環境負荷の少ない（環境にやさしい）生産加工技術の研究開発

１．ＭＥＭＳ（小さな機械），電子材料の

エッチング，研磨，めっき

２．切削工具刃先の微細加工（工具の長寿命化）

３．加工試作装置製作・改善

・ものづくりのプロ意識育成・ものづくり産業・地域へ技術貢献

生産加工研究室

愛知工業大学 工学部 機械学科

田中研のモットー（行動指針）

●“謙虚に真面目におもしろく”

●「臨機応変」に行動できる（他人、多様な価値観を認め、共存共栄できる）

●間違ってもよいから，

まず自分の考え，答えを示せる（丸写ししない人生）

◆研究室ルール①人に迷惑をかけない②連絡・報告・相談をする③夜になったら帰る（何事も計画的に）

生産加工研究室の1年

４年生

・前期：輪講会（卒研テーマ関連技術文献）（１回/週）

⇒ 専門技術基礎力，集録力，プレゼン力の充実

・中間発表(８月上旬）

・後期：卒業研究取組み

⇒ 卒研ミーティング（１回/週）

修士

・週１ミーティング：打ち合わせ（修論，研究室運営等）

・１回以上/１年：学会発表

１． 今後は地球環境に配慮した加工プロセスが必要になると考え、エッチング，めっき，研磨，切削など，古くて新しい加工を対象に研究開発を行っています．半導体プロセスと機械加工の両者を経験できる（薬品等、化学的な実験も経験できる）

ことも特徴です．

２． 基礎データ，加工原理を大事にして，「謙虚に真面目におもしろく」，実験主体に研究に組みます．企業での生産技術開発も活かし，皆さんが学生

時代に多くの失敗や成功体験ができるように，お手伝いします．

研究室の特徴

エッチング加工 切削加工

＜化学的加工＞ ＜機械的加工＞

付着加工 除去加工

めっき環境対応・スマ｜ト

プロセス

・環境に

やさしい

プロセス

・低濃度化

・処理低温化

・フォトリソレス化

・機械的加工

との一貫化

・切削工具の長寿命化↓

刃先摩耗の低減

各種液，下地表面でのめっき現象解析・評価

・極低濃度アルカリによるSiエッチング

・レーザーパターニング

・工具刃先の電界砥粒研磨加工

生産加工研究室の主な研究テーマ

放電加工

・ディスク式電極放電加工を用いた微細形状形成

＜メカノケミカル加工＞

研磨加工

・先端材料．

微細構造の

研磨加工現象

解析

・焼結体の

研磨加工現象

・微細構造表面

の研磨加工

6

１．シリコンセンサの微細ウエットエッチング加工の研究

・極低濃度液でのシリコンウエットエッチング加工現象の解析（温度，撹拌，添加剤等の影響）

・低コストレーザによるエッチングパターン加工の研究

・液滴によるエッチングプロセスの研究

・単結晶シリコンへの機械的性質に及ぼす水素の影響

２．ガラスや半導体基板の高速・平滑研磨加工の研究

・研磨現象の解析（小型研磨装置改良）

３．めっき膜特性に及ぼす表面，断面構造の研究

・新規めっき膜の表面，摩耗特性調査

・下地素材の表面状態の影響解析

４．切削工具の長寿命化研究

・工具刃先の微細研磨方法検討と，切削実験による 刃先摩耗低減検証

・電界砥粒制御技術による微細表面加工の研究

・前処理による刃先の摩耗量低減方法の開発

５．ディスク電極式放電加工の研究

・難削材の微細形状加工 被加工材料・加工液の違い