tat 80% 故障解析フロー 故障解析の概要 -...
TRANSCRIPT
© 2020 Toshiba Electronic Device Solutions Corporation 1
IC仕様書、テストボード、テストプログラムをご用意ください。電気特性から物理解析までの一貫請負体制完備に加えて、各種解析装置や故障推測(場所の絞り込み) などの蓄積されたノウハウと豊富な経験により、短TATでの故障解析が実現できます。不具合箇所解明率の実績は80%以上です。
歩留まり
設計検証/試作品解析 歩留まり解析 信頼性不良解析 クレーム品解析
■故障解析フロー■故障解析の概要
解析技術・1次回答TAT 5日以内・解明率(80%以上)・対応製品 Logic/Analog/Memory・各種テスター/解析装置に対応・電気特性から物理解析までの一貫請負が可能
故障解析1:故障解析の概要
Simulation
CAD Data→NG
→OK信頼性試験 市
場
〇
XX
D/Sテスト
特性データ取得
特性データ分析
故障箇所の特定
故障箇所の証明(物理解析)
プロセスF/B
© 2020 Toshiba Electronic Device Solutions Corporation 2
故障解析2:解析ソリューションの提供
検出器
テストヘッド
ウエハー
解析装置
テスターリンク解析
・T6573・TACT815L・μFLEX
・PEM・OBIRCH・DLS・LIT
テスター 解析装置
WaferProber
WGLSTIL
お客さま
テスターと解析装置の組み合わせは自由
パッケージに組み立てる事なくウエハー・チップでの解析が可能です
お客さまと解析テスターが異なっても大丈夫弊社テストエンジニア 解析テスター
テストベクターから解析プログラムを弊社で作成します
テスターと解析装置をダイレクトドッキング
解析プログラム
故障箇所特定
非破壊解析
物理解析
特性評価
元素分析
対象製品
・デジタル ・アナログ・メモリー ・センサー・ディスクリート
SEM TEM
X-ray SAT
PEM
EBAC
OBIRCH
NanoProbe
EDX AES
EPMA
LSIテスター
半導体パラメーターアナライザー
一貫解析ソリューション テスターリンク解析ソリューション
セルレベル~100μm
素子レベル~10μm
ピンポイント~0.1μm
PEM,OBIRCHDiag,FBM
NanoProbe DI-EBAC
Source Drain
究極の絞り込みによる原因追究
解析改善コンサル
評価評価・分析から
適切な解析をご提案解析から
改善施策をご提案
製造履歴
JMP,DXP
解析結果
ウエハー データ分析
故障箇所特定
物理解析
歩留まり向上ソリューション
テスター評価