ЭЛЕКТРОННАЯ ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ

1. Чувствительность определяется отношением сигнал/шуми составляет – 10-3, т.е. 0,1%

2. Латеральное разрешение – 30 нм

3. Разрешение по глубине определяется:а) – глубиной выхода оже-электронов

б) – шероховатостью поверхности

ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В ОЖЕ-СПЕКТРАХ

1. Послойный анализ2. Изучение сегрегации, в том числерадиационно-стимулированной

РЕНТГЕНОВСКИЙ МИКРОАНАЛИЗ

PIXE - ?

ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ

ХИМИЧЕСКИЕ СДВИГИ В СПЕКТРАХ ФОТОЭЛЕКТРОНОВ