4325 3 cnc形状測定機 - 株式会社ミツトヨ：精密測定 … 形状測定機シリー...

CNC 形状測定機シリーズサーフテスト　エクストリーム・フォームトレーサ　エクストリーム・コントレーサ　エクストリーム

測定のトータルスループットの向上で、生産性向上に大きく貢献新時代の自動測定を提案する世界初のCNC形状測定機シリーズ。パートプログラムを切換えることで、測定物にあった専用測定機に変身

Catalog No. 4325

形状測定機

11

測定の効率化を目指して

ミツトヨは測定の効率化にソリューションを提案します。

従来の測定プロセス

ワーク数分繰返す

長時間オペレータを拘束

ワーク着脱

ワークレベリング他

測定開始位置決め

測定

解析（PC／記録図形読取）

印刷

CNC測定

CNC測定機が無人運転（測定）実行。オペレータは、他の業務へ

ワークパレット着脱測定開始

従来の測定プロセス

ワーク数分繰返す

長時間オペレータを拘束

ワーク着脱

ワークレベリング他

測定開始位置決め

測定

解析（PC／記録図形読取）

印刷

CNC測定

CNC測定機が無人運転（測定）実行。オペレータは、他の業務へ

ワークパレット着脱測定開始

CNC表面粗さ測定機サーフテストエクストリーム

CNC表面性状測定機フォームトレーサエクストリーム

CNC輪郭形状測定機コントレーサエクストリーム

22

測定対象物測定条件測定時間測定箇所数：約 40箇所測定位置：ピン /ジャーナル /スラスト面測定方向：円筒部軸方向 /スラスト部サイド面段取り：ワーク移動 /ワーク姿勢変更 /通り出し解析内容：表面粗さ /真直度★測定方向の通り出しやシャフトを立てる作業は　工数が掛かり、2人作業になりがち！

測定箇所数：約 60箇所測定位置：6面の表面と穴内径測定方向：上面・下面・側面・斜め穴等多数方向段取り：ワーク移動 /ワーク姿勢変更 /通り出し等解析内容：表面粗さ /輪郭形状★測定位置へ移動させる姿勢変更が 10回以上必　要なため、測定効率は非常に悪い！

測定箇所数：約 4箇所測定位置：ギヤ頂角測定方向：接線方向段取り：ワーク回転移動 /ワーク位置決め解析内容：輪郭形状★ 90°毎の回転位置決めが単純作業になるが、作　業者による熟練度で工数、精度に差が発生！測定箇所数：約 20箇所測定位置：シート面と穴測定方向：上面・穴 3方向の内径段取り：ワーク移動 /ワーク姿勢変更 /通り出し等解析内容：表面粗さ★シート面は、簡単にワークを移動させて測定で　きるけれど、穴内径粗さは測定位置が見えない　ので位置決めが不安！測定箇所数：約 3箇所 /1ワーク測定位置：円筒母線上測定方向：母線軸方向段取り：ワーク交換 /通り出し解析内容：表面粗さ /真直度★ 1本当たり単純な測定だけど、1日の測定本数　が多く、その度に必要な通り出しの工数は合計　すると多大！測定箇所数：約 2箇所測定位置：光軸断面直行位置測定方向：スタライス引き方向段取り：ワーク回転 /ワークレベル出し /光軸位置出し解析内容：輪郭形状 /設計値照合 /表面粗さ★光軸位置の断面形状を測定することが重要であ　り、そのセッティングは多大な工数が発生！

測定箇所数：約 2箇所 /1ワーク測定位置：円筒母線上測定方向：母線軸方向段取り：ワーク交換 /通り出し解析内容：表面粗さ /真直度★ 1個の測定は単純だけど、多数個を測定するの　で、1個のセッティングは工数多大！

クランクシャフト

シリンダヘッド

ミッションギヤ

バルブボディ

プリンタロール

非球面レンズ

モータ用ロータ/スピンドル

手動：90分

CNC：20分

手動：90分↓

CNC：30分

手動：20分↓

CNC：5分( 推定時間は 4歯分 )

手動：40分↓

CNC：15分

手動：50分↓

CNC：15分( 推定時間は 10本分 )

手動：40分↓

CNC：5分

手動：40分↓

CNC：20分( 推定個数は 20個分 )

3

CNC制御による新測定機能で測定効率アップ・追従測定機能Z2 軸制御により、検出器の測定範囲よりも広い範囲の形状 (輪郭 )の倣い測定が可能従来機では複数回に分けて測定していた箇所を、一回で測定可能

・α軸 (駆動部傾斜 )付のモデルでは、途中で段取り替えすること無く傾斜面を含む複数箇所の表面を連続測定可能

・α軸またはオプションのオートレベリングテーブルを使用した、自動水平出し機能搭載 (特許出願中：日本）

高速位置決めによる高スループット測定・世界最高速の最大 200mm/s の高駆動速度と多軸同時制御により、測定箇所への高速位置決めを実現　(※ CS-5000CNCは最大 40mm/s）

・斜め測定機能（表面粗さ）X軸と Y軸の同期制御を行うことにより、斜め移動測定を実現測定方向を駆動部に平行になるようにワークの再セッティングすることなく連続測定が可能

Z2

パートプログラムによる複数箇所・複数ワークの連続自動測定・Y軸テーブルを使用することにより、多数個の連続自動測定を実現

Y軸

測定効率を向上させるさまざまな機能

X軸駆動

4

手元で測定機を操作できる、使いやすいリモート操作ボックス・アイコンを使用した分かり易い操作ボタンを装備・自動実行中も自由に速度変更可能な速度オーバーライドつまみも装備

オペレータや測定機・ワークを保護する衝突安全機能も装備　　　　→安全装置により、衝突発生時に測定機が自動停止

CNC測定を強力にサポートする表面粗さ輪郭形状解析ソフトウェア FORMTRACEPAK

・ワーク同定 (座標系設定 )　パートプログラム作成時の位置とワークがずれていても、ワーク座標系を設定し同じ位置を測定可能

表面粗さ検出器

輪郭形状検出器

安全装置作動衝突方向

・複数部品測定対応　1個分のパートプログラムをループ機能により繰返し実行して、同一形状の多数個を一括測定可能

1個分のパートプログラム

エッジ測定により座標系を同定

ループ機能による繰返し測定

速度をリアルタイムに変更可能な速度オーバーライドつまみ

アイコン使用した分かり易い操作ボタン

5

CNC形状測定機ラインアップ

測定のトータルスループットの向上で生産性向上に大きく貢献新時代の自動測定を提案する世界初のCNC形状測定機シリーズ・CNC制御による新測定機能 (追従測定・斜め測定 )で測定効率アップ・パレットにセットされた複数の部品検査や、測定箇所の多い部品も効率的に測定可能・世界最高速の最大駆動速度 200mmm/s と多軸同時制御を実現し、測定箇所への高速移動を実現　駆動速度は従来の 40倍 ( 当社比 5mm/s → 200mm/s)・測定機を手元で操作できる使いやすいリモート操作ボックス・オペレータや測定機・ワークを保護する衝突安全機能も装備・CNC測定を強力にサポートする粗さ輪郭解析ソフトウェア FORMTRACEPAK搭載・パートプログラムによりどなたでも同じ測定条件、測定スキルで測定が可能・表面粗さ測定・輪郭形状測定および表面粗さ・輪郭形状測定兼用の豊富なラインアップと、種々の周辺オプションを取り揃え、想定シーンにあった測定機の選択が可能

6

CNC表面粗さ測定機サーフテストエクストリームSV-3000CNC

特長・高精度触針式CNC表面粗さ測定機・X1・(Y)・Z2 軸の最大駆動速度は、最大 200mm/s で高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能・X・Y軸方向の 2軸同時制御による斜め測定が可能　　　・α軸付タイプではX1軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能・Y軸テーブル付では複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大・Z1 軸検出器は測定力 4mNタイプと 0.75mNタイプの 2種類より選択可能・全ての接続ケーブルを測定機に内蔵し、接続ケーブルを気にせず測定が可能・Z1 軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止・リモートボックスは操作性を考慮し、2本のジョイスティックで軸選択し移動可能、また軸選択状態は一目で分かるアイコンで表現・データ処理解析部との通信はUSBを使用

7

CNC輪郭形状測定機コントレーサエクストリームCV-3000CNC/CV-4000CNC

特長・高精度触針式CNC輪郭形状測定機・X1・(Y)・Z2 軸の最大駆動速度は最大 200mm/s で高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能・α軸付きタイプではX1 軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能・Y軸テーブル付では複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大・Z1 軸検出器には広範囲測定可能なデジタル検出器 (CV-4000CNC：レーザホロスケール内蔵 )を搭載し、より高精度な測定に対応・X・Y軸方向の 2軸同時制御による斜め測定が可能・Z1 軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止・リモートボックスは操作性を考慮し、2本のジョイスティックで軸選択し移動可能、また軸選択状態は一目で分かるアイコンで表現・データ処理解析部との通信はUSBを使用

8

CNC表面粗さ・輪郭形状測定機フォームトレーサエクストリームSV-C3000CNC/SV-C4000CNC

特長・一台で表面粗さと輪郭形状が測定できる高精度触針式CNC表面粗さ・輪郭形状測定機・X1・(Y)・Z2 軸の最大駆動速度は最大 200mm/s で高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能・α軸付きタイプではX1 軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能・Y軸テーブル付では複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大・Z1 軸検出器のCVタイプには広範囲測定可能なデジタル検出器 (SV-C4000CNC：レーザホロスケール内蔵 )を搭載・X・Y軸方向の 2軸同時制御による斜め測定が可能・Z1 軸検出器は、輪郭形状測定用検出器と表面粗さ測定用検出器の交換時、ケーブルの取り回しの必要がなく、ワンタッチ交換可能・Z1 軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止・リモートボックスは操作性を考慮し、2本のジョイスティックで軸選択し移動可能、また軸選択状態は一目で分かるアイコンで表現・データ処理解析部との通信はUSBを使用

9

CNC表面性状測定機フォームトレーサエクストリームCS-5000CNC

特長・表面粗さと輪郭形状を一括測定可能な、高精度触針式CNC表面性状測定機・X1 軸の最大駆動速度は最大 40mm/s、(Y)、Z2 軸の最大駆動速度は最大 200mm/s で高速位置決めでき、複数断面測定や複数ワーク測定の高スループット化が可能・X1 軸、Z1 軸にはレーザホロスケールを搭載し、X1 軸：6.25nm、Z1 軸：4nm/8nmの高分解能を実現し、輸郭形状・表面粗さの一括測定に対応・Z1 軸検出器にはアクティブ制御方式を採用し動的測定力の変動を押さえたワイドレンジ測定が可能・X・Y軸方向 2軸同時制御による斜め測定が可能・Z1 軸検出器には衝突安全装置が内蔵されていますので、万一検出器本体がワークや治具に干渉した場合でも自動停止・α軸付タイプではX1 軸を電動傾斜により水平面、斜面の連続測定が可能・Y軸テーブル付では複数ワークの測定などY方向位置決めにより測定領域が拡大・リモートボックスは操作性を考慮し、2本のジョイスティックで軸選択し移動可能、また軸選択状態は一目で分かるアイコンで表現・データ処理解析部 (オプション )との通信はUSBを使用

10

Y軸コラム移動形表面粗さ測定機サーフテストエクストリームSV-M3000CNC

特長・エンジンブロック・クランクシャフト等の大形・重量ワークに対応したCNC表面粗さ測定機・検出器回転と組合せることにより、水平面と垂直面の連続測定が可能・耐荷量 100kg の大形テーブル、大形θ2テーブルに特注対応可能

大形・重量ワークの表面粗さ自動測定に対応・積載荷量に制限を受けないコラム移動形構造の採用　エンジンブロッック・クランクシャフト等の重量ワークの測定に対応可能・Y軸ストローク 800mm　大物ワークの複数断面測定や超広範囲のうねり測定可能・載物台部分の独立構造　様々なワークの大きさや治具・搬送装置追加などに特注にてフレキシブルに対応可能・表面粗さ検出器回転ユニットS-3000AR( オプション )　ワークの下面・側面も連続測定可能・大形回転テーブル (オプション )に対応　大形ワークの連続自動測定可能

1111

応用範囲を拡げる多彩なオプション群 -①

オプション

機能

*1：輪郭形状測定のみ対応*2：表面粗さ測定のみ対応*3：SV-M3000CNCのみ対応

Y軸テーブル

θ1

テーブルθ2

テーブル駆動部傾斜(特許出願中：日本）

大形θテーブル

回転形検出器ホルダ

自動レベリング ̶ ̶ ̶ ○ ̶ ̶自動通り出し(特許登録済：日本) ○ ○ ̶ △ ̶ ̶

多数ワーク一括測定 △ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶Y軸方向測定 ○ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶XY面斜め測定*2 ○ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶表面の3D表面粗さ測定/評価*2 ○ ̶ ̶ △ ̶ ̶

Y方向の複数本測定(Y方向の位置決め) ○ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶

半径方向の複数本測定(XY面回転方向位置決め) △ ○ ̶ ̶ ̶ ̶

Z軸方向追従測定*1 ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ̶X軸方向の斜面測定 △ ̶ ̶ ○ ̶ ̶X軸方向の斜め穴測定 △ ̶ ̶ ○ ̶ ̶円筒母線の多数本測定 △ ̶ ○ ̶ ̶ ̶裏表測定 △ ̶ ○ ̶ ̶ ̶大形ワークの回転位置決め*3 ̶ ̶ ̶ ̶ ○ ̶

大形ワーク上下前後測定*3 ̶ ̶ ̶ ̶ ̶ ○

○：必須オプション /△：装備したほうが便利 /̶：必要なしオプション群の最適な組合せ例の紹介

1212

十字動テーブル・載物面の大きさ：280x180mm

・十字動範囲： 100x50mm

218-001

・載物面の大きさ：280x152mm

・十字動範囲： 50x25mm

218-041

両締式回転万力台・固定方式両面締式・締付部の開き量：60mm ・回転角度の目量：1°

218-003

・回転方式：片締め・測定物の最大直径：ø60mm

・最小目量：5°

172-144

精密バイス・締付部の開き量：36mm ・十字動付載物台などに装着

178-019

・セット可能範囲：1mm～ 160mm

・十字動付載物台などに装着

998291

211-031

211-032

十字動付載物台・テーブル寸法：130x100mm

・傾斜角度：± 1.5°・X・Y軸移動量：± 12.5mm

178-043-1

十字動付載物台・テーブル寸法：130x100mm

・傾斜角度：± 1.5°・X・Y軸移動量：± 12.5mm

178-042-1

178-047

3軸調整テーブル

傾斜載物台・テーブル寸法：130x100mm

・傾斜角度：± 1.5°

178-016

クランプ装置・十字テーブルに使用する付属品

・保持できる最大高さ：35mm

176-107

傾斜センタ台・測定物の最大直径：85mm( 傾斜角 0°の場合 )65mm( 傾斜角 10°の場合 )

・測定物の最大の長さ140mm

172-197

両センタライザ・総高さ：60mm

172-143

両センタ台・測定物の最大長さ：120mm・測定物の最大直径：120mm

172-142

チャック・保持範囲：外径 ø1.5mm以下

・保持範囲：内爪での外径 ø1～ ø36mm内爪での内径 ø14～ ø70mm外爪での外径 ø1～ ø75mm

172-378172-234

Vブロック台・十字テーブルに使用する付属品

・測定物最大直径：50mm(172-234)

・測定物最大直径：25mm(172-378)

1313

標準スタイラス 12AAE882 (1µm)*1

12AAE924 (1µm)12AAC731 (2µm)*1

12AAB403 (5µm)12AAB415 (10µm)12AAE883 (250µm)*1

( ): 先端半径

小穴用 12AAC732 (2µm)*1

12AAB404 (5µm)12AAB416 (10µm)( ): 先端半径

極細穴用 12AAC733 (2µm)*1

12AAB405 (5µm)12AAB417 (10µm)( ): 先端半径

超小穴用

深穴用

深穴2倍用

小穴用・深穴2倍

細穴形状用

極細穴形状用

細長穴用

12AAC734 (2µm)*1

12AAB406 (5µm)12AAB418 (10µm)( ): 先端半径

12AAE898 (2µm)*1

12AAE914 (5µm)

( ): 先端半径

12AAE892 (2µm)*1

12AAE908 (5µm) 　　( ): 先端半径

12AAE884 (ø1.6mm)

12AAE885 (ø0.5mm)

12AAE938 (2µm)*1

12AAE940 (5µm)

2 倍 12AAC740 (2µm)*1

12AAB413 (5µm)12AAB425 (10µm)( ): 先端半径

3 倍 12AAC741 (2µm)*1

12AAB414 (5µm)12AAB426 (10µm)( ): 先端半径

90°

0.9 37.7

7.6

44.7

3

1.8

ø2.4

ø1.21.6

ø1.2

ø2.4

ø2.4

ø0.3

ø0.3

0.4

1.6

ø1.2

ø2.4

3.4

2.4 ø2

.4

94.7

87.7

94.4

87.70.6

30

A

ø1.6超硬球

41

A

7

37.7

94.4

87.70.6

45

A

ø0.6

0.6

43.8

7

ø0.5超硬球

87.7

93.8

0.6

ø0.6

A部詳細

A部詳細

A部詳細

0.6

ø2.4

ø1.2

5.2

A

識別色

識別色

識別色

識別色

識別色識別色

A部詳細

A部詳細

A部詳細

A部詳細

A部詳細 A部詳細

0.6

0.4

1.6 ø0.6

90°

(S=5/1)

ø2.415

ø1.2

3.4

2.4

1.6

0.6 37.744.4

A

0.4

1.2

ø0.3

90°

(S=5/1)

ø2.4

8.9

ø0.6

2.5

37.7

1.2

44.2

A

ø0.3

90°

0.8

0.4

(S=5/1)

ø2.4

37.7

2.5

ø0.6

8.9

44.2

0.8

A

ø2.4

87.70.9

Ø1.2

90°

94.7

7.6

5.2

A

ø2.4

137.70.9

7.6

144.7

ø1.2

90°

5.2

A

スタイラス

検出器

*1 先端角度 60°

1460

ø8

ø14

検出器

ø14

ø7

1011.53.1

3.6

1.3

スキッドレスノーズピーズ (12AAB355)4

応用範囲を拡げる多彩なオプション群 -②

コードNo. 測定力178-396-2 0.75mN ’97ISO、’01JIS準拠の検出器178-397-2 4mN 従来規格や一般的に使用されていた検出器

スタイラス・ノーズピース（SV-3000CNC/SV-C3000CNC/SV-C4000CNC/SV-M3000CNC）

単位：mm

1414

*1 先端角度60°

13

ø2.4

0.9

ø1.2

90°

14.2

37.7

23 21.8

5.2

95.2

43.8

36.5

36.5

35

35

42.6

5.2

5.2

Ø3

Ø3

Ø2.

4

45.2

37.7

ø2.4

93.8

93.8

94.7

6.77

93.8

87.7

35

0.9 87.7

ø1.2

ø0.8

87.7

ø1.2

87.7

Ø1.2

Ø1.2

87.7

ø2.4

ø1.2

44.7

A

23

0.9

ø2.4

24.2

ø1.2

90°

37.744.7

A

33 31.8

5.2

ø1.2

A

ø2.4

Ø2.

4

90°

37.7

45.2

60°

60°

45°

60°

7.6

6.4

37.7

43.8

ø1.2

ø2.4A

7.6

ø2.4ø2

.4

5.2

6.4

7.6

5.8 5 ø1

.6

ø2.4

ø1.2

0.9 37.744.7

Ball ø1.588

5.2

7.6

ø2.4ø1.2

90°

37.70.944.7

A

A37.70.9

90°ø1.2

45.2

7.6

10

ø2.4

ø2.4

スタイラス

識別色

識別色

識別色

識別色

識別色

識別色

A部詳細

A部詳細

A部詳細

A部詳細

A部詳細

A部詳細

深溝用(10mm)

12AAC735 (2µm)*1

12AAB409 (5µm)12AAB421 (10µm)( ): 先端半径

深溝用(20mm)12AAC736 (2µm)*1

12AAB408 (5µm)12AAB420 (10µm)( ): 先端半径

深溝用(30mm)

12AAC737 (2µm)*1

12AAB407 (5µm)12AAB419 (10µm)( ): 先端半径

歯面用

心違い用

12AAB339 (2µm)*1

12AAB410 (5µm)12AAB422 (10µm)( ): 先端半径

12AAC739 (2µm)*1

12AAB412 (5µm)12AAB424 (10µm)( ): 先端半径

ナイフエッジ用 12AAC738 (2µm)*1

12AAB411 (5µm)12AAB423 (10µm)( ): 先端半径

転がり円うねり用

深溝用(20mm)

深溝用(40mm)

深溝用(30mm)・深穴2倍

歯面用・深穴2倍

穴底面用

穴測定コーナー用・深穴2倍

転がり円うねり・深穴2倍 12AAB338 (0.8mm)

12AAE893 (2µm)*1

12AAE909 (5µm) ( ): 先端半径

12AAE895 (2µm)*1

12AAE911 (5µm) ( ): 先端半径

12AAE894 (2µm)*1

12AAE910 (5µm) ( ): 先端半径

12AAE896 (2µm)*1

12AAE912 (5µm)*1

( ): 先端半径

12AAE886 (250µm)*1

12AAE899 (2µm)*1

12AAE915 (5µm)( ): 先端半径

12AAE897 (2µm)*1

12AAE913 (5µm)

( ): 先端半径

4.7 ø1

0.5

5

2.6 4.ø2

44.3

37.7

※特殊仕様のスタライスに対応致します。

単位：mm

1515

応用範囲を拡げる多彩なオプション群 -③

アーム名符号パーツNo. 適用スタライスNo. H(mm)

ストレートアーム

ABH-53 12AAE294 SPH-51,52,53,54,55,57 6ABH-63 12AAE295 SPH-61,62,63,64,66,67 12ABH-71※ 996506 SPH-71,72,73,74,75,77 20ABH-81 996507 SPH-81,82,83,84,85,87 30ABH-91 996508 SPH-91,92,93,94,95,97 42

心遣いアーム

ABH-52 996509 SPH-51,52,53,54,55,57 6ABH-62 996510 SPH-61,62,63,64,65,67 12ABH-72 996511 SPH-71,72,73,74,75,77 20ABH-82 996512 SPH-81,82,83,84,85,87 30ABH-92 996513 SPH-91,92,93,94,95,97 42

小穴アーム ABH-21 12AAE296 SPH-21,22,23 -

アーム名符号パーツNo. 適用スタライスNo. h(mm)

片角スタイラス

SPH-51 354882 ABH-52, 53 14SPH-61 354883 ABH-62, 63 20SPH-71※ 354884 ABH-71, 72 28SPH-81 354885 ABH-81, 82 38SPH-91 354886 ABH-91, 92 50

両角スタイラス

SPH-52 354887 ABH-52, 53 14SPH-62 354888 ABH-62, 63 20SPH-72 354889 ABH-71, 72 28SPH-82 354890 ABH-81, 82 38SPH-92 354891 ABH-91, 92 50

円錐スタイラス先端角度30°（超硬合金）

SPH-57 12AAE865 ABH-52, 53 14SPH-67 12AAE866 ABH-62, 63 20SPH-77 12AAE867 ABH-71, 72 28SPH-87 12AAE868 ABH-81, 82 38SPH-97 12AAE869 ABH-91, 92 50

円錐スタイラス先端角度30°（サファイア）


円錐スタイラス先端角度50°（ダイヤモンド）

SPH-79 355129 ABH-71, 72 28

円錐スタイラス先端角度30°（超硬）

SPH-56 12AAA566 ABH-52, 53 14SPH-66 12AAA567 ABH-62, 63 20SPH-76 12AAA568 ABH-71, 72 28SPH-86 12AAA569 ABH-81, 82 38SPH-96 12AAA570 ABH-91, 92 50

ナイフエッジスタイラス


ボールスタイラス


小穴スタイラス（片角）

SPH-21 12AAE297 ABH-21 2SPH-22 12AAE298 ABH-21 4SPH-23 12AAE299 ABH-21 6.5

■アーム適合表

■スタイラス適合表

※標準付属品（CV-3100/4100CNC, SV-C3100/4100CNCシリーズ）

※標準付属品（CV-3100/4100CNC、SV-C3100/4100CNCシリーズ）※上記も他にもご要望があれば、ご指定のアーム、スタイラスを特注品として製作致します。

5502

ø3

ø5

5531

6.ø1

ø4h

55

ø4

hh

hh

h

ø3

ø3

ø3

ø3

ø3

h

h

Hスタイラス

先端角度： 20° 先端半径： 25μ m 材質：超硬合金

先端角度： 20° 先端半径： 25μ m 材質：超硬合金

先端ボール径： 1mm 先端材質：超硬合金

h

03151

ø8

51ø3

58151

ø8

04581

51

ø8

H

ø3

先端形状：片角（先端角度： 20° ）先端形状：円錐（先端角度： 30° ）先端半径： 25μ m 先端材質：超硬合金



先端角度： 20° 先端幅： 3mm 先端半径： 25μ m 先端材質：超硬合金

先端角度： 30° （ SPH-79 のみ 50° ）先端半径： 25μ m 先端材質：サファイヤ・超硬合金（ SPH-79 のみダイヤモンド）

先端角度： 12° 先端半径： 25μ m 先端材質：超硬合金

スタイラス

心違いアームストレートアーム

小穴アーム片角スタイラス

円錐スタイラス両角スタイラス

ナイフエッジスタイラス円錐スタイラス

小穴スタイラス　 SPH-21ボールスタイラス

小穴スタイラス　 SPH-23小穴スタイラス　 SPH-22

スタイラス・アーム単位：mm

1616

107

65.95

ø1.2

(31.5)

35.9540°

74.51

ø6

12.5

(6.5

)

ø4

ø1.2

(31.5)

65.95

35.95

74.51

107

ø6

12.7

5

(6.8

)

ø4

ø0.5mm ball

ø1.2

(31.5)

145.95

115.9540°

154.51

187

ø6

(19)25

ø4

ø1.2

(31.5)

145.95115.95

154.51

187

ø6

(19.

3)

25.2

5

ø4

ø0.5mm ball

15

35.95

65.95

ø4ø6

1.6

0.4

ø1.2

(1.1

)

74.5 (31.5)0.6

106.6

6

0.6

40°AA

10

ø4ø6

1.2

0.6ø0

.6

(1.1

)

0.4

40°

74.5 (31.5)0.4

106.4

35.95

65.95

6

AA

ø4ø6

12.5ø6

(6.5

)

4°35.95

ø1.2

65.95

74.5 (31.5)3

109

16

標準長スタイラス触針長さ：12.5mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円錐40° 先端半径：5µm

標準長さボールスタライス触針長さ：12.75mm 先端材質：サファイヤ先端ボール半径：0.25mm

2倍長さスタイラス触針長さ：25mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円錐40° 先端半径：5µm

2倍長さボールスタイラス触針長さ：12.75mm 先端材質：サファイヤ先端ボール半径：0.25mm

標準長さ細穴スタイラス触針長さ：15mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円錐40° 先端半径：5µm

標準長さ極細穴スタイラス触針長さ：10mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円錐40° 先端半径：5µm

標準長さ心違いスタイラス触針長さ：12.5mm 先端材質：ダイヤモンド先端形状：円錐40° 先端半径：5µm

検出器ノーズピース

12AAD543

12AAD544

12AAD545

12AAD546

12AAD653

12AAD652

12AAD651

単位：mm

標準アクセサリオプション

スタイラス (CS-5000CNC)

1717

ソフトウェアFORMTRACEPAK

測定制御

・測定制御画面では、測定手順 ( パートプログラム ) の実行、作成のために必要な各種コマンドボタンが配置されています。普段使用しないボタンや表示エリアは任意に表示、非表示の選択ができますので、操作担当者が使いやすい画面配置にカスタマイズできます。

・操作手順の呼び出しは、プルダウンメニューから簡単に選択でき、すぐに測定を行なえます。

・効率よく測定手順 ( パートプログラム ) が作成できるように、リモート操作ボックスと同じ各種制御ボタンが配置されています。・測定パーツのセッティングずれ量を自動検出し、測定に最適なセッティング位置にメカ的に各軸微調整を行なう「ワーク同定機能」や、測定パーツに合わせた座標系を生成する座標系コマンドが、全自動的に威力を発揮します。

・最大 6軸を同時に移動制御させる多軸移動コマンドにより、測定機の動作時間を最小限に抑え、更なる測定タクトタイムの短縮が図れます。

・パレット上に複数配置した測定パーツを測定する場合などには、移動、測定、解析コマンドを繰り返す複数部品ループ機能により、測定手順作成の手間を軽減します。

1818

輪郭解析機能

・解析の基本要素となるコマンドは、点(10種類)、線(6種類)、円(6種類 ) と多種にわたり、要素を組み合わせた角度、ピッチ、距離など豊富な計算コマンドを標準装備しています。　普段ご使用にならないようなコマンドは、隠すなど計算コマンドボタンのカスタマイズ機能と合わせ、使用環境に合わせた画面のカスタマイズが可能です。

・円線自動あてはめコマンドを用いれば、コマンドボタンを何度も押す必要なく、データ内に含まれるすべての円、線を自動算出することもできます。(特許出願中：日本 )

・異常点除去機能により、データ内に含まれるイレギュラーな傷を計算から自動的に除外したり、円と線の境目が判別しにくい箇所の計算範囲設定したりする場合にも有効です。

・演算結果のテキスト出力 (csv、txt 形式 )、測定図形データは点列データとしてテキストファイルや CADファイル出力 (DXF、IGES 形式 ) したり、クリップボードにコピーしたりすることができます。市販の文書作成ソフト、統計処理ソフトを利用し、専用解析ソフトがインストールされていない PCでのデータ共有や、CADによるリバースエンジニアリングに役立ちます。

表面粗さ解析機能

・表面粗さの規格は、ISO、JIS(’ 82、’ 94、’ 01)、ANSI、VDAなどに準拠した解析が行なえますので、グローバルにご使用いただけます。

・パラメータ計算だけではなく、豊富なグラフ解析機能備えていますので、日常の品質管理から、R&D部門でも幅広く活用できます。

・データ補正 (傾斜、曲面 )機能、データ削除機能なども充実しています。

1919

ソフトウェア　FORMTRACEPAK

設計データは、CADファイル (DXF、IGES 形式ファイル )から生成することが可能です。測定機で測定したデータを設計データとして変換することも可能ですので、使用 ( 試験 ) 前のパーツを設計データとして保存しておくことにより、使用 ( 試験 ) 後に摩耗具合などのチェックにも有効です。また、非球面レンズの評価に不可欠なレンズ設計データは、最大20次までの回転非球面一般式入力や、CSV形式のテキストファイルからも設計データ生成が可能です。

設計値生成機能

設計値生成で作成された設計データと照合を行なうアプリケーションです。設計データと測定データとを最適な位置に座標移動させるベストフィット機能が標準装備されています。照合結果は、ビジュアルな図形表示だけでなく、各座標における誤差量を表示させたり、テキストファイル形式で出力が可能ですので、加工機へのフィードバックなど応用的なご使用にも役立ちます。

輪郭照合機能

非球面設計値生成

設計値生成

輪郭照合

輪郭照合結果数値出力例非球面レンズの輪郭照合結果例

2020

Y軸テーブルを用いた三次元表面粗さ測定データを解析するソフトウェアです。シューディング(陰影)表示、網掛け表示、等高線表示など様々なビジュアル表現方法を備えています。3D粗さパラメータ計算、切断面 (面積、体積 )解析のほか、負荷曲線BAC、振幅分布図ADC、パワースペクトル解析など、表面性状をあらゆる角度から分析することが可能です。

三次元データ解析プログラムFORMTRACEPAK-PRO(オプション )

CNC形状測定機の外部制御機能を追加するオプションソフトウェアです。PLCから RS-232C通信により、測定機の状態監視と、測定機の制御を行なうことができます。

外部通信プログラム FORMEio( オプション )

CNC形状測定機データ処理装置 PC

解析ソフトFORMTACEPAK

外部通信ソフトFORMEio

RS-232CPLC *

ワーク搬送装置

操作盤

シグナルタワー

各種信号　近接SW,リミットSW

* Programmable Logic Controller

2121

仕様

SV-3000CNC測定本体X1軸測定範囲 200mm

分解能 0.05µm測長ユニット反射形リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s測定速度 0.02～2mm/s測定方向引き方向真直精度 0.5µm/200mm

Z2軸（コラム）移動範囲 Z2軸タイプ: S 300mmZ2軸タイプ: H 500mm


ジョイスティックモード 0～50mm/sベースサイズ（幅x奥行） 750x600mmベース素材斑れい岩

外観寸法（幅x奥行x高さ） Z2軸タイプ: S 800x620x1000mmZ2軸タイプ: H 800x620x1200mm

質量 Z2軸タイプ: S 240kg（Y軸テーブル部及び防振台は含まない）Z2軸タイプ: H 250kg（Y軸テーブル部及び防振台は含まない）

使用温度、湿度範囲　 15～25°C、20～80%RH（ただし、結露しないこと）保存温度、湿度範囲 -10～50°C、5～90%RH（ただし、結露しないこと）

コントローラ（全機種共通）外観寸法（幅x奥行x高さ） 250x427x517mm質量 28kg通信インターフェース USB電源仕様 100～120V、200～240V ±10%、AC50/60Hz消費電力 500W

リモートボックス（全機種共通）外観寸法（幅x奥行x高さ） 300x143x71mm質量 1.5kg

お願い : 本機には想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に本機の操作を禁止する本体起動システム ( 移設検知システム ) が組込まれています。ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移動される前に、弊社営業センタ *までご連絡をお願い致します。 * 東北 (022)231-6881 北関東 (028)660-6240 南関東 (044)813-1611 甲信 (0266)53-6414 東海 (0566)98-7070 関西 (06)6613-8801 西部 (092)411-2911

2222

α軸部（搭載機種のみ共通）傾斜角度 -45°（反時計回り）、+10° (時計回り)傾斜回転速度 1rpm傾斜角度分解能 0.000225°質量 9kg

Y軸テーブル部（搭載機種のみ共通）測定範囲 200mm最小表示量 0.05µm測長ユニット反射形リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/s最大積載質量 20kg（重心位置はテーブル中心からø100以内）真直精度表面粗さモード 0.5µm/200mm

輪郭モード 2µm/200mm指示精度（20°C、輪郭モード） ±(2+2L/100)µm L：任意2点間寸法（mm）テーブルサイズ 200x200mm外観寸法（幅x奥行x高さ） 320x646x105mm質量 35kg

防振台(オプション)除振機構ダイヤフラム形空気ばね固有振動数 2.5～3.5Hz減衰機構オリフィス水平維持機構メカニカルバルブによる自動制御供給空気圧 390kpa搭載許容質量 350kg外観寸法（幅x奥行x高さ) 1000x895x715mm質量 280kg

キャビン(オプション)外観寸法(幅x奥行x高さ)

Z2 軸タイプ：S 1000x750x1100mmZ2 軸タイプ：H 1000x750x1300mm

質量 Z2 軸タイプ：S 46kgZ2 軸タイプ：H 53kg

2323

仕様

CV-3000CNC/CV-4000CNC測定本体

符号 CV-3000CNC CV-4000CNCX1軸測定範囲 200mm


ジョイスティックモード 0～50mm/s測定速度 0.02～2mm/s測定方向引き、押し両方向真直精度 2µm/200mm指示精度(20℃) ±(1+4L/200)µm　　L：測定長さ(mm)

Z1軸（検出部）測定範囲 50mm(水平状態より±25mm)分解能 0.2µm 0.05µmスタライス上下作動円弧運動測長ユニット反射形リニアエンコーダレーザホロスケール指示精度(20℃) ±(2+4H/100)µm　 ±(0.8+I0.5HI/25)µmH：水平位置からの測定高さ(mm)測定力 30mN追従角度登り70°、下り70°(面性状による)スタライス先端円錐30°超硬合金測定面方向下向き



ジョイスティックモード 0～50mm/sベースサイズ(幅x奥行) 750x600mmベース材質斑れい岩




コントローラ（全機種共通：26ページ参照）リモートボックス（全機種共通：26ページ参照）α軸部（搭載機種のみ共通：27ページ参照） Y軸テーブル部（搭載機種のみ共通：27ページ参照）測定本体寸法 (27ページ参照 ) 防振台 ( オプション、27ページ参照 )キャビン (オプション、27ページ参照 )


2424

SV-C3000CNC/SV-C4000CNC測定本体

符号 SV-C3000CNC SV-C4000CNCX1軸測定範囲 200mm


ジョイスティックモード 0～50mm/s測定速度 0.02～2mm/s測定方向引き、押し両方向真直精度 2µm/200mm指示精度（20°C） ±(1+4L/200)µm L: 測定長さ（mm）測定方向引き方向真直精度 0.5µm/200mm

Z1軸（検出部）測定範囲 50mm（水平状態より±25mm）分解能 0.2µm 0.05µmスタライス上下作動円弧運動測長ユニット反射形リニアエンコーダレーザホロスケール指示精度(20℃) ±(2+4H/100)µm　 ±(0.8+I0.5HI/25)µmH：水平位置からの測定高さ(mm)測定力 30mN追従角度登り70°、下り70°（面性状による）スタイラス先端円錐30°、超硬合金測定面方向下向き



ジョイスティックモード 0～50mm/sベースサイズ（幅x奥行） 750x600mmベース素材斑れい岩



使用温度、湿度範囲 15～25°C、20～80%RH（ただし、結露しないこと）保存温度、湿度範囲 -10～50°C、5～90%RH（ただし、結露しないこと）

コントローラ（全機種共通：26ページ参照）リモートボックス（全機種共通：27ページ参照） α軸部（搭載機種のみ共通：27ページ参照） Y軸テーブル部（搭載機種のみ共通：27ページ参照）測定本体寸法 (27 ページ参照 ) 防振台 ( オプション、27ページ参照 )キャビン (オプション、27ページ参照 )

：表面粗さモード（表面粗さ検出器ホルダ使用時）：輪郭形状モード（CV-3000/CV-4000 検出器使用 )


2525

仕様

CS-5000CNC測定本体X1軸測定範囲 200mm

分解能 0.00625µm測長ユニットレーザホロスケール駆動速度 CNCモード最大40mm/s

ジョイスティックモード 0～40mm/s測定速度粗さ測定時：0.02～0.2mm/s、輪郭測定時：0.02～2mm/s測定方向引き、押し両方向真直精度標準長さスタライス使用時 (0.1+0.0015L)µm　　L：駆動長さ(mm)

2倍長さスタライス使用時 (0.2+0.0015L)µm　　H：駆動長さ(mm)指示精度(20℃) ±(0.3+0.002L)µm　　L：駆動長さ(mm)

Z1軸（検出部）測定範囲標準長さスタライス使用時 12mm2倍長さスタライス使用時 24mm

分解能標準長さスタライス使用時 0.004µm2倍長さスタライス使用時 0.008µm

スタライス上下運動円弧運動測長ユニットレーザホロスケール指示精度(20℃) ±(0.3+0.02H)µm　　H：測定高さ(mm)測定力標準長さスタライス使用時 4mN一定

2倍長さスタライス使用時 0.75mN一定追従角度登り60°、下り60°(面性状による)スタライス先端

標準長さスタライス先端半径5µm、先端角度40°、ダイヤモンド標準長さポールスタライス先端ポール半径0.25mm、サファイヤ2倍長さスタライス先端半径5µm、先端角度40°、ダイヤモンド2倍長さポールスタライス先端ポール半径0.25mm、サファイヤ

測定面方向下向きZ2軸（コラム）移動範囲 Z2軸タイプ: S 300mm

Z2軸タイプ: H 500mm分解能 0.05µm測長ユニット反射形リニアエンコーダ駆動速度 CNCモード最大200mm/s

ジョイスティックモード 0～50mm/sベースサイズ(幅x奥行) 750x600mmベース材質斑れい岩




コントローラ（全機種共通：22ページ参照）リモートボックス（全機種共通：22ページ参照）α軸部（搭載機種のみ共通：23ページ参照） Y軸テーブル部（搭載機種のみ共通：23ページ参照）防振台 (標準付属、27ページ参照 ) キャビン ( 標準付属、27ページ参照 )


2626

SV-M3000CNC測定本体X1軸測定範囲 200mm


ジョイスティックモード 0～50mm/s測定速度 0.02～2mm/s真直精度標準形検出器使用時 0.5µm/200mm

ロング形検出器使用時 0.7µm/200mm回転形検出器ホルダ使用時

上下方向 0.5µm/200mm前後方向 0.7µm/200mm

Z2軸（コラム）移動範囲 500mm分解能 0.05µm測長ユニット反射形リニアエンコーダ測定力 CNCモード最大200mm/s

ジョイスティックモード 0~50mm/sY軸測定範囲 800mm


ジョイスティックモード 0～50mm/s測定速度 0.02～2mm/s真直精度標準形検出器ホルダ使用時狭範囲 0.5µm/50mm

広範囲 2µm/800mmロング形検出器ホルダ使用時狭範囲 0.7µm/50mm

広範囲 3µm/800mm回転形検出器ホルダ使用時(上下方向)

狭範囲 0.7µm/50mm広範囲 3µm/800mm

ベース部ベースサイズ(幅x奥行) 600x1500mmベース材質スチール許容積載質量 300kg

防振ユニット供給空気圧 0.4MPa除振機構ダイヤフラム型空気ばね固有振動数 4.0～5.0Hz減衰機構オリフィス&オイルダンパ水平維持機構メカニカルバルブによる自動制御

外観寸法（幅x奥行きx高さ） 1085x1695x1922mm質量 1600kg(防振ユニット含む)使用温度、湿度範囲　 15～25°C、20～80%RH（ただし、結露しないこと）保存温度、湿度範囲 -10～50°C、5～90%RH（ただし、結露しないこと）

コントローラ（全機種共通：22ページ参照）リモートボックス（全機種共通：22ページ参照） α軸部（搭載機種のみ共通：23ページ参照） Y軸テーブル部（搭載機種のみ共通：23ページ参照）


2727

測定本体の外観寸法図

SV-3000CNC/CV-3000CNC/CV-4000CNC/SV-C3000CNC/SV-C4000CNC共通

単位： mm

CS-5000CNC

2828

SV-M3000CNC 単位： mm

2929

ラウンドテストエクストリーム生産性の向上と効率化に大きく貢献CNC真円度・円筒形状測定機

● 高精度と使いやすさを追求した回転テーブル半径方向の回転精度だけでなく軸方向と高精度を実現し、真円度・円筒度のみならず平面度等も高精度に測定できます。また、自動心 /水平出し調整タイプの回転テーブルを標準搭載しておりますので、測定物の心出し /水平出し作業から測定者を解放します。(特許登録済：日本 )

● 自動測定 (CNC) を実現する検出器の姿勢変更機能検出器を保持するホルダアーム部の姿勢 (縦 /横 )と検出器の回転機構 (0～ 270°の範囲で1°毎に回転 )を制御し、外径や内径、上面、下面測定まで連続した自動測定が可能なります。また、オフラインティーチング機能も充実し、パートプログラム作成も簡単に行なえます。

● 高精度自動測定 (CNC) に実現するための位置決めセンサX軸駆動部の位置決めセンサに、弊社のリニヤスケールを搭載しました。駆動部の移動量をダイレクトに検出して、自動測定に必要不可欠な高精度な位置決めを実現します。

符号 RA-2100S CNC RA-2100H CNC RA-H5100S CNC※ RA-H5100H CNC※回転テーブル部回転精度

JISB7451-1997半径方向 (0.02+3.8H/10000)µm (0.02+4H/10000)µm縦方向 (0.02+3.8x/10000)µm (0.02+6x/10000)µm

回転速度 2, 4, 6, 10rpm 2, 4, 6, 10rpm（自動求心時 : 最大 20rpm）

テーブル有効径 ø235mm ø300mm心出し、水平出し調整範囲 ± 3mm, ± 1° ± 5mm, ± 1°最大積載質量 30kg 80kg（自動求心時 : 65kg）最大測定径、積載径 ø256mm, 580mm ø356mm, ø680mm

上下動部運動の真直度（λc：2.5mm)

狭範囲 0.12µm/100mm 0.05µm/100mm広範囲 0.18µm/300mm 0.3µm/500mm 0.14µm/350mm 0.2µm/550mm

回転軸心との平行度（母線基準） 0.7µm/300mm 1.2µm/500mm 0.2µm/350mm 0.32µm/550mm

移速度最大 35mm/s 最大 60mm/s最大測定高さ（内径、外径測定時）

300mm 500mm 350mm 550mm

最大測定深さ（標準測定子使用時）

ø12.7x 深さ 26mmø32x 深さ 104mm

半径方向真直度（λc：2.5mm) 0.7µm/150mm 0.4µm/200mm回転軸心との直角度（母線基準） 1.0µm/150mm 0.5µm/200mm

移動量、速度 175mm, 最大 20mm/s 225mm, 最大 50mm/s検出器測定力 40mN

測定子先端形状、材質 ø1.6mm超硬球 ø1.6mm超硬球検出範囲（標準／追従） ± 400µm, ± 5mm ± 400µm, ± 5mm回転機構 0～ 270°（1°単位） 0～ 270°（1°単位）

使用空気圧 0.39MPa 0.39MPa半径方向標準状態 30L/min 45L/min

空気源 80L/min 以上 120L/min質量（測定本体、設置台） 180kg 200kg 650kg, 100kg 670kg, 100kg

※お願い : 本機には想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に本機の操作を禁止する本体起動システム ( 移設検知システム ) が組込まれています。ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移動される前に、弊社営業センタ *までご連絡をお願い致します。 * 東北 (022)231-6881 北関東 (028)660-6240 南関東 (044)813-1611 甲信 (0266)53-6414 東海 (0566)98-7070 関西 (06)6613-8801 西部 (092)411-2911

3030

検出器回転機構

RA-H5100S CNC

RA-2100S CNC

座標測定機

画像測定機

形状測定機

測長ユニット

光学測定機

精密センサ

試験・計測機器

測定工具、測定基準器、計測システム

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●外観・仕様などは商品改良のために、一部変更することがありますのでご了承ください。●本カタログに掲載されている仕様は 2007年 4月現在のものです。●弊社商品は外国為替及び外国貿易法の規制貨物等に該当いたします。　リスト該当商品を輸出される場合、または日本国外へ持ち出す場合には日本政府の輸出許可が必要となります。　また、キャッチオール該当商品の場合も、ご購入後に輸出される場合はアフターサービスに支障を来すこともあります。　いずれの場合でも、ご不明な内容につきましては最寄りの弊社営業センタに必ずお問い合わせください。

弊社商品は外国為替及び外国貿易法の規制貨物等に該当いたします。リスト該当商品を輸出される場合、または日本国外へ持ち出す場合には日本政府の輸出許可が必要となります。また、キャッチオール該当商品の場合も、ご購入後に輸出される場合はアフターサービスに支障を来すこともあります。いずれの場合でも、ご不明な内容につきましては最寄りの弊社営業センタに必ずお問い合わせください。

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4325 3 cnc形状測定機 - 株式会社 ミツトヨ ： 精密測定 … 形状測定機シリー...

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