スクリュー型ドライポンプ...118 キヤノンアネルバ株式会社...
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キヤノンアネルバ株式会社 真空機器総合カタログ Vol.8.9118
■特長１．ハードプロセス対応プロセス耐久性に優れたスクリュー方式のドライポンプです。ポンプ構造材には耐食材料を使用していますので、腐食性ガスの排気にも適します。
２．省電力スクリュー形状および駆動系の改良により、従来製品に対し消費電力を40％低減しています。ポンプの回転数を｢Low Down｣ に選択可能ですので、待機運転時の省電力が可能です。
３．窒素パージ消費量の低減クリーン用途では窒素パージ不要です。
（Ar 排気は窒素パージが必要です。）
４．モニターの充実ポンプの各種センサの値をリアルタイムでコントローラに表示します。
■概要ハードプロセス対応の高耐久性ドライ真空ポンプ
クリーン用途から半導体･電子部品製造用ハードプロセスまで幅広い用途に対応可能なスクリュー型ドライポンプです。
■用途クリーン用途からハードプロセスまで・エッチングプロセス・CVD プロセス・スパッタリング・ロードロック・トランスファー など
■その他・窒素パージアラームを標準装備・サイレンサ、逆止弁を標準装備・海外規格に対応（オプション）
CE、SEMI、NRTL、S-Mark・インバータ制御により50/60Hz で運転可能・瞬停耐量を 0.5sec/1sec/2sec で選択可能（工場出荷時オプション 標準： 0.5sec）
スクリュー型ドライポンプSDE 90/120ハードプロセス用スクリュー型 SDE シリーズ
SDE120ドライポンプ
SDE603A排気ユニット
キヤノンアネルバ株式会社 1
119キヤノンアネルバ株式会社 真空機器総合カタログ Vol.8.9
■仕様
SDE90 SDE120
最大排気速度 （L/min） 1,300 2,000到達圧力注１） （Pa） 1.3最大吸気口圧力 大気圧最大排気口圧力 大気圧吸気口フランジ NW40 NW50排気口フランジ NW40
冷却水最大供給圧力 （MPa） 0.5（ゲージ圧）IN-OUT差圧：0.2 以上流 量 （L/min） 4～8（温度：10～25℃）接続口径 Rc3/8（セルフシールカプラ付）
窒 素供給圧力 （MPa） 0.1～ 0.7（ゲージ圧）流 量注２） （L/min） 0～ 60接続口径 1/4"パイプ継手
電源電圧 三相 AC200～220V 50/60Hz電源容量 （kVA） 6.5消費電力注３） （kW） 2.8 3.2使用環境温度範囲 （℃） 5～30℃質量 （kg） 150 151外形寸法 L×W×H （mm） 690×370×551 690×370×560
■オーダリングインフォメーション
製品コード 商 品 名 備 考型 名 品 名
14720 SDE90 ドライポンプ 標準（SR-11付）14721 SDE120 ドライポンプ 標準（SR-11付）14726 SR19+CV2U サイレンサー+逆止弁 排気ユニット用
■外形寸法図
キヤノンアネルバ株式会社2
キヤノンアネルバ株式会社 真空機器総合カタログ Vol.8.9120
ドライ排気ユニットSDE303A/603A/1203B/2003B
SDE120ドライポンプ
SDE603A排気ユニット
■特長１．ハードプロセス対応プロセス耐久性に優れたドライポンプ (SDE90/120) を使用しています。ルーツポンプの軸受部に窒素パージを行なっていますので、腐食性のガスの排気にも適します。
２．省電力従来製品に対し消費電力を40％低減しています。ポンプの回転数を｢Low Down｣ に選択可能ですので、待機運転時の省電力が可能です。
３．窒素パージ消費量の低減クリーン用途では窒素パージ不要です。
（Ar 排気は窒素パージが必要です。）
４．モニターの充実ポンプの各種センサの値をリアルタイムでコントローラに表示します。
■概要ハードプロセス対応のスクリュー型ドライポンプ(SDE90/120)とインバータ制御のルーツポンプを組み合わせた、クリーン用途から半導体・電子部品製造用ハードプロセスまで幅広い用途で使用可能な排気ユニットです。
■用途クリーン用途からハードプロセスまで・エッチングプロセス・CVD プロセス・スパッタリング・ロードロック・トランスファー など
■その他・窒素パージアラームを標準装備・ルーツポンプの回転数制御によりルーツポンプの遅延用
真空スイッチが不要になり、シンプルな構造となっています。
・インバータ制御により50/60Hz で運転可能・瞬停耐量を 0.5sec/1sec/2sec で選択可能
（工場出荷時オプション 標準： 0.5sec）
ハードプロセス用スクリュー型 SDE シリーズ
キヤノンアネルバ株式会社 3
121キヤノンアネルバ株式会社 真空機器総合カタログ Vol.8.9
■仕様
■オーダリングインフォメーション
■外形寸法図（SDE303A/603A）
SDE303A SDE603A SDE1203B SDE2003Bポンプ構成 ドライポンプ ルーツポンプ
SDE90KMB303
SDE90KMB603
SDE120KMB1203
SDE120KMB2003
最大排気速度 （L/min） 5,000 10,000 20,000 30,000到達圧力注１） （Pa） 0.5最大吸気口圧力 大気圧最大排気口圧力 大気圧吸気口フランジ NW50 NW80 NW100 NW160排気口フランジ NW40
冷却水最大供給圧力 （MPa） 0.5（ゲージ圧）IN-OUT差圧：0.3 以上流 量 （L/min） 4～8（温度：10～25℃）接続口径 Rc3/8（セルフシールカプラ付）
窒 素供給圧力 （MPa） 0.1～ 0.7（ゲージ圧）流 量注２） （L/min） 0～ 60接続口径 1/4"パイプ継手
電源電圧 三相 AC200～220V 50/60Hz電源容量 （kVA） 10.5 11.0 17.6消費電力注３） （kW） 3.0 3.1 3.6 4.2使用環境温度範囲 （℃） 5～30℃質量 （kg） 280 320 495外形寸法 Ｌ×Ｗ×Ｈ （mm） 760×400×945 900×400×945 1000×500×1165
注１）窒素パージなしの値を示します。注２）窒素流量は用途によります。注３）到達圧力時の値を示します。
製品コード 商 品 名 備 考型 名 品 名
14722 SDE303A 排気ユニット 標準（外付けサイレンサ、逆止弁なし）14723 SDE603A 排気ユニット 標準（外付けサイレンサ、逆止弁なし）14724 SDE1203Ｂ 排気ユニット 標準（外付けサイレンサ、逆止弁なし）14725 SDE2003Ｂ 排気ユニット 標準（外付けサイレンサ、逆止弁なし）14726 SR19+CV2U サイレンサー+逆止弁 排気ユニット用
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本カタログは2011年9月発行の「Vacuum Components Vol.8.9」よりの抜粋となります。掲載内容は発行（2011年9月）時のものですので、現在とは内容が異なっている場合があります。
2011年9月作成 無断転載禁止