高品質の材料を使用し、高精度・大型サイズ・薄さ 0.4 mm まで対応可能な石英ガラスウェハです。

お客様のご要望に合わせて提供します。

・高品質の合成石英ガラスを使用

・大型サイズも対応可能（～φ300 mm）

・最薄 0.4 mm・高精度の平面度と表面粗さ

石英ガラスウェハ

■仕様例 ■測定例

≦300 μm（稜線部） ≦200 μm（端面部） カケ

直径 ≦10 μm ディグ

線幅 ≦10 μm スクラッチ

≦0.001 μm 表面粗さ (Ra)

≦2 μm

≦10λ(λ=632.8 nm) 平面度 (PV)

± 0.02 mm 厚さ方向

± 0.1 mm 径方向 寸法公差

0.6 mm 厚さ

TTV

200 mm直径 ・φ200 mm・平面度(PV)≦10λ（λ=632.8 nm）

・表面粗さ（Ra） ≦0.001 μm

108-6290　東京都港区港南 2-15-3　品川インターシティ C 棟

Tel：03-6433-3977https://www.nikon.co.jp/glass/Glass.Sales@nikon.com

ガラス事業室

■主な用途

・半導体製造プロセス

・バイオテクノロジー

・MEMS・HTPS（高温ポリシリコン TFT 液晶）

2015.10

詳細仕様はご相談下さい。

本カタログに掲載した製品及び製品の技術（ソフトウェアを含む）は、「外国為替及び外国貿易法」等に定める規制貨物等（技術を含む）に該当します。輸出する場合には政府許可取得等適正な手続きをお取り下さい。

ご

意注