環保技術新知 (107-08) 107-08-31

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友達光電龍潭廠空氣污染酸排異味控制技術

光電業 TFT-LCD製程中使用酸、鹼液及有機溶劑化學品進行塗布、曝光、

顯影、蝕刻、剝離和洗淨作業，因此排放廢氣種類以酸、鹼排氣及揮發性有機化

合物排氣(VOCs)為主，並且具有低濃度、高風量的特性。蝕刻與薄膜製程會產

生含有有機酸之醋酸及無機酸之硝酸等酸性廢氣，經由共同收集後，統一進入防

制設備處理。而目前光電業之酸排氣普遍使用濕式洗滌塔處理，廢氣與洗滌液於

氣液兩相接觸後，液體將氣體中之溶質吸收移轉至液體，以達到分離的效果。再

利用酸鹼中和原理，於循環水中加入鹼性(NaOH)藥劑，藉由水洗吸附製程產生

之酸性物質，將原酸性排氣中性化且不具腐蝕性後經由排放管道排出。但許多研

究結果及設備經驗顯示，濕式洗滌塔對低濃度(＜3ppmv)之酸性氣體去除效果並

不佳，尤其對醋酸此類嗅味閾值僅 10ppb之酸性物質，仍容易藉由嗅覺被辨識。

故即使已處理至符合當地法令規範之排放標準，部份有機酸或無機酸污染物之嗅

味閾值甚低，進而影響周界環境空氣品質。

友達龍潭廠善盡企業責任，為降低異味對周遭環境空氣品質，重新自我檢視

並積極與污染防制設備專業廠商合作，竭力尋找更佳解決方案與可行控制技術，

最後研擬從源頭分流與先行控制處理兩方面著手。一、源頭分流：友達龍潭廠共

有 12 台中央洗滌塔處理酸性排氣，於製程中產生之酸性廢氣，皆共同收集後再

分散至中央洗滌塔處理。然而，針對濕蝕刻製程產出之酸性空氣污染物，檢測結

果顯示其濃度相對高於其它製程甚多，亦為異味主要來源，若能有效將此高濃度

酸性廢氣專管處理，定能大幅減少污染物之排出。因此廠內近年展開專管收集及

分流之大工程，使高濃度之酸性污染物，可從源頭產生端，藉由專管分流至新增

之洗滌處理設備，提高污染物之去除效率。二、控制處理：有別於其他洗滌塔，

臥式洗滌塔因具有 1.塔高較低，可置於建築室內或高度受限之區域。2.設備功能

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彈性大，可設計為單段或多段式加藥吸收層

合上述考量評估，將專管收集後之高濃度酸性廢氣

圖 1），進行多道鹼洗，

濃度，而後再與其他製程酸氣混合

改善結果顯示，新增濕蝕刻製程專管收集之醋酸

經過臥式洗滌塔之第一洗滌塔後

除效率即達 92%，顯示醋酸

染物濃度；經過第二次洗滌後

塔處理後，醋酸濃度已低於

99.8%（如圖 3），即每年減少

此效益與經驗，廠內陸續斥資新台幣

式洗滌塔，除了大幅提高

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可設計為單段或多段式加藥吸收層。3.去除效率佳且操作維護容易

將專管收集後之高濃度酸性廢氣，經由新增之臥式洗滌塔

，將製程中高濃度酸性氣體先行轉移至洗滌水中去除至低

與其他製程酸氣混合，進入中央洗滌塔處理。

圖 1實際增設臥式洗滌塔照片

新增濕蝕刻製程專管收集之醋酸濃度為 252 ppm

之第一洗滌塔後，醋酸濃度自 252 ppm明顯下降至

顯示醋酸污染物經過第一段洗滌後，已有效減少排氣中醋酸污

經過第二次洗滌後，去除率更提升至 98%，隨後再經過既

醋酸濃度已低於檢測之偵測極限（MDL：0.36 ppm），

每年減少 1.5公噸之醋酸空氣污染物排放至大氣中

陸續斥資新台幣 3仟萬，相繼於中央洗滌塔前

提高醋酸污染物之去除率，亦有效減少廠區醋酸

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去除效率佳且操作維護容易，綜

經由新增之臥式洗滌塔（如

將製程中高濃度酸性氣體先行轉移至洗滌水中去除至低

252 ppm（如圖 2），

下降至 19.5 ppm，去

減少排氣中醋酸污

經過既有中央洗滌

，總去除率高達

排放至大氣中。有鑒於

洗滌塔前增設共 3台臥

減少廠區醋酸污染物之排

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放及異味問題。

於生產製程中排出的污染源，若能於源頭明確進行製程中高濃度污染專管收

集，將高低不同濃度的污染源分流，不僅有效處理高濃度醋酸污染物，減少低嗅

味閾值之醋酸污染物排放至大氣中，對於改善周界環境空氣品質具正面效益，落

實友達龍潭廠積極善盡環境保護之職責。

圖 2 專管收集及新增洗滌塔改善前醋酸濃度

圖 3 專管收集及新增洗滌塔改善後醋酸去除率

參考文獻參考文獻參考文獻參考文獻

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九十六年十二月。