xm xy series - smckorea.co.kr · ultic armor® 은 nippon valqua industries, ltd의...
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XM・XY Series
스테인리스제 고진공 L형/스트레이트형 밸브
XM SeriesL형
XM Series XY Series스트레이트형
XY Series
경량•콤팩트
A
BA
A※mm
506570
90
40
컨덕턴스L/s
XMA-16XMA-25XMA-40XMA-50
88
Bmm
113158170
235
103
196
0.611.402.00
6.20
0.33
3.60
144580
200
5
160XMA-63XMA-80
●몸체재질:SCS13(SUS304 상당)
●가스 잔류가 없는 정밀주조 일체구조
●알루미늄제 고진공 L형 밸브 XL 시리즈와
호환성이 있는 설치(XM 시리즈)
형 식 질량kg
XMA시리즈 KF(NW) 플랜지의 경우
※:A치수는 전 XM 시리즈 동일치수
밸브조합에 따라
푸트 공간 확보
배관예
75
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
74
XMAXYA
① ② ③ ④ ⑤ ⑥
M9N16 AAM9N25
⑦
XMA•XYA Series
스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브상시닫힘 / 벨로스 Seal
스트레이트형
L형
형식표시방법
77
162540506380
XMA●●●●●●
XYA―●●●●●
H05〜60℃5〜150℃
ABC
ABC
1.3×10-10(FKM)1.3×10-8
1.3×10-8
1.3×10-10(FKM)
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
XMA
AFGJKLM
XYA
AFJKM
N1
Q1R1R2R3S1T1U1
P1
FKMEPDMBarrel
Perfluoro®
Kalrez®
Chemraz®
VMQFKM for Plasma
ULTICARMOR®
1349-80※2101-80※
70W
UA4640
4079SS592SS630SSE38
1232-70※3310-75※
DC
KF(NW)K(DN)
CF
16•25•40•50•63•8063•80
16(034)•40(070)•63(114)
D K(DN)KF(NW) 25•40•50•63•80
63•80
XMA
XYA
무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMA-16-M9NA-XN1A
①플랜지 사이즈사이즈
②플랜지 종류
기호무기호
종류 적용 플랜지 사이즈
기호무기호
무기호
인디케이터인디케이터 없음
인디케이터 부착
인디케이터 없음
플랜지면 뒷쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 오른쪽
플랜지면
왼쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지면 뒷쪽
조작포트방향
플랜지측
③인디케이터 및 조작포트방향
기호무기호
인디케이터인디케이터 없음
조작포트방향
인디케이터 부착
인디케이터 없음
플랜지측플랜지측
플랜지면 왼쪽 플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽
플랜지면
왼쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지측
플랜지면 뒷쪽
④온도사양기호
무기호온도범위
⑥오토스위치수/부착위치기호
무기호수량
오토스위치 없음2개 부착1개 부착1개 부착
검출위치-
밸브 열림•닫힘밸브 열림밸브 닫힘
⑦Seal재질 및 Seal 장소 변경
•Seal 재질 변경 장소와 누설량
기호
무기호
변경장소주2)
없음
②,③②③
누설량 Pa•m3/s 이하주1)
내부 외부기호
무기호
※미쓰비시 전선공업(주) 제
기호무기호
오토스위치 형식오토스위치 없음(내장자석 없음)
비고
무접점 오토스위치
오토스위치 없음(자석 내장)
유접점 오토스위치(플랜지 사이즈 16은 대응하지 않습니다.)
⑤오토스위치 종류
•Seal재질Seal 재질 배합 NO.
주1) 상온값, 가스투과 제외주2) Seal 장소는 구조도 P.78의 부품 No.를 참조하십시오. 표 안의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.를 나타냅니다.
고온사양(온도사양 H0)의 경우에는 오토스위치 부착이 불가능합니다.리드선 길이는 0.5m(표준). 3m의 경우는 L, 1m의 경우는 M, 5m의 경우는 Z를 끝에 표시하여 주십시오.예)-M9NL
Barrel Perfluoro® 는 Matsumura Oil Co.,Ltd의 등록상표입니다.Kalrez® 은 DuPont Performance Elastomers의 등록 상표입니다.Chemraz® 은 Greene, Tweed & Co의 등록상표입니다.ULTIC ARMOR® 은 Nippon Valqua Industries, Ltd의 등록상표입니다.
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
M9N(M)(L)(Z)M9P(M)(L)(Z)M9B(M)(L)(Z)
A90(L)A93(M)(L)(Z)
M9//
―D-M9N(M)(L)(Z)D-M9P(M)(L)(Z)D-M9B(M)(L)(Z)
D-A90(L)D-A93(M)(L)(Z)
―
Ⓐ
Pa 16 25 40 50 63 80
XMD XYD
XMH XYH
XMA XYA
XMC XYC
시리즈 구성
대기압〜10-6
주) 스트레이트형에 사이즈 16은 없습니다.
단동(NC)
대기압〜10-6수동
단동(NC)
복동
•벨로스식으로 더스트 제로, 클린 대응 •압력 밸런스 구조
•초기배기밸브와 주배기 밸브의 일체화(유량 2단 제어 밸브)•시스템의 콤팩트화 및 배관절약화를 실현 •배기시의 챔버내의 더스트 확산 방지 •펌프의 과부하 운전 방지 •초기배기 밸브의 유량조정 가능
•벨로스식으로 더스트 제로, 클린 대응 •압력 밸런스 구조로, 배기 방향 자유 •낮은 조작 토크(0.5 N•m 이하)•스프링에 의한 일정한 seal 하중 •밸브 개폐시의 핸들 높이가 일정 •개폐 확인용 인디케이터를 표준으로 장비
벨로스 Seal•단동/XMA•XYA벨로스 Seal•복동/XMC•XYC
벨로스 Seal•수동/XMH•XYH
2단 제어•단동/XMD•XYD
용도
더스트 제로 벨로스 Seal
축 Seal 방식형식
밸브형식L형 스트레이트형
벨로스 O-ring seal
에어 오퍼레이트
더스트 확산 방지 펌프 과부하 방지
더스트 제로 벨로스 Seal
사용압력 플랜지 사이즈 옵션
스위치 인디케이터 고온사양
주)
주)
수동타입
注)
표준
표준
표준
PAT. PAT.
76
XMAXYA
① ② ③ ④ ⑤ ⑥
M9N16 AAM9N25
⑦
XMA•XYA Series
스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브상시닫힘 / 벨로스 Seal
스트레이트형
L형
형식표시방법
77
162540506380
XMA●●●●●●
XYA―●●●●●
H05〜60℃
5〜150℃
ABC
ABC
1.3×10-10(FKM)1.3×10-8
1.3×10-8
1.3×10-10(FKM)
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
XMA
AFGJKLM
XYA
AFJKM
N1
Q1R1R2R3S1T1U1
P1
FKMEPDMBarrel
Perfluoro®
Kalrez®
Chemraz®
VMQFKM for Plasma
ULTICARMOR®
1349-80※2101-80※
70W
UA4640
4079SS592SS630SSE38
1232-70※3310-75※
DC
KF(NW)K(DN)
CF
16•25•40•50•63•8063•80
16(034)•40(070)•63(114)
D K(DN)KF(NW) 25•40•50•63•80
63•80
XMA
XYA
무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMA-16-M9NA-XN1A
①플랜지 사이즈사이즈
②플랜지 종류
기호무기호
종류 적용 플랜지 사이즈
기호무기호
무기호
인디케이터인디케이터 없음
인디케이터 부착
인디케이터 없음
플랜지면 뒷쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 오른쪽
플랜지면
왼쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지면 뒷쪽
조작포트방향
플랜지측
③인디케이터 및 조작포트방향
기호무기호
인디케이터인디케이터 없음
조작포트방향
인디케이터 부착
인디케이터 없음
플랜지측플랜지측
플랜지면 왼쪽 플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽플랜지면 왼쪽플랜지면 뒷쪽플랜지면 오른쪽
플랜지면
왼쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지측
플랜지면 뒷쪽
④온도사양기호
무기호온도범위
⑥오토스위치수/부착위치기호
무기호수량
오토스위치 없음2개 부착1개 부착1개 부착
검출위치-
밸브 열림•닫힘밸브 열림밸브 닫힘
⑦Seal재질 및 Seal 장소 변경
•Seal 재질 변경 장소와 누설량
기호
무기호
변경장소주2)
없음
②,③②③
누설량 Pa•m3/s 이하주1)
내부 외부기호
무기호
※미쓰비시 전선공업(주) 제
기호무기호
오토스위치 형식오토스위치 없음(내장자석 없음)
비고
무접점 오토스위치
오토스위치 없음(자석 내장)
유접점 오토스위치(플랜지 사이즈 16은 대응하지 않습니다.)
⑤오토스위치 종류
•Seal재질Seal 재질 배합 NO.
주1) 상온값, 가스투과 제외주2) Seal 장소는 구조도 P.78의 부품 No.를 참조하십시오. 표 안의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.를 나타냅니다.
고온사양(온도사양 H0)의 경우에는 오토스위치 부착이 불가능합니다.리드선 길이는 0.5m(표준). 3m의 경우는 L, 1m의 경우는 M, 5m의 경우는 Z를 끝에 표시하여 주십시오.예)-M9NL
Barrel Perfluoro® 는 Matsumura Oil Co.,Ltd의 등록상표입니다.Kalrez® 은 DuPont Performance Elastomers의 등록 상표입니다.Chemraz® 은 Greene, Tweed & Co의 등록상표입니다.ULTIC ARMOR® 은 Nippon Valqua Industries, Ltd의 등록상표입니다.
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
M9N(M)(L)(Z)M9P(M)(L)(Z)M9B(M)(L)(Z)
A90(L)A93(M)(L)(Z)
M9//
―D-M9N(M)(L)(Z)D-M9P(M)(L)(Z)D-M9B(M)(L)(Z)
D-A90(L)D-A93(M)(L)(Z)
―
Ⓐ
Pa 16 25 40 50 63 80
XMD XYD
XMH XYH
XMA XYA
XMC XYC
시리즈 구성
대기압〜10-6
주) 스트레이트형에 사이즈 16은 없습니다.
단동(NC)
대기압〜10-6수동
단동(NC)
복동
•벨로스식으로 더스트 제로, 클린 대응 •압력 밸런스 구조
•초기배기밸브와 주배기 밸브의 일체화(유량 2단 제어 밸브)•시스템의 콤팩트화 및 배관절약화를 실현 •배기시의 챔버내의 더스트 확산 방지 •펌프의 과부하 운전 방지 •초기배기 밸브의 유량조정 가능
•벨로스식으로 더스트 제로, 클린 대응 •압력 밸런스 구조로, 배기 방향 자유 •낮은 조작 토크(0.5 N•m 이하)•스프링에 의한 일정한 seal 하중 •밸브 개폐시의 핸들 높이가 일정 •개폐 확인용 인디케이터를 표준으로 장비
벨로스 Seal•단동/XMA•XYA벨로스 Seal•복동/XMC•XYC
벨로스 Seal•수동/XMH•XYH
2단 제어•단동/XMD•XYD
용도
더스트 제로 벨로스 Seal
축 Seal 방식형식
밸브형식L형 스트레이트형
벨로스 O-ring seal
에어 오퍼레이트
더스트 확산 방지 펌프 과부하 방지
더스트 제로 벨로스 Seal
사용압력 플랜지 사이즈 옵션
스위치 인디케이터 고온사양
주)
주)
수동타입
注)
표준
표준
표준
PAT. PAT.
76
A
BA
H
øG
C
CD
øG
øFn E
A
B
45°
H
øFnC
C DøL2
øFd
øFc
L1
(øFc)
øFd
100.2130 178 209 268
XYA-25XYA-40XYA-50XYA-63XYA-80
A79.5
106 119 149 178
B 48 66 79100117
C12233
D23.538 53 61 80
E 40 55 75 87114
Fn―――
95110
Fd2641527083
G 64 84 95118142
H(mm)
405065708890
XMA-16XMA-25XMA-40XMA-50XMA-63XMA-80
A103113158170196235
B 38 48 66 79100117
C112233
D 30 40 55 75 87114
Fn――――
95110
Fd 34―
70―
114―
Fc172641527083
G403963686996
HP.C.D 27
―P.C.D 58.7
―P.C.D 92.1
―
P.C.D L16×ø4.4
―6×ø6.6
―8×ø8.4
―
L2(mm)
XMA•XYA Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
외형치수도
XMA/L형
XYA/스트레이트형
(K플랜지) (CF플랜지)
(K플랜지)
(KF플랜지)
형식
형식
(KF
플랜지)
79
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
주1)컨덕턴스는 동일치수 엘보의 " 분자류" 에서의 값으로 대표하고 있습니다. 주2)( ) 안 질량은 CF(conflate) 의 경우
XMAXYA
XMA-16 XMA-25XYA-25
XMA-40XYA-40
XMA-50XYA-50
XMA-63XYA-63
XMA-80XYA-80
16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80
M5 Rc 1/8
5
0.05
0.33(0.37)
―
KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), K(DN), CF
KF(NW), K(DN)
0.4〜0.7
14 45 80 160 200
0.1 0.21 0.24 0.26 0.28
0.61
0.66
1.40(1.76)
1.42
2.00
2.40
3.60(4.96)
4.30
6.20
7.70
※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.
XMA•XYA Series
사양
형식
플랜지(밸브)사이즈
밸브형식
사용유체
사용온도 ℃
사용압력 Pa
컨덕턴스 L/s주1)
누설량 Pa•m3/s
작동시간 s
플랜지 종류
주요재질
조작압력 MPa(G)
조작포트 접속구경
내부
외부
질량 kg 주2)
상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal)
비활성 가스계의 진공
5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)
1×10-6〜대기압
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과를 제외
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-11 상온시•가스투과를 제외
몸체:SCS13(SUS304상당), 벨로스 : SUS316L, 주요부:SUS304, FKM(표준 Seal재)
구조도
※①보닛 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)
XMA/L형 XYA/스트레이트형
⑥벨로스(재질 SUS316L)
⑤밸브(재질 SUS304)
※③외부 Seal (보수부품)
※②밸브 Seal (보수부품)
④몸체 (재질 SCS13)
⑦벨로스 홀더 (재질 SUS304)
밸브측 배기
밸브측 배기
벨로스측 배기
벨로스측 배기
오토스위치 (옵션)
자석(옵션)
조작포트
78
A
BA
H
øG
C
CD
øG
øFn E
A
B
45°
H
øFnC
C DøL2
øFd
øFc
L1
(øFc)
øFd
100.2130 178 209 268
XYA-25XYA-40XYA-50XYA-63XYA-80
A79.5
106 119 149 178
B 48 66 79100117
C12233
D23.538 53 61 80
E 40 55 75 87114
Fn―――
95110
Fd2641527083
G 64 84 95118142
H(mm)
405065708890
XMA-16XMA-25XMA-40XMA-50XMA-63XMA-80
A103113158170196235
B 38 48 66 79100117
C112233
D 30 40 55 75 87114
Fn――――
95110
Fd 34―
70―
114―
Fc172641527083
G403963686996
HP.C.D 27
―P.C.D 58.7
―P.C.D 92.1
―
P.C.D L16×ø4.4
―6×ø6.6
―8×ø8.4
―
L2(mm)
XMA•XYA Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
외형치수도
XMA/L형
XYA/스트레이트형
(K플랜지) (CF플랜지)
(K플랜지)
(KF플랜지)
형식
형식
(KF
플랜지)
79
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
주1)컨덕턴스는 동일치수 엘보의 " 분자류" 에서의 값으로 대표하고 있습니다. 주2)( ) 안 질량은 CF(conflate) 의 경우
XMAXYA
XMA-16 XMA-25XYA-25
XMA-40XYA-40
XMA-50XYA-50
XMA-63XYA-63
XMA-80XYA-80
16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80
M5 Rc 1/8
5
0.05
0.33(0.37)
―
KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), K(DN), CF
KF(NW), K(DN)
0.4〜0.7
14 45 80 160 200
0.1 0.21 0.24 0.26 0.28
0.61
0.66
1.40(1.76)
1.42
2.00
2.40
3.60(4.96)
4.30
6.20
7.70
※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.
XMA•XYA Series
사양
형식
플랜지(밸브)사이즈
밸브형식
사용유체
사용온도 ℃
사용압력 Pa
컨덕턴스 L/s주1)
누설량 Pa•m3/s
작동시간 s
플랜지 종류
주요재질
조작압력 MPa(G)
조작포트 접속구경
내부
외부
질량 kg 주2)
상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal)
비활성 가스계의 진공
5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)
1×10-6〜대기압
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과를 제외
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-11 상온시•가스투과를 제외
몸체:SCS13(SUS304상당), 벨로스 : SUS316L, 주요부:SUS304, FKM(표준 Seal재)
구조도
※①보닛 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)
XMA/L형 XYA/스트레이트형
⑥벨로스(재질 SUS316L)
⑤밸브(재질 SUS304)
※③외부 Seal (보수부품)
※②밸브 Seal (보수부품)
④몸체 (재질 SCS13)
⑦벨로스 홀더 (재질 SUS304)
밸브측 배기
밸브측 배기
벨로스측 배기
벨로스측 배기
오토스위치 (옵션)
자석(옵션)
조작포트
78
구조도
XMCXYC
XMC-16 XMC-25XYC-25
XMC-40XYC-40
XMC-50XYC-50
XMC-63XYC-63
XMC-80XYC-80
16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80
M5 Rc 1/8
5
0.08
0.36(0.40)
―
KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), K(DN),CF
KF(NW),K(DN)
복동(양쪽 작동)•가압개폐
비활성 가스계의 진공
5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)
대기압〜1×10-6〜대기압
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과를 제외
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-11 상온시•가스투과를 제외
0.3〜0.6 0.4〜0.6
14 45 80 160 200
0.15 0.35 0.4 0.54 0.7
0.62
0.67
1.40(1.76)
1.42
2.10
2.50
3.80(5.16)
4.50
6.30
7.80
XMC /L형 XYC /스트레이트형
오토스위치 (옵션)
조작포트(가압 밸브 닫힘)
조작포트(가압 밸브 열림)
※①보닛 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)
자석(옵션)
※③외부 Seal (보수부품)
⑥벨로스(재질 SUS316L)
⑦벨로스 홀더 (재질 SUS304)
⑤밸브(재질 SUS304)
※②밸브 Seal (보수부품)
④몸체 (재질 SCS13)
XMC•XYC Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
사양
형식
내부
외부
플랜지(밸브)사이즈
밸브형식
사용유체
사용온도 ℃
사용압력 Pa
컨덕턴스 L/s주1)
누설량 Pa•m3/s
작동시간 s
플랜지 종류
주요재질
조작압력 MPa(G)
조작포트 접속구경
질량 kg 주2)
주1)컨덕턴스는 동일치수 엘보의 " 분자류" 에서의 값으로 대표하고 있습니다. 주2)( ) 안 질량은 CF(conflate) 의 경우
몸체:SCS13(SUS304상당), 벨로스 : SUS316L, 주요부:SUS304, FKM(표준 Seal재)
밸브측 배기
밸브측 배기
벨로스측 배기
벨로스측 배기
※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.
81
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
XMCXMC
M9N AA
1650 M9N
XYCXYC
① ⑤ ⑥
M9N A251
150② ③ ④
M9N⑦
162540506380
XMC●●●●●●
XYC―●●●●●
H05〜60℃
5〜150℃
ABC
ABC
1.3×10-10(FKM)1.3×10-8
1.3×10-8
1.3×10-10(FKM)
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
N1
Q1R1R2R3S1T1U1
P1
FKMEPDMBarrel
Perfluoro®
Kalrez®
Chemraz®
VMQFKM for Plasma
ULTICARMOR®
1349-80※2101-80※
70W
UA4640
4079SS592SS630SSE38
1232-70※3310-75※
XMC
KLM
KM
XYC
※미쓰비시 전선공업(주) 제
주1) 상온값, 가스투과 제외주2) Seal 장소는 구조도 P.81의 부품 No.를 참조하십시오. 표 안의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.를 나타냅니다.
무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMC-16-M9NA-XN1A
DC
KF(NW)K(DN)
CF
16•25•40•50•63・8063•80
16(034)•40(070)•63(114)
D K(DN)KF(NW) 25•40•50•63•80
63•80
XMC
XYC
XMC•XYC Series
스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브복동 / 벨로스 Seal
플랜지 사이즈 16, 25, 40
플랜지 사이즈 50, 63, 80
플랜지 사이즈 25, 40
플랜지 사이즈 50, 63, 80 A
형식표시방법
L형
스트레이트형
①플랜지 사이즈사이즈
④온도사양기호
무기호
온도범위
⑥오토 스위치수/부착위치기호
무기호수량
오토스위치 없음2개 부착1개 부착1개 부착
검출위치—
밸브 열림•닫힘밸브 열림밸브 닫힘
③조작포트 방향
기호무기호
조작포트 방향플랜지측
플랜지면 왼쪽
플랜지면 뒷쪽
플랜지면 오른쪽
기호무기호
조작포트 방향플랜지면 뒷쪽
플랜지면 왼쪽
플랜지면 오른쪽
②플랜지 종류
기호무기호
종류 적용 플랜지 사이즈
기호무기호
오토스위치 형식오토스위치 없음(내장자석 없음)
비고
무접점 오토스위치
오토스위치 없음(자석 내장)
유접점 오토스위치(플랜지 사이즈 16은 대응하지 않습니다.)
무기호
⑤오토스위치 종류
플랜지면
왼쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지측
플랜지면 뒷
플랜지면
오른쪽
플랜지면
왼쪽
플랜지측
플랜지면 뒷쪽
고온사양(온도사양 H0)의 경우에는 오토스위치 부착이 불가능합니다.리드선 길이는 0.5m(표준). 3m의 경우는 L, 1m의 경우는 M, 5m의 경우는 Z를 끝에 표시하여 주십시오.예)-M9NL
⑦Seal재질 및 Seal 장소 변경
•Seal 재질 변경 장소와 누설량•Seal재질
기호
무기호
변경장소주2)
없음
②,③②③
누설량 Pa•m3/s 이하주1)
내부 외부
기호무기호
Seal 재질 배합 NO.
M9N(M)(L)(Z)M9P(M)(L)(Z)M9B(M)(L)(Z)
A90(L)A93(M)(L)(Z)
M9//
―D-M9N(M)(L)(Z)D-M9P(M)(L)(Z)D-M9B(M)(L)(Z)
D-A90(L)D-A93(M)(L)(Z)
―
Ⓐ80
구조도
XMCXYC
XMC-16 XMC-25XYC-25
XMC-40XYC-40
XMC-50XYC-50
XMC-63XYC-63
XMC-80XYC-80
16,CF034 25 40,CF070 50 63,CF114 80
M5 Rc 1/8
5
0.08
0.36(0.40)
―
KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), CF KF(NW) KF(NW), K(DN),CF
KF(NW),K(DN)
복동(양쪽 작동)•가압개폐
비활성 가스계의 진공
5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)
대기압〜1×10-6〜대기압
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과를 제외
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-11 상온시•가스투과를 제외
0.3〜0.6 0.4〜0.6
14 45 80 160 200
0.15 0.35 0.4 0.54 0.7
0.62
0.67
1.40(1.76)
1.42
2.10
2.50
3.80(5.16)
4.50
6.30
7.80
XMC /L형 XYC /스트레이트형
오토스위치 (옵션)
조작포트(가압 밸브 닫힘)
조작포트(가압 밸브 열림)
※①보닛 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)
자석(옵션)
※③외부 Seal (보수부품)
⑥벨로스(재질 SUS316L)
⑦벨로스 홀더 (재질 SUS304)
⑤밸브(재질 SUS304)
※②밸브 Seal (보수부품)
④몸체 (재질 SCS13)
XMC•XYC Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
사양
형식
내부
외부
플랜지(밸브)사이즈
밸브형식
사용유체
사용온도 ℃
사용압력 Pa
컨덕턴스 L/s주1)
누설량 Pa•m3/s
작동시간 s
플랜지 종류
주요재질
조작압력 MPa(G)
조작포트 접속구경
질량 kg 주2)
주1)컨덕턴스는 동일치수 엘보의 " 분자류" 에서의 값으로 대표하고 있습니다. 주2)( ) 안 질량은 CF(conflate) 의 경우
몸체:SCS13(SUS304상당), 벨로스 : SUS316L, 주요부:SUS304, FKM(표준 Seal재)
밸브측 배기
밸브측 배기
벨로스측 배기
벨로스측 배기
※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.
81
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
XMCXMC
M9N AA
1650 M9N
XYCXYC
① ⑤ ⑥
M9N A251
150② ③ ④
M9N⑦
162540506380
XMC●●●●●●
XYC―●●●●●
H05〜60℃5〜150℃
ABC
ABC
1.3×10-10(FKM)1.3×10-8
1.3×10-8
1.3×10-10(FKM)
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
N1
Q1R1R2R3S1T1U1
P1
FKMEPDMBarrel
Perfluoro®
Kalrez®
Chemraz®
VMQFKM for Plasma
ULTICARMOR®
1349-80※2101-80※
70W
UA4640
4079SS592SS630SSE38
1232-70※3310-75※
XMC
KLM
KM
XYC
※미쓰비시 전선공업(주) 제
주1) 상온값, 가스투과 제외주2) Seal 장소는 구조도 P.81의 부품 No.를 참조하십시오. 표 안의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.를 나타냅니다.
무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMC-16-M9NA-XN1A
DC
KF(NW)K(DN)
CF
16•25•40•50•63・8063•80
16(034)•40(070)•63(114)
D K(DN)KF(NW) 25•40•50•63•80
63•80
XMC
XYC
XMC•XYC Series
스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브복동 / 벨로스 Seal
플랜지 사이즈 16, 25, 40
플랜지 사이즈 50, 63, 80
플랜지 사이즈 25, 40
플랜지 사이즈 50, 63, 80 A
형식표시방법
L형
스트레이트형
①플랜지 사이즈사이즈
④온도사양기호
무기호
온도범위
⑥오토 스위치수/부착위치기호
무기호수량
오토스위치 없음2개 부착1개 부착1개 부착
검출위치—
밸브 열림•닫힘밸브 열림밸브 닫힘
③조작포트 방향
기호무기호
조작포트 방향플랜지측
플랜지면 왼쪽
플랜지면 뒷쪽
플랜지면 오른쪽
기호무기호
조작포트 방향플랜지면 뒷쪽
플랜지면 왼쪽
플랜지면 오른쪽
②플랜지 종류
기호무기호
종류 적용 플랜지 사이즈
기호무기호
오토스위치 형식오토스위치 없음(내장자석 없음)
비고
무접점 오토스위치
오토스위치 없음(자석 내장)
유접점 오토스위치(플랜지 사이즈 16은 대응하지 않습니다.)
무기호
⑤오토스위치 종류
플랜지면
왼쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지측
플랜지면 뒷
플랜지면
오른쪽
플랜지면
왼쪽
플랜지측
플랜지면 뒷쪽
고온사양(온도사양 H0)의 경우에는 오토스위치 부착이 불가능합니다.리드선 길이는 0.5m(표준). 3m의 경우는 L, 1m의 경우는 M, 5m의 경우는 Z를 끝에 표시하여 주십시오.예)-M9NL
⑦Seal재질 및 Seal 장소 변경
•Seal 재질 변경 장소와 누설량•Seal재질
기호
무기호
변경장소주2)
없음
②,③②③
누설량 Pa•m3/s 이하주1)
내부 외부
기호무기호
Seal 재질 배합 NO.
M9N(M)(L)(Z)M9P(M)(L)(Z)M9B(M)(L)(Z)
A90(L)A93(M)(L)(Z)
M9//
―D-M9N(M)(L)(Z)D-M9P(M)(L)(Z)D-M9B(M)(L)(Z)
D-A90(L)D-A93(M)(L)(Z)
―
Ⓐ80
XMC-50〜80 /L형
405065
XMC-16XMC-25XMC-40
형식 A110120171
B384866
C112
D304055
Fn34―70
Fc172641
G403963
H J262836
P.C.D 27 ―
P.C.D 58.7
P.C.D L16×ø4.4
―6×ø6.6
L2(mm)
708890
XMC-50XMC-63XMC-80
형식 A183209250
B 80100117
C31 39 45.5
D 75 87114
Fn―
95110
Fd―
114―
―P.C.D 92.1
―
Fc527083
G 77
76.5105
293644
10.59 9
H J KP.C.D L1―
8×ø8.4―
L2(mm)
A
AB
øG
JH
øFnC
C D
(KF 플랜지
)
외형치수도
XMC-16〜40 /L형
øFn
(KF 플랜지
)
C
C
B
K
HJ
A
D
(K 플랜지) (CF 플랜지)
øFd
øFc
L1
øL2
A
øG
øL2
øFc
(CF 플랜지)
L1
(øFc)
XMC•XYC Series
82
178209268
XYC-50XYC-63XYC-80
형식 A121148177
B 80100117
C31 39 45.5
D536180
E 75 87114
Fn―
95110
Fd527083
G104126150
293644
10.59 9
78 99116
H J K M(mm)
외형치수도
XYC-25, 40 /스트레이트형
100.2130
XYC-25XYC-40
형식 A 85115
B4866
C12
D23.538
E4055
Fn2641
G6484
2836
H J(mm)
øFn EA
45°
B
J
C
CD
øG
H
(KF 플랜지)
C
C
D
(K 플랜지)
øFdøG
K
HJ
øM
øFn E
A
45°
B
(KF 플랜지)
XYC-50〜80 /스트레이트형
XMC•XYC Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
83
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
XMC-50〜80 /L형
405065
XMC-16XMC-25XMC-40
형식 A110120171
B384866
C112
D304055
Fn34―70
Fc172641
G403963
H J262836
P.C.D 27 ―
P.C.D 58.7
P.C.D L16×ø4.4
―6×ø6.6
L2(mm)
708890
XMC-50XMC-63XMC-80
형식 A183209250
B 80100117
C31 39 45.5
D 75 87114
Fn―
95110
Fd―
114―
―P.C.D 92.1
―
Fc527083
G 77
76.5105
293644
10.59 9
H J KP.C.D L1―
8×ø8.4―
L2(mm)
A
AB
øG
JH
øFnC
C D
(KF 플랜지
)
외형치수도
XMC-16〜40 /L형
øFn
(KF 플랜지
)
C
C
B
K
HJ
A
D
(K 플랜지) (CF 플랜지)
øFd
øFc
L1
øL2
A
øG
øL2
øFc
(CF 플랜지)
L1
(øFc)
XMC•XYC Series
82
178209268
XYC-50XYC-63XYC-80
형식 A121148177
B 80100117
C31 39 45.5
D536180
E 75 87114
Fn―
95110
Fd527083
G104126150
293644
10.59 9
78 99116
H J K M(mm)
외형치수도
XYC-25, 40 /스트레이트형
100.2130
XYC-25XYC-40
형식 A 85115
B4866
C12
D23.538
E4055
Fn2641
G6484
2836
H J(mm)
øFn EA
45°
B
J
C
CD
øG
H
(KF 플랜지)
C
C
D
(K 플랜지)
øFdøG
K
HJ
øM
øFn E
A
45°
B
(KF 플랜지)
XYC-50〜80 /스트레이트형
XMC•XYC Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
83
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
주1)메인 배기 밸브의 컨덕턴스는 동일 치수의 엘보의 “분자류”에서의 값으로 대표하고 있습니다. 초기 배기 밸브의 컨덕턴스는 “점성류”의 값입니다.주2)( )안 질량은 CF(conflate)피팅의 경우주3)진공부 Seal재 접동부(초기 배기 밸브 접동부)에는 진공그리스[Y-VAC2]를 도포하고 있습니다.
컨덕턴스 L/s주1)
누설량 Pa•m3/s
작동시간 s
플랜지(밸브)사이즈
밸브형식
사용유체
사용온도 ℃
사용압력 Pa(abs)
플랜지 종류
주요재질주3)
조작압력 MPa(G)
조작포트 접속구경
메인배기밸브
초기배기밸브
내부
외부
메인배기밸브
초기배기밸브
XMDXYD
XMD-25XYD-25
25
M5 Rc 1/8
14
0.10
0.07
0.65
0.71
KF(NW)
상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal) [메인배기•초기배기밸브 공통]
비활성 가스계의 진공
5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)
1×10-6〜대기압
몸체:SCS13(SUS304상당), 벨로스 : SUS316L, 주요부:SUS304, FKM(표준 Seal재)
0.4〜0.7 [메인배기•초기배기밸브 공통]
XMD-40XYD-4040,CF070
45
0.21
0.08
1.50(1.86)
1.52
KF(NW), CF
XMD-50XYD-50
50
80
0.24
0.09
2.20
2.60
KF(NW)
XMD-63XYD-6363,CF114
160
0.26
0.23
4.10(5.46)
4.80
KF(NW), K(DN), CF
KF(NW), K(DN)
XMD-80XYD-80
80
200
0.5〜3 2〜8 2.5〜11 4〜18 4〜18
0.28
0.27
6.80
8.30질량 kg 주2)
XMD•XYD Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
사양
형식
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과를 제외
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-11 상온시•가스투과를 제외
85
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
형식표시방법
스트레이트형
XMDXYD
L형
① ② ③ ④ ⑤ ⑥
M9N A25M9N A25
⑦
2540506380
XMD●●●●●
XYD●●●●●
H05〜60℃
5〜150℃
ABC
ABC
1.3×10-10(FKM)1.3×10-8
1.3×10-8
1.3×10-10(FKM)
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
N1
Q1R1R2R3S1T1U1
P1
FKMEPDMBarrel
Perfluoro®
Kalrez®
Chemraz®
VMQFKM for Plasma
ULTICARMOR®
1349-80※2101-80※
70W
UA4640
4079SS592SS630SSE38
1232-70※3310-75※
S밸브의 접동부 재질은 FKM입니다.
DC
KF(NW)K(DN)
CF
25・40・50・63・8063・80
40(070)・63(114)
DKF(NW)
K(DN)25・40・50・63・80
63・80
XMD
XYD
XMD
KLM
KM
XYD
예) XMD-25-M9NA-XN1A
XMD•XYD Series
스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브2단제어•단동/벨로스 Seal・O-ring Seal
PAT.
M9N(M)(L)(Z)M9P(M)(L)(Z)M9B(M)(L)(Z)
A90(L)A93(M)(L)(Z)
M9//
―D-M9N(M)(L)(Z)D-M9P(M)(L)(Z)D-M9B(M)(L)(Z)
D-A90(L)D-A93(M)(L)(Z)
―
Ⓐ
※미쓰비시 전선공업(주) 제
주1) 상온값, 가스투과 제외주2) Seal 장소는 구조도 P.81의 부품 No.를 참조하십시오. 표 안의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.를 나타냅니다.
무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.
①플랜지 사이즈
사이즈
④온도사양기호
무기호
온도범위
⑥오토 스위치수/부착위치기호
무기호수량
오토스위치 없음2개 부착1개 부착1개 부착
검출위치―
밸브 열림•닫힘밸브 열림밸브 닫힘
③조작포트 방향
기호무기호
조작포트 방향플랜지측
플랜지면 왼쪽
플랜지면 뒷쪽
플랜지면 오른쪽
기호무기호
조작포트 방향플랜지면 뒷쪽
플랜지면 왼쪽
플랜지면 오른쪽
②플랜지 종류
기호무기호
종류 적용 플랜지 사이즈
기호무기호
오토스위치 형식
오토스위치 없음(내장자석 없음)비고
무접점 오토스위치
오토스위치 없음(자석 내장)
유접점 오토스위치
무기호
⑤오토스위치 종류
플랜지면
왼쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지측
플랜지면 뒷쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지면
왼쪽
플랜지측
플랜지면 뒷쪽
⑦Seal재질 및 Seal 장소 변경
•Seal 재질 변경 장소와 누설량•Seal재질
기호
무기호
변경장소주2)
없음
②,③,④,⑤②,④,⑤
③
누설량 Pa•m3/s 이하주1)
내부 외부
기호무기호
Seal 재질 배합 NO.
고온사양(온도사양 H0)의 경우에는 오토스위치 부착이 불가능합니다.리드선 길이는 0.5m(표준). 3m의 경우는 L, 1m의 경우는 M, 5m의 경우는 Z를 끝에 표시하여 주십시오.예)-M9NL
84
주1)메인 배기 밸브의 컨덕턴스는 동일 치수의 엘보의 “분자류”에서의 값으로 대표하고 있습니다. 초기 배기 밸브의 컨덕턴스는 “점성류”의 값입니다.주2)( )안 질량은 CF(conflate)피팅의 경우주3)진공부 Seal재 접동부(초기 배기 밸브 접동부)에는 진공그리스[Y-VAC2]를 도포하고 있습니다.
컨덕턴스 L/s주1)
누설량 Pa•m3/s
작동시간 s
플랜지(밸브)사이즈
밸브형식
사용유체
사용온도 ℃
사용압력 Pa(abs)
플랜지 종류
주요재질주3)
조작압력 MPa(G)
조작포트 접속구경
메인배기밸브
초기배기밸브
내부
외부
메인배기밸브
초기배기밸브
XMDXYD
XMD-25XYD-25
25
M5 Rc 1/8
14
0.10
0.07
0.65
0.71
KF(NW)
상시 닫힘(가압시 열림•스프링 Seal) [메인배기•초기배기밸브 공통]
비활성 가스계의 진공
5〜60 (고온타입의 경우 5〜150)
1×10-6〜대기압
몸체:SCS13(SUS304상당), 벨로스 : SUS316L, 주요부:SUS304, FKM(표준 Seal재)
0.4〜0.7 [메인배기•초기배기밸브 공통]
XMD-40XYD-4040,CF070
45
0.21
0.08
1.50(1.86)
1.52
KF(NW), CF
XMD-50XYD-50
50
80
0.24
0.09
2.20
2.60
KF(NW)
XMD-63XYD-6363,CF114
160
0.26
0.23
4.10(5.46)
4.80
KF(NW), K(DN), CF
KF(NW), K(DN)
XMD-80XYD-80
80
200
0.5〜3 2〜8 2.5〜11 4〜18 4〜18
0.28
0.27
6.80
8.30질량 kg 주2)
XMD•XYD Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
사양
형식
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과를 제외
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-11 상온시•가스투과를 제외
85
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
형식표시방법
스트레이트형
XMDXYD
L형
① ② ③ ④ ⑤ ⑥
M9N A25M9N A25
⑦
2540506380
XMD●●●●●
XYD●●●●●
H05〜60℃5〜150℃
ABC
ABC
1.3×10-10(FKM)1.3×10-8
1.3×10-8
1.3×10-10(FKM)
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
N1
Q1R1R2R3S1T1U1
P1
FKMEPDMBarrel
Perfluoro®
Kalrez®
Chemraz®
VMQFKM for Plasma
ULTICARMOR®
1349-80※2101-80※
70W
UA4640
4079SS592SS630SSE38
1232-70※3310-75※
S밸브의 접동부 재질은 FKM입니다.
DC
KF(NW)K(DN)
CF
25・40・50・63・8063・80
40(070)・63(114)
DKF(NW)
K(DN)25・40・50・63・80
63・80
XMD
XYD
XMD
KLM
KM
XYD
예) XMD-25-M9NA-XN1A
XMD•XYD Series
스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브2단제어•단동/벨로스 Seal・O-ring Seal
PAT.
M9N(M)(L)(Z)M9P(M)(L)(Z)M9B(M)(L)(Z)
A90(L)A93(M)(L)(Z)
M9//
―D-M9N(M)(L)(Z)D-M9P(M)(L)(Z)D-M9B(M)(L)(Z)
D-A90(L)D-A93(M)(L)(Z)
―
Ⓐ
※미쓰비시 전선공업(주) 제
주1) 상온값, 가스투과 제외주2) Seal 장소는 구조도 P.81의 부품 No.를 참조하십시오. 표 안의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.를 나타냅니다.
무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.
①플랜지 사이즈
사이즈
④온도사양기호
무기호
온도범위
⑥오토 스위치수/부착위치기호
무기호수량
오토스위치 없음2개 부착1개 부착1개 부착
검출위치―
밸브 열림•닫힘밸브 열림밸브 닫힘
③조작포트 방향
기호무기호
조작포트 방향플랜지측
플랜지면 왼쪽
플랜지면 뒷쪽
플랜지면 오른쪽
기호무기호
조작포트 방향플랜지면 뒷쪽
플랜지면 왼쪽
플랜지면 오른쪽
②플랜지 종류
기호무기호
종류 적용 플랜지 사이즈
기호무기호
오토스위치 형식
오토스위치 없음(내장자석 없음)비고
무접점 오토스위치
오토스위치 없음(자석 내장)
유접점 오토스위치
무기호
⑤오토스위치 종류
플랜지면
왼쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지측
플랜지면 뒷쪽
플랜지면
오른쪽
플랜지면
왼쪽
플랜지측
플랜지면 뒷쪽
⑦Seal재질 및 Seal 장소 변경
•Seal 재질 변경 장소와 누설량•Seal재질
기호
무기호
변경장소주2)
없음
②,③,④,⑤②,④,⑤
③
누설량 Pa•m3/s 이하주1)
내부 외부
기호무기호
Seal 재질 배합 NO.
고온사양(온도사양 H0)의 경우에는 오토스위치 부착이 불가능합니다.리드선 길이는 0.5m(표준). 3m의 경우는 L, 1m의 경우는 M, 5m의 경우는 Z를 끝에 표시하여 주십시오.예)-M9NL
84
외형치수도
XMD /L형
XYD /스트레이트형
5065708890
XMD-25XMD-40XMD-50XMD-63XMD-80
형식 A123170183217256
B 48 66 79100117
C12233
D 40 55 75 87114
Fn―――
95110
Fd―
70―
114―
Fc2641527083
G4163687298
H J K1620202020
7.515 17.519.526.5
―P.C.D 58.7
―P.C.D 92.1
―
P.C.D L1―
6×ø6.6―
8×ø8.4―
L2(mm)
100.2130 178 209 268
XYD-25XYD-40XYD-50XYD-63XYD-80
형식 A 86.7114 128 163 193
B 48 66 79100117
C12233
D23.538 53 61 80
E 40 55 75 87114
Fn―――
95110
Fd2641527083
G 66 84 95121144
1620202020
H J 7.515 17.519.526.5
K(mm)
øL2
øFd
øFc
(K 플랜지) (CF 플랜지)
L1
(øFc)
øFd
(K 플랜지)
(KF 플랜지
)
(KF 플랜지)
M
S
A
AB
K
C
C
øFn
øG
JH
D
M
S
øFn EA
45°
B
C
CD
øG
JK
H
XMD•XYD Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
87
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
조작포트 S(초기배기 밸브용)
조작포트 M(메인배기 밸브용)
①보닛 Ass'y(보수부품)※ (②⑤⑦⑧⑨⑩ 포함)
조절너트(외주 롤렛 가공품)초기 배기용 밸브 개도 조정
S밸브 접동용 O-ring(재질 FKM)
오토스위치(옵션)
③외부 Seal (보수부품)※
②밸브 Seal (보수부품)※
④S밸브 Seal Ass'y(보수부품) (재질 SUS304+ Seal재)S밸브⑧
(재질 SUS304)
몸체⑥(재질 SCS13)
M밸브⑦(재질 SUS304)
자석(옵션)
고정용 O-ring⑤
벨로스⑨(재질 SUS316L)
벨로스 홀더⑩(재질 SUS304)
조절너트(외주 롤렛 가공품)초기 배기용 밸브 개도 조정
오토스위치(옵션)
조작포트 S(초기배기 밸브용)
조작포트 M(메인배기 밸브용)
※외부 Seal (보수부품)③
자석(옵션)
⑩벨로스 홀더(재질 SUS304)
⑨벨로스(재질 SUS316L)
보닛 Ass'y(보수부품)① (②⑤⑦⑧⑨⑩ 포함)
※밸브 Seal (보수부품)②
※S밸브 Seal Ass'y (보수부품)④ (재질 SUS304+ Seal재)
S밸브 접동용 O-ring(재질 FKM)
⑤고정용 O-ring
⑦M밸브 (재질 SUS304)
⑥몸체 (재질 SCS13) ⑧S밸브 (재질 SUS304)
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.4 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0
20
18
16
14
12
10
8
6
4
2
0
XMD/XYD-63XMD/XYD-80
XMD/XYD-50
XMD/XYD-40
XMD/XYD-25
※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.
구조도
밸브측 배기
벨로스측 배기
밸브측 배기
벨로스측 배기
XMD•XYD Series
《작동설명》 XMD•XYD Series❶초기 배기용 밸브 개도 조정
사용전에 (조작포트 S에 기압을 가하지 않은 상태) 초기 배기량을 조정합 니다.조절너트를 시계방향으로 돌려 가볍게 회전이 정지하면 초기 배기량은 제 로가 됩니다.(공구는 사용하지 마십시오.)반시계 방향으로 돌려 초기배기량을 설정합니다. 조절너트 회전수(피치 1mm)와 초기 배기 밸브 컨덕턴스의 관계는 오른쪽 그림을 참조하십시오.
❷초기 배기용 밸브(S 밸브)열림조작포트 S에 기압을 가하면, S밸브는 S밸브 Seal Ass'y에서 이탈하여 조정된 개도까지 열립니다.
❸메인 배기용 밸브(M 밸브)열림조작포트 M에 기압을 가하면, M밸브는 몸체 시트부에서 이탈하여 완전 히 열립니다.
❹초기 배기용 밸브 / 메인 배기용 밸브 닫힘조작포트 S 및 조작포트 M의 기압을 제거함으로서 S밸브 및 M밸브는 복귀하여 실링합니다.
조절너트 회전수 n
초기
배기
밸브
컨덕
턴스
L/s
(점성
류)
△P=
0.1M
Pa일
때 유
량을
나타
냄
XYD/스트레이트형
XMD/L형
86
외형치수도
XMD /L형
XYD /스트레이트형
5065708890
XMD-25XMD-40XMD-50XMD-63XMD-80
형식 A123170183217256
B 48 66 79100117
C12233
D 40 55 75 87114
Fn―――
95110
Fd―
70―
114―
Fc2641527083
G4163687298
H J K1620202020
7.515 17.519.526.5
―P.C.D 58.7
―P.C.D 92.1
―
P.C.D L1―
6×ø6.6―
8×ø8.4―
L2(mm)
100.2130 178 209 268
XYD-25XYD-40XYD-50XYD-63XYD-80
형식 A 86.7114 128 163 193
B 48 66 79100117
C12233
D23.538 53 61 80
E 40 55 75 87114
Fn―――
95110
Fd2641527083
G 66 84 95121144
1620202020
H J 7.515 17.519.526.5
K(mm)
øL2
øFd
øFc
(K 플랜지) (CF 플랜지)
L1
(øFc)
øFd
(K 플랜지)
(KF 플랜지
)
(KF 플랜지)
M
S
A
AB
K
CC
øFn
øG
JH
D
M
S
øFn EA
45°
B
C
CD
øG
JK
H
XMD•XYD Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
87
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
조작포트 S(초기배기 밸브용)
조작포트 M(메인배기 밸브용)
①보닛 Ass'y(보수부품)※ (②⑤⑦⑧⑨⑩ 포함)
조절너트(외주 롤렛 가공품)초기 배기용 밸브 개도 조정
S밸브 접동용 O-ring(재질 FKM)
오토스위치(옵션)
③외부 Seal (보수부품)※
②밸브 Seal (보수부품)※
④S밸브 Seal Ass'y(보수부품) (재질 SUS304+ Seal재)S밸브⑧
(재질 SUS304)
몸체⑥(재질 SCS13)
M밸브⑦(재질 SUS304)
자석(옵션)
고정용 O-ring⑤
벨로스⑨(재질 SUS316L)
벨로스 홀더⑩(재질 SUS304)
조절너트(외주 롤렛 가공품)초기 배기용 밸브 개도 조정
오토스위치(옵션)
조작포트 S(초기배기 밸브용)
조작포트 M(메인배기 밸브용)
※외부 Seal (보수부품)③
자석(옵션)
⑩벨로스 홀더(재질 SUS304)
⑨벨로스(재질 SUS316L)
보닛 Ass'y(보수부품)① (②⑤⑦⑧⑨⑩ 포함)
※밸브 Seal (보수부품)②
※S밸브 Seal Ass'y (보수부품)④ (재질 SUS304+ Seal재)
S밸브 접동용 O-ring(재질 FKM)
⑤고정용 O-ring
⑦M밸브 (재질 SUS304)
⑥몸체 (재질 SCS13) ⑧S밸브 (재질 SUS304)
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.4 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0
20
18
16
14
12
10
8
6
4
2
0
XMD/XYD-63XMD/XYD-80
XMD/XYD-50
XMD/XYD-40
XMD/XYD-25
※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.
구조도
밸브측 배기
벨로스측 배기
밸브측 배기
벨로스측 배기
XMD•XYD Series
《작동설명》 XMD•XYD Series❶초기 배기용 밸브 개도 조정
사용전에 (조작포트 S에 기압을 가하지 않은 상태) 초기 배기량을 조정합 니다.조절너트를 시계방향으로 돌려 가볍게 회전이 정지하면 초기 배기량은 제 로가 됩니다.(공구는 사용하지 마십시오.)반시계 방향으로 돌려 초기배기량을 설정합니다. 조절너트 회전수(피치 1mm)와 초기 배기 밸브 컨덕턴스의 관계는 오른쪽 그림을 참조하십시오.
❷초기 배기용 밸브(S 밸브)열림조작포트 S에 기압을 가하면, S밸브는 S밸브 Seal Ass'y에서 이탈하여 조정된 개도까지 열립니다.
❸메인 배기용 밸브(M 밸브)열림조작포트 M에 기압을 가하면, M밸브는 몸체 시트부에서 이탈하여 완전 히 열립니다.
❹초기 배기용 밸브 / 메인 배기용 밸브 닫힘조작포트 S 및 조작포트 M의 기압을 제거함으로서 S밸브 및 M밸브는 복귀하여 실링합니다.
조절너트 회전수 n
초기
배기
밸브
컨덕
턴스
L/s
(점성
류)
△P=
0.1M
Pa일
때 유
량을
나타
냄
XYD/스트레이트형
XMD/L형
86
주1)컨덕턴스는 동일치수 엘보의 "분자류"에서의 값으로 대표하고 있습니다.주2)( )안 질량은 CF(conflate)의 경우
플랜지(밸브)사이즈
밸브형식
사용유체
사용온도 ℃
사용압력 Pa(abs)
컨덕턴스 L/s주1)
누설량 Pa•m3/s
플랜지 종류
주요재질
조작 토크 N•m
핸들 회전수
XMHXYH
XMH-16
16,CF034
5
KF(NW), CF
0.1 ≦
5
0.31(0.35)
―
수동
비활성 가스계의 진공
5〜150
1×10-6〜대기압
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과를 제외
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-11 상온시•가스투과를 제외
몸체:SCS13(SUS304상당), 벨로스 : SUS316L, 주요부:SUS304, FKM(표준 Seal재)
XMH-25XYH-25
25
14
KF(NW)
0.15 ≦
7
0.57
0.62
XMH-40XYH-4040,CF070
45
KF(NW), CF
0.35 ≦
10
1.35(1.71)
1.37
XMH-50XYH-50
50
80
KF(NW)
0.5 ≦
13
2.02
2.42
XMH /L형 XYH /스트레이트형
※①핸들 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)
⑦벨로스 홀더 (재질 SUS304)
⑥벨로스(재질 SUS316L)
⑤밸브(재질 SUS304)
※③외부 Seal (보수부품)
※②밸브Seal (보수부품)
④몸체 (재질 SCS13)
인디케이터
질량 kg 주2)
※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.밸브측 배기
벨로스측 배기
XMH•XYH Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
사양
형식
내부
외부
구조도
밸브측 배기
벨로스측 배기
89
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
형식표시방법
스트레이트형
XMHXYH
L형
① ② ③
①플랜지 사이즈사이즈
16254050
XMH●●●●
XYH―●●●
•Seal 재질 변경 장소와 누설량
ABC
1.3×10-10(FKM)1.3×10-8
1.3×10-8
1.3×10-10(FKM)
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
③Seal재질 및 Seal 장소 변경
N1
Q1R1R2R3S1T1U1
P1
FKMEPDMBarrel
Perfluoro®
Kalrez®
Chemraz®
VMQFKM for Plasma
ULTICARMOR®
1349-80※2101-80※
70W
UA4640
4079SS592SS630SSE38
1232-70※3310-75※
※미쓰비시 전선공업(주) 제
주1) 상온값, 가스투과 제외주2) Seal 장소는 구조도 P.89의 부품 No.를 참조하십시오. 표 안의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.를 나타냅니다.
②플랜지 종류
기호무기호
C
종류
KF(NW)CF
적용 플랜지 사이즈 16•25•40•50
16(034)•40(070)
무기호 KF(NW) 25•40•50
XMH
XYH
1625
무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMH-16-XN1A
XMH•XYH Series
스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브수동/벨로스 Seal
RoHS
기호
무기호
변경장소주2)
없음
②,③②③
누설량 Pa•m3/s 이하주1)
내부 외부
•Seal재질기호
무기호
Seal 재질 배합 NO.
88
주1)컨덕턴스는 동일치수 엘보의 "분자류"에서의 값으로 대표하고 있습니다.주2)( )안 질량은 CF(conflate)의 경우
플랜지(밸브)사이즈
밸브형식
사용유체
사용온도 ℃
사용압력 Pa(abs)
컨덕턴스 L/s주1)
누설량 Pa•m3/s
플랜지 종류
주요재질
조작 토크 N•m
핸들 회전수
XMHXYH
XMH-16
16,CF034
5
KF(NW), CF
0.1 ≦
5
0.31(0.35)
―
수동
비활성 가스계의 진공
5〜150
1×10-6〜대기압
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-10 상온시•가스투과를 제외
표준재질(FKM)의 경우 1.3×10-11 상온시•가스투과를 제외
몸체:SCS13(SUS304상당), 벨로스 : SUS316L, 주요부:SUS304, FKM(표준 Seal재)
XMH-25XYH-25
25
14
KF(NW)
0.15 ≦
7
0.57
0.62
XMH-40XYH-4040,CF070
45
KF(NW), CF
0.35 ≦
10
1.35(1.71)
1.37
XMH-50XYH-50
50
80
KF(NW)
0.5 ≦
13
2.02
2.42
XMH /L형 XYH /스트레이트형
※①핸들 Ass'y(보수부품)(②⑤⑥⑦ 포함)
⑦벨로스 홀더 (재질 SUS304)
⑥벨로스(재질 SUS316L)
⑤밸브(재질 SUS304)
※③외부 Seal (보수부품)
※②밸브Seal (보수부품)
④몸체 (재질 SCS13)
인디케이터
질량 kg 주2)
※보수부품에 대해서는 P.92를 참조하여 주십시오.밸브측 배기
벨로스측 배기
XMH•XYH Series스테인리스제고진공 L형 밸브/스트레이트형 밸브
사양
형식
내부
외부
구조도
밸브측 배기
벨로스측 배기
89
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
형식표시방법
스트레이트형
XMHXYH
L형
① ② ③
①플랜지 사이즈사이즈
16254050
XMH●●●●
XYH―●●●
•Seal 재질 변경 장소와 누설량
ABC
1.3×10-10(FKM)1.3×10-8
1.3×10-8
1.3×10-10(FKM)
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
1.3×10-11(FKM)1.3×10-9
③Seal재질 및 Seal 장소 변경
N1
Q1R1R2R3S1T1U1
P1
FKMEPDMBarrel
Perfluoro®
Kalrez®
Chemraz®
VMQFKM for Plasma
ULTICARMOR®
1349-80※2101-80※
70W
UA4640
4079SS592SS630SSE38
1232-70※3310-75※
※미쓰비시 전선공업(주) 제
주1) 상온값, 가스투과 제외주2) Seal 장소는 구조도 P.89의 부품 No.를 참조하십시오. 표 안의 동그라미 숫자는 구조도의 부품 No.를 나타냅니다.
②플랜지 종류
기호무기호
C
종류
KF(NW)CF
적용 플랜지 사이즈 16•25•40•50
16(034)•40(070)
무기호 KF(NW) 25•40•50
XMH
XYH
1625
무기호(표준) 이외를 선택하는 경우, 기호의 맨 앞에 반드시 X를 기입하고 Seal 재질, 변경장소의 순으로 나열하여 표시하십시오.예) XMH-16-XN1A
XMH•XYH Series
스테인리스제고진공 L형 밸브 / 스트레이트형 밸브수동/벨로스 Seal
RoHS
기호
무기호
변경장소주2)
없음
②,③②③
누설량 Pa•m3/s 이하주1)
내부 외부
•Seal재질기호
무기호
Seal 재질 배합 NO.
88
XM□/L형
XY□/스트레이트형
추천 배기방향[벨로스측에 진공펌프 접속]
챔버
진공펌프
벨로스측
밸브측
챔버
진공펌프
벨로스측밸브측
XM•XY Series제품개별 주의사항①사용하기 전에 반드시 읽어 주십시오.
설계상 주의 배관
경고 주의● 전체 공통
①몸체재질은 A6063, 벨로스는 SUS316L, 기타 진공부의 금속 재질은 SUS304입니다.진공부의 Seal 재질은 표준이 FKM으로 되어 있으나, 기타 재질(형식 표시방법을 확인하십시오.)로의 변경이 가능합니다. 사용재질을 확인 한 후, 지장이 없는 유체를 사용하십시오.
②조작기압 배관재료 및 피팅의 내열은 사용온도에 적합한 것을 선정하 여 주십시오.
● 오토스위치 부착
①스위치부의 온도는 60℃ 이하로 하여 주십시오.
선정
주의 ● 전체공통
①밸브의 응답성을 관리하는 경우에는 배관사이즈와 길이 및 조작용 전 자밸브의 유량특성에 주의해 주십시오.
②조작 압력은 규정내에서 사용하여 주십시오. 0.4MPa〜0.5MPa을 추천합니다.
③사용압력 범위내에서 사용하여 주십시오.④작동용 피스톤실 및 벨로스실은 대기와 직접 접속하고 있습니다. 더스
트 배출에 대한 문제가 없는 환경하에서 사용하여 주십시오. ● 고온타입
①침전물이 많은 가스일 경우는 몸체를 가열하고 밸브로 들어가는 침전 물을 방지하여 주십시오.
설치
주의 ● 전체 공통
①고습도의 환경일 경우는 배관직전까지 포장상태를 유지하여 주십시오.
②스위치 부착의 경우는 리드선에 충분한 곡률을 주고, 무리한 힘이 가 해지지 않는 상태에서 고정하여 주십시오.
③플랜지부에 과대한 힘이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오. 중량물 이나 설치품이 진동하는 경우에는 플랜지부에 직접 토크가 가해지지 않도록 고정하여 주십시오.
④오작동하지 않는 내진동은 30m/s2(45〜250Hz)입니다만 진동이 계 속되는 경우에는 내구성저하의 우려가 있습니다. 과대한 진동이나 충격이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오.
● 고온타입(온도사양 H0, H2, H3)
①밸브를 보온하는 경우는 보닛부(핸들부)를 뺀 몸체부만 보온하여
주십시오.
①플랜지 Seal면 및 O-ring은 에탄올 등으로 세정하고나서 설치하여 주십시오.
②플랜지 Seal면 보호를 위해 0.1mm〜0.2mm로 오목하게되어 있지 만, Seal면에 상처가 나지 않도록 취급하여 주십시오.
③배기방향
동작상, 배기방향은 자유입니다만 배기에 의한 흐름이 발생할 경우에 는 내구성이 저하되는 경우가 있습니다.아래 그림과 같은 배기방향(벨로스측 배기)을 추천합니다. 사용조건에 따라 수명이 달라지므로 충분한 확인을 부탁드립니다.
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
91
외형치수도
XMH /L형 밸브
XYH /스트레이트형
40506570
XMH-16XMH-25XMH-40XMH-50
형식 A100.5114 162.5179.5
B38486679
C1122
D30405575
Fn34―70―
Fc17264152
G35 40.557 70
H18 21.530 35
JP.C.D 27
―P.C.D 58.7
―
P.C.D L16×ø4.4
―6×ø6.6
―
L2(mm)
100.2130 178
XYH-25XYH-40XYH-50
형식 A 75.8102.5119
B486679
C122
D23.538 53
E405575
Fn264152
G40.557 70
H21.530 35
J(mm)
A
AB
øHøF
nC
C D
øG
J
B
E
A
C
C
D
øG
øFn
J
øH
øL2
øFc
(CF 플랜지)
L1
(øFc)(KF 플랜지
)
(KF 플랜지)
XMH•XYH Series
90
XM□/L형
XY□/스트레이트형
추천 배기방향[벨로스측에 진공펌프 접속]
챔버
진공펌프
벨로스측
밸브측
챔버
진공펌프
벨로스측밸브측
XM•XY Series제품개별 주의사항①사용하기 전에 반드시 읽어 주십시오.
설계상 주의 배관
경고 주의● 전체 공통
①몸체재질은 A6063, 벨로스는 SUS316L, 기타 진공부의 금속 재질은 SUS304입니다.진공부의 Seal 재질은 표준이 FKM으로 되어 있으나, 기타 재질(형식 표시방법을 확인하십시오.)로의 변경이 가능합니다. 사용재질을 확인 한 후, 지장이 없는 유체를 사용하십시오.
②조작기압 배관재료 및 피팅의 내열은 사용온도에 적합한 것을 선정하 여 주십시오.
● 오토스위치 부착
①스위치부의 온도는 60℃ 이하로 하여 주십시오.
선정
주의 ● 전체공통
①밸브의 응답성을 관리하는 경우에는 배관사이즈와 길이 및 조작용 전 자밸브의 유량특성에 주의해 주십시오.
②조작 압력은 규정내에서 사용하여 주십시오. 0.4MPa〜0.5MPa을 추천합니다.
③사용압력 범위내에서 사용하여 주십시오.④작동용 피스톤실 및 벨로스실은 대기와 직접 접속하고 있습니다. 더스
트 배출에 대한 문제가 없는 환경하에서 사용하여 주십시오. ● 고온타입
①침전물이 많은 가스일 경우는 몸체를 가열하고 밸브로 들어가는 침전 물을 방지하여 주십시오.
설치
주의 ● 전체 공통
①고습도의 환경일 경우는 배관직전까지 포장상태를 유지하여 주십시오.
②스위치 부착의 경우는 리드선에 충분한 곡률을 주고, 무리한 힘이 가 해지지 않는 상태에서 고정하여 주십시오.
③플랜지부에 과대한 힘이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오. 중량물 이나 설치품이 진동하는 경우에는 플랜지부에 직접 토크가 가해지지 않도록 고정하여 주십시오.
④오작동하지 않는 내진동은 30m/s2(45〜250Hz)입니다만 진동이 계 속되는 경우에는 내구성저하의 우려가 있습니다. 과대한 진동이나 충격이 가해지지 않도록 배관하여 주십시오.
● 고온타입(온도사양 H0, H2, H3)
①밸브를 보온하는 경우는 보닛부(핸들부)를 뺀 몸체부만 보온하여
주십시오.
①플랜지 Seal면 및 O-ring은 에탄올 등으로 세정하고나서 설치하여 주십시오.
②플랜지 Seal면 보호를 위해 0.1mm〜0.2mm로 오목하게되어 있지 만, Seal면에 상처가 나지 않도록 취급하여 주십시오.
③배기방향
동작상, 배기방향은 자유입니다만 배기에 의한 흐름이 발생할 경우에 는 내구성이 저하되는 경우가 있습니다.아래 그림과 같은 배기방향(벨로스측 배기)을 추천합니다. 사용조건에 따라 수명이 달라지므로 충분한 확인을 부탁드립니다.
배기
라인
공급
라인
반송
라인
XSA
XVD
XGT
CYV
XLXM
•XY
XLQ
91
외형치수도
XMH /L형 밸브
XYH /스트레이트형
40506570
XMH-16XMH-25XMH-40XMH-50
형식 A100.5114 162.5179.5
B38486679
C1122
D30405575
Fn34―70―
Fc17264152
G35 40.557 70
H18 21.530 35
JP.C.D 27
―P.C.D 58.7
―
P.C.D L16×ø4.4
―6×ø6.6
―
L2(mm)
100.2130 178
XYH-25XYH-40XYH-50
형식 A 75.8102.5119
B486679
C122
D23.538 53
E405575
Fn264152
G40.557 70
H21.530 35
J(mm)
A
AB
øH
øFnC
C D
øG
J
B
E
A
C
C
D
øG
øFn
J
øH
øL2
øFc
(CF 플랜지)
L1
(øFc)(KF 플랜지
)
(KF 플랜지)
XMH•XYH Series
90
보수점검
주의①침전물을 제거할 경우는 각 부품에 손상을 끼치지 않도록 하여 주십
시오.②내구횟수에 가까워진 경우는 보닛 Ass'y부와 O-ring을 교환하여
주십시오.③내구횟수 전이라도 손상이 예상되는 경우에는 신속히 보수와 점검을
하여 주십시오.
④보수부품은 당사 규정품을 사용하십시오. 구조도/보수 부품표를 참 조하십시오.
⑤Seal재(밸브 Seal•외부 Seal 등)를 빼낼 경우는, Seal면에 손상을 입히지 않도록 충분히 주의하여 주십시오. 밸브 Seal이나 외부 Seal 장착시는 O-ring의 뒤틀림이 없도록 조립하여 주십시오.
XMCXYCXMDXYDXMHXYH
XMAXYA
일반용
고온용
일반용
고온용
일반용
고온용
표준에서고온용
형식밸브 사이즈
온도사양
없음
있음
없음
있음
없음
없음
표준에서 있음
표준에서 있음
인디케이터
보닛 Ass'y/핸들 Ass'y 구조부품번호:②
16XLA16-30-1
XLA16A-30-1XLA16-30-1H
XLA16A-30-1HXLC16-30-1
XLC16-30-1H――
①Seal재의 재질변경을 하는 경우에는 보닛 Ass'y 또는 핸들 Ass'y로 교환하여 주십시오.사용되고 있는 제품의 Seal 재질과 다른 경우에는 Seal재질만의 변경으로는 적용할 수 없는 경우가 있습니다.
보수부품
표1
주의
XLH16-30-1
25XLA25-30-1
XLA25A-30-1XLA25-30-1H
XLA25A-30-1HXLC25-30-1
XLC25-30-1HXLD25-30-1
XLD25-30-1H
XLH25-30-1
40XLA40-30-1
XLA40A-30-1XLA40-30-1H
XLA40A-30-1HXLC40-30-1
XLC40-30-1HXLD40-30-1
XLD40-30-1H
XLH40-30-1
50XLA50-30-1
XLA50A-30-1XLA50-30-1H
XLA50A-30-1HXLC50-30-1
XLC50-30-1HXLD50-30-1
XLD50-30-1H
XLH50-30-1
63XLA63-30-1
XLA63A-30-1XLA63-30-1H
XLA63A-30-1HXLC63-30-1
XLC63-30-1HXLD63-30-1
XLD63-30-1H
―
80XLA80-30-1
XLA80A-30-1XLA80-30-1H
XLA80A-30-1HXLC80-30-1
XLC80-30-1HXLD80-30-1
XLD80-30-1H
―
주2)밸브 Seal 재질이 표준(FKM:배합 No.1349-80:미쓰비시전선 공업(주) 제품)이외의 경우는 Seal 재질 추가기호(아래표1 참조)를 품번 끝(□의 장소)에 붙여 주십시오.주3)구조도 번호는 각 시리즈의 구조도를 확인하십시오.
XMA XYAXMC XYCXMH XYHXMD XYD
외부 Seal③
밸브 Seal②
S밸브 SealAss'y④
형식밸브 사이즈품명
구조도 번호
표준
특수
표준
특수
표준
특수
재질
외부 Seal/(M)밸브 Seal/S밸브 Seal Ass'y
16AS568-025VAS568-025□
B2401-V15VB2401-V15□
―
―
25AS568-030VAS568-030□
B2401-V24VB2401-V24□
AS568-009V
AS568-009□
40AS568-035VAS568-035□
B2401-P42VB2401-P42□
XLD40-2-9-1AAS568-016V
XLD40-2-9-1A□
AS568-016□
50AS568-039VAS568-039□
AS568-227VAS568-227□
XLD50-2-9-1AAS568-016V
XLD50-2-9-1A□
AS568-016□
63AS568-043VAS568-043□
AS568-233VAS568-233□
XLD63-2-9-1A
XLD63-2-9-1A□
80AS568-045VAS568-045□
B2401-V85VB2401-V85□
XLD80-2-9-1A
XLD80-2-9-1A□
XMD XYD
주4) 사용되고 있는 제품의 Seal 재질과 다른 경우에는 Seal 재질만의 변경으로는 적용할 수 없는 경우가 있습니다.※미쓰비시전선 공업(주) 제품
Seal재질
배합No.
기호 -XN1 -XP1 -XQ1 -XR1 -XR2 -XR3 -XS1 XT1 -XU1
EPDM
2101-80 ※ 70W
Kalrez®
4079 SS592
Chemraz®
SS630 SSE38
VMQ
1232-70 ※
FKM forPlasma
3310-75 ※ UA4640
Seal 재질 추가기호
BarrelPerfluoro
® ULTICARMOR®
주1)밸브 Seal 재질이 표준(FKM:배합 No.1349-80:미쓰비시전선 공업(주) 제품) 이외의 경우는 Seal 재질 추가기호(아래표1참조)를 품번 끝에 붙여주십시오.주2)오토스위치용 자석은 장착되어 있지 않습니다. 오토스위치용 자석 부착의 경우, -M9//를 품번 끝에 붙여주십시오.(고온용에는 없습니다.)주3)오토스위치와 전자밸브는 부속되어 있지 않습니다. 오토스위치와 전자밸브 세트로 필요하신 경우에는 제품형식표시의 오토스위치 이후의 기호를 품번끝에 붙여주십시오.
XM•XY Series제품개별 주의사항②사용하기 전에 반드시 읽어 주십시오.
보닛 Ass'y 핸들 Ass'y
92