DIAVAC LIMITED

高精度デジタル隔膜真空計高精度デジタル隔膜真空計

F-TronF-TronHigh Accuracy Digital Capacitance ManometerHigh Accuracy Digital Capacitance Manometer

DIAVAC LIMITED システム概要 システム概要 System OutlineSystem Outline 　　

Pressure-Analog outputTransducer

Analog Architecture

一般的な隔膜真空計General Type

Analog-DigitalConverter

Analog signal(0-10V)

Noise

Display unit

センサの非線形性・温度依存性を アナログで補正（不正確）　

アナログ - デジタル変換により 精度・分解能が悪化

センサケーブルなどから電磁ノイズ 混入

校正に手間と時間がかかる （高コスト）

Pressure-PIMTransducer

Digital Architecture

F-tonNew Technology

Pulse Interval Counter/ MPU

Pulse signalDisplay unit

デジタル回路との整合性に優れた PIM (Pulse Interval Modulation) を採用

センサの非線形性、温度依存性をデジタル 演算により完全に補正

パルス信号伝送のためノイズ耐性飛躍的 向上

全自動・短時間校正が可能

DIAVAC LIMITED センサ概要 センサ概要 Sensor OutlineSensor Outline 　　

SiO2

SiO2

SiliconDiaphragm

Pressure = f (Cap) Reference

PressureSiliconFixed Electrode

Getter MeasurementPressure

DIAVAC LIMITED 特 長 特 長 FeaturesFeatures 　 　 高分解能高分解能 High ResolutionHigh Resolution

　　　表示分解能：　表示分解能： 1/10000001/1000000 高精度高精度 High AccuracyHigh Accuracy

　　精度：　　精度： 0.1% of Reading0.1% of Reading 高ノイズ耐性高ノイズ耐性 High Noise ResistanceHigh Noise Resistance

　　パルス信号伝送方式→ノイズ耐性向上　　パルス信号伝送方式→ノイズ耐性向上 デジタル整合性デジタル整合性 Excellent Compatibility with Digital NetworkExcellent Compatibility with Digital Network

　　高速データ通信　　高速データ通信 (RS-485)(RS-485) 標準装備標準装備 コンパクトコンパクト CompactCompact

　　小型シリコンダイアフラム採用→容積　　小型シリコンダイアフラム採用→容積 1/21/2 以下以下

FTR-1 F-133K

DIAVAC LIMITED

システム構成 システム構成 System configurationSystem configuration

　　

表示器表示器FTR-1FTR-1

測定ケーブル測定ケーブル

センサセンサF-133KF-133K

センサ校正情報メモセンサ校正情報メモリリ

セットポイント出セットポイント出力力

リモートリモート ZEROZERO 入入力力

ACCESSORY ACCESSORY コネクタコネクタシリアル通信シリアル通信アナログ出力アナログ出力

RS-485 RS-485 コネクタコネクタ

供給電源供給電源DC24VDC24V

DIAVAC LIMITED

形式 形式 ModelModel FTR-1 (Display) + F-133K (Sensor)FTR-1 (Display) + F-133K (Sensor)

フルスケールレンジ フルスケールレンジ Full Scale RangeFull Scale Range 1000Torr (133kPa)1000Torr (133kPa)

測定分解能（表示分解能）測定分解能（表示分解能）Measurement ResolutionMeasurement Resolution 　　 (Display Resolution)(Display Resolution) 0.01% of F.S. (1ppm of F.S.)0.01% of F.S. (1ppm of F.S.)

精度 精度 AccuracyAccuracy 0.1% of Reading0.1% of Reading

温度係数 温度係数 Temp. CoefficientsTemp. Coefficientsゼロ ゼロ ZeroZero 0.0004% of F.S./deg.0.0004% of F.S./deg.

スパン スパン SpanSpan 0.002% of Reading/deg.0.002% of Reading/deg.

アナログ出力 アナログ出力 Analog outputAnalog output 0 to +10 VDC into > 10k Ohm0 to +10 VDC into > 10k Ohm

セットポイント出力 セットポイント出力 Set PointsSet Points3 open collector transistors3 open collector transistorsrated 50mA @ 30VDC rated 50mA @ 30VDC

インターフェース インターフェース InterfaceInterface RS-485 4wire full duplexRS-485 4wire full duplex

供給電源 供給電源 Power SupplyPower Supply 24VDC @ 0.2A24VDC @ 0.2A

運転温度 運転温度 Operating Temperature RangeOperating Temperature Range 10 to 50 deg.10 to 50 deg.

真空部材質 真空部材質 Materials exposed to VacuumMaterials exposed to Vacuum Silicon, SiOSilicon, SiO22, SUS304, Viton, SUS304, Viton

継手 継手 FittingsFittings 8VCR, NW168VCR, NW16

仕 様 仕 様 SpecificationsSpecifications 　 　

DIAVAC LIMITED 繰返特性繰返特性 @23 ℃@23 ℃ RepeatabilityRepeatability 　 　

- 5.0%

- 4.0%

- 3.0%

- 2.0%

- 1.0%

0.0%

1.0%

2.0%

3.0%

4.0%

5.0%

0.1 1 10 100 1000

Reference Pressure [Torr]

Err

or [

%]

Spec.

1st

2nd

3rd

- 0.20%

- 0.15%

- 0.10%

- 0.05%

0.00%

0.05%

0.10%

0.15%

0.20%

0 200 400 600 800 1000

Reference Pressure [Torr]

Err

or [

%]

Spec.

1st

2nd

3rd

DIAVAC LIMITED 温度特性 温度特性 Thermal errorThermal error 　 　

- 5.0%

- 4.0%

- 3.0%

- 2.0%

- 1.0%

0.0%

1.0%

2.0%

3.0%

4.0%

5.0%

0.1 1 10 100 1000

Reference Pressure [Torr]

Err

or [

%]

Spec.10℃18℃23℃34℃42℃50℃

- 0.50%

- 0.40%

- 0.30%

- 0.20%

- 0.10%

0.00%

0.10%

0.20%

0.30%

0.40%

0.50%

0 200 400 600 800 1000

Reference Pressure [Torr]

Err

or [

%]

Spec. 10℃18℃ 23℃34℃ 42℃50℃

DIAVAC LIMITED

校正システム 校正システム Calibration SystemCalibration System

　　Temperature/ HumidityControl chamber

cut2

Ref3

cut1slowmain

slmccm2ccm1

Ref1 Ref2TMP

back

DP

rough

N2 inlet

Reference Vacuum Gauges

F-TronF-Tron

F-TronF-Tron

F-Tron

manifold

Vacuum chamber

Mass Flow Controllers

PC で全て制御、データ収集

校正データ生成

性能評価

vent