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低ノイズ・高分解能な粗さ・うねり測定機

タリサーフ®i-シリーズ

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新しいタリサーフ® i-シリーズ低ノイズ・高分解能な粗さ・うねり測定機

Milling Honing

ゲージ

ゲージ範囲1000 µm

最高分解能0.16 nm

粗さ

ノイズ8nm Rq 未満

輪郭

形状最適化で、 直線、曲線プロファイルの粗さ、

うねり解析に対応

操作

習得が簡単 単純操作

自動車産業、ベアリング、ギア その他多数のアプリケーション向け うねり・粗さ測定機タリサーフi-シリーズはうねりと表面粗さの測定が可能な簡単操作の測定機です。測定機の低ノイズ駆動軸と高分解能ゲージが測定値の信頼性を確かなものにします。

再現性のある測定結果数十年に及ぶ経験と超精密機械の専門技術を活かした有限要素解析（FEA）最適化設計により、測定軸の低ノイズと完成された動作機構を提供します。さらに、トレーサビリティの確立された標準器と専用アルゴリズムにより、測定機自体の影響を測定結果から効果的に除去します。

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比類ない測定性能

表面性状低ノイズ・高分解能のゲージにより、一度の測定で粗さ、うねりの測定が可能です。

多様なパラメータRk、R&W、主波長(dominantwavelength)解析その他の多様な追加パラメータが利用可能

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柔軟で使い易い測定機強力な制御ソフトと解析ソフトの組み合わせで粗さとうねりの測定が従来よりも簡単に

ゲージ校正 Q-Link プロダクション・インターフェース

形状最適化 優れたゲージ技術

タリサーフ i-シリーズは高速で単純な手順でシステムの入力信号を校正できます。トレーサビリティのある段差標準片を用いた自動校正手法によりシステムはオペレータによる誤差や介入なしに校正が可能です。

生産環境に特化してデザインされたシンプルなインターフェース• Q-DAS認定• 全測定機に対応• 優れた操作性• ユーザレベルの管理• トレース可能なフィールド• レポートサマリーの自動生成・統計調査の自動生成

タリサーフ i-シリーズは高速でシンプルなアルゴリズムにより傾斜や曲面、円錐形状を除去できます。この高速でシンプルな技術により平坦な表面と曲面の双方で粗さとうねりを解析することを可能にします。

タリサーフi-シリーズのゲージは独自の技術を用いており、下記の特徴を有します。• 均整のとれたビームデザインによりゲージの向

きの変更が可能• レンジ全てを通じて一定の触圧• スタイラスを任意に昇降させるリフトローワー 機能を標準装備• 様々な場所の測定を可能にする小さなゲージ 直径

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Ultra表面粗さパラメータ表面粗さおよび形状解析用の強力なソフトウェア

タリサーフ i-シリーズ フロアプラン

1950

mm

1700

mm

731

mm

700 mmコラム

450 mmコラム

1800 mm

760 mm900 mm

タリサーフ i-シリーズDPU デスク(小)

112-3350

500 mm

350

mm

890

mm

500

mm

フィルタや追加機能フィルタ: ガウシアン, ロバストガウシアン, スプライン, モルフォロジカル, ISO 2CR, 2CR PC(位相補正), Rkカットオフ(Lc): 0.08, 0.25, 0.8, 2.5, 8mm and 25mmバンド幅: 10:1、30:1、100:1、300:1 および 1000:1 、またはデータ間隔通り(VDA2006))変数: アスタリスクの印の付いたパラメータは全て、ユーザー割り当ての単一または複数の変数を要します。例えば、負荷率（mr）は一度の測定で、１つまたはそれ以上のスライスレベルで評価することができます。注記: 該当する場合、パラメータおよびパラメータ名は ISO4287-1997、ISO13565-1-2 および ISO 12085 に準拠しています。

表面性状パラメータプライマリパラメータ: DFTF, LSLP Ave, LSLP Max, Pa, Pc, PCf, PCl, PCr, Pda*, Pdc*, Pdq*, PHSC*, Pku, Pln, PLo, Plq, Pmr*, Pmr(C)*, Pp, PPc*, Pq, PS, Psk, PSm, Pt, Pv, PVo*, Pz, Pz(JIS)粗さパラメータ: R3y, R3z, Ra, Rc, RCf, RCl, RCr, Rda*, Rdc*, Rdq*, RHSC*, Rku, Rln, RLo, Rlq, Rmr*, Rmr(C)*, Rp, Rp1max, Rpc*, Rq, RS, Rsk, RSm, Rt, Rv, Rv1max, RVo*, Rz, Rz(DIN), Rz(JIS), Rz(n)*, Rz1maxうねりパラメータ: Wa, Wc, WCf, WCl, WCr, Wda*, Wdc*, Wdq*, WHSC*, Wku, Wln, WLo, Wlq, Wmr*, Wmr(C)*, Wp, WPc*, Wq, WS, Wsk, WSm, Wt, Wv, WVo*, Wz, Wst, WsaRkパラメータおよびRk曲線: A1, A2, APH, AVH, CV, Mr1, Mr2, Rk, Rpk, Rvk, Rvk/RkR&Wパラメータ: AR, AW, Pt, R, Rke, Rn, Rpke, Rvke, Rx, Sar, Saw, Sr, Sw, W, Wn, Wte, Wx主波長: WD1c, WD1Sm, WD1t, WD2c, WD2Sm, WD2t, WDSmMax, WDSmMin注記: VDA粗さとVDA Rkのパラメータを含みます。

形状除去および解析機能角度(勾配): 対象表面の傾きはパラメータ解析以前にLS(最小二乗)ベストフィット直線アルゴリズムにより除去できます。半径: もし表面が曲面であったり、より複雑な形状である場合、形状はパラメータ解析以前に多項式形状フィットアルゴリズムにより除去されます。

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トレーサビリティ国際標準への完全なトレーサビリティ

特許技術のボール校正ルーチンフォーム タリサーフは特許技術のボール校正ルーチンを採用することで、ワントレースで寸法測定機能のチェックとゲージ直線性の補正を行います。校正用の基準球は半径と形状について国際標準へのトレーサビリティが確立されており、厳格な管理下で製造されています。 * 本装置では利用できません

円弧補正*

トレーサビリティ

校正標準器は全て、テーラーホブソン内のUKAS（英国認定機関: United Kingdom Accreditation Services）ラボによる国際標準へのトレーサビリティが提供されます。

段差高さ

測定機のゲインを確実・正確に設定するために、最大不確実度が ±4nm に構成された高精度の段差標準器がご利用いただけます。

テーラーホブソンは、不確かさ±（2%+4nm)以下に校正されたガラスまたは金属の粗さ標準片を提供し、ISO規格に準拠したピークパラメータ測定における信頼性とコンプライアンスを提供しております。間隔校正標準片（不確かさ±0.6μm）も提供可能です。

表面仕上げ

回析格子補正干渉計原理を用いて試験を受け機能強化されたトラバースユニットは、正確なX方向寸法と表面性状測定を保証します。

トラバースユニットの真直度を確認する為、ゼロデュア（低膨張光学材料）製の真直度基準片も提供しています。これらの基準片でトラバースの真直度を確認し、専用ソフトウェアと併用する事で、幾何学形状測定の精度を向上させます。

データム真直度

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タリサーフ i-シリーズの仕様

システム性能

システムノイズ 1 Rq = <8 nm (0.3 µin)

水平方向性能

トラバース長 - X 最大 / 最小 60 mm / 0.1 mm

トラバース速度 / 測定速度 2 10 mm/s 最大 - 0.25 mm/s, 0.5 mm/s & 1 mm/s0.39 in/s 最大 - 0.01 in/s, 0.02 in/s & 0.04 in/s

最大データサンプリング間隔 X 0.125 µm (5 µin)

真直度精度(Pt) 3 0.15 µm (5.9 µin)

垂直方向性能

レンジレンジ 1 = 1 mm (0.04 in)

レンジ 2 = 0.2 mm (0.008 in)レンジ 3 = 0.04 mm (0.002 in)

分解能 (Z) 4レンジ 1 = 4 nm (0.16 µin)

レンジ 2 = 0.8 nm (0.031 µin)レンジ 3 = 0.16 nm (0.006 µin)

レンジ/分解能比 262,144:1

スタイラスアーム長 60 mm

スタイラス先端サイズ 半径 2µm円錐ダイアモンド

触圧 1 mN 未満

測定ステーション

測定機寸法 フロアプラン参照

測定機重量 223 Kg (オプションのスチールフレーム込)

電動垂直コラム 450 mm (17.7 in)

注記1. トラバースデータムと並行なガラス平板を60mmアームのダイアモンドスタイラスを使って測定 (測定速度 0.25 mm/s、ガウシアン粗さフィルタ、0.08 mmカットオフ、 30:1バン ドパス)2. 表面粗さ測定では、 0.5 mm/s 以下の速度を推奨します。3. トラバースデータムと並行なガラス平板を60mmアームのダイアモンドスタイラスを使って測定 (測定速度 1 mm/s、LS線解析、プライマリフィルタ Ls= 2.5mm)4. 60mmアームのダイアモンドスタイラスを使用して測定

環境条件

保管温度 5 °C ～ 40 °C (41 ºF ～ 104 ºF)

保管湿度 10 % ～ 80 % 相対湿度、（結露無き事）

動作温度 18 °C ～ 22 °C (64 ºF ～ 72 ºF)

温度勾配 毎時2℃以下（毎時3.6°F以下）

動作湿度 45 % ～ 75 % 相対湿度、（結露無き事）

最大RMS < 50 Hz: 2.5 µm/s (100 µin/s) < 50 Hz: 5.0 µm/s (200 µin/s)

電力 (交流電源、アース接地単相、3線式)

電源の種類 交流電源、アース接地単相 (3線式)

測定機＆コンピューター電圧 90 V - 230V

周波数 47 Hz ～ 63 Hz

供給電圧通過量 – 幅 EN 61000-4-4

消費電力 500 VA

安全規格 EN 61010-1

EMC(電磁両立適合性) EN 61000-6-3 EN 61000-6-1

計測学のプロとして1886年に設立されたテーラーホブソン社は表面性状・輪郭形状に関する計測学の世界的リーダーであり、真円度測定機、表面粗さ測定機を最初に開発した企業です。

www.taylor-hobson.jp

テーラーホブソン事業部 大阪支社電話: 06-6399-9516

FAX: 06-6399-9519

大阪府大阪市淀川区宮原3-3-34新大阪DOIビル5F

アメテック(株)テーラーホブソン事業部本社電子メール: taylor-hobson.japan@ametek.com

電話: 03-4400-2400

FAX: 03-4400-2301

東京都港区芝大門1-1-30芝NBFタワー3F

英国本社 センター・オブ・エクセレンス電子メール: taylor-hobson.cofe@ametek.com

電話: +44 (0)116 276 3779

• 測定サービス(英国本社) – ISO規格に基づいた最新の測定機を使用する専門のエンジニアによる製造部品の 測定

• 測定トレーニング – 経験豊富な計測エンジニアによる実習を含めた真円度及び粗さのトレーニング

• 操作トレーニング – 現場でのより熟練した高度の生産性を保つ操作説明

• UKAS校正及び試験(英国本社) – UKASラボにおける校正用標準片及び測定機の校正証明又は客先における校正

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© DiskArt™ 1988

Taylor Hobson UK (世界本社)

PO Box 36, 2 New Star RoadLeicester, LE4 9JQ, England

電話: +44 (0)116 276 3771taylor-hobson.sales@ametek.com

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