nikon metrology i vision beyond precision

технологии рентгеноскопии и компьютерной томографии для инспекции изделий электроники

Рентгеноскопические системыфирмы Nikon Metrology, XT V серия

2

рентгеновская инспекция электронной техники – легко!

Коротко о XT V системах :

• Высокое увеличение, в т.ч. при инспекции под большими углами наклона.• 16-битное изображение с высоким разрешением.• Быстрая работа с помощью джойстика и интуитивно понятного интерфейса.• Низкая стоимость владения и обслуживания рентген-трубки открытого типа

без высоковольтного кабеля.• Безопасные системы, не требующие специальных мер предосторожности

или индивидуального учета.• Функция компьютерной томографии.

На сегодняшний день существует спрос на экономически эффективные рентгеноскопические системы высокого разрешения, отвечающие потребностям исследования постоянно уменьшающихся электронных компонентов в соответствии с жесткими стандартами качества. В рентгеновских системах серии XT V фирмы Nikon Metrology реализованы гибкие высокоточные решения, которые обеспечивают качественный анализ дефектов на печатных платах. Системы предназначены для 100% инспекции микросхем в корпусах BGA и uBGA, многослойных ПП и паяных соединений. С системами серии XT V вы можете заглянуть во внутреннюю структуру печатных плат без разрушения образца (рентген – один из методов неразрушающего контроля).Эти компактные, простые в использовании, экономичные инспекционные системы незаменимы в любой области производства электроники.

2 3

Взгляд внутрь изделия

отслеживание скрытых и внутренних дефектов

с появлением новых типов компонентов оптическая инспекция бессильна при контроле скрытых соединений. это подчеркивает важность получения превосходного рентгеновского изображения в режиме реального времени в целях обеспечения качества и устранения неполадок. сегодня производители и поставщики электроники, бытовой техники, автомобильной техники, аэрокосмической области и медицины могут воспользоваться технологиями рентгеновского контроля.

автоматизация увеличивает пропускную способность

автоматизированные функции проверки и автоматическая идентификация плат через считывание штрих-кода обеспечивают высокую пропускную способность контроля. инспекционные отчеты совместимы с системами планирования производственных ресурсов (mrp) и могут быть интегрированы в производственный процесс по заказу клиента.

получение наилучшего рентген-изображения

микрофокусный источник генерирует рентген- лучи (X-ray), которые проникают во внутреннюю структуру образца. рентгеновский электронно-оптический преобразователь (рэоп) изображения в комбинации с цифровой камерой или опциональный плоскопанельный детектор (ппд) предназначены для захвата рентген-излучения. рэоп и ппд отображают различные оттенки серого в зависимости от плотности исследуемого материала и его геометрии. Более толстые или более плотные материалы – такие как железо, медь и свинец – представлены более темными областями, чем области с тонкими или легкими материалами – пластик, бумага, воздух. оптимальное изображение, в том числе увеличение и поле зрения, получается путем перемещения образца ближе к источнику или детектору.

компьютерная томография (кт)

кт представляет собой дополнительную рентгеновскую технологию. она позволяет исследовать внутреннюю структуру образца за счет просмотра сечений внутренних и внешних его частей, а также реализации сечений под любым углом. кт основывается на захвате большого числа рентген- изображений, сделанных вокруг одной оси вращения, кт реконструирует точные 3-х мерные (3d) данные, представляющие внутреннюю структуру исследуемого образца.

Перемещение образца ближе к источнику рентген-излучения (рентген-трубке) дает большее увеличение полученного изображения.

Объект вращается вокруг своей оси для набора рентген-снимков со всех сторон, в результате получается 3D-модель образца.

4 5

рентгеноскопические системы для электроники - это высокое качество и экономический эффект.Гибкость конфигурации системы XT V 160 позволяет оптимизировать систему под нужды Заказчика. Миниатюризация современных изделий и компонентов, а также постоянное усложнение производственных процессов – требует применения оптимальной по производительности контроля рентгеновской системы, которая поддерживает необходимое разрешение и способно работать с требуемой геометрией образцов.

Высокое качество изображения

• собственные уникальные технологии в производстве микрофокусных рентген-трубок.• точная регулировка мощности и управления генерируемого рентген-излучения.• качественное рентген-изображение в режиме реального времени (25 кадр/сек).

Удобство в эксплуатации

• Большие горизонтальные перемещения без столкновений стола для образцов.• интуитивная навигация при помощи джойстиков и/или программного интерфейса.

• двойной монитор для комбинирования измерений и анализа в режиме реального времени.• Быстрое восприятие – оператор готов к самостоятельной работе уже после первого дня обучения.

фокусировка на производительности

• Широкие двери с функцией автоматического отключения рентген-излучения (при смене образцов не требуется дополнительная операция отключения рентген-излучения).• Быстрый автоматизированный анализ через настраиваемые макросы.• считыватель штрих кодов для автоматизированного распознавания серийных номеров образцов (дополнительное оборудование).

гибкая система, отвечающая вашим конкретным требованиям

Наклон

Увеличение

Поворот

Xt v 160 – великолепная система для контроля печатных плат

система Xt v 160 специально разработана для тестирования изделий на производстве и в исследовательских лабораториях. используя точные джойстики, оператор управляет 5-осевым манипулятором для перемещения образца. рентгеноскопия в режиме реального времени позволяет интуитивно ориентироваться при инспекции сложных печатных плат, электронных компонентов и быстро обнаруживать дефекты. В режиме автоматизированной инспекции образцы могут быть протестированы с высокой пропускной способностью.Система XT V 160 это:• Фирменные рентген-трубки модели NanoTech с

максимальным напряжением 160 кВ.• Опция плоскопанельного детектора.• Большой поддон для размещения ПП больших

размеров или нескольких ПП.• Большой угол наклона в 75 градусов позволяет

упростить исследование внутренних структур.• Регион интереса последовательно фиксируется в

центре поля зрения.• Компактные размеры.• Возможность КТ (дополнительная функция).

При любых комбинациях поворота, наклона и увеличения настоящее концентрическое изображение гарантирует, что область интереса полностью зафиксирована в центре поля зрения.

4

4 55

Xt v 130c – экономичная рентгеноскопическая система для исследования электронных компонентов

Система XT V 130C является гибкой, экономически выгодной системой для исследования электроники и полупроводников. Система оснащена 130 кВ/10 Вт трубкой собственного производства, открытого типа со встроенным генератором и системой получения изображения высокого разрешения.Благодаря возможностям серийного производства и ряду последующих улучшений на территории заказчика конечный пользователь может настроить систему под свои собственные нужды: увеличить мощности трубки, установить поворотный стол, программное обеспечение для автоматизированной инспекции, заменить рэоп на ппд и добавить опцию компьютерной томографии.

• 20-130 кВ микрофокусные рентген-трубки собственного производства с фокальным пятном 2 мкм.

• наклон манипулятора на 75 градусов упрощает исследование внутренних структур.

• дверца загрузки образцов обеспечивает легкий и быстрый доступ к тестируемому изделию.

• легкий доступ к обслуживаемым частям системы.

Безопасность в основе дизайна

• перемещения без столкновений.• непрерывный контроль безопасности.• полная защита корпуса от радиации, не требующая ни-каких специальных мер или аксессуаров.• свинцовый корпус полностью соответствует европейскому стандарту безопасности din 54113 и ce, оспорБ.

низкая цена обслуживания

• компактный дизайн с двойной дверцей.• нет необходимости в специальном помещении.• конструкция открытой трубки обеспечивает простоту обслуживания и замены недорогих нитей накала.

Угол наклона до 75 градусов обеспечивает достаточную гибкость при тестировании паяных соединений

0°

45°

60°

Превосходное увеличение позволяет исследовать любую область образца.

5.3x

16.7x

150x

XT V series are CT ready to provide reconstructed 3D volumes of electronic specimens

6

программное обеспечение inspect-X

интерактивный и дружественный интерфейс по имеет важное значение в оценке сложной внутренней структуры образцов и проведения тщательного анализа. по inspect-X предлагает оператору все средства для получения максимального количества информации при использовании самых новых инструментов визуализации и анализа полученных данных. по настроено таким образом, чтобы упростить оператору выполнение процессов контроля и измерений - инспекция за минуты, а не часы или дни.

рентген-контроль в режиме реального времени

• интуитивный джойстик для управления интерактивным позиционированием• фиксация на корпусах bgA или области инспекции (roi)• сверхбыстрое рентген-сканирование• инструменты анализа• Выполнение измерений и добавление аннотаций на полученном снимке

Улучшение изображения

• настраиваемая пользователем кривая контраста• наложение фильтров: резкость, размытость,

определение контуров и рельефа, вычитание изображения и т.д.

Встроенная кт-обработка

• простота в получении данных для кт• функция 3d-реконструкции• готовность для пост-обработки в соответствии с производственными стандартами

Мельчайшие частички припоя и пустоты

Разрыв проводника внутри микросхемы

Локализация дефектов на уровне платы

7

программное обеспечение высокой производительности и универсальности

максимальная производительность

• автоматизированный анализ компонентов “годен/негоден”.• пост-анализ на автономной станции визуализации.• скрытые и расширенные параметры в режимах доступа оператора и администратора.• простые макросы для автоматизации инспекции, не требующие навыков программирования.• автоматическое создание Html отчетов.• готовность к автоматизации сложных задач.

Широкий спектр применений

• гибкость применения. сочетающиеся в одной системе: 2d инспекция для быстрого визуального осмотра, 3d - для углубленного анализа внутренней структуры.

• Быстрый сбор данных и высокое качество изображения.

• Высокое разрешение и обработка цифровых изображений.

электронные компоненты

обнаружение обрывов, поднятых шариковых выводов, провисания проводников, коротких замыканий, контроль установки кристаллов, качества пайки и т.д.

голые и собранные пп

• контроль дефектов поверхностного монтажа: смещение компонентов, пустоты в паяных соединениях, короткие замыкания и т.д.• детальная инспекция переходных отверстий и внутренних слоев пп.• инспекция Wlcsp-компонентов (корпус на базе подложки кристалла).• bgA и csp-инспекции.• контроль бессвинцовой пайки.

контроль mems, moems.инспекция проводного монтажа, кабелей, жгутов и т.п.многое другое.

Перемычки и КЗ шариковых выводов из-за излишек припоя

Нахождение дефектов на уровне платы

Пустоты и затекание припоя в переходные отверстия

Контроль проводников в микросхемах

спецификация системы

Xt v 160 Xt v 130c

максимальное напряжение 160 кВ 130 кВ

максимальная мощность 20 Ватт 10 Ватт

тип трубки открытого типа с прострельной мишенью

разрешение 0,5 мкм 2 мкм

геометрическое увеличение 2,5 - 2 400 крат

системное увеличение до 36 000 крат

детектор (стандартный) 1,4 мпикс, 12-бит камера со сдвоенным полем на 4”/6”

1,4 мпикс, 12-бит камера со сдвоенным полем на 6”

детектор (опционально) ппд: varian 1313 или 2520 рэоп: 1,4 мпикс с сдвоенным полем на 4”/6”

манипулятор 5 осей 4 оси (X,y,Z,t)

поворотная ось Включена опционально

наклон 0-75 градусов

максимальный размер образца

абсолютный размер 711х762 мм (виртуальная карта 406х406 мм)

максимальный вес образца 5 кг

габаритные размеры (ШхгхВ) 1147х1706х1885 мм

Вес 1935 кг

радиационная безопасность менее 1 мкзв/ч

программное обеспечение inspect-X для анализа и контроля

автоматизированная инспекция

Включена опционально

кт опционально

основные области применения инспекция электронных компонентов,

автоматизированная и в режиме реального времени

(bgA, ubgA, flip-chip и собранные пп)

инспекция электронных компонентов в режиме

реального времени (bgA, ubgA, flip-chip и собранные

пп)

NikoN MeTrology NVgeldenaaksebaan 329B-3001 leuven, Belgiumphone: +32 16 74 01 00 fax: +32 16 74 01 03Sales.NM@nikon.com

NikoN CorporaTioNShin-yurakucho Bldg., 12-1, yurakucho 1-chomeChiyoda-ku, Tokyo 100-8331 Japanphone: +81-3-3216-2384 fax: +81-3-3216-2388www.nikon-instruments.jp/eng/