産業応用

・水質検査

・発光素子、光源の評価

・光生物学的安全性評価

・不純物検査

・膜厚測定

・紫外線量測定

・プラズマモニタ

・色彩計

・燃焼モニタ

・カラーフィルタ評価

科学計測応用

・紫外ｰ可視分光測定

・蛍光分光測定

・発光効率測定

・化学発光

・液体クロマトグラフ

・ガスクロマトグラフ

・ラマン散乱測定

・放電スペクトル解析

・燃焼解析

・顕微分光

PMA-12マルチチャンネル分光器シリーズ

分光器と光検出器を一体化した

高感度分光測光装置

2

　PMA-12は、分光器と光検出器を一体化したコンパクトな分光測光装置です。集光には、光ファイバを採用しています。高感度なため多くの用途で

特別な集光光学系と接続する必要がなく、光ファイバを試料に接近させるだけで簡単に分光スペクトルが得られます。分光器と光検出器は高い機械精

度で固定されているため、安定した状態で長時間安心してご使用いただけます。波長と分光感度特性は較正済みですので、簡単・確実に分光スペクト

ルの測定が行えます。

　天文観測等にも用いられる電子冷却型裏面入射CCDリニアイメージセンサを採用したC14631は、コンパクト設計により実現したハイコストパフォーマンスモデルで、幅広い分野での光学実験に適応可能です。

　高感度で低ノイズな電子冷却型裏面入射CCDリニアイメージセンサを採用しました。小型ツェルニターナ型分光器と組み合わせることにより、紫外から近赤外までの広い波長範囲を高波長分解能で測定できる超高感度モデルです。

分光器光検出素子 電源

を一体化した分光測光装置

ハイコストパフォーマンスモデルに新設計採用

小型、省スペースを実現し、使いやすくなりました。

　 分光器･光検出器･電源をコンパクトに一体化

　 リアルタイム測定（多波長同時測定が可能）

　 光ファイバで容易な測定

　 分光感度特性、波長較正済み

　 オプションと組み合わせることで幅広い分野での　 光学実験に適応可能

特長

PMA-12とは

C14631-01、-02、-03高感度ハイコストパフォーマンスモデル

C10028-01、-02近赤外感度モデル

C10027-01、-02超高感度モデル

C10029-01高時間分解能モデル

●裏面入射型CCDリニアイメージセンサ ●InGaAsリニアイメージセンサ ●I.I.+裏面入射型CCD リニアイメージセンサ

波　長（nm）

感度 (A/W)

量子効率 (%)

波　長 (nm)800 1000 1200 1400 1600 1800

0.0

0.2

0.4

0.6

0.8

1.0

1.2

2000 2200 2400 2600

C10028-01

C10028-02

0200 400 600 800 1000 1200

102030405060708090100

C14631-01、-02、-03C10027-01、-02

光電面放射感度 (mA/W)

波　長（nm）100 200 300 400 500 600 700 800 90010001100

10-1

100

101

102

103

C10029-01

▲ C14631-01、-02、-03

[測定波長範囲]● C10027-01： 200 nm～950 nm● C10027-02： 350 nm～1100 nm

[測定波長範囲]● C14631-01： 300 nm～800 nm● C14631-02： 250 nm～840 nm● C14631-03： 300 nm～1040 nm

　InGaAsリニアイメージセンサを採用し、近赤外領域における反射･吸収スペクトルを高ダイナミックレンジで測定できるモデルです。[測定波長範囲]● C10028-01： 900 nm～1650 nm● C10028-02： 1600 nm～2350 nm

データ解析装置ノート型C15163-01

基本ソフトウエア

顕微鏡USB 2.0

PMA-12 本体ファイバ入力光学系

PMAｰ12 標準構成

被測定光

Cマウントアダプタ位置確認用A9607

バンドルファイバ

標準構成オプション

　イメージインテンシファイアと電子冷却型裏面入射CCDリニアイメージセンサをカップリングさせ、最速10 nsの高速ゲート測定と超高感度測定を両立させました。手軽な操作で、ナノ秒領域の高時間分解能測定や微弱光測定が可能なモデルです。

3

標準計測　最も基本的な計測モード　用途：光源、蛍光、プラズマなどの発光スペクトルの測定。

反射計測　分光反射率を求めるための計測モード　用途：光学フィルタ、各種コーティングなどの反射率測定

透過・吸収計測　分光透過率・吸収率を求めるための計測モード　用途：光学フィルタ、フィルム、溶液などの透過率・吸収率の測定

色計測（光源色）　発光体の光源色を求めるための計測モード　用途：照明用光源、LEDなどの色評価

色計測（物体色）　反射もしくは透過物体の物体色を求めるための計測モード　用途：塗料、布、印刷物などの色評価

計測モード

表示モード

s

スペクトル表示

3D表示

色度座標表示

透過率表示

時間変化表示

反射率表示

色空間座標表示

吸光度表示（OD）

ソフトウエア

4

PHOTONIC MULTI-CHANNEL ANALYZER C10029

SIGNAL INPUT

＜構成＞・PMA-12　(C14631、C10027等)オプション・データ解析装置ノート型 C15163-01

殺菌灯の発光スペクトル ■ 発光スペクトルより光源色解析（色度、色温度、演色性などの評価が可能）

メタルハライドランプの色度評価

＜用途＞・プラズマの成分分析・各種発光現象の解析

＜構成＞・PMA-12 (C14631、C10027等)オプション・データ解析装置ノート型 C15163-01・Cマウントアダプタ 位置確認用 A9607・対物レンズ A4869・デジタルディレイジェネレータ DG535 C13430-01 （ゲート動作時）

放電の発光スペクトル 酸化膜エッチング中の発光スペクトル

窒化膜エッチング中の発光スペクトル

プラズマ発光スペクトルの経時変化

PMA-12

チャンバ

Cマウントアダプタ位置確認用A9607+

対物レンズA4869

PMA-12

光源

時間分解 (ゲート動作) 測定例

白色LEDの色度評価＜用途＞・照明用光源の色温度、演色性評価・LEDの色度評価・特殊用途光源のスペクトル評価

白色LEDの発光スペクトル

ゲートONゲートOFF

波長

時間チャンバ1 2 3

4 5 67 8 9 +/-

EXPEXC

BSP

・0

MENU

GPIB STORE RECALL

TRIG DELAY OUTPUT

POWER

To A B A BA B C D C D C D

ON OFF

MUMREM

TRIGGERTRIGBUSYRATEINT

LCD

LCD

S psnsms us

→トリガ

PMA-12（C10029-01)

デジタルディレイジェネレータDG535C13430-01

メタルハライドランプの発光スペクトル

PHOTONIC MULTICHANNEL ANALYZER

Cマウントアダプタ位置確認用A9607+

対物レンズA4869

システムアップ例

発光スペクトル測定 プラズマ、放電、アブレーションなどの発光スペクトル測定

ランプやLEDなどの光源の発光スペクトル測定光源測定

5

システムアップ例

ARコートの反射スペクトル

ARコートありARコートなし

＜用途＞・各種コーティングの検査・薄膜の成膜モニタリング

＜構成＞・PMA-12 (C14631、C10027等)オプション・データ解析装置ノート型 C15163-01・キセノン光源 150 W高安定 L6759・2分岐ファイバ 紫外～可視 2 m A10193-01サンプル

PMA-12

キセノン光源 150 W高安定 L6759

光学フィルタ、反射防止膜（ARコート）などの分光反射率測定反射スペクトル測定

PMA-12Didymiumフィルムの吸収スペクトル

MMAからPMMAへの重合中の透過率変化（波長：1615 nm）

透過スペクトルによるプラスチックの成分分析（ポリカーボネートとPET樹脂）

ポリカーボネートPET樹脂

重合後

キセノン光源 150 W高安定 L6759

試料ホルダ 透過･蛍光測定用　A6751

＜構成＞・PMA-12 (C14631、C10027等)オプション・データ解析装置ノート型 C15163-01・キセノン光源 150 W高安定 L6759・試料ホルダ 透過･蛍光測定用 A6751

＜用途＞・各種溶液、フィルムの吸収スペクトル評価・各種サンプルの成分分析・化学反応のモニタリング

MMAとPMMAの透過スペクトル

MMA

PMMA

重合前 重合中

s

光学フィルタ、フィルム、溶液などの分光透過率・吸収率測定吸収スペクトル測定

＜構成＞・PMA-12 (C14631、C10027等)オプション・データ解析装置ノート型 C15163-01・Cマウントアダプタ 位置確認用 A9607

＜用途＞・生物発光の測定・半導体ウェーハ、LCDなどの微細構造物の測定

Cマウントアダプタ 位置確認用A9607

PMA-12

顕微鏡下での分光分布測定顕微スペクトル測定

＜用途＞・塗料の検査・印刷物、布、プラスチックなどの色評価

＜構成＞・PMA-12 (C14631、C10027等)オプション・データ解析装置ノート型 C15163-01・ハロゲン光源 L6758-11J

青色

橙色

紙の物体色（色度座標）

塗料、布、印刷物などの物体色測定

サンプル

PMA-12

ハロゲン光源L6758-11J

物体色測定

6

システムアップ例

試料ホルダ 透過･蛍光測定用A6751

PMA-12

励起光源

蛍光指示薬（Fluorescein）の発光スペクトル

＜構成＞・PMA-12 (C14631、C10027等)オプション・データ解析装置ノート型 C15163-01・励起光源：レーザ、キセノンランプなど・試料ホルダ 透過･蛍光測定用　A6751

＜用途＞・各種蛍光体のスペクトル評価・化学発光のモニタリング

ケミカルルミネッセンスの発光スペクトル

蛍光灯蛍光体の発光スペクトル

蛍光測定 蛍光灯、ELデバイスなどの蛍光材料の発光スペクトル測定

ITO膜の干渉スペクトル

＜構成＞・PMA-12 (C10027)オプション・データ解析装置ノート型 C15163-01・ハロゲン光源 L6758-11J・2分岐ファイバ 可視～近赤外 2 m A10193-02・膜厚計測ソフトウエア U10339-01

＜用途＞・薄膜の成膜モニタリング・フィルムの膜厚管理・レジスト膜の膜厚測定

ハロゲン光源L6758-11J

データ解析装置C15163-01

PMA-12

膜厚計測ソフトウエアU10339-01

SIGNAL INPUT

PHOTONIC MULTI-CHANNEL ANALYZER C10027 2分岐ファイバ 可視～近赤外 2 mA10193-02

サンプルステージ スリーブ型A10192-01

Optical GaugeシリーズＣ10178、C10323膜厚測定には専用機をご用意しています。詳しくはOptical Gaugeシリーズカタログをご参照ください。

サンプル

膜厚測定 分光反射率または透過率を利用した膜厚測定

[発光スペクトル表示画面]

キセノン光源用電源

ファイバプローブ

150 W CWキセノン光源

分光器積分球

励起光用ライトガイド

窒素ガス (フロー)

薄膜・粉末用PL計測用サンプルホルダ（溶液用ホルダはオプション）

データ解析装置

PL量子収率測定ソフトウエア

＜用途＞・物理、化学分野における発光サンプルの発光に関する研究など・各種発光材料の発光量子収率測定・各種蛍光体の内部量子効率測定

絶対ＰＬ量子収率測定装置外部量子効率測定装置輝度配光特性測定装置有機ELなどのFPD計測には専用機をご用意しています。詳しくはそれぞれのカタログをご参照ください。

Ｃ9920-02,-02G,-03,-03GＣ9920-12Ｃ9920-11

PMA-12

量子収率測定 量子収率、外部量子効率、輝度配光特性の測定

SIGNAL INPUT

PHOTONIC MULTI-CHANNEL ANALYZER C10027

キュベットを使用する際に、使用するホルダで、集光レンズも内蔵しています。

試料ホルダ 透過･蛍光測定用A6751

反射測定光学系A9665試料に対して45ﾟ で光源の光を照射し、反射光を測定することができる光学系です。

入出力ポートの角度を最大60ﾟ まで変更でき、反射光、蛍光を測定することができる光学系です。

変角反射測定光学系A10687

デジタルディレイジェネレータDG535 C13430-01

対物レンズA4869UV対応の集光用レンズです。f=50 mm、F3.5（A6399またはA9607必要）

7

オプション

PMAシリーズを制御するための専用ノートパソコンおよびソフトウエアです。OSはWindows10、64 bitです。

データ解析装置 ノート型C15163-01

反射スペクトル計測や膜厚計測を行う際に便利な二分岐ファイバです。紫外-可視用A10193-01、可視-近赤外用A10931-02があります。

2分岐ファイバA10193-01、-02

Cマウントアダプタ 位置確認用 A9607

顕微鏡などのCマウントにファイバ入力光学系を固定するためのアダプタです。紫外～近赤外の幅広い波長範囲で使用可能です。

CマウントファイバアダプタA6399

PMA-12シリーズを制御するためのソフトウエアライブラリです。

ソフトウエアライブラリU10472-01

PMA-12シリーズを制御し、得られたデータから色計算を行うためのライブラリです。

色計測ライブラリU10473-01被測定光が強すぎる際に使用する

減光アダプタです。ピンホールにより、ファイバへの入射光量を減らします。( 減光率 約1/20 ～1/500 )

減光用ファイバアダプタA10474-01

励起用、吸収測定用の出力波長域250 nm～1600 nmの高安定キセノン光源です。

キセノン光源 150 W高安定L6759

250 400 600 800 1000 1200 1400 1600波長 (nm)

相対強度

励起用、吸収測定用の出力波長域400 nm～1600 nmのハロゲン光源です。

ハロゲン光源L6758-11J

400 500 1000 1500波長 (nm)

相対強度

完全拡散光を得るための積分球です。光源の広がりや指向特性の影響が無く、均一な強度分布が得られます。（A6399必要）

積分球A5640

Cマウントファイバアダプタの機能に加え、測定位置を確認することができます。紫外～近赤外の幅広い波長範囲で使用可能です。

■ L6758-11Jの発光スペクトル ■ L6759の発光スペクトル

外部トリガやゲート動作のために必要なゲートパルスを出力させます。

・C10027-01、-02 （約5.7 kg）

383

99

9.7262

SIGNAL INPUT

PHOTONIC MULTI-CHANNEL ANALYZER C10027

*1 水銀、アルゴン原子線において確認しています。*2 ゲート時間は、外部からのゲートパルス幅により制御します。*3 I.I.の特性は含みません。*4 長さ1.5 mのケーブルが標準で付属されます。　

可とう管(φ7)

801500

50φ10－0.1

＋0

φ12－0.1

＋0

バンドル径φ1芯数15本

3

0.2

C1

ファイバ入力光学系 (約100 g)

19 ms～64 s

24 μm×2928 μm

－15 ℃

75 (－15 ℃ : 20 ms)

型名

InGaAsリニアイメージセンサ

19 ms～64 s

I.I.+裏面入射型CCD

リニアイメージセンサ

200 ～ 860

< 3 nm

≧10 ns

≦200 kHz

900 ch

24 μm×2928 μm*3

－15 ℃*3

16*3

75(－15 ℃ : 20 ms)*3

計測機能 ………………… モニタ測定、データ測定時間分解計測機能 ……… 分光スペクトル時間変化測定　　　　　　　　　　　 反射率、透過率の時間変化測定データ取得条件設定 …… 露光時間設定、メモリ積算回数の指定較正・補正 ……………… 波長軸較正、感度ムラ補正、暗電流補正表示機能 ………………… 分光スペクトル表示、時間変化波形表示波長軸表示 ……………… 波長、波数、ラマンシフト、エネルギ－(eV)輝度軸表示 ……………… リニア表示、ログ表示カーソル分解機能 ……… 波長(波数他)対強度、ピーク検出、半値幅測定、面積強度計算その他分解機能 ………… スムージング処理 , 微分波形演算 , 色計算(XYZ,xy,uv,Lab)

PMA-12シリーズの制御とデータ取得を行うソフトウエア (Windows 用)です。

基本ソフトウエア PMA-12用　U6039-01

外形寸法図 (単位:mm)

主な仕様

本体

・C10029-01（約10.0 kg）

383

99

9.7430

C10029PHOTONIC MULTI-CHANNEL ANALYZER

SIGNAL INPUT

・C10028-01、-02（約9.0 kg）

4339.7262

124

SIGNAL INPUT

PHOTONIC MULTI-CHANNEL ANALYZER C10028

・C14631-01、-02、-03（約2.6 kg）

190

11

11170 5

99

100

70

※カタログに記載の分光感度特性グラフは代表例を示すもので、保証するものではありません。※記載商品名、ソフト名等は該当商品製造会社の商標または登録商標です。※本カタログの記載内容は2019年4月現在のものです。本内容は改良のため予告なく変更する場合があります。

Cat. No. SDSS0008J19APR/2019 HPK

□ システム営業推進部 　〒431-3196　浜松市東区常光町812　TEL (053)431-0150 FAX (053)433-8031

□□□□□□

TEL (022)267-0121 FAX (022)267-0135TEL (029)848-5080 FAX (029)855-1135TEL (03)3436-0491 FAX (03)3433-6997TEL (053)459-1112 FAX (053)459-1114TEL (06)6271-0441 FAX (06)6271-0450TEL (092)482-0390 FAX (092)482-0550

〒980-0021　仙台市青葉区中央3-2-1（青葉通プラザ 11階）〒305-0817　つくば市研究学園5-12-10（研究学園スクウェアビル7階）〒105-0001　東京都港区虎ノ門3-8-21（虎ノ門33森ビル5階）〒430-8587　浜松市中区砂山町325-6（日本生命浜松駅前ビル）〒541-0052　大阪市中央区安土町2-3-13（大阪国際ビル10階）〒812-0013　福岡市博多区博多駅東1-13-6（竹山博多ビル5階）

仙 台 営 業 所筑 波 営 業 所東 京 営 業 所中 部 営 業 所大 阪 営 業 所西日本営業所

www.hamamatsu.com

900 ～ 1650

5 ms～64 s

ー

ー

20 000(－10 ℃ : 20 ms)

1600 ～ 2350

5 ms～0.05 s

ー

ー

2.5×107(－10 ℃ : 20 ms)

裏面入射型CCDリニアイメージセンサ光検出器

感度波長範囲（nm）波長分解能 (FWHM)*1

露光時間(内部トリガモード)ゲート時間*2

ゲート繰り返し受光素子チャンネル数素子サイズ素子冷却温度読み出しノイズ(electrons)暗電流(electrons/scan)AD分解能分光器F値ファイバタイプファイバ長ファイバ受光面積外部トリガ入力インターフェース電源

18 ms～64 s

24 μm×1392 μm

0 ℃

128（0 ℃ : 20 ms)

凹面グレーティング方式

3

2 m

ー

ー

1024 ch

16

16 bit

バンドルファイバ （Φ12 mm SUS管）

Φ1 mm

TTLレベル／High インピーダンス

USB 2.0*4

AC 100 V～AC 240 V、50 Hz／60 Hz (電源電圧変動±10 ％)

250 ～ 840≦ 3 nm

（750 nm未満）

C14631-02

300 ～1040

≦ 4 nm

C14631-03

200 ～ 950

< 2 nm

C10027-01

350 ～1100

< 2.5 nm

C10027-02

300 ～ 800

≦ 3 nm

C14631-01 C10028-01 C10028-02 C10029-01

ツェルニターナ方式

4

1.5 m

< 9 nm

256 ch

50 μm×250 μm

－10 ℃

12 500

R

（※C14631用のみ2 m）