台北科技大學冷凍空調系 胡石政 tel:09@8300329 email:f10870@ntut.tw

國立台北科技大學冷凍空調系

台北科技大學冷凍空調系

胡石政

Tel:09@8300329

Email:f10870@ntut.edu.tw

專題演講

半導體廠廠房整體節能規劃之方法與理念

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Average Total Electricity Consumption Allocation

for Fabs Studied

Average Fab Electric Load=346,019 kWh/Day

TOOL40%

OFFFICE3%

Chiller27%

PCW2% RCF/FFU

7%

CDA3%

VACCUM0%UPW

3%OAC2%

EF4%

N27%

C/R1%

WATER TREAT1%

•Average Fab Electric Load=346,019kWh/Day

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半導體空調冰水機廠之電力消耗分佈 --應選用高效率主機

(Semitech International)

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送風系統之電力消耗分佈

最佳送風量與送風節能之重要性

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排氣系統之電力消耗分佈

補充 1.0kg 外氣約需 10kcal 之空調冷卻量

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調查案例節能技術之應用

節能設計

空調熱回收節能節能控制與管理

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節約能源改善措施整理表 A ：省能設計 B：排熱排水再利用 C：利用天然資源 D：操作控制最佳化

1 冰水泵浦順序控制 1 廢熱水再循環 1 冷卻水塔的外氣利用 1 冷卻水塔節省能源控制

2 冰水主機節能運轉 2 鍋爐廢熱利用 2 外氣冷卻系統 (冬季 ) 2 鍋爐系統自動控制

3 提高冰水主機運轉效率 3 高溫排氣再利用   3 冷卻水塔機扇起停設定

4 儲冰系統設計 4 回收鍋爐設備冷凝水   4 電熱鍋爐運轉策略調整

5 設計條件的選定 5 外氣空調箱冷凝水的回收

  5 製程排氣控制

6 清淨面積最小化     6 風扇最高效率運轉點選定

7 照明系統之節省能源     7 外氣引進控制

8 節能 FFU 系統     8 空氣壓縮設備控制

9 低溫送風之採用     9 冷媒蒸發溫度控制

10低壓損濾網之選用     10 調整冰水主機之設定溫度

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Axial fan for ball room type CR

Silencer required at fan outlet

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FFU for energy saving

• Less dynamic losses due to field flow in supply plenum

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Axial fan—more dynamic losses

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FFU—more even flow and less dynamic losses

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空調系統耗能

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廢氣減量—減少外氣耗能

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Exhaust Construction 門縫洩漏

樓板管線開孔洩漏

Over requirement 各門扇開啟洩漏 Pre-filter 設計不良

Clean-room consumption

sensor 精確度 reduction 季節性大氣壓力變化

PM 執行確實性

Environment MAN

c. 針對排氣節能的要因分析魚骨圖如下，以供參考

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結語

• 將節能技術發揮得淋灕盡致

• 合理之耗能帶來合理回報與節能效益

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分析重點耗能機台的能量收支平衡圖，意示圖如下：

mingpcwcr EEEEE

排氣排氣 hmEg

)hh(mE inoutpcw

經由對機台各種能量的收支平衡，可以決定機台的耗能及可能的節能方法