形態観察

株式会社 三井化学分析センター

高分子 MITSUI CHEMICAL ANALYSIS & CONSULTING SERVICE, INC.

高感度(10倍以上)・高分解能(50nm)元素分布評価－ ＳＥＭ-ＥＤＳ －

分析例１：電子デバイス用エポキシ樹脂中のアミン系硬化剤成分

分析例２：Liイオン電池 正極材料のカーボンブラック（CB）とバインダーの分布

最新型高感度EDS検出器により、低加速電圧（1kV～）でSEM-EDSの軽元素マッピングが可能になった。空間分解能が大幅に向上し、高分子などの低密度材料においても50nm以下の空間分解能で元素分布評価が可能になった。

SEMMAG:9997 HV:2.0kV WD:11.2mm

3μm3μm

MAG:40000　ｘ HV:1.5kV WD:11.6mm600nm

SE MAG:400kx　HV:1.5kV WD:11.6mmMap data 413 Map data 413600nm

MAG:40000　ｘ HV:1.5kV WD:11.6mm600nm

C

C

O

Si

N強度分布

FSEM

SEM像では見えない硬化剤成分の偏在がNの分布として確認された

CB、バインダー (F) の分布状態がわかる

分析例３：食品包装材ガスバリア層の高分解能元素分布分析

SE MAG:50.0kx　HV:3kV WD:11.3mm500nm

SEM

バリア層バリア層 バリア層

コート層蒸着剤接着剤基板フィルム

Map data 423

150

100

50

0100 Point number

CKOKSiKA

200 300

バリア層が蒸着層(約 30nm) とコート層の2層構造と確認できる