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© 2020 Toshiba Electronic Device Solutions Corporation 1 IC仕様書、テストボード、テストプログラムをご用意ください。 電気特性から物理解析までの一貫請負体制完備に加えて、各種解析装置や故障推測(場所の絞り込み) などの蓄積されたノウハウと豊富な経験により、短TATでの故障解析が実現できます。 不具合箇所解明率の実績は80%以上です。 設計検証/試作品解析 歩留まり解析 信頼性不良解析 クレーム品解析 ■故障 解析フロー ■故障 解析の概要 解析技術 1次回答TAT 5日以内 解明率(80%以上) ・対応製品 Logic/Analog/Memory ・各種テスター/解析装置に対応 ・電気特性から物理解析までの 一貫請負が可能 故障解析1:故障解析の概要 Simulation CAD Data NG OK 信頼性試験 D/Sテスト 特性データ取得 特性データ分析 故障箇所の特定 故障箇所の証明 (物理解析) プロセスF/B

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Page 1: TAT 80% 故障解析フロー 故障解析の概要 - Toshiba...仕様書、テストボード、テストプログラムをご用意ください。. 電気特性から物理解析までの一貫請負体制完備に加えて、各種解析装置や故障推測

© 2020 Toshiba Electronic Device Solutions Corporation 1

IC仕様書、テストボード、テストプログラムをご用意ください。電気特性から物理解析までの一貫請負体制完備に加えて、各種解析装置や故障推測(場所の絞り込み) などの蓄積されたノウハウと豊富な経験により、短TATでの故障解析が実現できます。不具合箇所解明率の実績は80%以上です。

歩留まり

設計検証/試作品解析 歩留まり解析 信頼性不良解析 クレーム品解析

■故障解析フロー■故障解析の概要

解析技術・1次回答TAT 5日以内・解明率(80%以上)・対応製品 Logic/Analog/Memory・各種テスター/解析装置に対応・電気特性から物理解析までの一貫請負が可能

故障解析1:故障解析の概要

Simulation

CAD Data→NG

→OK信頼性試験 市

XX

D/Sテスト

特性データ取得

特性データ分析

故障箇所の特定

故障箇所の証明(物理解析)

プロセスF/B

Page 2: TAT 80% 故障解析フロー 故障解析の概要 - Toshiba...仕様書、テストボード、テストプログラムをご用意ください。. 電気特性から物理解析までの一貫請負体制完備に加えて、各種解析装置や故障推測

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故障解析2:解析ソリューションの提供

検出器

テストヘッド

ウエハー

解析装置

テスターリンク解析

・T6573・TACT815L・μFLEX

・PEM・OBIRCH・DLS・LIT

テスター 解析装置

WaferProber

WGLSTIL

お客さま

テスターと解析装置の組み合わせは自由

パッケージに組み立てる事なくウエハー・チップでの解析が可能です

お客さまと解析テスターが異なっても大丈夫弊社テストエンジニア 解析テスター

テストベクターから解析プログラムを弊社で作成します

テスターと解析装置をダイレクトドッキング

解析プログラム

故障箇所特定

非破壊解析

物理解析

特性評価

元素分析

対象製品

・デジタル ・アナログ・メモリー ・センサー・ディスクリート

SEM TEM

X-ray SAT

PEM

EBAC

OBIRCH

NanoProbe

EDX AES

EPMA

LSIテスター

半導体パラメーターアナライザー

一貫解析ソリューション テスターリンク解析ソリューション

セルレベル~100μm

素子レベル~10μm

ピンポイント~0.1μm

PEM,OBIRCHDiag,FBM

NanoProbe DI-EBAC

Source Drain

究極の絞り込みによる原因追究

解析改善コンサル

評価評価・分析から

適切な解析をご提案解析から

改善施策をご提案

製造履歴

JMP,DXP

解析結果

ウエハー データ分析

故障箇所特定

物理解析

歩留まり向上ソリューション

テスター評価