn, Generated, Special, All）をカテゴリ別に表示させることができます。さらに、Filter

フィールドの中に文字列を入力することで、名前にその文字列が含まれるレイヤのみを表示させ

ることも可能です。選択されたカテゴリに入って、そして Filter フィールドに入っている文字列

が名前に含まれているレイヤのみがレイヤパレットに表示されます。

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カテゴリを選択します。

選択したカテゴリでフィルタフィルタする文字列を入力

選択されたカテゴリで、上記の文字列を含むレイヤが表

示されます

2.9.1. オブジェクトからレイヤの選択

選択しているオブジェクトのレイヤを現在のオブジェクトにしたい場合、aキーを押します（メ

ニューの Draw > Pick Layer）。重なっているオブジェクトの場合、クリックするごとにマウスカ

ーサーの下にある全てのオブジェクトのレイヤが一つずつトグルに選択されますので、マウスを

移動せずに希望のレイヤが選択されるまでに aキーを押します。

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3. 階層の確認

3.1. デザインナビゲータ

L-Edit では、効率的にレイアウト設計を行うためにセルを使用してレイアウトデータを階層的

に作ることを勧めています。デザインナビゲータでは、階層構造の確認ができ、また、セルの配

置・新規作成・削除など編集にも使用できます。

この章で、下記のサンプルプロジェクトにおいて説明します。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\SPR\Lights\lights.tdb

メニューの View > Design Navigator を選択して、デザインナビゲータを立ちあげてください。

ドロップダウンリストからセルの好みの並び方を選択できます。階層構造は、Top Down –non

instanced の並び方で一番良くわかります。

[Collapse All ]は、全階層を集約します。

[Expand All は、全階層を展開します。

[Top down-all cells]は、ファイル内の全セルと、他の

セルの階層下に存在していないセル（トップのセル）

を表示します。

セルを選択してダブルクリックするとレイアウト

ウィンドウが開きます。

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3.2. セルのインスタンス

同じデザインの中のセル、または他のデザインのセルをインスタンス（配置）するために、メ

ニューの Cell > Instance (ショートカットは i キー)コマンドを実行します。デザインナビゲータ

から、希望のセルを選択し、ドラッグアンドドロップでレイアウト ウィンドウに配置することも

できます。

ヒント： セルのインスタンスがデフォルトでレイアウト ウィンドウの中央に配置されます。

メニューの Setup > Application General タブで Editing option 枠の の Paste to cursor をチェッ

クすれば、インスタンスがマウスカーサーの位置に表示され、希望の場所に自由に移動できるよ

うになります。

3.3. セルを開く

デザインナビゲータでセルを開くために、セルをダブルクリックします（または O キーを押

します）。レイアウトの中でセルを開くために Oキーを押して、セルを確認し Enter キーを押し

ます。

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3.4. 階層化されたセルに関する操作

3.4.1. サブセルの表示・非表示

下記の操作を確認してください。

メニューの View > Insides メニューの View > Hierarchy Level

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3.4.2. 配置されたサブセルを上位階層のウィンドウから編集 （Edit-in-place）

メニューのEdit > Edit-In-Place で下記のコマンドを確認してください。

階層下のセルの表示例

階層下のセルの表示の場合

はタイトルが File Explorerの

ように表示されます。

D キーを押して、セル

の内部が隠されます。

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4. テクノロジの設定方法

メニューの Setupの中デザインに関する設定はすべてテクノロジ設定と名づけられています。

テクノロジ設定はデザインファイルと一緒に保存され、他のデザインファイルと共有できます。

テクノロジ設定には下記のような設定が含まれています。

テクノロジ名

単位とグリッド

デフォルト設定

外部ライブラリ名

レイヤ情報

デザインルール など

この章で、一部のテクノロジ設定を下記のサンプルプロジェクトにおいて説明します。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\SPR\Lights\lights.tdb

4.1. 設定画面の説明

4.1.1. Setup Palette

Setup Palette画面では、レイヤで利用される色の定義が行われます。希望によって、色コード

（0000, 1000, 0100, 1100 … 1111）に割り当てられた色を RGB番号、または Color Pickerから再定

義できます。

注意： Setup Palette画面の一番上の色コードは 0000（デフォルトは白）が、レイアウト ウィ

ンドウのバックグラウンド色になります。

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4.1.2. Setup Design

[Technology]タブ

レイアウトを始める前に決定しなければいけない重要な設定です。

[Grid]タブ

[Grid]タブ では、表示グリッド・スナップグリッド・製造グリッドの設定ができます。

[Technology name] にはプロセス名を

付けます。

[Display units] では、座標やルーラの表

示単位が選択できます。

一般的には、[Microns]を設定します。

[Technology units] を設定します。一般

的には、MicronsかOtherを設定します。

[Internal Unit]では、座標の精度を設定し

ます。（小数点以下第何位まで表示す

るか）

[1 lambda] と[Microns]の割合を変える事

で、プロセスのシュリンクレートを変更

できます。

[Grid display] では、表示グリッドの設定

をします。

ここでは、Major display grid = 10 microns,

Display minor grid =1 Micron に設定して

います。

[Mouse grid] では、カーソルのスナッ

プの設定をします。ここでは、[0.5

Locator units]毎にカーソルがスナッ

プする設定になっています。

[Manufacturing grid]では、図形の近似が

行われたときのグリッドの最小単位を

設定します。

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[Drawing]タブ

[Port] のテキスト・[Nudge] の移動値・[Ruler] の設定をします。

[Xref files]タブ

ライブラリとして参照する tdb ファイルのリストです。上に表示されているファイルが先に参

照されます。

[Nudge（少しずつ移動）] の値の

デフォルトを設定します。

[Ruler] のデフォルトを設定

します。

[Port] のテキストサイズのデフォ

ルト値を設定します。

4.1.3. Setup Special Layers

[Setup Special Layers] では、L-Editのシステムが使用する特別なレイヤの設定をします。

デフォルトの[レイヤパレット]

の最初に位置するレイヤの指定

です。

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4.1.4. Setup Layers

[Setup Layers] では選択したレイヤに対し、[General]、[Derivation]、[Rendering] の三つのタブ

でパラメータを設定します。

[General] タブ

レイアウトデータのインポート・

エキスポート時の GDSII番号

レイヤの電気的なプロパティ。この値は、Extract

のパラメータ抽出、作画時のステータスバーのパ

ラメータ表示に利用されます。 レイヤ名リスト

新規にレイヤを作りたい

場合はここをクリック

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[Derivation] タブ

[Derivation] は、Boolean演算（AND・OR・NOT・GROW等）でレイヤを生成するための定義で

す。マスク用データの生成や EXTRACT 等検証用レイヤを描画したレイヤから生成するのに利用

します。

注意： Derivationレイヤは、ソースレイヤの後にしなければなりません。

[Rendering] タブ

レイヤの表示の設定

Boolean演算には、AND・OR・NOT・

Growがあります。各レイヤにつき

3 レイヤまでソースレイヤとして

使用できます。

24

4.2. GDSIIの読み込み方法

メニューの File > Import Mask Data > GDSII を選択して下さい。

新規に GDSを読み込む時は既存の L-Editデザイン（TDBファイル）のテクノロジ設定（レイ

ヤ名やその他の設定）を利用できます。そのために、 Import GDSII ダイアログボックスで、セッ

トアップファイルを指定します。セットアップファイルがない場合、<empty> を選択し、はじめ

から Setup > Technology を設定します。

1. [From file] はお手持ちのGDSIIファイル

を指定して下さい。

2. [Use setup file] でテクノロジ設定をし

ているファイルがある場合は、その TDB

ファイルを指定して下さい。

3. Importボタンをクリックして下さい。

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5. インバータ レイアウトの作成

この章では、L-Editで既に準備されているテクノロジ設定を使用して、インバータ回路のレイア

ウトの作成手順を紹介します。

使用するテクノロジは、MOSIS（米国のＬＳＩ試作サービス）が提供する、Orbit Semiconductor

社(米) 2.0umプロセスです。

注意： ここで使用されるテクノロジ設定はデモの目的で配布されています。これらの設定は旧

式であって、ファウンドリの現在のプロセステクノロジに一致していない可能性があります。こ

のプログラムのご評価でのみご利用ください。

All sample technology setups are distributed for demonstration purpose only. These setups may be

out of date or may not match with the foundry’s process technology setup information and should be

used for evaluation purposes only.

5.1. サンプル回路の説明

このチュートリアルで使用するサンプル回路はインバータセルです。インバータセル、INV、

は、否定論理回路と呼ばれており、N型MOSFET（NMOS）と P型MOSFET（PMOS）から構成さ

れています。回路の動作は、入力 Aに Highレベル電圧が入力された場合、出力 OUTに Lowレベ

ル電圧が出力されます。逆に、Lowレベル電圧が入力された場合、Highレベル電圧が出力されま

す。下図は回路図エディタ S-Editで入力したインバータ回路です。

断面図

完成した

レイアウ

ト図

DD

N型MOSFET P型MOSFET

N型MOSFET

(セル NMOS) P型MOSFET

(セル PMOS)

26

5.2. 新規ファイルの作成

ここでは、他のファイルに既に設定されているテクノロジ設定をコピーします。新規にファイ

ルを開き、TDBセットアップファイルを下記のファイルからコピーしてください。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\Tech\Mosis\morbn20.tdb

新規ファイルのテクノロジ設定を確認してください（メニュー Setup >Design）。終わったら、

ファイルをL-Edit_Tutorial\Tutorial_Inverter.tdbという名称で保存してください。

注意： このテクノロジ設定では単位として Lambdaが使用され、1Lambda は 1umに設定され

ています。このテキストでは、わかりやすくのために、寸法や座標の指示の際に Lambda な変わ

りに umを使っています。

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5.3. トランジスタレイアウトの作成

5.3.1. コンタクト作成

アクティブとメタルレイヤ接続するためにセルACT_CONTを作ります。

メニューの Cell > New から新規にセルを作成し、ACT_CONT という名前を入力します。

メニューの View > Design Navigator デザインナビゲータ（ ）でACT_CONTの項目が追加され

ているのを確認します。

ヒント：

1- レイヤパレットでDrawnカテゴリを選択すると、描画したいレイヤを簡単に見つけます。

2- マウスグリッド1（またはそのほかを） を1umに設定すると、描きやすくなります。

3- メニューのView > Arrange Design Navigator （F 10）を押せば、Design Navigator がレイア

ウトウィンドゥの左に表示されます。

セルACT_CONTの上に、Activeレイヤで6um四方のボックスを描画します。

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メタルとコンタクトを描画します。

これでセル ACT_CONTが描画できました。

1.レイヤ・パレットで[Active]をマウス左キ

ーでクリックし選択します。

2.描画用ツールバーの[Box]をマウスで左

クリックします。カーソルが、 から

に変わります。

3.カーソルを原点（0,0）に移動し、クリッ

クします。カーソルの位置が、座標バーに

表示されています。

4.ドラッグしたままカーソルを（6,6）に移

動し、放します。

1. Metal1レイヤを選択し、座標、（1,1）か

ら長さと幅が 4um のボックスを描きま

す。

2. 次に、Active Contactレイヤを選択し、

座標、（2,2）と（4,4）を入力し、長さ・幅

2um のボックスを描いて下さい。

5.3.2. N型MOSFETセルの作成

“NMOS”という名称で新規にセルを作ります。

N型MOSFETの領域 N Select レイヤで、

アクティブエリアの領域 Active レイヤで、

バルク領域 P Select レイヤで、

ゲート領域 Poly レイヤで描きます。

29

セルのインスタンスの配置

ソースとドレインのメタルをアクティブレイヤに接続するために前に描画したセルACT_CONT

を利用します。

セルの中に他のセルをインスタンスするために、デザインナビゲータからドラッグし（または

メニューの Cell > Instance ( i ) コマンドで希望のセルを選択し）、任意の場所に配置します。

ヒント： メニューの Setup > Application General タブで Editing option 枠の Paste to cursor を

チエックすれば、インスタンスがマウスカーサーの位置に配置されます。

インスタンスのアレイの設定

コンタクトは一つだけで足りないので、多数配置する必要があります。L-Edit アレイ機能を使

ってインスタンスのアレイを作ります。

セルACT_CONTを選択し、メニューの Edit > Edit Objects （Ctrl+E） コマンドを実行します。

Instances タブで、パラメータを下図のように入力してください。インスタンスACT_CONTは原点

に移動され、そして、Y方向に3列のアレイが作られます。これがソース用のコンタクトになりま

す。

1. N Select レ イ ヤ で 、

（-2,-2）

から幅 18um 長さ 18um

2. Activeレイヤで、(0,0）

から、幅 14um、長さ 14um

4. Polyレイヤで、（6,-2）

から幅 2um、長さ 18um

3. P Selectレイヤで、（-12,-2）

から、幅 10um、長さ 18um

30

ドレイン用コンタクトの配置

ソース用に配置した ACT_CONTをコピーして、ドレイン用とバルク用にもコンタクトを配置し

ます。

2. アレイ数として

X=1, Y=3を入力します。

1. 移動する絶対値座標として X=0,

Y=0 を入力して下さい。

3. アレイ素子の間隔として X=0, Y=4

を入力します。

2. セル ACT_CONT を選択します。て Ctrl+C と

Ctrl+Vコマンドで同じ場所にコピーを作ります。

3. コピーした ACT_CONTを選択し、Alt + マウス

左ボタンで移動して下さい。

又は、[Edit Object]ダイアログの[Translation]で座

標、(8,0) を入力します。

1. セルACT_CONTを選択します。（重なっている

オブジェクトを選択するためにマウス左ボタン

を数回クリックしなければならない場合があり

ます。

31

バルク用コンタクトの配置

これで、ゲート長さ 2um、幅 14umの N型 MOSFETの描画が終了です。

上と同様に、ACT_CONT をコピーし

て、P Selectレイヤで描画したボック

スの中央に配置します。

5.3.3. P型MOSFETセルの作成

P型MOSFETは、N型MOSFETのN SelectレイヤとP Selectレイヤを入れ替えて、N Wellボックスを

追加したものです。

セルのコピー

セルNMOSをコピーしてセル PMOSを作成します。メニューの Cell > Copy コマンドを実行し、

“Select a cell to copy”という画面で、 NMOSを選択します。次の画面で “PMOS”という名称を入

力して OKボタンをクリックします。自動的にセル PMOSのレイアウトが立ち上がります。

レイヤの変更

N SelectレイヤとP Selectレイヤを入れ替えます。

1. N Select レイヤで描画されたオブジ

ェクトを選択します。

2. メニューの Edit > Edit Object

(Ctrl+E)を選択します。

32

N Wellレイヤの追加

PMOS全体を囲むようにN Wellレイヤでボックスを描画します。レイヤパレットで N Well レイヤ

を選択し、座標、（-5, -5）から幅34um、長さ24umのボックスを描きます。

これで、ゲートの長さ 2um、幅 14umの PMOSセルが描画できました。

3. [Edit Object] ダイアログが立ち上が

ります。

4. レイヤ名を変更したい時は、[On layer]

で、[P Select] を選択し、OKボタンをク

リックします。

33

5.3.4. インバータのレイアウト

ここで、新規にINVという名称でのセルを作成し、そこに先程作成したNMOSとPMOSのセルを

配置します。そして、配線し、ポートを設定してINVのレイアウトを完成させます。

インバータセルの作成

INVという名称で新規にセルを作ります。

セル NMOSのインスタンスを配置し、NMOSの原点を(0, 0) に変換します。

セル PMOSのインスタンスを配置し、PMOSの原点を (24,0) に変換し、180度回転します。

1. セル NMOS をインスタンスし

（ i ）、原点を (0,0)に変換します。

3. スタンダードバーの Rotate

を 2回クリックします。

2. セルPMOSをインスタンスし、

原点を (24,0) に変換します。

34

ワイヤによる配線

NMOSと PMOSのゲートを配線し、ポートを設定します。配線はワイヤで行います。Setup Layer

ダイアログを開きます （メニューの Setup > Layer または、レイヤパレットをダブルクリック）。

ワイヤ設定を変更します。

描画用ツールバーの[Orthogonal Wire] を選択しPMOSとNMOSのゲートをワイヤで配線しま

す。

1. [Poly]レイヤを選択します。

2. [Default wire setting]を変更します。

・ Widthを[2]

・ End styleを[Butt]

OKボタンを押します。

1. 描画用ツールバーの Orthogonal Wire を選択し

て下さい。

2. NMOSと PMOSのゲートを接続します。ワイヤの

起点はマウス左ボタン、終点は右ボタン、戻りは中

央ボタンをクリックします。

35

次に、下図のように Metal1レイヤでワイヤ（幅 4um）を描きます。Metal1とゲートの接続には、

幅 6umの Polyレイヤでボックス（接続を容易に行うため）と Poly Contactレイヤで幅 2umのボ

ックスを描きます。

ポートの追加

ゲートの配線上に描画用ツールバーの Port を選択し、ポートを設定します。このポートは、

レイアウトから Extractで抽出したネットリストや、自動配置配線に利用されます。

1. Metal1 レイヤ(幅 4um)

3. Poly Contactレイヤ

(幅 2um, 長さ 2um)

2. Poly レイヤ(幅 6um,

長さ 6um)

1.[Port]を置きたいレイヤ(Poly)

を選択します。

2. 描画用ツールバーの Port

を選択します。

3. Portの領域をマウス左ボタン

で描画します（Metal1 レイヤの

ボックスと同じ。

4. Edit Object(s) の Portsダイア

ログが立ち上がります。[Port

name]に[A] と名付けます。

36

VDD、GND、OUTの配線とポートの設定

上記と同様に、PMOSとNMOSのソースとバルクを、それぞれVDDとGNDにMetal1で配線し、ポ

ートを作成します。又、出力OUTをMetal1で配線し、その上にViaとMetal2を配線し、ポートを作成

します。

以上で、インバータのレイアウトが完成しました。

2. [PMOS]のソースとバルクを、

Metal1 で VDD に配線し、Port

名・[VDD]を付けます。

1. [NMOS]のソースとバルク

を、Metal1でGNDに配線し、Port

名・[GND]を付けます。

3. Metal1 で配線し、その上に

Via と Metal2 を配線します。そ

の後、Port 名・[OUT]を付けま

す。

37

5.4. クロスセクションビューア ( CSV )

クロスセクションビューアは、レイアウトの断面図を製造プロセスのステップに沿って表示す

る機能です。プロセス・ステップごとに断面図を表示したり、全てのステップが終了した時点で

の断面図を表示する事が出来ます。

メニューの Tools > Cross-Section （又は、スタンダードツールバーの アイコン）を選択す

ると Generate Cross-Sectionダイアログが開きます。

クロスセクション用のウィンドウが追加されます。

3. [Auto-fit in window]をチェック

すると、定義ファイルで設定した

描画の深さではなく、ウィンドウ

に合わせて描画します。 4. OKボタンを押して下さい。

2. Pickボタンを押し、断面する

箇所を指定します。レイアウト画

面に切り替わりますので、マウス

左ボタンをクリックして、指定し

ます。

1. [Process Definition file]を指

定します。。

1.一番左側のボタン を押すと Process

definition file で定義した一行目のステップが

表示されます。 ボタンを押すたびにファイ

ルで定義した順番でステップの表示が進みま

す。

2. クロスセクション ビューアーのウィンド

ウを閉じる際は、ウィンドウ右上の ボタン

を押します。

38

39

コメント 描画時の角度（デフ

ォルトは 90度）

描画時の厚さ [setup layers]で使用さ

れているレイヤ名

Hint ! クロスセクション ビューアーの定義ファイル

定義ファイルは、テキストデータです。

# File: mORBn20.xst

# For: Cross-section process definition file

# Vendor: MOSIS:Orbit Semiconductor

# Technology: 2.0U N-Well (Lambda = 1.0um, Technology = SCNA)

# Technology Setup File: mORBn20.tdb

# Copyright (c) 1991-93

# Tanner Research, Inc. All rights reserved

#

*******************************************************************

# L-Edit

#Step Layer Name Depth Label [Angle[offset]] Comment

#-------------------------------------------------------------------

-

gd - 10 p- # 1. Substrate

id "Well X" 3 n- # 2. n-Well

id ActPSelNotPoly 0.9 p+ 75 0 # 3. p-Implant

id ActNSelNotPoly 0.9 n+ 75 0 # 4. n-Implant

id CCD&Act 0.4 - # 5. CCD Implant

id "P Base" 2 - # 6. NPN Base

Implant

gd - 0.6 - # 7. Field Oxide

e Active 0.6 - 45 # 8.

gd - 0.04 - # 9. Gate Oxide

gd Poly 0.4 - # 10. Polysilicon

e NotPoly 0.44 - 45 # 11.

gd - 0.07 - 45 # 12. 2nd Gate Oxide

gd Poly2 0.4 - # 13. 2nd Polysilicon

e NotPoly2 0.47 - 60 # 14.

gd - 0.9 - # 15.

e "P/P2/Act Contact" 0.9 - 60 # 16.

gd Metal1 0.6 - # 17. Metal 1

e "Not Metal1" 0.6 - 45 # 18.

gd - 1 - # 19.

e Via 1 - 60 # 20.

gd Metal2 1.15 - # 21. Metal 2

e "Not Metal2" 1.15 - 45 # 22.

gd - 2 - # 23. Overglass

e Overglass 2 # 24

クロスセクションの描画は 3つ

の Step でコントロールされま

す

・ gd (Grow/Deposit)

・ id (Implant/Diffuse)

・ e (Etch)

6. デザインルールチェック （DRC） 作成したレイアウトが、デザインルールを満たしているかを検証するために DRC( Design Rule

Check)を実行します。

6.1. DRCルール設定

DRCを実行するにはまず、ルールを設定する必要があります。L-Editでは、DRCのルールを多

数のファイルおよびダイアログボックスにおいて設定できます。

メニューの Tools > DRC Setup （DRC ツールバーで ）を選択します。

Setup DRC ダイアログで、Standard DRC Rule Set を選択し、Edit ボタンをクリックします。

Setup DRC Standard Rule Set ダイアログが開きます。

DRCルールの内容を見たい場合、

このボタンをクリックします。

DRCルールはファイルの場合、テ

キストエディタが開きます。”DRC Standard Rule Set”の場合、次のダイアログボックスが開きます。

Calibreや Dracula形式の DRCルー

ルファイルを指定するときこのボ

タンをクリックします。

40

L-Edit で標準のルールをダイアログボックスにおいて簡単に設定できます。希望によって、複

雑なルールを作成するために、ここで作った標準ルールを Calibre 形式のDRC ファイルにエキスポ

ートし HiPer機能の DRCルールエディタまたはテキストエディタで編集し、ファイルとして利用

することもできます。一旦ファイルにエキスポートしたルールをこのダイアログボックスにイン

ポートすることはできませんので、標準以外のルールのみファイルで管理することをお薦めしま

す。

注意： 別の DRCルールファイルを利用したい場合、 メニューの File > Replace Setup で DRC

ルールファイルを入れ替えます。

注意：ファイルの状態の DRCルールを実行するには、HiPerのライセンスが必要になります。

DRCルールの名前 （tdb ファイルにテックセッ

トアップ情報として保存されています）

この画面のDRCルールをCalibre形式のDRCフ

ァイルにエキスポートする時はここをクリック

します。

ルールリストで選択されたルールのタイプ

ルールで利用されるレイヤ

チェックされているルールのみが実行されます

6.2. DRCの実行

DRC は、開いているセル全体とエリアを指定する 2 つの方法があります。セル全体で DRC を

実行したい場合、 メニューの Tools > DRC （DRC ツールバーで ）をクリックするだけで

DRCが実行します。セルの一部だけでDRCを実行したい場合、メニューの Tools > DRC Box （DRC

ツールバーで ）を実行し左マウスボタンで DRCをかけたいエリアをドラッグすることで選

択すると DRCが実行します。

6.3. レイアウト上のエラーナビゲーション

DRCが終了すると DRC Error Navigator ダイアログが開きます。ルールタイプ毎、セルベース

41

にエラーが階層的に表示されます。

インバータレイアウトで入力用の Metal1を 3um 左へずらしたとき、セル全体で実行した DRC

の結果は下記のようになります。DRCエラーナビゲータのオプションを使って、DRCエラーの箇

所を見やすく表示できます。

DRC に違反している箇所が表示されます

（自動的にズームやパンするためのオプシ

ョンがあります）。

Errorをクリックすると、レイアウトのエラ

ー箇所が表示されます。

修正終了時にチェックボックスのチェック

を入れることで、編集の管理が可能です。

42

7. Interactive DRC

Interactive DRCはエラーをリアルタイムにハイライトする機能です。ユーザが編集を行いなが

ら DRCエラーを確認でき、よりコンパクトなデザインを効率よく設計するのに役立ちます。

Interactive DRCは DRC Standard Ruleの中で Width, Spacing, Surround, と Overlap だけのルー

ルを利用しているので、Interactive DRCでエラーが出なくても、レイアウトが終わったら普通の

DRCを実行する必要があります。

7.1. Interactive DRC ルールの設定

L-Editで >Setup >Design > Interactive DRC （または、DRCバーで ）をクリックします。

Setup Design の Interactive DRC タブが表示されます。Interactive DRC を有効にするために

“Enable Interactive DRC”にチェックマークを入れます。

DRC Setup画面にある DRC Standard Rule Set から利用できるルールをインポートするために

“Import from DRC Standard”ボタンをクリックします。

注意： ここで変更したルールは DRC Standard Rule Set にフィードバックされないです。

標準のルールはダイアログボックスに表示され、レイヤ名をドロップダウンメニューから容易

に選択できるようになっています。ルールの追加、削除または順の変更も容易に行えます。OK

ボタンをクリックします。

43

注意： ここ

は、DRCの中

7.2. Interac

メニューの

確認します。

Interactive

の中にメニュ

レイヤのゲー

ると、Width >

ートの幅を変

の表示が出て

Page Upキ

違反しているときのエラーとリミ

ットのときのマーカーやカラーを

設定します。

Import from DRC standardをクリ

ックします。

で、単に標準の Interactive D

のルールと Interactive DRCル

tive DRCを用いた ICのパターン

Tools > Interactive DRC （また

DRCの動作をインバータレイア

ーの Edit > Edit in Place > Push

トの長さは現在 2umです。 In

= 2、 Extension Out of Active >

更する際に（Alt+ マウスの左ボ

（青色）、次に、違反の表示（

ーを押して、インスタンスから

(赤色)

RC ルールをインポートしましたが、一般的な設計で

ールが一致するように設定します。

レイアウト

は DRCツールバーの ）は有効になっていることを

ウトの上で確認します。セル NMOSのインスタンス

into（または Page Dnキーを押して）入ります。Poly

teractive DRC の設定で、Polyに関するルールを調べ

= 2um となっています。Poly レイヤで描画されたゲ

タン）、下図に表示されているように、まず on-limit

赤色）が出ます。

トップセルに戻ります。

(青色)

44

On-limit の表示（青色） 違反の表示(赤色

注意： 一般的に DRCの中に含まれているルールの方が Interactive DRCのルールより細かい

ですので、Interactive DRCで違反の箇所がなくても DRCを実行しなければなりません。

Page Dnキーを押してイ

ンスタンスの中に入り

ます。

Alt + マウス左ボタン

で幅を変更し、Poly レ

イヤの Minimum Width

を確認します。

45

8. HiPer 機能 - Calibre及び Draculaの

DRCファイルの利用

HiPer 機能を使って、L-Edit上でファウンドリの Calibre及び Draculaの DRCルールファイルを

直接実行できます。DRCルールファイルを変更や変換せずに実行できるため、修正に必要な工数

や変換エラーが発生しないので安心してご利用いただけます。

8.1. Calibre及び Dracula の DRCルールファイルの利用

1. Tools > DRC setup （ ）を選択して下さい。Setup DRCメニューが開きます。

2. [Add Command file to list （ ）]をクリックし、）。

3. [DRC Standard Rule Set]のチェックを外して、[Command File 1]をチェックして下さい。

4. リスト欄に[Command File 1]が追加されるので、[Command File 1]をダブルクリックして

下さい。右端に[…]ボタンが表示されますので、それをクリックして下さい。

5. [ファイルを開く]が開きますので、Calibre及び Dracula DRCルールファイルを指定して

下さい。

6. [Runtime options]で[Run in background]をチェックすると、バックグランドで DRCが実

行されます。

7. [When DRC completes]でバックグランド DRC終了時の合図を設定して下さい。

②

③

⑥

⑦

8. OKボタンを押してください。

9. Tools > DRCを選択すると、直ぐ DRCが実行されま

46

④

す。

8.2. DRC ルールファイルの編集

ファイルベースの DRCファイルを編集するために“Edit”ボタンをクリックします。 HiPerの

DRCルールエディタでは、コマンドのキーワードが色分けハイライトで表示されているため、効

率よく編集できます。

8.3. DRCエラー の修正

DRC実行中、エラーが検出されると[DRC Error Navigator]が開きます。

エラーのリストをダブルクリックしていただきますと、エラー箇所のレイアウトに移動するので、

エラーの確認、修正が効率よく実行できます。

8.4. Mentor社 Calibreの DRC結果を L-Editに取り込む

Tools >Add-Ins >Load Calibre DRC Results を選択し、Calibreのエラー出力ファイルをロードで

きます。エラーは L-Edit のエラーナビゲータで表示され、確認・修正は L-Edit で実行した DRC

と全く同じ操作を行っていただけます。

47

9. T-Cell

T-Cell は、C 言語で記述したセルをレイアウトに一般のセルと同じ方法で配置する事で、パラ

メトリックにレイアウトを自動生成する機能です。

ここでは、サンプルファイルを利用して、T-Cellの実行、作成について説明します。

9.1. 7.1 T-Cellの実行

下記のデザインを開いてください。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\TCells\Mosfet.tdb

Design Navigatorで表示されているセル・NFET_Generatorが T-Cellです。

NFET_Generatorにマウスカーサーを移動し、ドラッグ&ドロップでレイアウト Example セルの

画面に配置してください。

Instancing Generator NFET_jp が開きます。任意の値を入れて、OKボタンをクリックしてくださ

い。

N型 MOSFETが自動生成されます。

このレイアウトは、セルになっており、Edit >Edit Object （Ctrl+E）でパラメトリックにレイア

ウトが変更できます。

48

9.2. T-Cellの記述について

ここでは、T-Cellの記述について説明します。

Design Navigatorでマウス右ボタンをクリックし、Newを選択し、任意のセルを作成してくださ

い。

作成したセルを選択した状態でマウス右ボタンをクリックし、Create/Update T-Cell codeを選

択してください。T-Cell Codeを作成するか確認するダイアログが開きますので、はいボタンをク

リックしてください。

codeのウィンドウが開きます。ここに、functionを記述していきます。

始めに、T-Cellパラメータを設定します。

T-Cellパラメータは、1.1⑤で設定するパラメータで、codeにタイプするのではなく、メニュー

から入力する必要があります。

Design Navigatorでマウス右ボタンをクリックし、Infoを選択してください。Cell Informationが

開きますので、T-Cell Parameter タブに移動してください。ここで、任意のパラメータを設定し

ます。設定後、Design Navigatorでマウス右ボタンをクリックし、Create/Update T-Cell codeを選

択すると、Codeがアップデートされ設定したパラメータが Codeに反映されます。

49

10. SDL, NHL, EXT , LVS, LVL機能を紹介する

サンプルプロジェクトの説明

10.1. SDL （Schematic Driven Layout）機能

1. 下記のファイルを開きます。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\SDL\LFSR\lfsr.tdb

2. 新規にセル（Cell1）を作ります。

3. SDLツールバーをアクティブにします（Tools > Schematic Driven Layout）。

4. Import Netlist 画面のパラメータ下図のように設定します。ネットリスト lfsr.sp は、回路

図 lfsr.sdb からエキスポートされたています。

注意： *.sdb ファイルは S-Edit V11.2までの回路図ファイルです。必要であれば、S-Edit Legacy

（v11.31） を使って S-Edit V12.X フォーマットに変換してください。このプログラムがインス

トールされることを確認するために、セットアップタイプを Customに変更し、Legacy S-Editコ

ンポーネントを右クリックし、”This feature will be installed on local hard drive" に設定します。

Cl Cl Cl Cl Cl Cl Cl Cl

Clk

OUT

T2

T1

ClD Q

Q

ClD Q

Q

ClD Q

Q

ClD Q

Q

ClD Q

Q

ClD Q

Q

ClD Q

Q

ClD Q

Q

50

5. OK ボタンをクリックすると、ログ画面が表示されます。セル Cell0 は、下図のようにな

っています。すべてのオブジェクトを選択し、右下の ボタンをクリックすると、セル

Cell0の内容が詳細に表示されます。ネットリストの Main circuit の部分と比較してくださ

い。

“13 Instances: 3 of cell 'XOR', 8 of cell 'DFFC', 1 of cell 'NMOS_Auto_2u_10u_1', 1 of cell

'PMOS_Auto_2u_20u_1' ”

6. SDLツールバーで、ネット OUTを選択し、Show Flylines ボタンをクリックしたら、回路

図 lfsrの最後に配置されているインバータのトランジスタの接続性が表示されます。

51

7. SDLツールバーで、Pick Clickボタンをクリックし、次に上図で左のトランジスタの Dピ

ンの近くをクリックすると、SDLツールバーでそれ一番近いピンが展開されグレイ色で表

示されます（M1/D）。

8. M1/D と M2/Dのピン間の配線を、Metal1レイヤで行います。

まず、これらのトランジスタの配線が行われるように配置を換えます。次に、Metal1レイ

ヤで配線します。終わったら、SDLツールバーでネット OUTにチェックマーク入れます。

チェックされたネットの FlyLinesはもう表示されません。

ヒント： 配線するとき必要な箇所で Viaを入れるために メニューの Draw > Contacts を使い

ます。詳細は ユーザガイドをご参照ください。

52

10.2. NHL （Node Highlight）機能

1. 下記のファイルを開きます。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\SPR\Lights\lights.tdb

2. NDL ツールバー（ ）で Setup ボタンをクリックし、下図のように

設定誌ます。

Metal2と Metal1が

Viaレイヤで接続される

3. NDL ツールバーで Extract Connectivity ボタンをクリックします。

4. NDL ツールバーで、Highlight Node ボタンをクリックし、希望の箇所をクリックします。

下図では、2箇所のネットが選択されています。

ハイライトされたネット

53

10.3. 抽出機能（EXT）機能

抽出は、レイアウトを確認するために行われます。結果として、レイアウトが代表する回路の

デバイスとそれらの接続情報を含むネットリストが出力されます。

1. 下記のファイルを開きます。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\Extract\ICResistors\ICResistor.tdb

抵抗器 2

抵抗器 1 と 抵抗 2の接続

抵抗器 1

2. このレイアウトは、Metal1レイヤで繋がっている 2つの抵抗器を含んでいます。見やすく

のために、下図でレイヤをばらばらにしています。

Poly レイヤ

ResistorID レイヤ

Poly Contactレイヤ

Metal1レイヤ

3. Setup Layer画面で派生レイヤを確認します。

PolyWire派生レイヤは “Poly” AND NOT“Resistor ID” 、

PolyResistor派生レイヤは “Poly” AND “Resistor ID” 、

Substrate は NOT “N Well” です。

54

4. セル Top をアクティブし、メニューの Tools > Extract を選択します。General と Output

タブの設定を次のようにします。ResSub.sp は抵抗やキャパシタサブサーキットの定義が

行われているネットリストです。LVS（レイアウト対回路図）の際に利用されます。

5. Extract definition file として 定義されている ICResistor.ext ファイルの内容を見るために

Edit ボタンをクリックしてください。*.ext ファイルでは接続性とデバイスの定義が行わ

れます。ここで、PolyWire と Metal1レイヤは Poly Contactを経由してつなげっていると

指定されています。また、デバイスを認識するレイヤは（RLAYER）PolyResistorとなって

います。

55

抵抗器の接続性の認識の設定

抵抗器サブサーキットの認識の設定

6. Run ボタンを実行すると、派生レイヤが作られ、*.ext ファイルをベースにしたデバイス

と接続情報が *.spcファイルにネットリストとして抽出されます。作業が終わったら、派

生レイヤが全て自動的に削除されます。作られたネットリストは下記のようです。

レイアウトでの座標

7. 抽出されたデバイス（サブサーキット X1と X2）をレイアウトで確認するために、メニュ

ーの Tools > Goto Deviceコマンドを使えます。

8. 派生レイヤを確認するために、メニューの Tools > Generate Layers を実行します。わかり

やすくのために、下図では派生レイヤをアレンジしています。確認が終わったら、メニュ

ーの Tools > Clear Generated Layers コマンドで、派生レイヤを全て削除してください。

Substrate派生レイヤ

PolyResistor派生レイヤ

PolyWire派生レイヤ

56

10.4. レイアウト対回路図機能 （LVS - Layout vs Schematic）

LVS機能では 2つのネットリストが比較され、それらが同じ回路を記述しているかどうかを判

断されます。2 つのネットリストが違うと判断された場合、エラーの認識と修正のために L-Edit

と関連します。

1. 下記のデザインを開きます。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\LVS\Xor\xor.tdb

セル xor2の回路図は xor.sdb に表示されています。このファイルを S-Edit Legacyで開け

ます。その他のセルそれぞれにオープンと、ショートと、両方のミスが入っています。

BA

Out

I1

I2

I3

I4 I5

M11

L='2*l'M=1

W='19*l'

M10

L='2*l'M=1

W='22*l'M9

L='2*l'M=1

W='22*l'

M8

L='2*l'M=1

W='22*l'M7

L='2*l'M=1

W='22*l'

M6

L='2*l'M=1

W='24*l'

M5

L='2*l'M=1

W='24*l'

M4

L='2*l'M=1

W='22*l'

M3

L='2*l'M=1

W='22*l'

M2

L='2*l'M=1

W='24*l'M1

L='2*l'M=1

W='24*l'

p

57

2. エキストラクションファイルmhp_ns5.extをベースに、それぞれのセルの抽出を行なって、

ネットリストを作成します。この程度のネットリストなら目で比較しても、違いがわかり

ますが、ここで LVS機能を使って、それらの違いを発見します。

Extract画面の Output設定で、下記のオプションにチェックマークを入れてください。

回路図エディタ S-Edit からエキスポートされたネットリストは xor2.sp ネットリストで

す。

デバイス座標の記録のためチェックを入れます

ノード座標の記録のためチェックを入れます

L-Editから抽出されたネットリスト

S-Editから抽出されたネットリスト

58

3. LVS アプリケーションを起動し、新規に LVS Setupを開きます。

4. セットアップの Input 画面で Layout netlist として、抽出したネットリスト xor2.spc を、

Schematic Netlistとして S-Editからエキスポートされたネットリスト（xor2.sp）を指定し、

ボタンをクリックします。

5. 結果は、”Circuits are equal.” と出ます。

6. 次は、レイアウトネットリストとして xor2_open.spc を試してみます。Output タブに出力

ファイルを指定し、 ボタンをクリックします。

59

7. ノードの数がマッチしないため、”Circuits are not equal.”という結果になります。Outputタ

ブの Edit ボタンをクリックすれば、スクリーンに表示されている、ログファイルが開か

れます。

8. L-Editで、セル xor2_Openのレイアウトビューで、メニューの Tools > Goto Device コマン

ドを使えば、ノード B を検索できます。このよう名検索や Node Highlight 機能を使って、

問題箇所をビジュアル的にわかります。

Goto Device > Node B で選択された箇所

60

10.5. レイアウト対レイアウト 機能（LVL – Layout versus Layout）

V12.1で新しいレイアウト比較ツールが追加されました。このツールは、 2つの tdb ファイル

の任意のセルを比較し、各ファイルで、各レイヤのマスクの差分を計算します。比較されたセル

と、ブーリアン演算の結果が、新規に作られたデザインに表示します。

1. LVS機能の説明でも使った下記のデザインのセル XOR2_Short と セル XOR2_Open の比較

を行います。

My Documents\Tanner EDA\Tanner Tools v12.1\L-Edit and LVS\LVS\Xor\xor.tdb

2. メニューの File > Layout vs. Layout Comparisonを実行すると LVLのウィザードが立ち上が

ります。File 1 と File 2 両方にも xor.tdb ファイルを指定し次ぎボタンをクリックします。

デザインが開いていなければ自動的に開かれます。

61

3. File1 のセル と File2のセルを指定します。比較が行われる Layersの全てにデフォルトで

チェックマークが入っていますが、高速化のために、比較の要らないレイヤのチェックマ

ークを外してもいいです。

4. 完了ボタンをクリックすると、下記のブーリアン演算の結果がログに表示されます。ここ

で、レイヤ Poly と Metal2で描画された図形が異なっているとわかります。

5. 結果は、LVLxor_xor.tdb という新しく作られたデザインで表示されます。そして、”LVL_

Results”というセルが作られ、その中に、比較された 2 つのセルがサブセルとして配置さ

れ、さらにブーリアン演算の結果も配置されます。ログで表示されたレイヤ（Poly と

Metal2）とブーリアン派生レイヤ以外、全てのレイヤが非表示に設定されます。

62

6. メニューの View > Objects で Instance のチェックを外すと、セル LVL_Resultsにある演算

の結果レイヤだけが表示されます。

63