石英ガラスウェハ - nikon |...
Post on 12-May-2019
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高品質の材料を使用し、高精度・大型サイズ・薄さ 0.4 mm まで対応可能な石英ガラスウェハです。
お客様のご要望に合わせて提供します。
・高品質の合成石英ガラスを使用
・大型サイズも対応可能（～φ300 mm）
・最薄 0.4 mm・高精度の平面度と表面粗さ
石英ガラスウェハ
■仕様例 ■測定例
≦300 μm（稜線部） ≦200 μm（端面部） カケ
直径 ≦10 μm ディグ
線幅 ≦10 μm スクラッチ
≦0.001 μm 表面粗さ (Ra)
≦2 μm
≦10λ(λ=632.8 nm) 平面度 (PV)
± 0.02 mm 厚さ方向
± 0.1 mm 径方向 寸法公差
0.6 mm 厚さ
TTV
200 mm直径 ・φ200 mm・平面度(PV)≦10λ（λ=632.8 nm）
・表面粗さ（Ra） ≦0.001 μm
108-6290 東京都港区港南 2-15-3 品川インターシティ C 棟
Tel：03-6433-3977https://www.nikon.co.jp/glass/Glass.Sales@nikon.com
ガラス事業室
■主な用途
・半導体製造プロセス
・バイオテクノロジー
・MEMS・HTPS（高温ポリシリコン TFT 液晶）
2015.10
詳細仕様はご相談下さい。
本カタログに掲載した製品及び製品の技術（ソフトウェアを含む）は、「外国為替及び外国貿易法」等に定める規制貨物等（技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取り下さい。
ご
意注
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