光学測定機

Catalog No.4335e

高精度測定顕微鏡

1

コンセプト 基幹技術 UD思想設計

品質管理や製造工程における【観察+測定】ソリューションにおいて、接眼レンズの中に広がる微細な世界を寸法化してきた測定顕微鏡にはより高精度な測定への対応が求められています。そして、本体の機能美と質感の高さが操作する人の満足度を高め、長くご使用いただける顕微鏡作りをめざしています。

発展を遂げる産業のマザーテクノロジーの基盤となるべく、測定顕微鏡の個々の構成パーツには長年培ってきた要素技術が大きくかかわっています。光学技術（Optics）・機械技術（Mechanics）・電子技術（Electronics）の融合で産まれた本顕微鏡には光学測定機メーカーとしてのこだわりがあります。

人にやさしく、誰もが快適に操作できる思想を大切に顕微鏡本体を設計しています。操作する人の意のままに応えてくれるような顕微鏡をイメージし、要所に曲線と直線を組み合わせたデザインを施しています。長時間の測定観察においても疲労感を感じさせません。

2

高剛性ボディ

総合精度を決定する重要なウエイトを占める本体ボディは経年変化に強く、高い測定精度を維持します。さまざまな測定状況を想定したFEM解析を設計段階で実施しています。また、直進性と安定性に評価の高い特殊リニアガイドを搭載しています。

高精度大形XYステージ

精密測定で培った機械技術と測定顕微鏡の豊富な納入実績をもとに生み出された重厚感・安定感に満ちたXYステージです。ウエハホルダ・両センタ台等の固定治具を含め30kgまで積載可能です。

低膨張ガラススケール

一年を通じて温度湿度が安定している地下研究棟で生み出された高精度デジタルガラススケールをXYZの３軸に搭載しています。温度変化による影響をほとんど受けない高度なスケール技術は、超高精度三次元測定機LEGEXにも活かされています。

世界最高精度※

XY軸各軸のフルストロークの測定精度はJIS規格：測定顕微鏡B7153-1995の0級を上回る最高精度を実現しました。要求分解能が小さくなっている精密金型や精密刃工具、ウエハ・IC等の半導体電子部品等の高精度測定を確実にバックアップします。

XYステージFEM解析※2006年7月現在

1.8

1.6

1.4

1.2

1

0.8

0.6

0.4

0,2

010 30 50 70 90 110 130 150 170 190 210 230 250

X軸2点間誤差X軸 μｍ

3

高パフォーマンス光学系

フレアを抑えた高コントラストの光学系が長作動距離と高NAを両立させた測定観察分析を可能にします。深穴・段差等の測定時や被検物のセッティング時に高い操作性を確保します。

ティルティング鏡筒

長時間の測定で疲労を軽減するには無理のない姿勢で接眼レンズを覗けることが重要なポイントです。体格の違う人が操作しても違和感を感じないよう接眼部の傾斜角は無段階で調整ができます。※MF-U機のみ

LAF内蔵鏡筒

FS光学系のMF-U用鏡筒ではLAF（レーザAF）内蔵鏡筒をオプションで選択できます。LAFは微細な段差等の測定に高い再現性を実現し、疲労感の少ない測定環境を提供します。※MF-U機のみ

フロントオペレーション

顕微鏡の諸操作は本体前面に集中配置されたスイッチ類で行います。接眼レンズから視線を外すことなく測定に集中でき、シートスイッチを採用していますので耐久性にも優れています。左右各々のキーは手の中に収まるサイズでコンパクトな配列になっています。

左操作部

右操作部明暗視野LAF仕様

4

細線レチクル

一連の測定プロセスにおいて被検物をレチクルに合わせる精度は非常に重要なポイントです。眼の分解能を考慮し、合わせ精度を高める細線レチクルは90°鎖線・線幅5μmを標準化しました。微小な位置決めをサポートします。

※線幅3μm・7μm仕様も用意しています。

ファイバ冷光照明

ファイバによる冷光照明の採用と熱線吸収フィルタにより熱要因を極力排除し、測定精度への影響を抑えています。透過はテレセントリック照明、垂直反射はケーラー照明でいずれも開口絞り機構を持っています。

システム拡張性

鏡筒にTVポートを標準搭載していますのでデジタルカメラシステムや各種画像分析装置等をシステム化できます。

国際規格のトレーサビリティ体系

ミツトヨはJCSS及びRvA NKO（オランダ認定機関）からISO/IEC17025（ISO/IEC Guide25）の認定を受けた校正機関として国際的に校正サービスの充実を図っています。さらに、ISO9000の認証登録済みの生産工場及びサービス部門はお客様に安心してご満足いただける高品質の製品・サービスを提供しています。

3μm

デジカラビジョンDV-520L（顕微鏡本体はMF-UB1010B）

特定 標準器

産業技術 総合研究所 計量標準 総合センター 【NMIJ/AIST】

ミツトヨ計量標準 キャリブレーション センタ

【JCSS認定事業者 No.0031】

特定2次 標準器

常用参照 標準

検査・校正機器 ゲージブロック 段差ゲージ 標準尺・基準スケール

光学機器

ミツトヨ広島 キャリブレーション センタ

【JCSS認定事業者 No.0109】

ミツトヨ計量標準 キャリブレーション センタ

【JCSS認定事業者 No.0031】

ミツトヨ テクノサービス事業本部 【RvA認定校正機関No.K132】 段差ゲージ・基準/読取スケール

ミツトヨ宇都宮 キャリブレーション センタ

【JCSS認定事業者 No.0078】

ミツトヨ 宮崎製造部

【JCSS認定事業者 No.0030】

5

主要仕様main specification

被検物を獲える最高クラスの測定精度

JIS規格【光学機器 B7153-1995測定顕微鏡】の0級※を上回る測定精度はX・Y軸とも（0.9+3L／1000）L：測定長（mm）を実現しました。狭範囲からフルストロークまで超精密検査にお応えします。※0級：（2＋0.01L）μm以下 L：測定長（mm）

MF-UMF

広範囲・重量物をカバーする高精度大形XYステージ

被検物の多様化と大形化は半導体・電子部品・精密自動車部品・工具など様々な分野において要望が増えています。リードフレーム・精密刃工具・金型など大形測定に威力を発揮します。

両センタ台装着

220mm

30Kg

220mm

220mm

30Kg

220mm

MF-UMF

250

150

220mm

30Kg30Kg30Kg

220mm

高速から超低速まで高操作性を確保する3軸電動ジョイスティック

XYZ軸はフロントオペレーションの中枢を担う１本のジョイスティックで駆動操作します。ステージの高速移動から微細な位置決めを行う超低速までスピードコントロールが可能です。また、単軸移動の高精度ピッチ測定をサポートするXYZ個別のロック機構を備えています。被検物に集中できることを第一に考えています。

MF-UMF

リモート操作による対物レンズ倍率変換

鏡筒に装着した電動レボルバは手元のシートスイッチで操作可能です。レボルバが回転すると鏡筒上部のレンズポジションを表すLEDが点灯しますのでLED表示を見れば現在の倍率を確認することができます。

MF-U

左操作部

電動レボルバ駆動スイッチ

220mm

30Kg

220mm

150

符号コードNo.鏡筒

観察像接眼レンズ

対物レンズ（オプション）

レボルバ（オプション）合焦部

照明装置

ステージ

検出装置デジタル表示

操作部

外観寸法

質量

電源

※1・2は工場オプション選択になります。※3の測定精度はJIS B 7153に準拠します。

ランプ交換時は透過用12V50Wハロゲンランプ（No.02APA527）、反射用12V100Wハロゲンランプ（No.517181）をご用命下さい。12V100Wは高輝度仕様（No.12BAD602）もご用意しております。

HyperMF-B2515B176-420

有限補正光学系―

25°

単眼装置（接眼レンズ1個付）または双眼装置（接眼レンズ2個付）選択1×・3×・5×・10×・20×・50×・100×

――――

―――

880（W）×913（D）×730（H）mm

約250kg

90°鎖線十字線（線幅 5μm）ジーデントップ形 調整範囲：51～76mm

観察／TV写真＝50／50

標準装備正立像

10×、15×、20×

150mm（1.5+10L／1000）μm L：測定長（mm）

ジョイスティックによる電動制御テレセントリック照明・開口絞り内蔵・12V50Wハロゲンランプ・100段階調光式・ファイバ式冷光照明ケーラー照明・可変開口絞り機構・12V100Wハロゲンランプ・100段階調光式・ファイバ式冷光照明

250×150mm（0.9+3L／1000）μm L：測定長（mm）

460×350mm300×200mm±3°30kg

ジョイスティックによる電動駆動高精度デジタルスケール（特許登録済）

0.01μmＸ・Ｙ・Ｚ軸

QM-Data200または画像ユニット○○○○○

160×476×381mm

14kgAC100、110、120、220、230、240V 50/60HZ 最大消費電力700W

ティルティング

10×接眼レンズ2個付―

M Plan Apo、M plan Apo SL、G plan ApoBD Plan Apo、BD Plan Apo SL

（調心同焦マニュアル4穴／マニュアル4穴センサ付／調心電動5穴センサ付※1）（マニュアル4穴／マニュアル4穴センサ付／電動4穴センサ付※2）

○（電動レボルバ装着時）880（W）×913（D）×770（H）mm

約255kg

――

○○

標準レチクル（内蔵）眼幅調節光路切換比附視角TVポート

倍率

ML対物レンズ明視野（ＢＦ）明暗視野（ＢＤ）明視野（ＢＦ）明暗視野（ＢＤ）最大被検物高さ測定精度駆動方式透過照明装置反射照明装置測定範囲（X軸×Y軸）測定精度※3（Ｘ・Ｙ軸無負荷時）上面寸法載物ガラス有効寸法スイベル量最大積載質量駆動方式

最小表示量表示軸データ処理装置ジョイスティックロックファインピッチデータ出力デジタル表示リセット照明調光LAF（ジャストフォーカス）LAF（トラッキングフォーカス）レボルバリモート操作顕微鏡本体パワーユニット顕微鏡本体パワーユニット

HyperMF-UB2515B176-421

無限遠補正光学系明視野

HyperMF-UD2515B176-422

無限遠補正光学系明暗視野

HyperMF-UE2515B176-423

無限遠補正光学系明視野 LAF付き

HyperMF-UF2515B176-424

無限遠補正光学系明暗視野 LAF付き

6

本体仕様specification

Hyper MF Hyper MF-U

HyperMF-UE2515B （電動レボルバ仕様）

HyperMF-B2515B

接眼レンズ

7

システム構成system diagram

単眼装置

No.176-302接眼レンズ10×/241個付

双眼装置

No.176-303-1接眼レンズ10×/242個付

対物 ミクロメータ

レチクル 各種

レチクル 各種

カラーフィルタ 各種

両センタ台 クランプ装置 Ｖブロック台 傾斜センタ台

ツイン照明 ケーブル

ステージ アダプタ

ウエハホルダ 微動付回転 テーブル（B）

接眼レンズ各種

FS対物レンズ各種 FS対物レンズ各種

0.5XTV アダプタ

デジカラビジョン

微分干渉装置

偏光装置

Cマウント アダプタ Cマウント

アダプタ

ML対物レンズ 各種 双眼装置 デジタル角度

接眼レンズ 角度接眼 レンズ

単眼装置

リング照明 ケーブル

設置台 昇降設置台 防振台 フォーカス パイロット FP-05U

フォーカス パイロット FP-05

レボルバBF 4穴センサ付

電動レボルバ BF 5穴センサ付

明視野 LAF付き 鏡筒

明視野 鏡筒

明暗視野 LAF付き 鏡筒

レボルバBD 4穴センサ付

電動レボルバ BD 4穴センサ付

LEDリング照明 （白）

明暗視野 鏡筒

MF-UMF

接眼レンズ

Hyper MF/MF-Uシステムダイアグラム

MF MF

符号コードNo.（1個組）コードNo.（2個組）倍率視野数

WF10×/24378-856-5378-85610×24

WF15×/16378-857-5378-85715×16

WF20×/12378-858-5378-85820×12

QM-Data200 画像ユニット

データ処理装置（必須オプション）

共通オプション

Hyper MF Hyper MF-U

8

レンズ・照明lens・illumination

符号コードNo.倍率開口数N.A.作動距離WD焦点深度

ML1×375-036-11×0.0361mm306μm

ML3×375-037-13×0.0977mm34μm

ML5×375-034-15×0.1361mm23μm

ML10×375-03910×0.2151mm6.2μm

ML20×375-05120×0.4220mm1.6μm

ML50×375-05250×0.5513mm0.9μm

ML100×375-053100×0.76mm0.6μm

符号コードNo.倍率開口数N.A.作動距離WD焦点深度

MplanApo1×378-8001×0.02511mm440μm

MplanApo2×378-801-62×0.05534mm91μm

MplanApo5×378-802-65×0.1434mm14μm

MplanApo10×378-803-210×0.2833.5mm3.5μm

MplanApo20×378-804-220×0.4220mm1.6μm

MplanApo50×378-805-250×0.5513mm0.9μm

MplanApoHR50×378-81450×0.755.2mm0.48μm

MplanApo100×378-806-2100×0.76mm0.6μm

MplanApoHR100×375-815100×0.91.3mm0.34μm

符号コードNo.倍率開口数N.A.作動距離WD焦点深度

BDplanApo2×378-831-62×0.05534mm91μm

BDplanApo5×378-832-65×0.1434mm14μm

BDplanApo10×378-83310×0.2833.5mm3.5μm

BDplanApo20×378-83420×0.4220mm1.6μm

BDplanApo50×378-83550×0.5513mm0.9μm

BDplanApoHR50×378-84550×0.755.2mm0.48μm

BDplanApo100×378-836100×0.76mm0.6μm

BDplanApoHR100×378-846100×0.91.3mm0.34μm

符号コードNo.倍率開口数N.A.作動距離WD焦点深度

MplanApoSL20×378-810-220×0.2830.5mm3.5μm

MplanApoSL50×378-811-250×0.4220.5mm1.6μm

MplanApoSL80×378-812-280×0.515mm1.1μm

MplanApoSL100×378-813100×0.5513mm0.9μm

MplanApoSL200×378-816200×0.6213mm0.7μm

GplanApo20×（t3.5）378-84720×0.28

空気換算 29.42mm3.5μm

GplanApo50×（t3.5）378-84850×0.5

空気換算 13.89mm1.1μm

符号コードNo.倍率開口数N.A.作動距離WD焦点深度

BDplanApoSL20×378-84020×0.2830.5mm3.5μm

BDplanApoSL50×378-84150×0.4220mm1.6μm

BDplanApoSL80×378-84280×0.513mm1.1μm

BDplanApoSL100×378-843100×0.5513mm0.9μm

ツインファイバ照明

No.176-416顕微鏡本体の反射照明光源を利用 調光機能 集光レンズ付 12V100W

外部照明

ML対物レンズ

FS対物レンズ（明視野BF）

（明暗視野BD）

FS対物レンズ

対物レンズ

リングファイバ照明

No.176-417顕微鏡本体の反射照明光源を利用 調光機能 集光レンズ付 12V100W※10×レンズ以下適応

MF

LEDリング照明 LEDリング照明

No.176-367（白色LED）No.176-368（緑色LED）調光機能　作動距離に適応した照射位置調整可能12V7.7W 外径70mm※10×レンズ以下適応

MF

No.78829（白色LED）調光機能　作動距離に適応した照射位置調整可能12V7.7W 外径70mm※10×レンズ以下適応

角度接眼レンズNo.375-043視野内の像に移動標線を合わせて角度を読取ります。●倍率10×●視野数21●360°5′

MF デジタル角度接眼レンズNo.176-313目量切換・リセットは標準付属のカウンタで操作できます。パソコンへのデータ出力はRS-232C仕様です。CE対応です。 ●倍率10×

●視野数18●レチクル90°実線・45°鎖線●最小表示量 0.00°または1′●電源AC9V-500mＡ最大消費電力4W●～±369.99°／～±369°59′

MF

（FS対物レンズ用） MF-UMF-U

MF-U

MF-U

MF

MF

仕様

9

●大形液晶画面を生かした各種のグラフィック表示機能が測定作業をサポート

・測定手順の表示（測定操作ナビゲーション）

・測定結果の図形表示

・繰返し測定時の測定位置案内表示（測定位置ナビゲーション）

●使用頻度の高い組合せ測定（2円の距離測定etc）は、ワンキー操作測定

●AI測定機能（測定要素自動判別機能）搭載

●測定手順のティーチング機能、リピートモードにおける測定位置ナビゲーション機能搭載

●測定コマンドやパートプログラムなどを登録できるユーザーメニュー機能

●測定演算結果の公差照合や項目毎の各種統計処理機能

●測定結果をパソコン用表計算ソフト『MS-Excel※』へCSV形式で出力

●測定手順・測定結果をUSBメモリやFDDユニット（オプション）経由でフロッピーディス

クに保存

●チルト機構付スタンド仕様

●プリンタ印字中でも次の測定が可能※Ms-ExcelはMicrosoft社の登録商標です。

印字方式印字桁数印字速度外観寸法標準付属

【補用品】パーツNo.908353 レシートプリンタ用記録紙（5巻）※ESC/P対応の外部プリンタ（カラー/モノクロ）も使用できます。プリンタ制御コード体系 ：ESC/P、MS-DOS対応ピン配列 ：24ピンESC/Pプリンタケーブル ：2m（パーツNo.12AAA804）…オプション

感熱シリアルドット方式40桁最高52.5cps（普通文字）160（W）×170（D）×65.5（H）mm（プリンタ本体部）プリンタケーブル、記録紙（1巻）、ACアダプタ（100V用）

レシートプリンタ印字例

データ処理装置2D calculating system

レシートプリンタ外観寸法図

特長

FDDユニット

パーツNo. 12AAD032

●測定結果の印刷に使用します。

パーツNo. 12AAA799

●パートプログラム・ユーザマクロ・測定結果等のファイル保存/読み込みに使用します。

符号コードNo.

表示言語測定値の単位最小表示量プログラム機能統計処理要素メモリ数要素呼出し要素キーイン表示装置測定結果ファイル出力電源最大消費電力外観寸法質量

QM-Data200264-149スタンド仕様

日/英/独/仏/伊/スペイン/ポルトガル/中国/韓国/チェコ他11ヶ国対応長さ：mm 角度：度/度分秒（切替可）

0.01μm測定手順の作成・実行・編集

測定項目、データ数、最大値、最小値、平均値、標準偏差、レンジ、ヒストグラム最大1000要素

点、線、円、距離、楕円、角穴、長穴、交点交角点要素、線要素、円要素

白黒、モノクログラフィック液晶（320×240ドット、バックライト付）RS-232C出力（CSV形式、MUX-10形式）AC100V 50/60Hz（ACアダプタ使用）24W（オプションは含みません）

約260（W）×約242（D）×約310（H）mm（スタンド部含む）約2.2kg

QM-Data200システム

▲

HyperMF-U＋QM-Data200＋設置台＋昇降設置台 組合せ例

10

●一発測定を可能にした自動エッジ検出ツールと多彩な測定マクロアイコン

●簡単操作をサポートするグラフィックス＆測定ナビゲーション機能

●画像の取込・保存機能

●測定演算結果の公差照合や項目毎の各種統計処理機能

●測定結果をパソコン用表計算ソフト『MS-Excel※』へCSV形式で出力

同一パソコン内における独自の検査表作成が可能

●一画面内測定に対応

●照明を忠実に再現する自動調光機能

※Ms-ExcelはMicrosoft社の登録商標です。

q測定したいポイントをモニタに映し、顕微鏡本体で照明・ピントを調整し、測定項目とエッジ検出ツールを選択します。

w測定したいポイント付近をマウスでクリックすると、自動的にエッジを検出し、測定・演算を行います。

e qで選択した項目での測定結果が表示されます。

●MS-Windows XP、MS-Excelは米国マイクロソフト社の登録商標です。● PCの構成内容及び仕様は変更することがありますのでご了承ください。

特長

Measuring Image

画像ユニットシステム

仕様

品名コードNo.光学系画像検出装置CCDカメラの外観寸法CCDカメラの質量モニタ倍率/モニタ視野（3×レンズ使用時）最小表示量測定精度PC CPU

ディスプレイOSソフトウェア最大消費電力

画像ユニット359-680

弊社製測定顕微鏡取付け時　0.5×（0.5×TVアダプタ内蔵）高感度1/3″ CCDカラーカメラ

100×58×89mm0.4kg

弊社製測定顕微鏡取付け時　約63×/3.1×2.3mm0.01μm

測定顕微鏡の精度に依存します。Pentium415インチ液晶MS-Windows XP

QSPAK最大400W

▲

HyperMF＋画像ユニット＋設置台＋システムラック 組合せ例

11

レーザオートフォーカスlaser auto focus

微小段差・多層基板等の検査において高精度と高再現性を兼ね備えたフォーカス機能は大きなメリットを生みます。特に個人差によるバラつきを抑え、高スループットな測定環境を確保できます。

明視野・明暗視野各々の鏡筒に内蔵化

超精密小型歯車 10×

ウエハ 20×

フォーカスしたいポイントで迅速に機能するジャストフォーカス（JF）モードと常に合焦位置に追従するトラッキングフォーカス（TF）モードを使い分けることにより測定を効率化します。XY平面や微小段差の測定を高精度に行えます。

倍率50×以上のレンズの場合スポット径φ1μm以下を実現。多彩な測定に対応できます。

金属傾斜面 20×

金属刻印 20×

AF光路イメージ図

LAF鏡筒

選べるAF機能

微小エリアにも有効なAF・面性状や傾きにも高いフォーカス再現性を維持します。半導体可視レーザ　690nm

対物レンズMplanApo 2×MplanApo 5×MplanApo 10×MplanApo 20×MplanApo 50×MplanApo 100×

※スポット径は計算による理論値です。繰返し再現性は当社基準サンプルによる値です。

スポット径16μm6μm3μm1.5μm0.8μm0.6μm

繰返し再現性※（2σ）2.5μm1.2μm0.6μm0.6μm0.6μm0.6μm

レーザ光について、安全上の注意点

本LAF（工場オプション）は測定用に低出力のレーザ光を使用しており、JIS C6802『レーザ製品の放射安全基準』のクラス2（可視光）に相当します。

12

主なオプションoption

Cマウント対応高精細デジタルカラー画像システム。誰でも簡単に高画質の顕微鏡画像を撮影保存できます。

◆主な機能画像ファイリング・画面内マニュアル計測・ホワイトバランス・画像上のコメント・スケールの表示等No.176-384：DV-210L（LCD仕様）No.176-382：DV-520L（LCD仕様）※画面内マニュアル計測は別途校正用チャート（No.02AKN020）が必要になります。

顕微鏡の撮像視野全体にフォーカスした（全焦点）画像を合成するシステム。深度の浅い顕微鏡観察をより進化させました。3D表示も可能です。

◆主な機能高品位デジタル画像・リアルタイム画像合成・最大256枚の画像取込による合成・汎用画像ファイル形式を採用（JPEG・BMP・TIFF・DIB）・保存画像のサムネイル表示・/ノイズ除去機能等

デジカラビジョン 3D画像合成プログラム VCPAK

偏光装置

No.378-092明視野（BF）明暗視野（BD）

照明フィルタ

No.12AAA643：ND2No.12AAA644：ND8No.12AAA645：GIFNo.12AAA646：LB80

微分干渉ユニット

No.378-080：5・10×用No.378-079：20×用No.378-078：50・SL20×用No.378-076：100・SL80・SL50×

マニュアルレボルバ（BF明視野用）

No.176-410レンズ取付本数：4本視野調整範囲：±0.5mm同焦調整範囲：±0.5mm位置センサ付

電動レボルバ（BF明視野用）

No.176-411レンズ取付本数：5本視野調整範囲：±0.5mm位置決め精度：2σ=3μm駆動寿命：100万ポジション位置センサ付

ウエハホルダ

No.176-414適合ウエハサイズ：3～8インチ回転ホルダ（No.378-364）付属質量：3.2kg

両センタ台

No.176-415保持可能最大長：250mm保持可能最大径：φ150mm外形頂点が観察できる最大径：φ140mm芯押し機構有効ストローク：22mm質量：13kg

防振台

No.176-419耐荷重：300kgスプリングパッド方式フロート部材質：SUS304W・D・H=800・900・48mm質量：58kg

設置台

No.176-418耐荷重：400kgW・D・H=1100・900・650mm質量：45kg

Vブロック台

No.172-378支持最大径：φ25mm質量：0.8kg※ステージアダプタA併用

クランプ装置

No.176-107最大厚さ：35mm質量：0.4kg※ステージアダプタA併用

傾斜センタ

No.172-197±10°の傾斜姿勢可能角度最小読み1°支持最大寸法：水平時φ80×140mm、10°傾斜時φ65×140mm質量2.5kg※ステージアダプタA併用

ステージアダプタA

No.176-3042枚一組質量：1.5kg

微動付回転テーブル(B)

No.176-306有効ガラス径：φ240mm回転台旋回角度：約51.5°（微動つまみ1回転あたり）

質量：6.5kg

ステージアダプタA

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観察から測定を1台でこなす測定顕微鏡のニーズは半導体・電子部品・精密自動車部品・工

具など様々な分野に及びます。産業界の至るところで活躍する測定顕微鏡のラインアップ

をご紹介致します。被検物上の微細な部分の寸法を確定する測定顕微鏡は今後も活躍の

場を拡大し、非接触測定のBASIC MACHINEとしてお役に立ちたいと考えています。

MF

TM-505R

Hyper MF/MF-U

TM

Hyper MF-U

MF-U

測定顕微鏡ラインアップmeasuring microscope line-up

高精度測定顕微鏡

測定顕微鏡

工具顕微鏡

シリーズ名称

鏡筒

測定ストロークmm（X・Y・Z）操作系・読取装置最小表示量（μm）データ処理装置TVポート

HyperMF標準

（有限遠補正）

HyperMF-U金属顕微鏡（無限遠補正）

250・150・1503軸電動J/S・デジタルスケール

0.01QM-Data200／画像ユニット

標準搭載

シリーズ名称

鏡筒

測定ストロークmm（X・Y・Z）

操作系・読取装置最小表示量（μm）データ処理装置TVポート

MF標準

（有限遠補正）

MF-U金属顕微鏡（無限遠補正）

50・50・150/100・100・150/200・100・150/200・170・220/300・170・220/400・200・220

手動・デジタルスケール0.1／0.5／1切換

QM-Data200／画像ユニット標準搭載

シリーズ名称

鏡筒

測定ストロークmm（X・Y・Z）

操作系・読取装置最小表示量（μm）データ処理装置TVポート

TM標準

（有限遠補正）

50・50・115／100・50・107

手動・マイクロメータヘッド1（MHDヘッドの場合）QM-Data200

無

MFシリーズ/MF-Uシリーズ

Hyper MF

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測定顕微鏡を安心して長くお使いいただくためにお客様により身近な存在としてニーズに合った信

頼性の高いサービスを迅速にご提供してまいります。そして、精密測定におけるリーディングカン

パニーのサービス部門として【最高品質のサービスの提供】に取り組んでまいります。納入立会・機

器の調整から検査成績書・校正証明書の作成、アフターサービスまできめ細かく対応致します。

【最高品質のサービスの提供】special after service

サービス新拠点 サービスセンタ

宇都宮サービスセンタ　電話（028）660-6280

仙　　台サービスステーション宇 都 宮サービスステーション伊 勢 崎サービスステーションさいたまサービスステーション

東京サービスセンタ　電話（045）938-5718

横　　浜サービスステーション綾　　瀬サービスステーション甲　　信サービスステーション

名古屋サービスセンタ　電話（052）731-7100

名 古 屋サービスステーション

安城サービスセンタ　電話（0566）96-0745

安　　城サービスステーション浜　　松サービスステーション

大阪サービスセンタ　電話（06）6613-8813

大　　阪サービスステーション神　　戸サービスステーション栗　　東サービスステーション

福岡サービスセンタ　電話（092）411-2909

福　　岡サービスステーション国　　分サービスステーション東 広 島サービスステーション

089 0608 e E-（CR）KO109

座標測定機

画像測定機

形状測定機

測長ユニット

光学測定機

精密センサ

試験・計測機器

測定工具、測定基準器、計測システム

●外観・仕様などは商品改良のために、一部変更することがありますのでご了承ください。●本カタログに掲載されている仕様は2006年8月現在のものです。●当社の商品は「輸出管理令」別表第1に該当します。輸出される場合は輸出許可申請書が必要な場合があります。

お問い合わせは東北営業センタ 仙台市若林区卸町東 1-7-30 〒984-0002 電話（022）231-6881 ファクス（022）231-6884仙台オフィス 電話（022）231-6881 山形オフィス 電話（023）615-4813 秋田オフィス 電話（018）887-3830 郡山オフィス 電話（024）931-4331

北関東営業センタ 宇都宮市平松本町 796-1 〒321-0932 電話（028）660-6240 ファクス（028）660-6248宇都宮オフィス 電話（028）660-6240 日立オフィス 電話（0294）27-7120 つくばオフィス電話（029）839-9139 太田オフィス 電話（027）630-0017伊勢崎オフィス 電話（0270）21-5471 新潟オフィス 電話（025）281-4360 東松山オフィス 電話（0493）21-7150 さいたまオフィス 電話（048）687-1661

南関東営業センタ 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話（044）813-1611 ファクス（044）813-1610川崎オフィス 電話（044）813-1611 東京オフィス 電話（03）3452-0481 千葉オフィス 電話（043）207-6181 八王子オフィス 電話（0426）20-4122厚木オフィス 電話（046）226-1020 藤沢オフィス 電話（0466）42-5367 富士オフィス 電話（0545）65-7008

甲信営業センタ 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話（0266）53-6414 ファクス（0266）58-1830諏訪オフィス 電話（0266）53-6414 上田オフィス 電話（0268）26-4531 甲府オフィス 電話（055）221-8002

東海営業センタ 安城市住吉町唐池 56-4 〒466-0072 電話（0566）98-7070 ファクス（0566）98-6761安城オフィス 電話（0566）98-7070 名古屋オフィス 電話（052）741-0382 小牧オフィス 電話（0568）74-7261 四日市オフィス 電話（059）350-0361豊川オフィス 電話（0533）86-6327 浜松オフィス 電話（053）464-1451

関西営業センタ 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話（06）6613-8801 ファクス（06）6613-8817大阪オフィス 電話（06）6613-8801 富山オフィス 電話（076）491-3782 小松オフィス 電話（0761）23-0862 栗東オフィス 電話（077）552-9408京都オフィス 電話（075）604-0328 天理オフィス 電話（074）363-3670 神戸オフィス 電話（078）924-4560 岡山オフィス 電話（086）242-5625高松オフィス 電話（087）869-7606

西部営業センタ 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話（092）411-2911 ファクス（092）473-1470福岡オフィス 電話（092）411-2911 東広島オフィス 電話（082）427-1161 熊本オフィス 電話（096）386-8211 国分オフィス 電話（0995）48-5842

M3

Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業センタにご連絡ください。UTSUNOMIYA 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話（028）660-6240 ファクス（028）660-6248TOKYO 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話（044）813-1611 ファクス（044）813-1610SUWA 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話（0266）53-6414 ファクス（0266）58-1830ANJO 安城市住吉町唐池 56-4 〒446-0072 電話（0566）98-7070 ファクス（0566）98-6761OSAKA 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話（06）6613-8801 ファクス（06）6613-8817HIROSHIMA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 お問い合わせはM

3Solution Center FUKUOKAまでお願いします。

FUKUOKA 福岡市博多区博多駅南 4-16-37 〒812-0016 電話（092）411-2911 ファクス（092）473-1470※M

3Solution CenterのM

3（エムキューブ）はMitutoyo, Measurement, Metrologyの3つのMを表しています。

計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。詳細は弊社営業センタにご連絡ください。ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話（044）822-4124 ファクス（044）822-4000

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