tms co., ltd 2014. 07. 18.. baratron gauge vacuum chamber baratron gauge 절대압게이지 full...
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MKSBaratron Gauge
TMS Co. , Ltd2014. 07. 18.
Baratron GAUGE
Vacuum cham-ber
Baratron GAUGE
BARATRON 기본 구조
10 -7
10-6
10 -5
10 -4
10-3
10 -2
10 -1
1
10
100
1000
ZeroingPressure
ControlRange
Reading Range
10V
1.0
0.1
.01
1mV
Pressure (Torr)
Example: 1 Torr Full ScaleCapacitance Manometer
ResolutionPressure
•절대압게이지 Full scale 100Torr 이하 제품은 전략물자로 구분됨 . ( 차압게이지는 제외 )
DMB Baratrone-Baratron
i-BARATRON® DIGITAL CA-PACTIANCE MANOMETER
Connector type 1. Devicenet + Analog output 2. Analog output (0~10VDC)
0.1~1000Torr Sensor 온도 1) 0~50℃ 2) 45 ℃ 3) 80 ℃ Warmup Time 2 시간 : 1~1000Torr F.S 4 시간 : < 1Torr F.S
Ethernet Enabled CA-PACTIANCE MANOMETER
Output1. Analog: 0~10VDC2. Digital: Ethernet
627C 628C
E27C E28C
0.1~1000Torr45°C
0.1~1000Torr100°C
0.1~100Torr45°C
0.1~100Torr100°C
•1000Torr 제품경우 Trip Relay 로대기압센서대신 활용 가능
•No Heating•Terminal Block•RoHS
•No Heating•Terminal Block•Relay•RoHS
622C 623B
•No Heating•15 Pin D Sub•RoHS
626C
•45 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•RoHS
627D
•100 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•RoHS
628D
•45 도 ,100 도 중 선택•9 Pin D Sub•RoHS
629
• Etch process•45 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•RoHS
E27D•Etch Process•100 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•RoHS
E28D•Etch Process•45 도 ,100 도 중 선택•9 Pin D Sub•RoHS
E29D
•45 도 Heat-ing•Trip Relay•15 Pin D Sub•RoHS
624F•100 도 Heat-ing•Trip Relay•15 Pin D Sub•RoHS
625F
•150 도 ,200도 선택•Relay 선택•15 Pin D Sub•RoHS
631D
Baratron GAUGE-600
높은 정확도의 절대압 게이지
ETCH
CVD
Baratron GAUGE-700
•No Heating•다양한 Fitting•0.5% of RDG•RoHS
722B
소형 , 저가형 절대압 게이지
•45 도 Heat-ing
•다양한 Fitting
727A
•100 도 Heat-ing
•다양한 Fitting
728A
•Gauge • Gas, Liquid•대기압이 reference임•1.4~204 bar•RoHS• Output: DC, 4~20mA
740C•절대압게이지 • Gas, Liquid•진공이 reference 임•10Torr~3,000Psia•1% of RDG•RoHS• Output: DC, 4~20mA
750C
Baratron GAUGE-Dual Range
•Dual Range•45 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•Relays•RoHS
D24F•Dual Range•100 도 Heat-ing•15 Pin D Sub•Relays•RoHS
D25F
•Dual Range•45 도 히팅•15 Pin D Sub•RoHS
D27F
•Dual Range•100 도 히팅•15 Pin D Sub•RoHS
D28F
낮은 압력대의 진공값을 더 정확하게 읽기 위한 게이지임 .
Full scale 보다 낮은 진공압력을2 배 , 5 배 ,10 배중 선택된 비율만큼진공압력값을 display 함 . : 2 개의 출력
Baratron Manometer- 고온 환경하에서
121A 150 도환경에 사용 가능하도록 만든 절대압력측정 Capacitance manometer
Full Scale : 1~25,000 TorrResolution: 0.01% of F.SAccuracy: 0.5% of RDG 0~10VDC
221B150 도환경에 사용 가능하도록 만든 차압용 Capacitance manometerFull Scale : 10~25,000 TorrResolution: 0.01% of F.SAccuracy: 0.5% of RDG 0~10VDC
Baratron Manometer-Harsh Environments
220DA
내부를 45 도 히팅하는절대압용 Capacitance manometer-harsh Environments
Resolution: 0.01% of F.SAccuracy: 0.15%of RDG
1~1000 Torr 0~10VDC or 4~20mA
220DD
내부를 45 도 히팅하는차압용 Capacitance manometer-harsh Environments
Resolution: 0.01% of F.SAccuracy: 0.15%of RDG
1~1000 Torr 0~10VDC or 4~20mA
Baratron GAUGE-800
Micro-Baratron® Pressure Transducers
TYPE 872B FLOW-THROUGH
TYPE 870B SINGLE ENDED
GAS 공급시스템
1000 Torr to 3000 psia
Output: 0~5VDC, 0~10VDC, 4~20mA
차압 GAUGE
226A
BARATRON® DIFFEREN-TIAL CAPACITANCE MANOMETER
차압 측정 영역 1000~0.2Torr
F.S: 0.2~1000Torr 1,5,10VDC or 4~20mA
228A
2 개의 Trip RelayF.S: 0.2~1000Torr 1,5,10VDC
High Accuracy Bara-tron GAUGE
공정 및 계측 분야에 높은 정밀도가 요구시 Resolution 1×10-6 of F.S (<=0.12% of RDG)
690A절대압 게이지 sensor45 도 히팅0.1~25,000Torr
670B 필요
698A
차압 게이지 sensor45 도 히팅0.1~1,000Torr
670B 필요
590A절대압 게이지70 도 히팅 - 이물발생공정0.1~25,000Torr
670B 필요
670B
좌측 게이지와같이 사용되는Display Unit
120AA절대압 게이지45 도히팅0.1~25,000Torr
0~10VDC 출력
120AD고정밀도 차압게이지 0~10VDC 출력
기타 Baratron GAUGE
230E
Pressure Transmitter 10~25,000 Torr100℃ 환경에서도 동작 출력 : 4~20mA
430E
1~1,000 Torr 100~500 psia 0~50℃ NEMA4 housing 출력 : 4~20mA
Explosion ProofGENERAL PURPOSE PRESSURE TRANSMIT-TER
Vacuum/Atmospheric Switch
Model Type
41B Single-ended gauge Reference- ATM: atmospheric switching,
Loadlock chamber42B Flow-through gauge
51B Single-ended gauge Reference-Vacuum:soft pumping, gas box switching,
and safety interlocks52B Flow-through gauge
Precise controlSuperb set point accuracy and repeatability:0.5% of F.S. increases process controlFast response switching: 20 msec Excellent long term stability
Pressure SwitchesF.S range: 10 Torr through 500 psi
High Accuracy Gauge in High Vac-
uum
SPINNING ROTOR GAUGE SYSTEM
SRG-3
높은 정확도 장기간 안정성
Vacuum cham-ber
10Torr~5×10^-4
TMP
10Torr~5×10^-3
750C
722,724,728A
Baratron GAUGE- 적용
41B대기압 PressureSwitch: 대기압확인용
VacuumPUMP
FOR PROCESS , 기타 공정
51B진공 압력Switch: softpumping,interlock 용