자성유체씰

CA T No.N004-1 1000

1

고객의 사양에 맞추어 설계해드립니다.

대표예 �다축(2, 3축)타입

�왕복동타입(벨로우즈씰)

�가압타입 �

진공씰의 구성부품인 오링, 벨로우즈, 베어링 윤활제 구리스 자성유체는

전부 NOK그룹의 총합력으로 대응하고 있습니다.(하기 도면 참조)

설계상의 상세요구까지 고객의 요망에 맞추어 대응하는 것이 가능합니다.

각종오링(NOK) 금속씰(이글공업)

용접벨로우즈(이글공업)

베어링윤활용구리스(NKL) 대 기

진��공 자성유체씰(이글공업)

2축왕복동 진공씰의 예

NOK�NOK주식회사NK L�NOK크리버주식회사

2

자성유체씰의 사용예

이글공업의 자성유체씰은 반도체, 액정패널, 대양전지패널,, LED등의 제조 장치를 비롯해 생산 기구 분석 기기,

클린보롯 등 모든 생산 분야에서 사용 되며 고성능, 신뢰성의 씰로써 전세계에 평가를 받고있습니다.

Turntables

Ion implanters

Silicon pullers

LP CV D

Spin chucks

transport robots

treatment systems

Roll coaters��

Substrate

Vacuum heat

간단하게 말하면 자석에 끌어당겨지는 액체, 즉 자화된 액체입니다.

자성유체는 이하 3개의 구성요소로 되어있습니다.

�자성미립자, �계면활성제, �베이스액

자성유체의 성능이 자성유체씰의 성능을 크게 좌우합니다.

자성미립자(마그넷 Fe304)는 약 1/100정도의 몹시 작은 알갱이이며, 베이스액에 섞여도 분리되어 침전됩니다. 그러나 자성미립자를 계면활성제로 감싸면 베이스용액중에 서로 반발하며 침전하는 일 없이 균일하게 분산됩니다.(하기 도면 참조)

이글공업은 독자적인 노하우에 의해 자성미립자의 사이즈, 계면활성제의 구조, 분자량 및 자성미립자에의

흡착방법, 베이스액의 순도, 계면활성제의 상성, 분산처리, 그리고 각각의 적정한 비율을 관리하여

자성유체를 제조하고 있습니다.

베이스액은 그룹기업내에서 개발, 제조되고 있습니다.

이러한 구성요소를 전부 그룹기업내에서 개발, 제조를 하고 있는 것이 이글공업 자성유체의 최대 강점입니다.

그 결과, 타사의 추종을 불허하는 고온내구성, 내부식성, 내프라즈마성, 초저아웃가스성을 실현하였습니다.

자성유체는 최종적으로 수많은 품질시험을 시행하여 이글공업제의 자성유체씰로 구성되어있습니다.

스파이크현상

3

Fe 3O4

Fe 3O4 Fe 3O4

Fe 3O4

Fe 3O4

�자성미립자�계면활성제

�베이스액

자성유체란?

자성유체에 자석을 가까이하면 자성유체는 자력성에 의해 배향상태로 되려고 한다.

이 배향상태로 되려고 하는 힘과 계면장력이 길항하여

사진과 같은 스파이크 현상을 보입니다.

자성유체품번 3019 3512 3551 357 6

베이스액 alkylnaphthalene ������ ���� ���������

포화자화�at 25 �� mT 32 35 35 35

점�도�at 25 �� mPa�s 2 20 3500 �10000 �10000

증기압�at 25 �� Pa 3. 0 E �7 6.0 E �8 4.0 E �13 7. 5 E �15

용�도 일반사양 내활성가스사양 초고진공내열사양 초고진공내열사양

사용제품 더스트씰 더스트씰�진공씰 진공씰 진공씰

4

자성유체 선택

�고객의 용도�사용환경에 따라 폐사에서 최적의 구조�자성유체를

선정해드립니다. 본 카달로그에 첨부되어 있는

�자성유체씰 설계 의뢰서�에 알 수 있는 범위에서 구성 되어 ���

있으므로 기입 후 가까운 지점 또는 대리점으로 연락 주십시오.

�내열성능이 좋아, 주변에 냉각기기를 설치 할 필요가

없습니다.�

이로 인해 CVD장치등에 극부적인 냉각에 의한

부생성분의 발생을 억제 하는 것이 기대됩니다.

�차동배기 없이 직접배기만으로 매우 높은 진공에 대응

가능합니다.

�낮은 아웃가스 성능이 우수합니다.

�내부식 성능�내프라즈마 성능이 우수합니다.

10 -12

10 -16

10 -14

10 -10

0 20 50 150100 200

10 -8

10 -6

10 -4

온�도���

증기

압�

�Pa �

10 -12

10 -16

10 -14

10 -10

0 20 50 150100 200

10 -8

10 -6

10 -4

EKK 3576

EKK 3551

자성유체 증기압 선도

고성능�자성유체 단품의 판매

�는 하고있지 않습니다.

이글공업 자성유체의 특징

대기측

폴피스

영구자석

자성유체

자력선

진공측

자성유체를 이용한 씰의 총칭입니다.

샤프트(회전축)과 자석, 폴피스(자극편)의 사이에

구성된 자력선에 따라 자성유체가 유지됩니다.

자성유체의 씰막(액체오링)이 형성되는 것에

의해 밀봉(씰)이 가능하게 됩니다.

고체씰과 달리 마모가 없으며 좋은 수명, 저토르크

라는 장점을 갖고있습니다.

한편, 액체씰이기 때문에 물등 액체의 씰에는

적당하지 않습니다.

자성유체씰에 의해 진공을 봉하는 것을 특히

자성유체진공씰이라고 부릅니다.

주로 반도체등의 전자부품제조장치, 분석기기용으로

진공챔버내에 회전동력을 전달하는 목적으로 사용

합니다.

액체오링1단으로는 실질1기압(101.3kPa)의 내압은

불가능합니다. 그렇기 때문에 다단구조로 되어있습니다.

�단 내압 이상의 차압이 걸렸을 경우, 자성유체를 기체가

통과합니다만, 액체이기 때문에 자기복원합니다. 이것이 각단에서

일어나며 각단마다 압력을 분합하는 것으로 평형에 이르며

진공을 봉인합니다.

단, 진공배기속도가 너무 크면 자기복원이 시간이 맞지

않아 자성유체가 버스트(비산)되어버립니다.

샤프트는 1축에 한정되지 않고 다축(동축�병렬축)구조도

가능합니다.

자성유체자력선

하우징

진공측 대기측

샤프트 돌기

폴피스

영구자석

오링

베어링

P1 P2 P3 P4

진공

초기 배기초기

� !� " #��� $

하우징

샤프트

폴피스 영구자석

자성유체

자력선

5

자성유체씰 이란

자성유체진공씰 이란

6

이글공업과 자성유체씰의 이력

자성유체란 나노사이즈의 자성미립자를 액체중에 분산시킨 콜로이드 액체입니다.

큰 특징은 명칭의 유래에도 되어있는 것과 같이 「액체이면서 자석에 달라붙는」성질을 갖는 것입니다.

자성유체는 1965년 미국 항공우주국(NASA) S,S,papell에 의해

무중력에 있어서 로켓연료의 운송수단으로 발명되었습니다.�1�

현재에 이르기까지 개선되며 그 용도는 우리에게 가까운 것부터 최첨단기술까지 여러가지 물품으로 확대되고 있습니다.

자성유체를 사용한 봉지(씰)부품은 자성유체씰이라고 불립니다.

더스트씰이나 진공(또는 가압)씰은 저발진�저마찰�저오염�내열성능�내플라즈마성등의 우수한 성능을 겸비하고 있습니다. 반도체·액정패널·대양전지패널·LED등을 제조하는 최첨단장치의 분야에 있어 깨끗한 환경에서 사용 가능한 씰로서 폭넓게 활약하고 있습니다.

�% &$'

�%&&'

�%%('

�%%)'

�%%% '

*( (*'

*( (%'

NO K주식회사가 자성유체의 내제화 연구에 착수.

더스트씰의 양산�판매 개시.

진공씰의 양산�판매 개시.

저증기압�내열성능을 구비한 자성유체3551(4페이지참조)를 개발.

E- 8P a까지 대응 가능한 진공씰의 개발.

35 51부터 더욱 성능을 높인 자성유체 3576을 개발.매우 높은 진공(E-13Pa)에 대응 가능한 진공씰의 양산�판매 개시.

NO K주식회사로부터 그룹기업인 이글공업주식회사로 생산을 이관.자성유체 3576을 사용한 진공씰의 양산�판매 개시.

자성유체를 사용한 새로운 씰,

백가드(11페이지 참조) 를 개발�발표.

자성유체씰의 역사

7

�압력�진공��E�6P a�상온�

�허용He리크 량 �9.9E �11Pa�m3/s 이하

�사용온도� 상온 +�)(�

�사용분위기� 활성가스�불활성가스

사 양

참고치수표

ISF type

IHF type

기호 ISF010 ISF020 ISF030 ISF040A 10h7 2 0h7 30h7 40h7

B 115 139 167 194

C 6 5 70 77 84

D 44 58 73 84

E 2 5 35 45 55

F 8 0 105 120 145

G 1 0 10 10 12

H 4-,10�PCD60 �

4-,10�PCD85 �

4-,10�PCD100 �

6-,10�PCD120 �

I 14 25 32 45

J 1.8 3. 5 4 5

K 3 6 8 12

L V34 V55 V70 V85

M 14 16 21 23�수냉타입의 경우는 형식 말미에 -W.붙어있습니다. 예:ISF010W

�상기치수는 예고없이 변경 할 수 있습니다. 사전에 �양해 부탁드립니다.

기호 IHF010 IHF020 IHF030 IHF040 IHF050 IHF075A 10H 7 2 0H 7 30H 7 40H 7 50H7 75H7

B 7 5 80 92 94 96 113

C 6 3 68 80 80 82 96

D 51 63 78 88 103 143

E 3 4 44 54 69 79 118

F 9 0 105 120 145 160 210

G 1 0 10 10 10 12 12

H 4-,10�PCD70 �

4-,10�PCD85 �

4-,10�PCD100 �

6-,10�PCD120 �

6-,12�PCD135 �

8-,12�PCD185 �

L V40 V55 V70 V85 V100 V150

M 14 15. 5 23 23 21 28

N S10 S20 S30 S40 S5 0 S 75��수냉타입의 경우는 형식 말미에-W.붙어있습니다. 예:IHF010W ��상기치수는 예고없이 변경 할 수 있습니다. 사전에 �양해 부탁드립니다.

/

0,1

,2

수냉용나사구멍위치

34

5

6 7 8

9

:

���,;

�*개

소�

,1

,2

,6

수냉용나사구멍위치

34

<

5

7

9

:

��,;

�*개

소�

일반�+초고진공�사양 참고치수표

8

�압력�진공��E�9P a�상온�

�허가He리크 량 �9.9E �12 Pa�m3/s 이하

�사용온도� 상온 +22 0�

�사용분위기� 활성가스�불활성가스

사 양

참고치수표

ASF type

기호 ASF010 ASF020 ASF030 ASF040 ASF050A 10h7 2 0h7 30h7 40h7 50h7

B 129 164 191 217 241

C 7 9 94 101 107 112

D 44 63 78 91 106

E 2 5 35 45 55 65

F 7 0 114 152 152 152

G 1 3 18 21 21 21

H 6-,6.6�PCD58.7 �

8-,8.4�PCD92.1 �

16-,8. 4�PCD130.2 �

16-,8. 4�PCD130.2 �

16-,8. 4�PCD130.2 �

I 14 25 32 45 55

J 2.5 3.5 4 5 6

K 4 6 8 12 16

L ICF70 ICF114 ICF152 ICF152 ICF152

M 9 9 9 9 9��수냉타입의 경우는 형식 말미에-W.붙어있습니다. 예:ASF010W

��상기치수는 예고없이 변경 할 수 있습니다. 사전에 �양해 부탁드립니다.

치수표 이외의 형상�사양에 대해서도 제작해드립니다.

가까운 지점 또는 대리점으로 편히 문의해주십시오.

/

0,1

,2

수냉용나사구멍위치

34

5

6 7 8

9

:

��,;

�*개

소�

��

극고진공사양 참고치수표

9

�차압�1k Pa�10 kP a�

�사용온도� 상온+16 0��+20 0��

�주속�+3m /s�+6m/s�

�사용분위기�활성가스�불활성가스

사 양

참고치수표

더스트씰은 주로 대기로부터 먼지, 티끌의 혼입방지나

베어링구리스로부터 발생하는 오염 성분의 혼입을

방지하는 목적으로 사용합니다. 더스트 씰은

샤프트(회전축)와 자석과 두개의 폴피스(자석편)로부터

자기회로를 형성하고 샤프트와 자극과의 빈틈에

자성유체를 유지하는 것에 의해 구성됩니다.

자력선

자성유체

샤프트

폴피스 영구자석

7

,;

,9

샤프트 직경

,A�mm�

더스트씰외경

,B�mm�

씰 두께

C�mm�

10 20 420 30 430 40 440 50 550 60 560 70 570 80 580 90 590 100 5

100 120 6110 130 6120 140 6130 150 6140 160 6150 170 6160 180 6170 190 6180 200 6

�상기치수는 예고없이 변경 할 수 있습니다. 사전에 양해 부탁드립니다.

더스트씰

13

진공씰 성능 비교

사용진공영역사용온도영역

(수냉없음 ） 회전속도허용전달

토르크

발진

0.1μｍ이상

수명

진공중 베어링지지의필요성

개략도

진공유체

진공씰

～극고진동（자성유체의성능에의함)

～200℃ 고속회전

대

（축강도에 의존）

극소

장

（베어링에의존）

없음

마그넷

커플링

～고진공（베어링에

의존）

～80℃（베어링에

의존)

저속회전

작음

（로스트모션있음)

대

（베어링에의존）

중 필요

오링

씰～고진공 ～50℃ 저속회전

대

（축강도에 의존）

대

（구리스에의해발진）

단 없 음음

오일

씰～고진공 ～50℃ 저속회전

대

（축강도에 의존）

대

（구리스에의해발진）

단 없음

14

1. 용제나 액체(아세톤, 알콜, 물, 기름 등)및 이물

�F고형물, 티끌 등)이 자성유체씰의 내부에 들어가지

않도록 주의하여 주십시오. 씰 성능 저하의 발생원인이

됩니다. 또, 자성유체씰의 외부를 세정하는 경우에는

클린룸용 와이퍼에 에틸알콜이 흘려내리지 않을 정도의 소량

을 묻혀 행하여 주십시오. 에틸알콜이 흘러내릴 정도의 양

을 묻힌 경우에는 자성유체 씰의 내부에 들어갈 수 있어

그 결과 씰 성능 저하의 발생 원인이 되기 때문에 주의

하여 주십시오.

2. 진공씰에 있어 리크테스트를 실시하는 경우에는 He

리크 디텍터에서 실시하고 알콜 등의 용제를 사용한

리크테스트는 절대로 실시하지 않도록 해주십시오.

용제가 자성유체씰의 내부에 들어 갈 수 있어 씰 성능

저하의 발생 원인이 됩니다.

3. 자성유체씰에 규정 이상의 압력을 가하지 않도록 해주십

시오. 진공사양의 경우는 98kPa, 가압사양의 경우는

납입사양서 또는 납입도면에 정해져있는 최대압력까지

로 하여 주십시오.

4. 불활성가스 사양의 자성유체씰은 활성가스 분위기하에서는

자성유체의 변질이나 구성부재의 노후 등에 의한 씰

성능 저하가 일어날 수 있는 가능성이 있습니다.

따라서 활성가스중에는 사용하지 말아 주십시오. 또,

활성가스 사양의 씰이여도 납입사양서 또는 납입도면에

정해져있는 가스종류 이외의 가스분위기에서는 자성유체

의 별질 등에 의한 씰 성능 저하의 가능성이 있습니다. 이

때문에 규정 가스 이외의 가스중에는 사용하지 말아주십시오.

5. 자성유체씰에 낙하와 래머로 때리는 등의 충격을 주지

말아 주십시오. 내부의 베어링이나 구조부품이 손상받을

수 있습니다. 만약 낙하한 경우에는 이상의 유무를 확인하여 주십

시오. 확인 결과, 이상이 발견된 경우에는 사용하지

말고 교환하여 주십시오. 표명상에 상처 등이 없어도

내부가 파손되거나 변형되어있는 가능성이 있습니다.

6. 장치에 설치할 때에는 반드시 심출을 실시하여 이음

에는 커플링을 사용하여 주십시오. 편심이 있으면 편심중의

작용�등에 의해 씰 성능이 저하 될 가능성이 있습니다.

7. 수냉사양의 경우에는 수도수 또는 수도수와 동질의 상온

냉각수를 매분1~3리터 정도 흐르게 하여 씰의 냉각을

실시하여 주십시오. 단, 냉각 시에는 결로 하지 않도록

주의하여 주십시오. 결로하면 씰 성능 저하와 회전 이상

의 발생 원인이 됩니다.

8. 씰에 자석�스피커 등 자력을 갖고 있는 것을 가까이 하지 말아 주십

시오. 자기의 영향을 받아 씰 기능에 영향이 있을 수

있습니다.

9. 진공씰을 처음 사용하시는 경우에는 장시간 운행정지

후에 진공빼기를 실시한 경우, 초기에 약간의 일시적 압력

상승이 일어날 수 있습니다. 또, 정지�보관기간의

경과와 함께 기동손실토르크가 증대할 수 있습니다.

이 현상은 자성유체의 분압 랠런스와 편석에 의한 것

입니다. 따라서 진공빼기 전에는 충분한 일정 회전

F*(회전 이상)을 실시하여 주십시오.

10. 진공씰을 활성가스 분위기에서 사용하는 경우 챔버

를 대기 개방하는 때에는 씰의 성능 안정화를 위하여 N 2

가스에 의한 사이클퍼지를 실시하여 주실 것을

권하여 드립니다.

11. 습기나 먼지가 많은 장소�온도 변화가 심한 장소에서

보관하지 말아주십시오. 가능하면 클린룸 등의 온도

�습도 관리된 환경에서의 보관을 권장하여 드립니다.

또, 사용 직전까지 진공백을 개봉하지 말아 주십시오.

운용 시의 주의 사항

1. 운용 중에는 제품을 만지지 말아 주십시오.

2. 운용 중 진공씰 기인의 압력 이상이 생각되는 경우는

장치를 정지하고 He리크테스트를 실시하여 주십시오.

그 결과 진공씰이 리크의 원인이라면 장치로부터 떼어

내어 진공씰을 교환하여 주십시오.

3. 회전 이상의 경우에는 장치를 정지하고 축을 수동으로

회전시켜 주십시오. 그 결과 이상이 발견된 경우에는 씰

을 교환하여 주십시오.

4. 씰을 낙하시키는 등의 큰 회력이 씰에 가해졌을 경우에는

바로 운용을 멈추고 리크테스트 및 수동으로 축을

회전시켜 이상의 유무를 확인하여 주십시오. 그 결과

이상이 발견된 경우에는 씰을 교환하여 주십시오.

�자성유체씰을 개조 또는 분해 등을 하지 말아 주십시오.

�부적합 발생시에는 씰을 분해하지 않고 폐사 영업 창구에 연락하여

주십시오.

�씰을 개조�분해 등을 하였을 경우 품질보증을 하여 드리기

어렵기 때문에 주의하여 주십시오.

취급 상의 주의 사항

자성유체씰 사용 시 주의 사항

�GHIJKLMNOPQRSTUVWXYZ[\] _ aZPbcdeWfgKh

ijklmInogpLK[qrstSuvwxkyz{|}M~�P��]V[�PbS

��PqrI��LMS��P��S��Iz[�������V��^_LMa�VK��_ aZh

���PqrI_Q�LMS��u����Q�cqrWfgKh

��IJKLPy K�¡¢M£nP�¤¥¦

Please contact the following Eagle Industry branches and representative of fices for product information.

§¨�©x�ªx

NOK CORPORA TION

«¬­® ¯105-8585 «¬°±²³? 1-12-15 µ¶·¸ «�¬�03�3432-3376¹º»­® ¯460-0022 ¹º»¼A²½¾ 1-14-18 ½¾¿ÀkxÁÂÃÄ ¹º»�052�331-2200?ÅÆ�­® ¯532-001 1 ?żÇȲÉAÊ 6-1-1 Ë?ÅÁÌÃÍkÎx ?�Å�06�6304-6780?ÅÆÏ­® ¯532-001 1 ?żÇȲÉAÊ 6-1-1 Ë?ÅÁÌÃÍkÎx ?�Å�06�6304-6780�@ÐÑ¤Ò ¯923-0926 ÓÈÔ@мÕÖ× 36 @Ы¬ØÙÚÛ·¸wÜÀm @�Ð�0761�23-1415

ÝÞ­® ¯980-0021 ÝÞ¼ßà²Aá 3-2-1 ßàâÁÌã Ý�Þ�022�267-2441äå­® ¯310-0026 äå¼æ× 1-2-4 äåæ×Æ�çè·¸ ä�å�029�226-801 1é°ê­® ¯320-081 1 é°ê¼?â 2-4-3 ëì̸kçèé°ê?â ·¸ é°ê�028�632-1421íî­® ¯360-0037 ïðÔíî¼ñò 3-4 íîóÚôõÏ·¸ í�î�048�527-561 1Ði­® ¯390-0815 ö÷ÔÐi¼øù 2-5-26 ÐiÆ�·¸ Ð�i�0263�38-1166úû­® ¯215-0004 Èü¼ýç²þ�� 1-1-1 Ë������Ü·¸wÜÀm È�ü�044�969-5910È­® ¯243-0016 ÈÔ��¼ �× 8-10 óÚçè�� �×·¸ ����046�224-4121��­® ¯417-0001 ��Ô��¼�æ�äø 429-5 ����0545�52-71 10�Э® ¯430-7715 �мA²�»× 111 -2 �Ð���kÎx ��Ð�053�453-5101��Æ�­® ¯446-0057 ��Ô��¼����«× 1-6-29 ����0566�71-3 111��ÆÏ­® ¯446-0057 ��Ô��¼����«× 1-6-29 ����0566�71-3 111�Ê­® ¯732-0052 �ʼ«²�× 2-5-5 NO K �Ê·¸ ��Ê�082�263-8240

��­® ¯812-0013 ��¼ ú² ú!« 2-2-2 ú«"#x·¸ ����092�472-1555

Ø$Ѥ% ¯105-8585 «¬°±²³?´ 1-12-15 µ¶·¸ «�¬�03�3432-6976

Overseas Sales & Marketing Department Sales & Marketing Division Tokyo �03�3432-6976 1-12-15 Shiba Daimon, Minato-ku, To kyo, Japan. Zipcord 105-8585.

äå­®� ¯310-0026 &�Ôäå¼æ× 1-2-4 äåæ×Æ�çè·¸ ä�å�029�231-3225'(«­®� ¯367-0041 ïðÔi)¼!* 2-3-15 �+,!*Æ�·¸ i�)�0495 �24-591 1«¬­®� ¯210-0005 ÈÔÈü¼Èü²« × 8�-Âx¸�.· È�ü�044�200-9660¹º»­®� ¯460-0022 ��Ô¹º»¼A²½¾ 1-14-18 �½¾¿ÀkxÁÂÃÄ ¹º»�052�339-1600?Å­®� ¯532-001 1 ?Å/?żÇȲÉAÊ 6-1-1 Ë?ÅÁÌÃÍkÎx ?�Å�06�4805-1230å­®� ¯673-0892 01Ô2Ó¼i× 2-1-26 �#3¿Ã2Ó·¸ 2�Ó�078�917-4860�Ê­®� ¯732-0052 �ÊÔ�ʼ«²�× 2-5- 5�NO K �Ê·¸ ��Ê�082�263-803045­®� ¯841-0026 67Ô89¼i89×�é: 382-2 � 6�7�0942 �81-354 1

;8�¤<=%�¯105-8587 «¬°±²³? 1-12-15 µ¶·¸ «�¬�03�3438-2394SI Corporate Planning Department 1-12-15, Shiba Daimon, Minato-ku, To kyo, Japan. Zipcord 105-8587

Ãxm¸ì¸m>Àë?-À�@����EagleBurgmann Japan Co ., Ltd.ÝÞ­®� ¯982-0012 ê�ÔÝÞ¼AB²ö×* 3-3-43 ö×*QCDV· Ý�Þ�022�304-520 7«Úi­®� ¯290-0055 EàÔ¼F¼G.« 1-16-3 E�à�0436�24-8181«Úi­®��ËHѤ¥� ¯943-0805 ËHÔÙI¼� 2-1-1 ¾¶· Ë�H�025�527-4151«Úi­®��JKѤ¥� ¯314-0143 &�Ô9¼9 3-7-26 �9�0299�91-1330¬�­®�� ¯210-0848 ÈÔÈü¼Èü²¬× 1-17-13 È�ü�044�355-8734¬�­®��LMѤ¥� ¯064-0806 'ØNLM¼Aá²*OPÉ 1-5�6.1·¸ L�M�011�511-7375«Ø­®�� ¯510-0064 �QÔRÚ¼¼Ëµ 4-3-15 RÚ¼�059�355-9600?Å­®�� ¯591-8025 ?Å/S¼öTU× 3003-2 æ�'�072�256-360 0ÉÚi­®�� ¯712-8044 �¾ÔVW¼«X 7-11-20 ä�Ê�086�456-5696ÉÚi­®��YZѤ¥� ¯671-1252 01ÔYZ¼[\²]G«× 160 Y�Z�079�271-653 1A^­®�� ¯746-0024 ¾_Ô`*¼ºæ 2-1031-3 `�*�083 4�63-764 845­®�� ¯841-0026 67Ô89¼i89×�é: 382-2 6�7�0942�84-9889

Eagle Industry Co ., Ltd.

abc 4�������deefffg h�igj�gk�e

a bc 4�������deefffg �iigj�gk�e

?lmÃÀn�qr�LKaZh