반도체, fpd 초정밀 장비 진동제어 사업부

RMSPrecision Anti-vibrationTotal Solution

CONTENTS

1. Total Engineering Service : 반도체, FPD 초정밀 장비 진동제어 사업부�

INTRODUCTION

P01P02P03

3. Total Engineering Service : 기계 설비 및 유틸리티 진동 제어 사업부

P11P12P13

/ Micro-AM/ RMS Monitoring System/ VDF Exiciter II

/ Intelligent Fluid

4. Total Engineering Service : 소음 및 건축 음향 사업부

5. Total Engineering Service : 지능형 유체 사업부

P05P06P07P08P09P10

/ Smart-VS/ Micro-MRAM/ RSRM-X

/ VSD/ UTRM/ TMD System / HESIS/ HLRM/ SVM-Infilling System

2. Total Engineering Service : 건축 및 구조물 진동 설계 사업부

P04/ MR-Damper . 내진용� . 철도 반능동 � . 충격시험기용

1999 RMS 테크놀러지㈜ 설립소음진동기술사사무소 등록

10/

2001 소음진동방지시설업 등록09/

2002 ‘충격성 소음 저감용 디퓨져 소음기’ 실용신안 등록

‘대형공조기의 고효율 이중방진시스템’ 실용신안 등록

한국능률협회 녹색경영대상 기술부문 특별상 수상

04/08/11/

2003 한국반도체장비학회 춘계학술대회 우수논문상 수상05/

2004 한국반도체장비학회 춘계학술대회 우수논문상 수상

‘구조물 동특성 실험용 가변 동하중 가진기(Variable Dynamic Force Control Exciter)’ 특허 등록

05/10/

2005 ‘구조물 동강성 조절을 위한 하중 측정이 가능한 지지장치’ 실용신안 등록

‘내충격용 고효율 복합형 방진고무 마운트’ 실용신안 등록

한밭대학교와 산학협력협약서 체결

RMS 테크놀러지㈜ 부설기술연구소 설립

05/06/08/12/

2006 RMS 테크놀러지㈜ 벤처기업 인증 획득

RMS 테크놀러지㈜ 기술혁신형 중소기업(INNO-BIZ) 인증 획득06/

2008 ‘MR댐퍼를 이용한 고정밀장비 방진용 모션 컨트롤러 및 이를 이용한 운동제어시스템’ 특허 등록

‘전기액추에이터를 이용한 고정밀장비 방진용 모션 컨트롤러 및 이를 이용한 운동제어 시스템’특허 등록03/05/

2009 ‘초정밀장비용 고효율 방진시스템(V-SMD) 특허 등록, 디자인 출원 등록

‘회전진동 제어용 토션바조립체 및 이를 이용한 제진대’ 특허 등록

기술신용보증지금 Kibo A+ Members 선정

‘유압레벨링 장치를 구비한 방진마운트 및 이를 이용한 철도궤도 방진 시스템’ 특허 등록

‘자기가변 점성유체 조성물’ 특허 등록

중국 사천성 ‘사천RMS상무유한공사’ 법인 설립

01/06/09/11/12/

2010 ‘기계진동방지용 방진기’ 디자인 출원 등록

해외건설업 환경오염방지시설업 등록

한국생산기술연구원 – 파트너기업 지정

04/10/

2011 ‘계면활성제로 비수계 고분자 습윤 분산제를 사용한 자성 유체 조성물 및 그 제조방법’ 특허 등록

지식경제부, 한국산업기술평가관리원과 우수기술연구센터협회가 주관하는 신규 ATC 및 WATC 지정서 및

현판 수여, [우수기술연구센터]로 등록

‘폐타이어를 이용한 지반진동 차단장치’ 특허 등록

한국소음진동공학회 특별회원 가입

한화 Cladding 공장 생산시설 준공기념 당사 감사패 수상

05/06/

07/11/12/

2012 S. Y. Technology, Engineering & Construction Co., LTD 과 사천RMS상무유한공사 MOU 체결

‘진동 모니터’ 특허 등록

한국기술교육대학교, 당사 ‘가족회사’ 인증

‘자기장 및 전자기장 차폐장치를 구비한 MR댐퍼를 사용한 방진마운트’ 특허 등록

‘경전선 함안역 철도궤도 방진시스템’ 국내 최초 시공

소음 진동 분야 측정대행업 등록, 환경전문공사업 등록

01/02/03/08/10/11/

2013 ‘멤브레인을 구비한 MR 댐퍼’ 특허 등록

풍세 산업단지 사옥 이전

건축공사업 등록

이중충격파형 능동제어 시험기 국방과학기술연구소에 시연 및 설치

02/03/05/08/

2014 Smart-VS 진동제어시스템 개발

COWELL, 당사 우수 협력업체 지정03/09/

HISTORY

RMS는 최고의 기술력으로새로운 미래를 향해 한발 더 나아가겠습니다.

RMS Technology Co., LTD는

'구조물 및 유틸리티 진동에 대한 종합적인 동적 설계기술의 제공' 이라는 모티브를 가지고 있습니다.

충분한 현장 경험, 실험 및 해석에 대한 독자적인 기술을 보유한 엔지니어를 중심으로 1999년 10월에 설립 하였습니다.

RMS Technology Co., LTD는 초정밀 산업의 미진동(微振動, sub-micro vibration) 제어 기술을 고객에게

제공하기 위하여 실험과 해석기술이 통합된 'Semi-Empirical Method' 라는 독자적인 진동제어 기술을 확보하고 있습니다.

서브 마이크로 수준의 진동허용 규제치가 요구되는 기가급 (giga class) 반도체 공장의 기초부터 유틸리티 방진시스템의

설계에 이르는 구조설계를 국내 최초로 수행 하였습니다.

이러한 기술을 기반으로 차량 및 지하철 진동의 예측과 대책, 칩 마운트 충격성 진동 대책, 건물 및 터널의 내진(耐震) 설계,

건축 구조물의 동적(動的) 안전진단과 특수 구조물에 대한 방폭(防爆) 설계에 이르기까지 적용 분야를 확대하고 있습니다.

아울러 결과에 대한 신뢰성도 한층 더 높여가고 있습니다.

RMS Technology Co., LTD 직원 일동은 국내외로 부끄럽지 않은 최고의 '구조물 동적 설계 및 대책 기술'을

확보하고, 고객에게 제공하기 위하여 노력할 것을 약속드립니다.

앞으로 많은 관심을 가지고 지켜봐 주시기 바랍니다.

RMS테크놀러지(주) 임직원 일동

INTRODUCTION

초정밀 미진동 제어 사업부

TOTAL ENGINEERING SERVICE

반도체, FPD 초정밀 장비 진동제어 사업부01

● 초정밀 공장(Fab.) 구조물 동적 설계

- 초기 Concept 설계

- 파일 및 기초 구조 설계

- 진동설계목표치에 따른 골조 구조물 설계

- 정밀 장비 배치에 따른 진동 제어 및 설계

- 설비, 덕트, 배관라인의 방진설계

● 초정밀 연구소 및 실험실 진동 제어 설계

● 기존 초정밀 공장 리모델링 및 Capa.-up 설계

가) 미진동 제어 및 설계

● OLED, LCD, LED, PDP 공장(Fab.) 구조물 동적 설계● 반도체 공장 구조물 동적 설계● 연구소내 정밀 현미경 및 계측장비 설치를 위한 진동 제어 설계● 기존 초정밀 공장 리모델링 및 Capa.-up 설계

● 삼성 OLED A2, A3 공장 프로젝트● 삼성 중국 소주 LCD 공장 프로젝트● 삼성 LCD 7, 8 Line 공장 프로젝트● LG디스플레이 LCD P9 공장 프로젝트● LG디스플레이 중국 광저우 LCD 공장 프로젝트● LG디스플레이 LCD P4, P5, P6, P7, P8 공장 프로젝트● SK 하이닉스 반도체 이천 M14 공장 프로젝트● SK 하이닉스 반도체 청주 M11, M12 공장 프로젝트● 엠코코리아 K5 공장 프로젝트● 중국 BOE OLED B6 공장 프로젝트● 중국 BOE LCD B8 공장 프로젝트● 중국 BOE LCD B1~B5 공장 프로젝트

나) 응용분야

다) 수행실적

반도체, FPD 초정밀 장비 진동제어 사업부

초정밀 공장 (Fab.) 진동설계 및 정밀장비 진동제어1

01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 02

● 진동문제가 발생한 검사/생산장비 진동측정 및 평가● 고배율 광학장비 진동 제어(SEM, TEM, AFM, E-Beam 등)● CR내 진동원(STK, AGV, OHT)에 대한 제어● 과진동 유발설비(SMT, PRESS등)에 대한 제어

나) 응용분야

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

현대자동차 남양연구소 개발시험동 프로젝트

연구단지(R3~R5, DSR, 소재단지) 프로젝트

한국전기연구원 밀양나노센터 노광장비 진동제어

SDC A3 OHT(세메스) 진동 영향성 평가

대구 경부과학기술원 프로젝트

전북 나노집적센터 프로젝트

한국과학기술원 나노종합펩 프로젝트

미래산업 SMT장비 동하중 및 진동 평가

삼성 중국 소주 LCD SMT설비 증설 프로젝트

LG디스플레이 M2 STK 진동영향성 평가

동희산업 김천공장 프레스동 프로젝트

의료용 로봇 진동측정 및 평가

다) 수행실적

● 정밀 검사/생산 장비 진동 제어

- 진동원, 전달특성 측정

- 동적해석을 통한 분석 및 평가

- 최적 진동대책안 설계 및 제안

● 연구용 실험실 및 분석실 진동 제어 설계

● 수술실 진동 제어 설계 및 의료용 로봇 진동 제어

가) 진동측정 및 평가, 저감대책안 설계

정밀 검사/생산 장비 및 연구용 분석실 진동제어2



03 : Smart-VS

방진을 위한 고효율 지능형 마운트 적용 (고유진동수 : 1.5㎐ 수준 구현)

제진을 위한 고성능 지능형 댐퍼 시스템 적용 (안정화 시간 : 50㎳ 이하 구현)

자동수평조절 시스템에 의한 정반/제진대의 정적∙동적 고정밀 변위 제어 (±10㎛ 이하 제어)

01. 개 요

03. 구 성

02. 특 징

Intelligent vibration control and isolation system with MR damper특허 제10-0811828호(산자부공통핵심기술개발 지원사업)

P01 Smart-VSMR 댐퍼를 이용한 지능형 방진 장치

Floor Vibration

Reduced Vibrationby Smart Mount

Stone Plate

Base Frame

Moving StageSensing Signal

Controller

Actuator DriverControl Signal

Driving Current

Driving Current

반도체 , OLED, TFT-LCD 등 초정밀 장비의 완벽한 진동제어 솔루션

신개념의 진동제어 알고리즘에 의한 탁월한 방진/제진 성능 확보

마이크로 수준의 자동수평조절 기능에 의한 시스템 동적 안정성 확보초정밀 생산/검사 장비 진동허용규제치의 획기적인 개선

다양한 설치 환경과 초정밀 생산/검사 장비의 안정성 및 신뢰성 확보

Vibration Sensor

Vertical Actuator

Horizontal Actuator

SMART Mount

Vibration Sensor

액츄에이터는 옵션으로 제공

4

8

1

Item

Vertical Actuator

Horizontal Actuator

Motion Sensor

Number

4

4

1

Item

Vibration Sensor

SMART Mount

System Control Unit

Number


01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 04

04. 사 양

05. 응용분야 및 적용사례

반도체 : CD-SEM, TEM, SIMS, e-Beam Inspection, CD-SAXS, EUV, AES, XPS, FIB, AP, Insight, UV검사기,

VF2 X-ray, Inspection, Thickness, Surface Profile 등

TFT-LCD : AFM, 두께측정기, CD측정기, 노광기, 현상기, MAC/MIC Array, Aoi-Standard alone array 등

PDP : 원자현미경, 수술용 로봇

1) 응용분야

2) 적용사례

초정밀 장비의 고효율 방진과 대변위제진기능

4~6조 1세트 구성으로 약 4Ton~24Ton의하중 지지

지능형 댐퍼 시스템에 의한 안정된 시스템운영

Item Unit

Type

Size

H (mm) 240 240 240

SMART-VS 1.0 SMART-VS 2.0 SMART-VS 4.0

A (mm) 340 410 520

Smart Mount Weight kgf ( per unit) 60 76 120

Current A 2.0

Air Pressure Bar 2.5 ~3.5

Payload kgf ~ 1200 ~ 2000 ~ 4000

Natural Frequency Hz 1.5 under

Smart Damper % 8 ~ 40

Install Height

Supply Voltage

Supply Air Pressure

240(±2㎜)

235

over 6 bar

Static stability

Dynamic stability

Dynamic load / Static load ratio ≤ 3%

x,y,z ≤ ±25㎛

less than 0.5 ~ 1.2 sec

Item Condition Item Condition

H

A

A

1. 삼성반도체 SAS 오스틴 PJT(3DAFM 장비)

2. 삼성반도체 기흥 SR PJT(Insight 장비, Veraflex 장비)

3. 삼성반도체 기흥 2라인(Insight 장비)

4. 삼성전자 OLED PJT(ELA 장비)

5. 삼성전자 C6 PJT(Coater 장비)

6. MEMC Korea(Wafer Sight 장비)

7. LGD P7, P8, P9 PJT(두께 측정기)

8. LGD 광저우 PJT(HT 측정기)

9. BASF Korea 수원 PJT(AIT UV 장비, SEM Vision 장비,

Bruker DAFP 장비)

10. 세메스(Coater 장비)

11. 전기연구원 밀양 PJT(나노 가공 초정밀 장비)

12. 기타 장비 업체 등



05 : Micro-MRAM

P02

Micro-MRAM은 구조물로부터 전파되는 진동을 획기적으로 차단하여 반도체

및 TFT-LCD공장에서 사용되는 초정밀 생산 및 검사장비에 사용이 적합한

시스템이다. 특히 내장된 MR 댐퍼는 능동제어 방법으로 제진대의 진동을 제어

함으로써 외부 진동의 차단과 자체 진동의 제어를 동시에 수행하는 첨단의

방진/제진시스템이다.

Micro-MRAM은 장비의 대형화와 가공/검사 정밀도의 향상으로 인한 엄격한

진동허용 규제치를 개선시킬 뿐만 아니라, 또한 장비 자체에서 발생되는 동적

하중을 효과적으로 제어하고 장비 지지부의 마이크로 수준의 정적 밸런싱에

의한 동적 안정성을 확보함으로써 생산/검사 장비의 내외부 진동문제로 기인하는 제품 수율 및 생산성을 극대화 할 수 있는 초정밀

진동제어시스템이다.

Micro-MRAM은 공기스프링 중심축에 동적 안정성을 위한 Pendulum Type의 MR Damper가 장착된 구조이다. 이 시스템은 공압을

이용하여 제진대의 높이를 정밀하게 조절할 수 있으며, 공기 스프링의 문제점으로 알려진 장비 내부에서 발생하는 가진력에 의한 과도

진동의 신속한 제거를 위하여 MR Damper가 설치되어 있다. Micro-MRAM 내부에 장착된 MR Damper 에서 발생하는 감쇠력은

Current Driver에서 제공하는 전류의 크기에 따라 증가하므로 과도진동이 없는 경우 전류는 제공되지 않아 높은 방진 효율이 유지되며,

과도진동이 발생하는 경우에는 전류가 유입되어 과도진동을 신속히 제거한다.

01. 개 요

03. 구 성

02. 특 징

Intelligent vibration control and isolation system with MR damper특허 제10-0811828호(산자부공통핵심기술개발 지원사업)

Micro-MRAMMR 댐퍼를 이용한 지능형 방진 장치

Micro-MRAM System의 구성은 다음과 같이

정반의 움직임을 감시하는 센싱부, 전체 시스템을

제어하기 위한 제어부, 하달된 제어명령에 따라

방진 및 제진행위를 하는 Isolator 부로 이루어진다.


01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 06

04. 사 양


반도체 : S-9380 CD SEM, VX340 Surface profiler 등

TFT-LCD : AFM, 두께측정기, CD측정기, 노광기, 현상기, MAC/MIC Array, Aoi-Standard alone array 등

PDP : ID Marker_F, ITO PR Coarter, ITO PR Exposure 등

1) 응용분야

2) 적용사례

2) 제어 및 센싱부 사양

H(mm)

D01(mm)

D02(mm)

Ohm

A

Bar

kgf

Hz

%

크 기

Core 저항

사용 전류

사용압력

적용하중

적정 하중 대비 진동수

가변 감쇠비

MRAM4000

MRAM3000

MRAM2000

MRAM500

275이하

405

470

275이하

405

470

275이하

350

400

275이하

285

340

350(h)×500(w)×400(depth)

220

ARM 7 Processor

PWM

12

12

4~8

1.2 이내

4~8

mm

V

-

-

Bit

Bit

Ch

A

Ch

3~5.0

1.2이하

5~6.5

1,000~

2,000

500~

1,000

3,000~

4,000

2,000~

3,000

2.4~3.5 (수직, 회전모드 포함)

8~80%

※상기 제원 외에 사용자를 위한 OEM 생산이 가능하며, 자세한 사항은 당사 문의

크기

사용전압

CPU

Type

A/D

D/A

채널수

사용 전류

채널수

DSP

CurrentOutput

Sensinginput

구 분 단위구 분 단위 내 역

350

500

1) Isolator부의 사양

Type

"D 01"

"H"

"D 02"



: RSRM-X07

P03

RSRM-X는 Dynamic Damper-Stopper[SMD]와 고효율 방진고무가 병렬로 연결되어

있는 시스템으로 초정밀 반도체 및 TFT-LCD 공장에 사용되는 고정도 생산, 측정 및 검사

장비에 안정적으로 적용할 수 있는 진동절연 시스템이다.

01. 개 요

03. 구 성

1) 본체(상부 캡, 방진고무, 하부프레임)

02. 특 징

High effective rubber mount assemblyRSRM-X

고효율 방진 고무마운트

RSRM-X는 하중에 대하여 발생하는 압축 변형과 전단 변형을

최적화하는 형상설계로 시스템의 고유진동수를 6Hz

수준으로 구성할 수 있는 고효율 방진고무 마운트이다.

정격하중에 대하여 10mm의 정적 처짐(고유진동수 5Hz)이

발생하도록 설계되어 있으며 선형 구간이 15mm 이상 되어

설계 여유가 충분한 제품이다. 수평방향의 강성도 수직방향

강성과 균형이 잘 이루어져 있어 초정밀 반도체 및 TFT-LCD

생산 공장에 주도적으로 적용되고 있는 제품이다.

RSRM-X를 정격하중에서 설계하는 경우, 20Hz의 외부진동에 대한 진동 차단율은 97%, 30Hz의 외부진동에 대한 진동 차단율은 99%

수준이 된다. RSRM-X는 SMD와 결합 하여 사용 되며, SMD는 내부에 유압 장치가 내장되어 있어 Dynamic Damper 역할을 할 수 있다.

대형 Scanning type의 노광장비와 같이 자체 충격진동에 의한 제진대 응답이 과도하게 발생하는 경우 SMD가 천이진동을 잡아 주는 역할을

한다.

New150 3rd Sample

0 2 4 6 8 10 12 14 160

50

100

150

200

250

300

Force [ kg

f ]

Displacement [ mm ]

처짐량에 따른 하중 성능 그래프 적용 하중에 따른 고유진동수 변화

Mass : 153.3kgf

Mass : 96.5kgf

Mass : 209.3kgf

1 10

1E-3

0.01

0.1

Mag

nitue [ (m

/s2 ) / N

]

Frequency [ Hz ]

충격완충소자(SMD)

상부 캡

하부판

방진 고무

하부프레임

본체의 고무는 탄성체로서 일정한 스프링상수를 가지고

있어서 진동 또는 충격을 흡수하는 기능을 가지고 있다. 이

고무는 정하중 하에서 15mm 이상의 적정 처짐까지 선형성을

확보하고 있으며, 이를 기준으로 이것이 사용된 방진시스템의

고유진동수를 구하면 약 6Hz이하가 된다. 상부캡 등

조립체들은 내환경성을 고려하여 SUS 재질로 제작되며, 상부

캡 상단에 결합용 나사 구멍이 가공되어 있으며, 하부에는

하부판을 고정하기 위한 나사구멍이 가공되어 있다. 또한 고무와의 부착성을 높이고 회전 방지를 위하여 외부에 홈이 가공될 수 있다.

하부 프레임은 알루미늄 재질로 만들어지며 원통형 형상을 한 고무로부터 전달된 하중을 설치 부위인 바닥으로 전달하는 기능을 한다.

이 하부 프레임에는 바닥에 고정되는 하부판이 기계적으로 결합된다.

2) SMD

SMD는 실린더 구조로 내부에 유압장치가 조립되어 있어, 장비에서 발생하는 충격성 가진원에 의한 천이진동을 방지하고, 하중을

분산시키며, 대변위 방지를 위한 Stopper 역할을 동시에 수행하므로 제진대 모서리 부에 주로 설치한다.


01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 08


초정밀반도체 및 TFT-LCD공정에 사용되는 측정/검사용장비

PS Inspection, Mac/Mic, TR/Seal Dispenser

Pitch/Height/Thickness Measurement System

AFM, Laser Measurement System

1) 응용분야

2) 적용사례

3) 하부판

하부 판은 방진기 고정 위치에 고정할 수 있도록 나사 구멍이 가공되어 있다. 이 하부 판은 본체에 프레스 등으로 기계적으로

고정된다.

04. 사 양

"D"

"A"

"C"

"B"

"D"

"A"

"C"

"B"

일반형

SMD 결합형

RSRM-6N

RSRM-4N

RSRM-S6N

RSRM-S4N

900Kgf

600Kgf

900Kgf

600Kgf

A

340

235

485

380

B

235

235

235

235

C

-

-

340

235

D

125

125

125

125

사용 정격하중Dimension(mm)

구 분

건축 및 구조물 진동제어 분야



09

● 기본자료조사, 업무절차수립 - 설계도서검토 : 구조특성, 소음/진동원 민감 구간 배치

- 각 공간 용도별 소음진동 허용 기준 조사

● 바닥진동 사용성 평가 - 3차원 시뮬레이션 모델 구축

- 구조물의 동적 강도, 진동 응답 평가

- 진동기준 초과 구간 구조보강 대책

● 교통 소음/진동원 영향 평가

● 설비 진동 영향평가 - 설비 구조소음/진동 자료 조사

- 설비에 의한 구조소음/진동 영향 평가

- 방음/방진 대책

가) 구조물 진동 제어 및 설계

● 구조물의 동적 특성 개선을 위한 구조설계 (SDM)● 초고층 등, 대형구조물의 동적 최적설계● 진동 민감 구조물의 기초설계

● 제2 롯데월드 프로젝트

● 해운대 I-PARK 프로젝트

● 동대문 디자인 플라자 프로젝트

● 잠실 골드 캐슬 프로젝트

● 신도림 D-스퀘어 시티 프로젝트

● 뚝섬 대림 한숲 프로젝트

나) 응용분야

다) 수행실적


초고층/주상복합 구조물 최적화 설계1


01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 10

● 구조물의 동적 특성 개선을 위한 구조설계 (SDM)● 산업구조물의 동적 최적설계● 구조물 사용성에 따른 소음진동 계측평가, 대책● 교통 소음/진동원에 따른 소음진동 계측평가, 대책

나) 응용분야

다) 수행실적

● 기본자료조사, 업무절차수립 - 설계도서검토 : 구조특성, 소음/진동원 민감 구간 배치

- 각 공간 용도별 소음진동 허용 기준 조사

● 바닥진동 사용성 평가 - 3차원 시뮬레이션 모델 구축

- 구조물의 동적 강도, 진동 응답 평가

- 진동기준 초과 구간 구조보강 대책

● 교통 소음/진동원 영향 평가 - 도로, 지하철, 항공기의 항로, 통행량, 통과속도 조사

- 소음/진동 발생량 측정 평가

- 외부 차음성능 계산, 실내 소음 영향 평가, 대책

- 구조물 내부로 전달되는 외부 진동 영향평가, 대책

● 설비 진동 영향평가 - 설비 구조소음/진동 자료 조사

- 설비에 의한 구조소음/진동 영향 평가

- 방음/방진 대책

가) 구조물 진동 제어 및 설계

산업구조물 동적 실험/해석 및 설계2

●

●

●

●

●

●

삼성전자 R5 프로젝트

삼성전자 DSR 프로젝트

마곡 LG 사이언스파크 프로젝트

LG 트윈타워 리모델 프로젝트

LG전자 평택디지털파크 프로젝트

NHN 프로젝트(분당, 판교, 춘천)

●

●

●

현대자동차 남양연구소 프로젝트

현대자동차 오토월드(오토컴플렉스)

현대 케피코 차량시험동 프로젝트

건축 및 구조물 진동제어 분야11



● 구조물 : 고유진동수, 동적강성, 거동형상(모드)에

따른 손상여부에 대한 평가 및 대책● 기계 및 설비 : 진동기준 결정 및 동적 구조 개선

설계를 통한 대책 (ISO, DIN4150, USBM…)

나) 응용분야

다) 수행실적

● 구조물 및 장비의 동적 특성 실험을 통한 안전성 평가● 구조물 및 장비의 동적 거동에 따른 손상여부 평가● 진동에 의한 콘크리트 양생에 미치는 영향성 평가● 각종 진동허용기준에 의한 구조물 동적 특성 평가

가) 구조물 및 장비의 동적 특성 실험

건축/산업 구조물 동적 안전진단 및 대책3

●

●

●

●

●

●

동양제철화학 군산공장 Reactor와 철골구조물 평가, 대책

진해무장공장 광학장비 외부진동원 평가, 대책

삼성석유화학 재료혼합탱크 구조물 평가, 대책

울산영흥전기 GTE 동적 평가

동부건설㈜ 양주권 자원회수시설 구조물 평가

동대구 복합환승센터 버스운행 영향 평가, 대책


01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 12

● 차량진동에 의한 지반 진동전파 제어● 열차진동에 의한 지반 진동전파 제어● 발파진동에 의한 지반 진동전파 제어

나) 응용분야

다) 수행실적

● 지하철 운행으로 인한 인접 구조물 영향성 평가● 주변 차량 통행으로 인한 구조물 진동 영향성 평가● 발파로 인한 진동민감 영역에 대한 영향성 평가

가) 진동원별 영향성 측정 및 평가

진동원에 의한 진동 영향성 측정 및 저감대책 4

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

●

삼성 LCD 7, 8 Line 공장 프로젝트

평택진위산업단지 발파에 의한 인접 정밀장비 진동평가

한화 폭발 압접 인접 민원지역 진동평가

의정부 민자역사 열차운행 진동영향평가

경의선 전철 운행에 따른 인접 민원 지역 진동평가

한양건설 세곡 2지구 4단지 KTX운행 진동영향평가

제2 롯데월드 지하철운행 진동영향평가

사랑의 교회 교통진동 영향 평가

삼성의료원 양성자센터 지하철운행 진동영향평가

DMP IFEA 오페라홀 교통진동 영향평가, 대책

한강예술섬(노들섬) 교통진동 영향평가

동대문디자인파크 교통진동 영향평가

P04

01. 개 요

03. 구 성

02. 특 징

Magneto-Rheological DamperMR-Damper

MR 댐퍼



13 : MR-Damper

본 제품은 이동질량, 작업 로봇 등에 의하여 발생하는 충격성 동하중으로 인한 진동을

효율적으로 감쇠시키기 위한 댐퍼로써 이러한 진동이 발생하는 경우 댐퍼는 감쇠력이

발생하여 진동을 제거하는 역할을 한다.

이와 같이 주변 진동 환경에 따라 변화하는 감쇠력을 얻기 위하여 댐퍼는 smart 소재의

일종인 MR 유체(Magneto-Rheological Fluid)를 사용하고 있다. 진동이 감지되면 댐퍼

내부의 core부에서 발생하는 자기장 효과로 MR유체의 ferrite 입자 간에 결합력이

증가하게 되어 감쇠력이 증대하게 된다. 이러한 특성을 이용하여 본 제품은 큰 충격성

동하중과 정밀 가공을 동시에 수행하여야 하는 SMD 장비, 노광장비, 코터장비 등에

적용하여 높은 방진효율과 제진특성을 동시에 유지할 수 있다는 장점을 갖는다.

MR유체의 결합력을 응용한 반능동 제어형 댐퍼로써 진동이 발생하는 경우 가변 감쇠력을 이용하여 빠른 감쇠가 가능한 제품으로써,

사용 환경 조건에 따라 Smart Control Type및 Passive Type으로 설치하여 사용 할 수 있다.

본 제품은 댐퍼와 전류 제어기가 결합되어 장비의 거동상태에 따라 댐퍼에 작용하는 감쇠력을 제어할 수 있도록 구성되어 있다. 초정밀

장비의 방진/제진을 목적으로 하여 댐퍼의 감쇠력 범위는 30~500 [N/개]를 기본으로 하여 설계하였으며, 고객의 다양한 요구 사항을

효율적으로 만족시킬 수 있는 설계기술을 확보하고 있어 다양한 응용과 성능개선에 대처할 수 있다. 댐퍼의 총 길이는 피스톤의 길이와

스트로크의 합으로 결정되며, 대상 장비에 따라 OEM방식으로 생산이 가능하다.

MR Damper는 기본적으로 MR Damper와 MR Damper에 전류를 공급하기 위한 Current Driver 및 전원공급장치로 이루어진다.

사용자의 환경에 맞추어 Passive Type과 Smart Control Type으로 설치가 가능하며 각 방식별 구성은 다음과 같다.

. Smart Control Type : 장착장비에 의해 발생되는 진동에 따라 유기적인 감쇠력 제어가 필요한 경우

. Passive Type : 장착장비의 운용에 따라 일정한 댐핑력이 지속적으로 필요한경우

. Passive Type의 구성 : 방진장치(방진고무(RSRM, UTRM), 에어마운트등), MR-Damper, Current Driver

. Smart Control Type의 구성 : 방진장치(방진고무(RSRM, UTRM), 에어마운트등), MR-Damper, 진동측정 센서, RMS 통합제어기

Passive type 설치 구성도 Smart Control type 설치 구성

1) MR-Damper

2) Current Driver

3) Integrate controller 및 Sensing부

04. 응용분야 및 적용 사례

1) 응용분야 2) 적용사례

초정밀 생산/검사 장비의 내외부에서 발생하는 진동에 대하여장비의 생산성 및 수율을 정량적으로 개선할 필요 성이 있는 장비

최적의 방진효율과 제진성능이 동시에 요구되는 SMD Placement -System, 노광장비, 칩마운트, 코터장비, 고정밀 성형기 및 프레스등에 적합


01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 14

구 분 단 위 내 역

Ohm(Ω)

N

ms

mm

mm

mm

3~4.5

100~500이상

20이하

133

±15

100

Core 저항

가변 감쇠력

응답시간

중립설치 높이

Stroke

외경

치

수


Ohm(Ω)

N

ms

mm

mm

mm

3~4.5

100~500이상

20이하

133

±15

100

Core 저항

가변 감쇠력

응답시간

중립설치 높이

Stroke

외경

치

수


133 중

립위치

106

Ø98M10

M10

0.2A0.4A0.6A0.8A1.0A1.2A

-2.0 -1.5 -1.0 -0.5 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0-1000

-800

-600

-400

-200

0

200

400

600

800

1000

force [N]

Displacement [mm]

0.2A0.4A0.6A0.8A1.0A1.2A

113

50 40 PWM

0.00~1.20A

0.01A

1~6Ω

50mm

113mm

40mm

DC 12V

전류 제어방식

가용전류

가변전류량

사용가능 Core 저항

사용전원

가 로

세 로

깊 이

치 수

PWM

0.00~1.20A

0.01A

1~6Ω

50mm

113mm

40mm

DC 12V

전류 제어방식

가용전류

가변전류량

사용가능 Core 저항

사용전원

가 로

세 로

깊 이

치 수

350

500

150(h)×500(w)×400(depth)

220

ARM 7 Processor

PWM

12

12

4~8

0.0~1.2

4~8

mm

V

-

-

Bit

Bit

Ch

A

Ch

A/D

D/A

채널수

사용 전류

채널수

DSP

CurrentOutput

Sensinginput

A/D

D/A

채널수

사용 전류

채널수

DSP

CurrentOutput

Sensinginput


P05

01. 개 요

03. 구성 및 사양

02. 특 징

Variable Stiffness DeveloperVSD

동강성 보강 조절기

15 : VSD



VSD는 구조물의 동강성 구조 보강을 위한 장치로써 내부에 장착된 유압 조절기로

구조물의 동강성을 요구되는 수준으로 조절 및 보강하는 제품이다.

진동에 민감한 정밀생산 및 정밀측정/ 검사장비(이하‘정밀장비’라 함)를

갖추고 있는 공장구조물을 설립하는 경우에는 공장구조물의 설계

초기단계에서부터 공정에 사용되는 각종 정밀장비가 정상운용을 위해서는

공장구조물의 진동허용 규제치와 동강성 허용규제치를 동시에 결정해야만

한다. 이러한 규제치를 만족시킬 수 있도록 공장내 청정실 (Clean Room :

C/R) 구조물의 설계방법에는 첫 번째로 정밀장비의 외부로부터 유입되는

진동에 대한 진동절연을 위한 방진시스템을 도입하는 것과 두 번째로

정밀장비에서 발생하는 동하중에 대한 공장구조물에 대한 동적강성을

만족시켜주기 위해 구조물 동특성을 증가시켜 주는 방법이 주로 활용된다.

VSD 시스템은 높은 동강성이 요구되는 정밀장비를 설치하기 위하여

국부적으로 공장 구조물의 동강성을 개선할 필요가 있는 경우에 매우 효과적인

제품이다. VSD 내부 유압장치의 유압을 조절하고 유압 지시계로부터

지지하중을 판단함으로써 동강성을 정량적으로 요구 수준으로 조절할 수 있다.

Before VSD InstallationAfter VSD Installation

10

Frequency [ Hz ]

105

106

107

108

109

Dyna

mic Stfiiness [ N/

m ]


mm

mm

mm

mm

ton

MPa

175

250

40이하

215

30

70

높이(바닥면)

외경

사용 Stroke

최대높이

최대 사용하중

최대 사용압력

크

기

175

Ø 250

상부받침대

1차 Rock Nut

2차 Rock Nut

유압 주입구

본체

압력게이지


1) 응용분야

2) 적용방법

3) 적용사례

1. 상부 받침대를 하부 지지시스템에 직접 설치하거나 격자보 하부에 가로지르는 H-Beam에 밀착.

2. 하부 받침대를 지지보강 H-Beam에 고정시킴.

3. 회전나사부를 돌려 작동시키면 VSD가 상ㆍ하로 벌려지면서 상ㆍ하부 받침대 상단부 및 하단부하단부 각각에 하중을

받음.(이때 발생하는 압축력에 의하여 유압피스톤 형태로 되어있는 VSD 내부에 유압유가 압축되어 VSD가 받고 있는

힘에 대하여 해당 압력만큼이 유압게이지에 표시되어 나타나게 됨)

반도체, LCD 생산라인의 CR 구조 보강 설계

공장내 설비 지지 구조의 동강성 보강 설계


01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 16

VSD Mount LoadSensing Support

1st

B1

Foundation

VSD

H-Beam

BeamGirder

Column

P06

01. 개 요

03. 구 성

02. 특 징

Utility Rubber Isolation MountUTRM

고효율 고무 방진 마운트

17 : UTRM



방진 설계는 광의적으로는 진동제어 (Vibration Control)의 한

부분을 의미하며, 협의적으로는 원하지 않는 진동을 강성 (Stiff-

ness)이 유연한 재료로 만들어진 소자(Isolator)를 사용 하여

절연하는 것이다. 방진 설계에 있어 방진장치의 선택은

● 시스템 고유진동수의 하향조정에 필요한 충분한 탄성 변형량● 방진장치 용량의 다양화 및 유연성 이 매우 중요한 요소이다.

UTRM은 이러한 점은 고려하면 6Hz 미만의 시스템 고유진동수

설정이 가능한 고효율 방진 마운트를 결합하여 다양한 용량의

방진장치를 구성할 수 있도록 한 제품이다.

UTRM은 상부캡 플레이트와 베이스 플레이트 사이에 방진고무가

결합되어 있다. 방진고무는 탄성체로서 일정한 스프링상수를 가지고

있어서 진동 또는 충격을 흡수하는 기능을 가지고 있다. 이 고무는 정격

하중에서 정적 처짐 15mm 이상의 선형성을 확보하고 있으며, 이를

기준으로 이것이 사용된 방진 시스템의고유진동수를 구하면 약 6Hz

이하가 된다.

상부캡 플레이트는 강판으로 만들어 지며 상부에 상부캡 볼트와 조절

너트가 있으며, 이를 이용하여 방진하고자 하는 대상 장비와 체결 및

일정 높이 조절이 가능하도록 되어 있다.

하부의 베이스플레이트 또한 강판을 이용하여 제작도어 있으며 건물의

바닥면 혹은 설치하고자 하는 구조물에 시공되어진 앵커 및 볼트에

고정하기 위한 하부고정 홈이 양 끝단에 존재한다.

고유진동수 6Hz 이하의 고효율 고무 마운트.

차량용 수준의 신뢰성 있는 내구성 확보.

150kgf의 단위 방진재를 다수로 조합하여

사용하는 유연한 하중 적용.

고체음에 대해 효과적인 기능 보유.

●

●

●

●

●HERM-1NHERM-6N

0 250 500 750 1000 1250 1500 1750 2000 2250 25000

2

4

6

8

10

12

14

16

18

20

Diap

lace

men

t [m

m]

Load [Kg]

W W1

L3L2

L1

HH1

캡 볼트조절 볼트

D

04. 사 양



01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 18

L1

170

290

290

410

10±2

10±2

10±2

10±2

150

300

600

900

1N

2N

4N

6N

L2

140

260

260

380

L3

-

235

235

340

W

Φ114.3

125

225

225

W1

-

130

235

235

D

Φ12

Φ14

Φ14

Φ20

H

80

84

84

84

H1

93

100

103

103

조절볼트

M16×30L

M20×30L

M24×30L

M24×30L

캡 볼트

M10×35L

M12×40L

M12×40L

M12×40L

TYPEDIMENSION (mm)RATE

CAP(Kg)

RATEDEF(mm)

105

SGP 100A(Ø114.3)

2250

255t

장비 FOOT 및 JIG

HERM-1N

D


W

장비 FOOT 및 JIG

W1

L3L2

L1

HH1


D

설치 예시 설치 예시

1) 응용분야●

●

●

●

펌프용 (단단볼류트, 다단볼류트 및 터빈 등)

공조기용 (수평형, 수직형, 복합형, 일체식 등)

송풍기용 (시로코, 에어포일, 터보-양흡입 등)

입상관, 이중바닥 및 기타 각종 배관 방진용

2) UTRM 설치 과정

① UTRM-200 설치 전

⑤ 거푸집 설치 종료 ⑥ 거푸집 코팅 ⑦ 타설 전 철근 설치 ⑧ 콘크리트 타설 후 완료

② UTRM-200 설치 후 ③ 거푸집 조립 ④ 거푸집 설치 광경

P07

01. 개 요

02. 원 리

Tuned mass damperTMD System

동조질량 감쇠기

19 : TMD System



건축물의 구조는 전체적으로 연속체 구조로 구성되므로 자중, 지진, 바람과 같은 하중에 의해서 연속체 진동 모드에 의한 진동이

발생하게 된다. 이러한 구조진동을 제어하는 방법에는 구조물의 크기나 단면 형상을 변경하는 구조적인 방법과 인위적인 제진장치를

사용하여 진동을 억제하는 기계적인 방법이 있다. 기계적인 방법의 제어시 제어장치와 구조물의 특성만으로도 진동제어효과의 정확한

예측과 확실한 제어효과를 보장한다. TMD는 구조물의 동적 안정성을 위하여 외부하중에서 구조물에 전달된 에너지를 대신

흡수함으로써 진동을 감소시키는 원리를 가진다. 즉 구조물이 가지는 진동 에너지의 양을 인위적인 제진장치에 의하여 흡수,

분산시킴으로써 진동의 크기를 감소시키고, 층간 상대변위 및 최상층의 가속도를 줄임으로써 구조물의 내진, 내풍성능을 향상시키는

기계장치이다.

1) 구조물의 동적특성을 정확하게 파악하여 고유주기 및 진동수 그리고 감쇠비, 모드별 동적응답을 파악하여 이에 적절한 에너지를

소산 시킬수 있는 설계를 하여야 한다.

2) 구조물의 1차 모드 진동수를 파악하여 모드에 의하여 발생하는 변형에너지를 TMD의 감쇠 또는 에너지 소산으로 대신한다.

3) 구조물이 가지고 있는 진동 에너지를 TMD가 모두 흡수함으로 본 구조물은 흔들리지 않고 외부 에너지를 흡수하게 되어 제어가

이루어지는 원리를 가지고 있다.

y/yst

n=Ω/ωH

Strcturalvibration withoutTMD

y/yst

n=Ω/ωH

Limitedvibrationamplitudes withTMD

yH

F

yH

Without TMDWithout TMD With TMDWith TMD

1) 응용분야

2) 적용사례

TMD는 현장적용 환경에 따라 형상 크기가 모두 다르므로, 표준화된 사양은 없으며, 요구자의 요건에 맞추어 OEM 제작을 원칙으로

한다. 다음은 당사에서 설계/제작한 TMD의 구성 및 사양이다.

①구조체부 ②질량체부 ③강성체부 ④정섬체부로 이루어 지며 질량체와 질량체를 연결하는 강성체(Spring), 점성체 (Damper)를

이용하여 구조물의 에너지를 흡수함으로써 진동을 감소시키는 역할을 한다.

건축물 제진장치 교량의 제진장치로서의 역할 선박의 제진장치● ● ●

03. 설계 및 적용 절차

04. 구성 및 사양 예



01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 20

대상 구조물 동특성

( , )sς sω

설계하중 ( )

(풍하중, 지진하중,불규칙하중)

1Γ

대상 구조물 동특성( , )maxy maxµ

SDOP에 대한 유효감쇠치 결정 ( )eqς

max1 ),( yS ssy =Γ ςω질량비 산정 ( )µ

2)8.0(16 seq ςςµ −=최적 TMD 설계

주파수비 ( ), 감쇠비 ( )α aς

수치검증

설계, 제작, 시험

설치 및 조율

완료

YesNo

358

492.3

MR-DAMPER

SPRING

LM GUIDE

OIL

SPRING

TMD COVER

1000kg

P08

01. 개 요

03. 구 성

02. 특 징

High Efficiency structural lsolation systemHESIS

고효율 건물 방진장치

21 : HESIS



본 제품은 지하철, 철도, 도로 차량운행 등으로 지반 및 구조물을

매질로 하는 진동을 차단 혹은 감소 시키는 장치로서 건축 구조물,

문화재, 반도체공장, 정밀실험실의 건물의 기초에 설치함으로서

건물에 입력되는 진동 및 구조 소음을 효과적으로 감소시킬수 있는

시스템이다.

1) Steel Reinforcing Plates

2) Cover Rubber

3) Internal Rubber Layers

4) Bottom Mounting Plate

단위하중 당 지지하중이 크며, 부식이 없음.

설치 및 유지관리가 용이함.

●

●

지지하중 1ton~200ton 까지 가능함.

외부의 악조건에서도 녹화, 열화 되지 않음

●

●

고무시편 물리적 특성표(당사 특수 규격)

KSM6518

KSM6518

KSM6518

KSM6518

KSM6518

KSM6518

KSM6518

KSM6518

9±15

60±5

550이상

220이상

7±15

5±5

600이상

180이상

kgf/㎠

HS

%

kgf/㎠

%

%

%

%

정적전단 탄성율

경도

신장율

인장강도

25% 신장 응력 변화율

신장 변화율

압축영구변화율(70℃×22hr)

내오존성(100pphm×30%신장×40℃×96hr)

내한성

내수성 (상온×168hr)

노화시험

(70℃×70hr)

-10~+50

-50이상

15이하

균열 없을 것

-40℃인 것을 확인

2 이하

시험항목 단 위 품질기준 시험방법

04. 사 양



01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 22

1) 응용분야●

●

●지하철 및 기타 교통원에 의한 구조물 기초 방진 및 구조음 차단

대형 설비류 방진 및 구조음 차단

건물 기둥 방진 및 구조음 차단

33444446666677766666778

22222223333333333333334

33333333333333344444444

8888888888888881212121212121212

2424323232323248484848485555557272727272848496

1616161616161624242424242424243636363636363648

414152525252527474747474858585105105105105105121121137

3030303030303041414141414141415757575757575773

HESIS 100 X 150 HESIS 100 X 200 HESIS 150 X 200 HESIS ø 200 HESIS 150 X 250 HESIS 150 X 300 HESIS ø 250 HESIS 200 X 250 HESIS 200 X 300 HESIS 200 X 350 HESIS ø 300 HESIS 200 X 400 HESIS 250 X 300 HESIS ø 350 HESIS 250 X 400HESIS 300 X 400 HESIS ø 400 HESIS 300 X 500 HESIS ø 450 HESIS 300 X 600 HESIS 350 X 450 HESIS ø 500 HESIS 400 X 500

최 대최 소최 대최 소최 대최 소 보강판내부고무층탄성 고무층

두 께 (mm) 층 수높 이모 델

Column 설치예 기초설치 예

P09

01. 개 요

02. 특 징

Rubber Mount for high capacity and performanceHLRM

고하중용 방진고무 마운트



HLRM은 유압잭 기능과 고효율 방진고무가 함께 결합되어 있는 대용량용 방진 장치로써 유압잭 및 하중 지지

볼트를 이용하여 추가적 부재 및 보조 잭업 시스템의 필요 없이 고중량 물체의 정밀한 조절이 가능하며, 원추

경사형 방진 고무를 이용하여 하중 분산 효과 및 수평 수직에 대한 방진효율이 탁월한 제품이다.

HLRM의 기본구성은 크게‘하부브라켓’, ‘원추

경사형 방진고무’,‘상부브라켓’으로 구성되어

있으며, 궤도용 슬라브와 같이 구조물의 자체

높이 조절 및 방진이 필요한 경우 잭업 장치가

결합되어 있는 SJ 방식과 대형선박용 엔진과 같이

하중지지 및 방진이 필요한 경우 N방식으로 구성

할 수 있다.

1) 기본방진 성능

03. 구 성

10.3±1(1050±120)

12

15

7200kgf

4.0~12.0

1.4

10이상

kN/mm(kgf/mm)

mm

mm

kgf

ton

%

정적스프링 상수

최대변위(선형영역)

최대변위(비선형영역)

적용 정격 하중 (고유진동수 6Hz)

상용하중 범위

동배율

손실계수

내 역단 위구 분BallastedTrackHLRMFloatingSlab

0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 100 1101E-3

0.01

0.1

1

Veloc

ity [mm /s]

Frequency [Hz]

InsertionLossInsertionLoss

2) 방진고무의 물리적 특성 결과

- 온도 : 100±1℃- 시간 : 20시간- 단위 : %

- 농도 : 50pphm,- 온도 : 40℃- 시간 : 72시간

- 온도 : 35±1℃- 시간 : 1시간 - 측정결과단위 : MPa

40이하

균열없음

28.5

압축영구줄음율

오존균열시험

저온인장 강도 변화

결 과구 분 단위/시험방법

21.8

470

MPa

%

인장강도

신장율

노화시험

노화

시험후

경도변화율

인장강도 변화율

신장율

- 온도 : 100±1℃- 시간 : 70시간

-

MPa

%

2

21.3

420

결 과구 분 단위/시험방법

하부 브라켓

방진고무

상부 브라켓

Stopper

상부캡 볼트 및 조절좌

하부 브라켓

방진고무

상부 브라켓

하중지지 플레이트

유압잭

하중지지 Lock Bolts

HLRM-SJ 구성도 HLRM-N 구성도

23 : HLRM

04. 사양



01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 24

1) 응용분야

2) 적용사례

●

●

진동에 의한 환경문제가 대두 되는 지역의 건물 및 구조물 방진

(역사, 주거 밀집지역, 정밀가공공장 주변을 통과하는 철도 궤도용 슬라브의 방진)

고하중 장비(선박엔진등)의 방진

HLRM-SJ 외형도 HLRM-N 외형도

227.98

Ø345

Ø310

120.8161.83

317.98

230 이

상40

Ø315

Ø365

바닥 슬라브

115

Ø315

Ø365

HLRM-SJ 설치를 위한 슬라브의 기본 사양(하중지지블록 설치 기본 높이 및 이폭 크기)

하중지지블록

182.98

Ø310

247.98

Ø310

M30 Bolt

조절좌

궤도용 슬라브 방진 선박용 엔진 방진

25 : SVM-Infilling system

P10

01. 개 요

02. 특 징

Ground vibration Isolation System using Waste TireSVM-Infilling system

페타이어를 이용한 지반진동 차단장치



본 제품은 지반을 매질로 하는 진동을 차단 혹은 감소시키는 장치로서 지하철,

철도, 도로, 항타, 건축공사 및 발파 등으로 기인하는 인접 건축 구조물, 문화재,

반도체 및 TFT-LCD 공장, 실험실의 건물의 기초 또는 진동원 주변의 지반에

매립함으로서 건물에 입력되는 진동을 효과적으로 감소시킬 수 있는

시스템이다.

제품을 병렬 및 직렬 배치함으로서 진동 차단성능을 효과적으로 조절할 수 있는 특징을 가지고 있을 뿐만 아니라, 기존의 유사 제품이

폐타이어를 분말, 성형하여 제품을 생산하는 반면에 폐타이어 자체를 가공하지 않는 원형을 무공해 합성수지 재료를 사용하여 패키지하기

때문에 매립으로 인한 공해문제를 예방할 수 있는 환경친화성을 가지고 있다.

1) 원형 폐타이어 : 지반진동을 차단 또는 감소시키는 탄성 재료의 역할을

수행한다.

2) 탄성보강판 : 폐타이어의 유공부에 토사 및 지하수 유입으로 인한

지반진동 절연효과를 감소시키는 것을 방지하고 토압에 의한 지변 하중을

균등분배 시킨다.

3) 외부채음재 : 토사 유입을 방지하고 토압에 재하여 자유롭게 부착

보강판이 폐타이어에 압착될 수 있도록 작용한다.

4) 제품(채움재) 기본형태는 그림과 같으며 설치시공 상의 편의를 위해

4×2열, 3×2열 등으로 Package화 할 수 있다.

제품사이즈 : 720 mm × 720 mm × 210 mm

03. 구성 및 사양

성능시험 곡선

-10 -8 -6 -4 -2 0 2 4 6 8 100

500

1000

1500

2000

2500

3000

3500

4000

4500

5000

Displacement(mm)

Loa

d(kg

f)

Stiffness : 235724.0gf/mLoss factor : 15.7%

SVM 지반진동 감쇠재

원형페타이어

탄성 보강판

외부채움재

탄성 보강판 단면

04. 시공방법



01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 26

1) 응용분야

2) 적용사례

● ●지하철 및 교통원에 인접한 구조물 방진 및 구조음 저감 주상복합 중간층 기계실 및 헬스클럽 방진

지상 층

지하 층

무근 콘크리트타설

지상 층

지하 층

채움재

모래

흙막이벽체

흙막이벽체

지상 층

지하 층

채움재

모래다짐

무근 콘크리트타설

흙막이벽체

흙막이벽체

지상 층채움재

지하 층

Clamp로고정

Clamp로고정

매립토매립토

52.139 mm

기계 설비 및 유틸리티 진동 제어 사업부


27

● 진동 유발 장비 동하중 산정을 위한 측정 및 평가● 산정된 동하중에 의한 진동량 예측 및 저감 대책 수립● 정밀 장비 설치 구역의 진동허용규제치 조사를 위한 측정 및 평가● 정밀 장비의 정밀도 및 구조적 특성을 고려한 진동허용규제치 제시

● 코닝정밀미래생활건강 물류 센터 진동 영향 평가 및 저감 대책● 도루코 공장 조립 설비 진동 영향 평가 및 저감 대책● 미래산업㈜ SMT 설비 동하중 측정 및 평가● AP SYSTEM㈜ 8세대 OLED ELA장비 진동허용규제치 평가 및 결정● LG 생산기술연구원 노광장비 진동특성 파악 및 진동허용규제치 결정● 삼성전자㈜ Ball-Vibrator 동특성 분석 및 형상설계● 삼성전자㈜ HDD S/W 검사 CELL 동특성 분석 및 진동허용규제치 결정● 가스공사 신사옥 열병합 시스템 동특성 분석● 소재 비상발전기 진동 영향성 평가

● 구조물 내부 대형 차량 운행에 의한 진동 영향 평가● 정밀 장비 동적 특성 평가 및 동적 최적 설계

가) 동하중 산정 및 진동허용규제치 평가

나) 응용분야

다) 수행실적

기계 설비 및 유틸리티 진동제어 분야

장비 동하중 및 진동허용규제치 측정/분석/평가1


● 구조물 내부 설비 진동에 의한 진동 영향 평가● 폭발/충돌 설비 동적 구조 설계● 국방과학연구소 충돌 시험기 동적 설계

나) 응용분야

●

●

●

●

●

●

●

●

●

OCI 군산 공장 왕복동 압축기 진동 평가 및 저감 대책

삼성 석유 화학 압축기 구조물 진동 평가 및 저감 대책

전국경제인연합 공조기 진동 평가 및 저감 대책

LG전자 가산디지털센터 변압기 진동 평가 및 저감 대책

철도기술연구원 열차 실물충돌시험용 벽체 설계

한화 화순 Cladding Site 설계

동희산업 대형 프레스 진동 영향 평가

현대자동차 남양 연구소 풍동 실험 설비 진동 영향 평가

LG전자 V-ENS 풍동 실험 설비 진동 영향 평가

다) 수행실적

● 기계/설비에 의한 장비 사용성/민원 관점의 동적 평가● 기계/설비의 동특성 시험 결과와 해석적 방법(FEM)을 활용한 준경험적 방법(Semi-empirical Method)에 의한 구조 동적 설계● 기계/설비 운영상 이상 유무 판단을 위한 측정 및 평가

가) 기계/설비 평가 및 구조물 동적 설계

기계/설비의 동적 최적화 설계2


01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 28



29

기계 설비 및 유틸리티 진동제어 분야

● 정밀 실험/생산 설비 요구 진동 환경 구현을 위한 방진 시스템● 구조물 내부 진동원에 의한 진동 및 구조소음 피해 예상 지역 적용

● 공조설비, 모터, 냉각탑 장비 기초 하부 ● SEM, TEM 등 고배율 검사 장비● 반도체/LCD용 검사/실험 설비● 글라스 이송용 Rack Master● 동하중 발생 실 이중 슬라브 하부● 진동 저감용 TMD 설치

● LG Display LCD/OLED Project 검사 장비 및 진동 유발 설비● 삼성디스플레이 LCD/OLED Project 정밀 장비 및 진동 유발 설비● 삼성 전자 반도체용 정밀 장비● LG 이노텍 진동 시험기 장비 기초 하부● 타워팰리스 휘트니스 이중 바닥 슬라브● 함안역사 플로팅궤도 슬라브● 광교 상업지구 지하 구조물 지하철 진동 저감재 설치● 부산 초등학교 내진용 MR 감쇠기 구조물 설치● 포스코 포항 공장 사무동 TMD 설치● 현대 자동차 남양 연구소 사무동 TMD 설치● 네이버 분당 사옥 TMD 설치

가) 동하중 산정 및 진동허용규제치 평가

나) 응용분야

다) 수행실적

특수 방진시스템3


01. 개 요

03. 구 성

02. 특 징

High effective isolation equipment with air springP11Micro-AM에어스프링을 이용한 고효율 방진 장치

Micro-AM 시스템은 공기스프링이 내장된 진동절연 시스템으로써 진자형 방식의

지지구조로 설계되어 수평 안정성이 획기적으로 개선된 제품이다. Micro-AM은

반도체 및 TFT, LCD 공장에 사용되는 나노급 초정밀측정/검사 장비에 안정적으로

적용할 수 있으며 초정밀 측정/검사 장비 자체뿐만 아니라 하부 구조물 및 제진대에서

발생하는 진동이 상부 장비에 미치는 영향성을 안정적으로 최소화할 수 있는

시스템이다.

Micro-AM은 장비의 동하중 및 외부진동의 특성에 따라 시스템의 고유진동수를 손쉽게 조절할 수 있으며, 수직 진동절연 특성

뿐 아니라 수평진동절연 성능도 탁월하다. 그리고 장비 자체의 동적 안정성을 확보하기 위하여 진자형 방식의 지지구조를 갖도록

설계되어 있어 고유진동수가 3Hz 이내로 설계되었을 경우에도 안정성이 우수한 장점이 있다. 장비의 진동허용 규제치와 동특성,

하중, 동하중에 따라 당사의 자체측정/평가를 기반으로 하는 최적설계에 따른 주문 제작이 가능하다.

Micro-AM은 아래 그림과 같이 펜들럼 타입의 Air Isolator와 필요에 따라 자동 높이 조절 장치 및 공압을 제어하기 위한 Air

Control Unit으로 구성된다.

수직방향 고유진동수 측정 결과 수직방향 전달률 측정 결과

Modal test (Vertical)

1 10

1E-7

1E-6

1E-5

1E-4

Velocity (m/s)

Frequency (Hz)

Stone Surface / Base Frame

1.0

1 101E-3

0.01

0.1

1

Mag

nitude

(m/s)/(m

/s)

Frequency (Hz)

Air lineAir Controller Unit

Micro AM(Air Mount) Micro AM(Air Mount)

HightControl Valve

Base Frame

Stone Plate

Product Equipment

01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 기계 설비 및 유틸리티 진동 제어 사업부 30

04. 사 양


초정밀반도체 및 TFT-LCD공정에 사용되는 측정/검사용장비

PS Inspection, Mac/Mic, TR/Seal Dispenser

Pitch/Height/Thickness Measurement System

AFM, Laser Measurement System

CVD Repair/Inspection

1) 응용분야

2) 적용사례

H(mm)

D01(mm)

D02(mm)

Bar

kgf

Hz

%

크 기

사용압력

적용하중

적정 하중 대비 진동수

감쇠비

MRAM4000

Type

MRAM3000

MRAM2000

MRAM500

280이하

405

470

280이하

405

470

275이하

350

400

280이하

285

340

5~6.5 (0.5~0.65)

2.4~3.5 (수직, 회전모드 포함)

8%


구 분 구 분 내 역단위

Height Control tol.

Air Delivery Type

Port Fitting Size

Operating Temp. Range

최대 사용 압력

±0.13mm

Dual Port

6 mm

-20~+60(℃)

15 bar(1.5MPa)

50020

0

1,000~

2,000

500~

1,000

3,000~

4,000

2,000~

3,000

(Height Control Valve)

"D 01"

"H"

"D 02"

1) Isolator부의 사양 2) 에어 제어부 사양



: Micro-AM31

01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 32기계 설비 및 유틸리티 진동 제어 사업부

01. 개 요

02. 시스템 구성

On-line Vibration Monitoring system for Semi-conductor and TFT LCD production lineP12 RMS Monitoring System반도체 및 TFT-LCD 공장 전용 On-line 진동 모니터링 시스템

반도체 및 TFT-LCD 공장 전용 On-Line 모니터링

시스템 의 설치 목적은 지진, 설비가동 등에 따른 외부 진동 환경이

정밀장비 구조물에 가해지는 진동을 상시적으로 감시하여 진동상태에

따른 정밀장비의 정상적인 운용 상태에 미치는 영향을 파악하고 과도

진동의 원인 및 시점 관리를 통하여 정밀 장비의 정상적인 기능 저하를

모니터링하기 위함이다.

이를 위한 모니터링 시스템 설치의 주요 기능은

1) 정밀장비 구조물의 상시 적인 진동상태 측정과 모니터링 및

시간이력 data의 저장

2) 저장된 data의 재생 및 분석이다.

센 서 부

신호 처리부

모니터링서버

분석 프로그램

센서부 신호처리부(SPU-2406)

모니터링서버(RMS-2406)

Network

분석PGM(RMS-Analysis)

진동 가속도계로써 계측된 진동 가속도를 전기적 신호로 변환 시키는 기능

진동 센서에 의해서 전송된 신호를 디지털 방식으로 샘플링하며 형식화된 Protocol로 DATA로 만들어모니터링 서버 쪽으로 전송하며 실시간 버퍼에 저장한다.

프로토콜 방식으로 network을 통해 전송된 진동 신호를 각 위치별로 시간영역에서 모니터링하며 실시간 주파수 변환 및 옥타브 분석을 통하여 구조물 진동 상태를 허용치와 비교하여 모니터링 하며 전송된 실시간 신호를 하드웨어에 저장한다.

하드웨어에 저장된 신호를 읽어 들여 원하는 위치 원하는 시간의 진동신호를 재생하고 주파수 분석 및 옥타브 분석을 수행한다.



: RMS Monitoring System 33

04. 사 양


정밀 장비 및 구조물 실시간 진동 모니터링

원자력 및 위험 시설물 실시간 진동 모니터링

발파 및 항타등 대용량 충격성 동하중에 의한 구조물 안정성 모니터링

1) 응용분야

2) 적용사례

03. 특 성● 유연한 채널 확장성 보유● 시간이력, 주파수 스펙트럼 및 옥타브 밴드 분석 가능● 진동허용치 설정 기능 및 알람, 이벤트 동작● 내장 및 외장 Hard disk를 이용한 대용량의 Raw data 보유 기능● 인터넷과 연결한 원거리 모니터링 기능 보유

품명(Item) 사양(Specification) 단위(Unit)

최대 입력채널 : 6채널

샘플링 주파스 : 64, 128, 256 샘플선택

입력레벨 : ±5volt

선형위상 디지탈필터내장

입력임피던스 : 10kohm

dynamic range : 127db@10hz

통신포트 : 10base-T

저장메모리 : 32MB

입력전원 : DC 12V/1AMP

외함 : 19INCH RACKMOUNT

RMS-3221

찬넬수 : 3찬넬

Sensitivity : 5V/g(X,Y,Z)

주파수범위 : 1~400HZ

dynamic range : 110db @ 10hz

신호분석모듈 SET

진 동 센 서 SET

품명(Item) 사양(Specification) 단위(Unit)

모니터링 서버

센 서 케 이 블

SET

ea

신호분석 PGM

RMS-2406(including RMS View)

HP Pentium Serve

OS : Micro-Window Sever 3.0

Time Domain Monitoring(Max, 6ch)

Spectrum Monitoring

Octave Band Monitoring

Alarm Event Monitroing

RMS-Analysis

Visual_C++ Base

Time Donain Review Function

Spectrum Analysis

Octave band Analysis

Average, overlap function

Signal Shield Cable

SET

Monitoring Progran

Monitoring Data Sever

Sinal Processing Unit(VS_2601)

Monitoring Progran

Monitoring Data Sever

Sinal Processing Unit(VS_2601)

01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 34기계 설비 및 유틸리티 진동 제어 사업부

Exciting system for the large structureP13 VDF Exciter II대형 구조물 동특성 실험용 가변 동하중 가진기

01. 개 요

02. 특 징

본 제품은 교량, 철교, 고층빌딩, 선박 및 항공기와 같이 수치해석

방법으로 신뢰성 있는 구조의 동적 특성(Dynamic Properties)을 얻기

어려운 대형 구조물에 대하여 회전질량의 원심력에 의한 조화력으로

직접 구조물을 가진 시켜 가진력과 진동응답을 측정하는 실험적 모드

해석법을 이용하여 구조물의 동적특성을 전달함수 형태로 추출 할 수

있도록 설계된 가진 시스템이다.

본 가진시스템은 현장의 동적 설계자들이 대형구조물에 대한 정확한 동적 특성 진단 및 진동 환경제어를 위한 대책을 수립하기

위한 기술 확보와 향후 건설되는 많은 대형구조물의 내진설계 및 동적 안정성 평가에 기초가 되는 동특성 실험(Modal Test)을

임의의 주파수 영역에서 신뢰성 있게 수행할 수 있도록 실험 대상 구조의 동적특성에 따라 주어진 실험 주파수 범위에서 가진력을

가변 할 수 있을 뿐 아니라 실제 구조물로 전달되는 가진력을 계측할 수 있게 하였으며, 사용상의 편의성을 증진시키기 위하여 동일

발생력 대비 가진시스템의 소형화, 경량화, 이동성, 부착방법의 개선 및 방향성 조절 등으로 현장에서 광범위하게 동특성 실험을

수행할 수 있도록 하였다.

03. 구 성

1) 진동 발생부 : 불평형 질량을 이용하여 직접 진동을 발생시키는 장치로써 모터와 불평형 질량 및 동력전달 장치로 구성되어 있다.2) 진동 전달부 : 진동발생부에서 발생되는 가진력을 외곽 프레임에 전달하는 부분으로 코일스프링, 에어마운트 및 댐퍼로 구성되어 있으며 지지강성 및 감쇠의 조절로 진동 전달력을 조절할 수 있다.3) 외곽 Frame : 진동발생부와 진동 전달부를 보호해 주며 전달받은 가진력을 구조물로 가해주는 역할을 하며 필요시 수평 가진을 위해 가진기 본체를 회전 시킨다.4) 전달력 측정 시스템 : 외곽 프레임에서 구조물로 전달되는 동하중을 직접 계측하기 위한 시스템으로 신뢰성 있는 동특성 규명 실험을 위한 입력자료를 제공한다.5) Control Panel : PC를 이용하여 진동 발생부의 모터 회전수를 조절하는 부분으로, PC제어부, 인버터 전압 변환기, RPM indicator 등으로 구성되어 있다.



: VDF Exciter II 35

04. 가진 특성 및 사양

● 교량, 공동빌딩, 선박 등 대형구조물의 동특성 실험● 대형구조물의 내진 안정성 실험/평가● 대형구조물 최적 동적 설계● 대형 구조물 동적 안정성 평가 및 진단● 대형구조물 동적 해석 모델 개선

1) 응용분야

2) 적용사례


항 목

가진주파수 범위

공진주파수 영역

최대진동 발생력

최대진동 전달력

주파수특 성

성 능 항 목 성 능

0.5Hz ~ 25.0Hz

0.5Hz ~ 25.0Hz

15ton at 25Hz

abt. 1.0 ~ 3.1ton

가진력 방향

가진력 측정

가진력 조절

가진력특 성

수직, 수평

하부 Frame 1점에서 지지/측정

불평형추 질량 제어(회전방식)

지지강성 제어

감쇠력 제어

중 량 abt. 1.2ton

길 이

폭

높 이

주 요특 성

1400mm (840mm : body only)

1100mm (840mm : body only)

900mm

자체 이동성 바퀴 부착으로 수평 이동 가능

설 치 방 법

유 지 보 수

Local 제어

사 용 성고정식 설치 (용접, 볼팅)

이동식 설치 (마그네틱)

조립식 구조

배전판에서 직접 모터 제어

PC 제어

(PGM 제어)

구 동방 식 Sweeping Test Mode

Step Test Mode

가진 중량Setting

위 치

각 도

진동 발생력 감소율

0

0도

100%

1

16도

91%

2

46도

74%

3

103도

45%

4

133도

27%

▶불평형추 회전에 따른 진동 발생력 변화표

● 계측조건 - rpm range : 200–1500 rpm

- Air Pressure range : 0–5 bar

- Condition : Test Bed

- Control Type : PC Sweeping Control

● 계측결과

Case 1Case 2

200 400 600 800 1000 1200 1400

400

600

800

1000

1200

1400

1600

1800

Excitin

g Fo

rce[kg

]

RPM

Case2Case3Case4

200 400 600 800 1000 1200 14000

500

1000

1500

2000

2500

3000

Excitin

g Fo

rce[kg

]

RPM

소음 및 건축 음향

01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 36

● 소음원 측정, 실내, 외 음장 해석 등 준경험적 방법에

의한 소음 제어 설계

● 전시컨벤션 : 동대문디자인플라자, 국립광주아시아문화전당

● 교통 : 틸팅열차, 호남선고속철, 신경주-포항선, 서울 세곡2지구 군용 항공기소음, 김포도시철도, 수원역 롯데몰

● 주상복합 및 초고층 : 타워팰리스, 해운대 우동 I-PARK, 뚝섬 대림 한숲

● 업무연구 : 삼성전자 R4/R5/DSR/전자소재연구단지/우면연구소, LG트윈타워/마곡사이언스파크, NHN분당/판교/춘천

● 설비 : 포스코 후판공정, LGD파주 CDA/냉각탑/발전기, SDC탕정 냉각탑/공조기/펌프, 삼성코닝 발전기, KT목동 데이터센터

● 충격음 : ADD, 한화

가) 측정, 음장 해석 및 대책

나) 응용분야

다) 수행실적

●

●

●

●

●

●

●

음향성능시험 및 음장해석 : 실내/외 음장 해석, 실험실 또는 현장

음향측정에 의한 소음원 및 음환경 평가, 무향실 설계

교통소음 평가 : 철도 시험선 성능평가, 항공기 소음, 도로교통소음

측정 및 예측평가, 방음벽 최적 설계

설비 소음 평가 : 청각보호 또는 쾌적감 관점의 설비 소음 평가 및

대책 설계

차음설계 : 실험 또는 시뮬레이션에 의한 건축 부재의 차음성능

평가 및 대책 설계

바닥 충격음 : 보행, Heel-drop, Footfall 하중, 대차 이동 등 다양

한 조건의 가진력 평가를 통한 구조소음 측정 평가 및 대책

충격음 평가 : 총포 및 화약류, 추진체, 방산설비의 충격성 과도소음

측정 평가 및 대책 설계

방음/차음 설계 : Enclosure, 소음기, 흡음루버, 방음벽 등 각종

방음/차음 시서템 설계 및 시공


측정, 해석에 의한 소음 영향 평가 및 저감대책 설계1

81818182

81828283

949696979596979795969798969798989697989997989999989999100

100102102102

99100100101

95979797

96979898

95969797 94969696 94969696

81828383

80818182

10299

101101

969798989999 969797989899 959697989898 959697979798 949696979797

818282838383

818181828282

808181828285

818283838385

949696969696949696969696959697979797

969798989898

959797989899

98101

101101

10198

99100

100100

9596979797989898 9496969797979797

8182828383838485

8181818282828385

9798

10097

98101101

99 98 98

86

949696969696969496969696969695969797979797

96979898989898

95979798989999

10198

102

102

98

101

99



지능형 유체 사업부


01. 기능성 유체 분류 ( Intelligent Fluid / Smart Fluid / Functional Fluid )

02. 기능성 유체의 비교

Intelligent Fluid 지능형 유체 사업부

37 : Intelligent Fluid

03. RMS MR유체

liquid Gel or Solidresponse times milliseconds

MR 유체 ( Magneto Rheological Fluid )

기능성 유체의 Winslow effect

RMS 사업 영역

자기장, 전기장

자성유체 (Magnetic Fluid)

ER 유체 ( Electro Rheological Fluid )

제품명 자성유체

1965년

NASA의 Papell 박사

▷ 아폴로 계획의 일환으로 개발 (무중력 연료이송 및 진공 실)

▷ 현재까지 진공 실링용으로 용도가 가장 많음.

▷기타용도: 스피커용, 정밀연마용 등

▷ 동 시대에 개발되었으나 최근까지 연구의 대부분은 ER에 관한 연구 였음.▷ ER유체의 몇 가지 문제점으로 인한 실용화의 지연으로 90년대 후반부터 LORD사를 중심으로 MR유체의 응용이 본격화 됨

출발연도

개 발 자

개 요

MR 유체

1947년

Winslow

1947년

Winslow

ER 유체

RMS MR 유체는 고도의 분산 기술을 바탕으로 다양한 입도의 카보닐철 Powder를 적용 및 용도에 따른 Base Oil을 선택으로

고객의 Needs에 적합한 MR 유체를 공급하고 있습니다.

Standard MR 유체 Spec. - RMR T50-500 - RMR T60-5000 - RMR T60-50000

04. 기능성 유체의 구성

지능형 유체 사업부

01반

도체

/ FP

D 초

정밀

장비

진동

제어

사업

부02

건축

및 구

조물

진동

설계

사업

부03

기계

설비

및 유

틸리

티 진

동 제

어 사

업부

0405

소음

및 건

축 음

향 사

업부

자성

유체

사업

부 38

보유 특허 : 특허 제 10-0936013호 / 자기가변 점성유체 조성물

측정항목 단위

Saturated Magnetization (Powder)

Saturated Magnetization (Slurry)

Viscosity (Slurry) @25℃

Particle Size

Density at 25℃ (MR Fluid)

Surfactant wt%

T

T

cP

㎛

g/㎤

%

1.9

0.5

500

4.05

2.6

3.3

1.9

0.6

5000

4.05

3.0

3.3

DATA

RMR T50-500 RMR T60-5000

1.9

0.6

50000

4.05

3.0

3.3

RMR T60-50000

응용 분야

05. 기능성 유체의 구성

MR Damper System구성 : 응용 분야 또는 요구되는 Damping 특성 별로 MR Damper의 Total System 구성

구성

구성

<자동차 Suspension > <인공관절> <교량 케이블> <건물의 방진 시스템>

- RMF 100G / 1000, 4000 cP- RMF 200G / 1000, 4000 cP- RMF 300G / 80, 8000 cP

스피커 용

진공 실링 용

RMS 자성 유체는 특화된 나노 입자 제조 기술과 나노 입자 분산 기술을 바탕으로 자성유체를 제조, 공급하고 있습니다.

10나노 마그네타이트

자성 입자의 유체

보유 특허

Standard MR 유체 Spec. 응용 분야

06. 자성유체

- 특허 제 10-1034222호 / 계면활성제로 비수계 고분자습윤 분산제를 사용한 자성유체 조성물 및 그 제조 방법

RMS테크놀러지 주식회사충청남도 천안시 동남구 풍세면 풍세산단1로 55Homepage : www.rmstech.co.kr / E-mail : [email protected] : +82.41.556.7600~1 / Fax : +82.41.556.7603

반도체, fpd 초정밀 장비 진동제어 사업부

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