理想のクリーンルームへ、トータルサポート...

理想のクリーンルームへ、トータルサポート

クリーンルーム

ソリューション

カタログ

SO

LU

TI

ON

CL

EA

NR

OO

M

2014年版

CLEANROOMソリューションカタログ

2014-2 Printed in Japan

（03）5435-7111 北海道道　南東　北岩　手東関東北関東前　橋松　本北　陸

（011）261ｰ7231（0143）44ｰ6800（022）225ｰ5351（0198）26ｰ5161（043）266ｰ7622（048）834ｰ3111（027）251ｰ4577（0263）48ｰ2763（076）441ｰ1231

新　潟金　沢［中部］中　部豊　田静　岡三　島浜　松三　重

（025）284ｰ5325（076）291ｰ8830

（052）746ｰ1000（0566）83ｰ9915（054）280ｰ6673（055）976ｰ3331（053）413ｰ6161（059）353ｰ3471

徳　島九　州小　倉大　分長　崎熊　本宮　崎鹿児島沖　縄

（088）657ｰ4110（092）262ｰ7800（093）562ｰ2323（097）532ｰ9161（095）822ｰ6165（096）334ｰ7781（0985）24ｰ7281（099）286ｰ1234（098）862ｰ8625

●支社・支店・営業所［東日本］

関　西神　戸滋　賀中　国山　口東中国四　国松　山高　知

（06）6455ｰ3800（078）371ｰ3288（0748）31ｰ1360（082）247ｰ4231（0836）21ｰ3177（086）422ｰ0922（087）851ｰ9101（089）933ｰ9100（088）824ｰ8122

［西日本］

http://www.fujielectric.co.jp/products/cleanroom/

09F2-J-0023

1 2C L E A N R O O M

S o l u t i o n

C L E A N R O O M

Field

1

Field

Field

リプレース

Solution

2

3

ソリューション事例・・・・・・・・・・・・・・・・・・・p7　FPD　半導体　医薬・食品　自動車・精密部品・リチウムイオン電池

　

FFU・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・p11　FFUの選び方　標準タイプ［WLFA］　大風量タイプ［WLFB］　単相タイプ［WLFC］　ACモータタイプ［WLFD］　スタンドアロンタイプ［WLFE］　薄型タイプ［WLFF］　コントローラ仕様表　装置用FFUの選び方　F-Cube-N ［WLFH］　耐熱FFU ［WLFI］［WLFJ］　ケミカルFFU ［WLFK］　F-Adjust ［WLFL］

FFU監視システム・・・・・・・・・・・・・・・・・・p31　FFU監視システムの選び方　機能一覧　F-SITE-FMR500　F-SITE-FMC500　F-SITE-FMV300　F-SITE-FMC200　F-SITE-FMC100　LSI　LCI

クリーンルーム資材・・・・・・・・・・・・・・・・p47　ラインアップ　グリッド天井フレーム　照明パネル/ブランクパネル　バイパスパネル（フィルタ）　建具類（ドア・窓）　内装パネル　メンテナンスハッチ・メンテナンス通路　フリーアクセスフロア　配電機器

省エネ対策・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・p57　省エネルギー・リプレースの提案　省エネルギー・リプレースの実現　富士電機のクリーンルーム開発の歩み　エンジニアリングツール

富士電機のクリーンルーム技術がスタートしたのは、1970年代初めにクリーン機器の開発に着手したことが契機であり、1980年代には自社の半導体工場クリーンルームを建設しました。以来、大規模クリーンルームを運用されるお客様と、二人三脚で生産環境の改善を進めることで、クリーン化の豊富なノウハウを蓄積してきました。課題解決に当たっては、電機メーカーとしての幅広い要素技術に基づいた高機能機器を開発し、ソリューションを実現しています。

OST PERFORMANCE

ARGE SCALE

COLOGY

CCURACY

EW TECHNOLOGY

クリーン化に不可欠な最新鋭を誇る局所ユニットなど低コストで最適なソリューションを提供できます。

業界屈指の生産体制と実績により、大規模クリーンルームにもスピーディーに対応できます。

FFUは長年培ってきた水力発電の水車技術より空気への転用、さらには電気を自在に操るパワーエレクトロニクス技術により、業界最高水準の効率を実現しています。

気流解析等、エンジニアリング力を最大限に生かし確実にクリーン環境を実現できる正確なルーム設計を可能としています。　

メーカーとしての総合力を生かし、パーティクルセンサによるFFUアクティブ制御、さらには風向風速センサ、超精密温調など、技術は日々進化しています。　

C

L

E

A

N


S o l u t i o n

C L E A N R O O M

クリーンルームとはクリーンルームを必要とする産業とレベル

空気中の汚染物質の量が所定以下に制御され、維持されている空間

空気汚染に起因する様々な障害

清浄度レベルの表現

　クリーンルームの清浄度は、空気中の単位容積あたりに含まれる粒子の数で表示するのが一般的です。従って、清浄度クラス数が小さいほどグレードの高い（塵埃の少ない）クリーンルームになります。　清浄度の規格としては、米国連邦規格（FS-209D・E）が主に使われていましたが、ISO14644の制定（2000年）により廃止されました。　しかし、クリーンルームの現場では、今でもFS-209Dに基づいた清浄度クラスが広く用いられています。微粒子濃度を、１キュービックフィートあたりの個数（個/ft3）で表すものです。　また、FS-209D規格では粒径0.5μmを基準としていますが、現場では、基準とする粒径を0.3μmや0.1μmに読み替えているケースが多く、クラスの確認に当たっては対象粒径と単位面積（m3・ft3）に注意する必要があります。

0.3μm

1

10

100

1,000

10,000

100,000

0.1μm

1

10

100

1,000

10,000

100,000

FS-209D

0.5μm

1

10

100

1,000

10,000

100,000

FS-209E

0.5μm

M1

M1.5

M2

M2.5

M3

M3.5

M4

M4.5

M5

M5.5

M6

M6.5

JIS/ISO

0.1μm

1

1.5

2

2.5

3

3.5

4

4.5

5

5.5

6

6.5

7

7.5

8

規　　格

基準粒径

清浄度クラス

慣用的に使われる清浄度（個/ft3）

LSI製造ウェハ工程LSI組立・テスト工程シリコン単結晶フォトマスクフォトレジストプリント基板材料ディスプレイ用液晶有機EL半導体製造装置LSI製造用化学薬品ソーラーパネル精密電子部品磁気ヘッドディスク写真フィルム光ファイバミニチュアベアリングレンズ精密測定器製造抗生物質注射薬製剤包装ライン医療用器具・ディスポ無菌病室手術室調剤室牛乳・乳製品食肉・食肉加工醸造酒製菓・製パンバリアシステムアイソレータきのこ培養化粧品

清浄度（ISOクラス）

清浄度（慣用表現、個 / ft3 ）

推奨方式

半導体・FPD

精密機器

医療・製薬

食　品

その他

クラス1 クラス2 クラス3 クラス4 クラス5 クラス6 クラス7 クラス8

0.1μmクラス10

0.1μmクラス1

0.3μmクラス1

0.3μmクラス10

0.3μmクラス100

0.5μmクラス100

0.5μmクラス1000

0.5μmクラス10000

医療・製薬分野

工業分野

食品分野

故障・不良品の増加歩留り低下

院内感染細菌混入

異物混入食品変質

クリーンルーム導入により解決

FFU方式クリーンルームクリーン冷却装置

大気中の微粒子・細菌を除去するのはもちろんのこと、温湿度・圧力・気流などのコントロールを行い、無塵・無菌の清浄空間を実現させたのがクリーンルームです。

製品の高品質・信頼性の確保の為に、微粒子の付着を防止することが非常に重要となります。病院の院内感染防止、製薬工場の細菌混入防止、食品工場の食品変質防止などにも応用され、

クリーンルームが必要とされる産業のすそ野は広がり続けています。


S o l u t i o n

C L E A N R O O M

FFU方式クリーンルームは、アルミフレームでグリッド状の天井を構築し、必要とされる清浄度に合わせた台数のFFU（ファンフィルタユニット）を設置することで、

空間をクリーン化する方式です。一方向流式の高清浄度が要求されるクリーンルームに適しており、

半導体・フラットパネル産業の大規模クリーンルームで広く採用されています。

システム天井資材

FFU

FFU監視システム

省エネ効果大型空調機が必要になる加圧チャンバー方式と比較して省エネルギーを実現。また、FFU毎に運転/停止や風速調整が可能なので、無駄のないクリーンルーム運用ができます。

1 エネルギー比較（当社試算例）

加圧チャンバー方式 FFU方式

100908070605040302010

0

［kW］

78.7

19.3

フレキシビリティFFUの追加や位置換えによってエリアの清浄度を調整可能。生産ラインの変更にも柔軟に対応できます。

32 リークレス

クリーンルーム内部に対してシステム天井裏が負圧になることで、クリーンルーム側へパーティクルがリークする心配がありません。

4 手軽なメンテナンス

リークレス方式により、クリーンルーム稼動中にFFUのメンテナンスが可能になるため、ルームの清浄度低下の心配がありません。

5

P.47

P.7

コンセプトカタログ




メリット

システム天井裏

クリーンルーム内部

冗長性FFUに数台の故障があった場合でも、クリーンルームとしての性能を保つことができます。システムとしての耐性が高いと言えます。

P.11

環境センサ

FFU方式クリーンルームの構成要素

いま求める答えに、これからのニーズに理想のクリーンルームを構築できます

特殊環境ブース

クリーンルーム構成機器

温調機器

気流制御機器

システム天井用には大風量タイプを、スペースの限られたストッカーには薄型タイプなど、幅広いラインアップを用意。装置用にも、機能や風量に応じて選べる多彩なFFUを取り揃えています。

クリーンルーム環境センサF-Planet、風向・風速センサなど、用途に応じた各種環境センサを用意し、トレンド分析、環境変化にいち早く対応できるようにします。

安定的な製造や歩留まり向上などを可能にするリアルタイムな監視を行います。監視システム「F-SITEシリーズ」は、大規模から小規模まで思い通りに“クリーンルームの見える化”を実現するラインアップです。

P.31

クリーンルームの機能、メンテナンス効率などを高めるために、グリッド天井フレームから照明パネル・ブランクパネル、内装パネルなど必要とされる資材を全て揃えています。

エアシャワーからガーメントストッカーまで、高効率、省電力、低騒音などを配慮した多彩なクリーンルーム構成機器をラインアップしています。

品質向上やプロセス処理時間の短縮などを図るために、高精度な温湿度環境制御からウェハやガラス基板の温度制御までを実現する各種温調機器を取り揃えています。ご要望に応えてカスタムメイドも可能です。

エアカーテン、ルーバー付FFU、ドラフトチャンバー、排気ユニットなど、気流をコントロールする各種制御機器を取り揃えています。

高清浄度対応、ケミカル汚染対策、放射線被爆防止などのご要望にお応えできる各種クリーンブースを用意しています。さらに必要な場所に、必要なサイズ、必要な性能へとカスタムメイドも行います。

目的・用途に合わせてソリューション事例　　　　　からもベストチョイス



S o l u t i o n

C L E A N R O O M

クリーン冷却装置

ドライ、検査エリアのクリーン化1

メンテエリアエアカーテン

異なる清浄度の区画2 3

メンテ/生産エリアケミカルFFU

搭載装置に合せた形状・仕様で装置内をクリーン化。材質・構造の工夫やケミカルフィルタの内蔵により、ウエハのケミカル汚染も軽減します。

コータ・デベロッパのクリーン化1

フォト工程耐熱FFU

小型耐熱モータの採用で、昇温する小スペースにも設置可能。取付位置の自由度が広がります。

熱酸化装置のクリーン化2

成膜工程

装置用FFU

FOUPや装置との間の圧力調整により、EFEMでのパーティクル付着を軽減できます。

EFEMのクリーン化3

搬　送

レジストコーティング部など、温湿度管理が必要な箇所の雰囲気を当社独自の制御で ±0.01℃、±0.3% の高精度でコンロール。レジスト膜質の均一化を実現します。

レジストコーティング部の精密温湿度調整4

フォト工程

装置用FFU

装置構造にあわせた設計とすることで、装置全体高さを抑えることができます。

洗浄装置のクリーン化5

洗浄工程

装置内外の微差圧検出6

F-Planet

重要工程の清浄度・温湿度をリアルタイムで監視することで、歩留まり変化の原因特定につながります。

製造環境リアルタイム監視7

生産ライン

環境センサと組合せてFFUの風量を最適化することで、無駄を省いた省エネ運用が可能になります。

クリーンルームの省エネ運用8

クリーンルームクリーンルーム監視システム

風向・風速センサ製造装置

ソリューション事例　FPD ソリューション事例　半導体

Solution

精密温湿調ユニット

大空間での必要風速確保

大風量FFUメンテ/生産エリア P.11 P.12

P.12

P.12

P.31

P.12

ストッカーでの異物付着防止4

ストッカーエリアケミカルウォッシャー

ケミカル成分の除去5 6

外気処理P.11/ P.12

ガラス基板の急速冷却

基板急速冷却ユニットフォト工程

外気

清浄空気

薄型FFU

ガラス基板の空気冷却7

フォト工程

ガラス基板恒温化装置

露光前基板の温度均一化8 9

フォト工程

Ｇ１０用大型エアシャワー

大型エアシャワー受　入

ベーク後の基板をカセット単位で空気冷却します。短時間に面内温度を均一に冷却可能です。

露光機に入る前に基板の面内温度を高精度に均一化します。温度ムラによるパターン転写ばらつきを軽減できます。

Ｇ１０サイズの大型ガラス基板用の大型エアシャワーです。

Ｇ１０用大型クリーンブース

検　査冷水コイル

ＣＲ全体の温度制御11

クリーンルーム全体

Ｗ8000×Ｄ6000×Ｈ3500の大型クリーンブースでＧ１０サイズの検査装置のクラス１０を実現します。

クリーンルーム全体を冷水コイルによって温度制御します。

大型クリーンブース

ガラス基板冷却装置



コンセプトカタログコンセプトカタログ

F-Adjust

リプレース（省エネ）12

クリーンルーム全体

薄型対応ファンモジュールF-Adjustなら設備運用のままFFUのリプレイスが可能。



コンセプトカタログコンセプトカタログコンセプトカタログ



ストッカーエリアのように天井が10mを超える高いところでも、吹出0.8m/sの高風速で、パスラインの必要風速を確保します。

今まで、パネルで区画していた異なる清浄度のエリアを高風速エアの力で区画できます。

清浄度クラス1,000～10万の広いエリアをシステム天井を構築せず、簡単にクリーン化できます。

薄型かつ大風量で、ストッカーエリアを効率的にクリーン化します。

FPD製造工程で問題となる、NH3・SOx・NOxなどのケミカル汚染物質を取り除きます。

特殊ノズルによりガラスに効率的に冷風を当てることで、ベーク後の基板を急速に冷却することができます。

超音波式による微風速検出で、装置内圧力を適正にコントロール可能。ケミカルやパーティクルの侵入を防ぎます。

P.12

9 10C L E A N R O O MC L E A N R O O M

S o l u t i o n

放射線の遮蔽1 医療器具の滅菌・乾燥2

滅菌・乾燥

医療機器の品質安定化3

防爆エアシャワー

防爆エリア対応のクリーン機器4

防　爆

温風乾燥ブース

医薬溶液のクリーン乾燥5

乾　燥エアカーテン

食料品への異物混入防止6

クリーンルーム

ドラフトチャンバー

有害物質や有害微生物などを室内に拡散することなく、浄化して排気することができます。防爆仕様にも対応します。

有害試薬用の安全空調7

試験室

医薬品工場や食品工場で多く用いられる清浄度クラス10万程度のクリーンエリアを簡便に構築することができます。

クリーンエリアの簡単構築8

クリーンルームクリーン冷却装置

塗装ラインのゴミ付着防止1

塗　装高精度サーマルチャンバー

レンズ検査工程の高精度温度制御2

検　査

F-Planet

生産ラインの環境管理3

生産ライン

生産ラインの局所クリーン化4

ソリューション事例　医薬・食品ソリューション事例　自動車・精密部品・リチウムイオン電池

放射線遮蔽鉛ブース製品充填

除湿サーマルブース低湿度

低露点ドライルーム

リチウムイオン電池製造など空気中の湿度を嫌う工程の環境をデシカント方式で低湿化します。

LED・太陽電池・リチウムイオン電池5

電解液注入工程

クリーンブース生産ライン

熱風乾燥滅菌ベンチ拡散板付きFFUコンセプトカタログコンセプトカタログコンセプトカタログコンセプトカタログ


コンセプトカタログ集塵ユニット

吸込みホース接続により塵埃を効率的に集塵

クリーンルーム内の発塵除去6

クリーンルームコンセプトカタログ

コンセプトカタログコンセプトカタログコンセプトカタログ



癌治療薬などの試薬から放出される放射線を、鉛を内蔵した防護板で防ぎます。

コンタクトレンズ製造など、湿度が影響する工程の環境を冷凍機方式により除湿・温調します。

熱風を高速で吹き付けることで、従来は時間がかかっていた溶液の乾燥が短時間で行えます。

食品工場での一般エリアとクリーンエリアの区画をシャッターレスで行えます。給排気バランスをとることで室内の発塵も速やかに除去できます。

防爆が必要とされる、薬品工場や化学工場などの危険エリアでも安全を考慮した設計で対応します。

注射器のシリンジなど滅菌が必要な製品の乾燥を、外部と断熱することで効率よく行えます。耐熱フィルタ内蔵で熱風による汚染の心配もありません。

自動車の塗装前ラインでのゴミ巻き上がりを、特殊拡散板で送風領域を広げたFFUによって効率的に防ぎます。

各工程をトレンド監視することで、温湿度や清浄度などの製造環境を一定に管理します。

加工くずが多い工程やゴミの付着が問題となる工程を簡便にクリーン化することが可能です。

Solution

光学機器のレンズ製造など、精度の高い温度制御が必要とされる工程の環境温度を、当社独自の多段制御方式により±0.005℃の精度でコントロールします。

11 12

F F U

Field

1

F F Uシステム天井用に各種タイプを用意、部屋全体をクリーンアップ

標準タイプ■3Φ200 / 220V■充実の通信機能

大風量タイプ■3Φ200 / 220V■50CMMの大風量

単相タイプ■1Φ200 / 220V■充実の通信機能

ACモータタイプ■3Φ200 / 220V■シンプル構造■簡単操作

スタンドアロンタイプ■3Φ200 / 220V■クリーンブースなど単独使用に最適

薄型タイプ■3Φ200 / 220V■ストッカー側面に最適

装置用FFU世界規格に準拠、限られた設置スペースで最高のパフォーマンスを

F FU

P.18 P.19 P.20

P.15 P.16 P.17

F-Cube-N■1Φ100V 一般コンセント対応■フィルタ一体型■通信機能

P.25

ケミカルFFU■3Φ200 / 220V■コータ・デベロッパなどの製造装置のケミカル汚染対策に最適■交換容易なケミカルフィルタ

P.28

F-Stage■1Φ200V / 3Φ200V■超薄型■RoHS対応

耐熱FFU（超薄型タイプ）■1Φ100 / 115V■高温環境(50℃)で使用可能■高さ105～120mmの薄型

P.27

耐熱FFU（高風速タイプ）■1Φ100 / 115V■高温環境(50℃)で使用可能■高静圧ファンで風量0.65m/s

P.27

用途で、機能と特長で、さらに風量で…。さまざまなアングルからベストを選べる充実のラインアップ。

C L E A N R O O M

WLFA WLFB WLFC WLFG WLFH

WLFD WLF E WLF F

WLF I

WL F J WL FK

F-Adjust■1Φ200 / 220V■既存FFUに付加することでリプレース可能■狭いスペースにも設置可能（全高170mm）■通信機能(Modbus)

P.29

WLF L

製造中止

推奨代替機種

WLFH WLF L

薄型対応ファンモジュール簡単リプレースで省エネを実現ストッカーにも最適

NEW

NEW

C L E A N R O O M


F F U

Field

1

安心の実績

富士FFUの特長

用途から選ぶ当社はクリーン機器のサプライヤーとして40年以上の経験があり、今までに500,000台以上のFFU納入実績があります。

選べる材質耐食性・コストパフォーマンスに優れためっき鋼板をケーシングの標準材料としていますが、使用用途に応じてステンレスなど各種材質の選択が可能です。

工事負荷軽減複数台運転コントローラを使用することでケーブル接続点数が減り（従来比1/4）、工事費を軽減でき、工事期間を短縮することでクリーンルームの立上げ時間を短縮できます。

信頼性向上ケーブルの接続不良による通信エラーの発生や、外来ノイズの影響を軽減できます。

サイズバリエーショングリッド寸法や設置スペースなどに合わせ、様々なサイズのFFUを製作可能です。

単相

あり

なし

なしなし

なし

あり

※オプションで異常信号の外部出力は可能

ありあり

単相

三相

三相

型　　式グリッドサイズ（カッコ内は製作可能範囲）電源仕様適合コントローラ

3Φ200V

3Φ200V

1Φ200V

3Φ200V

3Φ200V

3Φ200V

1φ220V

D750×W1500（D:500～）（W:～1800）

D750×W1500（D:500～）（W:～1800）

D610×W1220（D:500～）（W:～1800）

D610×W1220（D:500～）（W:～1800）

D610×W1220（D:500～）（W:～1800）

D1200×W1500（D:500～）（W:～1800）

D1200×W1200（Ｄ：500～）（W:～1800）

モータ上位通信

RS485

CAN

CAN

CAN

－

－

RS485

Modbus

通信方式

特長1

特長2

特長3

特長5

特長4

大規模システム数100～数10,000台

小規模システム数10～数100台

クリーンブース

製造装置搭載

ストッカー側面取付用

豊富なラインアップ業界最高クラスの大風量タイプやストッカー側面に最適な薄型タイプなど、多くのタイプをご用意しています。

複数台運転コントローラ1台のコントローラで複数のFFUを運転することができる当社独自の制御システムです。ケーブルの施工がシンプルになるため、多数のFFUを使用するクリーンルームシステムに最適です。

電源ケーブル　　　通信ケーブル　　　親機‒子機接続ケーブル

翼型高効率ファン当社の伝統事業である水力発電の水車設計ノウハウをファン設計に応用。ファン形状に翼断面を採用することで効率アップを実現しています。

ジャストな風量に調整可能当社のコア技術であるパワエレ技術を活かし、高精度スピードコントロールが可能です。ご使用環境に合わせた、最適な風量に設定することができます。業界最高クラスの大風量タイプもラインアップ。

驚きの静かさスムーズな流れを作るファンのインレットやユニット内の整流構造により、クラス最高レベルの低騒音を実現。防振も考慮した設計で周囲に影響を与えません。

業界最高省エネモータインダクションモータと比較して効率が優れたブラシレスDCモータを標準採用しています。業界最高レベルの省エネを実現。

親機 FFU 子機 FFU

子機 FFU子機 FFU

FFUコントローラ複数台運転コントローラ特許取得済コントローラ（1C4M）

※1controller：4motor

※当社は1980年に世界で初めてFFUにターボファンを採用しました。　今では全世界でターボファンタイプが主流となっています。

SDR3204-2R-TD

専用設計

電源仕様

風量可変

風量可変

専用設計

F-Stage［WLFG］ F-Cube-N［WLFH］1Φ200V／3Φ200VHEPA、ULPA選択可能なし115mm※1RoHS（オプションでCEにも対応）※2

1Φ100V　一般コンセント／ 1Φ200V（オプション）／ DC24V（オプション）ULPAを標準で内蔵（特定サイズのみHEPA選択可能）オプションで遠方風量調整、故障監視が可能150mmRoHS（オプション）／CE（オプション）

それぞれの用途にマッチするシステムを的確に選べる

標準タイプWLFA

大風量タイプWLFB

単相タイプ WLFC

F-Adjust WLFL

ACモータタイプWLFD

スタンドアロンタイプWLFE

装置用カスタムタイプ

WLFI WLFJ WLFK

装置用スタンダードタイプ

標準タイプ WLFA

標準タイプWLFA

大風量タイプWLFB

単相タイプWLFC

ACモータタイプWLFD

スタンドアロンタイプWLFE

薄型タイプWLFF

F-AdjustWLFL

F F UF i e l d 1

電源仕様

P.15

P.16

P.17

P.29

薄型タイプ WLFF

F-Adjust WLFL

P.20

P.29

P.18

P.19

P.23

P.23

BFFU250（1C1M）BFFU1000（1C4M）

BFFU500（1C2M）BFFU1000（4C4M）

耐熱ケミカル

各種ＤＣ－ＦＦＵにはコントローラが搭載されています。詳細はＰ．２１～２２をご参照ください。

高効率変換（AC－DC－AC）制御性（ PWM制御回路内蔵）遠隔操作性（ＣＡＮ／ＲＳ４８５通信システム）電流制限回路低電圧保護回路 BLDCモータのセンサレスによる回転速度検出

F-StageWLFG

F-Cube-NWLFH

FFU仕様表

装置用FFU

ＦＦＵを制御するコントローラは、当社のインバータ技術を進化させたコア技術です。

電　　源フィルタ通信機能厚　　さ規　　格

主な特長

製造中止

製造中止

SDR2404-2RS-TD（4C4M）

DC210W

DC600W

DC210W

AC200W

DC170W

DC100W×2

DC280W

SDR3204-2R-TD（4C4M）

BFFU750

BFFU250-1P

－

BDR170T

SDR3204-2R-TD（4C4M）

－

可

可

可

不可※

不可※

可

可

RS4851φ220V DC240W 可

NEW

NEW

NEW

NEW

NEW


F F U

標準タイプ　WLFA 大風量タイプ　WLFB

コントロールBOX外形寸法図

外形寸法図外形寸法図

Field

1

性能曲線

●入力電力 ●電　流

1450rpm

1400rpm

1300rpm

1200rpm

1100rpm

1000rpm

900rpm

800rpm

1.0

0.9

0.8

0.7

0.6

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0.0

電流 [A]

300

250

200

150

100

50

0

入力電力 [W]

0 5 10 15 20 25 30 35 40 5045風量 [m3/min]

0 5 10 15 20 25 30 35 40 5045風量 [m3/min]

●風量・静圧450

400

350

300

250

200

150

100

50

0

全静圧（送風機静圧） [Pa]

0 5 10 15 20 25 30 35 40 5045

風量 [m3/min]

性能曲線

2.0

1.5

1.0

0.5

0.0

電流 [A]

入力電力 [W]

600

500

400

300

200

100

00 10 20 30 40 50 60

風量 [m3/min]0 10 20 30 40 50 60

風量 [m3/min]

1400rpm

1300rpm

1200rpm

1100rpm

1000rpm

900rpm


600

500

400

300

200

100

00 10 20 30 40 50 60 70

風量 [m3/min]

●風量・静圧


5555 5959 5858 6060 616166dB(A)66dB(A)

4646 4848 5151 5353 5555 5757 58dB(A)58dB(A)

4343

ＯＮＯＦＦ

電源ケーブルＶＣＴＦ　２．０Ｓｑ　４芯　２ｍ　２本

通信ケーブルシールド　０．２Ｓｑ　２芯　ＲＳ４８５　２ｍ　２本　

ＯＮＯＦＦ

電源／運転／異常ランプ

ローダー接続ポート（モジュラー）

ＦＦＵ

フィルタ

１４６４

７１４

電源ＳＷ

２１０

１４６０×７１０（フィルタ寸法）

（２）１４６０

８２１０

１．６（１．２）

１４６４

１４６７．２

（６３．６）

１０２２０

（３０）

３６５

２７０

９１２２５

２４５

２５９

４７．４

７１４

２２０

１０

（１．５）（２）１４６７

１４６４

１４６７

１４６０（フィルタ寸法）

１４６４

（１）

１８


F F U

WLF00単相 WLF0170W単相タイプ　WLFC ACモータタイプ　WLFD

Field

1


性能曲線


0 5 10 15 20 25 30 35 40 45風量 [m3/min]

0 5 10 15 20 25 30 35 40 45風量 [m3/min]

0.9

0.8

0.7

0.6

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0.0

電流 [A]

160

140

120

100

80

60

40

20

0

入力電力 [W]

1100rpm

1000rpm

900rpm

800rpm

300

250

200

150

100

50

0


0 5 10 15 20 25 30 35 40 45風量 [m3/min]

性能曲線


AC200V60Hz

AC200V50Hz

0.8

0.7

0.6

電流 [A]

170

160

150

140

130

120

110

100

90

80

70

入力電力 [W]

0 5 10 15 20 25 4030 35風量 [m3/min]

0 5 10 15 20 25 4030 35風量 [m3/min]

●風量・静圧


300

250

200

150

100

50

00 5 10 15 20 25 4030 35

風量 [m3/min]

●風量・静圧

47475252

5454

55dB(A)55dB(A) 51dB(A)51dB(A)

4747

通信ケーブルシールド　０．２Ｓｑ　２芯　ＲＳ４８５　２ｍ　２本　

ＦＦＵ

フィルタ

ＯＮＯＦＦ

電源／運転／異常ランプ

ローダー接続ポート（モジュラー）

電源ケーブルＶＣＴＦ　２．０Ｓｑ　４芯　２ｍ　２本

（２）

８２１０

１．６（１．２）

電源ＳＷ

１２２４

６１４

２１０

１２２４

１２２０１２２７．２

（６３．６）

１２２０×６１０（フィルタ寸法）

６１４

（３０）

１０２２０

２２０

１０

１２２７

１２２０（フィルタ寸法）

１２２７

（２）（１．５）

（１）

１８

１２２４

端子台カバー

Ｍ４端子台

１２２４

ＥＴＳＲ１２

Ｆ異　常


F F U

スタンドアロンタイプ　WLFE 薄型タイプ　WLFF

Field

1


性能曲線


100％

90％

80％

70％

60％

50％

0.8

0.7

0.6

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0.0

電流 [A]

250

200

150

100

50

0

入力電力 [W]

風量 [m3/min]0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50

風量 [m3/min]0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50

性能曲線1500rpm

1400rpm

1300rpm

1200rpm

1100rpm

1000rpm

900rpm

800rpm


250

200

150

100

50

00 5 10 15 20 25 30 35 40 45

風量 [m3/min]


4444 4646 54545454 5656 5757

525259dB(A)59dB(A)

●電　流1.0

0.8

0.6

0.4

0.2

0.0

電流 [A]

0 5 10 15 20 25 30 35 40 45風量 [m3/min]


350

300

250

200

150

100

50

0


0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50風量 [m3/min]

37374343

47475151

5454 55dB(A)55dB(A)

●入力電力

0 5 10 15 20 25 30 35 40 45

250

200

150

100

50

0

入力電力 [W]

風量 [m3/min]

６１４

１２２４

１２２７

１２２０（フィルタ寸法）

１０２２０

（３０）

１２２７

（２）（１．５）

１２２４

端子台カバー１８

（１）

１０

Ｍ４端子台

２２０

３０

１０

７０

８０

９０

２０

５０４０６０

０１００

ＦＡＵＬＴＦＡＵＬＴＦＡＵＬＴ

３００

３００

３００

１１４５

１１９３

１４９３

１４４５

３００３００３００３００１８－Ｍ４ナットサート（フィルタ連結用）

フランジ（１．６ｔ）

ＦＦＵ固定金具（別途）

９００

子機モータケーブル２（Ｌ＝４００）

１４６０（フィルタ寸法）

１４２３

子機モータケーブル１（Ｌ＝４００）

１２０

６

３５

Ｍ４ナットサート１６．５

４


F F U

コントローラ仕様表コントローラ仕様表

Field

1

定格電力定格電圧定格電流許容過負荷電流主電源電圧・周波数許容変動電圧相間アンバランス定格入力電流損失瞬時電圧低下耐量定格速度（回転数）速度制御範囲速度精度キャリア周波数

速度設定方法

速度設定分解能速度検知

制御方式

回転方向停止ブレーキ起動特性（加減速）通信規格通信方式同期方式通信速度電源（通電）運転（動作／停止）故障（エラー）

直接操作

遠隔操作

高調波含有率漏れ電流軸電圧耐電圧

サージ耐圧

絶縁抵抗EMC期待寿命

定格出力

定格入力

速度制御

運転制御

上位通信

表示

操作

信頼性

適用モータ型式電動機接続台数モータ許容配線長

型　　式型　　式

出力定格

入力電源

速度制御

運転制御

通信仕様

表示・操作

定格電圧定格電流許容過負荷電流主電源電圧・周波数許容変動電圧相間アンバランス定格入力電流所要電源容量速度制御範囲速度精度キャリア周波数速度設定方法

速度設定分解能

制御方式

回転方向

瞬時電圧低下耐量

加速・減速時間

電気的仕様通信方式同期方式通信速度コントローラ接続台数故障出力（外部I / O）チャージランプ（電源基板）状態表示

通信要求通信応答通信確立加工点検電　　源運　　転

故障リセットスイッチ

適用モータ型式モータ定格出力接続モータ数モータ許容配線長

制御基板

保護

EMCフィルタRoHS指令

高調波含有率

コントローラ効率コントローラ計算寿命突入電流重量

RS485通信タイプ CAN通信タイプ

3相200V（公称）0.9A（モータ1台当たり） 3相 200～230V, 50/60Hz電圧：±10%　周波数：±5%2%以内3.1A（参考値）1.1kVA500～1450min-1

最大速度設定に対して±3%約15kHz上位通信指令またはハンディローダ上位通信指令：1min-1ハンディローダ：10min-1

正弦波PWM制御、磁極位置検出センサーなし、V/F速度一定制御、4台個別運転制御

停止状態からの起動で60s以内（実機組合せ時）運転状態からの停止はフリーラン停止

EIA RS-485 2線式　半2重通信調歩同期式 38400bps 最大31台（モータ最大124台）外部 I/OコネクタへLEDを接続することで、故障表示灯として使用可能赤色：LED1（直流中間電圧が約50V以上で点灯）－緑色：LED1（受信中：点灯、受信信号無し：消灯）緑色：LED2（送信中：点灯、送信信号無し：消灯）赤色：LED3（正常時：消灯、異常時：点灯）橙色：LED9（正常時：消灯、異常時：点滅）緑色：LED8（自動モード：点灯、手動モード：点滅）緑色：LED4-7（インバータ出力中：点灯、インバータ停止中：消灯、故障中：点滅）SW1　プッシュスイッチg過電流、過電圧、低電圧、コントローラ過熱、過負荷、電源欠相、モータ脱調、通信異常、メモリ異常、CPU異常

過電流、過電圧、低電圧、コントローラ過熱、過負荷、ホールセンサ異常、速度異常、メモリ異常、CPU異常

過電流、過電圧、低電圧、コントローラ過熱、過負荷、モータ脱調、通信異常、メモリ異常、CPU異常

1相220V（公称）1.4A（モータ1台当たり） 1相 220V～240V, 50/60Hz電圧：+5%-10%　周波数：±5%－ 6.5A（参考値）2.0kVA

GCG21155-TL8FE21210W / 1450min-1

正転方向のみ

165V以上で運転継続定格電圧状態から165V未満に低下の場合、15ms運転継続（85%負荷相当）

3相200V（公称）0.87A定格電流の130%-30s3相 200～230V, 50/60Hz電圧：±10%　周波数：±5%3%以内0.9A310VA250～1350min-1

最大速度設定に対して±4%約16kHz内部可変抵抗器、外部可変抵抗器または外部設定電圧

最大速度設定に対して1/256

正弦波PWM制御

パラメータにて設定（工場出荷時：20秒）

－－－－－リレーのC接点赤色：LED5（直流中間回路電圧が約50V以上で点灯）橙色：LED2～4（正常時：回転速度を表示、異常時：異常内容を表示）－－－橙色：LED2-4（正常時：点滅、異常時：点灯）赤色：LED5（通電時：点灯）緑色：LED1（正常時：点灯、異常時：消灯）SW2　プッシュスイッチ

GCG2954-T8TD17B-c170W / 1350min-1

1台－

内　蔵対　応

10万時間以上（周囲温度30℃にて）

THD：35%以下（電源電圧200V、定格出力運転時、高調波次数40次以内）

THD:39.1%（電源電圧220V、定格出力運転時、高調波次数40次以内）

THD：35%以下（電源電圧200V、定格出力運転時、高調波次数40次以内）

SDR3204-2R-TDGCG21155-UL8FE24240W / 1450min-1

SDR2404-2RS-TD BDR170-T BFFU250-1P（1C1M）1台運転

BFFU250（1C1M）1台運転

BFFU500（1C2M）2台同期運転

BFFU750（1C1M）1台運転

BFFU1000（1C4M）4台同期運転

BFFU1000（4C4M）4台個別運転

UGBTEF-12SKMK07／GCG21155-TL8FE21 UGBTEF-12MKMK05A UGBTEF-12SKMK07／GCG21155-TL8FE211台 1～4台（切替可）1台1～2台（切替可）－ Max 9m －

－

－－

Max 12m750W500W(250W×2台)250W 1000W(250W×4台)

3相200V（公称）1.0Arms 1.0Arms 1.0Arms×2台 3.3Arms 1.0Arms×4台

定格電流の150%－1分間3相　200/220V, 50/60Hz1相 200/220V, 50/60Hz

電圧：±10%　周波数：±5%2%以内

1.07Arms以下 1.17Arms以下 2.14Arms以下 3.51Arms以下 4.3Arms以下6%以下（定格運転時）

165V未満－15msec以内（165V以上では運転継続）

500～1100min-1 500～1260min-1 500～1450min-1 500～1300min-11260min-11450min-11260min-11100min-1

設定速度（回転数）±1% 最高回転数±1%以下10kHz

上位通信指令ハンディローダ速度調整ボリューム※High / Low速度切替スイッチ※

上位通信指令ハンディローダ

有り（センサレス方式による速度検出）有り（ホールセンサによる速度検出）

軸端側から見て反時計回転

最高回転速度：1min-1　　回転速度制御：1%

無し加速：設定値まで60秒（停止状態から）、減速：フリーラン

CAN（ISO 11898） Ver. 2.0B Active2線式差動電圧方式

非同期125 kbps

有り（LED：黄点灯）有り（LED：緑点灯／消灯）有り（LED：赤点灯）

ON-OFFスイッチ速度調整ボリューム※

ON-OFFスイッチハンディローダ

上位装置間通信による操作（CAN）High / Low速度切替スイッチ※

上位装置間通信による操作（CAN）

35%以下2.0mA以下（モータ4台当たり）0.5mA以下（モータ1台当たり）

3.5Vpeak以下（期待値） 5.0Vpeak以下（期待値） 3.5Vpeak以下（期待値）AC1500V　1分間AC1800V 1秒間

入力：2kV IEC61000-4-5 準拠基準：EN61000-6-2　第4表　　ライン－アース間：2kV　　ライン－ライン間：1kV

10MΩ以上（DC500Vメガー）イミュニティ：EN61800-3 :2004 2nd Env/エミッション：EN61800-3:2004 C3

10万時間以上（電解コンデンサ寿命@30℃）過電流、過電圧、低電圧、IGBT過熱、IGBT内部短絡、過負荷、電源欠相、モーターケーブル断線、速度異常、起動失敗、モータ地絡、DSP異常、設定パラメータ異常

基板IDごとの時間差起動停電→復電時には、停電前の運転状態に自動復帰

対応（オプション）－

240×145×50約0.8kg

240×145×63約0.8kg

260×190×63約1.5kg

240×145×50約1.9kg 約1.8kg

※別途モジュール部品が必要となります。

3相120度通電－矩形波PWM制御速度一定制御

3相120度通電－矩形波PWM制御速度一定制御センサレス方式

340×190×65 260×220×65

保護突入電流抑制機能運転情報メモリ機能RoHSCE寸法（W×D×H）mm重量

95%（電源電圧200V、最大定格出力運転時）

6A0-peak以下約2.1kg

95%（電源電圧220V、最大定格出力運転時）

15A0-peak以下約1.3kg（リアクトル含まず）

95%（電源電圧200V、最大定格出力運転時）10年以上（周囲温度40℃にて）7A0-peak以下約0.9kg

1～4台Max 12m

定格電流の110%-30s

NEW


装置用 F F U

Field

1

装置用FFUの特長

機能・特長から選ぶ風量・風速から選ぶ

特長1 薄型

限られたスペースへの設置を考慮して業界最高レベルの薄型を実現（MIN115mm)

特長3 RoHS・CE・SEMI準拠

海外への輸出対応のため各種規格に準拠。また輸出貿易管理令該非判定（自主判定書）も発行可能

特長4 アウトガス対策

本体、吹出口、フィルタ、シール材など構成部材を厳選しアウトガス発生を低減

特長5 通信機能

DCブラシレスモータの優れた制御性を最大限に引き出すため、通信によりモータを可変速し風量制御が可能

特長2 省エネ・風量可変

全シリーズDCブラシレスモータを採用、モータの可変速により最適風量で省エネ運転が可能。従来型FFUと比較して約30%の消費電力低減（当社比）を実現

機能と特長、また風量で最適な答えを探せる

装置用FFUF i e l d 1

装置用FFUは製造装置に付帯するため、製造装置の一部として様々な機能が求められます。当社の装置用FFUはお客様の様々な要望を具現化します。

耐熱（超薄型）

耐熱（高風速型）

ケミカル

F-Stage（HEPA t=50mm）

F-Stage（HEPA t=40mm）

F-Cube-N（ULPA）

F-Cube-N（HEPA）

風速[m/s]

風量[CMM]

シリーズ

F-Cube-N

F-Stage

耐熱FFU（超薄型）

耐熱FFU（高風速型）

ケミカルFFU

機能・特長厚　さ規　格

0.9

0.8

0.7

0.6

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

00 1.2 2.4 3.6 4.4 5.6 6.8 8.0 9.2 10.4 11.6 12.8 14.0 15.2 16.4 17.6 18.8 20 21.2

P.25

P.27

P.27

P.28

WLFG

WLFH

WLFI

WLFJ

WLFK

F-Adjust

P.29　

ＷＬＦＬ

RoHSCE※3

RoHS（オプション）

RoHS

RoHS

-

-

製造中止

製造中止

※1 即納とは注文後、1週間程度です　※2 フィルター高さ含まず

115mm※2

150mm

105mm

190mm

230mm

170mm※2

1φ200V・3φ200V即納対応※1

フィルタ選択可能

1φ100V即納対応※1通信機能

高温環境（50℃）アウトガス対策

高温環境（50℃）アウトガス対策風速0.65m/s

ケミカルフィルタ搭載アウトガス対策通信機能

1φ220V風量30CMM通信機能NEW


装置用 F F U

Field

1

F-Cube-N 1Φ100V 一般コンセントで使用可能なコンパクトFFU

WLF H 40 U D

外形寸法図

標準付属品オプション型式説明例

状態電源OFF異常時正常時

出力××○

［○:導通,×:非導通］

記号UH

フィルタULPA（標準）HEPA※1

記号-PDKACHTV

オプション※2なし

プレフィルタ差圧計＋ピトー管ピトー管のみ異常信号出力天吊金具（4個）水平金具

FFU監視システム※31φ200V※1 HEPA仕様はサイズ61 および122のみ対応

※2 オプションを複数選択時は並記ください。※3 F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。

フィルタ内蔵構造高性能ULPAフィルタを内蔵しており高精度なクリーン環境を実現。フィルタ面は保護網付なので、据付時にフィルタを傷つける心配がありません。

電源工事不要一般コンセント電源（1φ100V）で運転でき、面倒な電気工事は一切必要ありません。運転はコンセントから電源を供給し、スイッチを入れるだけという簡単さです。（オプションで1φ200Vも可能）

小規模ＦＦＵ監視システムを組合せることにより、FFU風量可変・故障監視が可能です。※F-Cube-N-30および40は通信機能はありません。

異常信号出力異常信号出力ケーブル（オプション）を使用すると故障信号の出力が可能です。

風量簡単調整風量は調整ダイヤルにより連続的に調整が可能。運転状態を表示ランプで確認できます。（オプションで調整ダイヤルの外部設置も可能）

識別30405061122

サイズ300×300400×400500×500610×610610×1220

F-Cube-N-30UWLFH-30U□

300300

270270

2.20.52450

5


400400

370370

4.10.53755

6.4


500500

470470

6.60.56355

11.5


610610150580580

10.10.58758

13.5

RoHS（オプション）


6101220

5801190

DCブラシレスモータ100W

16.60.510359

20.5有り（オプション）

F-Cube-N-61HWLFH-61H□

610610

580580

10.10.56851

13.5

F-Cube-N-122HWLFH-122H□

6101220

5801190

16.60.57657

20.5

DWHXY

品　名型　式フィルタ集塵効率

寸法[mm]　　設置・　　

開口寸法[mm]　　

電　源モータ

風量[m3/min]風　速[m/s]消費電力[W]騒　音[dB(A)]本体材質重　量[kg]通信機能環境規制

ULPA99.999%以上（0.1μm）

1Φ100V 50/60Hz　/　1Φ200V（オプション）DCブラシレスモータ87W

アルミ（側面）＋SUS（インレット部）

無し

HEPA99.99%以上（0.3μm）

■ 電源コード（2.0m） ■ 固定金具（4個）

（カッコ内はオプション識別番号）

■ プレフィルタ（P） ■ 異常信号出力（A)

■ 差圧計＋ピトー管（D） ■ 天吊金具（C） ■ 水平金具（H） ■ ピトー管（K)

■ 本体

F-Cube-N-30～61 F-Cube-N-122電源SW風量調節つまみ外部信号端子電源ソケット

脱落防止金具（据え付け型or吊下げ型）

150

7.5

●設置・開口寸法 30 30

4040

4-　7

電源SW風量調節つまみ外部信号端子電源ソケット脱落防止金具

（据え付け型or吊下げ型）

150

7.5

●設置・開口寸法

40 40

3030 4-　7

CAN

例

仕様表

WLFH

D

Y

Y

HH

D

W

X

X

■ FFU監視システム FMC100/200（T）

FFU監視システムFMC100/200

通信機能（個別制御／グループ制御／高速・低速切替／一括故障出力）

FMC200 接続台数 :max.254台(4ポート)FMC100 接続台数 :max.100台(1ポート)

W


装置用 F F U

Field

1

耐熱FFU ケミカルFFU高温（50℃）環境で使用可能適合規格 RoHS・SEMI（準拠）アウトガス対策ボリュームによる風量可変・故障出力リレー付

高温環境で使用可能拡散炉などの高温環境（50℃）での使用に耐えうる設計。

アウトガス対策本体材質：ポリエステル樹脂塗装吹出口　：SUS３０４ BA（パンチング板）F i l t e r 　：ボロンフリーフィルタ（PTFE）シール材　：低シロキ酸タイプ。

RoHS・SEMI（準拠）EU圏への輸出を考慮してRoHS規格（準拠）に対応。また生産装置の規格であるSEMIにも適合。

超薄型タイプ高静圧ファンの採用により高さ105～120mmの超薄型を実現しました。

高風速タイプ高静圧ファンを複数台使用することにより吹出し風速0.65m/sを実現しました。

装置への収納を考慮した薄型（本体H=230mm ＋ケミカルH=150ｍｍ)コータ・デベロッパなどの製造装置のケミカル汚染対策に最適アウトガス対策通信機能による風量可変・故障監視が可能

アウトガス対策本体材質：SUS430BAF i l t e r：ボロンフリーフィルター（PTFE）シール材：低シロキ酸タイプ

通信機能（個別制御／グループ制御／高速・低速切替／一括故障出力）小規模ＦＦＵ監視システムを組合せることにより、FFU風量可変・故障監視が可能です。

超薄型タイプ高風速タイプ（0.65m/s）

薄型２３０mm薄型ファンの開発により、高さ230mmを実現しました。

230mm

ケミカルFFU P-Q 特性

空気量（CMM）0.00 5.00 10.00 15.00 20.00 25.00

200.00180.00160.00140.00120.00100.0080.0060.0040.0020.000.00

N=1420rpm　　　N=1300rpm　　　N=1200rpm　　　N=1100rpm　　　N=1000rpm　　　N=900rpmN=800rpm　　　　N=700rpm　　　N=600rpm　　　N=500rpm　　　N=ケミカルフィルタ圧損

鯛焼き構造

仕様表内　　容項　　目

品　名型　式フィルタ集塵効率

FFU外形寸法[mm]

電　源風　量[m3/min]機外静圧[Pa]騒　音[dB(A)]本体材質重　量[kg]

耐熱FFU（超薄型タイプ）WLFIULPAフィルタ　ろ材：PTFE　99.9999%以上 0.1μm1453W×481D×105H（ファン部160mm）1φ115V 50/60Hz6.0（0.32m/s）070鋼板（ポリエステル樹脂塗装）38

耐熱FFU（高風速タイプ）WLFJULPAフィルタ　ろ材：PTFE　99.9999%以上 0.1μm

1000W×350D×190H

1φ115V 50/60Hz11.3（0.65m/s)073鋼板（ポリエステル樹脂塗装）24

仕様表内　　容項　　目

品　名型　式フィルタ集塵効率FFU外形寸法[mm]電　源風　量[m3/min]全静圧[Pa]最大消費電力[W]騒　音[dB(A)]本体材質重　量[kg]

ケミカルFFUWLFKULPAフィルタ　ろ材：PTFE　99.9999%以上 0.1μm1050W×750D×230H3φ200V 50/60Hz16.0（0.45m/s)16014065±2SUS430BA65

ケミカルフィルタケミカル汚染物質を除去するケミカルフィルタは、短時間で容易に交換できる鯛焼き構造を採用しています。

WLF I WL F J WLFK

CAN

FFU監視システムFMC100/200

FMC200 接続台数 :max.254台(4ポート)FMC100 接続台数 :max.100台(1ポート)


装置用 F F U

130

50

140

Field

1

F-Adjust設備運用のままFFUのリプレイスが可能ファン・モータ・コントローラのモジュール化により、既存FFUのフレームとフィルタを再利用FFUを取り外すことなく、天井裏での交換作業が可能

WLF L

省エネ既存インダクションモータ（ACモータ）をF-Adjustに置き換えることで省エネが実現

ファンモジュール仕様表

風量（CMM）

全静圧（Pa）

0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50

400

350

300

250

200

150

100

50

0

P-Q特性カーブ

内　　容項　　目電　源モータファン風　量全静圧通　信重　量

１φ220V 50/60HzBLDC 280W斜流ファン　30CMM180PaModbus13kg

ターミナルユニット外形寸法図

断面形状比較

300mm

狭いスペースにも設置可能斜流ファン採用により超薄型コンパクト設計を実現（本体300⇒70mm）狭所での風路を確保し、圧力損失を低減水平・垂直を問わず設置可能

従　来　品 F-Adjust

シロッコファンターボファン斜流ファン

or

70mm

170mm

既存ACファン

薄型対応ファンモジュール

① 撤去既設ファンモータ撤去

ファンモジュールターミナルユニット（オプション）

1500

1300

1100

900

700

500

④ 通信接続 ③ 電源接続

既存FFUフレーム

既存フィルタ

② 取付

441

97.6 70

10

538260 260

260

260

538AIR AIR

ROTATION

名称内容

単相 200-220V 入力M4端子に接続

運転・停止時（緑点灯）異常時（赤点灯）

ＲＪ45コネクタストレートＬＡＮケーブル

ローダにより回転数等設定【ローダ別売】

※取付のための開口寸法は、40x120mm

電源入力端子台

ＬＥＤ表示灯

通信接続コネクタ

ローダ接続コネクタ

④

④

②

②

①①

③ ③

③

監視システムＦ-SITE-FMR500

LS I FFU 1

Modbus

FFU外形寸法図

通信接続方法

FFU 2 FFU 3

P.57

ファンモジュール取付（ターミナルユニット付）

電源ケーブル接続（端子台）

通信ケーブル接続（RJ45コネクタ）

Ethernet Modbus

※サイズ一例

ターミナルユニット仕様

CCC認証取得CCC認証（中国強制認証制度）

取得モータを使用

NEW

Field

2


F F U 監視システム

P.43 P.43

F-SITEシリーズF FU監視システムをシリーズから選ぶ

■Windows7搭載型ＦＦＵ監視ＰＣ■環境センサ（Ｆ-ＰＬＡＮＥＴ）の監視■風向・風速センサとの接続■温度・湿度センサとの接続■ＰＬＣとの接続■多彩なアプリケーションで　あらゆるＩ／Ｆに対応

■Windows7搭載型ＦＦＵ監視ＰＣ■ＰＬＣとの接続

■当社MONITOUCHを標準化しソフトレスＦＦＵ監視ユニット■RS-485通信ポート標準装備

■当社独自のＣＡＮインターフェース搭載型ＦＦＵ監視ユニット■ＣＡＮ通信ポート標準装備

■当社独自のＣＡＮインターフェース搭載型ＦＦＵ監視ユニット■ＣＡＮ通信ポート標準装備

FFU 監視システムF- S I T E シリーズ

P.37 P.39 P.41

大規模で複合的なニーズから小規模の特定ニーズまで思い通りの監視システムを選べる。

小規模ＦＦＵ表示・操作器Ｆ－ＭＯＮＩＴＯＲ

小規模ＦＦＵ監視システムＩＣＩＵ

小規模ＦＦＵ監視システムS-ＩＣＩＵ

クリーン機器統合監視システムＦＦＵ監視システムＦＡＮＥＴ

Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ１００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ２００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＶ３００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ５００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＲ５００

ワイド監視システム（大規模）

スポット監視システム（小規模）



FFUの運転状態や各所の温度・湿度、清浄度・風向・風速など各種センサーの測定値を統合監視するシステムです。クリーンルームの見える化を実現し、最適な製造環境を省エネルギーで創造することを可能にします。

・温度制御・省エネ制御・排煙連動制御・他システムへの伝送

31×4×2系統

31×4×3系統 max.254台（4ポート）

max.100台（1ポート）

情報収集ユニット

温度調節計

FFU

Ｆ-SITE-FMR500 Ｆ-SITE-FMC500

・ＲＳ－４８５通信をＬＡＮへ変換します。

Max31

FFU

・温調対応・F-SITE対応

・温調対応・F-SITE対応

ＰＬＣMICREX-SX

Ｆ-SITE-FMV300

LSI

・CAN通信をＬＡＮへ変換します。

・ブラウザを通じて、各種センサの監視を行います。

LCI

Ｆ-SITE-FMC200

環境監視システムＦ－ＳITE

Ｆ－ＰＬＡＮＥＴ

2 FFU監視システムF i e l d

P.11

P.11

P.37

P.45 P.46

P.39

P.43

P.41

P.39P.37

Ｆ-SITE-FMC100

Ethernet RS485 CAN

P.43P.43

P.41

ＭＡＸ接続可能ＦＦＵ台数

コンセプト

ワイド監視システムスポット監視システムFMR500FMC500

・大規模システム　・カスタム対応

ＣＡＮ＆ＲＳ４８５ＣＡＮ

～６5，０００台まで～６５，000台まで

通信タイプ

FMV300FMC200FMC100

ＲＳ－４８５通信及びＣＡＮ通信変換器レスのダイレクト接続

ＲＳ４８５ＣＡＮＣＡＮ

～372台まで～254台まで～100台まで

通信タイプ

機能

FFU規模（台）

カスタム

簡易型60,000台

接続規模と通信タイプより選ぶ

Field

2

接続規模で、通信タイプで最適なシステムをチョイス

Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＶ３００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ２００

Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ１００

Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＲ５００Ｆ－ＳＩＴＥ－ＦＭＣ５００

クリーンルームセンサ

風向・風速センサ

Ethernet

Ethernet

RS485

RS485

RS485

CAN

CAN CAN

370台







詳細は、富士統合コントローラ　　　　　　　　　シリーズＳＰＨ３０００のカタログ（LH992a）を参照下さい。http://www.fujielectric.co.jp/products/plc/lineup/sph/index.html

環境監視センシングシステム




FFU 監視システム機能一覧

Field

2

シリーズ仕　　様

RS-485

RS-485をEthernetへ

変換

可 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

○○○○○○○

○ ○ ○ ○

○ ○

○ ○

○ ○

○ ○

○ ○

○

○

○ ○

○ ○ ○ ○○○○○ ○

○ ○オプション

オプション

－－－－－

オプション

オプション

オプション

－－－－－－－－－－－

－○ －－－－

－－－

○

－

－－

－

－

－－－－

オプション

オプション

オプション

○ －－－－ ○

○

4台独立

－

－－－－－－－

－

オプション

○オプション

オプション

オプション

オプション

－－

－

－

－

－

－

－

－

－

－－－－－－－－－－－－－－－

－－

－－－

－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－－

－－－－－

オプション

オプション

オプション

オプション

XP/Window

s7XP/Window

s7

○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○

○

4台独立

○

4台独立

○

不可

不可

不可

不可

FFU 65,000台

FFU 65,000台

LSI(LA

N Serial Interface)～

監視PC

RS-485

FFU 372台/F-M

ONITER

RS-485 ～ F-M

ONITER

CANをEthernetへ

変換

LCI(LAN-CAN-Interface)～ S.W.HUB ～監視PC

CAN

FFU 254台

CAN ～ ICIU

CAN

FFU 100台

CAN ～ S-ICIU

RS-485CAN

通信方式

形　　態

機器構成

接続可能台数

通信基板

AC

FFU

Windows

バージョン

DCBLモータコントローラ

基板仕様

CANCAN

CAN

FFU監視システム

FMR500

FFU監視システム機能監　　視制　　御ロギングセキュリティーそ　の　他

FFU監視システム機能

省エネ用、ＦＦＵ温度制御

システムに対応可能

製造装置用制御システム

ＰＣとの連動監視をしたい

計測値表示

FFU基板電流・温度

もっと容易に、上位システ

ムと接続したい

モータ複数台運転・独立運転

二重化

トレンド機能

環境センサ等の接続

上位システムとの伝送

２台以上の並列システム可能

警報等の電気的出力

パスワード

ログオン

操作権限

操作履歴

警報履歴

最新警報表示

火災制御

排煙制御

他設備ＰＬＣからの制御

スケジュール

運転・停止

個別制御

運転・停止

非常停止

強制運転

システムコンディション画面

通信機器異常

通信異常

ＰＬＣ異常

FFU異常

FFU監視

制御状態

運転速度

フロア毎の制御

運転・停止

エリア毎の制御

運転・停止

グループ毎の制御

運転・停止

ストレージ

ＦＦＵ回転数を調整後、回転数

を記憶し、任意に使用したい

FMV300

FMC500

FMC200

FMC100

ワイド監視システム

スポット監視システム



ワイド監視システム

電気的仕様：・EIA RS-485通信方式：・２線式半２重通信同期方式：・調歩同期式通信速度：ＦＦＵ間・38400 bps伝送距離300m（RS-485）

型番：ＳＤＲ３２０４－２Ｒ－ＴＤ電源電圧：3φ 200V-230V 50/60Hzモータ定格出力：210W/330W適用モータ：GCG21155-TL8FE21 　　　　 GCG21155-TL8FE33制御方式：正弦波PWM制御保護回路：　・過電流・過電圧・低電圧・コントローラ過熱・過負荷・電圧欠相・モータ地絡

・出力短絡・モータ脱調・通信異常・メモリ異常・CPU異常・リトライ機能

型番：ＳＤＲ３２０４－２Ｒ－ＴＤ電源電圧：3φ 200V-230V 50/60Hzモータ定格出力：210W/330W適用モータ：GCG21155-TL8FE21 GCG21155-TL8FE33制御方式：正弦波PWM制御保護回路：・過電流・過電圧・低電圧・コントローラ過熱・過負荷・電圧欠相・モータ地絡

型番：BFFU250 他※他（ＦＦＵシリーズコントローラ仕様参照）電源電圧：3φ 200V-230V 50/60Hz消費電力：200W（Max）モータ：GCG2954-T8FF制御方式：PWM制御保護回路：・過電流・過電圧・冷却体加熱・メモリ異常・CPU異常・モータセンサ断線・回転数異常

型番：BFFU250 他※ＦＦＵシリーズコントローラ仕様参照電源電圧：3φ 200V-230V 50/60Hz消費電力：200W（Max）モータ：GCG2954-T8FF制御方式：PWM制御保護回路：・過電流・過電圧・冷却体加熱・メモリ異常・CPU異常・モータセンサ断線・回転数異常

型番：BFFU250 他※ＦＦＵシリーズコントローラ仕様参照電源電圧：3φ 200V-230V 50/60Hz消費電力：200W（Max）モータ：GCG2954-T8FF制御方式：PWM制御保護回路：・過電流・過電圧・冷却体加熱・メモリ異常・CPU異常・モータセンサ断線・回転数異常

・出力短絡・モータ脱調・通信異常・メモリ異常・CPU異常・リトライ機能

電気的仕様：・EIA RS-485通信方式：・２線式半２重通信同期方式：・調歩同期式通信速度：ＦＦＵ間・38400 bps伝送距離300m（RS-485）

CANプロトコル方式（ISO11898）データフレーム64bit速度可変出力255段階通信速度：ＦＦＵ間・125 kbps伝送距離300m（RS-485）



※1

※2

※1 オプションでPLCが接続した場合 ※2 系統毎となります

（

）

G/W



クリーン機器統合監視システム

温度調節計電源は個別に供給AC100V～240V

システム構成Ｆ-SITE-FMR500

LSI LCI

温度調節計

特長1 多彩な同時表示可能監視画面

DC-FFUの回転数コントロールにより、最適な清浄度を確保し省エネができます。

特長2 ＦＦＵフロア画面

建築CAD図面にFFU配置表示しますので、実位置の表示で監視・操作ができます。

F-SITE-FMR500の特長

FFUの運転状態や各所の温度・湿度、清浄度・風向・風速など各種センサの測定値を統合監視するシステムです。クリーンルームの見える化を実現し、最適な製造環境を省エネルギーで創造することを可能にします。

見える化を実現

特長3 システム系統画面

「PCとFFUインターフェース」「PCとPLC」の通信状態、FFU運転総数をモニタリングします。

フロアー単位で切替ができます。

フロアー全体表示から拡大表示まで自由にズームイン/アウトできます。左右上下のスクロールなどCAD操作感覚でモニタリングできます。

FFU回転数操作は、個別、グループ、フロアー、任意エリア範囲の操作ができます。

FFUの回転数により5段階の色替え表示及び、故障、通信異常などをFFUシンボルの色替えをします。

本システムで管理しているFFU総数FFU運転総数、故障総数を表示。

DC-FFUのインターフェースの通信状態、FFU登録数、運転台数、故障台数を表示します。

制御用PLCの通信状態、FFU登録数、運転台数、故障台数とPLC故障内容を表示します。

特長4 スケジュール機能

設備の効率的な運用（CRスケジュール運転）により、適正な契約電力に低減できます。

ドラッグ&ドロップで登録週間スケジュール

手動制御のグループ

現在グループに適用されている運転パターン

選択されたグループの制御履歴（最新1,000件）

特長5 アラーム監視画面

FFU、通信ユニットの故障履歴を表示します。検索機能で該当データの絞り込みができます。

特長6 操作履歴管理

最大3,000件の操作履歴を自動で保存。履歴は条件検索でき、保守管理を容易にします。

警報重度により、「重故障　」「中　」「軽　」管理します。「重」はFFU停止となる故障です。

ＦＦＵ監視環境センサ（Ｆ-ＰＬＡＮＥＴ）の監視風向・風速センサとの接続温度・湿度センサとの接続ＰＬＣとの接続

Field

2

操作履歴は、最大３，０００件のデータからFFUID,Groupなどの条件で検索できます。

履歴は、最大３，０００件の記録ができます。３,000件を超えると古いものから順に削除されます。

警報履歴は、最大１０，０００件のデータからFFUID,Groupなどの条件で検索できます。

Ethernet

RS485 CAN

システム系統

操作履歴警報履歴

FFUリスト表示

保守系画面メニューへ

フロア監視

運転系画面メニューへユーザ登録

パスワード変更サウンド設定


４台運転型ＦＦＵ

最大30台

クリーンルーム温度調節制御■ 本システムは、RS485通信により、温度調節計の遠方監視制御を行うためのシステムです。また上位コンピュータではLAN経由で温度指示調節計ネットワークシステムを構成し各種モニタ並びに設定を行うことができます。

システム停止



FFU監視システム（FANET）

ＦＦＵ監視ＰＬＣとの接続

■ FFUのデータ（運転/停止,回転数設定値）をハードディスクに保存します。

■ FFUを運転させます。

■ ＦＦＵの回転数を変更します。

■ FFUの発停及び回転数設定操作にロックを掛けます。ロックが掛かっている時にはロックを解除します。（要パスワード入力）

■ LCI(Lan Can Interface)の通信接続状態を表示します。内容はIP番号、ポート、PCとの接続状態を表示します。

Ｆ-SITE-FMC500

LCI

特長2

特長1 フロア監視画面

クリーンルームフロア毎の監視が可能です。

特長3 簡単操作

アイコンより簡単に操作ができます。

FFU配置画面施工した通りのＦＦＵ配置作画が容易に可能です。完成後の配置変更・追加などをお客さまご自身で対応することが可能なアプリケーションです。（ソフトウェアの知識は必要ありません）

F-SITE-FMC500の特長柔軟な操作性

LCI LCI

システム構成

Field

2

■ FFUを停止します。

■ FFUに異常がある場合異状原因を解除した後　Resetボタンを押すことで再運転が可能になります。

■ ハードディスク内のFFUデータを読み出します。

■ 「FFU Parameters」選択されたエリア内FFUの状態を表示します。　内容は回転数、制御電流値、状態を表示します。

Ethernet

CAN CANCAN


1台運転型ＦＦＵ 2台運転型ＦＦＵ 4台運転型ＦＦＵ

お客さまご自身で画面設計や変更が容易にできるアプリケーションです。ソフトウェアやPLCなどの複雑な知識は必要ありません。

故障FFUがある場合には当該フロアのツリー表示画面のシンボルが赤色表示されます。



ＦＦＵ監視システム

F-MONITOR

Ｆ-SITE-FMV300RS-485ダイレクト

F-SITE-FMV300の特長

当社ＰＯＤＭＯＮＩＴＯＵＣＨシリーズを採用し、ＦＦＵ用に監視・操作画面を搭載。タッチパネル方式により、操作性・視認性に優れ、ソフトレスですぐに使用できます。

優れた操作性

■ メイン画面…各操作画面へ移行

仕様表

機　能

■ 状態・設定画面…異常表示一覧に移行 ■ 異常表示一覧画面…ＦＦＵの異常状態を把握

■ 系統制御画面…各系統（回線）に移行 ■ 全体制御画面…全回線のＦＦＵを一括操作 ■ 運転回転数一覧画面…ＦＦＵの回転数を把握

■ 系統制御画面…Ａ回線のＦＦＵを一括操作 ■ 個別制御画面…各回線に接続されたＦＦＵ ■ 個別制御画面…１台のＦＦＵを操作

４台運転型ＦＦＵ

システム構成

RS485 RS485

ＦＦＵ監視

CN1 MJ2 MJ1

A系統

B系統

C系統

全体系統個別

全体数FFUの状態を一覧表示　接続（正常）時：青色表示　異常時：橙色表示し異常項目の表示　表示部タッチによりグループ指令画面に移動　非接続FFUは表示なし系統ごとに個別FFUの回転数を数値表示非接続FFUは表示なし5段階運転の回転数を数値入力により設定　設定値初期化機能付運転指令　　5段階運転　　　　　　指定回転数運転停止命令リセット指令運転指令　　5段階運転　　　　　　指定回転数運転停止命令リセット指令回転数表示運転状態表示運転指令　　指定回転数運転停止命令

異常状態一覧表示

運転回転数一覧表示

多段運転回転数設定

全体制御

系統制御（A・B・C系統ごと）

個別制御

ユニット形式

使用本体

適用FFU

通信方式通信ケーブル長さ系　統

接続ポート形状

WLZCNS-SSS型式： V810C　10.4インチ　TFTカラー液晶タッチパネル　電源AC100～240V 60VA富士電機製DCBL-FFU　コントローラ型式： SDR3204-2R-TD　※事前にアドレス設定が必要ですRS485max.300m/ポート3系統A系統接続ポート： MJ1（RJ45）B系統接続ポート： MJ2（RJ45）C系統接続ポート： CN1（D-SUB 9ピン）

内　容項　目

内　容項　目

外形寸法図

FFU A-01 FFU A-31

FFU B-31FFU B-01

FFU C-31FFU C-01

各系統接続台数

グローバルファンクションスイッチ

ブザーバックライト

各系統　親機31台（31グループ×4台＝124台）max.124台×3系統＝372台

F1 ：メイン画面へ移動F2 ：状態表示選択画面へ移動F3 ：全体制御画面へ移動F4 ：系統制御選択画面へ移動F5 ：空 F6 ：個別制御選択画面へ移動F7 ：バックライト消灯

２種（断続短音、断続長音）

自動消灯　180sec

内　容項　目

F1

F2

F3

F4

F5

F6

F7

303.8 69

288

231

7

31.47

215.2


Field

2

（max.300m）

（max.300m）

（max.300m）





外形寸法図

仕様表

機　能

当社最軽量型、FFU操作・監視ユニットです。個別またはグループで制御及び監視することができます。また、ＣＡＮダイレクト通信で接続も簡単な操作・監視ユニットです。

ソフトレスで簡単な操作でFFUを個別またはグループで制御及び監視することができます。また、ＣＡＮダイレクト通信で接続も簡単な操作・監視ユニットです。

ひとめでわかる異常ＬＥＤ

FAULTPOWER

本機に接続/登録されたFFUに異常が生じた時本機が通電状態にある時

STATE MONITORGROUP MONITORFAULT MONITORFFU SETTINGGROUP SETTINGSUMMARY

モード内　　　容登録された FFUの状態表示及び個別で制御する機能ですグループ別の状態表示及びグループ別に制御する機能ですFFUに発生した異常内容を表示する機能ですFFUの制御の可否を設定する機能ですFFUをグループ単位に設定する機能です登録された FFUを確認する機能です

STATE MONITORGROUP MONITORFAULT MONITORFFU SETTINGGROUP SETTINGHIGH/LOW SWITCH SETSUMMARY

モード内　　　容登録された FFUの状態表示及び個別で制御する機能ですグループ別の状態表示及びグループ別に制御する機能ですFFUに発生した異常内容を表示する機能ですFFUの制御の可否を設定する機能ですFFUをグループ単位に設定する機能です高･低速運転の値を設定する機能です登録された FFUを確認する機能です

項目(本体表示) LED点灯条件

ＣＡＮ通信ポート仕様

CAN（ISO 11898） Ver. 2.0B Active125kbps（High Speed）CANプロトコル専用コネクタAWM2919 VW-1 5P＊24AWG（11/0.16TA）を推奨※1

標準フォーマットmax.300m

内　　　容項　　目備　考通信規格通信速度通信プロトコルコネクタ接続ケーブル

※1：KDC社（Korea）製：AWM2919 VW-1 80℃ 30V 24AWG＊1PR SHIELDED LOW VOLTAGE COMPUTER CABE

WLF-ICIUAC80～250V 50/60Hz

5W

4

max.254台（ICIU 1台に対するFFUの接続台数）

170×320×62mm2.5kg

通信規格通信速度ポート数ポート形状FFU接続台数通信ケーブル長さICIU電源（通電）FFU異常検知FFU状態情報

FFU一括制御FFU個別制御使用環境使用温度範囲使用湿度範囲固定方法寸法重量

F-SITE-FMC200WLF-S-ICIU

DC 5V Adapter（AC100～240V 50/60Hz）2W

1

max.100台（S-ICIU 1台に対するFFUの接続台数）

147×140×34mm1kg

CAN（ISO 11898） Ver. 2.0B Active125kbps

専用コネクタ

max.300m/ポートLED-緑LED-赤

LCD-4Line. 20Character電源スイッチ（ON/OFF）

各種操作ボタン可能可能

屋内（直射日光、ラジエータ等の熱源、過大な振動等が無いこと）0 ～ 40°C

90%RH 以下（結露無きこと）側面金具による本体固定（使用ネジ： M3）

F-SITE-FMC100項　　目型式定格入力消費電力通信 I/F

表示

操作

速度制御

環境

その他120

170

25

XXXXXX XXX XXX

XXXXXX XXXXXX XXXX

300

320

4.05

10

61.20

25020

ICIU

S-ICIU

146.60

62.50

φ1.75×7

15 140

Page Change

FAULT

Independent CANInterface Unit

OFF ON DC IN

POWER

Next RUN

SET / ESC Previous STOP

33.80

140

110

128

シンプルなＬＣＤLCDには登録されたFFUの各種制御情報が表示され、モード選択によりＦＦＵをコントロールできます。

S-ICIU

S-ICIU

ICIU

ICIU

ICIU S-ICIU

シンプルな操作ボタン本機の操作(FFUの設定など)はすべてボタンで行います

Page ChangeSET/ESCNextPreviousRUNSTOP

画面を移行します機能の選択、及び各設定値を確定しますメニュー画面では次項へ移動、速度等の値設定ではカウントUPしますメニュー画面では前項へ移動、速度等の値設定ではカウントDOWNしますFFUの運転開始他に使用しますFFUの運転停止他に使用します

内　　　容ボタン名称



Field

2



仕様表

外形寸法図

外形寸法図

システム構成

ＬＳＩ概要

内　　容項　　目形式使用温度使用湿度保存温度保存湿度絶縁耐圧耐ノイズ（テスト条件）耐振動（テスト条件）耐衝撃（テスト条件）雰囲気冷却方式設置場所RAM周辺I/F

動作表示電源電圧外形寸法重量

RS-485通信部の仕様

TIA 568A　カテゴリー　５ケーブル(ケーブルサイズ : 24AWG　４P　Single-line、Shield)

仕様 : インピーダンス100Ω

RJ45（shield）

RS-485半二重，調歩同期式38400bpsデータ・ビット： 8ビットパリティ・ビット：偶数ストップビット： 1ビットフロー制御：無不可モジュラージャック RJ-45型　× 1チャンネル

100Ω抵抗内蔵

内　　容項　　目通信モード通信方式転送速度

キャラクタ構成

フロー制御活線着脱コネクタ

終端抵抗

12345678

信号名N.C.N.C.N.C.RS-RS+N.C.N.C.N.C.

機　能未接続未接続未接続

送受信データ（－）送受信データ（＋）

未接続未接続未接続

方向－－－入出力入出力－－－

端子番号

動作通信表示 8 1

LSIは、Ethernetで上位監視制御用パソコンとつながり、クリーンルーム内のFFUコントローラとRS-485で通信し、FFUの速度制御および運転状態の監視を行います。FMR500（FFU監視システム）のG/Wとして必要になります。

ＬCＩ概要車載LANを支えるCAN（Controller Area Network）をEthernetに変換し、制御システム間の迅速な連携が可能となりました。FMR500・FMC500（FFU監視システム）のG/Wとして必要になります。

RS-485は最大2ポート搭載し、1ポートあたり31台のコントローラと接続でき、トータル62台のコントローラと接続可能です。コントローラは4台のFFUをコントロールできるため、最大248台のFFUの監視制御が可能です。

※終端抵抗：LSI側は100Ω内蔵、最終FFUに終端抵抗付コネクタを接続する。

30

171

319

309

45

180

TIA 568A　カテゴリー　5ケーブル（推奨）

Specification of Pin

シールド付

140

36

170

LSI Lan Sereal Interface LCI Lan Can Interface

LSI0～50℃（本体）20～90%RH（結露無きこと）－20～70℃20～90%RH（結露無きこと）AC500V，1分間 : Ethernet部1500V立ち上り1ns，5分間（ノイズシミュレ－タ－）JIS C0040に準拠JIS C0041に準拠腐食性ガスの無きこと自然空冷屋内フラッシュメモリ1 Mbyte システム／アプリケーション用RS-485, Ethernet動作中／エラー表示リンクおよび送信／受信AC100～230V 50～60Hz 180×170×36 [mm]735ｇ

仕様表ケーブル仕様

コネクタ仕様

ケーブル仕様コネクタ仕様

Ethernet

CANRS485

LCI単相 100/200V 50/60Hzmax. 200mA（220V 電源使用時）10BASE-T / 100BASE-TX （Auto Detect）10Mbps / 100Mbps1RJ-45max.254台（監視PC1台に対するLCIの接続台数）max. 100mCAN（ISO 11898） Ver. 2.0B Active125kbps4専用コネクタmax.254台（LCI 1台に対するFFUの接続台数）max. 300m/ポート有り（LED）有り（LED）有り（LED）電源スイッチ（ON/OFF）屋内（直射日光、ラジエータ等の熱源、過大な振動等が無いこと）5 ～ 40°C85%RH 以下（結露無きこと）専用PCを接続して設定する側面金具による本体固定（使用ネジ： M4）319×171×45mm1.6kg

通信規格通信速度ポート数ポート形状接続台数通信ケーブル長さ通信規格通信速度ポート数ポート形状接続台数通信ケーブル長さ電源（通電）LANケーブル接続通信状態表示

使用環境使用温度範囲使用湿度範囲MACアドレス設定固定方法寸法重量

内　　　容項　　目型式定格入力消費電流通信I/F上位側［監視PC］

通信I/F下位側［FFU］

表示

操作環境

その他

S.W.HUB

LSI

1回線

4台運転タイプ合計62のID1台から4台運転タイプ合計254のID

2回線

システム構成

Ethernet

S.W.HUB

LCI

1回線

2回線

3回線

4回線

1回線から4回線までトータル254台のコントローラと接続可能です。

⑧ ： Blown　■　⑦ ： White/Brown　□/■⑥ ： Orange　■⑤ ： White/Blue　□/■④ ： Blue　■　③ ： White/Orange　□/■② ： Green　■　　　　　① ： White/Green　□/■

1st Pair : ④&⑤2nd Pair : ③&⑥3rd Pair : ①&②4th Pair : ⑦&⑧

RJ45（shield）

Specification of Pin⑧ ： Blown　■　⑦ ： White/Brown　□/■⑥ ： Orange　■⑤ ： White/Blue　□/■④ ： Blue　■　③ ： White/Orange　□/■② ： Green　■　　　　　① ： White/Green　□/■

1st Pair : ④&⑤2nd Pair : ③&⑥3rd Pair : ①&②4th Pair : ⑦&⑧

コネクタピン

コネクタレイアウト

＊青：青ベース, 白：白ベース＊青：青ベース, 白：白ベース

5051-045159

5051-035159

5557-04R5556

5559-04P5558

1 2 3 4 1 2 3

3

1

4

2

4

2

3

11

青白 -シールド

2 3 4 1

青白シールド

2 3

＊青：青ベース, 白：白ベース

1


2 3 4

＊青：青ベース, 白：白ベース

1


2 3 4

5051-04 5557-04R

5559-04P5051-03

熱収縮チューブ

熱収縮チューブ

0.3sq 2芯シールド RS485＊1500mm キャブタイヤ（灰色）

0.3sq 2芯シールド RS485＊1500mm キャブタイヤ（灰色）

FMR500 FMC500FMR500

※Molex社製

FFU FFU

FFU FFU

FFU #1

FFU

FFU

FFU #254FFUFFU

FFU FFU

FFU #31FFU #2

FFU #31FFU #2

FFU #1

FFU #1

Field

2

47 48

クリーンルーム資材

Field

3

Field

グリッド天井フレーム照明灯パネル・ブランクパネルバイパスパネル（フィルタ）

建具類（ドア・窓）メンテナンスハッチメンテナンス通路

内装パネル


P.53 P.55P.54

P.51 P.52 P.53

配電機器

P.56 P.56

フリーアクセスフロア

クリーンルームをトータルソリューションする必要な資材をラインアップ。

クリーンルームの機能、メンテナンス効率を高める資材群

C L E A N R O O MC L E A N R O O M



大規模FPD工場などの豊富な施工経験を活かし、アウトガスレス・短工期・安全をキーワードにした各種建材を商品化しました。クリーンルームの設計から施工まで、高機能機器を使ったトータルソリューションでご要望にお応えします。

照明灯パネル・ブランクパネル

配電機器

メンテナンス通路安全性を考慮した、通路専用パネルです。

メンテナンスハッチ気密性を考慮した、天井アクセスパネルドアです。

P.56

P.55

パネルの上を安心して歩行できる、丈夫に設計された風量調整パネルです。

FFU P.11

グリッド寸法や設置スペースなどに合わせ、様々なサイズのＦＦＵを製作可能です。

Field

3

クリーンルーム資材F i e l d 3

P.55

ドア・窓 P.53

フリーアクセスフロア開口率調整、レイアウト自由度が高く、上部に設置した装置とのユーティリティ接続も容易です。

P.56

天井パネルと一体化した、照明です。また、天井内よりメンテナンスも可能です。

P.52

内装パネル

アウトガス汚染に配慮した、ノンシール仕様気密材には低アウトガス材を使用しています。

P.54

ドライコイル

P.51

耐震構造を考慮した、柔軟性と機能性を兼ね備えたフレームです。

P.53バイパスパネル（フィルタ）

グリッド天井フレーム

より充実・セーフティに、クリーンルームを機能させる高機能機器をラインアップ




耐震を考慮した、柔軟性と機能性を兼ね備えたフレームです。

天井面をフラットに施工することができます。蛍光管タイプは天井内から交換可能で、メンテ時のアクセスが容易です。メンテナンス不要で水銀を含まない環境に易しいＬＥＤタイプも用意しています。

用途に応じて、鋼板とアルミ複合板から選べます。

項　目材　質定　尺耐荷重

メインフレームアルミ引き抜き材6000mm90kg/㎡

サブフレームアルミ引き抜き材0～6000mm90kg/㎡

材　質基本サイズ耐荷重施工性

複合パネル750×1500普通良

鋼　板750×1500

良普通

メインフレーム部サブフレーム部

LED照明パネル

アルミ複合板タイプ鋼板折り曲げタイプ

特　長

ジョイント部概略

照明灯パネル

ブランクパネル

特　長

仕様表

仕様表

仕様表

LED

Hf蛍光灯

タイプ

LED ×48

FHF32EX-N-H*2本

光源・ランプAC100～240V50/60Hz

AC100～242V50/60Hz

電　源

4800 lm

7040 lm（9900 lm）

全光束

64W

65W（88W）

消費電力

外形寸法図

吊ボルト

メインフレーム

メインフレーム

メインフレーム面ジョイントジョイントスリーブ

ジョイントスリーブ

端部フレーム

サブフレーム

サブフレーム

ブラケットＭ６ボルト

照明上部、耐荷重性に優れ歩行が可能

※（　）内は高効率型

蛍光管タイプのメンテナンスはベンチ内から可能

灯数[

台]

照度 [lx]

※計算条件W=25m　D=10ｍ　H=5m・反射率　天井50％壁30％床10％・計算高さH=0m

LED灯具詳細

Field

3

◆照度・灯数

メンテナンスも簡単。明るく、広く、快適な空間に耐震強化したフレームでもしもに備える

ガルバリウム鋼板ポリエチレン芯材アルミニウム（表面樹脂コート）

グリッド天井フレーム照明灯パネル・ブランクパネル

100 200 300 400 500 600 700 800

1009080706050403020100

Hf蛍光灯（65W）LED（64W）

システム天井内部

クリーンルーム内部

上部の歩行が可能上部からのメンテナンスが可能（ルーム清浄度を確保）

1798.00±1

14.514.5 65

23

748.00±1

65

2020

30

5020

20100

30

225

27.5

◆点灯時間・照度

照度[

％]

照度[％]

1000 10000 100000

1101051009590858075706560

点灯時間［Hr］

※試験条件/電流：0.7A　周囲温度：85℃　半導体接合温度：125℃



Field

3

クリーンルーム用ドア、片開き、両開き、親子扉、高気密仕様等があります。

材　質ZAM

重　量9kg

サイズ□750

特　長

アウトガス汚染に配慮したノンシール仕様。機密材には低アウトガス材を使用しています。

特　長

外形寸法図圧力損失特性

特　長

表面材仕様表外形寸法図

風量（CMM）

圧力損失（Pa）

レイアウト、用途に合わせ最適なサイズをご用意させて頂きます。

風量は確保し、上部の歩行が可能となります

※サイズ一例

※サイズ一例

※サイズ一例

フィルタを取付けることによって流量の調整が可能ベンチレイアウトの自由度が広がります

標　　準40,509008400

カラー鋼板、溶融亜鉛メッキ鋼板ウレタンフォームアングルはめ合い

普通0.5普通

項　　目断　　熱40,50-

4000-

断熱ウレタン樹脂-高い0.2高い

不　　燃40,50-

4000-

金属ハニカム-普通2.1普通

耐　　火80-

8000-

ロックウール-高い0.5高い

パネル厚さパネル幅壁パネル最大長さ表面材芯材ジョイント方式破壊強度断熱性能（W/m2・K）遮音性能

中自己耐食機能

中中無し普通

項　　目高耐食亜鉛めっき鋼板ガルバリウムカラー鋼板

やや高い無し中高い無し

やや高い

高い高い高い中有り高い

耐食性切断部の耐食性耐薬品性耐指紋性発ガス価格

開口部の風量をコントロール、しかも丈夫でセーフティバイパスパネル（フィルタ）

徹底したアウトガス対策仕様。表面材は、3タイプから選択可能内装パネル

間口サイズや用途に応じて、思いのままにドア・窓を設置建具類（ドア・窓）

20 40 60 80 100 120 1400.0

20181614121086420

750

有効W3,510

有効W810

有効H4,200

750

有効H2,060

上枠（2分割式）アルミ押出形材6063-T5

アルミ押出形材6063-T5


各種

各種

気密パッキンEPDM

TPO

パネル嵌合材

気密目地材パネル枠材


下枠

取外し目地材

表面材

芯材必要な風量をキープしながら、パネルの上を安全に歩行できるように強度も確保。安全対策をローコストで行います。

仕様表

仕様表



Field

3

特　長

特　長

開口率調整、レイアウト自由度が高く上部に設置した装置とのユーティリティー接続も容易です。

特　長

特　長

外形寸法図

外形寸法図

外形寸法図

メンテナンスハッチ

分電盤

分電盤

グリッド寸法に合わせたサイズとすることで、配置計画が容易です。

天井面メンテナンスハッチ側面メンテナンスハッチ

メンテナンス通路

パンチングタイプ SUSタイプスリットタイプ

FFU、照明、冷水コイルの流量調節弁や温調計など、エリアに使われる電源を1ユニットですべて給電できるパッケージング電源ユニットです。

パンチングタイプアルミダイキャスト□500～□600

中悪軽

16～60%Ni-Crメッキエポキシ塗装SUSプレート

耐薬品、ウィスカ対策

項　目ソリッドタイプアルミダイキャスト□500～□600

高良中0%

Ni-Crメッキエポキシ塗装


SUSタイプSUS304

□500～□600高悪重50%

無し

-

スリットタイプアルミダイキャスト□500～□600

低良軽

17～54%

Ni-Crメッキエポキシ塗装


材質サイズ耐荷重加工性重量開口率

表面仕上材

特殊仕様

設計段階から使い勝手を配慮。より容易なメンテナンスを実現メンテナンスハッチ・メンテナンス通路

開口率、レイアウト、耐荷重など目的に応じて選べる4タイプを用意フリーアクセスフロア

エリアで使う全電源を1ユニットでまとめて給電配電機器

1798600

600

1200

600

2890

785 785 785535

3670

1835

1835

動力盤分電盤

FFU

照明

温調計

流量調節弁

コストを掛けて別途メンテナンス通路を設けることなく、設計時に歩行用ブランクパネルを配置することにより安全・容易にメンテナンスを行えます。

748

仕様表

R e p l a c e


リプレース

省エネ対策でお困りではありませんか？

高効率機器へのリプレースで省エネの実現が可能です。

ex.)

※当社試算例

FFU 1,000台の置き換えで、年間に

2,000MWhの省エネ

1,700万円のコスト削減

加圧チャンバー方式システムフロー FFU方式システムフロー

もうひとつのご提案 / リプレースで効果的に省エネ

システム変更＋

機器リプレース OAOA

装置装置

ドライコイルドライコイル

高効率 FFUフィルタ

大型送風機


R e p l a c e

リプレース

リプレース

クリーン機器でのエネルギー削減の

比率が高い

熱負荷も軽減

投資の分割が可能

リプレースが有効な　　　①　省エネ法改正※省エネ法とは・・・工場や建築物、機械・器具についての省エネ化を進め、効率的に使用するための法律。2010年の改正省エネ法施行にともない、事業場全体のエネルギー使用量の把握や効率的な省エネ対策など、管理者はより一層の総合的な施策が求められます。

『事業者全体で年平均１％以上のエネルギー消費原単位の低減』が記載されています。

1　工場・事業場単位から事業者単位（企業単位）のエネルギー管理義務導入2　フランチャイズチェーンについても、チェーン全体を一事業者として捉え規制対象

これまでこれから

規定値以上のエネルギーを使用している工場・事業場のみ管理指定工場として指定

エネルギー使用量が合計1500kL以上でエネルギー管理が義務化

工場1600kL

事業場500kL

営業所200kL

企業単位で特定事業者として

指定

半導体・液晶パネル工場で消費される電力を使用用途別に分類すると、空調設備が約40%を占めており、クリーン機器での省エネが非常に有効であることがわかります。

クリーンルーム方式を見直し、高効率のクリーン機器を使用することにより排熱も少なくすることができ、工場全体の熱負荷も下げられるので、冷凍機の電力も削減することができます。

理由理由

省エネ法には事業者への努力目標として、

改正ポイント

生産設備40％

加圧チャンバー方式

クリーンルーム方式の違いによる送風機発熱除去エネルギー比較

FFU方式

諸配管12％

純水・排水4％

空調設備40％

照明他4％

0

0.02

0.04

0.06

0.08

0.1

0.12

0.089

0.021

［kW/m2］

複数年に分けてFFUの置き換えを実施することで、1年間に必要となる投資予算を抑えることができ、柔軟な省エネ計画策定が可能です。

1

2

3

工場1600kL

事業場500kL

営業所200kL

合計2,300kL

なので

もうひとつのご提案

クリーン機器がエネルギー削減に有効な3つのポイント !

そ

こ

で

リ

プ

レ

ー

ス

!

規定値以上

エネルギー管理指定工場

規定値以下

対象外

規定値以下

対象外


R e p l a c e

リプレース

リプレースが有効な　　　③　補助金の利用

モータ

ファン

コントロール基板

理由

申請に必要な省エネ効果試算、各種書類作成など、すべて富士電機がお手伝いします。

エネルギー使用合理化事業者支援事業

家庭・事業者向けエコリース促進事業

リプレースが有効な　　　②　機器の寿命

クリーン機器の寿命は約10年です。

理由

コントロール基板にはアルミ電解コンデンサが平滑フィルタとして使用されており、通常、コンデンサ寿命が基板寿命を決定します。寿命は周囲温度が高いほど短くなるなど、使用条件によっても変わりますが交換の目安は5年と言われています。※参考　「汎用インバータ定期点検のおすすめ」日本電機工業会

モータ寿命はさまざまな要素によって決まりますが、ほとんどの場合、軸受寿命に左右されます。軸受寿命は機械的寿命とグリス寿命で表せますが、グリス寿命の影響が大きい場合が多いため、グリス寿命でモータ寿命が決まると考えます。一般的にモータメーカの保証寿命は20,000時間となっています。

事業名称補助率

単独事業　　　　　　１／３以内

連携事業　　　　　　1／2以内

EMSによる管理事業　1／2以内

リース料総額の3%

生産性向上設備投資推進税制　質の高い設備投資について即時償却または最大5%の税額控除が適用できる税制措置

電力需給対策高度化事業　中小企業組合や組合員が省エネ設備を導入する際の融資制度

A A

FFUの構成

クリーンルームは年間温度が23℃程度で安定しており、使用環境としては良好で実際の使用可能期間は保証寿命より長い場合がほとんどですが、

電気部品の寿命は概ね2～5年であり、 10年程度で機器の置き換えを行うのが理想的と言えます。

コントロール基板

モータ

クリーン機器のリプレースは補助金の利用が可能です。

その他、自治体による補助金制度もあります。

補助金の一例（2014年現在）

税制優遇などの一例（2014年現在）


R e p l a c e

ファン効率

リプレース

インダクションモータ

多数の回転方向に湾曲した羽根

遠心送風機の中では大きな風量を出せる

製作費が比較的安価

回転方向に対して後方に湾曲した羽根

広い風量範囲で安定運転ができ効率が良い

翼断面を採用することで更なる効率UPを実現

温度・湿度

清浄度

風向・風速

AutoCADの建築図面をベースにしたグラフィカルな監視画面

運転／停止／故障／速度を色で表示

FFUリストから一括運転・停止、回転数制御可能

アラーム音にて警報通知

操作履歴・警報履歴をそれぞれ最大10,000件保存

△ ◎

モータ効率

損失比較

△ ◎

シロッコファン

シロッコファンターボファン

インダクションモータ DCブラシレスモータ（永久磁石使用）

低圧損インレット

流路形状の最適化

DCブラシレスモータ高効率ターボファン

DC-FFU

DC-FFU

環境センサ

フィードバック

DC-FFU

DC-FFU

DC-FFU DC-FFU

DC-FFU

DC-FFU

富士電機ならより効果的でスムーズに省エネを

回転磁界によって誘導電流が回転子に流れるが、その際に回転子で抵抗損が発生する

回転子に永久磁石を使用しているため、回転子誘導電流による銅損が発生しない

さらに当社環境センサと連動させることで、温湿度・清浄度に応じたフィードバック運転ができ、FFUの最適運転による省エネ化が実現できます。

実現 1

総合効率

FFU効率比較クリーンルーム省エネ運用システム

ファン比較

モータ比較

DC-FFUを当社開発のFFU監視システム(F-SITEシリーズ）と併せて使用することで、FFUの運転／停止や回転数、警報履歴などを中央一括管理でき、エネルギーの観点でもクリーンルームの効率的な運用が可能です。

個別風量制御

環境情報

旧タイプFFU

13%最新タイプFFU

52%

FFU監視システム（F-SITEシリーズ）

FFU監視システム（F-SITEシリーズ）


R e p l a c e

リプレース

省エネ効果試算から施工、調整試験まですべて富士電機にお任せください。

システム構成の確認構成機器の確認ユーティリティの確認

s t e p

システム最適化設計機器の選定省エネ効果の試算図面作成

たとえば、お使いのＡＣ-ＦＦＵ 1,000台をＤＣ-ＦＦＵに変更するとこれだけ省エネになります。

概　要省エネ効果を狙い、「ACモータ＋シロッコファン」タイプのFFUを「DCモータ＋ターボファン」タイプへ置き換え交換台数：約5,000台

省エネ効果計画値　　7,100MWh（FFU省エネ量）実績値　　7,150MWh（FFU省エネ量）

補助金利用NEDOのエネルギー使用合理化事業者支援事業に採択され、約15,000万円の補助金を受領

富士電機ならより効果的でスムーズに省エネを実現 2リプレースの流れ省エネ効果例

リプレース実施例

現地調査

1

s t e p

2

s t e p

3

s t e p

4

設　計

機器据付配線工事

動作確認調整試験清浄度試験

現地調整

現地工事

性能・効率を考慮すると、消費電力280WのAC-FFUは消費電力65WのDC-FFUに置き換えが可能です。（※当社算出）

電気料金を9,000円/MWhとすると1,883MWh×9,000円

（280W－65W）×24時間×365日×1,000台

年間　約1,900MWhの省エネ

A社での場合

年間　約1,700万円のランニングコストダウン


R e p l a c e

リプレース

富士電機は40年来、常に最先端クリーンルームシステムのサプライヤーであり続け、技術と安全の革新に挑んでいます。

最新技術のそばには、いつも富士電機のクリーンルーム。

豊富な実績と経験を有する富士電機ならではの充実したエンジニアリングツールを駆使してお客様の課題を解決します。

クリーンルーム実験室評価設備分析・評価技術気流シミュレーション微粒子挙動シミュレーション

富士CR技術キーワード

半導体プロセスルール

液晶マザーガラス世代

富士CR実績

1970年代 1980年代 1990年代 2000年代 2010年代

1500nm 800nm 600nm 350nm 250nm 180nm 130nm 90nm 65nm 45nm 32nm 22nm

システム天井方式CR DCブラスレスFFU

ACタイプFFU

半導体工場CRシステム液晶工場CRシステムケミカル汚染対策CRシステム局所化対応システム

クリーンルーム省エネ化推進磁気ディスク媒体工場CRシステム

PDP工場CRシステム有機EL工場クリーンシステム

気流シミュレーションの活用搬送装置用CRシステム

環境監視システム

複数台運転FFUノンシール方式内装パネル

大風量FFUCR監視システム

クリーンルーム実験室を保有し、開発品の検証・評価、システム設計の検証などを実施しています。

風洞試験機や無響室などの設備を使用して、特性・騒音・振動・放射ノイズなどの様々な測定・評価を実施できます。

お客様のクリーンルームにおけるパーティクル・気流・温湿度・ケミカルガスなどの分析・評価を実施し、改善提案を行います。

コンピュータシミュレーションにより、装置内部やクリーンルームの気流状況、温度分布などを予測します。

動的状態における微粒子挙動シミュレーションを可能にしました。装置稼働時における塵埃の挙動を予測し、装置設計やシステム設計に役立てることができます。

富士電機ならより効果的でスムーズに省エネを実現 3

富士電機のクリーンルーム開発の歩み

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クリーンベンチ

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（03）5435ｰ7111〒141ｰ0032 東京都品川区大崎1ｰ11ｰ2　　　　　　　 (ゲートシティ大崎イーストタワー)

本資料の内容は製品改良などのために変更することがありますのでご了承ください。

安全に関するご注意＊ご使用の前に，「取扱説明書」や「仕様書」などをよくお読みいただくか，当社またはお買上の販売店にご相談のうえ，正しくご使用ください。＊取扱いは当該分野の専門の技術を有する人が行ってください。このカタログは再生紙を使用しています。

［東日本］北海道（011）261ｰ7231道　南（0143）44ｰ6800東　北（022）225ｰ5351岩　手（0198）26ｰ5161北関東（048）834ｰ3121群　馬（027）367ｰ1370東関東（043）266ｰ7622松　本（0263）48ｰ2763北　陸（076）441ｰ1231

新　潟（025）284ｰ5325［中部］中　部（052）746ｰ1000静　岡（054）255ｰ7623三　島（055）976ｰ3331浜　松（053）413ｰ6161三　重（059）353ｰ3471豊　田（0566）83ｰ9915金　沢（076）291ｰ8830

［西日本］関　西（06）7166ｰ7303神　戸（078）371ｰ3288滋　賀（0748）31ｰ1360中　国（082）247ｰ4231山　口（0836）21ｰ3177東中国（086）422ｰ0922四　国（087）851ｰ9101松　山（089）933ｰ9100高　知（088）824ｰ8122

徳　島（088）657ｰ4110九　州（092）262ｰ7800小　倉（093）562ｰ2323大　分（097）532ｰ9161長　崎（095）822ｰ6165熊　本（096）334ｰ7781宮　崎（0985）24ｰ7281鹿児島（099）286ｰ1234沖　縄（098）862ｰ8625

●支社・支店・営業所

理想のクリーンルームへ、トータルサポート...

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