gp-2001g gp-2002g...gp-2001g gp-2002g 取扱説明書...

No.SK00-7105-EI-001-03

ピラニ真空計

GP-2001G

GP-2002G

取扱説明書

本取扱説明書は、製造番号が下記の番号以降のものを対象

として記載しています。機種製造番号

GP-2001G S/N:0001G～ GP-2002G S/N:0001G～

この製品をご使用になる前に必ずお読み下さい。またいつでもご使用できるように大切に保管して下さい。

株式会社アルバック規格品事業部

〒253-8543 神奈川県茅ヶ崎市萩園2500番地 http://www.ulvac.co.jp/

本製品を使用する前に

－ I －

本製品を使用する前にこの度は当社製品をお買い上げいただき誠にありがとうございます。本製品がお手元に届きましたら、まずご注文の内容と同一であること、および輸送などによる

破損がないことをご確認下さい。

！警告

本製品を末永くご利用頂くために、本製品の取付、操作、点検、あるい

は整備をする前に必ずこの取扱説明書をお読みいただき、安全上の注意、

本製品の仕様および操作方法に関わる事項を十分に理解して下さい。

！警告

取扱説明書の著作権は、株式会社アルバックに属します。取扱説明書のいかなる部分も当社の承諾なしにコピーすることを禁じま

す。また取扱説明書を当社との文書による同意無しに、第3者に開示したり譲渡

したりすることを禁じます。

！注意

取扱説明書の記述内容は、製品の仕様変更や、製品の改良などのため、お断りなしに変更する、あるいは改訂する場合がありますので、ご了承

下さい。

安全シンボルマーク

！警告

この取扱説明書の警告表示には守るべき事項を理解していただくため、安全についてのシンボルマークを掲げております。ｼﾝﾎﾞﾙに用いている言葉

は次のように使い分けています。

！危険

それが避けられなかった場合、死亡または重傷に至る結果となる危険の切

迫した状況を示します。本警告部分を無視した作業は、高い確率で、人命または工場設備（本装置

も含む）に対して重大な被害をおよぼします。

！警告

それが避けられなかった場合には、作業者の死亡または重傷に至る結果と

なりうる可能性がある危険状況を示します。本警告部分を無視した作業は、人命または工場設備（本装置も含む）に対

して重大な被害をおよぼす可能性があります。

！注意

それが避けられなかった場合には、軽傷または中程度の損害を負う結果と

なりうる可能性がある危険状況を示します。本注意部分を無視した作業は、作業者に軽傷を負わせる、または装置に対

して壊したり調整が必要な状況にしてしまう可能性があります。

✔　参　考

直接の危険はない状態ですが、作業者の安全上、または、装置を正しく安

全に使用していただくために知っておいて欲しい内容について、記述してい

ます。

安全上のご注意

－ II －


ピラニ真空計「GP-200□G」を安全にお使いいただくために、取扱説明書及び下記の安全注

意事項を必ずお読み下さい。

！警告

電源遮断真空計が万一破損したときには、直ちに電源を切って下さい。そのまま

使用しますと火災、感電の原因になることがあります。安全のために修理

はご購入先、弊社または取扱説明書記載のネットワーク先にご依頼下さい。

！警告

電源遮断真空計が万一異常な発熱をしたり発煙をしたり異臭がした場合には、直

ちに電源を切って下さい。そのまま使用しますと火災の原因になります。

安全のために修理はご購入先、弊社または取扱説明書記載のネットワーク

先にご依頼下さい。

！警告

電源遮断コントロール裏面の電源端子に触れる場合或いは触れる可能性がある作

業を行う場合には真空計の電源を必ず切って下さい。電源端子には電源電圧 GP-2001G：AC85～264V GP-2002G：DC24V を印加している端子がありますので、電源投入時に触れると感電します。

！警告

電源遮断ヒューズ交換時には必ず電源を切って下さい。電源を投入した状態で、

ヒューズを交換すると感電の原因となります。

！警告

電源遮断製品の取り付けは、必ず電源プラグを外した状態で行って下さい。

！警告

定格厳守ヒューズは指定のものを使用して下さい。指定以外のヒューズを使用し

たり、ヒューズホルダを短絡しないで下さい。破損及び火災の危険があり

ます。

！警告

使用環境注意測定子は、大気圧を越える所には接続しないで下さい。測定子内の圧力

が大気圧を越えると測定子の破損及び接続部から測定子が飛び出し人体を

含む周囲に危害を及ぼします。大気圧を越える際には、隔離バルブ等を設

けて測定子内の圧力が大気圧を越えないようにして下さい。

！注意

電源電圧確認電源投入前に真空計の使用電圧と供給電圧が合っていることを確認して

下さい。誤った電源を接続すると真空計の破損及び火災の原因になります。

GP-2001Gの供給電圧はAC85～264Vです。 GP-2002Gの供給電圧はDC24Vです。

！注意

定格厳守付属の電源ケーブルの定格は125V10Aです。この定格以上でご使用にな

る場合は、別途電源ケーブルをご用意下さい。定格以上で使用しますと破

損します。

！注意

分解禁止真空計（コントロール、計測部、測定子ケーブル及び測定子）は、分解

しないで下さい。


－ III －

！注意

改造禁止真空計（コントロール、計測部、測定子ケーブル及び測定子）は、改造

しないで下さい。改造した場合、動作の保証はできません。また、火災・

感電の原因になることがあります。

！注意

結線確認安全のためにコントロールのGND端子を接地に接続して下さい。

！注意

使用環境注意真空計に水がかかる場所での使用は避けて下さい。真空計に水がかかる

と故障及び漏電、火災の原因になります。

！注意

通気確保真空計の通気孔をふさがないで下さい。通気孔をふさぎ内部に熱がこも

ると、破損の原因になります。また、真空計の指示値も正常な値を示しま

せん。

！注意

異物侵入注意真空計の通気孔などの開口部から内部に金属類や燃えやすいものなどの

異物が入った場合は、必ず取り除いて下さい。また、コントロール裏面の

接続端子部に物が触れないようにして下さい。そのまま使用すると真空計

の破損の原因になります。

！注意

結線確認電源ケーブル（圧着端子部）がコントロール等の他の導体部分に接触し

ないようにして下さい。

！注意

結線確認電源投入前に配線に誤りがないことを確認して下さい。誤った配線を行

いますと破損及び火災の原因になります。

！注意

使用条件注意真空計は、仕様に定められた環境の範囲内でお使い下さい。

！注意

衝撃注意測定子には衝撃を与えないで下さい。

！注意

輸送梱包注意真空計を輸送するときには、工場出荷時の状態に戻して下さい。そのま

ま輸送すると破損することがあります。

！注意

廃棄真真空計を廃棄するときには、各自治体等の条例に従って処理して下さ

い。当社が納入する製品の廃棄については、お客様の責任と負担にて行う

ものとさせて頂きます。なお、製品には製品本体の他、付属品、付帯ドキ

ュメント類、メディア等を含むものとします。特に、人体に危険を及ぼす可能性のある雰囲気で使用した測定子は専門の

処理業者を通じて処理して下さい。

✔　参　考

メンテナンス本器内部の電気回路にはアルミニウム電解コンデンサを使用しておりま

す。一般的にアルミニウム電解コンデンサには寿命があり、周囲温度が高

くなるほど寿命が短くなります。機器の破損防止のため、3年に1度程度、

弊社にてメンテナンスを実施することをお勧めします。

✔　参　考

有寿命部品（コネクタ部）測定子ケーブルやGP-Hなどのコネクタ部には寿命があります。コネクタ

部が寿命になりますと、エラー表示となるだけではなく、正しい圧力を表

示しません。抜き差し時に傾きなどの負荷がありますと、少ない回数でも

寿命となります。

改訂履歴

－ IV －

改訂履歴改訂日改訂番号改訂理由

2007/03/23 00 S/N:00001～初版

2013/10/31 01 ・安全シンボルマークの説明を変更

・1.1項精度の記載を変更

・1.1及び1.2項付属品とオプションの内容を変更

・1.2項オプションのWP-04、05を生産中止に変更

・2.2.5項 GP-Hへの測定子取付方法を追加

・4.1項全体の操作方法の図を変更

・6項ヒューズの仕様を変更

・7項保証を変更

・8項汚染証明書を追加

2014/11/19 02 ・安全上の注意にコネクタ部が有寿命品であることを追加

・1.1.3項オプション詳細を記載

・誤記修正

2019/12/02 03 ・1.1項突入電流を追記

・1.2項標準付属品から取扱説明書(CD)を削除

・1.3.5項オプション追記

・誤記修正

目次

－ V －

目次本製品を使用する前に･･････････････････････････････････････････････････････ Ⅰ 安全シンボルマーク････････････････････････････････････････････････････････ Ⅰ 安全上の注意点････････････････････････････････････････････････････････････ Ⅱ

改訂履歴･･･････････････････････････････････････････････････････････････････ Ⅳ 1. GP-200□Gの仕様 ............................................................ 1

1.1. 仕様 .............................................................................. 1 1.2. 標準付属品 ............................................................... 2 1.3. オプション ............................................................... 2

1.3.1. 測定子 ................................................................... 2 1.3.2. 検出ユニット..................................................... 2 1.3.3. 測定子ケーブル ................................................ 2 1.3.4. 電源ケーブル 3m（GP-2001Gのみ）... 2

1.4. 各部の説明 ............................................................... 3 1.4.1. フロントパネル ................................................ 3 1.4.2. リアパネル.......................................................... 4

2. 製品の取り付け ................................................................ 5 2.1. 事前準備 .................................................................... 5 2.2. 取り付け .................................................................... 5

2.2.1. コントロールの取り付け ............................ 5 2.2.2. 測定子の取り付け ........................................... 7 2.2.3. 電源ケーブルの接続 ...................................... 8 2.2.4. 電気結線............................................................... 9 2.2.5. GP-Hへの測定子取付け方法 ................... 11

3. 使用方法 ............................................................................. 12 3.1. 取扱上の注意 ........................................................ 12

4. コントロールの設定変更 .......................................... 13 4.1. 全体の操作方法 ................................................... 13 4.2. アナログ出力の選択 ......................................... 14 4.3. 圧力単位の選択 ................................................... 14 4.4. SETPOINT比較値の表示、変更.................. 15 4.5. アナログ出力の調整 ......................................... 16 4.6. アナログ出力について .................................... 17 4.7. SETPOINT出力について ................................ 19 4.8. ０リセット機能 ................................................... 20

5. 付録 ....................................................................................... 21 5.1. 測定原理 .................................................................. 21 5.2. 測定ガスの種類と指示値 ............................... 22 5.3. 周囲温度による指示値の変化 ..................... 24 5.4. ケーブル長による指示値の変化................. 25

6. トラブルシューティング .......................................... 26 7. 保証 ....................................................................................... 29 8. コンポーネント汚染証明書 ................................ 30 9. 関係図面 ............................................................................. 31

図版目次

FIG. 1-1 フロントパネル説明図 .......................................3 FIG. 1-2 リアパネル説明図 ................................................4 FIG. 2-1 パネル穴あけ寸法図 ............................................5 FIG. 2-2 パネル取付説明図 ................................................6 FIG. 2-3 GP-200□G全体接続図 ....................................... 10 FIG. 4-1 LIN0出力グラフ ................................................. 17 FIG. 4-2 LIN1出力グラフ ................................................. 18 FIG. 4-3 LIN2出力グラフ ................................................. 18 FIG. 5-1 各種ガスの指示値 ............................................. 23 FIG. 5-2 周囲温度による指示値の変化 ........................ 24 FIG. 5-3 GP-200□Gケーブル長による指示値の変化 . 25 FIG. 9-1 GP-200□G 外観寸法図 ..................................... 31 FIG. 9-2 計測部 GP-H 外観寸法図 ................................ 32 FIG. 9-3 計測部 GP-BH 外観寸法図 ............................. 32 FIG. 9-4 測定子フィラメント結線図 ............................ 33 FIG. 9-5 測定子ケーブル ................................................. 33 FIG. 9-6 GP-200□G 適用測定子一覧 ............................ 34

1 GP-200□Gの仕様

－ 1 －

1. GP-200□Gの仕様

本真空計は、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。コントロール部と計

測部を分離した構造を採用していますので、測定子ケーブルの長さの違いによる影響を受

けにくくなっています。（ケーブル長を変更しても再調整の必要がありません。）表示は、大型の7セグメント（赤色LED）を使用したデジタル表示の物で、見やすくな

っています。外形寸法は、DINサイズを採用しましたので、装置への取り付けの点でも有利となって

います。外部の制御系との接続もし易いようにM3の端子台を採用しています。圧力比較値の設定を3ヶ所で行えます。比較値とのコンパレータ出力をトランジスタ出

力（オープンコレクタ）で出力しています。 GP-2001Gは、供給電源として、従来品と同様に単相の商用電源を利用するフリー電源（A

C85～264V 50／60Hz）仕様品です。 GP-2002Gは、より安全性を考慮したDC24Vを供給電源とした物です。

1.1. 仕様

名称ピラニ真空計測定範囲 0.4 ～ 3000 Pa 測定箇所 1ヶ所

表示 4 1/2桁デジタル表示（7セグメントLED表示）表示範囲：0.0 ～ 3000.0 Pa

表示ｻﾝﾌﾟﾘﾝｸﾞ時間 100 ms 測定精度 4.0×10-1 Pa ～ 1.0×10+1 Pa : ±50%

1.0×10+1 Pa ～ 5.1×10+1 Pa : ±30% 5.1×10+1 Pa ～ 7.6×10+2 Pa : ±15% 7.6×10+2 Pa ～ 1.0×10+3 Pa : ±30% 1.0×10+3 Pa ～ 2.7×10+3 Pa : ±50%

アナログ出力

DC-1.5～11.5V（測定範囲外も含む） ① Lin0出力 0～10V：0～3000 Pa ② Lin1出力 0～10V：0～1000 Pa ③ Lin2出力 0～10V：0～ 100 Pa

ZERO補正入力無電圧接点入力入力電流：10mA

SETPOINT出力 3ヶ所トランジスタ出力（オープンコレクタ）定格負荷電圧： DC24V 最大負荷電流： 50mA（飽和電圧：1V）

測定子互換性フィラメント抵抗値で±3％以内（同一種類の測定子）使用温度範囲 10 ～ 40 ℃

仕様電源 GP-2001G ： AC 85～264 V 50／60 Hz GP-2002G ： DC24V±10％

消費電力 10 VA 突入電流 AC100V: 20A以下、2ms以下

AC200V: 8A以下、2ms以下外形寸法 W96 × D151 × H48 質量 0.4 kg


－ 2 －

1.2. 標準付属品

クイックマニュアル普通紙 1枚 1.3. オプション 1.3.1. 測定子

測定子 WP-01/WP-03/WP-03/WP-16 WPB-10-034 フィラメント材質 Pt Pt

その他材質 BS/Niメッキ、 Ni、Kovar、Glass、SnSbCu

SUS304、Cu（ガスケット） FeNiCo(Niメッキ)、Al2O3

許容リーク量 1×10-8Pa･m3/s以下 1×10-8Pa･m3/s以下

質量(g) WP-01：約26、WP-02：約45 WP-03：約63、WP-16：約77 約173

内容積(cm3) WP-01：約19、WP-02：約17 WP-03：約17、WP-16：約22 約18

破壊圧力※1 2×10+5Pa(abs) 2×10+5Pa(abs) 耐熱温度※2 80℃ 250℃

※1：測定子単体の耐圧となります。フランジやクランプなどの耐圧は別途考慮下さい。 ※2：測定子単体での耐熱温度です。計測回路や測定子ケーブルを外した状態となります。 ※3：WP-04、05（ガラスタイプ）は、2012年8月に生産を中止しました。 1.3.2. 検出ユニット検出ユニット GP-H GP-BH（WPB用変換ケーブル2m付き）

測定子 WP-01、WP-02 WP-03、WP-16 WPB-10-034

質量 35g GP-BH：0.13kg 変換ケーブル：0.2kg

備考 WP-01/WP-02用と、WP-03/WP-16用は兼用できません

1.3.3. 測定子ケーブル

測定子ケーブル 2、5、10、15、20、30、50、100m 質量(kg) 0.2/0.4/0.7/1.0/1.3/1.9/3.9/7.7

1.3.4. 電源ケーブル 3m（GP-2001Gのみ）

※電源ケーブルのコンセント部仕様は、“3P3芯 AC125V 7A“となります。定格以上

の電圧でご使用の場合は、別途ご用意をお願い致します。

1.3.5. その他 JCSS校正証明書ｾﾝｻﾕﾆｯﾄとｾｯﾄにて校正

一般校正試験成績書ｾﾝｻﾕﾆｯﾄとｾｯﾄにて校正検査成績書

ﾄﾚｰｻﾋﾞﾘﾃｨ証明書


－ 3 －

！注意

本器は、熱伝導を測定している原理ですので、測定子の種類

により指示値が変化する場合があります。また、測定子によっ

ては、計測部の回路構成や構造に変更が必要となる物もありま

す。従って、納入後に測定子の種類を変更される場合は、再調

整が必要とお考え下さい。なお、出荷調整時の条件（測定子の種類）は計測部(GP-H)

に明記してありますのでご使用になる前にご確認下さい。 1.4. 各部の説明 1.4.1. フロントパネル

Fig. 1-1 フロントパネル説明図

① 操作スイッチ ALM ：比較設定（SETPOINT）値の表示、変更の際に使用します。 ZERO ：０点補正機能の設定、解除に使用します。

詳細は、4.8項 0リセット機能を参照して下さい。 DATA ：データの変更時に使用します。 ▼ ：データの変更時、データの桁の移動に使用します。 ▲ ：データの変更時に使用します。 SET ：データの確定時などに使用します。

使用方法の詳細は4項をご覧下さい。 ② 比較（SETPOINT）出力動作表示

比較出力がONの際に緑色LEDが点灯します。 ③ PV表示部

現在の測定値のほか、比較設定値、出力調整の設定値を表示するメイン表示部です。測定値がスケールオーバーした際、測定子フィラメント断線時などには、"----" を点滅

表示します。 ④ SV表示部

PV表示部の内容等を説明する補助表示部です。通常の測定状態では何も表示されませ

ん。測定子のフィラメント断線時には "oFF" を表示します。また、比較設定値の表示、

出力調整設定等の際には、補助ステータスを表示します。 ⑤ 圧力単位表示

選択された圧力単位のLEDが点灯します。


－ 4 －

1.4.2. リアパネル

1

3

2

GP-2001G

GP-2002G

Fig. 1-2 リアパネル説明図

① 測定子ケーブル接続コネクタ測定子ケーブル接続用コネクです。付属の測定子ケーブルを接続して下さい。

② 入力用端子台電源入力の接続、0点補正機能入力、比較(SETPOINT)出力、アナログ出力等の入出力接

続用の端子台です。接続はφ3の圧着端子が最適です。 ③ FUSE

供給電源の保護を目的としたFUSEです。通常は、断線する事はありません。

2 製品の取り付け

－ 5 －

2. 製品の取り付け

！警告

電源遮断製品の取り付けは、必ず電源プラグを外した状態で行って下さい。

2.1. 事前準備 ① 梱包を解き、員数検査を行って下さい。 ② 各機器が破損していないかどうかを調べて下さい。 2.2. 取り付け 2.2.1. コントロールの取り付け

！注意

通気確保真空計の通気孔をふさがないで下さい。通気孔をふさぎ内部に熱がこも

ると、破損の原因になります。また、真空計の指示値も正常な値を示しま

せん。

！注意

異物侵入注意真空計の通気孔などの開口部から内部に金属類や燃えやすいものなどの

異物が入った場合は、必ず取り除いて下さい。また、コントロール裏面の

接続端子部に物が触れないようにして下さい。そのまま使用すると真空計

の破損の原因になります。

！注意

使用環境注意真空計に水がかかる場所での使用は避けて下さい。真空計に水がかかる

と故障及び漏電、火災の原因になります。

！注意

結線確認安全のためにコントロールのGND端子を接地に接続して下さい。

1) 取り付けパネル

a) 本器の装置への取り付けは、パネルにはめ込む形で行います。 b) 取り付けパネルの板厚は、1.0～4.0mmとして下さい。 c) 本器取り付け用に91.5×44.5mmの角穴が必要です。 d) 本器を並べて取り付ける際には、下図の間隔として下さい。

Fig. 2-1 パネル穴あけ寸法図


－ 6 －

2) 取付方法

a) 本器に付属されている取り付け金具を外します。 b) 本器をパネル前面より、はめ込みます。 c) パネル裏側より、取り付け金具を元のように取り付けます。

Fig. 2-2 パネル取付説明図


－ 7 －

2.2.2. 測定子の取り付け

！警告

使用環境注意測定子は、大気圧を越える所には接続しないで下さい。測定子内の圧力が

大気圧を越えると測定子の破損及び接続部から測定子が飛び出し人体を含

む周囲に危害を及ぼします。大気圧を越える際には、隔離バルブ等を設けて

測定子内の圧力が大気圧を越えないようにして下さい。

！注意

衝撃注意測定子には衝撃を与えないで下さい。

！注意

使用条件注意真空計、測定子は、仕様に定められた環境の範囲内でお使い下さい。

測定子を真空装置のゲージポートに取り付けて下さい。

1) 測定位置・圧力の測定は、測定子の接続した位置の静圧を測ります。真空系内に流れがあったり、

放出ガス源、電子またはイオンの強い発生源があるようなときは測定値に影響を及ぼ

しますので、測定位置の選定に注意して下さい。また、測定子が振動、熱放射、強電磁界、強い放射線を受けた場合には、正しい圧力

測定が出来ない場合がありますので注意して下さい。・ピラニ真空計は、その測定原理より、測定子の周囲温度によって指示値に影響を受け

ます。周囲温度が校正時の温度（25℃）から著しくずれないよう取付位置にご注意下さい。

2) 測定子の取り付け・取り付けは、測定子取り付け開口面が気体の流れに平行になるように行って下さい。

特に気体等が測定子内にビーム状で入らないようにして下さい。・振動の多い場所での使用は、極力避けて下さい。ピラニ真空計のフィラメントはφ25μmと大変細いものです。フィラメント断線の最大の要因は、機械的ショックによる物です。設置場所・取り扱いには、ご注意下さい。

・測定子の取り付けに用いるＯリングは、ガス放出の少ないものをご使用下さい。測定

子の接続にゴム管やグリース等の放出ガスの多い材質を用いますと誤差の要因とな

ります。


－ 8 －

2.2.3. 電源ケーブルの接続

！警告



！注意



！注意



！注意

結線確認安全のためにGND端子を接地に接続して下さい。

！注意




リアパネルの接続端子台19番と20番ピンに圧着端子等を使用して、電源ケーブルを接続

して下さい。なおGP-2002Gには、極性がありますので、確認の上、接続して下さい。また、18番ピンはGND端子となっていますので、こちらも確実にGND（アース）に接続

して下さい。


－ 9 －

2.2.4. 電気結線

！警告



！注意



！注意



！注意




！注意

使用条件注意真空計は、仕様に定められた環境の範囲内でお使い下さい。

各構成機器の取り付け後に電気結線を行って下さい。検出部と測定子ケーブル、コントロールと測定子ケーブルの接続部には極力、力が加わ

らないようにケーブルを固定して下さい。測定子ケーブルは、できる限り動力線等と別に設置して下さい。ノイズを受ける事が考

えられます。測定子ケーブルが動いたときに導体と絶縁体の中間に摩擦電気が発生し、これが測定圧

力の低いところで誤差の要因となることがあります。高温、高湿の場所での設置は避けて下さい。コネクタ固定用ネジを確実に締めて下さい。


－ 10 －

WPB-10用

変換ケーブル(2m)

GP-200□G

GP-H/BH用測定子ケーブル

WPB-10-034

WP-01

GP-BH

GP-H

Fig. 2-3 GP-200□G全体接続図


－ 11 －

2.2.5. GP-Hへの測定子取付け方法

！注意

測定子固定ネジ測定子により、固定用ネジの取り付け方法が異なります。（固定用ネジの

形状が異なります。）

① GP-Hに付属の固定用

ネジを、測定子に取り付

けます。測定子の種類に

より、取り付け方法が異

なります。

測定子の排気

口から、固定用

ネジを挿入

測定子のコネクタ側

から固定用ネジを挿入

します。図の様に斜めに

挿入して下さい。

② 固定用ネジをGP-H

本体に締め付けて、固

定して下さい。

測定子 WP-01,02

測定子 WP-03,16

3 使用方法

－ 12 －

3. 使用方法

3.1. 取扱上の注意

1) 本器は、電源を投入しますと、約3秒間の遅れを持って測定を開始します。但し、通電

による温度ドリフト等が考えられますので、測定は測定子に通電後、1分間以上経過し、

指示の安定した後に行って下さい。 2) 精密な測定を行う際は、少なくとも、通電後30分間以上経過して、測定子の温度平衡

が十分に成り立った後に行って下さい。また、一連の測定の間は、測定子の通電を途中でOFFとされない方がより安定した測定

ができます。 3) 測定子が化学的に活性または、吸着性の高い気体にさらされた後は、特性が変わるこ

とがあります。このような場合には、測定子部に通電した状態で、窒素、不活性ガス

または、乾燥空気を満たして排気する操作（洗い出し操作）を繰り返して下さい。特

性の変化する前の状態に復帰することがあります。但し、これらの気体であっても、測定子の開口面に向けて吹き込む様な洗い出し操作

は避けて下さい。この洗い出し操作を行っても、特性の復帰する見込みがない場合に

は、測定子を交換して下さい。 4) ピラニ真空計は、全ての気体に対して感度を持っていますが、その値は、気体の種類

によって異なっています。詳しくは、5.2 測定ガスの種類と指示値の項を参照下さい。

4 コントロールの設定変更

－ 13 －

4. コントロールの設定変更

4.1. 全体の操作方法

通常表示

ﾚｺｰﾀﾞ出力設定表示

▲ SET＋1s後

圧力単位の設定

▲

SET＋を押すDATA ＋

SETPOINT値の変更

ALM

ﾚｺｰﾀﾞ出力の調整

▲

SET＋

SV表示部“0” (Lin0)



▲ SET＋を押す

SV表示部“SP1”／PV表示部“SETPOINT設定値”

SV表示部“SP2”／PV表示部“SETPOINT設定値”

SV表示部“SP3”／PV表示部“SETPOINT設置値”

ALM

ALM

を押すALM

DATA 設定変更へ

▲ 設定値変更

▲

と

設定値確定SET

”Pa” LEDが点灯

”kPa” LEDが点灯

▲

SET を押す

で変更

SET を押すまたは DATA

▲ 出力値変更

▲

と

を押す

を押す

を押す

を押す

を押す

※ 上記の4つのモードの切り替えは通常表示中に行って下さい。 ※ 上記4つのモードで設定し確定したデータは電源を切っても保持されます。


－ 14 －

4.2. アナログ出力の選択本器のアナログ（アナログ）出力信号は、Lin0、Lin1、Lin2の3種類があり、そのどれか

を選択できます。 Lin0 ： 0～3000 Pa ： 0～10V Lin1 ： 0～1000 Pa ： 0～10V Lin2 ： 0～ 100 Pa ： 0～10V

① 『▲』『SET 』スイッチを同時に押しますと、SV表示部に1sの間、選択された番

号”0”、”1”、”2”のいずれかが表示されます。希望の出力になるまで『▲』『SET 』を同時に押して設定して下さい。

※ 工場出荷時はLin1に設定されています。 4.3. 圧力単位の選択

本器は、圧力単位として "Pa" または、 "kPa" を選択できます。 ※ 工場出荷時は："Pa"

通常表示

DATA ＋＋ SET

ＰａｋＰａ

● ○

８８８８．８

Pt

▲ 次の設定へ

ＰａｋＰａ

○ ●

８．８８８８

Pt ※ ●は点灯を意味する

▲ 次の設定へ

▲

① 『DATA』『 ▼』『SET』スイッチを同時に押しますと、単位の切り換えモード

になります。 ② 『▲』スイッチを押してご希望の圧力単位として下さい。 ③ 『SET』スイッチを押すと、単位が確定し、通常の測定モードとなります。


－ 15 －

4.4. SETPOINT比較値の表示、変更本器には3つのSETPOINT出力（SP1、SP2、SP3）が設けられており、それぞれ独立で比

較値を設定できます。比較値は、0.0～3000.0Paの間で任意に設定できます。

① フロントパネル『ALM』スイッチを押しますと、SETPOINT値の設定モードと通常

の測定モードを切り換える事ができます。SV表示部を見ながら、必要なSETPOINT値を選択して下さい。

例）SETPOINT1のSETPOINT値を表示、変更する場合は、『ALM』スイッチを1回押し、SV表示部に”SP1”を表示させます。

② SETPOINT値を変更する場合は、『DATA』スイッチを押すと、表示数値の1カ所が

点滅しますので、この点滅箇所を変更したい桁の所へ『 ▼』スイッチを押して移動

させます。桁が決まりましたら、『▲』スイッチを押して、希望の数値を表示させ

ます。同様に『 ▼』、『▲』スイッチを使用して、すべての桁を希望の数値の値としま

す。ここで、『SET』スイッチを押すと、比較値の変更が完了します。『SET』を押さずに終わらせてしまうと前回の設定値になってしまいます。

③ SETPOINT値の表示、変更が完了しましたら、『ALM』スイッチを押してSV表示部

に何も表示されない状態（測定状態）に戻します。

※ 工場出荷時は下記の値が設定されています。 SP1：400.0Pa SP2：600.0Pa SP3：800.0Pa


－ 16 －

4.5. アナログ出力の調整工場出荷時に調整作業は完了しています。もし、表示値とアナログ出力値の相関が取れ

なくなった場合には、以下の方法で調整して下さい。

データの設定方法は『▲』スイッチで行いますが、『 ▼』スイッチでデータの±が選択

できます。上図SV表示部の？の部分が”－”を表示している場合は、『▲』スイッチによ

りデータがマイナスされ、無表示の場合はプラスされます。『▲』スイッチによるデータの設定範囲は、ZEROが-1500～+1500の範囲で可変でき、

この時の出力電圧は、-1.8～+1.8V程度変化します。 SPANの出力調整範囲は、-2500～+1500の範囲で可変され、この時の出力電圧は+7.0～+

11.8程度となります。但し、このモードで本器に表示される数値は、実際のアナログ出力電圧値とは直接の関

係がありませんので、出力を電圧計等で測定しながら調整を行って下さい。調整値は『SET』スイッチを押すことで確定されます。

通常表示

＋ SET

ＸＸＸＸ出力ＺＥＲＯ調整

?oL

SET 確定 DATA キャンセル

ＸＸＸＸ出力ＳＰＡＮ調整

?oH

SET 確定 DATA キャンセル

通常表示

▲


－ 17 －

4.6. アナログ出力について本器のアナログ出力は、Lin0、Lin1、Lin2の3種類があります。各出力とも圧力と一次関

数での相関があります。（選択方法は、4.2項をご参照下さい）

Lin0 ： 0～3000 Pa : 0～10 V Lin1 ： 0～1000 Pa : 0～10 V Lin2 ： 0～ 100 Pa : 0～10 V

アナログ出力の最大値は、約11.5Vとなります。アナログ出力電圧と測定値（指示値）の相関が一致しなくなった場合には、出力電圧の

調整機能を設けていますので、こちらをご参照下さい。（4.5項参照）アナログ出力のリップルは、約10mV(P-P)です。

Lin0 Lin1 Lin2 圧力(Pa) 出力電圧(V) 圧力(Pa) 出力電圧(V) 圧力(Pa) 出力電圧(V)

0.0 0.00 0.0 0.00 0.0 0.00 1.0 0.00 1.0 0.01 1.0 0.10

10.0 0.03 10.0 0.10 10.0 1.00 100.0 0.33 100.0 1.00 100.0 10.00

1000.0 3.33 1000.0 10.00 1000.0 11.5 3000.0 10.00 3000.0 11.5 3000.0 11.5

----.- 11.5 ----.- 11.5 ----.- 11.5

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000

Recod

er

Out

put

(V

)

Pressure (Pa)

Fig. 4-1 Lin0出力グラフ


－ 18 －

0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

0 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600

Recod

er

Out

put

(V

)

Pressure (Pa)


0

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

0 20 40 60 80 100 120 140 160

Recod

er

Out

put

(V

)

Pressure (Pa)



－ 19 －

4.7. SETPOINT出力について SETPOINT出力は、設定した比較値よりも、測定値の方が低く（小さく）なり、なおか

つその状態が0.5s間以上連続で保たれた際にトランジスタ出力（オープンコレクタ）がON（導通）となります。

SETPOINT出力がONとなった場合には、同時にフロントパネルの比較出力動作表示のLED（緑色）も点灯します。

SETPOINT出力の負荷としては、

定格負荷電圧： DC24V 最大負荷電流： 50mA

でご使用下さい。

※ 電源投入後、約3s間は測定の値にかかわらずSETPOINT出力はONとなりません。


－ 20 －

4.8. ０リセット機能本器リアパネルのZERO入力信号または、フロントパネルスイッチによる0リセット操作

を行った際には、指示値（PV表示値）とアナログ出力を強制的に”0.0”とする補正機能

です。測定圧力が「0.1Pa」より十分低い（小さい）にもかかわらず、本器の指示値が”0.0Pa”

を指示しない場合などにご使用下さい。この機能は、元の指示値（0リセット機能が動作していない状態の指示値）が「6.0Pa」

以下の時に使用可能ですが、ピラニ真空計の特性を考えますと、「1.0Pa」以下に限定して

下さい。「1.0Pa」以上で0リセット操作が必要な場合には、測定子の汚れ等が原因である場合が

ありますので、測定子の交換、真空計の再校正等の処置をご検討下さい。この機能は、電源をOFFとすると解除されます。

1) ZERO入力端子からの0リセット値設定と解除

本器裏パネルのZERO入力端子間を短絡（ショート）しますと、0リセット値が設定さ

れ、解放（オープン）にしますと解除されます。本器の0リセット機能は、ZERO入力端子からのものを優先とします。フロントパネル

スイッチによる0リセット機能を使用されていた場合でも、その設定は無効になり、新

たにＺＥＲＯ入力端子を短絡した際の0リセット値が設定されます。また、ZERO入力端子から0リセット操作を行いますと、フロントパネルスイッチから

解除操作を実施することはできません。

2) フロントパネルスイッチによる0リセット値の設定 ① フロントパネルの『ZERO』スイッチを2s間以上連続で押し続けます。 ② SV表示部に”0on”が表示されます。 ③ ”0on”が表示されている間（約10s間）に『SET』スイッチを押すと、0リセット

値が設定され、PV表示値が”0.0”となります。

3) フロントパネルスイッチによる０リセット値の解除 ① フロントパネルの『ZERO』『DATA』スイッチを同時に2s間以上連続で押し続け

ます。 ② SV表示部に”0oF”が表示されます。 ③ ”0oF”が表示されている間（約10s間）に『SET』スイッチを押すと、0リセット

値が解除されます。

５付録

－ 21 －

5. 付録

5.1. 測定原理冷たい気体分子が温度の高い固体に衝突すると、固体からエネルギーを受け取って暖ま

って飛び去り、温度の低い部分に衝突して元の状態に戻る。温度の高い部分は、冷たい気

体分子の得た分だけエネルギーを失う。これが気体の熱伝導の機構であり、気体分子によ

るエネルギーの輸送現象と言われています。気体によって運ばれるエネルギー量は、気体分子間衝突の少ない圧力領域（分子流領域）

では、気体分子が温度の高いところにぶつかる衝突頻度に比例する。このことより、圧力

に対しても比例関係であると言えます。そして、この原理を利用して圧力を測定する事が出来ます。

ここで、測定子のフィラメント及び器壁の温度をＴ、Ｔo〔Ｋ〕とすると、単位面積当

り単位時間にフィラメントより運び去られるエネルギーＱ〔Ｊ〕との間に以下の関係が成

り立ちます。

この式で、Λは自由分子熱伝導度〔ｍ３･Ｋ－１〕と言われる定数で気体の種類により異な

った値をもちます。αは気体分子の衝突時におけるエネルギー量の授受の不完全さを補正

する係数で適応係数（accommodation coefficient ）と呼ばれ次の様に定義されます。

Ｔはフィラメントの温度、Ｔo は衝突前の気体分子の温度、Ｔg は衝突後の気体分子の

温度です。フィラメント表面におけるエネルギー授受が完全ならば、α＝１となります。 αの値は表面の幾何学的なあらさ、吸着層の有無、熱履歴、気体の種類、温度などによ

って変わる複雑な性質を持っていて十分に解明されているとは言えません。そして、αの

値は真空計の精度、安定度に直接影響をします。

ピラニ真空計の中でも加熱したフィラメントから気体分子の衝突で失うエネルギーを

補充し、常に一定のフィラメント温度を保つ様にした物が定温度型のピラニ真空計と呼ば

れており、弊社の物はこのタイプです。このタイプは他のタイプのピラニ真空計に比較して、αの変化が少なく安定性、応答性

の点で有利であると言われています。

（１）Ｑ＝αΛ（Ｔ－Ｔo）Ｐ

（２）α＝Ｔg－Ｔo

Ｔ－Ｔo

５付録

－ 22 －

5.2. 測定ガスの種類と指示値『5.1 測定原理』の項でも少し説明しましたように測定ガスの種類によってピラニ真空

計の指示値が変わります。分子流領域では、Λ（自由分子熱伝導度）は以下の式となります。

ここで、Ｍは分子量、Ｒは気体定数、Ｔ’ はＴとＴ０の平均温度、Ｃνは定容比熱であ

る。この式を見るとＣνに依存し MT' に逆比例することが解ります。さらに、圧力の

高い領域では熱エネルギーを運ぶ分子数が圧力とともに増す反面、分子の自由工程が短く

なるために、１分子当りの運搬量が実行的に減ってしまい測定ガスの種類による指示値の

変化は、複雑なものとなります。ピラニ真空計の測定領域は、分子流と粘性流の間の中間領域ですので、ガスの種類によ

る指示値の違いは、単純でなく数式等で表しにくいものです。代表的なガスを測定した際の指示値と圧力の関係を“Fig. 5-1 各種ガスの指示値”に載

せます。参考にして下さい。

５付録

－ 23 －

10-1 100 101 102 103 10410-1

100

101

102

103

104

Ｈ２

ＨｅＮ２

Ｏ２

ＡｒＣＯ２

圧力

（Ｐ

ａ）

ピラニ真空計の指示値（Ｐａ）

ピラニ真空各ガスの絶対圧（Ｐａ）

計の指示値

（Ｐａ）Ｈ２ＨｅＮ２Ｏ２ＡｒＣＯ２ＣＯＳＦ６ＣＣｌ２Ｆ２ＣＣｌ４ＮＨ３

0.5 3.1E-1 9.7E-1 － 5.3E-1 － 5.3E-1 5.9E-1 3.7E-1 7.4E-1 2.0E-1 4.3E-1

1 1.0 1.9 7.8E-1 1.0 1.1 1.0 1.2 8.2E-1 1.1 6.0E-1 8.2E-1

2 1.8 3.3 1.7 1.8 2.5 1.8 2.3 1.7 2.0 1.2 1.6

5 5.3 7.7 5.1 4.3 6.7 4.3 5.3 4.7 4.1 2.9 3.7

10 9.3 1.5E+1 9.4 8.5 1.3E+1 8.0 1.1E+1 9.8 7.4 5.6 7.2

20 1.7E+1 2.7E+1 2.0E+1 1.9E+1 2.9E+1 1.7E+1 2.1E+1 2.1E+1 1.5E+1 1.2E+1 1.9E+1

50 3.5E+1 6.0E+1 5.1E+1 5.1E+1 8.5E+1 5.1E+1 5.2E+1 4.0E+1 4.0E+1 3.7E+1 4.5E+1

100 5.6E+1 1.1E+2 1.0E+2 1.0E+2 1.9E+2 1.1E+2 1.1E+2 9.0E+1 9.6E+1 1.2E+2 8.0E+1

200 8.2E+1 1.8E+2 2.0E+2 2.0E+2 3.7E+2 2.3E+2 2.1E+2 2.4E+2 3.3E+2 － 1.3E+2

500 1.3E+2 3.3E+2 5.0E+2 5.0E+2 1.3E+3 8.5E+2 5.3E+2 2.0E+3 －－ 3.5E+2

1000 1.9E+2 4.4E+2 1.0E+3 1.0E+3 8.0E+3 8.0E+3 1.0E+3 －－－ 5.9E+2

(フロン１２)

備考

測定子：ＷＰ－０１、コントロール：ＧＰ－２Ｔ、絶対圧はダイアフラム真空計で測定された。

ピラニ真空計の指示値は、乾燥空気で校正されている。 Fig. 5-1 各種ガスの指示値

５付録

－ 24 －

5.3. 周囲温度による指示値の変化

0 10 20 30 40 501

10

100

1k

10k

Ｐ＝５Ｐａ

Ｐ＝１０Ｐａ

Ｐ＝２０Ｐａ

Ｐ＝５０Ｐａ

Ｐ＝１００Ｐａ

Ｐ＝２００Ｐａ

Ｐ＝５００Ｐａ

Ｐ＝１０００Ｐａ

Ｐ＝２０００Ｐａ

　ピラニ真空計指示値　（Ｐａ）　　

　周囲温度　（℃）　　

Fig. 5-2 周囲温度による指示値の変化

５付録

－ 25 －

5.4. GP-200□Gケーブル長による指示値の変化 ※ケーブル長による指示値の変化は、ケーブルの抵抗による電圧降下が原因です。測定

上限圧力付近でわずかに影響が出ます。ケーブル長の影響による再調整、再校正は行いません。

※アナログ出力のように、ブリッジ回路にケーブルが組み込まれていることによる出力

特性の変化によるものではありません。 50m以上となるとケーブルの線径が大きくなるため、電圧降下による指示値への影響

はありません。

0 10 20 30 40 50 60100

101

102

103

104

2000 Pa 1000 Pa 500 Pa 200 Pa 100 Pa 50 Pa 20 Pa 10 Pa

　真空計指示値　（Ｐａ）　　

　ケーブル長　（ｍ）　　

Fig. 5-3 GP-200□Gケーブル長による指示値の変化

6 トラブルシューティング

－ 26 －

6. トラブルシューティング

症状：電源を入れても何も表示しない原因の可能性対処方法

・電源供給後3秒間以内 ①正常・ヒューズの溶断 ①ヒューズの交換

リテルヒューズ社製 37008000410 ヒューズ定格 800mA

※本器のヒューズは、通常の使用条件下では断線す

る事はありません。原因が明確な場合（例：電源

ラインへの落雷等）以外は、お客様での交換は避

け、弊社またはアルバックテクノ（株）に動作確

認をご要請下さい。

！警告

電源遮断コントロール裏面の電源端子に触れる場合或いは触れる可能性がある作業

を行う場合には真空計の電源を必ず切って下さい。電源端子には電源電圧 GP-2001Ｇ AC85～264V GP-2002Ｇ DC24V を印加している端子がありますので、電源投入時に触れると感電します。

！警告

電源遮断ヒューズ交換時には必ず電源を切って下さい。電源を投入した状態で、

ヒューズを交換すると感電の原因となります。

！警告

定格厳守ヒューズは指定のものを使用して下さい。指定以外のヒューズを使用し

たり、ヒューズホルダを短絡しないで下さい。破損及び火災の危険があり

ます。・電源コードが抜けている。 ①電源コードの接続を確認して下さい。・電源電圧が仕様範囲以下である。 ①テスタ等で電源電圧を確認して下さい。

！警告



症状：PV表示部が”-----”を表示したままで圧力が低くなっても変わらない。原因の可能性対処方法

・圧力がまだ測定範囲より高い状態であ

る。（大気圧等） ①正常


－ 27 －

症状：PV表示部が”-----”を、SV表示部が”oFF”を表示したままで変わらない。原因の可能性対処方法

・測定子フィラメントの断線 ①Fig. 9-4 測定子フィラメント結線図を参考にフ

ィラメントの導通を確認して下さい。フィラメントの抵抗値は大気圧の時で約13Ωで

す。断線ならば測定子を交換して下さい。フィラメントに10mA以上の電流を流さないで下

さい。測定子の寿命が縮みます。・測定子ケーブルの断線、接触不良 ①測定子ケーブルをFig. 9-5 測定子ケーブルを参考

にして確認して下さい。・測定子、計測部、測定子ケーブルがコ

ントロールと接続されていない。 ①測定子、計測部、測定子ケーブルを確実に接続し

て下さい。症状：PV表示部が”0.0”を表示したままで圧力が高くなっても変わらない。原因の可能性対処方法

・圧力がまだその測定レンジの測定範囲

以下である。 ①正常

・ZEROリセット機能を使用している。 ①4.8を参照してZEROリセットを解除して下さい。症状：大気圧を測定していてもＰＶ表示部が”-----”を表示しない。原因の可能性対処方法

・測定子の種類が指定の物と異なる。 ①指定の物に取り替えて下さい。または、現在使用されている物で再調整、再校正

を行って下さい。・測定をしている気体の種類が窒素、ま

たは空気でない。 ①正常

・測定している気体は窒素、または空気

であるが水分、油分を多く含んだ状態

である。

①正常

・測定子の汚れ、または測定子フィラメ

ントの消耗 ①測定子の交換

・測定子またはコントロールの設置され

ている場所の気温が高い。（本器は25℃の条件で調整されてお

ります）

①設置場所の変更（ホコリ等の少ない、直接風の当たらない通気性

のよい場所）


－ 28 －

症状：圧力表示が一定の値を示さない。原因の可能性対処方法・圧力自身が実際に動いている。 ①正常・測定子の種類が指定の物と異なる。 ①指定の物と取り替えて下さい。

または、現在使用されている物で再調整、再校正

を行って下さい。・測定子の汚れ、または測定子フィラメ

ントの消耗 ①測定子の交換

・測定子または測定子が取り付けてある

付近のリーク ①測定子のリーク→測定子の交換

その他のリーク→リークを止める・測定子ケーブルの接触不良、または線

材の腐食などによる線材抵抗の増加 ①測定子ケーブルをFig. 9-5 測定子ケーブルを参

考にして確認して下さい。

7 保証

－ 29 －

7. 保証

本器は、厳格な社内検査を経て出荷されておりますが、万一製造上の不備、輸送中の事

故など、当社の責による故障が発生した場合には、本社規格品事業部または最寄りの営業

所、代理店に申しつけ下さい。無償にて修理・交換致します。

保証対象: 本器真空計コントロール

保証期間: 納入日から1年以内

保証範囲 1) 国内取引の場合:納入時、輸送上の不具合による損傷がある製品。 2) 直接輸出取引の場合:納入時、輸送上の不具合による損傷がある製品。最新の

INCOTERMSにて規定されている保証範囲に準ずるものとします。 3) 測定圧力、使用温度範囲、使用電源など、基本仕様の条件内でご使用になっている

にもかかわらず、本器基本仕様を満足していない製品。

対応方法 1) 国内取引の場合: 代替品の送付もしくは弊社又は最寄の弊社サービスセンタへ返

送頂き修理を実施します。現地対応が必要な場合は別途弊社規格品事業部または最

寄りの営業所、代理店にご相談下さい。 2) 直接輸出取引の場合: 代替品の送付もしくは弊社又は最寄の弊社サービスセンタ

へ返送頂き修理を実施します。返送費用は、お客様にてご負担願います。

免責事項 1) 保証期間を過ぎている製品 2) 火災、風水害、地震、落雷等の天災、戦争等の不可抗力の災害によって発生した故

障、不具合 3) 取扱上の不注意、誤った使用方法によって発生した故障、不具合 4) 弊社の承諾なく改造・分解・修理を加えた製品 5) 異常環境下(強い電磁界、放射線環境、高温、高湿、引火性ガス雰囲気、腐食性ガス

雰囲気、粉塵など)における故障、不具合 6) ノイズによる故障、不具合 7) 製品不具合もしくは万一当社が第三者から特許を侵害しているとクレームされた

こと、によって貴社に生じた二次的損害 8) 一度使用した測定子(使用に伴う寿命、汚れによる測定誤差など) 9) 一度使用した測定子ケーブル(設置上の不備によるケーブルの断線、接触不良等)

その他

1) 本書類とは別に個別契約書や仕様に関する覚書などが存在する場合は、その記載内

容に準じます。 2) 本製品を日本国外に輸出する場合には弊社宛てに一報頂きますと共に、外国為替及

び外国貿易法等輸出関連法規の規定に従って必要な手続きをお取り下さいますよう

お願い致します。 3) 本製品についての質問や相談に関しては、型式、製造番号をお確かめの上、最寄り

の営業所、代理店または弊社規格品事業部にご連絡下さい。 4) 本書の内容は、予告なしに変更する場合があります。ご了承下さい。

8 汚染証明書

－ 30 －

8. コンポーネント汚染証明書

9 関係図面

－ 31 －

9. 関係図面

Fig. 9-1 GP-200□G 外観寸法図

9 関係図面

－ 32 －

Fig. 9-2 計測部 GP-H 外観寸法図

Fig. 9-3 計測部 GP-BH 外観寸法図

9 関係図面

－ 33 －

ＷＰ－０１，０２，０３，１６ＷＰＢ－１０－＊＊＊

Fig. 9-4 測定子フィラメント結線図

(2,5,10,15,20,30,50,100m)

PIN番号用途 1 +5V 2 +15V 3 V+ 4 V- 5 AG

カバー FG

Fig. 9-5 測定子ケーブル

9 関係図面

－ 34 －

WP-01 WP-02 WP-03 WP-16

WPB-10-034

測定子型名取り付け口寸法ケース材質計測部

WP-01 φ18 BS(Niメッキ)

GP-H WP-02 φ15 (18) BS(Niメッキ)

WP-03 R 3/8 (PT 3/8) BS(Niメッキ)

WP-16 NW-16 (φ30) BS(Niメッキ)

WPB-10-034 UFC034 SUS304 GP-BH、WPB用変換

ケーブル

Fig. 9-6 GP-200□G 適用測定子一覧

gp-2001g gp-2002g...gp-2001g gp-2002g 取扱説明書...

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