plate forme de caractérisation née il y a 10 ans Électrique hyperfréquence optique...
TRANSCRIPT
Plate forme de caractérisation
Née il y a 10 ans Électrique
Hyperfréquence Optique
Microsystèmes
Organisation et fonctionnement
Locaux
Quelques exemples… électriques
3/11
très faible courant sous pointes mode manuel Résolution = 1fA Vmax = ± 200VTempérature max = 300°C
moyenne et forte puissance mode semi-automatique I max = 10A pulsé, Vmax = 1kVTempérature max = 225°C
Caractérisation I(V)
Fréquence max = 110 MHz Vmax = ± 42V
Mesure d’impédances
Effet Hall
Mesure de résistivité de 0.1M/ à 100G / Aimant de 0.32TTempérature : ambiante et 77°K
Quelques exemples… électriques
4/11
Stress TLP (impulsion de 100ns, 7A) Very-Fast TLP (5ns, 20A) HBM
Mesure EMMI (Emission MIcroscopy) d’une structure de protection ESD durant un stress TLP
Test sous pointes aux Décharges électrostatiques (ESD)
Quelques exemples…hyperfréquences
Mesure de bruitMesure de bruit Fiabilité MEMSFiabilité MEMS
BF > 1Hz, HF < 40GHz BF > 1Hz, HF < 40GHz + bruit de phase+ bruit de phase
6w à 10GHz + 6w à 10GHz + caméra IRcaméra IR
0
lw
Quelques exemples…hyperfréquences
Mesure de paramètres s
Sous pointes 110GHz,
sous pression de 6 bars
7/11
Quelques exemples… optiques
Photoluminescence UV et gain Diodes Laser
Application à l’optique ophtalmique Laboratoire commun LAAS-ESSILOR
Expérimentation mutualisée
Caractérisations de composants Laser semi-conducteur III-V
Microlentilles polymèresDiamètre 40µm
Diffraction / Diffusion de composants transparents
8/11
Développement optique vers les nanobiotechnologies
Méthodes optiques pour l’étude des réplications cellulaires
FCS : Fluorescence Correlation Spectrocopy
Quelques exemples… microsystèmes
9/11
Par matrice de micro-plumes
Par mesure paramètres IS-FET
Robot de dépôt
Mesure de variation de PH
Quelques exemples… microsystèmes
10/11
Mesure optique de
déformation de membrane
profilomètre
Fonctionnement
11/11
• Cellule de pilotage : Présidée par le responsable du pôle MINAS, incluant des chercheurs utilisateurs, et les IT affectés à cette PF
• Support technique : 7 personnes, 5 ETP
• Réservation :En ligne sur intranet, pour les bancs mutualisés
Pour nous joindre : [email protected]://www2.laas.fr/laas/1-5346-Plate-forme-Caracterisation.php
La caractérisation aujourd’hui
Electrique Hyper-fréquences OptiqueMicro-
systèmes
Surface 160 m² 200 m² 220 m² 210 m²
Types de mesures
- Tests paramétriques- Mesure d’impédance- Caractérisation de substrats et composants discrets
- Mesure de bruit - Mesure param. S- Test de fiabilité de commutateurs MEMS- Mesures DC : impulsion, continu et analyse impédance basse fréquence)- Mesures hyper-opto- Une zone d’assemblage
-Tests paramétriques (puissance, V(I))- Caractérisation composants- Spectroscopie- Réflectivité- Photoluminescence- Diffraction
- Caractérisation mécanique- Microsystèmes pour la chimie et la biologie- Systèmes de dépôts- Caractérisations spécifiques
BudgetFonctionnement
100 k€ hors achat d’équipement
BudgetÉquipement
6 millions d’euros
Personnel 5 équivalents temps plein, ingénieurs et techniciens, en support ‘IG’
200 utilisateurs (chercheurs, doctorants, extérieurs)