白光干涉儀應用 於表面輪廓量測
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白光干涉儀應用 於表面輪廓量測. 奈米定位與量測技術. 授課教師 : 朱志良 老師 報告人 : 楊豐懋 MA11V201. 干涉條紋. 光源. 參考平面. 待測平面. 白光干涉原理. 非接觸式的 3D 顯微物體表面檢測儀器 光的波動性 光的同調性. 1. 1. 2. 2. 3. 0. 0. 同調性高. 同調性低. 白光干涉儀之應用. Sanpany MOB WLI. ZYGO NewView 7000. 薄膜分析 應用. 動態 MEMS 測量. 參考資料. - PowerPoint PPT PresentationTRANSCRIPT
: : MA11V20101201233D
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