クリーンシリーズ - thk...吸引量 70×10‒3 m3/min（70 ℓ/min）作用荷重なし ...

197

クリーンシリーズClean Series

CSKR コンパクトシリーズ　クリーンタイプ

CGL ユニバーサルシリーズ　クリーンタイプ

クリーン環境に最適

CSKR

CGL

Model:

アクチュ各扉.indd 197アクチュ各扉.indd 197 10.3.15 7:17:20 AM10.3.15 7:17:20 AM

198

CONTENTS

特　　長 P.199シリーズ一覧 P.203CSKR形番構成 P.206CSKRスペック P.207

CSKR20 P.209

CSKR26 P.210

CSKR33 P.211

CSKR46 P.212CSKRオプション P.213CGL形番構成 P.222

CGL15N P.223

CGL20N P.224CGLオプション P.225

対応制御機器

※ CSKR20/26/33のみ対応QT

LXA

HS–LXM P.261

P.279

P.297

アクチュ各扉.indd 198アクチュ各扉.indd 198 10.3.20 2:56:18 AM10.3.20 2:56:18 AM

CSKR/CGLは、SKR, GL‒Nを使用したクリーンアクチュエータです。

シールシート

スライダ

カバー

エンドカバー

モータブラケット

コンパクトシリーズSKR

吸引継手

CSKR 構造

モータプレートカバー

スライダ

シールシート

エンドプレートカバーカバー

横カバーブロックテーブル

ボールリテーナ入りLMガイド

ボールねじグリースニップル

吸引継手モータブラケット

モータプレート CGL 構造

CSKR/CGLクリーン環境に最適

クリーンシリーズ

199 CSKR/CGL

Clean ser iesエコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

オプション仕様・寸法図スペック形番シリーズ一覧特長

P199-212_クリーンシリース�.indd 199P199-212_クリーンシリース�.indd 199 10.3.20 2:55:10 AM10.3.20 2:55:10 AM

シールシートを用いた独自のカバーリング機構により、CSKR20/26ではクリーン度ISO14644‒1※1クラス3（FED209Eクラス1相当）※2、CSKR33/46, CGLではクリーン度ISO14644‒1※1クラス4（FED209Eクラス10相当）※2を達成しました。

1低発塵構造

CSKR33/46, CGLではISO14644‒1※1クラス4（FED209Eクラス10相当）※2の環境下において、最高速度2000mm/sの連続動作※3が可能です。

2高速

CSKRはLMガイド部、ボールねじ部にボールリテーナを採用（CSKR20/26はLMガイド部のみにボールリテーナを採用し、ボールねじ部には潤滑装置QZを装着しています）しており、CGLもボールリテーナ入りLMガイドと潤滑装置QZ（LMガイド、ボールねじに取付け可能※4）を採用することにより、長期メンテナンスフリーを実現しました。

3長期メンテナンスフリー

CSKRは、U字形断面形状のアウタレールを採用し、CGLは実績のあるGL‒Nのアルミ製ベースを採用しているので、高剛性です。

4高剛性

形番断面2次モーメント質量

Ix［mm4］ Iy［mm4］［kg/m］CSKR20 6.0×103 6.14×104 2.6CSKR26 1.66×104 1.48×105 3.9CSKR33 5.35×104 3.52×105 6.1CSKR46 2.05×105 1.45×106 12.6CGL15N 1.61×105 2.47×106 4.9CGL20N 3.15×105 4.28×106 6.47※

※ LMガイドの形番がSSRの場合、質量は6.69kg/mとなります。

Y軸

X軸

重心点

CSKR, CGLは、低発塵特性に優れたAFE‒CAグリース（THK製）とクリーン仕様のワンタッチ管継手CSKR：KPQL（SMC㈱製）、CGL：KPQH12‒03（SMC㈱製、適応チューブ外径∅12mm）を採用しています。

5クリーン仕様

※1　ISO14644‒1はJIS B9920相当です。※2　クラス3またはクラス4を達成するには、吸引継手から吸引が必要です。※3　潤滑剤にTHK AFE‒CAグリースを使用した場合です。

※4　オプション対応となります。詳しくはTHKまでお問い合わせください。

特長

200CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ



発塵試験

測定方法（CSKR）

測定結果CSKRの50時間連続動作（最高速度2000mm/s）の評価結果

CSKRのクリーン度の評価結果

　空気流入口：流入量 0.3×10‒3m3/min

流速：0.25m/s測定空気量：1×10‒3m3

アクリルカバー

試験環境：クリーンベンチ内

ＣSＫＲ

吸引ポンプへ接続

パーティクルカウンタへ抽出サンプリングチューブ

項目内容形番 CSKR3320B（精密級）

ストローク 289 mm速度 2000 mm/s加減速度 14.7 m/s2（1.5 G）吸引量 70×10‒3 m3/min（70 ℓ/min）作用荷重なし

項目内容

測定機器パーティクルカウンタ（KC‒18 リオン㈱製）測定部流速 250 mm/s空気流入量 0.3×10‒3 m3/min（0.3 ℓ/min）測定空気量 1×10‒3 m3（1 ℓ）測定時間 50 h

1

10

100

1000

10000

100000

0.1以上 0.2以上 0.3以上 0.4以上 0.5以上粒子径［μm］

粒子濃度［個/m³］

クラス1上限クラス2上限

クラス3上限

クラス4上限

クラス5上限

クリーン度クラス：ISO14644‒1

2

0

5

10

15

20

0.1以上 0.15以上 0.2以上 0.3以上 0.5以上粒子径［μｍ］

発塵量［個/ℓ］

最大値

×10³（ISO14644‒1に適応）

2最大値

1最大値

0.03平均値

0.03平均値

0.02平均値 1

最大値

0.02平均値 1

最大値

0.01平均値

形番ストローク[mm]

速度[mm/s]

加減速度[m/s2]

吸引量※1

×10‒3[m3/min]クリーン度※2

（ISO14644‒1）CSKR2006A（精密級） 129 600 4.9 12 3CSKR2606A（精密級） 206 600 4.9 24 3CSKR3320A（精密級） 365 2000 14.7 56 4CSKR3320B（精密級） 489 1200 4.9 60 4CSKR4620A（精密級） 369 2000 14.7 80 4CSKR4620B（精密級） 659 800 4.9 46 4

※1　吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。※2　クリーン度については使用される条件により異なります。

単位：個/m3

粒径クラス1 クラス2 クラス3 クラス4 クラス5 クラス60.1μm以上 10 100 1000 10000 100000 10000000.2μm以上 2 24 237 2370 23700 2370000.3μm以上－ 10 102 1020 10200 1020000.5μm以上－ 4 35 352 3520 35200

ISO14644‒1に基づくクリーン度の上限濃度

201 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ



CGL20‒082‒HVの50時間連続動作（最高速度2000mm/s）の評価結果

CGL

試験環境：クリーンベンチ内

アクリルカバー

吸引ポンプへ接続

サンプリングチューブパーティクルカウンターへ抽出

流速：0.25m/s測定空気量：1×10‒3m3

　空気流入口：流入量 0.3×10‒3m3/min

項目内容形番 CGL20N（ボールねじリード40mm）

ストローク 520 mm速度 2000 mm/s

加減速度 9.8 m/s2（1 G）吸引量 88×10‒3 m3/min（70 ℓ/min）作用荷重なし

項目内容

測定機器パーティクルカウンタ（KC‒18 リオン㈱製）測定部流速 250 mm/s空気流入量 0.3×10‒3 m3/min（0.3 ℓ/min）測定空気量 1×10‒3 m3（1 ℓ）測定時間 50 h

クラス1上限

クリーン度クラス：ISO14644‒1

1

10

100

1000

10000

100000

0.1以上 0.2以上 0.3以上 0.4以上 0.5以上

粒子濃度［個/m³］

クラス2上限

クラス3上限

クラス4上限

クラス5上限

0

5

10

15

20

0.1以上 0.15以上 0.2以上 0.3以上 0.5以上

粒子径［μｍ］粒子径［μｍ］

発塵量［個/ℓ］

×10³（ISO14644‒1に適応）

3最大値

0.20平均値

3最大値

0.17平均値

3最大値

0.16平均値

2最大値

0.13平均値

1最大値

0.08平均値

CGLのクリーン度の評価結果

形番ストローク［mm］

速度［mm/s］

加減速度［m/s2］

吸引量※1

×10‒3[m3/min]クリーン度※2

（ISO14644‒1）CGL15N（ボールねじリード30mm） 520 1500

9.807

80 4CGL15N（ボールねじリード30mm） 1134 595 48 3CGL20N（ボールねじリード40mm） 520 2000 88 4CGL20N（ボールねじリード40mm） 1480 673 56 3

※1　吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。配管抵抗は配管長さや配管径に起因する抵抗値で、流量を損失させますのでご注意ください。※2　クリーン度については使用される条件により異なります。

測定方法（CGL）

測定結果

202CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ



シリーズ一覧

形番ボールねじリード［mm］

精度等級ストローク※1

［mm］定格速度※2

［mm/s］モータ定格出力［W］

最大可搬質量※3［kg］

水平垂直

CSKR201

並級･上級・精密級～13050

5010 3

6 300 10 6

CSKR262


5022 14

6 300 22 7

CSKR336


10035 19

10 500 30 1220 1000 24 6

CSKR46

10


500200

77 1820 1000 51 810 500

40077 36

20 1000 72 18

形番ボールねじリード［mm］

ストローク※5

［mm］定格速度※2

［mm/s］モータ定格出力［W］

最大可搬質量※3［kg］

水平垂直

CGL15N

5～1010

240 100 60 1310 500

20060 16

16

～1190

800 50 720 1000 45 1020 1000

40060 16

30 1500 30 10

CGL20N

5～1180

200200

70 2310 500 70 1520

～15401000 29 6

20 1000400

60 1540 2000 13 6

※1　CSKRのストロークは、スライダタイプがAタイプ時の値です。※2　定格速度は、モータの定格回転数（3000min‒1）もしくはボールねじの許容回転数によって制限される速度です。※3　最大可搬質量は、定格速度時、加減速度0.3G時（リード6mm以下は0.15G）の質量です。※4　最高速度は、モータの回転数（CSKR：6000min‒1, CGL：3000min‒1）時、もしくはボールねじの許容回転数によって制限される速度です。ご使用のコントローラによって、

モータの回転数が制限される場合があります。※5　CGLのストロークは、Sテーブル時の値です。

203 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ



各ストローク※1における最高速度※4［mm/s］掲載ページストローク［mm］

100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000100

P.209600200

P.210600

600 550 390P.2111000 920 650

2000 1780 12701000 550 430

P.2122000 1980 1080 840

1000 550 4302000 1980 1080 840

各ストローク※1における最高速度※4［mm/s］掲載ページストローク［mm］

100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 1100 1200 1300 1400 1500 1600240 200 140

P.223

500 390 270800 680 470 3401000 770 540 3901000 770 540 3901500 1170 810 590

200 180 130

P.224500 390 270 200

1000 760 560 420 3301000 760 560 420 3302000 1530 1120 860 670

204CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ



定格荷重とラジアルすきま

CSKR形番 CSKR20 CSKR26 CSKR33 CSKR46

ボールねじリード［mm］ 1 6 2 6 6 10 20 10 20

LMガイド部

基本動定格荷重C［N］ 6010 13000 17000 39500基本静定格荷重C0［N］ 8030 16500 20400 45900

ラジアルすきま［mm］並級・上級 ‒0.004～0 ‒0.006～0 ‒0.004～0 ‒0.006～0精密級 ‒0.006～‒0.004 ‒0.007～‒0.006 ‒0.012～‒0.004 ‒0.016～‒0.006

ボールねじ部基本動定格荷重Ca［N］

並級・上級660

8602350

19504400 2700 2620 4350 4240

精密級 1060 2390

基本静定格荷重C0a［N］並級・上級

11701450

40203510

6290 3780 3770 6990 7040精密級 1600 3900

軸受部（固定側）

アキシアル方向

基本動定格1150 2000 6250 6700

荷重Ca［N］基本静定格

735 1230 2700 3330荷重P0a［N］

注） LMガイド部の荷重は、インナブロック1個あたりの定格荷重です。

CSKRの代表的な形番です。

種類

CSKR‒A（スライダＡタイプ）

CSKR‒Aのインナブロックを2個付きにして、スライダ全長を長くしたタイプです。

CSKR‒B（スライダBタイプ）

205 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ



206CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

本体のみ（モータ無し） CSKR3310A–0295–P0–CAN

本体のみ（モータ付き） CSKR3310A–0295–P1–CAN

HS‒LXMコントローラ選択の場合 CSKR3310A–0295–PH–CAN/M10BSRS02D2S53

LXA, LXA‒S, QTコントローラ選択の場合 CSKR3310A–0295–PL–CAN/M10BSRS02S5

形番構成

クリーンシリーズ（CSKR）

⑥ 制御機器種類 HS‒LXM → P.261 LXA → P.279 QT → P.297⑦ センサ P.219⑧ モータブラケット P.213⑨ ベースプレート P.220⑫ モータケーブル向き P.252⑬ 原点方式 P.253


形番により選択できるボールねじリードが異なります。CSKR20：「01」、「06」CSKR26：「02」、「06」CSKR33：「06」、「10」、「20」CSKR46：「10」、「20」

「0」を選択した場合、カップリングは付きません。カップリングが必要な場合はご指示ください。「1」はご指定のモータを取付けます。指定モータに合わせたモータブラケットを選択してください。カップリング、ドライバ、コントローラは貴社にてご選定ください。

「Ｈ」、「Ｌ」、「LS」、「Ｑ」を選択した場合、各コントローラに対応したモータを取付けます。Ｈ：Ｊ3シリーズ（三菱電機㈱製）50～750WＬ：Ｊ3シリーズ（三菱電機㈱製　ＬＸＡ専用）50～400WLS：J3シリーズ（三菱電機㈱製　ＬＸＡ‒S専用）50～400WＱ：ＴＳ45もしくはＴＳ46（多摩川精機㈱製）30～100W

各社モータを取付け可能です。詳しくはTHKまでお問い合わせください。

原点方式「D00」、「R00」→センサ「0」

センサで「0」を選択して、原点センサ仕様

「S02」、「S20」、「S03」、「S30」を選んだ場合は、近接センサE2S-W23B（オムロン㈱製）を指定箇所に取付けます。

CSKR20、CSKR26、CSKR33は、制御機器種類で「Q」を選択した場合、原点センサ仕様「S＊＊」は選択できません。

モータケーブル、モータ電磁ブレーキケーブル（電磁ブレーキ付きモータをご指定の場合のみ）、エンコーダケーブル、原点用近接センサケーブル（原点センサ方式をご指定の場合のみ）の種類、長さです。

注2. CSKR20‒Ｂ、CSKR26‒Bは「D＊＊」を選択できません。 CSKR33‒B、CSKR46‒Bは「R＊＊」を選択できません。

詳細内容ページ

形番構成例

「H＊」はHS‒LXMコントローラ選択時のみ指定できます。

モータ有無/制御機器種類で「H」を選択した場合、⑩～⑯の指定が必要です。「L」、「LS」、「Q」を選択した場合、⑩～⑬、⑮の指定が必要です。

HS‒LXM、LXA、LXA‒S、QT共通属性 HS‒LXM専用属性HS‒LXM、LXA、LXA‒S、QT共通属性

HS‒LXM専用属性

形番ボールねじリード

スライダストローク精度

モータ有無/制御機器種類

センサモータブラケットベースプレート

モータ定格出力

モータ取付方法

モータケーブル向き

原点方式

アンプ電圧

ケーブル種類、長さ軸番号

CSKR26 06 A − 0210 − P H − C A N / M05B S R S02 D1 S3 4

① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬ ⑭ ⑮ ⑯

CSKR20 01：1mm A0030：30mm

無記号：並級 0：モータ無し 0：無し A N：無し M03:30W S：直結 R：右側 S02

D1：100V S3：標準3m 1：1軸目

CSKR26 02：2mm B0045：45mm

H：上級 1：モータ付き 2 B

B：ベースプレート付き M05:50W U：上側 S20

D2：200V S5：標準5m 2：2軸目

CSKR33 06：6mm 〜P：精密級

H：HS‒LXMコントローラ 6 C M10:100W L：左側 S03

無記号：アンプ無し SA：標準10m 3：3軸目

CSKR46 10：10mm0790：790mm

L：LXAコントローラ C D M20:200W D：下側 S30 H3：高屈曲3m 4：4軸目

20：20mm

LS：LXA‒Sコントローラ E E M40:400W D00 H5：高屈曲5m 5：5軸目

Q：QTコントローラ F

M03B:30Wブレーキ付き R00 HA：高屈曲10m 6：6軸目

G M05B:50Wブレーキ付き 7：7軸目

H M10B:100Wブレーキ付き 8：8軸目

I M20B:200Wブレーキ付き

J M40B:400Wブレーキ付き

｢D1｣、｢D2｣は、HS-LXMコントローラ選択時の専用属性です。LXA、LXA-S、QTコントローラ選択時は、｢無記号｣としてください。

P199-212_クリーンシリース�.indd 206P199-212_クリーンシリース�.indd 206 10.4.12 4:39:25 PM10.4.12 4:39:25 PM

精度規格

繰り返し位置決め精度任意の一点に同じ方向からの位置決めを７回繰り返して、停止位置を測定し、読みの最大差の１/２を求めます。この測定を原則として、移動距離の中央および、ほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうちの最大のものを測定値とし、最大差の１/２に±の符号をつけて表示します。

t1

t2

t3

単位：mm

形番ストローク※繰り返し

位置決め精度位置決め精度

走り平行度（上下方向）

バックラッシ起動トルク[N・cm]

CSKR2030

±0.01

規定無し規定無し

0.02 0.880130

CSKR26

60

±0.01 0.02 2.3110160210

CSKR33

45

±0.01 0.02 8.7

95195295395495595

CSKR46

190

±0.01 0.02 12.3

290390490690790

並級（無記号）

繰り返し位置決め精度

位置決め精度最大ストロークを基準長さとしストローク開始位置から実際に移動した距離と指令値との最大誤差を絶対値で表示します。

（＋）

（－）

ΔA

ΔA（誤差）

0

ΔA = 実移動距離－指令値の移動距離

ストローク

実移動距離

位置決め精度

直定規走り平行度（上下方向）CSKRを取付けた定盤上に直定規を置き、テストインジケータで、インナブロックの移動距離のほぼ全域にわたり測定し、移動距離内の読みの最大差を測定値とします。

走り平行度

バックラッシ

送りねじ送り

戻り

負荷荷重変位（含弾性変位）

バックラッシインナブロックに送りをかけて、わずかに動かしたときのテストインジケータの読みを基準とし、その状態から送り装置によらず、インナブロックに同方向（テーブル送り方向）から負荷を加え、その後開放したときの基準と戻りとの差を測定値とします。この測定を動きの中央およびほぼ両端のそれぞれの位置で行い、求めた値のうち最大のものを測定値とします。バックラッシ

※ スライダAタイプのストロークです。

207 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ



単位：mm





CSKR2030

±0.005 0.06 0.025 0.01 0.880130

CSKR26

60

±0.005 0.06 0.025 0.01 2.3110160210

CSKR33

45

±0.005

0.06 0.025

0.02 8.7

95195295395

0.1 0.035495595 0.12 0.04

CSKR46

190

±0.0050.1 0.035

0.02 12.3

290390490690

0.15 0.05790

単位：mm





CSKR2030

±0.003 0.02 0.01 0.003 1.980130

CSKR26

60

±0.003 0.02 0.01 0.003 6.1110160210

CSKR33

45

±0.003

0.02 0.01

0.003 18.3

95195295395

0.025 0.015495595 0.03 0.02

CSKR46

190

±0.0030.025 0.015

0.00318.3

290390490690

0.03 0.02 20.7790

精密級（P）

上級（H）

※ スライダAタイプのストロークです。

208CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ



仕様

CSKR20 クリーンシリーズ　SKRタイプ高さ39袢　ストローク：30～130袢　モータ定格出力：50W

モータ定格出力［W］ 50ボールねじリード［mm］ 1 6定格速度※1［mm/s］ 50 300

最大可搬質量※2※3

［kg］

水平加減速度

0.15G 10 100.3G 10 10

垂直0.15G 3 60.3G 3 6

定格推力※3※4［N］ 245 134最大推力※3※5［N］ 245 245

電磁ブレーキ保持力※3［N］ 1608 268吸引量の目安※6×10‒3［m3/min］ 3～12

※1　定格速度は、モータの定格回転数（3000min‒1）時の速度です。

※2　最大可搬質量は、定格速度時の質量です。※3　HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※4　定格推力は、モータの定格トルク時、または許容

荷重によって制限される値です。※5　最大推力は、モータの瞬時最大トルク時、または

許容荷重によって制限される値です。※6　吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。

ストローク［mm］（メカストッパ間ストローク）

Aタイプ 30（40.9） 80（90.9） 130（140.9）　Bタイプ※1 － 35（44.9） 85（94.9）

最高速度※2［mm/s］ボールねじリード：1mm 100ボールねじリード：6mm 600

寸法［mm］

　　　AL※3※4※5 238.6（279.7） 288.6（324.7） 338.6（379.7）　　　ML※3※4※5 66.4（107.5）

CL 166.2 216.2 266.2G 69 64 59C 60 120 180n 2 3 4E 50 100 150

質量※7［kg］モータ無し（メカのみ） 0.9 1.0 1.2モータ付き※3※4※6 1.3（1.6） 1.4（1.7） 1.6（1.9）

※1　スライダ2個密着の場合の仕様値です。※2　最高速度は、モータの回転数（6000min‒1）時、も

しくはボールねじの許容回転数によって制限される速度です。ご使用のコントローラによって、モータの回転数が制限される場合があります。

※3 　（　　）内はブレーキ付きの値です。※4　HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※5　 QTコントローラ選択時はAL：50W‒6.9mm

（ブレーキ付きより‒12.4 mm）加算されます。※6　 QTコントローラ選択時はモータ付き質量：50W＋

0.05kg（ブレーキ付きより‒0.05kg）加算されます。※7　スライダ2個付き（Bタイプ）の場合の質量は、0.3kg

加算されます。

寸法

Ａ部詳細

スライダＡタイプ詳細図スライダＢタイプ詳細図Ａ矢視

スライダＡ（１０．７）スライダＢ（9．７）

60C

ＭＬＡＬ

6ストローク

8

（CL）

Ａ部

74２‒吸引口∅６チューブ用　接続ねじＲ１/８

２×ｎ‒Ｍ３深サ５

55

21.1 ３９

（スライダ高さ）

（21） 53

48

E

４６（スライダＡ）62.3

18

5.8

4.6

46４‒Ｍ３深サ５

４‒Ｍ２．６深サ４

２‒∅２．５Ｈ７深サ３

１５深サ１．５7

20３２±０．０２

23 18

４‒Ｍ２．６深サ４１５深サ１．５

7

３２±０．０２

92

1.2

4.3

2.4

28 28 1823

50

20

２‒∅２．５Ｈ７深サ３８‒Ｍ３深サ５

９２（スライダＢ）

24 24

G

8（23）

∅4h7

∅20H7

30°

30°

PCD29

33.6

４‒３．４キリ通シ

４‒Ｍ３深サ６

13

9.5

（5.5）※ （1.2）スライダＡ（5.4）スライダＢ（4.4）

3.8

14

A

注）吸引継手は両側どちらでも取付け可能です。

※ メカストッパからストローク開始位置までの寸法です。

209 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

～

300

～

25

～

600

～

1000

～

60

～

1500

～

2000

～

100

1500

～

2000

～

100

～

ストローク［袢］

（水平）可搬質量［裴］

定格速度

［袢/s］



仕様


寸法

モータ定格出力［W］ 50ボールねじリード［mm］ 2 6定格速度※1［mm/s］ 100 300


［kg］

水平加減速度

0.15G 22 220.3G 22 22

垂直0.15G 14 70.3G 14 7

定格推力※3※4［N］ 402 134最大推力※3※5［N］ 410 402

電磁ブレーキ保持力※3［N］ 1608 268吸引量の目安※6×10‒3［m3/min］ 4～14


Aタイプ 60（68.4） 110（118.4） 160（168.4） 210（218.4）　Bタイプ※1 － 45（54.2） 95（104.2） 145（154.2）

最高速度※2［mm/s］ボールねじリード：2mm 200ボールねじリード：6mm 600

寸法［mm］

　　　AL※3※4※5 301.1（342.2） 351.1（392.2） 401.1（442.2） 451.1（492.2）　　　ML※3※4※5 66.4（107.5）

CL 228.7 278.7 328.7 378.7G 70 95 87.5 80C 130 130 195 260n 3 3 4 5E 100 150 200 250

質量※7［kg］モータ無し（メカのみ） 1.8 2 2.3 2.5モータ付き※3※4※6 2.2（2.5） 2.4（2.7） 2.7（3.0） 2.9（3.2）

スライダＡタイプ詳細図スライダＢタイプ詳細図

Ａ部詳細

Ａ矢視

スライダＡ（９）スライダＢ（１０）

（ＡＬ）

42

61

（49）

（36）

ＭＬ 6

5

（ＣＬ）ストローク１２８（スライダＢ）

６４（スライダＡ）77

25C

65 ｎ×２‒Ｍ４深さ６

85 E２‒吸引口∅６チューブ用接続ねじＲ１/８

64（20.5）

58

28Ａ部

５０（スライダ高さ）

４‒Ｍ２．６深サ４

４５±０．０２30

7１５深サ２

30 24

64４‒Ｍ４深サ６２‒∅３Ｈ７深サ５

１５深サ２7

30

30

２‒∅３Ｈ７深サ５８‒Ｍ４深サ６

４‒Ｍ２．６深サ４

128

24

5.8

4.62.4

4.3

1.2

60

36 36

G

（4.7）※

45°

45°16

11

∅5h7

∅24H7

1016.5

（29.5）

7

PCD33

４‒３．５キリ通シ

４‒Ｍ３深サ６

スライダＡ（3.7）スライダＢ（4.5）

（1.7）

４５±０．０２43

A


※2　最大可搬質量は、定格速度時の質量です。※3　HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※4　定格推力は、モータの定格トルク時の推力です。※5　最大推力は、モータの瞬時最大トルク時、または





※3　（　　）内はブレーキ付きの値です。※4　HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※5　 QTコントローラ選択時はAL：50W‒6.9mm 　　（ブレーキ付きより‒12.4 mm）加算されます。※6　 QTコントローラ選択時はモータ付き質量：50W＋

0.05kg（ブレーキ付きより‒0.05kg）加算されます。※7　スライダ2個付き（Bタイプ）の場合の質量は、0.6kg



210CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

～

300

～

25

～

600

～

1000

～

60

～

1500

～

2000

～

100

1500

～

2000

～

100

～



定格速度

［袢/s］



仕様


寸法

モータ定格出力［W］ 100ボールねじリード［mm］ 6 10 20定格速度※1［mm/s］ 300 500 1000


［kg］

水平

加減速度

0.15G 35 －－0.3G 30 30 240.5G 30 29 20

垂直0.15G 19 －－0.3G 18 12 60.5G 12 9 5

定格推力※3※4［N］ 268 160 80最大推力※3※5［N］ 795 477 238

電磁ブレーキ保持力※3［N］ 268 160 80吸引量の目安※6×10‒3［m3/min］ 10～70

Ａ部詳細


Ａ部

1

35.5

（48.4）

ALML 10

１５２（スライダＢ）７６（スライダＡ）

30C

90 ２×ｎ‒Ｍ６深さ８

75 E

80.4

（45）

（59.2）

６１（スライダ高さ）

20.8

（ＣＬ）

5.8

4.62.4 1.2

２２深サ３10

2734

４４±０．０２

４‒Ｍ３深サ５

２‒∅４Ｈ７深サ６

４‒Ｍ５深サ１０

76

34

152

２２深サ３10

30４４±０．０２


27

８‒Ｍ５深サ１０

２‒∅４Ｈ７深サ６

41

30

41

80

２‒吸引口∅８チューブ用接続ねじＲ１/８

G

30°

30°

51 PCD40

４‒Ｍ４深サ８


14

23

916

∅8h7∅∅36H824.5

310

（21）

スライダＡ（５）スライダＢ（４）

75（5）※

スライダＡ（１３）スライダＢ（１２）ストローク（2.2）

34

4.3

A






Aタイプ 45（55） 95（105）195（205）295（305）395（405）495（505）595（605）　Bタイプ※1 －－ 120（129）220（229）320（329）420（429）520（529）

最高速度※2

［mm/s］

ボールねじリード：6mm 600 550 390ボールねじリード：10mm 1000 920 650ボールねじリード：20mm 2000 1780 1270

寸法［mm］

　　　AL※3※4※5 325.4（353.5）375.4（403.5）475.4（503.5）575.4（603.5）675.4（703.5）775.4（803.5）875.4（903.5）　　　ML※3※4※5 82.4（123.5）

CL 233 283 383 483 583 683 783G 89 69 74 79 84 89 94C 90 180 270 360 450 540 630n 2 3 4 5 6 7 8E 121 171 271 371 471 571 671

質量※7［kg］モータ無し（メカのみ）

3.2 3.7 4.5 5.4 6.2 7.2 8

モータ付き※3※4※6 3.6（4.2） 4.4（4.7） 5.2（5.5） 6.1（6.4） 6.9（7.2） 7.9（8.2） 8.7（9.0）



※3　（　　）内はブレーキ付きの値です。※4　 HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※5　 QTコントローラ選択時はAL：100W‒8.9mm

（ブレーキ付きより‒24.9mm）加算されます。※6　 QTコントローラ選択時はモータ付き質量：100W

‒0.06kg（ブレーキ付きより‒0.16kg）加算されます。※7　スライダ2個付き（Bタイプ）の場合の質量は、0.7kg



211 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

～

300

～

25

～

600

～

1000

～

60

～

1500

～

2000

～

100

1500

～

2000

～

100

～



定格速度

［袢/s］



仕様

CSKR46 クリーンシリーズ　SKRタイプ高さ77袢　ストローク：80～790袢　モータ定格出力：200W/400W

寸法

モータ定格出力［W］ 200 400ボールねじリード［mm］ 10 20 10 20定格速度※1［mm/s］ 500 1000 500 1000

最大可搬質量※2※3［kg］水平

加減速度

0.3G 77 51 77 720.5G 40 28 76 63

垂直0.3G 18 8 36 180.5G 17 8 36 18

定格推力※3※4［N］ 321 160 653 326最大推力※3※5［N］ 955 477 1110 955

電磁ブレーキ保持力※3［N］ 653 326 653 326吸引量の目安※6×10‒3［m3/min］ 16～86

Ａ部詳細


７７（スライダ高さ）

（61.2）

49

ALML 7

（61.5）

（23）ストローク２２０（スライダＢ）１１０（スライダＡ）

104.5

107.5100

Ｃ4610629

２×ｎ‒Ｍ８深サ１２

100 E ２‒吸引口∅１０チューブ用接続ねじＲ１/４

（75.2）

（CL）

5.8

4.62.4

4.3

1.2

２２深サ３10

46

54

110７４±０．０２

220

２‒∅５Ｈ７深サ８

８‒Ｍ６深サ１０

54

10

46７４±０．０２

４‒Ｍ３深サ５２２深サ３

Ａ部

２‒∅５Ｈ７深サ８

４‒Ｍ６深サ１０


4662 4662

106

（4.5）※ （14）

PCD60

30°

30°


32

∅10h7∅42

∅46H8

1828

3.514

（34.5）

（2.2）

A


Aタイプ 190（208.5） 290（308.5） 390（408.5） 490（508.5） 690（708.5） 790（808.5）　Bタイプ※1 80（98.5） 180（198.5） 280（298.5） 380（398.5） 580（598.5） 680（698.5）

最高速度※2

［mm/s］ボールねじリード：10mm 1000 550 430ボールねじリード：20mm 2000 1980 1080 840

寸法［mm］

AL※3※4：200W 537.1（576.6） 637.1（676.6） 737.1（776.6） 837.1（876.6） 1037.1（1076.6） 1137.1（1176.6）AL※3※4：400W 559（598.5） 659（698.5） 759（798.5） 859（898.5） 1059（1098.5） 1159（1198.5）ML※3※4：200W 76.6（116.1）ML※3※4：400W 98.5（138）

CL 453.5 553.5 653.5 753.5 953.5 1053.5C 300 400 500 600 800 900n 4 5 6 7 9 10E 303 403 503 603 803 903

質量※5

［kg］

モータ無し（メカのみ）

9.6 11.2 12.8 14.4 17.6 19.2

モータ付き※3※4

：200W10.8（11.5） 12.4（13.1） 14.0（14.7） 15.6（16.3） 18.8（19.5） 20.4（21.1）

モータ付き※3※4

：400W11.4（12.0） 13.0（13.6） 14.6（15.2） 16.2（16.8） 19.4（20.0） 21.0（21.6）





※1　スライダ2個密着の場合の仕様値です。※2　最高速度は、モータの回転数（6000min‒1）時、

もしくはボールねじの許容回転数によって制限される速度です。ご使用のコントローラによって、モータの回転数が制限される場合があります。

※3 　（　　）内はブレーキ付きの値です。※4　 HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※5　スライダ2個付き（Bタイプ）の場合の質量は、

1.9kg加算されます。


212CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

～

300

～

25

～

600

～

1000

～

60

～

1500

～

2000

～

100

1500

～

2000

～

100

～



定格速度

［袢/s］



213 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ


表：使用モータ・適応モータブラケット対応表モータ型式定格出力フランジ角 CSKR20 CSKR26 CSKR33 CSKR46

ACサーボモータ

㈱安川電機

Σ‒Ⅴ

SGMJV‒A550W

□40

A AA

ASGMAV‒A5SGMJV‒01

100W－－SGMAV‒01

SGMAV‒C2 150W －SGMJV‒02

200W□60 －－－ B

SGMAV‒02SGMJV‒04

400WSGMAV‒04

Σ‒Ⅱ

SGMAH‒A3 30W□40

A AA ASGMAH‒A5 50W

SGMAH‒01100W

－－SGMPH‒01

□60 －－B

BSGMAH‒02 200W－

SGMAH‒04 400WSGMPH‒02 200W

□80 －－－ CSGMPH‒04 400W

三菱電機㈱ MELSERVO

J3

HF‒MP05350Ｗ

□40A A

A AHF‒KP053HF‒MP13

100W －－HF‒KP13HF‒MP23

200W□60 －－－ B

HF‒KP23HF‒MP43

400WHF‒KP43

J2 SUPER

HC‒MFS05350W

□40A A

A AHC‒KFS053HC‒MFS13

100W －－HC‒KFS13HC‒MFS23

200W□60 －－－ B

HC‒KFS23HC‒MFS43

400WHC‒KFS43

パナソニック㈱ MINAS

Ａ４

MSMD 5A 50Ｗ□38

B BC D

MSMD 01100W

－－MQMA 01

□60 －－

D

EMSMD 02

200W －MAMA 02MSMD 04

400W －MAMA 04MQMA 02 200W

□80 －－－ FMQMA 04 400W

ＡⅢ

MSMA 3A 30W□38

B BC DMSMA 5A 50W

MSMA 01 100W －－MSMA 02

200W

□60 －－－ E

MAMA 02MSMA 04

400WMAMA 04

EMUMA 02 200WMUMA 04 400W

CSKR用各種モータが取付けられるようにモータブラケットを用意しています。ご使用になるモータに合わせてモータブラケットをご指定ください。



214CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

表：使用モータ・適応モータブラケット対応表モータ型式定格出力フランジ角 CSKR20 CSKR26 CSKR33 CSKR46

ACサーボモータ

山洋電気㈱

SANMOTION Q1

Q1AA04003D 30W

□40A A

A AQ1AA04005D 50W

Q1AA04010D 100W －－

Q1AA06020D 200W□60 －－－ B

Q1AA06040D 400W

SANMOTION Q2

Q2AA04006D 60W□42 －－ E －

Q2AA04010D 100W

Q2AA05005D 50W

□54 －－F

GQ2AA05010D 100W

Q2AA05020D200W

－

Q2AA07020D□76 －－－ F

Q2AA07030D 300W

オムロン㈱

OMNUC G5

R88M‒K05030 50W□40

A AA A

R88M‒K10030 100W －－

R88M‒K20030 200W□60 －－－ E

R88M‒K40030 400W

OMNUC G

R88M‒G05030 50W□40

A AA A

R88M‒G10030100W

－－

R88M‒GP10030

□60 －－

D

ER88M‒G20030 200W－

R88M‒G40030 400W

R88M‒GP20030 200W□80 －－－ F

R88M‒GP40030 400W

ステッピングモータ

オリエンタルモーター㈱

αGRADE

AR46 □42 D C G H

AR66□60 －－

HI

AR69 －

AR98 □85 －－－ J

αSTEP

ASC 3＊ □28 C －－－

AS 46, ASC 46 □42 D C G H

AS 66, ASC 66□60 －－

HI

AS 69 －

AS 98 □85 －－－ J

5相

CSKⅡ

CSK 52＊ □28 C －－－

CSK 54＊ □42 D C G H

CSK 564, CSK 566□60 －－

HI

CSK 569 －

CSK 596 □85 －－－ J

RKRK 54＊ □42 D C G H

RK 564, RK 566 □60 －－ H I

山洋電気㈱ 5相

103F35 □28 C －－－

103F55 □42 D C G H

103F785 □60 －－ H I



215 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

モータブラケット寸法図CSKR20用

CSKR26用

42.6

2144.4

8.5

∅30H7

3.5

68.2

44.4

21

42.6

∅30H7

8.5

8.23.5

6

2342.6

44.4

8

∅22H7

8.23

5

3142.6

2144.4

31

8.5

∅22H7

6

8.2

PCD 46

4‒M4ヘリサート1D

4‒M3ヘリサート1.5D

4‒3キリ

（裏面ヨリ加工）

PCD 45

3∅5.5ザグリ深サ3.54‒3.5キリ

（裏面ヨリ加工）∅6.5ザグリ深サ3.5

∅17

∅17

∅17

∅1723

21

ACSKR20

BCSKR20

CCSKR20

DCSKR20

53.6

51.5

21

∅30H7

8

63.5

5.2

53.6

51.5

21

8

∅30H7

3.5

6 5.2

3153.6

51.5

21

∅22H7

9

2.56

31


PCD 46


PCD 45

4‒3.5キリ∅6.5ザグリ深サ3.5（裏面ヨリ加工）

5.2

∅21

∅21

∅21

ACSKR26

BCSKR26

CCSKR26



216CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

65.6

5522

∅30H7

12

410

12

∅30H7

410

65.6

5522

65.6

5522

∅34H7

12

410

∅30

31

31

5522

12

∅22H7

610

∅30

65.6

65.6

3265

∅50H7

18

416

9.7

65.6

3265

18

∅50H7

416 9

.7

∅30

65.6

3265

∅50H7

18

416

9.7

3265

50

50

65.6

410

9.7

∅30

∅36H7

12


PCD 46


PCD 70


PCD 45 4‒M4ヘリサート2D

PCD 70


PCD 48 4‒M4ヘリサート2D

PCD 60


∅30

∅30


ACSKR33

BCSKR33

CCSKR33

DCSKR33

ECSKR33

FCSKR33

GCSKR33

HCSKR33

CSKR33用



217 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

モータブラケット寸法図CSKR46用

91.6

71.5

31

10

∅30H7

91.6

8140.5

15

∅40

∅70H7

9.7

91.6

3171.5

∅50H7

∅40

10

91.6

3171.5

∅40

∅50H7

10

71.5

31

91.6

∅50H7

10

10

∅30H7

91.631

71.5

91.6

40.5

81

∅40

∅70H7

9.7

15

3191.6

3171.5

31

∅22H7

8

PCD 90PCD 46

PCD 70PCD 60





PCD 70



PCD 45


PCD 90


7 47

74

12

47 5.5

12

47

5

∅40

ACSKR46

BCSKR46

CCSKR46

DCSKR46

ECSKR46

FCSKR46

GCSKR46

HCSKR46



218CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

5091.6

71.5

31

50

∅36H7

10 70

42.5

85 70

91.6

∅40

∅60H7

15

11.7

4‒M4ヘリサート1.5D 4‒M6

ヘリサート1.5D

7

312

ICSKR46

JCSKR46



219 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

センサ

種類動作モードセンサ形番個数メーカ付属品記号センサ無しーーーーー 0

フォトセンサ切換え可能 EE‒SX671 3

オムロン㈱取付ねじ・ナット、センサドグ、取付板、コネクタ（EE‒1001） 2

切換え可能 EE‒SX674 3 取付ねじ・ナット、センサドグ、取付板、コネクタ（EE‒1001） 6

近接センサ

N.O.接点 GL‒N12F 1SUNX㈱取付ねじ・ナット、センサドグ C

N.C.接点 GL‒N12FB 2N.O.接点 APM‒D3A1‒001 1

㈱山武取付ねじ・ナット、センサドグ EN.C.接点 APM‒D3B1‒003 2

注１）センサの出力は全てＮＰＮ出力です。注２）センサは全て付属品です。注３） N.O.接点：ノーマルオープン接点　N.C.接点：ノーマルクローズ接点注４）上表以外のセンサを取付けることも可能です。詳しくはTHKまでお問い合わせください。

単位：mm形番 a b c d e

CSKR20 56.5 43.5 16.7 27.5 38.5CSKR26 62 49.2 28.7 39.5 49CSKR33 68.2 55.2 37.7 48.5 59.2CSKR46 81 68.2 54.2 65 75.2

近接センサ

単位：mm形番 a b c d e

CSKR20 43.8 37.5 16.7 27.5 38.5CSKR26 49.3 43 28.7 39.5 49CSKR33 55.5 49.2 37.7 48.5 59.2CSKR46 68.3 62.4 54.2 65 75.2

（b）

（a）

（c）（d）（e）

（b）

（a）

（c）（d）（e）

GL‒N12F［N.O.接点］ 1個GL‒N12FB［N.C.接点］ 2個｝SUNX㈱製

単位：mm形番 a b c

CSKR33 48.2 44.5 59.2CSKR46 61.4 60.5 75.2

（a）

（b）（c）

APM‒D3A1‒001［N.O.接点］ 1個APM‒D3B1‒003［N.C.接点］ 2個｝㈱山武製

単位：mm形番 a b c

CSKR20 34.5 28 38.5CSKR26 40 36.5 49CSKR33 46.2 45.7 59.2CSKR46 59 62.5 75.2

（a）

（b）（c）

CSKRは、サイドカバーのTスロットを利用して各種センサの取付けが可能です。各種センサをご選択の際は対応表の記号をご指定ください。

フォトセンサEE‒SX671［N.O.接点、N.C.接点共用］ 3個（オムロン㈱製） EE‒SX674［N.O.接点、N.C.接点共用］ 3個（オムロン㈱製）



220CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

ベースプレート

CSKRは、オプションのベースプレートを取付けることにより、従来製品（CKR）と高さ寸法が同一になります。

ba P×b

f

eg

d

エンドカバー※1中間フランジ

ベースプレート

c


t

a0.5※2 f ベースプレート

中間フランジ

※1　CSKR20/26にはエンドカバーは付いていません。※2　ベースプレートは中間フランジの端面より、0.5mm短くなっています（→上図参照）。注）ベースプレートをご使用になる場合、精度規格の位置決め精度と走り平行度（上下方向）は並級（無記号）相当になります。

単位：mmストローク※ a b Ｐ c d e f g t190

107 100

3 8×M8 ヘリサート1.5Ｄ

88 76

449

92 11

290 4 10×M8 ヘリサート1.5Ｄ 549390 5 12×M8 ヘリサート1.5Ｄ 649490 6 14×M8 ヘリサート1.5Ｄ 749690 8 18×M8 ヘリサート1.5Ｄ 949790 9 20×M8 ヘリサート1.5Ｄ 1049

CSKR46

単位：mmストローク※ a b Ｐ c d e f g t45 88.5

90

1 4×M6 ヘリサート1.5Ｄ

72 54

228.5

66 11

95 68.5 2 6×M6 ヘリサート1.5Ｄ 278.5195 73.5 3 8×M6 ヘリサート1.5Ｄ 378.5295 78.5 4 10×M6 ヘリサート1.5Ｄ 478.5395 83.5 5 12×M6 ヘリサート1.5Ｄ 578.5495 88.5 6 14×M6 ヘリサート1.5Ｄ 678.5595 93.5 7 16×M6 ヘリサート1.5Ｄ 778.5

CSKR33


652 6×M4 ヘリサート1.5Ｄ

58 42

223.5

52 8110 94.5 273.5160 87 3 8×M4 ヘリサート1.5Ｄ 323.5210 79.5 4 10×M4 ヘリサート1.5Ｄ 373.5

CSKR26


601 4×M3 ヘリサート1.5Ｄ

45 32162.5

42 680 63.5 2 6×M3 ヘリサート1.5Ｄ 212.5130 58.5 3 8×M3 ヘリサート1.5Ｄ 262.5

CSKR20

※ ブロック1個付きのストロークです。



221 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

負荷モーメントと静的許容荷重

CGL

図：CGL　負荷荷重とモーメント方向

軸方向軸方向横方向

横方向逆ラジアル方向（ラジアル方向）

MA：ピッチング方向

MB：ヨーイング方向

MC：ローリング方向

軸方向

ご選定のLMガイド形番によりブロックテーブルの種類が決まります。また、ブロックテーブルの種類によりストローク範囲が異なります。・Sテーブル ………ショートテーブル（LMガイド形番：SSR‒XV）テーブル長さを短くし、ストローク範囲を長く取れるタイプです。・Lテーブル ………ロングテーブル（LMガイド形番：SSR‒XW, SHS‒V）高負荷などの場合や、テーブル中心から離れた位置にある場合に適しています。・L‒QZテーブル ……潤滑装置QZ付きロングテーブル（LMガイド形番：SSR‒XWQZ, SHS‒VQZ）LMガイド部とボールねじ部に潤滑装置QZを装着しています。（Lテーブルより長くなりますので寸法表（→P.223～224）をご参照ください）


形番 CGL15N CGL20N

LMガイド形番 SSR15XV SSR15XW SHS15V SSR20XV SSR20XW SHS20V

負荷モーメント※1［N･m］

MA 85.3 119.6 163.7 166.6 242.1 353.8

MB 60.8 81.3 155.8 115.6 167.6 335.2

MC 76.0 115.6 203.8 131.3 190.1 378.3

静的許容荷重※2［N］

ラジアル方向 27200 46200 67800 40300 65500 107500

逆ラジアル方向 4800 7400

横方向 4800 7400

軸方向 2100 2200

※1　負荷モーメントは、最高移動速度・加減速度（0.3G）の条件下におけるLMガイド部の走行寿命が5000km時の値です。※2　静的許容荷重は、静止時に許容できる最大の荷重です。ボルト締結強度とLMガイド部、ボールねじ部、及びサポートベアリングの静定格荷重を考慮した値です。

種類


222CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

本体のみ（モータ無し） CGL15N‒1000‒SWQ‒B05Q‒A‒C1‒0本体のみ（モータ付き） CGL15N‒1000‒SWQ‒B05Q‒A‒C1‒1HS‒LXMコントローラ選択の場合 CGL15N‒1000‒SWQ‒B05Q‒A‒C1‒H/M20SLS30D2SA6LXA, LXA‒Sコントローラ選択の場合 CGL15N‒1000‒SWQ‒B05Q‒A‒C1‒L/M20SLS30SA

原点方式「D00」、「R00」→センサ「N」を選択。

センサで「N」を選択して、原点センサ仕様「S02」、「S20」、「S03」、「S30」を選んだ場合は、近接センサE2S-W23B（オムロン㈱製）を指定箇所に取付けます。

形番構成

クリーンシリーズ（CGL）

⑤ モータブラケット P.225⑥ センサ P.228⑦ 制御機器種類 HS‒LXM → P.261 LXA → P.279⑩ モータケーブル向き P.252⑪ 原点方式 P.253


「0」を選択した場合、カップリングは付きません。カップリングが必要な際はご指示ください。「1」はご指定のモータを取付けます。指定モータに合せたモータブラケットを選択してください。カップリング、ドライバ、コントローラは貴社にてご選定ください。

「Ｈ」、「Ｌ」、「LS」を選択した場合、各コントローラに対応したモータを取付けます。Ｈ：Ｊ3シリーズ（三菱電機㈱製）50～750WＬ：Ｊ3シリーズ（三菱電機㈱製　ＬＸＡ専用）50～400WLS：Ｊ3シリーズ（三菱電機㈱製　ＬＸＡ‒S専用）50～400W

各社モータを取付け可能です。詳しくはTHKまでお問い合わせください。

形番により選択できるボールねじリードが異なります。CGL15N：「B05」、「B10」、「B16」、「B20」、「B30」CGL20N：「B05」、「B10」、「B20」、「B40」

SV：SテーブルSW、HV：Lテーブル

Sテーブルは「Q」を選択できません。

詳細内容ページ

形番構成例

モータ有無／制御機器種類で「H」を選択した場合、⑧～⑭の指定が必要です。「L」、「LS」を選択した場合、⑧～⑪、⑬の指定が必要です。

HS‒LXM、LXA、LXA‒S共通属性 HS‒LXM専用属性HS‒LXM、LXA、LXA‒S共通属性

HS‒LXM専用属性

形番ストロークＬＭガイド形番QZ有無

ボールねじリード

QZ有無

モータブラケットセンサ

モータ有無/制御機器種類

モータ定格出力

モータ取付方法

モータケーブル向き

原点方式

アンプ電圧

ケーブル種類、長さ軸番号

CGL15N − 1000 − SW Q − B20 Q − B − 6 − H / M10 S R S02 D1 S3 4

① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ ⑨ ⑩ ⑪ ⑫ ⑬ ⑭

CGL15N 0090：90mmSV：SSR‒XV

無記号：QZ無し

B05：5mm

無記号：QZ無し A

N：無し

0：モータ無し

M10:100W S：直結 R：右側 S02

D1：100V S3：標準3m 1：1軸目

CGL20N 0100：100mmSW：SSR‒XW

Q：QZ付き

B10：10mm

Q：QZ付き B 2

1：モータ付き

M20:200W U：上側 S20

D2：200V S5：標準5m 2：2軸目

〜 HV：SHS‒VB16：16mm C 6

H：HS‒LXMコントローラ

M40:400W L：左側 S03

無記号：アンプ無し SA：標準10m 3：3軸目

1540：1540mm

B20：20mm D 3

L：LXAコントローラ

M10B:100Wブレーキ付き D：下側 S30 H3：高屈曲3m 4：4軸目

B25：25mm E G

LS：LXA‒Sコントローラ

M20B:200Wブレーキ付き D00 H5：高屈曲5m 5：5軸目

B30：30mm F

M40B:400Wブレーキ付き R00 HA：高屈曲10m 6：6軸目

B40：40mm G 7：7軸目

H 8：8軸目

I

J モータケーブル、モータ電磁ブレーキケーブル（電磁ブレーキ付きモータをご指定の場合のみ）、エンコーダケーブル、原点用近接センサケーブル（原点センサ方式をご指定の場合のみ）の種類、長さです。

「H＊」はHS‒LXMコントローラ選択時のみ指定できます。

「D1」、「D2」は、HS-LXMコントローラ選択時の専用属性です。LXA、LXA-Sコントローラ選択時は、「無記号」としてください。



Sテーブル 110（130） 230（250） 350（370） 470（490） 590（610） 830（850） 1010（1030） 1190（1210）Lテーブル 100（122） 220（242） 340（362） 460（482） 580（602） 820（842） 1000（1022） 1180（1202）

L（QZ）テーブル※1 90（113） 210（233） 330（353） 450（473） 570（593） 810（833） 990（1013） 1170（1193）L‒QZテーブル 100（114） 220（234） 340（354） 460（474） 580（594） 820（834） 1000（1014） 1180（1194）

最高速度※2［mm/s］

ボールねじリード:5mm 240 200 110 －ボールねじリード:10mm 500 390 270 －ボールねじリード:16mm 800 680 470 340ボールねじリード:20mm 1000 770 540 390ボールねじリード:30mm 1500 1170 810 590

寸法［mm］

ベース長さ：L 340 460 580 700 820 1060 1240 1420AL※3※4100W 456.2（497.3）576.2（617.3）696.2（737.3）816.2（857.3）936.2（977.3）1176.2（1217.3）1356.2（1397.3）1536.2（1577.3）AL※3※4200W 452.4（491.9）572.4（611.9）692.4（731.9）812.4（851.9）932.4（971.9）1172.4（1211.9）1352.4（1391.9）1532.4（1571.9）AL※3※4400W 474.3（513.8）594.3（633.8）714.3（753.8）834.3（873.8）954.3（993.8）1194.3（1233.8）1374.3（1413.8）1554.3（1593.8）ML※3※4100W 82.4（123.5）ML※3※4200W 76.6（116.1）ML※3※4400W 98.5（138）

本体質量※4※5［kg］Sテーブル 10.2 11.6 13.1 14.6 16.0 18.8 21.0 23.0

Lテーブル（SSR15XW） 10.9 12.0 13.4 15.0 16.4 19.2 21.4 23.5 Lテーブル（SHS15V）　 11.0 12.4 13.9 15.4 16.9 19.8 22.0 24.1

※1　ボールねじ部のみQZ付き仕様です。※2　最高速度は、モータの定格回転数（3000 min‒1）もしくはボールねじの許容回転数によって制限される速度です。※3　（　　）内はブレーキ付きの値です。※4　HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※5　HS‒ LXMコントローラ選択時のモータ付き質量は、容量によって下記質量が加算されます。　　 100 W → +0.56 kg （ブレーキ付き+0.86 kg）　　 200 W → +0.94 kg （ブレーキ付き+1.60 kg）　　 400 W → +1.50 kg （ブレーキ付き+2.10 kg）

223 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

～

300

～

25

～

600

～

1000

～

60

～

1500

～

2000

～

100

1500

～

2000

～

100

～



定格速度

［袢/s］

仕様

CGL15N クリーンシリーズ　GL15Nタイプ高さ：109.5袢　ストローク：110～1190袢　モータ定格出力：100W/200W/400W

寸法

Ａ部詳細Ｂ部詳細

※1　メカストッパからストローク開始位置までの寸法です。　※2　モータブラケット寸法をご参照ください（→P.226）。

A矢視

74

90

90

116

38

（AL）

2

（26）（26）

Ａ部

Ｂ部

MLＥ※2

４‒吸引口　　∅１２チューブ用接続ねじＲ３/８

106

14690

（15.8）ストローク１４６（スライダ長さ）

（69）

１０９．５

（スライダ高さ）（2.9）

100

（15．8）

1212Ｌ（ベース長さ）

7

1

54

611

5.8

4.311

11.22.4

5.6

４‒Ｍ６深サ１２

68 10a（7）※1

c b２×２‒Ｍ３深サ６（反対側同位置）

105

45°45°

38

ＰＣＤ７０

４‒Ｍ５　ヘリサート１Ｄ

∅８ｈ７

15（37.5）

83.6

77

∅53

（162）

A

単位：mmテーブルタイプ a b cSテーブル 43 21 13Lテーブル 43 29 15

L（QZ）テーブル※1 52 29 16L‒QZテーブル 38 42 7


モータ定格出力［W］ 100 200 400ボールねじリード［mm］ 5 10 16 20 20 30定格速度※1［mm/s］ 240 500 800 1000 1000 1500


加減速度

0.15G 60 －－－－－0.3G － 60 50 45 60 30

垂直0.15G 13 －－－－－0.3G － 16 7 10 16 10

定格推力※3※4［N］ 321 321 201 160 326 217最大推力※3※5［N］ 700 700 597 477 700 469

電磁ブレーキ保持力［N］ 321 653 408 326 217吸引量の目安※6×10‒3［ｍ3/min］ 16～80

※1　定格速度は、モータの定格回転数（3000min‒1）時の速度です。（ボールねじリード5mmは、ボールねじの許容回転数によって制限されます）

※2　最大可搬質量は、定格速度時の質量です。※3　HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※4　定格推力は、モータの定格トルク時の推力です。※5　最大推力は、モータの瞬時最大トルク時、または許

容荷重によって制限される値です。※6　吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。

繰り返し位置決め精度［mm］ ±0.02



Sテーブル 220（238） 340（358） 460（478） 580（598） 820（838） 1000（1018）1180（1198）1360（1378）1540（1558）Lテーブル 210（228） 330（348） 450（468） 570（588） 810（828） 990（1008）1170（1188）1350（1368）1530（1548）

　 L（QZ）テーブル※1 200（221） 320（341） 440（461） 560（581） 800（821） 980（1001）1160（1181）1340（1361）1520（1541）L‒QZテーブル 200（220） 320（340） 440（460） 560（580） 800（820） 980（1000）1160（1180）1340（1360）1520（1540）

最高速度※2［mm/s］

ボールねじリード:5mm 200 180 130 －－ボールねじリード:10mm 500 390 270 200 －－ボールねじリード:20mm 1000 760 560 420 330ボールねじリード:40mm 2000 1530 1120 860 670

寸法［mm］

ベース長さ:L 460 580 700 820 1060 1240 1420 1600 1780AL※3※4200W 572.6（612.1） 692.6（732.1） 812.6（852.1） 932.6（972.1） 1172.6（1212.1）1352.6（1392.1）1532.6（1572.1）1712.6（1752.1）1892.6（1932.1）AL※3※4400W 594.5（634）714.5（754）834.5（874）954.5（994）1194.5（1234）1374.5（1414）1554.5（1594）1734.5（1774）1914.5（1954）ML※3※4200W 76.6（116.1）ML※3※4400W 98.5（138）

本体質量※4※5［kg］Sテーブル 15.1 16.9 18.9 20.9 24.5 27.7 30.7 33.6 36.0

Lテーブル（SSR20XW） 15.6 17.5 19.5 21.5 25.0 28.2 31.3 34.2 36.5 Lテーブル（SHS20V）　 16.4 18.4 20.4 22.5 26.1 29.3 32.4 35.5 37.8

※1　ボールねじ部のみQZ付き仕様です。※2　最高速度は、モータの定格回転数（3000 min‒1）もしくはボールねじの許容回転数によって制限される速度です。※3　（　　）内はブレーキ付きの値です。※4　HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※5　HS‒LXMコントローラ選択時のモータ付き質量は、容量によって下記質量が加算されます。　　 200W→+0.94kg（ブレーキ付き+1.60kg）　　 400W→+1.50kg（ブレーキ付き+2.10kg）

224CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

仕様

CGL20N クリーンシリーズ　GL20Nタイプ高さ：123袢　ストローク：200～1540袢　モータ定格出力：200W/400W

寸法

Ａ部詳細Ｂ部詳細

※1　メカストッパからストローク開始位置までの寸法です。　※2　モータブラケット寸法をご参照ください（→P.226）。

A矢視

87

Ｅ※212

（AL）Ｌ（ベース長さ）

（82）

ML

（16）

12

１６０（スライダ長さ）（16）

128

Ａ部 100130

2 44

123105

１２３


４‒吸引口　　∅１２チューブ用接続ねじＲ３/８

（26）（26）４‒Ｍ８深さ１２105160

71

54

611

11.22.4

5.6

4.3115.8

（3.5）

75 10

２×２‒Ｍ３深さ６（反対側同位置）

118.4

bca

ＰＣＤ７０

45° 45°

４‒Ｍ５　ヘリサート１Ｄ

∅１０ｈ７

12.5

44

（41.5）

81.5

96.5

∅54

（183.8）

Ｂ部（10）※1

ストローク

A

単位：mmテーブルタイプ a b cSテーブル 37 25 8Lテーブル 37 35 8

L（QZ）テーブル※1 44 35 11L‒QZテーブル 30 50 10

～

300

～

25

～

600

～

1000

～

60

～

1500

～

2000

～

100

1500

～

2000

～

100

～



定格速度

［袢/s］


モータ定格出力［W］ 200 400ボールねじリード［mm］ 5 10 20 20 40定格速度※1［mm/s］ 200 500 1000 1000 2000


加減速度

0.15G 70 －－－－0.3G － 70 29 60 13

垂直0.15G 23 －－－－0.3G － 15 6 15 6

定格推力※3※4［N］ 643 321 160 326 163最大推力※3※5［N］ 733 733 477 733 477

電磁ブレーキ保持力［N］ 1306 653 326 163吸引量の目安※6×10‒3［m3/min］ 24～88

※1　定格速度は、モータの定格回転数（3000min‒1）時の速度です。（ボールねじリード5mmは、ボールねじの許容回転数によって制限されます）

※2　最大可搬質量は、定格速度時の質量です。※3　HS‒LXMコントローラ選択時の値です。※4　定格推力は、モータの定格トルク時の推力です。※5　最大推力は、モータの瞬時最大トルク時、または許容荷重に

よって制限される値です。※6　吸引量には配管抵抗の影響は含まれていません。

繰り返し位置決め精度［mm］ ±0.02


225 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ


各種モータが取付けられるようにモータブラケットを用意しています。ご使用のモータに合わせてモータブラケットをご指定ください。

表：使用モータ・適応モータブラケット対応表メーカシリーズ形番定格出力フランジ角 CGL15N CGL20N

ＡＣサーボモータ

㈱安川電機

Σ‒V

SGMJV‒01100W □40

A ASGMAV‒01 A ASGMJV‒02

200W□60

B BSGMAV‒02 B BSGMJV‒04

400W－ B

SGMAV‒04 － B

Σ‒Ⅱ

SGMAH‒01100W

□40 A ASGMPH‒01

□60B B

SGMAH‒02 200W B BSGMAH‒04 400W － BSGMPH‒02 200W

□80－ J

SGMPH‒04 400W － J

三菱電機㈱ MELSERVO

J3

HF‒MP13100W □40

A AHF‒KP13 A AHF‒MP23

200W□60

B BHF‒KP23 B BHF‒MP43

400W－ B

HF‒KP43 － B

J2‒Super

HC‒MFS13100W □40

A AHC‒KFS13 A AHC‒MFS23

200W□60

B BHC‒KFS23 B BHC‒MFS43

400W－ B

HC‒KFS43 － B

パナソニック㈱

MINAS　A4

MSMD01100W

□38 E EMQMA01

□60F F

MSMD02 200W F FMSMD04 400W － FMQMA02 200W

□80－ D

MQMA04 400W － D

MINAS　AⅢMSMA01 100W □38 E EMSMA02 200W

□60F F

MSMA04 400W － F

MINAS　A

MSMA01100W

□38 E EMQMA01

□60F F

MSMA02 200W F FMSMA04 400W － FMQMA02 200W

□80－ D

MQMA04 400W － D

オムロン㈱ OMNUC　G

R88M‒G10030100W

□40 A AR88M‒GP10030

□60F F

R88M‒G20030 200W F FR88M‒G40030 400W － FR88M‒GP20030 200W

□80－ D

R88M‒GP40030 400W － D

ファナック㈱ β is series

βis0.3/5000 100W□40

A Aβis0.4/5000 130W B Bβis0.5/6000 350W

□60B B

βis1/6000 500W － B

山洋電気㈱ SANMOTION Q1Q1AA04010D 100W □40 A AQ1AA06020D 200W

□60B B

Q1AA06040D 400W － B

ステッピングモータ

オリエンタルモーター㈱

5相 RK

RK564

－

□60H H

RK566 H HRK569 H HRK596

□85－ I

RK599 － I

αステップAS66

□60H H

ASC66 H HAS98 □85 － I

注1）モータブラケットは取付けた状態で出荷します。注2）表中以外のモータを取付ける際は、THKまでお問い合わせください。


CGL用


226CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

□ｄ

PCD

45ﾟ

e4‒b通シモータプレート

98

90

∅a

∅73

CGL20N モータブラケット寸法表単位：mm

記号寸法

a b PCD d eA 30H7 M4 46 － 6B 50H7 M5 70 － 8C 50H7 M4 60 － 6D 70H7 M5 90 － 8E 30H7 M3 45 － 6F 50H7 M4 70 － 6G 34H7 M3 48 － 6H 36H7 M4 － 50 6I 60H7 M6 － 70 10J 70H7 M6 90 － 10

45°

□d e4‒b通シ

∅a

∅53

モータプレート

PCD

75

70

CGL15N用

CGL20N用

CGL15N モータブラケット寸法表単位：mm

記号寸法

a b PCD d eA 30H7 M4 46 － 6B 50H7 M5 70 － 8C 50H7 M4 60 － 8E 30H7 M3 45 － 6F 50H7 M4 70 － 8G 34H7 M3 48 － 5H 36H7 M4 － 50 8


寸法図


227 CSKR/CGL


シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

潤滑装置ＱＺ

LMガイド

潤滑装置QZは、LMレールの転動面に適切な量の潤滑油を供給します。このため、ボールと転動面の間には油膜が常に形成され、潤滑メンテナンス間隔の大幅な延長を可能にします。

ボールねじ

潤滑装置QZは、ボールねじ軸の転動面に適切な量の潤滑油を供給します。このため、ボールと転動面の間に油膜が常に形成され、潤滑性の向上とメンテナンス間隔の大幅な延長を可能にします。

CGLにはベース取付け用の板ナットが本体に付属します。

20

4

10.5

Ｍ5通シ

ベース長さL［mm］ 340 460 580 700 820 1060 1240 1420 1600 1780個数 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28


潤滑装置QZ

LMレール

塗布リップ部

潤滑装置QZ

ケース高密度ファイバーネット

高含油ファイバーネットエンドシールボール

オイルコントロールプレート

潤滑油の流れボールリテーナ

ボールリテーナ入りＬＭガイド

グリースポケット

図：潤滑装置ＱＺ構造図（LMガイド）

潤滑油の流れオイルコントロールファイバーネット高密度ファイバーネット

高含油ファイバーネット

直接転動面へ塗布

ボールねじ軸密封ケースボールねじナット

潤滑装置QZ

潤滑装置QZ

QZ固定用ねじ

ボールねじ軸

ボール

ボールねじナット

図：潤滑装置ＱＺ構造図（ボールねじ）

ベース取付け用ナット（付属品）


228CSKR/CGL

エコノミー

シリーズ

コンパクト

シリーズ

クリーン

シリーズ

スーパーFA

シリーズ

ユニバーサル

シリーズ

コントローラ

シリーズ

リニアモータ

シリーズ

精密ステージ

シリーズ

105

（83.6）

（2

クリーン シリーズ - thk...吸引量 70×10‒3 m3/min（70 ℓ/min） 作用荷重 なし ...

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クリーンシリーズ - thk...吸引量 70×10‒3 m3/min（70 ℓ/min）作用荷重なし ...