製造装置オンライン機能要求仕様書分冊...

通信シナリオ参考書 <内部バッファ／バッチ処理装置編>

株式会社半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日

製造装置オンライン機能要求仕様書分冊

通信シナリオ参考書

<内部バッファ／バッチ処理装置編>

第 1.0版

2002年 3月 31日

株式会社半導体先端テクノロジーズ


株式会社半導体先端テクノロジーズ 2002年 3月 31日 i

目次

1. 序論 ........................................................................................................................................ 7 1.1. 適用範囲 ............................................................................................................................. 7 1.2. 制限 .................................................................................................................................... 7 1.3. 文書構成 ............................................................................................................................. 7

1.3.1. 文書体系 ................................................................................................................. 7 1.3.2. 章構成 ..................................................................................................................... 8

1.4. 改版履歴 ............................................................................................................................. 8 1.5. 参考文献 ............................................................................................................................. 9 2. 代表的な通信シナリオ ......................................................................................................... 10 2.1. 通信シナリオ.................................................................................................................... 10

2.1.1. 通信シナリオについて.......................................................................................... 10 2.1.2. 通信シナリオの見方 ............................................................................................. 10 2.1.3. 装置起動時／装置シャットダウン時シナリオ ..................................................... 13

2.1.3.1. 立ち上げシナリオ ......................................................................................... 13 2.1.3.2. 立ち下げシナリオ ......................................................................................... 15

2.1.4. ロット処理シナリオ ............................................................................................. 16 2.1.4.1. ロット処理（１） ......................................................................................... 16 2.1.4.2. ロット処理（２） ......................................................................................... 22 2.1.4.3. QTAT処理（１） ......................................................................................... 28 2.1.4.4. QTAT処理（２） ......................................................................................... 38

2.1.5. エラーリカバリシナリオ ...................................................................................... 49 2.1.5.1. エラー内容一覧 ............................................................................................. 49 2.1.5.2. キャリアハンドオフ (E84) 失敗.................................................................. 50 2.1.5.3. スロットマップ照合失敗............................................................................. 56 2.1.5.4. キャリア ID照合失敗 ................................................................................. 77 2.1.5.5. ジョブ作成失敗 ........................................................................................... 83 2.1.5.6. （アン）クランピング／（アン）ドッキング失敗..................................... 98

2.1.6. NPW運用シナリオ .............................................................................................111 2.1.6.1. NPW運用シナリオ一覧 ..............................................................................111 2.1.6.2. Filler（定常）NPW 運用シナリオ .......................................................... 112 2.1.6.3. Filler（非定常）NPW 運用シナリオ....................................................... 129 2.1.6.4. モニター NPW 運用シナリオ.................................................................. 145

2.2. 通信シナリオで使用されるメッセージフォーマット .................................................... 162


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2.2.1. 立上げ処理.......................................................................................................... 162 2.2.2. ロット処理.......................................................................................................... 170 2.2.3. 立ち下げ処理 ...................................................................................................... 204 2.2.4. QTAT処理（１） ............................................................................................... 206 2.2.5. QTAT処理（２） ............................................................................................... 256 2.2.6. E84 Fail.............................................................................................................. 312 2.2.7. スロットマップ照合エラー ................................................................................ 319 2.2.8. キャリア ID照合失敗 ......................................................................................... 360 2.2.9. ジョブ作成失敗................................................................................................... 365 2.2.10. （アン）クランプ／（アン）ドッキング失敗 ................................................... 388 2.2.11. Filler（定常）NPW シナリオ ......................................................................... 394 2.2.12. Filler（非定常）NPW シナリオ ..................................................................... 447 2.2.13. Monitor NPW シナリオ .................................................................................. 500 2.2.14. 搬入時 E84ハンドシェークシーケンス ............................................................. 562 2.2.15. 搬出時 E84ハンドシェークシーケンス ............................................................. 563 2.2.16. E84タイマー一覧............................................................................................... 564 2.2.17. イベントレポートフォーマット ......................................................................... 565


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表一覧

表 1-1 対象装置 .................................................................................................................. 7 表 1-2 改版履歴 .................................................................................................................. 8 表 2-1 ステータスモデル名略号 ....................................................................................... 12 表 2-2 ステータスモデルの状態名略号 ............................................................................ 12 表 2-3 サブストレートトラッキングロケーション情報................................................... 13


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図一覧

図 1-1 本書の文書体系 ....................................................................................................... 7 図 2-1 キャリア搬入時ハンドオフ失敗 ............................................................................ 51 図 2-2 キャリア搬出時ハンドオフ失敗 ............................................................................ 52 図 2-3 スロットマップ読込み失敗 1/3 ............................................................................ 57 図 2-4 スロットマップ読込み失敗 2/3 ............................................................................ 58 図 2-5 スロットマップ読込み失敗 3/3 ............................................................................ 59 図 2-6 スロットマップホスト照合失敗 1/3 ..................................................................... 60 図 2-7 スロットマップホスト照合失敗 2/3 ..................................................................... 61 図 2-8 スロットマップホスト照合失敗 3/3 ..................................................................... 63 図 2-9 ダブルスロット・クロススロット 1/3................................................................ 64 図 2-10 ダブルスロット・クロススロット 2/3.............................................................. 65 図 2-11 ダブルスロット・クロススロット 3/3.............................................................. 66 図 2-12 キャリアＩＤ読込みエラー ................................................................................. 78 図 2-13 キャリアＩＤの不一致 .......................................................................................... 79 図 2-14 プロセスジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合 .................................... 84 図 2-15 コントロールジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合............................. 85 図 2-16 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 1/3...................... 86 図 2-17 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 2/3...................... 87 図 2-18 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 3/3...................... 88 図 2-19 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 1/3 ................ 89 図 2-20 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 2/3 ................ 90 図 2-21 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 3/3 ................ 91 図 2-22 クランピング失敗.................................................................................................. 99 図 2-23 ドッキング失敗 ................................................................................................... 100 図 2-24 アンドッキング失敗 ............................................................................................ 101 図 2-25 アンクランピング失敗 ........................................................................................ 102 図 2-26 Filler(定常) 運用フロー (1).............................................................................. 113 図 2-27 Filler(定常) 運用フロー (2).............................................................................. 114 図 2-28 Filler(定常) 運用フロー (3).............................................................................. 115 図 2-29 Filler(定常) 運用フロー (4).............................................................................. 116 図 2-30 Filler(定常) 運用フロー (5).............................................................................. 117 図 2-31 Filler(非定常) 運用フロー (1) .......................................................................... 130 図 2-32 Filler(非定常) 運用フロー (2) .......................................................................... 131


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図 2-33 Filler(非定常) 運用フロー (3) .......................................................................... 132 図 2-34 Filler(非定常) 運用フロー (4) .......................................................................... 133 図 2-35 Filler(非定常) 運用フロー (5) .......................................................................... 134 図 2-36 Monitor 運用フロー (1) ................................................................................... 146 図 2-37 Monitor 運用フロー (2) ................................................................................... 147 図 2-38 Monitor 運用フロー (3) ................................................................................... 148 図 2-39 Monitor 運用フロー (4) ................................................................................... 149 図 2-40 Monitor 運用フロー (5) ................................................................................... 150



7

1. 序論

1.1. 適用範囲本書は、次に示すバッファタイプならびに単位サイクルサイズを持つ 300㎜半導体製造装置に適用される。

装置タイプ適用バリエーション固定バッファ

バッファタイプ ! 内部バッファ枚葉（シングルウェーハ）シングルキャリア・マルチウェーハ・バッチ単位サイクル

サイズ ! マルチキャリア・バッチ

表 1-1 対象装置

1.2. 制限

本書に示す通信シナリオは、デバイスメーカの要求に基づいた典型的な運用をベースに作成

したものであり、デバイスメーカ各社における実際の要求仕様を示すものではない。また、

安全ならびに衛生に対しては考慮されていない。

1.3. 文書構成

1.3.1. 文書体系本書は製造装置オンライン要求仕様書の分冊として作成されており、要求仕様の理解を深め

る際の参考書として使用されることを想定している。なお、本書は内部バッファ／バッチ処理装置に対する要求を示す。

図 1-1 本書の文書体系

製造装置製造装置製造装置製造装置

オンラインオンラインオンラインオンライン

機能要求仕様書機能要求仕様書機能要求仕様書機能要求仕様書

要求仕様書分冊要求仕様書分冊要求仕様書分冊要求仕様書分冊

補足

要求仕様書本文要求仕様書本文要求仕様書本文要求仕様書本文

固定バッファ／

枚葉処理装置編

通信シナリオ内部バッファ／

枚葉処理装置編

通信シナリオ



8

1.3.2. 章構成本書は、次に示す章（この章は含まない）から構成される。

・通信シナリオ（第２章第一節）：内部バッファタイプ装置における代表的な通信シナリオ

・メッセージフォーマット（第２章第ニ節）：第一節で記述した通信シナリオで使用する

SECSメッセージフォーマット

1.4. 改版履歴版日付内容

第 1.0版 2002年 3月 31 日初版発行

表 1-2 改版履歴



9

1.5. 参考文献・ 300mm半導体工場のための CIMグローバルジョイントガイダンスリリース 4.1

・ 300mm半導体工場のための CIM/GJG統合解説第 1 巻（第 3版）

・ SEMI E84-1101:エンハンストキャリア移載パラレル I/Oインターフェイスの仕様

・ SEMI E87-1101:キャリア管理スタンダード（CMS）

・ SEMI E87.1-1101:キャリア管理スタンダード（CMS）のための SECS-Ⅱプロトコル

・ SEMI E4-0699:半導体製造装置通信スタンダード１(SECS-I)

・ SEMI E5-1101:半導体製造装置通信スタンダード 2(SECS-Ⅱ)

・ SEMI E30-1000:SEMI 製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデル（GEM）

・ SEMI E37-0298:高速 SECSメッセージサービス（HSMS）汎用サービス

・ SEMI E37.1-96E:高速 SECSメッセージサービスシングルセッションモード(HSMS-SS)

・ SEMI E39-1101:オブジェクトサービススタンダード：コンセプト、挙動、及びサービス

・ SEMI E39.1-1101:オブジェクトサービススタンダード（OSS）のための SECS-Ⅱプロトコル

・ SEMI E40-1101:プロセス管理スタンダード

・ SEMI E40.1-1101:プロセス管理スタンダードの SECS-Ⅱのサポート

・ SEMI E94-1101:コントロールジョブマネジメントスタンダード

・ SEMI E90-1101:サブストレートトラッキングスタンダード

・ SEMI E15.1-0600: Provisional Specification for 300mmToll Load Port ・ SEMI E99-1000: CarrierID Reader/Writer Functional Standard


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2. 代表的な通信シナリオ

2.1. 通信シナリオ

2.1.1. 通信シナリオについて

・この章に記載されている通信シナリオは、一般的な通信シナリオとして挙げたもので、実際の装置におけるイベント発生の順序はこの通りで

はない。・装置は別冊製造装置オンライン機能要求仕様書に記載されている各機能詳細に従った操作／イベント発行を行うことを想定している。

2.1.2. 通信シナリオの見方通信シナリオは前提条件とシナリオ本文で構成され、それぞれ以下の(1)、(2)で示される記述方法で述べる。また、シナリオ中で使用されている略語を(3)に示す。

(1) 前提条件記載された通信シナリオの前提となる条件を示す。前提条件の例）

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数１キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブ Carrier ID／Slot Map ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

(2) シナリオ運用項目、処理内容、処理内容に沿ったストリームファンクション、メッセージ、及び各ステータスモデルの遷移を示す。

STL CS STS # 運用 # 処理 SF 方向メッセージ HSMS LTS LCAS

(#n) CIDS CSMS CAS STT STP CJ PJ コメント

No

State1 搬入移載 1-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked

S6F12 H->E Ack

1-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived

S6F12 H->E Ack

HS

TB

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

2 キャリアID照合 2-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host

S6F12 H->E Ack

2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated

S6F12 H->E Ack

2-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier

S3F18 H<-E Ack

WFH

2-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK

S6F12 H->E Ack

A

IVO

SNR NAC

各ステータスモデルの遷移を表す

キャリア IDステータスが �2-1 キャリア ID読み取り�の開始した時点で

No StateからWaiting for Hostに遷移したことを表す

このように区切りが入っておらず、遷移先の状態が書かれていない間は、

ステータスに変化がないことを表す

通信の方向を表し、H<-Eなら装置からホストへメッセージが送信されていることを表す

ストリームファンクション



(3) 使用している略号の説明通信シナリオ中で使用されている略語とその正式名称等を以下に示す。

略語正式文略語正式文 HSMS 高速 SECS メッセージサービス通信状態 STS サブストレートトラッキング(Substrate Tracking) LTS ロードポート搬送状態(LoadPort Transfer State) STT ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄﾄﾗｯｷﾝｸﾞﾄﾗﾝｽﾎﾟｰﾄ(Substrate Tracking Transport) LCAS ロードポート／キャリア関連状態(LoadPort/Carrier Association State) STP ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄﾄﾗｯｷﾝｸﾞﾌﾟﾛｾｯｼﾝｸﾞ(Substrate Tracking Processing) LPR ロードポート予約状態(Load Port Reservation State) CJ コントロールジョブステータス(Control Job Status) STL ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄﾄﾗｯｷﾝｸﾞﾛｹｰｼｮﾝ(Substrate Tracking Location) PJ プロセスジョブステータス(Process Job Status) CS キャリアステータス(Carrier Status) CIDS キャリア IDステータス(Carrier ID Status) CSMS キャリアスロットマップステータス(Carrier Slotmap Status) CAS キャリアアクセッシングステータス(Carrier Accessing Status)

表 2-1 ステータスモデル名略号

略語正式文略語正式文略語正式文 A Associated IVO ID Verification OK RTL Ready To Load AD At Destination NAB Not Aborting SNR Slot Map Not Read AS At Source NAC Not Accessed SVF Slot Map Verification Fail AW At Work NAS Not Associated SVO Slot Map Verification OK CC Carrier Complete NP Needs Processing TB Transfer Blocked CS Carrier Stopped NR Not Reserved TNC TCP/IP Not Connected HNS HSMS Not Selected NS Not Stopping UOC Unoccupied HS HSMS Selected OC Occupied WFH Waiting for Host INA In Access PC Processing Complete IP In Process R Reserved IVF ID Verification Fail RTU Ready To Unload

表 2-2 ステータスモデルの状態名略号



略語意味 #1 FIMSポート #2 Boat内部

表 2-3 サブストレートトラッキングロケーション情報

2.1.3. 装置起動時／装置シャットダウン時シナリオ

2.1.3.1. 立ち上げシナリオ

前提条件項目条件

コントロールモード起動時オフライン／装置定数オフライン通信有効／無効設定有効アクセスモードオート処理キャリア数－コントロールジョブ数－プロセスジョブ数－ Carrier ID／Slot Map ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

Load Port FIMS

内部バッファ内部バッファ内部バッファ内部バッファモジュールモジュールモジュールモジュール

#1Substrate

Location ID(FIMS Port)

Location ChangeProcessing

#2Substrate

Location ID(Boat)

CS STS コメント

＃運用＃処理 SF 方向メッセージ HSMS LTS LCAS LPR STL(#n) CIDS CSMS CAS STT STP

CJ PJ

0 初期状態 TNC 装置、ホストともに電源ONで、通信準備状態となっている。

H<-E TCP/IP Connect Succeeds

H<-E Select.req

HNS通信確立 1-1 HSMS通信確立

H->E Select.rsp

ホスト：パッシブ、装置：アクディブ状態

通信確立要求 S1F13 H->E Establish Communication Request

1

1-2

通信確立要求応答 S1F14 H<-E Establish Communication Request Acknowledge

オンライン要求 S1F17 H->E Request ON-LINE 2-1

オンライン報告応答 S1F18 H<-E ON-LINE Acknowledge

オンライン報告 S6F11 H<-E Event Report Send

2 オンライン確認

2-2

オンライン報告応答 S6F12 H->E Event Report Acknowledge

日付及び時刻要求 S2F31 H->E Date and Time Set Request 3 日付及び時刻要求 3-1

日付及び時刻データ S2F32 H<-E Date and Time Set Acknowledge

通信確立要求は、ホストから送信、装置から送信のどちらも可能

装置状態問合せ S1F3 H->E Selected Equipment Status Request 装置状態把握

（GEM関連データ確認）

4-1

装置状態問合せ応答 S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data

コントロールステータス、アクセスモード、発生中のアラームID等の情報を取得

コントロールジョブステータス要求 S14F1 H->E GetAttr Request

4

（CJ関係データ確認） 4-2

コントロールジョブステータス応答 S14F2 H<-E GetAttr Data

CJの全てのID及びそのステータスを取得

プロセスジョブステータス要求 S16F19 H->E PRGetAllJobs （PJ関係データ確認） 4-3

プロセスジョブステータス応答 S16F20 H<-E PRGetAllJobs Acknowledge

PJの全てのID及びそのステータスを取得

キャリアステータス要求 S14F1 H->E GetAttr Request

（CMS関係データ確認） 4-4

キャリアステータス応答 S14F2 H<-E GetAttr Data

全てのキャリアのID及びそのステータスを取得

（内部バッファ状態含む）

サブストレートステータス要求 S14F1 H->E GetAttr Request （STS関係データ確認） 4-5

サブストレートステータス応答 S14F2 H<-E GetAttr Data

装置で管理している全てのサブストレートのID及びトランスポートステータス、プロ

セッシングステータスを取得

有効/無効イベントレポート S2F37 H->E Enable/Disable Event Report 5 装置状態設定 5-1

有効/無効イベントレポート確認 S2F38 H<-E Enable/Disable Event Report Acknowledge

アラーム報告有効/無効設定 S5F3 H->E Enable/Disable Alarm Send 5-2

アラーム報告有効/無効確認 S5F4 H<-E Enable/Disable Alarm Acknowledge

6 アクセスモード変更 6-1 ｱｸｾｽﾓｰﾄﾞ設定（ｵｰﾄﾓｰﾄﾞ） S3F23 H->E Change Access

（オートへ） S3F24 H<-E Ack

6-2 アクセスモード変更通知 S6F11 H<-E Auto

S6F12 H->E Ack

アクセスモードを確認し、マニュア

ルの場合のみオートモードへ変

更する

HS

RTL

NA

Not R

ese

rved

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

No S

tate

装置立上げ時は、アクセスモードがマニュアルの為にオートモードへ変更する

2.1.3.2. 立ち下げシナリオ前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数 ─ コントロールジョブ数 ─ プロセスジョブ数 ─ Carrier ID／Slot Map ─ 搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

STL CS STS

＃運用＃処理 SF 方向メッセージ HSMS LTS LCAS LPR(#n) CIDS CSMS CAS STT STP

CJ PJ コメント

0 初期状態 RTL NAS NR

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

No

State

初期条件は、左記の通りとしているが、立ち下げを

おこなう時の装置の状態に依存する

1 アクセスモード

確認

1-1 指定装置状態要求 S1F3 H->E Selected Equipment

Status Request

アクセスモードを取得

指定装置状態データ S1F4 H<-E Selected Equipment

Status Data

2 アクセスモード

変更

2-1 アクセスモード設定

（マニュアルモード）

S3F23 H->E Change Access

（マニュアルへ） S3F24 H<-E Ack

2-2 アクセスモード変更通知 S6F11 H<-E Manual

S6F12 H->E Ack

装置属性を確認し、アクセス

モードがオートだった場合は、

マニュアルへ変更する

3 3-1 オフラインモード要求 S1F15 H->E Request OFF-LINE

オフライン

移行 S1F16 H<-E OFF-LINE Acknowledge

3-2 オフラインモード報告 S6F11 H<-E Equipment Requests

OFF-LINE

装置側は、オフラインに変更されたことを確認する。

S6F12 H->E Equipment Requests

OFF-LINE Acknowledge

HSM

S S

ELEC

TED



2.1.4. ロット処理シナリオ

2.1.4.1. ロット処理（１）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

# 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント

向 (#n) CIDS CSMS CAS STT STP

PJ

0 初期状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No

(#1,#2) State State State State State State State

1 搬入移載 1-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack WFH SNR NA

2 キャリアID 2-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host

照合 S6F12 H->E Ack A

2-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated

S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack IVO

2-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK

S6F12 H->E Ack

3 内部バッファ 3-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange

保管 S6F12 H->E Ack

3-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack NA

3-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated

S6F12 H->E Ack RTL

3-4 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad

S6F12 H->E Ack

1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで1-1～3-4が繰返される

4 レシピの確認 4-1 レシピリスト確認 S7F19 H->E Current EPPD Request

S7F20 H<-E Ack

4-2 LOAD問合せ S7F1 H->E Process Program Load Inquire

（装置にレシピがない場合） S7F2 H<-E Ack

4-3 プロセスプログラム送信 S7F23 H->E Process Program Send

S7F24 H<-E Ack

4-4 レシピ妥当性送信 S7F27 H<-E Process Program Verification Send

S7F28 H->E Ack

PJ

5 PJ作成 5-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace

CJ作成 S16F22 H<-E Ack

CJ、PJ実行 5-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace

S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse

5-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate

S16F16 H<-E PR Job Create Ack

5-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 5-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack 5-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 5-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 5-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack 5-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp S6F12 H->E Ack

6 スロット 6-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged マップ照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack 6-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 6-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 6-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 6-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 6-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 6-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

PJ

7 処理中 7-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

S6F12 H->E Ack

7-2 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC

（ウエハがキャリアから取られた） S6F12 H->E Ack (#1)

7-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Work AW

（キャリアからボートへ） S6F12 H->E Ack

7-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC

（ウエハがボート移動した） S6F12 H->E Ack (#2)

キャリア内のウエハ枚数分5-2～5-4を繰返す

7-5 FOUP Close S6F11 H<-E Carrier Closed

S6F12 H->E Ack


（FIMSポートから内部バッファへ） S6F12 H->E Ack

バッチ数分6-1～7-6を繰返す

7-7 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing

（PJ開始報告） S6F12 H->E PRJob Processing Ack

7-8 ウエハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP

S6F12 H->E Ack

8 処理終了 8-1 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC

S6F12 H->E Ack

8-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete

S6F12 H->E Ack

8-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process

（PJプロセス終了報告） S6F12 H->E Ack Complete

9 内部バッファ 9-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

保管（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

9-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack

9-3 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccuppied UOC

（ウエハがボートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2)

9-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Distination AD

（ボートからキャリアへ） S6F12 H->E Ack

PJ

9-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied OC

（ウエハがキャリアへ移動した） S6F12 H->E Ack (#1)


9-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PRJob

S6F12 H->E Ack Complete

↓

No

State

9-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete

S6F12 H->E Ack

9-8 CJ削除 S14F11 H->E Delete Request

S14F12 H<-E Ack

9-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted No

S6F12 H->E Ack State

9-6～9-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ


S6F12 H->E Ack

9-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC

S6F12 H->E Ack




10 キャリア搬出 10-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut

S3F18 H<-E Ack

10-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

（内部バッファ→ロードポート） S6F12 H->E Ack

10-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A

S6F12 H->E Ack

10-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R

S6F12 H->E Ack

PJ

10-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack

10-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange

S6F12 H->E Ack

10-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU

S6F12 H->E Ack

10-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR

S6F12 H->E Ack

10-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

S6F12 H->E Ack

10-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved

S6F12 H->E Ack

10-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No

S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State

10-12 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No

S6F12 H->E Ack State State

10-13 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA

S6F12 H->E Ack

10-14 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL

S6F12 H->E Ack

1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで10-1～10-14が繰返される

終了状態 RTL NA NR UOC No No No No No No No


ロット処理（オート）



2.1.4.2. ロット処理（２）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードマニュアル処理キャリア数４キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

# 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ


PJ

コメント



1 搬入移載 1-1 マニュアル搬入開始スイッチ押下 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

（ロード開始） S6F12 H->E Ack

1-2 キャリアをロードポートに置く

1-3 マニュアル搬入完了スイッチ押下 S6F11 H<-E MaterialHasArrived

（ロード終了） S6F12 H->E Ack

2 キャリアID 2-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA

照合 S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack

2-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO

S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack


S7F28 H->E Ack

PJ







5-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob

S6F12 H->E Ack Pooled

5-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate

S14F10 H<-E Ack

5-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued

S6F12 H->E Ack

5-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected

S6F12 H->E Ack

5-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing

S6F12 H->E Ack

5-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp

S6F12 H->E Ack

6 スロット 6-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

マップ照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

6-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH

S6F12 H->E Ack

6-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP

S6F12 H->E Ack

6-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC

S6F12 H->E Ack (#1)

6-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier

S3F18 H<-E Ack

6-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO

S6F12 H->E Ack

PJ

7 処理中 7-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

S6F12 H->E Ack









S6F12 H->E Ack







S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



9 内部バッファ 9-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed



S6F12 H->E Ack

PJ







Complete

↓

S6F12 H->E Ack No

State


S6F12 H->E Ack


S14F12 H<-E Ack





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack





S3F18 H<-E Ack




S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

PJ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

10-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU S6F12 H->E Ack 10-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR S6F12 H->E Ack 10-9 マニュアル搬出開始スイッチ押下 S6F11 H<-E TransferBlocked TB （アンロード開始） S6F12 H->E Ack 10-10 キャリアをロードポートから取る 10-11 マニュアル搬出完了スイッチ押下 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved （アンロード終了） S6F12 H->E Ack 10-12 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted UOC No No No S6F12 H->E Ack (#1,#2) State State State 10-13 サブストレートオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No S6F12 H->E Ack State State 10-14 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA S6F12 H->E Ack 10-15 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL S6F12 H->E Ack 1バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで10-1～10-15が繰返される終了状態 RTL NA NR No No No No No No No No No

State State State State State State State State State

ロット処理（マニュアル）



2.1.4.3. QTAT処理（１）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数６プロセス・ジョブ数２（バッチ毎に１プロセスジョブ）コントロール・ジョブ数２（バッチ毎に１コントロールジョブ） Carrier ID HOST照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）スタート・メソッドオートバッチ毎のキャリア数３内部バッファ数６バッチ１（C1～C3） CJ1、PJ1 バッチ２（C4～C6） CJ2、PJ2 バッチ３（C7～C9）(特急キャリア) CJ3、PJ3

STL ＃1 FIMSポート STL ＃2 リソース

処理中 C1～C3の処理終了にて

C1～C3 を搬出し、QTAT対象のC7～C9を搬入する

C1

処理終了

待機中

待機中

次回

次々回

C3

C2C7

C9

C8

C4

C6

C5

C1

QTAT発生

処理中

待機中

次回内部ﾊﾞｯﾌｧ

C2

C3

C4

C5

C6

C7

C8

C9

向（#n） CIDS CSMS CAS STT STP

PJ

初期状態 RTL NA NR OC IVO SNR NA No No Executing SettingUp バッチ１

(P1, (P1, (P1, (#2) (C1 (C1 (C1 State State (CJ1) (PJ1) の処理は

P2) P2) ,P2) ～～～ (C1 (C1 Queued Queued 開始され

C6) C6) C6) ～～ (CJ2) (PJ2) ている

C6) C6)

1 CJのQueued 1-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性設定 S14F3 H->E SetAttr.req

からSelected S14F4 H<-E SetAttr.rsp

への遷移

禁止設定

2 バッチ１キャリア 2-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange

スロットマップ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

照合 2-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack CSMS、

2-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH CAS、

S6F12 H->E Ack （C1） STT、

2-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP STPはC1

S6F12 H->E Ack （C1）（C1）～C3まで

2-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC 順に変わる。

S6F12 H->E Ack （#1）

2-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier

S3F18 H->E Ack

2-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK SVO

S6F12 H->E Ack （C1）

3 バッチ１処理中 3-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Accsess IA


3-2 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC

（ウェハがキャリアから取られた） S6F12 H->E Ack （#1）

3-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT WORK AW

（キャリアからボートへ） S6F12 H->E Ack （C1）

3-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC

（ウェハがボートへ移動した） S6F12 H->E Ack （#2）

PJ

キャリア内のウェハ枚数分3-2～3-4を繰返す


S6F12 H->E Ack

3-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange


バッチ数分2-1から3-6を繰返す


（PJ開始報告） S6F12 H->E PRJob Processing Ack （PJ1）

3-8 ウェハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP CIDS、

S6F12 H->E Ack (C1) CSMS、

4 バッチ１ 4-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC CAS、

処理終了 S6F12 H->E Ack (C1) STT、

4-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approchig Complete STPはC1

（PJプロセス終了報告） S6F12 H->E Ack ～C3まで

4-3 Boat Unload完了 S6F11 H<-E PJ Processing Complete Process 順に変わ

（PJプロセス終了報告） S6F12 H->E Ack Complete る

(PJ1)

5 バッチ１ 5-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change

内部バッファ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

保管 5-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack


（ウェハがポートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2）

5-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD

（ポートからキャリアへ） S6F12 H->E Ack （C1）


（ウェハがキャリアへ移動した） S6F12 H->E Ack （#1）

キャリア内のウェハ枚数分5-3から5-5を繰返す



(PJ1)

PJ


S6F12 H->E Ack (CJ1)

5-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request

S14F12 H->E Ack

5-9 CJ削除報告 S6F11 H<-E Deleted NoState

S6F12 H->E Ack (CJ1)

5-6から5-9は、バッチの最後のキャリアの処理終了時のみ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack （#1）

5-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange


バッチ数分5-1から5-12を繰返す


S3F18 H<-E Ack

6-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB 搬出時の

（内部バッファ→ロードポート） S6F12 H->E Ack （P1）ロードポー

6-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A トは、装置

S6F12 H->E Ack （P1）にまかせ

6-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R て空いて

S6F12 H->E Ack (P1) いるポート

6-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E Carrier LocationChange を使用す

S6F12 H->E Ack る。

6-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange （今回は、

S6F12 H->E Ack 全てポート

6-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU １を使用し

S6F12 H->E Ack （P1）ている）


S6F12 H->E Ack (P1)

PJ


S6F12 H->E Ack （P1）


S6F12 H->E Ack

6-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No

S6F12 H->E Ack State State State

(C1) (C1) (C1)



(C1) (C1)





１バッチのキャリア全てが搬出されるまで6-1から6-14が繰返される

7 特急キャリア 7-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

搬入移動 S6F12 H->E Ack （P2）


S6F12 H->E Ack

8 キャリアID照合 8-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA CIDS、

S6F12 H->E Ack （C7）（C7）（C7） CSMS、

8-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A CAS、

S6F12 H->E Ack （P2） STT、

8-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier STPはC7

S3F18 H<-E Ack ～C9まで

8-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO 順に変わ

S6F12 H->E Ack （C7）る

9 特急キャリア 9-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange （8-1～15- 内部バッファ S6F12 H->E Ack 12 まで

保管 9-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrieLocationChange 除く13-8、

S6F12 H->E Ack 14-1）

PJ





１バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで9-1～9-4が繰返される

10 レシピの確認 10-1 レシピリストの確認 S7F19 H->E Current EPPD Request

S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack

10-4 レシピ妥当性報告 S7F27 H<-E Process Program Verification Send

S7F28 H->E Ack

11 PJ作成 11-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PR Get Space

CJ作成、 S16F22 H<-E Ack

CJ、PJ実行 11-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJ Queue Space

S1F4 H<-E CJ Queue Space Response



11-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled Pooled

S6F12 H->E Ack （PJ3）


S14F10 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack （CJ3）

11-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected


11-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executiong

PJ

12 スロットマップ 12-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier LocationChange

照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

12-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH


12-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP

S6F12 H->E Ack （C7）（C7）


S6F12 H->E Ack （#1）

12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier

S3F18 H->E Ack



13 バッチ１処理中 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E CarrierInAccsess IA










S6F12 H->E Ack

13-6 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change

PJ コメント

13-8 ウェハ実処理開始 S6F11 H<-E Substrate InProcess INP

S6F12 H->E Ack (C7)

14 処理終了 14-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC

S6F12 H->E Ack (C7)

14-2 アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approchig Complete

（PJプロセス終了報告） S6F12 H->E Ack



(PJ3)

15 内部バッファ 15-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change



S6F12 H->E Ack


（ウェハがポートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2）

15-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD





15-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PJ Complete PRJob


(PJ3)

15-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E Complete Complete ↓

S6F12 H->E Ack （CJ3） No

15-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request State

S14F12 H->E Ack (PJ3)

PJ

コメント


S6F12 H->E Ack

15-11 特急キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC





16 CJQueuedから 16-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性解除 S14F3 H->E SetAttr.req

Selectedへの S14F4 H<-E SetAttr..rsp

遷移 16-2 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected


16-3 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executiong




17 バッチ２キャリア 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change


照合 17-17 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack （C4）（C4）


S6F12 H->E Ack （#1）


S3F18 H->E Ack





PJ

以下通常処理と同様な流れとなる。

終了状態 RTL NA NR OC IVO SVO CC AS NP Executing Processing

(P1， (P1，（P1，（#1）（C4 （C4） (C7～（C4）（C4）（CJ2）（PJ2）

P2 P2 P2）～ SNR C9）

C6） C6） NA



2.1.4.4. QTAT処理（２）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数６プロセス・ジョブ数２（バッチ毎に１プロセスジョブ）コントロール・ジョブ数２（バッチ毎に１コントロールジョブ） Carrier ID HOST照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）スタート・メソッドオートバッチ毎のキャリア数３内部バッファ数６バッチ１（C1～C3） CJ1、PJ1 バッチ２（C4～C6） CJ2、PJ2 バッチ３（C7～C9）(特急キャリア) CJ3、PJ3


待機中のC4～C6を搬出し、QTAT対象の C7～C9を搬入する

C4

処理中

待機中

次回

C6

C5C1

C3

C2

C7

C9

C8

入替え

C1

QTAT発生

処理中

待機中

次回内部ﾊﾞｯﾌｧ

C2

C3

C4

C5

C6

C7

C8

C9

PJ

コメント

初期状態 RTL NA NR OC IVO SNR NA No No Executing SettingUp バッチ１の

（P1、（P1、（P1、 (#2) (C1 State State （CJ1）（PJ1）処理は、

P2) P2) P2) ～ (C1～ (C1～ (C1～ (C1～ Queued Queued 開始され C6） C6） C6） C6） C6）（CJ2）（PJ2）ている 1 CJのQueued 1-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性設定 S14F3 H->E SetAttr.req

からSelected S14F4 H<-E SetAttr.rsp

への遷移

禁止設定

2 バッチ２搬出 2-1 CJ2キャンセル S16F27 H->E CJCancel Complete

S16F28 H<-E Ack （CJ2）

2-2 CJ2中止報告 S6F11 H<-E CJ Canceled NoState


2-3 PJ2キャンセル S16F5 H->E PR Job Cancel PRJob

S16F6 H<-E Ack Complete

（PJ2）

2-4 バッチ２キャリアへのアクションの S3F17 H->E Cancel Carrier

キャンセル S3F18 H<-E Ack

2-5 キャリア払出指示 S3F17 H->E Carrier Out

（内部バッファからロードポートへ） S3F18 H<-E Ack

バッチ内のキャリア数分2-4～2-5を繰返す



2-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated NA



S6F12 H->E Ack (P1)

2-9 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E Carrier Location Change

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

PJ

コメント




S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack （P1） CSMS,C

2-14 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved AS,STT, S6F12 H->E Ack STPはC4

2-15 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No ～C7まで

S6F12 H->E Ack State State State 順に変わ

（C4）（C4）（C4）る（2-14～

2-16 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NA 2-15） S6F12 H->E Ack （P1）



バッチ内のキャリア数分2-7～2-17を繰返す

3 バッチ１キャリア 3-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change


照合 3-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack CSMS,C

3-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH AS,STT, S6F12 H->E Ack （C1） STPはC1

3-4 ウェハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP ～C3まで

S6F12 H->E Ack （C1）（C1）順に変わ

3-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC る

S6F12 H->E Ack （#1）（3-1～4- 3-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier 6） S3F18 H->E Ack

3-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK SVO


4 バッチ１処理中 4-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Accsess IA

PJ

コメント









S6F12 H->E Ack







S6F12 H->E Ack (C1～

C3)

5 特急キャリア 5-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

搬入移動 S6F12 H->E Ack （P2）

5-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived CIDS, S6F12 H->E Ack CSMS,

6 キャリアID照合 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA CAS, S6F12 H->E Ack （C7）（C7）（C7）はC7～

6-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A C9まで順

S6F12 H->E Ack （P2）に変わる

6-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier （5-1～7

S3F18 H<-E Ack -4）） 6-4 CarrierID照合完了 S6F11 H<-E ID Verification OK IVO


7 特急キャリア 7-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange

内部バッファ S6F12 H->E Ack

PJ

コメント

保管 7-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrieLocationChange

S6F12 H->E Ack





１バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1～7-4が繰返される

8 レシピの確認 8-1 レシピリストの確認 S7F19 H->E Current EPPD Request

S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack

8-4 レシピ妥当性報告 S7F27 H<-E Process Program Verification Send

S7F28 H->E Ack

9 PJ作成 9-1 PJの空きスペースの確認 S16F21 H->E PR Get Space

CJ作成、 S16F22 H<-E Ack

CJ、PJ実行 9-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJ Queue Space

S1F4 H<-E CJ Queue Space Response



9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled Pooled



S14F10 H<-E Ack



10 バッチ１ 10-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC

処理終了 S6F12 H->E Ack (C1～

C3)

PJ

コメント


S6F12 H->E Ack



（PJ1）

11 バッチ１ 11-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change


保管 11-2 FOUPOpen S6F11 H<-E Carrier Opened STTはC1

S6F12 H->E Ack ～C3まで

11-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC 順に変わ

（ウェハがポートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2）る（11-4） 11-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD







（PJ1）



11-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request

S14F12 H->E Ack





S6F12 H->E Ack

11-11 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC 搬出時の

S6F12 H->E Ack (C1～ロードポー

C3）トは、装置

PJ

コメント

11-12 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change UOC にまかせ

（FIMSポートから内部バッファへ） S6F12 H->E Ack (#1) て空いて

バッチ数分11-1～11-12を繰返すいるポート

12 キャリア搬出 12-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut を使用す

S3F18 H<-E Ack る。

12-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB （今回は、

（内部バッファ→ロードポート） S6F12 H->E Ack (P1) 全てポート

12-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A １を使用し

S6F12 H->E Ack (P1) ている）


S6F12 H->E Ack (P1)

12-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E Carrier Location Change

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack State State State

（C1 （C1 （C1

～～～

C3） C3） C3）

PJ

コメント


S6F12 H->E Ack (P1)


S6F12 H->E Ack (P1)

１バッチ分のキャリア全てが搬出されるまで12-1～12-14が繰返される

13 特急キャリア 13-1 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected

処理 S6F12 H->E Ack （CJ3）



13-3 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp CSMS,C

S6F12 H->E Ack （PJ3） AS,STT, 14 スロットマップ 14-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change STPは、

照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack C7～C9ま

14-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened で順に変

S6F12 H->E Ack わる（14-1

14-3 スロットマップ読み込み完了 S6F11 H<-E Waiting for Host WFH ～15-6） S6F12 H->E Ack (C7)


S6F12 H->E (C7) (C7)


S6F12 H->E Ack （#1）


S3F18 H->E Ack



15 特急キャリア 15-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E CarrierInAccsess IA

処理中 S6F12 H->E Ack （C7）

PJ コメント





S6F12 H->E Ack








C9)

16 処理終了 16-1 ウェハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete PRC


C9)


S6F12 H->E Ack



（PJ3）

17 内部バッファ 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change



S6F12 H->E Ack

17-3 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied UOC GAS,STP

（ウェハがポートから取られた） S6F12 H->E Ack (#2）は、C7～

17-4 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate AT Destination AD C9まで順

（ポートからキャリアへ） S6F12 H->E Ack （C7）に変わる

17-5 ウェハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied OC （17-3～

（ウェハがキャリアへ移動した） S6F12 H->E Ack （#1） 17-11）

PJ

コメント


17-6 PJ完了報告 S6F11 H<-E PJ Complete PRJob


（PJ3）

17-7 CJ完了報告 S6F11 H<-E CJ Complete Complete ↓

S6F12 H->E Ack （CJ3） No

17-8 CJ削除 S14F11 H<-E Delete Request State






S6F12 H->E Ack

17-11 特急キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC





18 CJのQueued 18-1 CJ2オブジェクトの遷移禁止属性解除 S14F3 H->E SetAttr.req

から S14F4 H<-E SetAttr.rsp

Selectedへの 18-2 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected

遷移 S6F12 H->E Ack （CJ2）





19 バッチ２キャリア 19-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change


照合 19-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack





PJ


S6F12 H->E Ack （C4）（C4）


S6F12 H->E Ack （#1）


S3F18 H->E Ack



以下通常処理と同様な流れとなる。

終了状態 RTL NA NR OC IVO SVO CC AS NP Executing SettingUp

（P1，（P1，（P1，（#1）（C4 （C4） (C7～（C4）（C4）（CJ2）（PJ2）

P2） P2） P2）～ SNR C9）

C6） C5、 NA

C6）（C4、

C6）



2.1.5. エラーリカバリシナリオ

2.1.5.1. エラー内容一覧装置で発生するであろう代表的な異常ケースを、以下の表に示す。次のセクションではこれらに

ついての運用フローの詳細とシナリオを示す。

エラー内容詳細条件

キャリア搬入時ハンドオフ失敗キャリアハンドオフ (E84) 失敗

キャリア搬出時ハンドオフ失敗

スロットマップ読み込みエラー

スロットマップ情報不一致

FIMS ポートでのスロットマップ照

合失敗

ダブルスロット、クロススロット

キャリアＩＤ読み込み失敗キャリアＩＤ照合失敗

キャリアＩＤ情報不一致

プロセスジョブ作成エリア不足

コントロールジョブ作成エリア不足

間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成指示

間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成指示ま

ジョブ作成失敗

指示されたコントロールジョブの中に存在しないプロセ

スジョブが含まれていた

デリパリポジションでのクランプ失敗

デリパリポジションでのアンクランプ失敗

ドックドポジションでのドッキング失敗

（アン）クランプ／（アン）ドッキ

ング失敗

ドックドポジションでのアンドッキング失敗



2.1.5.2. キャリアハンドオフ (E84) 失敗キャリアハンドオフにて異常が発生した場合、装置はホストに異常発生を通知し、キャリ

アハンドオフ動作を終了する。（自動搬送機側のタイマーがタイムアウトすることにより、

それ以上キャリアハンドオフの動作が進行しないため、必然的に装置側のタイマーがタイ

ムアウトすることになる。）装置は異常状態が解除された時点で、キャリアハンドオフパラレル I/O インターフェイス信号を初期状態に戻した後、ロードポート上のキャリア有無を調べ、以下に示す処理をお

こなう。ｷｬﾘｱﾊﾝﾄﾞｵﾌの方向

異常解除時ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上の

ｷｬﾘｱ有無

異常解除前のﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄのｽﾃｰﾀｽ

異常解除後の装置動作異常解除後のﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄのｽﾃｰﾀｽ

RTL なにもしない RTL ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｰｽﾒﾝ

ﾄｾﾝｻｰ:OFF TB キャリアハンドオフをなかったことにする。 RTL 搬入

ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｰｽﾒﾝ

ﾄｾﾝｻｰ:ON TB キャリアハンドオフを終わったことにする。

キャリア搬入完了後の処理を継続する。 TB

ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｾﾞﾝｽｾﾝｻｰ:OFF

TB キャリアハンドオフを終わったことにする。キャリア搬出後の後処理をおこなう。

RTL

RTU なにもしない RTU

搬出

ｷｬﾘｱﾌﾟﾚｾﾞﾝｽｾﾝｻｰ:ON TB キャリアハンドオフをなかったことにする。 RTU

エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の２パターンについて示す。 (1) キャリア搬入時キャリアハンドオフ失敗 (2) キャリア搬出時キャリアハンドオフ失敗

なお、E84ハンドシェイク及びタイマー値については、次の章を参照のこと。 5.2.11.、5.2.12 搬入時 E84ハンドシェイク、搬出時 E84ハンドシェイク 5.2.13 E84タイマー一覧

注) RTL:搬入可能状態(ReadyToLoad) TB :ｷｬﾘｱﾊﾝﾄﾞｵﾌ中(TransferBlocked) RTU:搬出可能状態(ReadyToUnload)



51

図 2-1 キャリア搬入時ハンドオフ失敗

コメントオペレータホスト装置AMHS

１ 1) キャリア搬入時　キャリアハンドオフ失敗

キャリア搬入可能を報告する

BEGIN

搬入指示

オペレータ通知

L_REQ：OFF？

搬入指示キャリア搬送

ロードポート到着

TA4 Timer起動

搬入要求

TA4タイムアウト？

アラーム報告

TP3 Timer起動

S6F11：Ready To Load

Yes

No

キャリアセンサー：ON？

TP3タイムアウト？

アラーム報告

No

No

L_REQ：ON

CS_0：ONCS_1：OFFVALID：ON

S5F1：Carrier Hand off Fail


ハンドオフ開始

ハンドオフ中

ハンドオフ許可

TR_REQ：ON

READY：ON

BUSY：ON

S6F11：Transfer Blocked

ｷｬﾘｱを適切な位置にｾｯﾄし、ｱﾗｰﾑをﾘｾｯﾄ

するｱﾗｰﾑ解除報告S5F1：Carrier Handoff Fail Recover

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上にｷｬﾘｱがあるか

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄを搬入可能な状態とする

S6F11: Ready To Load

Yes

ｷｬﾘｱ搬入完了とするS6F11: Material Has Arrived

Yes

この場合は、ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄがT/B状態となっているため、ｱﾗｰﾑﾘｾｯﾄ時にﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上にｷｬﾘｱが存在すれば、搬入完了としている。

END

END



52

図 2-2 キャリア搬出時ハンドオフ失敗


１ 2) キャリア搬出時　キャリアハンドオフ失敗

キャリア搬出可能を報告する

BEGIN

搬出指示


L_REQ：OFF？

搬出指示キャリア搬送

ロードポート到着

TA4 Timer起動

搬出要求

TA4タイムアウト？

アラーム報告

TP3 Timer起動

S6F11：Ready To Unload

Yes

No

キャリアセンサー：OFF？

TP3タイムアウト？

アラーム報告

Yes

No

L_REQ：ON

CS_0：ONCS_1：OFFVALID：ON

S5F1：Carrier Hand off Fail


ハンドオフ開始

ハンドオフ中

ハンドオフ許可

TR_REQ：ON

READY：ON

BUSY：ON


ｷｬﾘｱを適切な位置にｾｯﾄし、ｱﾗｰﾑをﾘｾｯﾄ

するｱﾗｰﾑ解除報告S5F1：Carrier Handoff Fail Recover

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上にｷｬﾘｱがあるか

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄを搬出可能な状態とする

S6F11: Ready To Unload

Yes

ｷｬﾘｱ搬出完了とするS6F11: Material Has Removed

No

この場合は、ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄがT/B状態となっているため、ｱﾗｰﾑﾘｾｯﾄ時にﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ上にｷｬﾘｱが存在しなければ、搬入完了としている。

END

END



53

自動ハンドオフ中 E84失敗

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４コントロールジョブ数１プロセスジョブ数１コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

略語意味 #1 FIMSポート #2 モジュール（ボート）

Load Port FIMS

2'

5 5'

66'

43

12

87

910

0


#1Substrate



#2Substrate

Location ID(Boat)

54

キャリア搬入時キャリアハンドオフ失敗



PJ コメント

1 キャリア搬入 1-1 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Load RTL NAS NR UOC No No No No No No State No State

（キャリア搬入可能報告） S6F12 H->E Acknowladge (#1,#4) State State State State State

1-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB

（Transfer Blocked） S6F12 H->E Acknowladge

キャリア搬入時、AMHSと装置とでPIOエラー発生

1-3 キャリア搬入失敗 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Occurred

S5F2 H->E Acknowladge

２異常状態復帰オペレータがリスタートまたはキャンセルを指示

2-1 キャリアハンドオフ復旧 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recovered


３キャリア異常状態復帰後、ロードポートにキャリアがあれば、搬入完了とみなす

搬入完了 3-1 搬入完了 S6F11 H<-E Material Has Arrived

55

キャリア搬出時キャリアハンドオフ失敗



PJ

1 キャリア搬出 1-1 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Unload RTU NAS NR OC IVO SVO CC AD PC No State No State

（キャリア搬入可能報告） S6F12 H->E Acknowladge (#1)



キャリア搬入時、AMHSと装置とでPIOエラー発生

1-3 キャリア搬出失敗 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Occurred


２異常状態復帰オペレータがリスタートまたはキャンセルを指示

2-1 キャリアハンドオフ復旧 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recovered


３キャリア異常状態復帰後、ロードポートにキャリアがなければ、搬出完了とみなす

搬出完了 3-1 キャリア搬出移載完了 S6F11 H<-E Material hs Removed


3-2 キャリア移動 S6F11 H<-E Substrate Unoccupied UOC

S6F12 H->E Acknowladge (#U1)


S6F12 H->E Acknowladge State State State


S6F12 H->E Acknowladge State State

3-5 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Not Associated NAS

（Not Associated） S6F12 H->E Acknowladge

3-6 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Load RTL

（キャリア搬入可能報告） S6F12 H->E Acknowladge



56

2.1.5.3. スロットマップ照合失敗スロットマップ照合が異常終了したとしても、ホストからウェーハの情報をコンテンツマップと

して装置に与えることによって、処理の継続は可能である。しかし、エラーが発生した場合には、

オペレータがキャリア内のウェーハ状態を確認すべきである。従って、どの場合でもオペレータ

がキャリア内のウェ－ハ状態を確認することとする。スロットマップ照合に失敗したキャリアが再度ロードポートから搬入されれば、コントロールジ

ョブは既に装置内に存在するため、装置は直ちにスロットマップ照合に取りかからなければなら

ない。

また、スロットマップ照合に失敗したキャリア以外を使用する場合は、ジョブのキャンセルが行

われる。装置は、ジョブがキャンセルされることにより、既にボートに投入済みのウェーハを元

のキャリアに回収し、そのキャリアを未使用の状態(Not Accessed)にしなければならない。これにより、キャリアを搬出することなく、再バッチ組が可能となる。エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の３パターンについて示す。

(1) スロットマップ読み込み失敗 (2) スロットマップデータエラー

(3) ダブルスロット、クロススロット



57

図 2-3 スロットマップ読込み失敗 1/3


１ (1) スロットマップ読込み失敗

BEGIN

S6F11：FOUP Opened

S6F11：Carrier Location Change

FOUPドア OPEN

スロットマップ読込みエラー発生

スロットマップ読込み結果を通知する

スロットマップ照合完了を通知する

FOUPドア CLOSE

キャリアの取消を要求する


S6F11：FOUP Closed

キャリアの払出しを要求する

S5F1：SlotMap Read Fail

S6F11：Waiting For Host

S3F17：Cancel Carrier

内部バッファからFIMSポートへキャリア移動

FIMSポートから内部バッファへキャリア移動


ロードポートのアクセスステータスを更新する

ロードポートステータスを更新する

内部バッファからロードポートへキャリア移動

内部バッファのキャパシティ変更を報告

キャリア搬出可能な状態とする

S5F1：SlotMap Verification Failed


S6F11：Associated


S6F11：Buffer Capacity Change


2a

S3F17：Carrier Out

ロードポート予約ステータスを更新する

S6F11： Reserved


S6F11： Not Reserved



58



２

スロットマップリータが正常動作するようメンテナンスしたのちキャリアの再搬入を行う

異常発生したｷｬﾘｱを再投入す

るか？

Yes

END

No

ジョブキャンセルコントロールジョブ停止要求停止要求された

コントロールジョブに関するプロセスジョブの停止を開始する

プロセスジョブが停止したことを報告する


FOUPドア OPEN

ウェハをポートから取り出す

ウェハの移動報告

※１

※２

※３

S6F11：Process Job Stopping

S6F11：Process Job Complete

S6F11：Carrire Location Change

S6F11：FOUP Opend

S6F11：Unoccupied（ボート）

S6F11：Substrate At Distination

3a

S16F27：CJStop

ジョブキャンセル

※１ Active状態にあるプロセスジョブ全てについて伴う

※２ FIMSポート上のキャリアに戻すべきウェハ全てについて行う

※３ボートへウェハ投入しているキャリア全てについて行う

2a

(1) スロットマップ読込み失敗

S6F11：Occupied（FIMS）ウェハをキャリアに戻す



59



３


S6F11：FOUP Closed

S6F11：Carrier Stoppedキャリアの中断を

報告する

FOUPドア CLOSE

FIMSポートから内部

バッファへ

キャリア移動

Activeでなかったプロ

セスジョブをキャンセ

ルする

Queued/Pooled状態

にあるプロセスジョブ

を削除する S6F11：PRJob Deleted

S16F5：PRJob Cancel

※４※４Ｑｕｅｕｅｄ/Ｐｏｏｌｅｄ状態に

あるプロセスジョブ全てに

ついて行う

3a

(1) スロットマップ読込み失敗

コントロールジョブの

削除を要求する

S6F11：CJComplete

S6F11：Deleteｄ

S16F27：CJ Delete

最後の

キャリア？

コントロールジョブの終了を報告する

コントロールジョブを

削除する

Yes

No

END



60

図 2-6 スロットマップホスト照合失敗 1/3


１ (2) スロットマップ　ホスト照合失敗

BEGIN

S6F11：FOUP Opened


FOUPドア OPEN

スロットマップ読込み結果を通知する

スロットマップ照合完了を通知する

FOUPドア CLOSE

キャリアの取消を要求する

S6F11：FOUP Closed

キャリアの払出しを要求する






ロードポートのアクセスステータスを

更新する

ロードポートステータスを更新する





S6F11：Associated



2a

ウェハオブジェクトを生成する

S6F11：Substrate At Source

サブストレート情報を取得する

S6F11：Occupied（FIMS）

S3F17：Carrier Out


S6F11：Reserved

ロードポートを搬出可能な状態とする



S6F11：Not Reserved




61



２



るか？

Yes

END

No





FOUPドア OPEN



※１

※２

※３




S6F11：FOUP Opend



3a

S16F27：CJStop





2a

(2) スロットマップホスト照合失敗




63



３


S6F11：FOUP Closed

S6F11：Carrier Stoppedキャリアの中断を

報告する

FOUPドア CLOSE

FIMSポートから内部

バッファへ

キャリア移動

Activeでなかったプロ

セスジョブをキャンセ

ルする

Queued/Pooled状態

にあるプロセスジョブ



※４※４Ｑｕｅｕｅｄ/Ｐｏｏｌｅｄ状態に

あるプロセスジョブ全てに

ついて行う

3a

(2) スロットマップホスト照合失敗

コントロールジョブの

削除を要求する

S6F11：CJComplete

S6F11：Deleteｄ

S16F27：CJ Delete

最後の

キャリア？


コントロールジョブを

削除する

Yes

No

END



64

図 2-9 ダブルスロット・クロススロット 1/3


１ (3) ダブルスロット／クロススロット

BEGIN

S6F11：FOUP Opened


FOUPドア OPEN

ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ読込み結果を通知する

ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合完了を通知する

FOUPドア CLOSE

ｷｬﾘｱの取消を要求する

S6F11：FOUP Closed

ｷｬﾘｱの払出しを要求する



内部ﾊﾞｯﾌｧからFIMSﾎﾟｰﾄへｷｬﾘｱ移動

FIMSポートから内部ﾊﾞｯﾌｧへｷｬﾘｱ移動


ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄのｱｸｾｽｽﾃｰﾀｽを更新する

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄｽﾃｰﾀｽを更新する

内部ﾊﾞｯﾌｧからﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄトへｷｬﾘｱ移動

内部ﾊﾞｯﾌｧのｷｬﾊﾟｼﾃｨ変更を報告



S6F11：Associated



2a

ｳｪﾊｵﾌﾞｼﾞｪｸﾄを生成する

S6F11：Substrate At Source

ｻﾌﾞｽﾄﾚｰﾄ情報を取得する

S6F11：Occupied（FIMS）

S3F17：Carrier Out

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ予約ｽﾃｰﾀｽを更新する

S6F11：Reserved

ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄを搬出可能な状態とする


ﾛｰﾄﾞﾎﾟｰﾄ予約ｽﾃｰﾀｽを更新する



ﾀﾞﾌﾞﾙ（ｸﾛｽ）ｽﾛｯﾄのｱﾗｰﾑを報告する

S5F1：Improper Wafer Position



65



２



るか？

Yes

END

No





FOUPドア OPEN



※１

※２

※３




S6F11：FOUP Opend



3a

S16F27：CJStop





2a

(3) ダブルスロット／クロススロット




66



３


S6F11：FOUP Closed

S6F11：Carrier Stoppedキャリアの中断を報告する

FOUPドア CLOSE


Activeでなかったプロセスジョブをキャンセ

ルする

Queued/Pooled状態にあるプロセスジョブ



※４※４Ｑｕｅｕｅｄ/Ｐｏｏｌｅｄ状態にあるプロセスジョブ全てについて行う

3a

(3) ダブルスロット／クロススロット

コントロールジョブの削除を要求する

S6F11：CJComplete

S6F11：Deleteｄ

S16F27：CJ Delete

最後のキャリア？


コントロールジョブを削除する

Yes

No

END



67

スロットマップ照合失敗前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４コントロールジョブ数１プロセスジョブ数１コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

略語意味 #1 FIMSポート #2 モジュール（ボート）

Load Port FIMS

2'

5 5'

66'

43

12

87

910

0


#1Substrate



#2Substrate

Location ID(Boat)

68

スロットマップリードエラージョブキャンセル # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント


PJ

1 スロット 1-1 キャリアロケーションチェンジ S6F11 H<-E Carrier Location Changed RTL NAS NR UOC IVO SNR NAC No No Executing SettingUp

マップ照合（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Acknowledge (#1) State State

1-2 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Open

S6F12 H->E Acknowledge

1-3 スロットマップ読込み異常発生 S5F1 H<-E Slot Map read ｆailed Occurred


1-4 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Waiting For Host WFH


1-5 スロットマップ読込みNG S3F17 H->E Cancel Carrier

S3F18 H<-E Acknowledge

1-6 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E Slot Map Verification Failed SVF


1-7 FOUP Close S6F11 H<-E FOUP Closed



（FIMSポートから内部バッファへ） S6F12 H->E Acknowledge

2 異常キャリアの 2-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E Carrrier Out

払出し S3F18 H<-E Acknowladge



2-3 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Associated A

（Associated） S6F12 H->E Acknowladge

2-4 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Reserved R

（Reserved） S6F12 H->E Acknowladge


（内部バッファからロードポートへ） S6F12 H->E Acknowladge

2-6 内部バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E Buffer Capacity Change


2-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Ready To Unload RTU

（キャリア搬出可能報告） S6F12 H->E Acknowladge

2-8 ロードポートステータス変更報告 S6F11 H<-E Not Reserved NR

（Not Reserved） S6F12 H->E Acknowladge

69



PJ

3 ジョブキャンセル 3-1 CJ停止要求 S16F27 H->E CJStop


3-2 PJ状態変更報告 S6F11 H<-E Process Job Ｓｔｏｐｐｉｎｇ Stopping


3-3 PJ完了報告 S6F11 H<-E Process Job Complete PR Job

S6F12 H->E Acknowladge Complete

STOP要求したCJに関するActive状態にある全てのPJがCompleteするまで、3-2～3-3を繰り返す。 ↓

3-4 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change OC IVO SVO INA AW NP No

（内部バッファからＦＩＭＳポートへ） S6F12 H->E Acknowladge (#2) State

3-5 FOUP Open S6F11 H<-E FOUP Opened


3-6 ウェーハ移動 S6F11 H->E Substarate Location Unoccuppied UOC

（ウェーハがボートから取られた） S6F12 H<-E Acknowladge (#2)

3-7 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate At Distination AD

（ウェーハがボートからキャリアへ） S6F12 H->E Acknowladge

3-8 ウェーハ移動 S6F11 H<-E Substarate Location Occuppied OC

（ウェーハがキャリアへ移動した） S6F12 H->E Acknowladge (#1)

1キャリア分のウェーハが全て回収されるまで、3-6～3-8を繰り返す。



3-10 CJ削除要求 S16F27 H->E CJ Delete

S16F28 H<-E Acknowladge

3-11 CJ削除報告 S6F11 H<-E Delete No State


最後のウェーハをキャリアに回収したタイミングで3-9～3-11を行う。



3-13 キャリア処理中断 S6F11 H<-E Carrier Stopped CS


3-14 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Change UOC

(FIMSポートから内部バッファへ) S6F12 H->E Acknowladge (#1)

ボート内のウェーハが全て回収されるまで、3-4～3-14を繰り返す。

70



PJ

3-15 プロセスジョブキャンセル S16F5 H->E PRJob Cancel Queued


3-16 プロセスジョブ完了報告 S6F11 H<-E PRJob Complete No State


Queued/Pooled状態にあるPJについて3-15～3-16を繰り返す。

71

スロットマップホスト照合異常ジョブキャンセル # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント


PJ







1-4 ウェーハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substarate At Source AS NP


1-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substarate Occupied OC

S6F12 H->E Acknowladge (#1)

72



PJ






























3-13 キャリア処理中断 S6F11 H<-E Carrier Stopped CS



73



PJ









74

ダブルスロット／クロススロット後ジョブキャンセル # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント


PJ





1-3 ダブル（クロス）スロット発生 S5F1 H<-E Improper Wafer Position




1-5 ウェーハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substarate At Source AS NP S6F12 H->E Acknowladge

1-6 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substarate Occupied OC

S6F12 H->E Acknowladge (#1)



75



PJ
































76



PJ

3-13 キャリア処理中断 S6F11 H<-E Carrier Not Accessed CS



77

2.1.5.4. キャリア ID照合失敗キャリア ID照合失敗のパターンは、次の２つが考えられる。 (1) キャリア ID読み込み失敗

(2) キャリア IDの不一致どちらの場合とも、エラーが発生しても処理続行をおこなうことは可能だが､オペレータが介入

してキャリアの異常、装置の異常がないかの確認をおこなうことを基本とする。エラー発生時の対応運用フローとシナリオを上記の２パターンについて示す。



78

図 2-12 キャリアＩＤ読込みエラー


１

キャリアアンロードの準備をおこなう

キャリア搬入完了

アラーム通知（CarrierID

Read Failure）

キャリアID読込み

キャリアの処理キャンセルを指示する（CancelCarrierAtPort）

キャリアIDが読込めた？

No

（１）　キャリアID読込みエラー

イベント通知（CarrierID

Read Failure）

キャリア搬出準備完了通知

（ReadyToUnload）

必要に応じてキャリアまたは、装置のメンテナンスをおこなう。

復旧までに時間がかかりそうな場合には、オペレータの判断により、エラーが発生したロードポートをOutofServiceにする。

なお、ロードポートをOutofServiceにする場合は、復旧時には、ロードポートにはキャリアがない状態にて運用する。ここで復旧時にロードポートにキャリアがあった場合の動作は、装置に依存する。

キャリアID照合へ

Yes

S5F1 Alarm Report Send

S6F11 CarrierID Read Failure

S3F17 CancelCarrierAtPort

S6F11 Ready To Unload



79

図 2-13 キャリアＩＤの不一致


１

キャリアID照合失敗通知

（ID VerificationFailed）

キャリア搬入完了

キャリアID読込み通知

（Waiting forHost）

キャリアID読込み

キャリアの処理キャンセルを指示する

（CancelCarrier）

キャリアアンロードの準備をおこなう

キャリアオブジェクト作成

キャリアとロードポートを関連づける(Associated)

（２）　キャリアＩＤの不一致

キャリア搬出準備完了通知（Ready ToUnLoad）

必要に応じてキャリアの確認をおこなう

Yes

キャリアIDが期待していたものと同じか

No

通常処理へ(キャリアのドック）

S6F11 Waiting for Host

S6F11 Ready To Unload

S6F11 ID Verification Failed

S3F17 CancelCarrier

S6F11Associated



80

キャリア ID照合失敗キャリア IDが読み込めない場合と、キャリア IDは読み込めたが、ホスト照合にてエラーとなった場合の２つの場合を示す。

前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数１ Carrier ID HOST照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）

搬入完了したキャ

リアの IDを読み込もうとしたが読み

込時にエラーが発

生した。

C1

搬入完了


リアの IDを読み込めたが、ホスト照合

でエラーが発生し

た。

C1

搬入完了

C1

キャリアＩＤ読み込みエラー発生

C1

キャリアＩＤの不一致発生

81

キャリア ID読み込み失敗（処理続行不可能な場合）



PJ

0 初期状態 TB NAS NR No No No No No No No No

（ロードポート１にキャリアC1 (P1) (P1, (P1, State State State State State State State State

搬入完了状態） RTL P2, P2,

(P2, P3) P3)

P3)

1 キャリアID照合 1-1 CarrierID読取り S5F1 H<-E Alarm Report Send

（読み込み失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

1-2 キャリアID読み取りエラー S6F11 H<-E CarrierID Read Fail

S6F12 H->E Ack

2 処理続行可

能？

2-1 ホストで処理続行するか判断する

3 処理続行不可

能

3-1 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrierAtPort

な場合 S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack (P1)

82

キャリア IDの不一致 # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント


PJ


（ロードポート１にキャリアC1 (P1) (P1, (P1, State State State State State State State State


(P2, P3) P3)

P3)

1 キャリアID照合 1-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NAC

（キャリアIDは、読み込めた） S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack (P1)

1-3 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrier IVF

S3F18 H<-E Ack 必要に

1-4 キャリアID照合失敗 S6F11 H<-E ID Verification Failed 応じて

S6F12 H->E Ack キャリアの

2 キャリア搬出 2-1 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU チェックを

S6F12 H->E Ack (P1) おこなう



83

2.1.5.5. ジョブ作成失敗

エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次の５パターンについて示す。

(1) プロセスジョブ作成用の空きエリアが充分にない場合（フローのみ） (2) コントロールジョブ作成用の空きエリアが充分にない場合（フローのみ） (3) ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合 (4) ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合 (5) ホストからコントロールジョブの中に存在しないプロセスジョブ指示された場合（フロー、シナリオは、（４）、（５）で共通）



84

図 2-14 プロセスジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合


１

PJ作成用の空きエリア確認

作成可能なPJの空きエリアを報告

PJの空きエリアは足りている？

作成済みPJの完了または、キャンセルを待

つ

No

（１）　プロセスジョブ作成用の空きエリアが不足していた場合

S16F21 PRGetSpace

S16F22 PRGetSpace Send

ＰＪ、ＣＪの両方の空きエリアがあることを確認してから、ＰＪ、ＣＪの順序でジョブを

作成する。

通常処理と同様となる

Yes



85

図 2-15 コントロールジョブ作業用の空きエリアが不足していた場合


１

CJ作成用の空きエリア確認

作成可能なCJの空きエリアを報告

CJの空きエリアは足りている？

作成済みCJの削除または、キャンセルを待

つ

No

（２）　コントロールジョブ作成用の空きエリアが不足していた場合

S1F3 CJQueueSpace

S1F4CJQueueSpaceResponse


作成する。


Yes



86

図 2-16 ホストから間違ったプロセスジョブ作業が指示された場合 1/3


（３）　ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合

PJ作成用の空きｴﾘｱ確認

PJ作成(PRJobMultiCreate)

作成可能なPJの空きｴﾘｱを報告

PJ作成失敗

PJの空きｴﾘｱは足りている？

Variableパラメータ内容が正しい

？

Yes

No

S16F21 PRGetSpace


CJ作成用の空きｴﾘｱ確認作成可能なCJの

空きｴﾘｱを報告

S1F3 CJQueueSpace

S1F4 CJQueueSpace Response

S16F15 PRJobMultiCreate

S16F16 PRJobCreate Ack

3a

１

ＰＪを作り直す？

2aNo

CJの空きｴﾘｱは足りている？

Yes


作成する。

Yes

Variableパラメータ以外の内容が正しい？

YesNo

ジョブ作成時のエラーは、エラーコードによりエラー内容の判断ができること


オペレータの判断でＰＪを作り直すかどうかを決める。

PJ作成用の空きｴﾘｱができるのを待つ

No

CJ作成用の空きｴﾘｱができるのを待つ

No


YesS16F16 PRJobCreate Ack



87



（３）　ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合２

間違ったPJの修正をおこなう

PJ作成用の空きｴﾘｱ確認


作成可能なPJの空きｴﾘｱを報告

PJの空きｴﾘｱは足りている？

Yes

S16F21 PRGetSpace


CJ作成用の空きｴﾘｱ確認作成可能なCJの

空きｴﾘｱを報告

S1F3 CJQueueSpace



CJの空きｴﾘｱは足りている？

Yes


作成する。

PJ作成

2a

PJの作成を指示する

以下は、通常処理と同様となる


CJ作成用の空きエリアができるのを待つ

No

PJ作成用の空きエリアができるのを待つ

No



88



（３）　ホストから間違ったプロセスジョブ作成が指示された場合

3a

３

ｷｬﾘｱの処理ｷｬﾝｾﾙを指示する

(CancelCarrier)キャリア払い出し

(Transfer Blocked)

S3F17 CancelCarrier

バッチ内のキャリア数分だけ処理を繰り返す

ロードポートステータスを更新する(Reserved)


S6F11：Associated


キャリア搬出可能

S6F11：Material Has Removed

キャリア搬出指示

キャリア搬出

搬出指示

搬出開始報告

搬出完了報告

搬出開始

搬出完了




キャリアオブジェクトを削除する

ロードポートステータスを変更する

(Not Associated)


S6F11：Deleted

S6F11：Not Associated





S6F11：Reserved

ロードポートステータスを更新する(Associated)

ロードポート予約解除


エラーが発生したバッチのキャリアを全て搬出する



89

図 2-19 ホストから間違ったコントロールジョブ作業が指示された場合 1/3


１（４）　ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合

PJ作成用の空きエリア確認


作成可能なPJの空きエリアを報告

CJ作成(CJCreate)

PJの空きエリアは足りている？

Yes

Yes

Yes

S16F21 PRGetSpace


CJ作成用の空きエリア確認

作成可能なCJの空きエリアを報告

S1F3 CJQueueSpace




CJ作成失敗

メッセージフォーマットが正しい？

No

S14F9 CJCreate

S14F10 CJCreate Ack


Yes

CJで指定しているPJがある？

No

3a

CJを再作成する？

2a

No

YesYes


作成する。

キャリアをそのままの状態にしておきＣＪの再作成をおこなう場合と、作成済みのＰＪをキャンセルして、キャリアを払い出す場合がある。

Variableパラメータ内容が正しい

？

Variableパラメータ以外の内容が正しい？

Yes

ジョブ作成時のエラーは、エラーコードによりエラー内容の判断ができること


No


No


ホストから間違ったﾌﾟﾛｾｽｼﾞｮﾌﾞ作成が指示された場合と同様となる

No



NoS14F10 CJCreate Ack

No



90



２（４）　ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合


S1F3 CJQueueSpace

正しいCJを再作成する

CJを再作成する(CJCreate)


CJを再作成する

S14F9 CJCreate


作成可能なCJの空きリアを報告

CJ作成用の空きエリアの確認

既にＰＪは作成済みだが、ＰＪから再作成するかをオペレータが判断する

CJだけを再作成する

2a

今回作成したＰＪを削除し、ＰＪ、ＣＪともに再作成する

PJから再作成する？

Yes

PJキャンセル報告

S16F5 PRJobCancel

S6F11 PRJob Complete

今回作成したPJをキャンセルする(PRJobCancel)

通常のＰＪ、ＣＪ作成処理と同様となる

CJだけを再作成する

正しいCJを再作成する

ＣＪ作成用の空きエリアができるのを待つYes

No

S14F10 CJCreate Ack

No



91



（４）　ホストから間違ったコントロールジョブ作成が指示された場合

3a

３


(CancelCarrier)キャリア払い出し(Transfer Blocked)

S3F17 CancelCarrier

バッチ内のキャリア数分だけ処理を繰り返す

ロードポートステータスを更新する(Reserved)


S6F11：Associated


キャリア搬出可能

S6F11：Material Has Removed

キャリア搬出指示

キャリア搬出

搬出指示

搬出開始報告

搬出完了報告

搬出開始

搬出完了S6F11：Transfer Blocked



キャリアオブジェクトを削除する

ロードポートステータスを変更する

(Not Associated)


S6F11：Deleted

S6F11：Not Associated





PJキャンセル報告(PRJob Complete)

S16F5 PRJobCancel 今回作成したPJをキャンセルする(PRJobCancel)


S6F11：Reserved

ロードポートステータスを更新する(Associated)

ロードポート予約解除

既に作成済みのＰＪをキャンセルし、バッチ分のキャリアを全て搬出する

作成済みのＰＪをキャンセルし、バッチ分のキャリアを全て搬出

する



92

ジョブ作成失敗シナリオ前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数３プロセス・ジョブ数１コントロール・ジョブ数１ Carrier ID HOST照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）バッチ毎のキャリア数３内部バッファ数６バッチ１（C1～C3） CJ1、PJ1


ジョブ作成でエ

ラーが発生した

ら、内部バッファ

へ搬入済みの C1～C3 キャリアを搬出する。 C1

搬入完了

内部ﾊﾞｯﾌｧ

C2

C3

C1

C3

C2

C1

C3

C2


93

ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合（ＰＪの再作成をおこなう場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント


PJ

0 初期状態 RTL NAS NR No IVO SNR NAC No No No No

（内部バッファ内のキャリアC1～C3 (P1, (P1, (P1, State (C1～ (C1～ (C1～ State Stete State State

キャリアＩＤ照合完了状態） P2, P2, P2, C3) C3) C3)

レシピ妥当性に問題ないことを P3) P3) P3)

確認済み

1 PJ作成 1-1 ＰＪの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace

失敗 S16F22 H<-E PRGetSpace Send

1-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace


1-3 PJ作成失敗 S16F15 H->E PRJobMultiCreate

S16F16 H<-E PRJob Create Ack

2 ＰＪを再作成す

る

2-1 ＰＪの再作成をおこなうか判断する

か判断する

3a ＰＪの再作成を 3a-1 ＰＪの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace オペレータをコールし、ジョブ内容の

おこなう場合 S16F22 H<-E PRGetSpace Send 修正をおこなう

3a-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace


3a-3 PJ作成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate


3a-4 ＰＪ作成完了 S6F11 H<-E PRJob Pooled PRJob

S6F12 H->E Ack Pooled

以下通常処理と同様となる

94

ホストから間違ったフォーマットのプロセスジョブ作成が指示された場合（ＰＪの再作成をおこなわない場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント


PJ

3b ＰＪの再作成を 3b-1 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrier

おこなわない S3F18 H<-E Ack

場合 3b-2 キャリア払出 S6F11 H<-E Transfer Blocked

（内部バッファからロードポート） S6F12 H->E Ack

3b-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A(P1)

S6F12 H->E Ack

3b-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R(P1)

S6F12 H->E Ack

3b-5 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack

3b-6 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange

S6F12 H->E Ack

3b-7 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU

S6F12 H->E Ack (P1)

3b-8 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR

S6F12 H->E Ack (P1)

3b-9 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB

S6F12 H->E Ack (P1)

3b-10 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved

S6F12 H->E Ack

3b-11 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No CIDS,

S6F12 H->E Ack State State State CSMS,

3b-12 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NAS (C1) (C1) (C1) STPは、

S6F12 H->E Ack (P1) C1から

3b-13 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL C3まで

S6F12 H->E Ack (P1) 繰返す

バッチ内のキャリア数分3b-1～3b-13を

繰返す

95

ホストから間違ったフォーマットのコントロールジョブ作成が指示されたまたは、コントロールジョブで指示されたプロセスジョブが存在しない場合

（ＣＪだけの再作成をおこなう場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント


PJ

0 初期状態 RTL NAS NR No IVO SVO NAC No No No No

（内部バッファ内のキャリアC1～C3 (P1, (P1, (P1, State (C1～ (C1～ (C1～ State Stete State State

キャリアＩＤ照合完了状態） P2, P2, P2, C3) C3) C3)

レシピ妥当性に問題ないことを P3) P3) P3)

確認済み

1 PJ作成 1-1 ＰＪの空きスペースの確認 S16F21 H->E PRGetSpace

失敗 S16F22 H<-E PRGetSpace Send

1-2 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace


1-3 PJ作成失敗 S16F15 H->E PRJobMultiCreate


1-4 PJ生成完了 S3F17 H->E PR Job Pooled PRJob

S3F18 H<-E Ack Pooled

1-5 CJ生成失敗 S14F9 H->E CJCreate

S14F10 H<-E Ack

2 ＣＪを再作成 2-1 ＣＪの再作成をおこなうか判断する

するか判断するオペレータをコールし、ジョブ内容の

3a ＣＪの再作成を 3a-1 CJの空きスペースの確認 S1F3 H->E CJQueueSpace 修正をおこなう

おこなう場合 S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse

3a-2 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate

S14F10 H<-E Ack

3a-3 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued

S6F12 H->E Ack

以下通常の処理と同様となる

96


（ＰＪ、ＣＪともに再作成をおこなう場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント


PJ

3b PＪのキャンセル 3b-1 PJキャンセル S16F5 H->E PR Job Cancel

S16F6 H<-E Ack

3b-2 PJキャンセル報告 S6F11 H<-E PR Job Complete PRJob

S6F12 H->E Ack Canceled

4b 通常のＰＪ、ＣＪ以下通常のＰＪ、ＣＪ作成の処理と ↓

作成処理同様となる No State


（ＣＪの再作成をおこなわない場合） # 運用 # 処理 SF 方メッセージ LTS LCAS LPR STL CS STS CJ コメント


PJ

3c ＣＪの再作成を 3c-1 PJキャンセル S16F5 H->E PR Job Cancel

おこなわない S16F6 H<-E Ack

場合 3c-2 PJキャンセル報告 S6F11 H<-E PR Job Complete Process

S6F12 H->E Ack Job

3c-3 キャリアへの処理キャンセル S3F17 H->E CancelCarrier Canceled

S3F18 H<-E Ack ↓

4c キャリア搬出 4c-1 キャリア払出 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB NoState

（内部バッファからロードポート） S6F12 H->E Ack (P1)

4c-2 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A(P1)

S6F12 H->E Ack

4c-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R(P1)

S6F12 H->E Ack

4c-4 キャリアロケーション変更通知 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack

97



PJ

4c-5 キャリアがロードポートに払出される S6F11 H<-E BufferCapacityChange

S6F12 H->E Ack

4c-6 キャリア搬出可能 S6F11 H<-E ReadyToUnload RTU

S6F12 H->E Ack (P1)

4c-7 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Reserved NR

S6F12 H->E Ack (P1)

4c-8 アンロード搬送開始 S6F11 H<-E Transfer Blocked TB

S6F12 H->E Ack (P1)

4c-9 キャリア搬出 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved

S6F12 H->E Ack CIDS,

4c-10 キャリアオブジェクト消滅 S6F11 H<-E Deleted No No No CSMS,

S6F12 H->E Ack State State State CAS、

4c-11 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Not Associated NAS (C1) (C1) (C1) C1から

S6F12 H->E Ack (P1) C3まで

4c-12 ロードポート搬入可能状態 S6F11 H<-E ReadyToLoad RTL 繰返す

S6F12 H->E Ack (P1)

バッチ内のキャリア数分3c-3～4c-12を

繰返す



98

2.1.5.6. （アン）クランピング／（アン）ドッキング失敗（アン）クランプ／（アン）ドッキングは、どの処理とも論理的なものではなく、固定する／開

放するという物理的な動作を伴う。従ってどの場合の失敗でもオペレータが介入し、どのように

対応するかの判断をおこなう。エラー発生時の対応運用フローとシナリオを次のパターンについて示す。

(1) デリバリポジションでクランピングに失敗した場合 (2) ドックドポジションでドッキングに失敗した場合 (3) ドックドポジションでアンドッキングに失敗した場合 (4) デリバリポジションでアンクランピングに失敗した場合



99

図 2-22 クランピング失敗


（１）　クランピング失敗

キャリアを持って来る

アラーム通知（Clamp Failure）

デリバリポジションでキャリアをクランプする

キャリアをクランプできた？

No

キャリア IDの読込みはクランプ完了後におこなう

キャリアハンドオフパラレル I/Oインタフェース正常終了

キャリアを移載完了し移動する

PIO


１

クランプ時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと

オペレータをコールし、チェック及びメンテナンスをおこなう。なお、メンテナンスをおこなう場合には、オペレータが判断し、必要な場合には、ロードポートをOutofServiceにする


キャリアまたは、クランプ機構をメンテナン

スする

キャリア、クランプ機構をチェックする


Yes




100

図 2-23 ドッキング失敗


（２）　ドッキング失敗

アラーム通知（Dock Failure）

アラーム受信

キャリアをドッキングできた？

No

FIMSポートでキャリアをドックする

CJ:ExecutingPJ:Setup状態

キャリアロケーション変更報告

内部バッファからFIMSポートへのキャリア移動

１

S6F11 Carrier Location Change


ドック時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと



CJをStopするCJをStopする

S6F11 Stopped


キャリア、ドック機構をチェックする

キャリアまたは、ドック機構のメンテナンス

をおこなう

エラーが発生したキャリアに対しての

CJ,PJを止める（PJはCJを止めることにより止まる）

S6F11 PRJob Stopping

S16F27 CJStop

PJ終了中報告

PJ終了報告

ＣJ終了報告


Yes




101

図 2-24 アンドッキング失敗


（３）　アンドッキング失敗

アラーム通知（Undock Failure）

キャリアをアンドッキングできた？

No

キャリア内のウェハへの処理が全て終了しFOUPが閉じられている

キャリアをアンドックする

１

アラーム受信


アンドック時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと

オペレータをコールし、チェック及びメンテナンスをおこなう。なお、メンテナンスをおこなう場合には、オペレータが判断し、必要な場合には、ロードポートをOutofServuceにする


CJをStopするCJをStopする

キャリア、アンドック機構をチェックする

キャリアまたは、アンドック機構のメンテナンスをおこなう

エラーが発生したキャリアに対しての

CJ,PJを止める（PJはCJを止めることにより止まる）S16F27 CJStop

S6F11 Stopped


S6F11 PRJob StoppingPJ終了中報告

PJ終了報告

ＣJ終了報告

通常の処理と同様となる

Yes




102

図 2-25 アンクランピング失敗


（４）　アンクランピング失敗１

搬出処理開始

アラーム通知（Unclamp Failure）

AMHSのPIO開始にて

アンクランピングを開始する

アンクランピング成功？

No

PIO



キャリア、アンクランプ機構をチェックする

キャリア、アンクランプ機構のメンテナンスをおこなう

アンクランプ時にエラーが発生した場合には、アラームを上げること。なお、アラームを上げる前に装置側で内部的にリトライ処理をおこなうこと



Yes




103

クランピング失敗

前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数３コントロールジョブ数１プロセスジョブ数１コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送

配送後

Carrier ID／スロットマップ照合 HOST照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT）


リアのクランプ時

にエラーが発生し

た。

C1

搬入完了

C1

クランプ時にエラー発生

104

クランプに失敗した場合



PJ


（ロードポート１のキャリアC1 (P1) (P1, (P1, State State State State State State State State


(P2, P3) P3)

P3)

1 クランプ失敗 1-1 Carrierクランピング失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send

（クランピング失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

2 メンテナンス 2-1 キャリアまたは、クランプ機構の

操作メンテナンスをおこなう

（オペレータが判断し、必要に応じて

ロードポートをOutofServiceにする）



105

ドッキング失敗


コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオートロードポート数２製品処理キャリア数３コントロールジョブ数１プロセスジョブ数１コントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送

配送後


ProcessModule

ドッキング時にエラー発生

106

ドッキングに失敗した場合



PJ

0 初期状態 RTL NAS NR No IVO SNR NAS No No Executing SettingUp

（内部バッファ内のキャリアC1～C3 (P1, (P1, (P1, State (C1～ (C1～ (C1～ State State

キャリアＩＤ照合完了状態） P2, P2, P2, C3) C3) C3) (C1～ (C1～

P3) P3) P3) C3) C3)

1 ドック失敗 1-1 Carrierドック失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send

（ドッキング失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

2 ジョブのストップ 2-1 CJをストップする S16F27 H->E CJStop

S16F28 H<-E Ack

2-2 PJストップ処理中報告 S6F11 H<-E PRJob Stopping

S6F12 H->E Ack

2-3 PJストップ報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PJC

S6F12 H->E Ack ↓

2-4 CJストップ報告 S6F11 H<-E Stopped Completed No


3 メンテナンス 3-1 キャリアまたは、ドッキング機構の



107

アンドッキング失敗



配送後


ProcessModule

アンドッキング時にエラー発生

108

アンドッキングに失敗した時でオペレータが介入し、処理続行可能かを判断する場合



PJ

0 初期状態 RTL NAS NR OC IVO SVO CC AD PC Executing Process

（ボート内のウエハへの処理が全て (P1, (P1, (P1, (#1,#2) (C1, (C1, (C1, (C1, (C1, Complete

終了し、1キャリア目のウエハは、内部 P2, P2, P2, C2, C2 C2) C2) C2,

バッファに戻っている。2キャリア目に P3) P3) P3) C3) C3) INA AW C3)

ウエハが全て戻り、FOUPが閉じられて (C3) (C3)

いる。）

1 アンドック失敗 1-1 Carrierアンドック失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send

（アンドッキング失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

2 ジョブのストップ 2-1 CJをストップする S16F27 H->E CJStop

S16F28 H<-E Ack

2-2 PJストップ処理中報告 S6F11 H<-E PRJob Stopping

S6F12 H->E Ack

2-3 PJストップ報告 S6F11 H<-E PRJob Complete PJC

S6F12 H->E Ack ↓

2-4 CJストップ報告 S6F11 H<-E Stopped Completed No


3 メンテナンス 3-1 キャリアまたは、ドッキング機構の



109

アンクランピング失敗



配送後


デリバリポジショ

ンでのアンクラン

プ時にエラーが発

生した。

C1

デリバリポジションへの完了

C1

アンクランプ時にエラー発生

110

アンクランピングに失敗した時で、オペレータ介入にて処理可能か判断する場合



PJ

0 初期状態 TB A NR No IVO SVO CC AD PC NoState NoState

（ウエハへの処理が全て終了し、 (P1) (P1) (P1, State (C2, (C2, (C2, (C2, (C2,

処理終了したウエハは、内部バッファ内 RTL NAS P2, C3) C3) C3) C3) C3)

のキャリアに戻っている。1キャリア目 P2, (P2, P3)

は、搬出済み。２キャリア目の P3) P3)

アンクランピングでエラー発生）

1 アンクランプ 1-1 Carrierアンクランピング失敗 S5F1 H<-E Alarm Report Send

失敗（アンクランピング失敗アラーム通知） S5F2 H->E Ack

2 メンテナンス 2-1 キャリアまたは、アンクランプ機構の



111

2.1.6. NPW運用シナリオ

代表的な NPW の運用モデルを使用する際に想定されるシナリオを示す。代表的な

NPWの種別については製造装置オンライン要求仕様書 2.2.2.2. 代表的な NPW運用

モデルを参照のこと。

2.1.6.1. NPW 運用シナリオ一覧

NPWを使用した次のケースのシナリオを示す。次のセクションではこれらについての運用フローの詳細とシナリオを示す。

ＮＰＷ使用目的詳細条件

Ｆｉｌｌｅｒ（定常）条件指定を装置定数にておこなう

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）条件指定を装置定数にておこなう

Ｍｏｎｉｔｏｒジョブにて条件指定をおこなう

なお、NPW回収用の空キャリアを製品キャリアとは別に用

意する。



112

2.1.6.2. Filler（定常）NPW 運用シナリオ

内部バッファ装置に用いる Filler（定常）は、プロセス処理室内における製品品質の均一化のために、品質のばらつきが大きくなる可能性のあるプロセス処理室内の上部／下部をうめるた

めに使用される。以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。 1) 累積使用回数をウェーハオブジェクトの属性として用意すること。 2) 装置定数に以下の情報を用意すること。

上（左）側 Filler（定常）ウェーハ使用枚数下（右）側 Filler（定常）ウェーハ使用枚数累積使用回数基準値：NPWの交換を推奨する累積使用回数累積使用回数上限値：NPWの使用限界を示す累積使用回数

3) Filler(定常)用NPWキャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用意すること。



113

図 2-26 Filler(定常) 運用フロー (1)


１

Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）

定常型のＦｉｌｌｅｒを搬入する前に、あらかじめ装置定数にて次の項目を設定する。１．上（左）側使用枚数２．下（右）側使用枚数３．累積使用回数基準値４．累積使用回数上限値

ジョブは、Filler(定常）以外についての処理条件を設定する。

製品キャリアとは別に、キャリアＵｓａｇｅがFiller(定常）のキャリアを前もって搬入し、キャリアID照合、スロットマップ照合をおこなったうえで、内部バッファで保管しておく

2a

装置定数設定

Filler(定常）キャリア搬入処理

Filler（定常）キャリアID照合処理

Filler（定常）キャリア内部バッファ保管処理

製品キャリア搬入処理

製品キャリアID照合処理

製品キャリア内部バッファ保管処理

レシピの確認

ＰＪ作成、ＣＪ作成



114



２


Ｆｉｌｌｅｒ（定常）が必要な枚数だけウェーハを持って来る。１つのキャリアだけでは足りない場合には、処理を複数回繰り返す

Ｆｉｌｌｅｒ（定常）の場所にウェーハが入っている？

No

Yes

2a

ＦＯＵＰを空け、スロットマップ照合をおこなう

3a

ジョブを開始する

Ｆｉｌｌｅｒ（定常）用のキャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

スロットマップ照合ＯＫ

ウェーハを処理位置へ移動する

FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ

移動する



115



３


3a

製品バッチ数のキャリアを全て、処理位置へ移動する。バッチ数分だけ、キャリアの処理を繰り返す。

搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数上限値を超えたか？

Yes

4b

Filler（定常）のウェーハ毎に使用回数履歴を管理すること

Filler（定常）のウェーハは、偏った使用をしないこと。

搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数基準値を超えたか？

Yes

No

4a

Filler（定常）キャリア内の全ウェーハが累積使用回数上限値となった場合には、そのウェーハをキャリアへ払い出すこと。

Filler（定常）キャリア内の全ウェーハが累積使用回数基準値となった場合には、そのキャリアに対するApproachingComplteイベントを上げること。

4d

No

製品用キャリアのスロットマップ照合

処理中

処理完了

Ｆｉｌｌｅｒ（定常）ウェーハ毎の使用回数履歴を更新

する

Filler(定常）用ウェーハをキャリアへ払出す

Filler(定常）用ウェーハを払出す

アプローチングコンプリートイベント通知 Filler(定常）用ウェーハ

を払出すか決める



116



４Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）

4a

Filler(定常）を払出す？

Yes

5b

No

4b4d 払出すFiller(定常）用キャリ

アが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。

Filler(定常）用キャリアが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。

S2F41 CarrierStatusChangeにてそのキャリアへの処理を終了すること。

4c

4d

5a

Filler(定常)キャリアを払出すか判断する時に、ホストは、次回処理でもＦｉｌｌｅｒ(定常）ウェーハが足りるかをこ考慮する。

Filler(定常）用キャリアを払出す

キャリア払出し指示受信

Ｆｉｌｌｅｒ（定常）用のキャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動さ

せる

Filler(定常）用ウェーハを処理位置からFOUPへ移動する

FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ移動する

Filler(定常）用キャリア搬出処理




117



５Ｆｉｌｌｅｒ（定常型）

5a

通常の製品キャリアの搬入と同様となる。

キャリア搬入可能通知

製品キャリアは、バッチ数分だけ搬出する

5b

Filler(定常）キャリア搬出済み？

Yes

次の製品キャリアの搬入可能状態となる。

Filler（定常）キャリア払出通知

製品キャリア搬出処理

Filler(定常）用キャリア搬出処理

Filler(定常）用キャリア搬入処理



119

Filler（定常）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT） Filler（定常）への条件指定装置定数

製品キャリア C1～C4、 Filler（定常）キャリア C5、 Filler（非定常）キャリア C6 がある。

C1

製品キャリアC1～C4

Filler(定常）キャリアC5


C2

C3

C4

C5

C6

Filler(非定常）キャリア

C6

120



PJ



1 装置定数設定 1-1 装置定数設定 S2F15 H->E Equipment Constant Send

S2F16 H->E Ack

2 Filler（定常） 2-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

キャリア搬入 S6F12 H->E Ack

移載 2-2 ロード終了 S6F11 H<-E MaterialHasArrived

S6F12 H->E Ack

3 Filler（定常） 3-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA

キャリアID照合 S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack

4 Filler（定常） 4-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange


保管 4-2 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

5 製品キャリア 5-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

搬入移載 S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

6 製品キャリアID 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host



S6F12 H->E Ack

121



PJ

6-3 CarrierID照合OK S3F17 H->E ProceedWithCarrier WFH SNR NA

S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack


S7F28 H->E Ack







9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack

122



PJ

9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 9-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 9-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp

9-9

S6F12 H->E Ack Filler（定常）用ウェーハが必要か装置が判断する必要な場合は、No.10,11の処理をおこなう。不要な場合は、No.12の処理へ 10 Filler（定常）用キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

ウェーハが必要

10-1

（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

な場合 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened （Filler（定常）の

10-2

S6F12 H->E Ack

スロットマップスロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host 照合）

10-3

S6F12 H->E Ack

10-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 10-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 10-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 10-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

11 Filler（定常） 11-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

キャリア処理中 S6F12 H->E Ack

123



PJ



キャリア内の必要ウエハ枚数分112～11-4を繰返す


S6F12 H->E Ack



12 製品キャリア 12-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged スロットマップ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack 照合 12-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 12-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 12-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

13 製品キャリア 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

処理中 S6F12 H->E Ack









S6F12 H->E Ack

124



PJ







S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



Filler（定常）ウェーハの使用履歴を更新する

15 製品処理終了で No.17の処理へ

Filler（定常）

ウェーハの累積

使用回数上限

値

を超えた場合

（キャリア内の

全ウェーハ)

16 製品処理終了でアプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete

Filler（定常）

16-1

S6F12 H->E Ack

ウェーハの累積新しいFiller（定常）キャリアを使用するか判断する。

使用回数基準

値

新しいFiller（定常）キャリアを使用する場合は、No.17の処理へ

を超えた場合新しいFiller（定常）キャリアを使用しない場合は、Np.18の処理へ

（キャリア内の 16-2 キャリアステータス変更要求 S2F41 H->E CarrierComplete

全ウェーハ） S2F42 H<-E Ack

125



PJ

製品処理終了で No.18の処理へ

Filler（定常）

ウェーハの累積

使用回数基準

値

を超えなかった

場合（キャリア内

の全ウェーハ）

17 Filler（定常） 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

内部バッファ 17-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened










S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



18 製品キャリア 18-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed


保管 18-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack



18-4 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate At Destination AD

126



PJ






↓

No

State


S6F12 H->E Ack


S14F12 H<-E Ack





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




19 Filler（定常） 19-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut

キャリアの搬出 S3F18 H<-E Ack

が必要な場合 19-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB

No.17のFiller(定（内部バッファ→ロードポート） S6F12 H->E Ack

常)キャリアの保 19-3 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Associated A

管処理をおこな S6F12 H->E Ack

った場合 19-4 ロードポートステータス送信 S6F11 H<-E Reserved R

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



127



PJ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

20 製品 20-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



128



PJ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




129

2.1.6.3. Filler（非定常）NPW 運用シナリオ

Filler(非定常)はプロセス処理室内における製品品質の均一化をはかるために、ボート内のウェーハの歯抜けを補うために用いる。なお、Filler（非定常）用の NPWは再利用可能であるものとする。以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。 1) 累積使用回数をウェーハオブジェクトの属性として用意すること。 2) 装置定数に以下の情報を用意すること。累積使用回数基準値：NPWの交換を推奨する累積使用回数累積使用回数上限値：NPWの使用限界を示す累積使用回数

3) Filler(非定常)用NPWキャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用意すること。



130

図 2-31 Filler(非定常) 運用フロー (1)


１

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

非定常型のＦｉｌｌｅｒを搬入する前に、あらかじめ装置定数にて次の項目を設定する。１．累積使用回数基準値２．累積使用回数上限値

ジョブは、製品についての処理条件を設定する。

製品キャリアとは別に、キャリアＵｓａｇｅがFiller(非定常）のキャリアを前もって搬入し、キャリアID照合、スロットマップ照合をおこなったうえで、内部バッファで保管しておく

2a

装置定数設定

Filler(非定常）キャリア搬入処理

Filler（非定常）キャリアID照合処理

Filler（非定常）キャリア内部バッファ保

管処理




レシピの確認


ジョブ開始

製品キャリアスロットマップ照合



131



２Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

2a

Filler（非定常）のウェーハが必要かどうかは、装置が判断すること。

3a

製品、Ｆｉｌｌｅｒ（定常）等必要なウェーハを処理

室へ入れる

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）用のキャリアを内部バッファからＦ

ＩＭＳポートへ移動させる

ＦＯＵＰを空け、スロットマップ照合をおこなう


ウェーハを処理位置へ移動する

FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ移動

する



132



３Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

3a

搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数基準値を超えたか？

搬入元が同じキャリアの各ウェーハが累積使用回数上限値を超えたか？

Filler(非定常）を搬出する？

Yes

No

4a

Yes

No

4c

No

Yes

4b

Filler（非定常）キャリア内の全ウェーハが累積使用回数上限値となった場合には、ウェーハをキャリアに払い出すこと。

Filler（非定常）キャリア内の全ウェーハが累積使用回数基準値となった場合には、そのキャリアに対するApproachingComplteイベントを上げること。

処理中

処理完了

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）ウェーハ毎の使用回数履歴

を更新する

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）キャリア搬出処理

アプローチングコンプリートイベント通知



133



４Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

払出すFiller(非定常）用キャリアが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。

4a

S2F41 CarrierCompleteにてそのキャリアへの処理を終了すること。

Filler(非定常）用キャリアが複数ある場合は、払出すキャリア数分だけ、処理を繰り返す。

5b

4b

4c

5a

Filler(非定常）用キャリアを払出す

キャリア払出し指示受信

Ｆｉｌｌｅｒ（非定常）用のキャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

Filler(非定常）用ウェーハを処理位置からFOUPへ移動する

FOUPを閉じ、キャリアを内部バッファへ移動する

Filler(非定常）用キャリアのロードポートへの払出を指示する




134



５Ｆｉｌｌｅｒ（非定常型）

5a

通常の製品キャリアの搬入と同様となる。

キャリア搬入可能通知

製品キャリアは、バッチ数分だけ搬出する

5b

Filler(非定常）キャリア搬出済み？

Yes

Filler(非定常）用キャリアのロードポートへの払出を指示する

Filler(非定常）用キャリア搬出処理


Filler（非定常）キャリア搬入処理



135

Filler（非定常）前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT） Filler（定常）への条件指定ジョブ

製品キャリア C1～C4、 Filler（定常）キャリア C5、 Filler（非定常）キャリア C6 がある。

C1




C2

C3

C4

C5

C6

Filler(非定常）キャリア

C6

136



PJ




S2F16 H->E Ack

2 Filler（非定常） 2-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB



S6F12 H->E Ack

3 Filler（非定常） 3-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA



S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack

4 Filler（非定常） 4-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange



S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

137



PJ




S6F12 H->E Ack

6 製品キャリアID 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA



S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack

7 製品キャリア 7-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange



S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack


S7F28 H->E Ack

138



PJ







9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack 9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 9-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 9-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp

9-9

S6F12 H->E Ack 10 製品キャリア 10-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

スロットマップ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack 照合 10-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 10-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 10-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 10-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 10-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 10-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

139



PJ

11 製品キャリア 11-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

処理中 S6F12 H->E Ack









S6F12 H->E Ack




Filler(非定常)ウェーハが必要かを装置が判断する。

Filler（非定常）ウェーハが必要な場合は、No.12以降の処理をおこなう。

Filler(非定常)ウェーハが不要な場合は、No.14以降の処理をおこなう。

12 Filler（非定常）キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged 用ウェーハが

12-1

（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

必要 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened （Filler（非定常）

12-2

S6F12 H->E Ack

のスロットマップスロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host 照合）

12-3

S6F12 H->E Ack

12-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

140



PJ

13 Filler（非定常） 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

キャリア処理中 S6F12 H->E Ack

ウェーハ1枚目の処理開始時のみ







キャリア内の必要ウエハ枚数分13-2～13-4を繰返す


S6F12 H->E Ack



14 実処理 14-1 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing

処理終了（PJ開始報告） S6F12 H->E PRJob Processing Ack


S6F12 H->E Ack

14-3 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



Filler（非定常）ウェーハの使用履歴を更新する

15 Filler（非定常） 15-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

内部バッファ 15-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

141



PJ







S6F12 H->E Ack



アプローチングイベント報告 S6F11 H<-E Approching Complete

15-8

S6F12 H->E Ack

処理終了でFiller(非定常)キャリア内の全ウェーハの類積使用回数が基準値を越えた場合、1回のみ送信

15-9 キャリアステータス変更要求 S2F41 H->E CarrierComplete CC

S2F42 H<-E Ack

ホストが新しいFiller(非定常)キャリアを使用することを決定した場合、上記コマンドを送信

15-10 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete

S6F12 H->E Ack

ホストからキャリアステータス変更要求を受信するか、もしくは、処理終了でFiller(非定常)キャリア内の全ウェ

ーハの累積使用回数が上限値を越えた場合に送信

16 製品キャリア 16-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed


保管 16-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack





16-5 ウエハ移動 S6F11 H<-E Substrate Location Occuppied

OC

142



PJ



↓

No

State


S6F12 H->E Ack


S14F12 H<-E Ack





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




17 Filler（非定常） 17-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut


が必要な場合 17-2 キャリア払出 S6F11 H<-E TransferBlocked TB



S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



143



PJ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



144



PJ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




145

2.1.6.4. モニター NPW 運用シナリオ

内部バッファ装置に用いるモニターは、ボート内での処理品質のばらつきを確かめるため、ボ

ート内を均等に分けるように用いられる。なお、モニター用の NPWは再利用不可であるものとする。以下のシナリオを実現するため、装置は下記要求機能を満足しなければならない。 1) モニター用 NPW 保管キャリアのアクセスステータスを変更可能なリモートコマンドを用

意すること。



146

図 2-36 Monitor 運用フロー (1)

コメントオペレータホスト装置

１

モニター

AMHS

製品キャリアとは別に、キャリアＵｓａｇｅがMonitorのキャリアを前もって搬入し、キャリアID照合をおこなったうえで、内部バッファで保管しておく

製品キャリアを搬入し、キャリアID照合をおこなったうえで、内部バッファに保管する。

続けて、Monitor用NPWを回収するための空キャリアを搬入し、キャリアID照合をおこなったうえで、内部バッファに保管する。

ジョブで、どのMonitor用NPWを使用するかを指定する。

2a

Monitorキャリア搬入処理

MonitorキャリアID照合処理

Monitorキャリア内部バッファ保管処理




モニター回収用キャリア搬入処理

モニター回収用キャリアID照合処理

モニター回収用キャリア内部バッファ保管処理

レシピの確認




147



２

モニター

AMHS

2a

ここでは、ジョブ開始後にジョブで指定されているMonitor用NPWの処理について示している。

ここでは、製品ウェーハの移動より先にMonitor用NPWの移動をおこなっているが、製品ウェーハの移動をが先になっても問題はない。

3a

一度スロットマップ照合を完了しているNPWキャリアであれば、再びスロットマップ照合をおこなう必要はない。

ジョブを開始する

Monitor用のキャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

FOUPを開け、スロットマップを読み込む


Monitor用NPWをジョブで指定された位置へ移動する


移動する



148



３

モニター

AMHS

3a

4a

回収用空キャリアについてもスロットマップ照合をおこなう必要がある。なお、空キャリアにはウェーハがないはずなので、CarrierInAccess状態になるタイミングは、スロットマップ照合完了時とする。

CarrierInAccessにならなければ、ジョブ開始後に、誤って空キャリアを払出される恐れがある。

製品キャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

FOUPを開け、スロットマップを読み込む

ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合OK

製品ウェーハをジョブで指定された位置へ移動する


移動する

Monitor回収用キャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

FOUPを開け、スロットマップ読込みをお

こなう

ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合OK


移動する



149



４

モニター

AMHS

4a

製品キャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

ＦＯＵＰを開け、製品ウェーハを回

収する


移動する

空キャリアを内部バッファからＦＩＭＳポートへ移動させる

FOUPを開け、Montior用NPWを回

収する


移動する

5a

ウェーハ処理開始

ウェーハ処理中

ウェーハ処理終了



150



５

モニター

AMHS

5a

Ｍｏｎｉｔｏｒ用ＮＰＷキャリアを払出す？

Yes

Monitor用キャリア終了処理


Monitor回収lキャリア搬出処理

Monitor用キャリア搬出処理



151

Monitor 前提条件

項目条件コントロールモードオンラインリモートアクセスモードオート処理キャリア数４キャリア＋Ｍｏｎｉｔｏｒ回収用１キャリアコントロールジョブ数１コントロールジョブプロセスジョブ数１プロセスジョブコントロールジョブ、プロセスジョブの作成とキャリア配送配送後 Carrier ID／Slot Map照合ホスト照合搬送機器 AMHS（AGV／RGV／OHT） Filler（定常）への条件指定装置定数

製品キャリア C1～C2、 Monitor回収用キャリア C3、Filler（定常）キャリア C4、 Filler（非定常）キャリア C5 Monitorキャリア C6 がある。

C1




C2

C3

C4

C5

C6Filler(非定常）キャリアC7

C7

C8

MonitorキャリアC8

Monitor回収キャリア

C5

152



PJ




S2F16 H->E Ack

2 Ｍｏｎｉｔｏｒ 2-1 ロード開始 S6F11 H<-E TransferBlocked TB



S6F12 H->E Ack

3 Ｍｏｎｉｔｏｒ 3-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA



S6F12 H->E Ack


S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack

4 Ｍｏｎｉｔｏｒｷｬﾘｱ 4-1 バッファキャパシティ変更報告 S6F11 H<-E BufferCapacityChange



S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack

6 製品キャリアID 6-1 CarrierID読取り S6F11 H<-E Waiting for Host WFH SNR NA



S6F12 H->E Ack

153



PJ


S3F18 H<-E Ack


S6F12 H->E Ack




S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

1バッチ分のキャリア全てが搬入されるまで5-1～7-4が繰返されるこの中には回収用ｷｬﾘｱも含める


S7F20 H<-E Ack




S7F24 H<-E Ack


S7F28 H->E Ack




Ｍｏｎｉｔｏｒについ S1F4 H<-E CJQueueSpaceResponse

ての処理条件も 9-3 PJ生成 S16F15 H->E PRJobMultiCreate

ジョブの中に含 S16F16 H<-E PR Job Create Ack

める。 9-4 PJ生成完了 S6F11 H<-E PR Job Pooled PRJob S6F12 H->E Ack Pooled 9-5 CJ生成 S14F9 H->E CJCreate S14F10 H<-E Ack

154



PJ

9-6 CJ生成完了 S6F11 H<-E Queued Queued S6F12 H->E Ack 9-7 CJ選択報告 S6F11 H<-E Selected Selected S6F12 H->E Ack 9-8 CJ実行報告 S6F11 H<-E Execution began Executing S6F12 H->E Ack 9-9 PJ開始準備 S6F11 H<-E PRJob Setup SettingUp S6F12 H->E Ack 10 Ｍｏｎｉｔｏｒ用 10-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged

キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack ｽﾛｯﾄﾏｯﾌﾟ照合 10-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 10-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host S6F12 H->E Ack 10-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 10-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 10-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 10-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

11 Ｍｏｎｉｔｏｒ用 11-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

ウェーハ投入 S6F12 H->E Ack







Monitor用ウェーハとして必要枚数分11-2～11-4を繰返す

155



PJ


S6F12 H->E Ack



12 製品キャリア 12-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged スロットマップ（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack 照合 12-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened S6F12 H->E Ack 12-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 12-4 ウエハオブジェクト作成 S6F11 H<-E Substrate At Source AS NP S6F12 H->E Ack 12-5 サブストレート取得 S6F11 H<-E Substrate Occupied OC S6F12 H->E Ack (#1) 12-6 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 12-7 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack

13 製品ウェーハ 13-1 キャリア処理中 S6F11 H<-E Carrier In Access IA

投入 S6F12 H->E Ack









S6F12 H->E Ack

156



PJ

14 Monitor回収用 14-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E CarrierLocationChanged キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack スロットマップ 14-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened 照合 S6F12 H->E Ack 14-3 スロットマップ読込み完了 S6F11 H<-E Wairing for Host WFH S6F12 H->E Ack 14-4 スロットマップ照合OK S3F17 H->E Proceed With Carrier S3F18 H<-E Ack 14-5 スロットマップ照合完了 S6F11 H<-E SlotMap Verification OK SVO S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



15 実処理 15-1 Boat Load開始 S6F11 H<-E PRJob Processing Processing

処理終了（PJ開始報告） S6F12 H->E PRJob Processing Ack


S6F12 H->E Ack

15-3 ウエハ実処理完了 S6F11 H<-E Substrate Processing Complete PRC

S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



16 Monitorウェーハ 16-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

回収用キャリア（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack

に回収 16-2 FOUP Open S6F11 H<-E Carrier Opened

S6F12 H->E Ack

157



PJ



ﾎﾞｰﾄ内のMonitorウェーハ枚数分15-3～15-5を繰返す


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



17 製品ウェーハ 17-1 キャリアロケーション変更報告 S6F11 H<-E Carrier Location Changed

キャリアに回収（内部バッファからFIMSポートへ） S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack







キャリア内のMonitorウエハ枚数分16-3～16-5を繰返す



↓

No

State


S6F12 H->E Ack


S14F12 H<-E Ack



158



PJ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack




18 Monitor回収用 18-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack







159



PJ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack






S6F12 H->E Ack

160



PJ


S6F12 H->E Ack


Monitor保管用キャリアをキャリアを搬出するかをホストが判断する。

20 Monitor保管用 20-1 キャリアステータス変更要求 S2F41 H->E CarrierComplete

キャリア終了 S2F42 H<-E Ack

要求 20-2 キャリア処理完了 S6F11 H<-E Carrier Complete CC

S6F12 H->E Ack

21 Monitor保管用 21-1 キャリア払出指示 S3F17 H->E CarrierOut





S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack



161



PJ


S6F12 H->E Ack


S6F12 H->E Ack

162

2.2. 通信シナリオで使用されるメッセージフォーマット

通信シナリオで使用した SECS-Ⅱメッセージ及び E87ハンドシェークシーケンスを例として、立上げ処理、ロット処理、立ち下げ処理の 3つに分けて示す。なお、で囲んだ番号とシナリオの処理番号は一致している。

2.2.1. 立上げ処理

1-2

S1F13 H->E Establish Communication Request < S1F13 W < L > > S1F14 H<-E Establish Communication Request Acknowledge < S1F14 < L 2 < B[1] 0 > < L 2 < A[n] > // MDLN < A[n]> // SOFTREV > > >

2-1 S1F17 H->E Request ON-LINE <SIF17> S1F18 H<-E ON-LINE Acknowledge <S1F18 <B[1] 0> //ONLACK >

2-2

S6F11 H<-E Event Report Send < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 100 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 100 > < L 2 <A[16] > // GEM timestamp <U1[1] 2 > // Control Mode 0=Offline, 1=Local, 2=Remote > > > > > S6F12 H->E Event Report Acknowledge < S6F12 < B[1] 0 > >

163

3-1

S2F31 H->E Date and Time Set Request < S2F31 W < A[16] > // YYYYMMDDhhmmsscc > S2F32 H<-E Date and Time Set Request Ack < S2F32 < B[1] 0 > // TIACK >

4-1

S1F3 H->E Selected Equipment Status Request < S1F3 W < L n < U2[1] > // SVID : : < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < L n < ? > // SV : : < ? > // SV > >

164

4-2

S14F1 H->E GetAttr Request < S14F1 W

< L 5 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 0 > < L 0 > < L 1

< A "State" > >

> > S14F2 H<-E GetAttr Data < S14F2

< L 2 < L # // # = number of Objects

< L 2 < A[n] > // ObjID < L 1

< L 2 < A "State" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> : :

< L 2 < A[n] > // ObjID < L 1

< L 2 < A "State" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> > < L 2

< B[1] > // OBJACK < L 0 >

> >

>

165

4-3

S16F19 H->E PR Get All Jobs < S16F19 > S16F20 H->E PR Get All Jobs Acknowledge < S16F20 < L n < L 2 <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model > < L 2 <A[n] "PRJob002" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model > : : < L 2 <A[n] "PRJob005" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model > > >

4-4


< L 5 < A[0] > // OBJSPEC < A "Carrier" > // OBJTYPE < L 0 > < L 0 > < L 4

< A "CarrierIDStatus" > < A "CarrierAccessingStatus" > < A "SlotMapStatus" > < A "LocationID" >

> >

>

166

S14F2 H<-E GetAttr Data < S14F2


< L 2 < A[n] > // ObjID < L 4

< L 2 < A "CarrierIDStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "CarrierAccessingStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "SlotMapStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "LocationID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> : :

< L 2 < A[n] > // ObjID < L 4

< L 2 < A "CarrierIDStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "CarrierAccessingStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "SlotMapStatus" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "LocationID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> > < L 2

< B[1] > // OBJACK < L 0 >

> >

>

167

4-5


< L 5 < A[0] > // OBJSPEC < A "Substrate" > // OBJTYPE < L 0 > < L 0 > < L 2

< A "SubstrateProcState" > < A "SubstrateLocID" >

> >

> S14F2 H<-E GetAttr Data < S14F2


< L 2 < A[n] > // ObjID < L 2

< L 2 < A "SubstrateProcState" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "SubstrateLocID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> : :

< L 2 < A[n] > // ObjID < L 2

< L 2 < A "SubstrateProcState" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> < L 2

< A "SubstrateLocID" > // ATTRID < A[n] > // ATTRDATA

> >

> > < L 2

< B[1] > // OBJACK < L 0 >

> >

>

168

5-1

S2F37 H->E Enable/Disable Event Report < S2F37 W < L 2 < Bool TRUE > < L 0 > // All Event Enable > > S2F38 H<-E Enable/Disable Event Report Acknowledge < S2F38 < B[1] 0 > >

5-2

S5F3 H->E Enable/Disable Alarm Send < S5F3 W < Bool TRUE > // ALED < U2[0] > // ALID ( All Alarm Enable ) > S5F4 H<-E Enable/Disable Alarm Acknowledge < S5F4 < B[1] 0 > >

6-1

S3F23 H->E Change Access < S3F23 W < L 3 < A[n] "CHANGEACCESS" > < A[n] > // Port Group Name < L 2 < A[n] "AccessMode" > < U1[1] 1 > // Access Mode 0=Manual, 1=Auto > > > S3F24 H<-E Ack < S3F24 < U1[1] 0 > CAACK >

6-2 S6F11 H<-E Auto

< S6F11 W < L, 3 < U4 0 > // DATAID < U4 260 > // CEID < L, 1 < L, 2 < U4 503 > // RPTID < L, 2 <U1[1]> // PortID <U1[1] 1> // AccessMode > > >

169

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

170

2.2.2. ロット処理

1-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

171

2-1

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

172

2-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2

< L 2 < A[n] �ContentMap�> // CATTRID < L n

< A[n] �Carrier001wf01�> // CATTRDATA : :

< A[n] �Carrier001wf25�> // CATTRDATA >

> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRUDUCT" > // CATTRDATA > > >

> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >

2-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

173

3-1 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W

< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-2

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

174

3-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 3-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

175

4-1 S7F19 H->E Current EPPD Request < S7F19 W > S7F20 H<-E Ack < S7F20 < L n < A[n] > // PPID : : < A[n] > // PPID > >

4-2 S7F1 H->E Process Program Load Inquire < S7F1 W < L 2 < A[n] > // PPID < U2[1] > // Length > > S7F2 H<-E Ack < S7F2 < B[1] 0 > // PPGNT >

4-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > >

176

S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >

4-4 S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >

5-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >

5-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >

5-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : :

177

< L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID

> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 0 > // ACKA < L > > > >

178

5-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L 1 < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L

179

< A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L < L < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

180

5-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-7 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-8 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID

181

<U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-9 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >

182

6-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

183

6-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > >

184

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >

185

6-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-1 S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

186

7-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

187

7-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

188

7-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 7-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

189

7-8 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

190

8-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-3 S6F11 H<-E Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >



191



192


9-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

193


9-6

S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >

194

9-7

S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

9-8

S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

195

9-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

9-10

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

196

9-11

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

9-12

S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

197

10-1

S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W

< L 5 < A[n] > // DATAID < A "CARRIEROUT" > // CARRIERACTION < A[n] > // CARRIERSPEC(CarrierID) < U1[0] > // PTN < L > >

>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

10-2

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

198

10-3

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-4

S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

199


10-6

S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W


> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

200

10-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-8

S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

201

10-9


10-10

S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

202

10-11

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

203

10-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

10-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

204

2.2.3. 立ち下げ処理

1-1 S1F3 H->E Selected Equipment Status Request < S1F3 W < L n < U2[1] > // SVID : : < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < L n < ? > // SV : : < ? > // SV > >

2-1

S3F23 H->E Change Access < S3F23 W < L 3 < A[n] "CHANGEACCESS" > < A[n] > // Port Group Name < L 2 < A[n] "AccessMode" > < U1[1] 0 > // Access Mode 0=Manual, 1=Auto > > > S3F24 H<-E Ack < S3F24 < U1[1] 0 > CAACK >

2-2 S6F11 H<-E Manual

< S6F11 W < L, 3 < U4 0 > // DATAID < U4 260 > // CEID < L, 1 < L, 2 < U4 503 > // RPTID < L, 2 <U1[1]> // PortID <U1[1] 0> // AccessMode > > > > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

205

>

3-1 S1F15 H->E Request OFF-LINE < S1F15 W > S1F16 H<-E OFF-LINE Acknowledge < S1F16 < B[1] 0 > // OFLACK >

3-2 S6F11 H<-E Equipment Requests OFF-LINE < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 100 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 100 > < L 2 <A[16] > // GEM timestamp <U1[1] 0 > // Control Mode 0=Offline, 1=Local, 2=Remote > > > > > S6F12 H->E Equipment Requests OFF-LINE Acknowledge < S6F12 < B[1] 0 > >

206

2.2.4. QTAT処理（１）内部バッファ内のキャリアを搬出せずに、現在処理中のキャリアが終了してから特急キャ

リアの処理をおこなう場合を示す。

1-1 S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool TRUE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >

2-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > >

207

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-2

S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > >

208

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >

209

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

2-7

S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 3-1

S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2

210

< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute

211

: : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-5

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > >

212

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >


3-8 S6F11 H<-E Substrate In Process

213

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


4-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4

214

<A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >


5-1

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > >

215

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-2



5-4

216

S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


5-6 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2

217

< U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >


5-7 S6F11 H<-E CJ Complete

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-8 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L >

218

> > >


5-10 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-11 S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1

219

< L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-12


6-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK

220

< L > >

>

6-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-3


6-4 S6F11 H<-E Reserved <S6F11 W <L

221

<U2 1> <U2 241> //Event= NotReservedToReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 0> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-5



< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo

222

<A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-8

S6F11 H<-E Not Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 242> //Event= ReservedToNotReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 1> // Port Reservation State > > > > >

223

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-9 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-10 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

224

6-11 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


6-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

225

< U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


7-1 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205> // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp

226

<U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-1

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID

227

<U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

8-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2


< A[n] �Carrier00Nwf01�> // CATTRDATA : :

< A[n] �Carrier00Nwf25�> // CATTRDATA >

> < L 2

228


> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

8-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

229

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

230

9-4

S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



10-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4

231

< A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >

10-4

S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >


11-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data

232

< S1F4 < U1[1] > // SV >

11-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob00n" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > < L > > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2

<L <A �PRJob00n�> //PROCESSJOB ID

>

233

<L <Bool TRUE> <L >

> >

>

11-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >


11-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2

234

< A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

11-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W

235

< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-7 S6F11 H<-E Selected < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 501 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 2 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-8 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > >

236

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-9 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >


12-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 12-2

S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

237

< U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

238

12-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > >

239

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



12-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2

240

< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

13-1

S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

13-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute

241



13-4 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > >

242

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

243



13-8

S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3

244

<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 14-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > >

245

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


15-2



246


15-4


247


15-6

S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >

248



15-8


15-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model

249

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


15-11

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

250

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

15-12


16-1

S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool FALSE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool FALSE > // ATTRDATA > > > >

251

< L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >


16-3 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-4 S6F11 H<-E PRJob Setup < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

252

< U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "ＳＥＴＴＩＮＧＵＰ" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>


17-2

S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

253

<U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-4 S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute :

254

: <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


17-6 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > >

255

>

17-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

256

2.2.5. QTAT処理（２）内部バッファ内のキャリアを搬出してから特急キャリアの処理をおこなう場合を示す。

1-1 S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2 < A "Damming" > < Bool TRUE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >

2-1 S16F27 H->E CJCancel < S16F27 W < L 3 < A[n] > // ControlJobID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD (CJCancel=4) < L > > > < S16F28 H<-E < L 2 < Bool TRUE > // ACKA < L > > >

257

2-2

S6F11 H<-E CJ Canceled <S6F11 W <L <U2 1> <U2 505> //Event= CJCanceled <L <L <U2 600> //Report 600 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Control Job ID <U1[1] 7> // Current State of the CJ model > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-3 S16F5 H->E PJCancel < S16F5 W < A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID < A[n] > // PRJobID < A[n] "CANCEL" > // PRCMDNAME < L > > S16F6 H<-E < < A[n] > // PRJobID < L < Bool TRUE > // ACKA < L > > > 2-4 3F17 H->E CancelCarrier < S3F17 W < L < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

258

2-5



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

2-6 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-7

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute

259


2-8 S6F11 H<-E Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 241> //Event= NotReservedToReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 0> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-9

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

260

< B[1] 0 > >

261



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 2-11

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

262

2-12

S6F11 H<-E Not Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 242> //Event= ReservedToNotReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 1> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-13

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-14 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID

263

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-15 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-16

S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State

264

<U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-17 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

3-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > >

265

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-2


3-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > >

266

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-4

S6F11 H<-E Substrate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > >

267

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-7

S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 4-1

S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID

268

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


4-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID

269

<L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


4-5

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute

270

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

271

4-8 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-1

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

5-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

272

< U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-1 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp

273

<U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

6-3

S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2


< A[n] �Carrier00Nwf01�> // CATTRDATA : :

< A[n] �Carrier00Nwf25�> // CATTRDATA >

> < L 2


> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

6-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp

274

<U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-2 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID

275

<A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


7-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > >

276

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



8-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM

277

> > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >

8-4

S7F27 H<-E Process Program Verification Send < S7F27 W < L 2 < A[n] > // PPID < L > // No Error > S7F28 H->E Ack < S7F28 >



9-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob00n" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > >

278

> : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > < L > > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2


> <L

<Bool TRUE> <L >

> >

>

279


9-5

S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 6 < L 2

280

< A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

9-6 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

281



10-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK

282

<A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >



11-2

S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > >

283

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


11-4

284

11-5

S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-6

S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >



< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1

285

< L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

11-8


11-9 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

286

>


11-11


11-12

S6F11 H<-E Carrier Location Change

287

< S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-1 S3F17 H->E CarrierOut < S3F17 W


>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

12-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute

288

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-3


12-4 S6F11 H<-E Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 241> //Event= NotReservedToReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 0> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

289

12-5




> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

> 12-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID

290

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-8 S6F11 H<-E Not Reserved <S6F11 W <L <U2 1> <U2 242> //Event= ReservedToNotReserved <L <L <U2 515> //Report 515 <L <A[16] > //GEM timestamp- CLOCK <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1] 1> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[1] 1> // Port Reservation State > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-9 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute

291

<U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-10 S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

12-11 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >

292

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

293

12-14

S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


13-2 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1

294

< L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



14-1

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > >

295

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-2


14-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > >

296

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


14-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >

297

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



15-1

S6F11 H<-E CarrierInAccsess < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 208 > // CEID < L 1 < L 2

298



15-3 S6F11 H<-E Substrate AT WORK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 403 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute

299



15-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >

300

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >




15-8

301

S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-1

S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-2 S6F11 H<-E Approching Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 250 > // CEID < L 1 < L 2

302

< U1 RPTID 501 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute <U1[1] 5 > // Carrier Complete remain time [min] > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-3 S6F11 H<-E PJ Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >


17-1

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > >

303

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-2

304

17-4



17-6

S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

305

< U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >




17-8

S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L >

306

< L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >



17-11

S6F11 H<-E CarrierComplete

307

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


18-1

S14F3 H->E SetAttr for ControlJob Object < S14F3 W < L 4 < A[0] > // OBJSPEC < A "ControlJob" > // OBJTYPE < L 1 < A[n] > // ControlJobID > < L 1 < L 2

308

< A "Damming" > < Bool FALSE > > > > S14F4 H<-E SetAttr Data < S14F4 H<-E < L 2 < L 1 < L 2 < A[n] > // ControlJobID < L 1 < L 2 < A "Damming" > // ATTRID < Bool FALSE > // ATTRDATA > > > > < L 2 < U1[1] > // OBJACK < L 0 > > > >


18-3 S6F11 H<-E Execution began < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK

309

<A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

19-1 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

310

< B[1] 0 > >

19-2


19-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

311

< B[1] 0 > >

312

19-6

S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >


2.2.6. E84 Fail （１）キャリア搬入時キャリアハンドオフ失敗

1-1 S6F11 H<-E Ready To Load < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8

313

<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

314

1-3 S5F1 H<-E Carrier Transfer Failed (Alarm) <S5F1 W <L 3 <B[1]> // ALCD <U4[1]> // ALID <A[40]> // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 <B[1] 0> //ACKC5 >

2-1 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recover <S5F1 W <L 3 <B[1]> // ALCD <U4[1]> // ALID <A[40]> // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 <B[1] 0> //ACKC5 >

3-1

S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

315

（２）キャリア搬出時キャリアハンドオフ失敗

1-1 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


1-3 S5F1 H<-E Carrier Transfer Failed (Alarm) < S5F1 W < L 3 < B[1] > // ALCD

316

< U4[1] > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 < B[1] 0 > //ACKC5 >

2-1 S5F1 H<-E Carrier Transfer Fail Recover <S5F1 W <L 3 <B[1]> // ALCD <U4[1]> // ALID <A[40]> // ALTX > > S5F2 H->E ON-LINE Acknowledge <S5F2 <B[1] 0> //ACKC5 >

3-1

S6F11 H<-E Material Has Removed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-2 S6F11 H<-E Substrate Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1

317

<A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-3 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-4 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > >

318

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-6 S6F11 H<-E Ready To Load < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

319

2.2.7. スロットマップ照合エラー（１）スロットマップリードエラー発生後ジョブキャンセル


1-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1] > // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-3 S5F1 H<-E Slot Map Read Failed (Alarm) < S5F1 W

320

< L 3 < B[1] > // ALCD < U4[1] > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H->E Acknowledge <S5F2 < B[1] 0 > //ACKC5 >

1-4 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 10 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1] > // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[9] �READ FAIL� > // Reason < L n < U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined : 1: Empty : 2: Not Empty : 3: Normal : 4: Double Slotted < U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

1-5 S3F17 H->E Cancel Carrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > >

321

>

1-6 S6F11 H<-E Slot Map Verification NG < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


1-8 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID

322

< U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> S3F18 H<-E Ack < S3F18

< L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

2-2 S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >

323

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


2-4 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange

324

< S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-7 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State

325

<U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-1 S16F27 H->E CJStop < S16F27 W < L 3 < A[n] > // CTLJOBID < U1[1] 4 > // CTLJOBCMD < L > > > S16F28 H->E Ack < S16F28 < B[1] 0 > // ACKA < L > >

3-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

326

< U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBSTOPPING" >


3-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >


3-4 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > >

327

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

328



3-9 S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID

329

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-10 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

330


3-13 S6F11 H<-E Carrier Stopped < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 211 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 4 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-14 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2

331

< U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-15 S16F5 H->E PJ Cancel Request < S16F5 W < L 4 < A[n] �CANCEL� > // DATAID < A[n] �PRJob001� > // PRJOBID < A [n] �Cancel� > // PRCMDNAME <L> > > S16F6 H->E Ack < S16F6 <L 2 < B[1] 1 > // ACKA <L> > >

332

（２）スロットマップホスト照合異常発生後ジョブキャンセル



1-3 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID

333

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 10 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[n] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined : 1: Empty : 2: Not Empty : 3: Normal : 4: Double Slotted < U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-4 S6F11 H<-E Substarate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute <U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

334

1-5 S6F11 H<-E Substarate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-6 S3F17 H->E Cancel Carrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >

1-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification NG < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

335



1-9 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack

336

< S6F12 < B[1] 0 > >



> S3F18 H<-E Ack < S3F18

< L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>


2-3 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID

337

<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


2-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > >

338

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-7 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W

339

< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBSTOPPING" >

340




3-5 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >

341

< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-7 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute

342

> > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-9 S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-10 S14F11 H->E Delete Request

343

< S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >


3-12 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier00n" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute >

344

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



345




346

（３）ダブルスロット/クロススロット発生後、ジョブキャンセル



1-3 S5F1 H<-E Improper Wafer Position (Alarm) < S5F1 W < L 3 < B[1] > // ALCD < U4[1] > // ALID

347

< A[40] > // ALTX > > S5F2 H->E Acknowledge <S5F2 < B[1] 0 > //ACKC5 >

1-4 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 10 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[n] �IMPROPER WAFER POSITION� > // Reason < L n < U1[1] 0 > // Slotmap 0: Undefined : 1: Empty : 2: Not Empty : 3: Normal : 4: Double Slotted < U1[1] 0 > // Slotmap 5: Cross Slotted > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-5 S6F11 H<-E Substarate At Source < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 402 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 531 > < L 7 < A[16] > // GEM timestamp <A[n]> // LotID attribute <L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > <A[n]> // SubstLocIDAttribute

348

<U1[1] 1 > // SubstProc State Attribute <U1[1] 1 > // SubstState Attribute <A[n] "PRDUCT" > // SubstUsage Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-6 S6F11 H<-E Substarate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-7 S3F17 H->E Cancel Carrier < S3F17 W < L 5 < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > >

1-8 S6F11 H<-E Slot Map Verification NG < S6F11 W < L 3

349

< A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 4 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


1-10 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID

350

<L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> S3F18 H<-E Ack < S3F18

< L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>


2-3 S6F11 H<-E Associated

351

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


2-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp

352

<A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-7 S6F11 H<-E Ready To Unload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >

353

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-2 S6F11 H<-E PJ Stopping < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID

354

<A[n] "PRJOBSTOPPING" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model

<A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

355



3-7 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1

356

< L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


3-9

S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model >

357

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-10 S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >


3-12 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2

358



3-14 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID

359

<A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

360

2.2.8. キャリア ID照合失敗

（１）キャリア ID読み込み失敗

1-１

S5F1 H<-E Alarm Report Send <S5F1 W

<L, 3 // ALCD

< U4 > // ALID < A[40] > // ALTX > > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // ACKC5 >

1-2

S6F11 H<-E Carrier ID Read Fail < S6F11 W

< L, 3 < U4 0 > // DATAID < U4 295 > // CEID < L, 1 < L, 2 < U4 500 > // RPTID < L, 9 > <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1> // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-1

S3F17 H->E CancelCarrier at Port < S3F17 W

< L < A[n] "CANCELCARRIERATPORT" > // DATAID < A[n] "CancelCarrieratPort" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L >

> >

S3F18 H<-E Ack < S3F18

361

< L < U1[1] 0 > // CAACK < L >

> >

3-2

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

362

（２）キャリアＩＤの不一致

1-１

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

1-2

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

363

1-3 S3F17 H->E CancelCarrier

< S3F17 W < L

< A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L >

> >

S3F18 H<-E Ack

< S3F18 < L

< U1[1] 0 > // CAACK < L >

> >

1-4 S6F11 H<-E ID Verification Failed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 216 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID <U1[1] 4 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

2-1

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] > // CarrierID

364

<U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

365

2.2.9. ジョブ作成失敗

（１）プロセスジョブ作成失敗



1-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L

366

< L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID

> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 < L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 1 > // ACKA < L > > > >

3a-1 S16F21 H->E PR Get Space < S16F21 W > S16F22 H<-E PR Get Space Response < S16F22 < U1[1] > // PRJOBSPACE >

3a-2 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >

3a-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob00n" > // PRJobID

367

< B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > < L > > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 <L2


> <L

<Bool TRUE> <L >

> >

>

3a-4 S6F11 H<-E PRJob Pooled < S6F11 W < L 3

368

< A[n] > // DATAID < U1[1] 601 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob00n" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBPOOLED" >


3b-1 S3F17 H->E CancelCarrier < S3F17 W < L < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

3b-2

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >

369

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-3 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-4 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

370

3b-5


3b-6 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W


> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-7 S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2

371

< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-8 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-9

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

372


3b-10


3b-11

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >

373

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-12 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3b-13 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

374

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

375

（２）コントロールジョブ作成失敗



1-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM

376

< ? > // RCPPARVAL > : : < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID

> > > > > S16F16 H<-E RPJobMultiCreate Acknowledge < S16F16 < L2 < L < A[n] "PRJob001"> // Created PRJobID > < L < B[1] 0 > // ACKA < L > > > >



1-5

S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType

377

< L 6 < L 2 < A[n] "ObjID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] " ControlJob00n " > // OBJSPEC < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > >

378

< L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 1 > // OBJACK < L > > > >

3a-1 S1F3 H->E CJ Queue Space < S1F3 W < L 1 < U2[1] > // SVID > > S1F4 H<-E Selected Equipment Status Data < S1F4 < U1[1] > // SV >

3a-2 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L 3 < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID

379

< A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L 3 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 6 < L 2 < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob00n" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "PRJob00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "PRJob00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L n < A[n] "Carrier00m" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >

3a-3 S6F11 H<-E Queued < S6F11 W < L 3

380

< A[n] > // DATAID < U1[1] 500 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob00n" > // Control Job ID <U1[1] 1 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

>

3b-1 S16F5 H->E PJCancel < S16F5 W < A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID < A[n] > // PRJobID < A[n] "CANCEL" > // PRCMDNAME < L > > S16F6 H<-E < < A[n] > // PRJobID < L < Bool TRUE > // ACKA < L > > >

3b-2 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >


3c-1

381

S16F5 H->E PJCancel < S16F5 W < A[n] "PRJOBCANCEL" > // DATAID < A[n] > // PRJobID < A[n] "CANCEL" > // PRCMDNAME < L > > S16F6 H<-E < < A[n] > // PRJobID < L < Bool TRUE > // ACKA < L > > >

3c-2 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >


3c-3 S3F17 H->E CancelCarrier < S3F17 W < L < A[n] "CANCELCARRIER" > // DATAID < A[n] "CancelCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] > // Carrier ID < U1[0] > // PTN < L > > > S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L < U1[1] 0 > // CAACK < L > > >

4c-1

S6F11 H<-E TransferBlocked

382

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205> // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-2 S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-3 S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8

383

<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-4 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-5 S6F11 H<-E BufferCapacityChange < S6F11 W

< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity >

384

> >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-6 S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-7 S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

385

< B[1] 0 > >

4c-8


4c-9


4c-10

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3

386

< A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-11 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4c-12 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2

387

< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

388

2.2.10. （アン）クランプ／（アン）ドッキング失敗（１）クランプ失敗

1-１


<L, 3 // ALCD

389

（２）ドッキング失敗

1-1


<L, 3 // ALCD





2-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3

390

< A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >

391

（３）アンドッキング失敗

1-1


<L, 3 // ALCD





2-3 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

392

< U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >

393

（４）アンクランピング失敗

1-1


<L, 3 // ALCD

394

2.2.11. Filler（定常）NPW シナリオ

1-1

S2F15 H->E Equipment Constant Send <S2F15 W

<L, n <L,2 < ??? > // ECID

< ??? > // ECV > ： <L,2 < ??? > //ECID < ??? > // ECV >

> > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // EAC >


2-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2

395

< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

3-1

396






> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "SFILLER" > // CATTRDATA (Static Filler) > > >

> S3F18 H<-E Ack < S3F18 < L 2 < B[1] 0 > // CAACK < L > > > >

3-4 S6F11 H<-E ID Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 215 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State

397




> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4-2

S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > >

398

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


4-4 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

399

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


5-2 S6F11 H<-E MaterialHasArrived < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[0]> // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

400

>

6-1 S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 214 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


6-3 S3F17 H->E ProceedWithCarrier < S3F17 W

401

< L 5 < A[n] "PROCEEDWITHCARRIER" > // DATAID < A[n] "ProceedWithCarrier" > // CARRIERACTION < A[n] "Carrier001" > // Carrier ID < U1[1] 1 > // PTN < L 2




> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "PRODUCT" > // CATTRDATA > > >



7-1

402



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-2


7-3 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >

403

< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

404


8-3 S7F23 H->E Process Program Send < S7F23 W < L 4 < A[n] > // PPID < A[n] > // MDLN < A[n] > // SOFTREV < L n < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > : : < L 2 < ? > // CCODE < L n < ? > // PPARM : : < ? > // PPARM > > > > > S7F24 H<-E Ack < S7F24 < B[1] 0 > // ACKC7 >

405



9-3 S16F15 H->E PRJobMultiCreate < S16F15 W < L < A[n] > // DATAID < L 1 < L 6 < A[n] "PRJob001" > // PRJobID < B[1] 13 > // MF < L n // # is numbers of carrier < L 2 < A[n] "Carrier001" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > : : < L < A[n] "Carrier00n" > // CarrierID < L < U1[1] 1 > : < U1[1] 25 > > > > < L < A[n] > // PRRECIPEMETHOD < A[n] > // RECIPESPEC < L < L < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > :

406

: < L < A[n] > // RCPPARNM < ? > // RCPPARVAL > > > > < Bool TRUE > // Sets start method to autostart < L // PRPAUSEEVENT List of CEID




9-5 S14F9 H->E CJCreate < S14F9 W < L < A[n] "Equipment" > // OBJSPEC < A[n] "ControlJob" > // ObjType < L < L 2

407

< A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L 2 < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L 1 < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L 2 < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA > < L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > > > S14F10 H<-E Ack < S14F10 < L < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L < L < A[n] "ControlJobID" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessingCtrlSpec" > // ATTRID < L < A[n] "PRJob001" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "CarrierInputSpec" > // ATTRID < L < A[n] "Carrier001" > // ATTRDATA : : < A[n] "Carrier00n" > // ATTRDATA > > < L < A[n] "MtrlOutSpec" > // ATTRID < A[0] > // ATTRDATA > < L < A[n] "ProcessOrderMgmt" > // ATTRID < A[0] "LIST" > // ATTRDATA >

408

< L < A[n] "StartMethod" > // ATTRID < Bool TRUE > // ATTRDATA > > < L < U1[1] 0 > // OBJACK < L > > > >



9-8 S6F11 H<-E Execution began

409

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 502 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[1] 4 > // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



10-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L

410

<A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


10-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason

411

< L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


10-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1

412



10-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

413

< B[1] 0 > >

414



11-5 S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W

415

< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


12-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID

416

< L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


12-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID

417

<A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


12-5 S6F11 H<-E Substrate Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1

418



12-7 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > >

419

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


13-2 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > >

420

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

421


13-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 13-7 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

422

< U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >

// PRJobState attribute- Current State of the PJ model <A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E PRJob Processing Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 13-8 S6F11 H<-E Substrate In Process < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 404 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

14-1 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID



423





424

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


16-2 S2F41 H->E CarrierComplete < S2F41 W < L 2 < A[n] �CarrierComplete� > // RCMD < L 1 < L 2 <A[n] �CARRIEID� > // CPNAME <U1[1] 2 > // CPVAL (CarrierComplete) > > > > S2F42 H->E Ack < S2F42 <L 2 < B[1] 0 > //HCACK < L 0 > > >

425



17-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1

426



17-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute

427

> > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-6


17-7

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > >

428

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-8


18-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >



429

>



18-4

430



18-6 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2

431

< U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PRJOBCOMPLETE" >


18-7


18-8

S14F11 H->E Delete Request < S14F11 W < L 2 < A[n] "EQUIPMENT" > // OBJSPEC < L 1 < L 2 < A[n] "ControlJob" > // ATTRID < A[n] "ControlJob001" > // ATTRDATA > > > > S14F12 H<-E Ack < S14F12 < L 2 < L > < L 2 < U1[1] 0 > // OBJACK < L > >

432

> >


18-10


18-11

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID

433

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-12


19-1



>

434

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

19-2


19-3

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

435

< B[1] 0 > >

19-4



19-6

436


> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-7


19-8

S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >

437

< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-9


19-10

S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID

438

<U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-11


19-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute >

439

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


19-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > >

440

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

20-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

20-2


20-3

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

441

< U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

20-4


20-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID

442


20-6



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

20-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute >

443

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

20-8


20-9

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

444

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

20-10


20-11

445



20-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad

446

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

447

2.2.12. Filler（非定常）NPW シナリオ

1-1


<L, n <L,2 < ??? > // ECID

< ??? > // ECV > ： <L,2 < ??? > //ECID < ??? > // ECV >

> > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // EAC >



448


3-1



449






> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "DFILLER" > // CATTRDATA (Dynamic Filler) > > >

450




> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4-2

451

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

452

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



453

>




454





> < L 2




7-1

455



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-2



456






457






458






459








460




461







462







463



10-3




464






465




466

< B[1] 0 > >



467






468






469



12-3




470






471




472

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

473

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

474


13-6 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > > 14-1 S6F11 H<-E PRJob Processing < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

475

< U1[1] 602 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCESSING" >


14-3 S6F11 H<-E Substrate ProcessingComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 405 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID



476





477

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

478



15-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied

479

< S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

15-6


15-7

S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2

480

< U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


15-9 S2F41 H->E CarrierComplete < S2F41 W < L 2 < A[n] �CarrierComplete� > // RCMD < L 1 < L 2 <A[n] �CARRIERID� > // CPNAME <A[n] �Carrier00n� > // CPVAL (CarrierComplete) > > > > S2F42 H->E Ack < S2F42 <L 2

481

< B[1] 0 > //HCACK < L 0 > > >

15-10



16-2

482

S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


16-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

483

< U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


16-6 S6F11 H<-E PJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 606 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID

484

<A[n] "PRJOBCOMPLETE" > // PRJobState attribute- Current State of the PJ model

<A[n]> // recipe ID for this process job > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-7


16-8


16-9

485

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 504 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001" > // Control Job ID <U1[0]> // Current State of the CJ model > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-10


16-11

S6F11 H<-E CarrierComplete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 209 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8

486

<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-12


17-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L >



487

> >

17-2


17-3


17-4

488



17-6


< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2

489

< U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-7


17-8

S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID

490

< > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-9


17-10

S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute

491

> > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-11


17-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > >

492

> S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


17-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12

493

< B[1] 0 > >

18-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

18-2


18-3

S6F11 H<-E Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 227 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 >

494

< L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 2 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-4


18-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID

495

> > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-6



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

496

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-8


18-9



497

18-10


18-11


18-12

498

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


18-14 S6F11 H<-E ReadyToLoad < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID

499

< U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 2 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

500

2.2.13. Monitor NPW シナリオ

1-1


<L, n <L,2 < ??? > // ECID

< ??? > // ECV > ： <L,2 < ??? > //ECID < ??? > // ECV >

> > S5F2 H<-E Ack < S5F2 < B[1] 0 > // EAC >



501


3-1



502






> < L 2

< A[n] "Usage" > // CATTRID < A[n] "MONITOR" > // CATTRDATA > > >

503




> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

4-2

504

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

505

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



506

>




507





> < L 2




7-1

508



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

7-2



509






510






511






512








513




514







515







516



10-3




517






518




519

< B[1] 0 > >



520






521






522



12-3




523






524




525

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

526

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

527



14-1 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID

528

< L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


14-3

S6F11 H<-E Waiting for Host < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 222 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 502 > < L 9

529

<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 2 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute <A[19] �VERIFICATION NEEDED� > // Reason < L n < U1[1] 1 > // Slotmap : : < U1[1] 1 > // Slotmap > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


14-5 S6F11 H<-E Slot Map Verification OK < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 223 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID

530

<U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


14-7 S6F11 H<-E Carrier Location Change < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > >

531

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

532



15-5 S6F11 H<-E Processing Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 605 > // CEID < L 1

533

< L 2 < U1 RPTID 700 > < L 4 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "PRJob001" > // Process Job ID <A[n] "PROCCOMPLETE" >



16-2 S6F11 H<-E Carrier Opened < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 220 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 1 > // SlotMapStatus Attribute

534

<U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 1 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


16-4 S6F11 H<-E Substrate AT DESTINATION < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 406 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > >

535

> > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


16-6

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

536

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

16-7


16-8

537



17-3 S6F11 H<-E Substrate Location Unoccupied < S6F11 W < L 3

538

< A[n] > // DATAID < U1[1] 411 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L 3 // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


17-5 S6F11 H<-E Substrate Location Occupied < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 410 > // CEID < L 1 < L 2

539

< U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >



17-7

S6F11 H<-E CJ Complete < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 503 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 600 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n] "ControlJob001"> // Control Job ID <U1[1] 6 > // Current State of the CJ model > > > > >

540

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-8



17-10

S6F11 H<-E Carrier Closed < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 221 > // CEID < L 1 < L 2

541

< U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 2 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

17-11


17-12

S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W < A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID

542


18-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

18-2

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 >

543

>

18-3


18-4


18-5 S6F11 H<-E CarrierLocationChange < S6F11 W

544

< A[n] > // DATAID < U1[1] 280 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 512 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <A[n]> // Location ID <L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair <L <A[n]> // Location ID <A[n]> // CarrierID > > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-6



> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-7

S6F11 H<-E ReadyToUnload < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 206 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8

545

<A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 3 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

18-8


18-9

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 207 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute

546


18-10


18-11

S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 290 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001"> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute >

547

> > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


18-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > >

548

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


19-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

19-2

S6F11 H<-E TransferBlocked < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 205 > // CEID

549

< L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[1] 3 > // CarrierIDStatus Attribute <U1[1] 3 > // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 0 > // Port Association State VID <U1[1] 3 > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-3


19-4

S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State

550

<U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


19-6


< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp <A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > >

551

> > >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

19-7


19-8

S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack

552

< S6F12 < B[1] 0 > >

19-9


19-10

553

19-11



19-13 S6F11 H<-E Not Associated < S6F11 W

554

< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 228 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[0]> // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


20-1 S2F41 H->E CarrierComplete < S2F41 W < L 2 < A[n] �CarrierComplete� > // RCMD < L 1 < L 2 <A[n] �CARRIERID� > // CPNAME

555

<A[n] �Carrier00n�> // CPVAL (CarrierComplete) > > > > S2F42 H->E Ack < S2F42 <L 2 < B[1] 0 > //HCACK < L 0 > > >

20-2


21-1



>

< S3F18 < L 2 < U1[1] > // CAACK < L > >

>

556

21-2


21-3


21-4

S6F11 H<-E Reserved < S6F11 W

557

< L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 241 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute < > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >


21-6


< A[n] > // DATAID < U1[1] 275 > // CEID < L 1 < L 2 < U1[1] 510 > // RPTID < L <A[16]> // GEM timestamp

558

<A[n]> // CarrierID <L //BufferPartitionInfo <A[n]> // PartitionID- ID of Partition <A[n]> // PartitionType <U1[1]> // Available Physical Partition Capacity <U1[1]> // Partition Capacity <U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity > > >

> >

S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

21-7


21-8

S6F11 H<-E Not Reserved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 242 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID < > // CarrierID < > // CarrierIDStatus Attribute < > // SlotMapStatus Attribute

559

< > // Port Association State VID < > // Carrier AccessingStatus Attribute > > > > > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

21-9


21-10

S6F11 H<-E MaterialHasRemoved < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 300 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 500 > < L 8 <A[16]> // GEM timestamp <U1[1] 1 > // PortTransfer State <U1[1]> // PortID <A[n] "Carrier001" > // CarrierID <U1[0]> // CarrierIDStatus Attribute <U1[0]> // SlotMapStatus Attribute <U1[1] 1 > // Port Association State VID <U1[0]> // Carrier AccessingStatus Attribute > > >

560

> > S6F12 H->E Ack < S6F12 < B[1] 0 > >

21-11


21-12 S6F11 H<-E Deleted < S6F11 W < L 3 < A[n] > // DATAID < U1[1] 407 > // CEID < L 1 < L 2 < U1 RPTID 530 > < L 3 <A[16]> // GEM timestamp- CLOCK <A[n]> // Location ID <L n // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1 <A[n]> // WaferID attribute : : <A[n]> // WaferID attribute > > > > > > S6F12 H->E Ack

561

< S6F12 < B[1] 0 > >



562

2.2.14. 搬入時 E84ハンドシェークシーケンス

L REQ(P"A)

U REQ(P"A)

READY(P"A)

CS_0(A"P)

CS_1(A"P)

VALID(A"P)

TR REQ (A"P)

BUSY(A"P)

CONT(A"P)

COMPT (A"P)

HO_AVBL

(P"A)

CS isSpecified

TransferStart

Carrier isdetected

Transfer isCompleted

ReleaseCS is

specified

(P"A)

ES

3

6



563

2.2.15. 搬出時 E84ハンドシェークシーケンス

L_RE Q(P"A)

U_REQ(P"A)

READY(P"A)

CS_0(A" P)

CS_1(A" P)

VALID(A" P)

TR_REQ (A"P)

BUSY(A" P)

CONT(A" P)

COM PT (A"P)

HO_AV BL

(P" A)

CS isSpecified

TransferStart

Carrier isrem oved

Transfer isCom pleted

ReleaseCS is

specified

(P"A)E S

59

62



564

2.2.16. E84タイマー一覧 AMHS側監視タイマー

タイマータイマータイマータイマー監視内容監視内容監視内容監視内容標準値標準値標準値標準値単位単位単位単位範囲範囲範囲範囲

TA1 VAILD信号 ONから L_REQ/U_REQ信号 ONまで 2 秒 1-999

TA2 TR_REQ信号 ONから READY信号 ONまで 2 秒 1-999

TA3 COMPT信号 ONから READY信号 OFFまで 2 秒 1-999

TA4 BUSY信号 ONから L_REQ(U_REQ)信号 OFFまで 60 秒 1-999

※ １ Seleteにて独自に要求（SEMIスタンダードに記述なし）

製造装置側監視タイマー


TP1 L_REQ/U_REQ信号 ONから TR_REQ信号 ONまで 2 秒 1-999

TP2 READY信号 ONから BUSY信号 ONまで 2 秒 1-999

TP3 BUSY 信号 ON からキャリアプレースメントセンサーON まで（搬入時）、またはキャリアプレゼンスセンサーOFF まで（搬出時）

60 秒 1-999

TP4 L_REQ/U_REQ信号 OFFから BUSY信号 OFFまで 60 秒 1-999

TP5 BUSY信号 OFFから VAILD信号 OFFまで 2 秒 1-999

TP6 VAILD信号OFFから次のハンドオフのためのVAILD信号ONまで（連続移載のためのCONT信号がONである場合に監視する）

2 秒 1-999

AMHS側遅延タイマー


TD1 VAILD信号OFFから次のハンドオフのためのVAILD信号ONまで（連続移載を必要とする場合に使用する）

1 秒 1-999

565

2.2.17. イベントレポートフォーマット

今回のシナリオで使用しているイベントレポートの ID及びフォーマットを次に示す。 ReportID

500 Loadport and Carrier state

<A[16]> // GEM timestamp

<U1[1]> // PortTransfer State

<U1[1]> // PortID

<A[n]> // CarrierID

<U1[1]> // CarrierIDStatus Attribute

<U1[1]> // SlotMapStatus Attribute

<U1[1]> // Port Association State VID

<U1[1]> // Carrier AccessingStatus Attribute

501 Carrier state and Aproaching


<A[n]> // CarrierID


<U1[1]> // Carrier Complete remain time

502 Carrier state and Slotmap State



<U1[1]> // PortID

<A[n]> // CarrierID

<U1[1]> // CarrierIDStatus Attribute

<U1[1]> // SlotMapStatus Attribute

<U1[1]> // Port Association State VID


<A[n]> // Reason

< L

< U1[1] > // Slotmap

:

< U1[1] > // Slotmap

>

566

510 Buffer Capacity


<A[n]> // CarrierID

<L //BufferPartitionInfo

<A[n]> // PartitionID- ID of Partition

<A[n]> // PartitionType

<U1[1]> // Available Physical Partition Capacity

<U1[1]> // Partition Capacity

<U1[1]> // UnAllocated Partition Capacity

>

512 Carrier Location State


<A[n]> // CarrierID

<A[n]> // Location ID

<L // Carrier Location Matrix, if 1 carrier on tool, list consists of 1 pair

<L


<A[n]> // CarrierID

>

>

515 Loadport Reserve State

<A[16]> // GEM timestamp- CLOCK


<U1[1]> // PortID

<A[n]> // CarrierID

<U1[1]> // Port Reservation State

567

530 Substrate State


<A[n]> // LotID attribute

<L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1

<A[n]> // WaferID attribute

:

:


>

<A[n]> // SubstLocIDAttribute

<U1[1]> // SubstProc State Attribute

<U1[1]> // SubstState Attribute

<A[n]> // SubstUsage Attribute

531 Substrate Location State



<L // Count of Wafer - 複数Waf同時遷移時のみ L,n 他は L,1


:

:


>

600


<A[n]> // Control Job ID

<U1[1]> // Current State of the CJ model

700


<A[n]> // Process Job ID

<A[n]> // PRJobState attribute- Current State of the PJ model

<A[n]> // recipe ID for this process job

製造装置オンライン機能要求仕様書分冊...

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