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調質處理・調壓裝置/F.R.L組件

C O N T E N T S

本裝置係以電子方式控制空氣壓

力及流量。

概　要

①高精度、高應答系統

本產品可依不同用途，連續進

行壓力、流量控制。

②因應空壓管路改變

只要利用電腦等，即可以遠端

方式操控空壓管路中各種調壓

閥之壓力設定。此外，氣缸推

力、速度等也能任意控制。

特　色

電空比例閥

產品介紹 542

產品體系表 544

使用範例 546

數位電空比例閥

產品介紹 548

電磁閥方式中流量（EVD-1000） 550 電磁閥方式大流量（EVD-3000） 554

電空比例閥

比例閥方式中流量（EV2000） 574 比例閥方式小流量（EV0000） 579 比例閥方式小型（EVS） 582 比例閥方式真空型（EV2100V） 585 低壓電空比例閥（EVL） 590

薄型電空比例閥

產品介紹 596

省配線連座（MEVT） 598

技術資料 609

連座規格書 618

PALECT介面

EV用比例控制介面（PI） 620

使用注意事項 622

F.R.L組件

空壓輔助裝置

模組化空氣組件

精密裝置

壓力感測器裝置

感測器、控制裝置

主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓

銅離子防止處理

附件

小型

大口徑類型

精密R

壓力計、顯示器

真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓閥

541

hojokiki_P0541-0646.indb 541 2015/9/18 上午 11:39:32

利用比例控制及系統化，支援

FA・FMS。

同時達到更高階電子控制目標。

比例控制技術

電空產品系列

適合高階用途

本技術的特性在於以輸入電壓（電流）等比的

壓力、流量，讓輸入值與輸出值呈直線比例。

藉由此種技術，讓採用ON-OFF控制方式的傳

統空壓裝置，也能連續進行類比控制，讓使用

用途瞬間增加。

電空系統係由負責連接上層控制器（可程式化

控制器）的電空介面、主宰比例控制的調壓

閥、比例閥，以及可當作系統感測器的壓力開

關等元件所組成。使用者可依目的、用途搭配

成各種不同的組合，或是單體本身也能發揮功

用。

本產品除了能任意控制空壓氣缸的速度、推力

及位置外，還能精確地執行空壓管路遠側壓力

設定、FA、FMS所需的各種裝置類連續高精

度可變控制等動作。

比例控制閥輸出輸入比靜態特性圖機械裝置控制概念方塊圖

使用前，請務必詳閱使用注意事項。

電空產品系列

流量比例控制用途

壓力比例控制用途

利用流體、粉體空氣壓力進行流量控制

機器人搬運力量控制

空氣煞車壓力控制

沖壓緩衝控制

平衡器、頂昇壓力控制

紙、布、薄膜等張力控制

各種空氣流量控制利用範例（例薄膜、鋁箔等溫度控制）

氣缸定位控制

氣缸、空壓馬達速度、回轉數控制

研磨機按壓控制

點焊焊槍加壓控制

細微

精密

精緻

配備彈性緩衝

靈活

連續

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

1086輸入電壓（VDC）

420

各種感測器

工作

（各種機構）馬達

電磁線圈

氣缸

驅動元件

馬達驅動器

繼電器

電磁閥

各種反饋訊號

控制裝置

可程式化控制器

微電腦控制器

控制裝置

串列傳輸通訊用PLC

薄型電空比例閥

其他感測器


電空比例閥

壓力開關

輔助裝置比例控制上層控制器與其他系統間

EV用比例控制介面

PALECT介面

設定壓力

（MPa）

PLC

需求領域

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓閥

542

hojokiki_P0541-0547.indd 542 2015/10/16 上午 11:08:03

多種產品，適合各種用途

半導體製造

電空比例閥

纖維產業

紙漿、造紙

搬運、精密

食品加工

化學、粉體

塗布、氣體工業

空氣流量無階段

連續控制

空氣壓力無階段

連續控制

遠距離控制

吹氣控制

電壓控制

加壓控制

EV用比例控制介面

壓力開關

張力控制

提高控制精度

需要憑藉感覺的工作

FMS

FA化

商品群控制領域適用領域

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓閥

543


※1：電空介面（PI系列）、電空壓力控制器（PPS2系列＜請參閱第1152頁＞）僅適用於輸入電壓0 - 10 V之比例裝置之對應（含APC）。

※2：需透過控制器（APC系列）進行控制。（僅適用於輸入電壓0 - 10 V機種。）

電空比例閥產品體系表

控制方式

機種名稱

配線方式連接口徑電源電壓輸入訊號

輸入訊號

壓力控制範圍步驟應答（無負載）

最大流量（ℓ/min（ANR））線性

（％F.S.）應差

（％F.S.）用途

揭載頁面

端子台

D輔助連接器

串列傳輸

FA連接器

DIN端子

M5

Rc1

/4

Rc3

/8

快速

接頭

φ4

快速

接頭

φ6

不要

DC11

〜16

V

DC

24V

AC

100V

AC

200V

0-10

V D

C

0-5

V D

C

4-20

mAD

C

可變

電阻

輸入

平行

型10

bit

−101

.3〜0

kPa

0 〜50

kPa

0 〜10

0 kP

a

0 〜50

0 kP

a

0 〜90

0 kP

a

0 〜60

0 kPa

以上

0.1

s以下

0.2

s以下

0.6

s以下

0.8

s以下

2 s以

下

2 6 100

120

150

400

500

700

800

1500

±0.

3以下

±0.

5以下

±1.

5以下

±2.

5以下

0.4以

下

0.5以

下

1.0以

下

3.0以

下

7以下

氣導壓力控制

張力

壓力

吹氣

吸附工件

電磁閥方式

EVD-1000 配備壓力、錯誤顯示以及直接記憶功

能等多種功能。全新增加10位元平

行式輸入訊號類型。 550



行式輸入訊號類型。流量大於EVD-1000。

554

EV2000 電空比例閥係藉由半導體壓力感測器

及電子控制回路，進行反饋控制，然

後再透過電子訊號，以連續、高精度

方式來控制空氣壓力。

574

EV2100V 真空用電空比例閥係藉由半導體壓力

感測器及電子控制回路，進行反饋控

制，然後再透過電子訊號，以連續、

高精度方式來控制真空壓力。

585

EV0000 空氣壓力比例氣導閥係藉由半導體壓

力感測器及電子控制回路，進行反饋

控制，然後再透過電子訊號，以連

續、高精度方式來控制空氣壓力。

579

EVS 空氣壓力比例氣導閥採用比傳統機型

更小的主體直出式纜線，使用更方

便、更省空間。 582

EVL 低壓、電空比例閥可在0 kPa～50 kPa的比例控制範圍內，以高精度靈

活進行控制。 590

MEVT 薄型電空比例閥具備省配線、薄型外觀

等特性。

採用連座型，讓空間利用效率超越以往

機種。

而且，精度、應答性高於傳統機構。

598E

V

用

比例控制介面

PI 使用介面裝置，連接比例控制閥更輕

鬆。數位8位元、BCD輸入訊號可轉

換為0〜10 V DC類比訊號。控制比例控制閥 620

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓閥

544


電空比例閥產品體系表

…最適用…適用

控制方式

機種名稱

配線方式連接口徑電源電壓輸入訊號

輸入訊號

壓力控制範圍步驟應答（無負載）

最大流量（ℓ/min（ANR））線性

（％F.S.）應差

（％F.S.）用途

揭載頁面

端子台

D輔助連接器

串列傳輸

FA連接器

DIN端子

M5

Rc1

/4

Rc3

/8

快速

接頭

φ4

快速

接頭

φ6

不要

DC11

〜16

V

DC

24V

AC

100V

AC

200V

0-10

V D

C

0-5

V D

C

4-20

mAD

C

可變

電阻

輸入

平行

型10

bit

−101

.3〜0

kPa

0 〜50

kPa

0 〜10

0 kP

a

0 〜50

0 kP

a

0 〜90

0 kP

a

0 〜60

0 kPa

以上

0.1

s以下

0.2

s以下

0.6

s以下

0.8

s以下

2 s以

下

2 6 100

120

150

400

500

700

800

1500

±0.

3以下

±0.

5以下

±1.

5以下

±2.

5以下

0.4以

下

0.5以

下

1.0以

下

3.0以

下

7以下

氣導壓力控制

張力

壓力

吹氣

吸附工件

電磁閥方式



行式輸入訊號類型。 550



行式輸入訊號類型。流量大於EVD-1000。

554

EV2000 電空比例閥係藉由半導體壓力感測器

及電子控制回路，進行反饋控制，然

後再透過電子訊號，以連續、高精度

方式來控制空氣壓力。

574

EV2100V 真空用電空比例閥係藉由半導體壓力

感測器及電子控制回路，進行反饋控

制，然後再透過電子訊號，以連續、

高精度方式來控制真空壓力。

585

EV0000 空氣壓力比例氣導閥係藉由半導體壓

力感測器及電子控制回路，進行反饋

控制，然後再透過電子訊號，以連

續、高精度方式來控制空氣壓力。

579

EVS 空氣壓力比例氣導閥採用比傳統機型

更小的主體直出式纜線，使用更方

便、更省空間。 582

EVL 低壓、電空比例閥可在0 kPa～50 kPa的比例控制範圍內，以高精度靈

活進行控制。 590

MEVT 薄型電空比例閥具備省配線、薄型外觀

等特性。

採用連座型，讓空間利用效率超越以往

機種。

而且，精度、應答性高於傳統機構。

598

EV

用

比例控制介面

PI 使用介面裝置，連接比例控制閥更輕

鬆。數位8位元、BCD輸入訊號可轉

換為0〜10 V DC類比訊號。控制比例控制閥 620

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓閥

545


液體吐出量控制藥液回吸控制微小位置控制

各種流體壓力控制平衡器張力控制研磨力控制

系統基本功能

系統使用範例

空壓比例控制裝置可產生與輸入電壓、電流呈

等比的壓力及流量，因此從特性上來說，輸入

電壓與輸出壓力、流量之間應呈直線比例關

係。所以，只要利用電子訊號就能隨意改變壓

力、流量，再透過電子控制裝置，就能進行無階

段連續控制。架構系統回路時，應利用D/A（數

位→類比）轉換器（電空介面）將上層控制器

所產生的訊號轉換為DC0〜10V等訊號，接著

再透過控制器啟動比例控制閥，如此就能靈活

控制各種驅動元件的推力和速度了。此外，亦

可根據實際需要，利用感測器進行反饋，以達

到高精度控制目標。


壓力開關

PALECT電空比例閥

PALECT介面

上層控制器（PLC）

桶槽

EV2500EVD

CKD自動回吸閥

CKD氣動閥

幫浦

位置計算控制

EV0000系列

EV0000系列

波紋管

EV2500EVDEVL

控制器

馬達

砥石

電磁閥

氣缸

電源

EVD

控制器

EV2500EVD

EV2500EVD

大流量專用調壓閥

噴嘴

空氣幫浦

各種負載

控制器

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓閥

546


電空比例閥使用範例

使用空氣煞車的各種張力控制空氣渦輪旋轉數控制

流體壓送用途固定導線架等組裝晶片零件

檢查洩漏 CMP裝置

系統使用範例

EVDEV2500

空氣煞車

磁帶

EVDEV2500 空氣渦輪

EV2500PPS2

DC24V

EVD

導線架

EVD

晶片

樹脂製品

FSM2 EVLEVD

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓閥

547


D輔助連接器

數位顯示器

操作鍵

流路部分採用無潤滑油規格

連接口徑：Rc1/4流　　量：60、400壓力範圍：100、500、900kPa


連接口徑：Rc1/4、Rc3/8

大流量型

模組型

流　　量：700、1500壓力範圍：100、500、900kPa

數位電空比例閥EVD系列配備壓力及錯誤顯示功能、直接記憶功能等多種全新功能。體積更小、功能更高階、使用便捷。

使用便捷、設置性絕佳搭載數位顯示器，控制狀態一目瞭然

平行輸入型為標準產品系列

採用小型設計，比本公司原有產品體積縮小25%

3位數數位顯示器除了顯示所輸出的壓力值外，

還能顯示錯誤訊息、

輸出狀態（開關輸出ON-OFF）

利用PLC即可直接進行控制

錯誤顯示功能

可在發生錯誤時顯示訊息，並以電子訊號方式告知。

零/跨距調整功能

可依使用習慣，進行零/跨距調整。

直接記憶功能

不需要外部輸入訊號，

只要按下本品操作鍵，即可輕鬆調整二次側壓力。

預設輸入功能

主體最多可記憶8ch壓力，

並利用外部訊號進行切換。

開關輸出功能

設定壓力上下限值後，

即可將此訊號輸出至開關(內置過電流保護功能)。

比例值變更功能（僅限EVD 100）

藉由調高比例值（1段式）及調低比例值（10段式），

即可實現精度更高、更穩定之控制目標

模組型

C1000系列可連接

過濾器、比例閥

採用D輔助連接器，泛用性更高，提供2種連接方向

可由垂直水平旋轉90°，並可依實際使用狀況，

自由選擇朝上取出、兩側連接

輸出顯示 3位數LED顯示器

內置微控制器，功能更高階

因應RoHS指令

有害地球環境的物質一律由本品使用

材料中排除，像是鉛、六價鉻等。

節能

數位電空比例閥產品系列

搭載自動關機功能，

可自動關閉數位顯示器。

類比平行開關輸出

平行輸出


平行輸出

無潤滑油

氟素

潤滑油

系列壓力範圍輸入訊號連接口徑輸出方式最大流量流路部分材質

材料標示

標示主要部材之材質名稱，

讓資源回收時之分類處理更

輕鬆。

環保設計

線性度 +0.3%

應差　　0.5%

應答性　0.2sec

高精度、高應答性壓力控制

凡士林(特注)

體積小‧功能更高階‧採用數位控制。EVD Series

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

548


D輔助連接器

數位顯示器

操作鍵

流路部分採用無潤滑油規格

連接口徑：Rc1/4流　　量：60、400壓力範圍：100、500、900kPa


連接口徑：Rc1/4、Rc3/8

大流量型

模組型

流　　量：700、1500壓力範圍：100、500、900kPa

數位電空比例閥EVD系列配備壓力及錯誤顯示功能、直接記憶功能等多種全新功能。體積更小、功能更高階、使用便捷。

使用便捷、設置性絕佳搭載數位顯示器，控制狀態一目瞭然

平行輸入型為標準產品系列

採用小型設計，比本公司原有產品體積縮小25%

3位數數位顯示器除了顯示所輸出的壓力值外，

還能顯示錯誤訊息、

輸出狀態（開關輸出ON-OFF）

利用PLC即可直接進行控制

錯誤顯示功能

可在發生錯誤時顯示訊息，並以電子訊號方式告知。

零/跨距調整功能

可依使用習慣，進行零/跨距調整。

直接記憶功能

不需要外部輸入訊號，

只要按下本品操作鍵，即可輕鬆調整二次側壓力。

預設輸入功能

主體最多可記憶8ch壓力，

並利用外部訊號進行切換。

開關輸出功能

設定壓力上下限值後，

即可將此訊號輸出至開關(內置過電流保護功能)。

比例值變更功能（僅限EVD 100）

藉由調高比例值（1段式）及調低比例值（10段式），

即可實現精度更高、更穩定之控制目標

模組型

C1000系列可連接

過濾器、比例閥

採用D輔助連接器，泛用性更高，提供2種連接方向

可由垂直水平旋轉90°，並可依實際使用狀況，

自由選擇朝上取出、兩側連接

輸出顯示 3位數LED顯示器

內置微控制器，功能更高階

因應RoHS指令

有害地球環境的物質一律由本品使用

材料中排除，像是鉛、六價鉻等。

節能

數位電空比例閥產品系列

搭載自動關機功能，

可自動關閉數位顯示器。


平行輸出


平行輸出

無潤滑油

氟素

潤滑油

系列壓力範圍輸入訊號連接口徑輸出方式最大流量流路部分材質

材料標示

標示主要部材之材質名稱，

讓資源回收時之分類處理更

輕鬆。

環保設計

線性度 +0.3%

應差　　0.5%

應答性　0.2sec

高精度、高應答性壓力控制

凡士林(特注)

體積小‧功能更高階‧採用數位控制。EVD Series

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

549


JIS 記號


EVD-1000 Series

項目EVD-1100-※08

類比型（※…0/1/2）

EVD-1100-P08平行型

EVD-1500-※08類比型

（※…0/1/2）


EVD-1900-※08類比型

（※…0/1/2）


使用流體潔淨壓縮空氣（相當於ISO 8573-1等級1.3.2或相當於JIS B 8392-1等級1.3.2）

最高使用壓力 160 kPa 700 kPa 1000 kPa

最低使用壓力控制壓力＋50 kPa 控制壓力＋100 kPa

保證耐壓力供應端 240 kPa 1050 kPa 1500 kPa

輸出端 150 kPa 750 kPa 1350 kPa

壓力控制範圍註1 0〜100 kPa 0〜500 kPa 0〜900 kPa

電源電壓 DC24V±10％（漣波小於1%之穩定電源）

消耗電流 0.15 A以下（電源ON時沖擊電流需小於 0.6 A）

輸入訊號（輸入電阻）

0−10 V DC（6.7kΩ）

0−5 V DC（10kΩ）

4−20 mA DC（250Ω）

10 bit

0−10 V DC（6.7kΩ）

0−5 V DC（10kΩ）

4−20 mA DC（250Ω）

10 bit

0−10 V DC（6.7kΩ）

0−5 V DC（10kΩ）

4−20 mA DC（250Ω）

10 bit

預設輸入 8點無 8點無 8點無

輸入訊號註2輸出精度：±6％ F.S.以下、類比輸出：1−5 V DC（連續負載阻抗大於500 kΩ）

開關輸出：NPN 或 PNP 開路集極輸出、電壓小於 30 V、電流小於 50 mA、電壓下降值小於 2.4 V、支援 PLC/ 繼電器

錯誤輸出訊號 NPN 或 PNP 開路集極輸出、電壓小於 30 V、電流小於 50 mA、電壓下降值低於 2.4 V、支援 PLC/ 繼電器

直接記憶設定1〜100 kPa

（最小設定單位為1 kPa/設定分辨率1 kPa）

5〜500 kPa


9〜900 kPa


壓力顯示

標示方法 7段式LED 3位數、顯示精度：±2％ F.S.以下

顯示範圍 0〜100 kPa 0〜500 kPa 0〜900 kPa

顯示分辨率 1 kPa 1 kPa 1 kPa

應差註3 0.5% F.S.以下

線性註3 ±0.3％ F.S.以下

分辨率註3 0.2％ F.S.以下

重複性註3 0.3％ F.S.以下

溫度特性零點變動 0.15％ F.S./以下

跨距變動 0.07％ F.S./以下

最大流量（ANR）註4 60ℓ/min 400ℓ/min

步驟應答註5 無負載 0.2 sec.以下

耐振動性 98 m/s2以下

使用環境溫度 5〜50

適用之流體溫度 5〜50

配管連接口徑 Rc1/4

安裝方向任意

質量（主體） 250ｇ

保護回路電源逆接保護、開關輸出逆接保護、開關輸出負載短路保護

規格

P4

P4

［輸入規格、孔口直徑、輸出規格］［選購品］

［輸入規格、孔口直徑、輸出規格］［選購品］

3

3

EVD1500/1900

EVD3500/3900

對應二次電池裝置規格

50% F.S. → 60% F.S.50% F.S. → 40% F.S.

註1：輸入訊號 0% 時，會出現 1% F.S. 以下的殘壓。（EVD-1100：1 kPa,EVD-1500：5 kPa,EVD-1900：9 kPa）註2：可選擇類比輸出或開關輸出其中任一種。

註3：上述特性係指以電源電壓24±0.1V DC、環境溫度25±3、無負載、使用壓力EVD-1100；最高控制壓力＋50 kPa/EVD-1500、1900；最高控制壓力＋100 kPa，控制壓力 10～90%之特性。

此外，只有當二次側為閉回路時且使用吹氣時，才會產生壓力變化。

註4：上述特性係以最高使用壓力為使用壓力、最高控制壓力為控制壓力條件時之特性。

註5：上述特性係以最高使用壓力為使用壓力，以及步驟量為 50% F.S. → 100% F.S. 條件時之特性。

（型錄No. CC-947）

詳情請洽詢本公司業務單位或代理商。

R

P A

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

550


EVD-1000 Series型號標示方法・內部構造圖

選購品（纜線、托座）單品型號

※如需UL規格型，請洽詢本公司。

EVD-

型號標示方法

內部結構及零件一覽表

編號零件名稱材質

1 護蓋 PBT樹脂

2 D輔助連接器 −3 外殼 ABS樹脂

4 控制器基板 −5 三口閥 −6 閥底座聚苯硫醚樹脂

7 氣導室聚苯硫醚樹脂

8 主體鋁合金壓鑄

9 壓力感測器 −10 膜片特殊丁腈橡膠

11 洩壓墊鋁合金

12 鋼球（排氣閥）不鏽鋼

13 閥特殊丁腈橡膠、不鏽鋼

14 底部橡膠矽橡膠

15 底部盲栓黃銅、無電解鍍鎳

16 O型環氟橡膠

壓力規格a

輸入規格b

孔口直徑c

輸出規格d

選購品e

電源電壓f

選購品e

C1

記號內容

壓力規格

100 100 kPa

500 500 kPa

900 900 kPa

輸入規格

0 0-10 V DC

1 0-5 V DC

2 4-20 mA DC

P 平行型10 bit

孔口直徑

08 Rc1/4

輸出規格

AN 1 - 5 V類比、錯誤（NPN）

AP 1 - 5 V類比、錯誤（PNP）

SN 開關（NPN）、錯誤（NPN）

SP 開關（PNP）、錯誤（PNP）

選購品

纜線選擇品

無記號無

C1 類比9蕊、纜線1 m


P1 平形15蕊、線長1 m


添附托座選擇品

無記號無

B1 B型托座、地面安裝型

L1 L型托座、壁面安裝型

電源電壓

3 DC 24 V

a

b

c

d

e

f

EVD-1 3C1B1AN080500

16

15

14

13

12

11

10

9

8

7

6

5

4

3

2

1

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

551


EVD-1000 Series

外型尺寸圖

附選購品外型尺寸圖

※纜線選購品外型尺寸圖請參閱第559頁之相關說明。

L 型托座（-L1）：壁面安裝型 B 型托座（-B1）：地面安裝型

質量：32g 質量：21g

φ4.2R孔口

（氣導空氣排氣孔口）

2-＃4−4OUNC

8

50

D輔助連接器15 pin・盲栓

2-Rc1/4

4-M3深度6

φ5.3EXH孔口

36

27

18

（10

7）

21

100

42

IN OUT

48.6

10

27

36 51

30.5

4.4

17.5

5

4−全

R

42

42

22

32

7.2

4−全R8−φ3.5

φ22

44

1.6

27

36

27

4.4

4.4

64

56

3036 44

3.5 3.5

1.6

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

552


EVD-1000 Series輸出輸入特性・監控輸出・流量特性・洩壓特性

EVD−1100

EVD−1100

監控輸出（僅限類比輸出型：型號AN/AP）

輸出輸入特性

EVD−1900 EVD−1100 EVD−1500

EVD−1900 EVD−1100 EVD−1500

洩壓特性

流量特性

EVD−1900 EVD−1500

EVD−1900 EVD−1500

流量［ /min（ANR）］流量［ /min（ANR）］流量［ /min（ANR）］

5

4

3

2

1

1008060402000

控制壓力（kPa）控制壓力（kPa）控制壓力（kPa）

5

4

3

2

1

90080070060050040030020010000

5

4

3

2

1

50040030020010000

輸入訊號（％）

700

800

900

400

500

600

300

200

100

1008060402000


500

400

300

200

100

1008060402000

（kPa）（kPa）（kPa）


100

80

60

40

20

1008060402000

控制壓力

控制壓力

控制壓力

（V DC）

類比輸出

（V DC）

類比輸出

（V DC）

類比輸出

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

120100806040200

100

120

80

60

40

20

14060 80 120100402000

使用壓力160 kPa

500

600

400

300

200

100

4003002001000

0

流量［ /min（ANR）］流量［ /min（ANR）］流量［ /min（ANR）］

500

800

600

700

900

1000

400

300

200

100

60050040030020010000

使用壓力1000 kPa使用壓力700 kPa使用壓力160 kPa

500

800

600

700

900

1000

400

300

200

100

60050040030020010000

100

120

80

60

40

20

0

使用壓力700 kPa

6004002000

500

600

400

300

200

100

0

使用壓力1000 kPa

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

553


JIS 記號


EVD-3000 Series

項目

EVD-3100-※08EVD-3100-※10

類比型（※…0/1/2）

EVD-3100-P08EVD-3100-P10

平行型

EVD-3500-※08EVD-3500-※10

類比型（※…0/1/2）

EVD-3500-P08EVD-3500-P10

平行型

EVD-3900-※08EVD-3900-※10

類比型（※…0/1/2）

EVD-3900-P08EVD-3900-P10

平行型

使用流體潔淨壓縮空氣（相當於ISO 8573-1等級1.3.2或相當於JIS B 8392-1等級1.3.2）

最高使用壓力 160 kPa 700 kPa 1000 kPa

最低使用壓力控制壓力＋50 kPa 控制壓力＋100 kPa

保證耐壓力供應端 240 kPa 1050 kPa 1500 kPa

輸出端 150 kPa 750 kPa 1350 kPa

壓力控制範圍註1 0〜100 kPa 0〜500 kPa 0〜900 kPa

電源電壓 DC 24 V±10％（漣波小於1%之穩定電源）

消耗電流 0.15 A以下（電源ON時沖擊電流需小於 0.6 A）


0−10V DC（6.7kΩ）

0−5V DC（10kΩ）

4−20mADC（250Ω）

10bit

0−10V DC（6.7kΩ）

0−5V DC（10kΩ）

4−20mADC（250Ω）

10bit

0−10V DC（6.7kΩ）

0−5V DC（10kΩ）

4−20mADC（250Ω）

10bit

預設輸入 8點無 8點無 8點無

輸入訊號註2輸出精度：±6% F.S.以下、類比輸出：1 - 5 V DC（連續負載電阻大於500 kΩ）

開關輸出：NPN或PNP開路集極輸出、電壓小於30 V、電流小於50 mA、電壓下降值小於2.4 V、支援PLC/繼電器

錯誤輸出訊號 NPN或PNP開路集極輸出、電壓小於30 V、電流小於50 mA、電壓下降值低於2.4 V、支援PLC/繼電器

直接記憶設定1〜100 kPa


5〜500 kPa


9〜900 kPa


壓力顯示

標示方法 7段式LED 3位數、顯示精度：±2% F.S.以下

顯示範圍 0〜100 kPa 0〜500 kPa 0〜900 kPa

顯示分辨率 1 kPa 1 kPa 1 kPa

應差註3 0.5% F.S.以下



重複性註3 0.3％ F.S.以下

溫度特性零點變動 0.15％ F.S./以下

跨距變動 0.07％ F.S./以下


步驟應答註5 無負載 0.2 sec.以下

耐振動性 98 m/s2以下

使用環境溫度 5〜50

適用之流體溫度 5〜50

配管連接口徑IN，OUT孔口孔口直徑選購品 08…Rc1/4、10…Rc3/8

EXH孔口 Rc3/8

安裝方向任意

質量（主體） 450ｇ

保護回路電源逆接保護、開關輸出逆接保護、開關輸出負載短路保護

規格

50% F.S. → 60% F.S.50% F.S. → 40% F.S.

註1：輸入訊號 0% 時，會出現 1% F.S. 以下的殘壓。(EVD-3100：1 kPa，EVD-3500：5 kPa，EVD-3900：9 kPa)註2：可選擇類比輸出或開關輸出其中任一種。

註3：上述特性係指以電源電壓24±0.1V DC、環境溫度25±3、無負載、使用壓力；EVD-3100的最高控制壓力＋50 kPa/EVD-3500，3900；最高控制壓力＋100 kPa，以及控制壓力10〜90%之特性。此外，只有當二次側為閉回路時且使用吹氣時，才會產生壓力變化。

註4：上述特性係以最高使用壓力為使用壓力、最高控制壓力為控制壓力條件時之特性。

註5：上述特性係以最高使用壓力為使用壓力，以及步驟量為 50% F.S. → 100% F.S. 條件時之特性。

R

P A

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

554


EVD-3000 Series型號標示方法・內部構造圖

選購品（纜線、托座）單品型號

型號標示方法


編號零件名稱材質

1 護蓋 PBT樹脂

2 D輔助連接器 −3 外殼 ABS樹脂

4 控制器基板 −5 三口閥 −6 閥底座聚苯硫醚樹脂

7 氣導室聚苯硫醚樹脂

8 活塞主體組件鋁合金壓鑄等

9 主體鋁合金壓鑄

10 壓力感測器 −11 活塞組鋁合金、不鏽鋼等

12 彈簧不鏽鋼

13 上部閥黃銅、特殊丁腈橡膠

14 底部閥黃銅、特殊丁腈橡膠

15 底部護蓋黃銅

16 O型環丁腈橡膠

17 底板鋼板

壓力規格a

輸入規格b

孔口直徑（IN，OUT）c

輸出規格d

選購品e

電源電壓f

選購品e

EVD- C1

※如需UL規格型，請洽詢本公司。

記號內容

壓力規格

100 100 kPa

500 500 kPa

900 900 kPa

輸入規格

0 0-10 V DC

1 0-5 V C

2 4-20 mA DC

P 平行型10 bit

孔口直徑（IN，OUT）08 Rc1/4

10 Rc3/8

輸出規格

AN 1 - 5 V類比、錯誤（NPN）

AP 1 - 5 V類比、錯誤（PNP）

SN 開關（NPN）、錯誤（NPN）

SP 開關（PNP）、錯誤（PNP）

選購品

纜線選擇品

無記號無






無記號無

B3 B型托座、地面安裝型

L3 L型托座、壁面安裝型

電源電壓

3 DC 24 V

a

b

c

d

e

f

C1B3 3AN080EVD-3 500

17

16

15

14

13

12

11

10

9

8

7

6

5

4

3

2

1

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

555


EVD-3000 Series

外型尺寸圖

※纜線選購品外型尺寸圖請參閱第559頁之相關說明。


L 型托座（-L3）：壁面安裝型 B 型托座（-B3）：地面安裝型

質量：51g質量：48g

4−全R

50

8−φ4.5

2.3

22

7

50

36

26

7

38

24

38 24 61.5

36.5

φ32

8−φ4.5

1.6

12

53.2

71

87

38 24

φ32

38

24

5030

6

2-Rc1/42-Rc3/8

消音器〈選購品〉

（型號：SLW-10A）

2-＃4−4OUNC

φ4.2R孔口

（氣導空氣

排氣孔口）

D輔助連接器15插銷・盲栓

2-M4深度12

825 78

（14

0）

25.7

IN

50

38

24

OUT

133

52.4

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

556


EVD-3000 Series輸出輸入特性・監控輸出

EVD-3900 EVD-3100 EVD-3500

監控輸出（僅限類比輸出型：型號AN/AP）

EVD-3900 EVD-3500 EVD-3100

輸出輸入特性


900

400

500

800

700

600

300

200

100

1008060402000


500

400

300

200

100

1008060402000


100

80

60

40

20

1008060402000

控制壓力（kPa）

5

4

3

2

1

1008020 40 6000


5

4

3

2

1

900800700600500400100 200 30000


5

4

3

2

1

500400100 200 30000

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（V DC）

類比輸出

（V DC）

類比輸出

（V DC）

類比輸出

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

557


EVD-3000 Series

EVD-3900-08 EVD-3900-10

EVD-3500-10 EVD-3500-08

EVD-3100-10 EVD-3100-08

流量特性

EVD-3900 EVD-3100 EVD-3500

洩壓特性

流量［ /min（ANR）］流量［ /min（ANR）］

流量［ /min（ANR）］

100

120

80

60

40

20

010008006004002000

（kPa）

控制壓力

使用壓力160 kPa


100

120

80

60

40

20

0800 1200600 10004002000

使用壓力160 kPa

（kPa）

控制壓力

500

600

400

300

200

100

040003000200010000

使用壓力700 kPa


（kPa）

控制壓力

500

600

400

300

200

100

0

（kPa）

控制壓力

40003000200010000

使用壓力700 kPa


500600700800900

1000

400300200100

045004000 500035003000250020001500500 10000


使用壓力780 kPa

500600700800900

1000

400300200100

045004000 500035003000250020001500500 10000

（kPa）

控制壓力

使用壓力780 kPa


100

120

60

40

20

01000800600200 4000

使用壓力160 kPa

500

600

400

200

100

040003000200010000

使用壓力700 kPa

（kPa）

控制壓力 500

600700800900

1000

400300200100

0

使用壓力1000 kPa

45004000 500035003000250020001500500 10000


（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

558


EVD Series纜線選購品外型尺寸圖

EVD-C1、EVD-C3

纜線選購品外型尺寸圖

D輔助插座插銷編號

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 質量g

絕緣體顏色棕色橘色黃色 − 紅色 − − − − 灰色白色 − 綠色藍色黑色

C1：67C3：166

名稱預設輸入訊號

未使用

電源＋

未使用未使用未使用未使用共用

輸入訊號未使用顯示器

輸出

開關

輸出

錯誤

輸出

電源−（0V）

輸入類型位元1 位元2 位元3 ＋24 V DC0-10

V DC

0-5

V DC

4-20

mA DC未使用

輸出

1-5 V DC

NPN或

PNP輸出

NPN或

PNP輸出

註：插銷10共用端子可與預設輸入（No.1〜3）共用。

EVD-P1、EVD-P3

D輔助插座插銷編號

1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15質量

g

絕緣體顏色棕色橘色黃色紫色紅淺藍色桃紅色白色

（標示黑線）

紅色

（標示黑線）灰色白色

綠色

（標示黑線）綠色藍色黑色

P1：82P3：205

名稱平行輸入訊號電源＋平行輸入訊號

共用

平行輸入訊號顯示器

輸出

開關

輸出

錯誤

輸出

電源−（0V）

輸入類型位元1 位元2 位元3 位元4 ＋24 V DC 位元5 位元6 位元7 位元8 位元9 位元10出力

1-5 V DC

NPN或

PNP輸出

NPN或

PNP輸出

註：共用插銷10為平行輸入信號之（1〜4、6〜9，第11和12插銷）共用。

11

28.5

18.9

33.4

10003000

（φ

10）

（φ

6）

100

9-AWG26

※屏蔽線需連接至“電源−”（0V）。

屏蔽線

11

28.5

18.9

33.4

10003000

（φ

10）

（φ

6.5）

100

15-AWG26

※ 屏蔽線需連接至“電源 − ”（0V）。

屏蔽線

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

559


EVD Series

連接器插銷配置圖（產品主體側）

［類比輸入型］

配線方法

EVD-1-0SP--、EVD-1-1SP-、EVD-1-2SP-EVD-3-0SP--、EVD-3-1SP-、EVD-3-2SP-（類比輸入、開關輸出＋錯誤輸出型 PNP輸出）

EVD-1-0SN--、EVD-1-1SN-、EVD-1-2SN-EVD-3-0SN--、EVD-3-1SN-、EVD-3-2SN-（類比輸入、開關輸出＋錯誤輸出型　NPN輸出）

EVD-1-0AP--、EVD-1-1AP-、EVD-1-2AP-EVD-3-0AP--、EVD-3-1AP-、EVD-3-2AP-（類比輸入、類比輸出＋錯誤輸出型 PNP輸出）

EVD-1-0AN--、EVD-1-1AN-、EVD-1-2AN-EVD-3-0AN--、EVD-3-1AN-、EVD-3-2AN-（類比輸入、類比輸出＋錯誤輸出型　NPN輸出）

內部回路及負載連接範例　類比輸入型

16 7 8 9 10

2 3 4 5

11 12 13 14 15

插銷 11（類比輸入）

插銷 5（電源＋）

插銷 2（預設位元 2）


插銷 10（共用）


插銷 15（電源−）

插銷 14（錯誤輸出）

插銷 13（顯示器輸出）

主

回

路

輸出

短路

保護

回路

訊號發生裝置

負載負載

max 50 mA

−

＋主

回

路

輸出

短路

保護

回路

插銷 13（顯示器輸出）









負載負載

max 50 mA

訊號發生裝置 −

＋

主

回

路

輸出短路保護回路

−

＋

負載

負載max 50 mA

max 50 mA

訊號發生裝置









插銷 13（開關輸出）

主

回

路

−

＋

負載負載

訊號發生裝置

max50mA

max50mA插銷 13（開關輸出）










＜類比輸入型＞

未附插銷、、、、、。6 7 8 94 12

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

560


EVD Series技術資料

連接器插銷配置圖（產品主體側）

［平行輸入型］

EVD-1-PSP--EVD-3-PSP--（平行輸入、開關輸出＋錯誤輸出型 PNP輸出）

EVD-1-PSN--EVD-3-PSN--（平行輸入、開關輸出＋錯誤輸出型 NPN輸出）

EVD-1-PAP--EVD-3-PAP--（平行輸入、類比輸出＋錯誤輸出型　NPN輸出）

EVD-1-PAN--EVD-3-PAN--（平行輸入、類比輸出＋錯誤輸出型　NPN輸出）

內部回路及負載連接範例平行輸入型

負載


插銷 12（MSB 位元 10）插銷 11（位元 9）插銷 9（位元 8）插銷 8（位元 7）插銷 7（位元 6）插銷 6（位元 5）插銷 4（位元 4）插銷 3（位元 3）插銷 2（位元 2）插銷 1（LSB 位元 1）



插銷 13（監控輸出）

插銷10（共用）

主

回

路


−

＋

負載

負載 max 50 mA

max 50 mA插銷 15（電源−）






主

回

路


max 50 mA

max 50 mA

−

＋

負載負載







負載負載

max 50 mA

−＋主

回

路

輸出

短路

保護

回路

輸出

短路

保護

回路

主

回

路







負載負載

−

＋

max 50 mA

16 7 8 9 10

2 3 4 5

11 12 13 14 15

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

561


D輔助插座插銷編號 12 11 9 8 7 6 4 3 2 1

纜線選購品絕緣體顏色綠色

（標示黑線）白色

紅色（標示黑線）

白色（標示黑線）

桃紅色淺藍色紫色黃色橘色棕色

輸入類型

位元

10MSB

位元9 位元8 位元7 位元6 位元5 位元4 位元3 位元2位元1LSB

採用2進位

［614（10進位）］1 0 0 1 1 0 0 1 1 0

輸入訊號 ON OFF OFF ON ON OFF OFF ON ON OFF

D輔助插座插銷編號 3 2 1

預設記憶纜線選購品絕緣體顏色黃色橘色棕色

輸入類型位元3 位元2 位元1

輸入訊號

OFF OFF OFF P1

OFF OFF ON P2

OFF ON OFF P3

OFF ON ON P4

ON OFF OFF P5

ON OFF ON P6

ON ON OFF P7

ON ON ON P8

EVD Series

輸入方法

平行型輸入訊號與控制壓力關係平行型的輸入訊號為 10 位元，轉換為 10 進位為 0-1023。輸入訊號＝ EVD 設定壓力（kPa）/ 最高控制壓力×1023 以最高控制壓力來說，EVD-1100 為 100 kPa

EVD-1500 為 500 kPa EVD-1900 為 900 kPa。

例）假設 EVD-1500 的控制壓力設定為 300 kPa，300（kPa）/500（kPa）×1023 ＝ 613.8 → 614

倒算回來，若設定為 614，則設定壓力為、

500（kPa）×614/1023 ≒ 300（kPa）。

若將 614（10 進位）轉換為2 進位，即為1001100110。設定為1，可將輸入訊號ON，設定為0，則可將輸入訊號OFF。（請參閱下表）

預設記憶與輸入訊號關係

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

562


M E M OM E M OF.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

563


EVD Series

功能一覽表

顯示畫面名稱顯示內容（RUN模式時）設定內容（設定模式時）設定方法

壓力

表示

利用 3 位數數字顯示 LED，即可確認二次側壓力。

單位：kPa

F1畫面選擇

輸入訊號

可用來確認所選擇的輸入訊號類型及現在目標值（壓力換算值）。※選擇預設輸入（8點）時，畫面上將顯示目前您所

選擇的預設編號及設定值。

使用類比輸入型時：可選擇類比輸入/預設記憶輸入/直接記憶輸入等其中任一種。若使用預設輸入/直接記憶輸入時，請在本模式下輸入設定值。使用平行型時：可選擇平行輸入/直接記憶輸入等其中任一種。若使用直接記憶輸入，請在本模式下輸入目標值。

P.567

F2畫面零/跨距

調整

可用來確認是否完成零/跨距調整以及相關設定值。若確認結果為「有」，畫面上將交互顯示 F2.on −零點調整值（L）−跨距點調整值（H）等數據。※出廠時，本產品已被設定為實際比例（−−）。

可選擇使用實際比例，或是調整零/跨距值後，再行使用。若選擇零/跨距調整，即可在本模式下任意設定調整值。

P.568

F3畫面自動關機

可用來確認自動關機功能是否能啟動。※出廠時，已被設定為無效（−−）。

可用來選擇自動關機功能有效 / 無效。註）自動關機的時間約為1分鐘，時間無法變更。

P.568

F4畫面開關輸出※

僅適用於開關

輸出規格

可用來確認開關輸出功能有效/無效以及相關設定值。若「模式1有效」，畫面上將交互顯示F4.0−−容許範圍設定值（L）−＋容許範圍設定值（H）等數據。若「模式2有效」，畫面上將交互顯示F4.1−下限設定值（L）−上限設定值（H）。※出廠時，已被設定為無效（−−）。

可用來選擇開關輸出功能有效/無效。啟動後，即可選擇模式1或模式2。。＋/−容許值、上限值/下限值等可依實際需要，自行設定。註）本畫面無法設定應差寬度。

P.568

F5畫面變更

比例值可用來確認比例值是否變更以及相關設定值。若「比例值提高」，畫面上將顯示F5.H。若「比例值降低」，畫面上將交互顯示F5.L−設定值。※出廠時，已被設定為標準值（−−）。

請使用標準值，或是更改比例值後再行使用。只有選擇「比例值降低」時，才能在本模式下設定比例值。（10段設定）

P.569

※僅限EVD-100

顯示・操作部位名稱及功能

輸出顯示（紅色）

3位數數字LED顯示燈（綠色）

鍵

鍵

鍵

確認所設定的功能時，亮燈顯示“Ｆ”。

開關輸出 ON 時亮燈顯示“−”。（僅適用於開關輸出型）※檢測過電流時閃燈。

錯誤輸出 ON 時亮燈顯示“E”。※檢測過電流時閃燈。

欲進入各種設定模式時使用。設定各項數據時，數值時使用。

將亮燈顯示或。

※ 設定功能時，若該功能有＋/−、上下限值時，

RUN 模式（壓力值顯示）時，可顯示壓力值、功能設定內容。※功能設定內容畫面將顯示設定模式編號及設定內容。

各項數據設定時，所顯示之數值等。

錯誤輸出時，畫面上將顯示錯誤碼編號。

可在設定各項數據時，用來選擇數值的位數。

RUN 模式（壓力值顯示）時，將依序顯示各種設定內容。

可在設定各項數據時，用來選擇設定項目。可在設定各項數據時，用來進行計數。

＜錯誤輸出＞＜設定內容顯示＞＜壓力值顯示＞

代碼No.

設定模式編號

設定內容

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

564


EVD Series操作方法

交互顯示輸入訊號型及目標值。

＜數位輸入型＞EVD--P--

＜類比輸入型＞EVD--0--,EVD--1--,EVD--2 --

F1（輸入訊號選擇功能）畫面F1的顯示內容

RUN模式　顯示內容一覽表

輸入訊號型記號內容

類比0 - 10 V DC輸入※

類比0 - 5 V DC輸入※

類比 4 - 20 mA DC輸入 ※

畫面上將顯示預設記憶

輸入所選擇之預設編號。

直接記憶輸入

輸入訊號型記號內容

平行10 bit輸入

直接記憶輸入

※ 本產品將根據［F1・A0］、［F1・A1］、［F1・A2］等型號組合，擇

一顯示。

可用來確認開關輸出功能有效/無效以及相關設定值。

註）使用類比輸出型時本功能將為無效，此時畫面會顯示（- -），代表無法操作。

F4（開關輸出功能）畫面F4的顯示內容（適用機型：EVD--SN,EVD--SP）

可用來確認是否完成零/跨距調整以及相關設定值。

註）若在F1模式下，選擇預設記憶輸入、直接記憶輸入時，本功能將變為無效。

可用來確認自動關機功能有效/無效。

F3（自動關機功能）畫面F3的顯示內容

F2（零/跨距調整功能）畫面F2的顯示內容

〜

操作方法

目標值（壓力換算值）輸入訊號型記號

有效時

無效時

設定值（％）零點調整

設定值（％）跨距點調整

控制壓力

輸入訊號

＜無效時＞

100％0％

0％

100％

輸入訊號

＜有效時＞

100％0％

100％

跨距點（H）設定範圍100〜10％

零點（L）設定範圍0〜50％

有效時

無效時

無效時

模式1

模式2

設定值（％）設定值（％）

設定值（％）設定值（％）下限側上限側

＋容許側−容許側

H（＋容許側）輸入訊號設定值L（−容許側）

H（上限側）

L（下限側）

輸出

＜模式 1 ＞

OFFOFFOFF

ONONON輸出

＜模式 2 ＞

OFFOFFOFF

ONONON

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

565


EVD Series

本功能可用來確認比例值變更功能有效/無效以及相關設定值。

無效時：使用標準值（出廠設定）進行控制。有效時：可用來選擇「比例值提高」或「比例值降低」。只有選擇「比例值降低」時，才能由 10 段設定值當中選擇適用者。

＜比例值降低之成效＞

為配合吹氣需求，或是因為洩漏檢查而導致脈動時，只要降低比例值，即可如下述示意圖所示提高控制穩定度。

＜比例值提高之成效＞

實際效果雖依配管、負載容積的條件而異，不過本功能可提高控制精度。

相對地，也較容易發生振盪不穩的情形，使用時需特別注意。

F5（比例值變更功能）畫面F5的顯示內容

RUN模式　顯示內容一覽表

適用機型：EVD-1100---、EVD-3100---註）EVD-500 / EVD-900型不會顯示本畫面。

控制壓力

控制壓力

比例值提高示意圖標準設定

輸入訊號輸入訊號

昇壓

降壓

比例值提高設定

時間

比例值降低示意圖調整前（標準設定）

控制壓力

控制壓力

時間

調整後（比例值降低設定）

比例值降低（L）時

比例值提高（H）時

無效時

設定值

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

566



如欲變更設定內容，請先解除按鍵鎖定。（請參閱第 570 頁）注意

（CAUTION）

類比型輸入訊號變更選擇方法

註類比型輸入規格無法變更。

進入F1（輸入訊號選擇功能）畫面顯示F1狀態後，請長按SET鍵2秒以上，即可進入F1設定模式。

設定模式設定方法

直接記憶輸入設定模式操作方法

※進入F1畫面的直接記憶輸入模式後，請長按SET鍵2秒以上。

預設記憶輸入設定模式操作方法

※進入F1畫面的預設記憶輸入模式後，請長按SET鍵2秒以上。

平行型輸入訊號變更選擇方法

請離開輸入訊號選擇設定模式，並返回 F1 畫面。

選擇類比輸入時 ※ 出廠原始設定

確定後請離開設定模式，並返回 F1 畫面。

2秒以上

2秒以上

選擇預設記憶輸入時

進入預設記憶輸入設定模式畫面（請參閱以下說明）

2秒以上

2秒以上

進入直接記憶輸入設定模式畫面（請參閱以下說明）

選擇直接記憶輸入時

請離開輸入訊號選擇設定模式，並返回F1畫面。

選擇平行輸入 ※出廠原始設定

確定後請離開設定模式，並返回F1畫面。

2秒以上

2秒以上

選擇直接記憶輸入時

進入直接記憶輸入設定模式畫面（請參閱以下說明）

2秒以上


確定選擇後，即進入下一個編號畫面。

2秒以上2秒以上

輸入目標值。

鍵：移動位數

鍵：計數

2秒以上2秒以上

請離開預設記憶輸入設定模式，並返回F1畫面。

輸入目標值。


鍵：移動位數

鍵：計數

2秒以上

鍵：移動位數

鍵：計數

輸入目標值。

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

567


EVD Series

請離開零 /跨距調整設定模式，並返回F2畫面。

請離開自動關機設定模式，並返回F3畫面。

F3（自動關機功能）畫面顯示F3狀態後，請長按SET鍵2秒以上，即可進入F3設定模式。

※ 進入F1（輸入訊號選擇功能）畫面後，若選擇預設記憶輸入或直接記憶輸入，則無法再使用本功能。本功能僅適用於實際比例。

F2（零/跨距調整功能）畫面顯示F2狀態後，請長按SET鍵2秒以上，即可進入F2設定模式。

請離開關輸出設定模式，並返回 F 4 畫面。

※ 當自動關機功能關閉時，請按任意鍵，即可讓畫面亮燈。※ 自動關機所能設定的時間約為1分鐘。時間無法變更。

F4（開關輸出功能）畫面顯示F4狀態後，請長按SET鍵2秒以上，即可進入F4設定模式。（適用機型：EVD- - SN,EVD- - SP）註：使用類比輸出型時本功能將為無效，此時畫面會顯示（- -），代表無法操作。

設定模式設定方法注意（CAUTION）如欲變更設定內容，請先解除按鍵鎖定。（請參閱第 570 頁）

2秒以上

2秒以上

2秒以上

2秒以上

2秒以上2秒以上 2秒以上

2秒以上

2秒以上

2秒以上

2秒以上2秒以上 2秒以上

2秒以上2秒以上2秒以上

不使用開關輸出時 ※出廠原始設定


欲使用開關輸出模式1時


輸入設定值。輸入設定值。

鍵：移動位數

鍵：計數

鍵：移動位數

鍵：計數

欲使用開關輸出模式2時


輸入設定值。輸入設定值。

鍵：移動位數

鍵：計數

鍵：移動位數

鍵：計數

欲使用自動關機功能時


不使用自動關機功能時 ※出廠原始設定


使用零/跨距值調整時


使用實際比例時 ※出廠原始設定


鍵：移動位數

鍵：計數

輸入設定值。

鍵：移動位數

鍵：計數

輸入設定值。

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

568



※ 使用時如欲降低比例值時，即使當時您正在選擇設定值，裝置仍然會依照畫面上所顯示的設定值來執行動作。一旦決定設定值後，請長按「SET 鍵」2 秒以上，以確定設定內容。

適用機型：EVD-1100---、EVD-3100---註）EVD-500 / EVD-900不會顯示本畫面。

請離開比例值變更設

定模式，並返回F5畫面。

使用時欲降低比例值時




F5（比例值變更功能）畫面顯示F5狀態後，請長按SET鍵2秒以上，即可進入F5設定模式。

設定模式設定方法注意（CAUTION）如欲變更設定內容，請先解除按鍵鎖定。（請參閱第 570 頁）

2秒以上

2秒以上

2秒以上

2秒以上

2秒以上

2秒以上

選擇設定值。

選擇設定值。

鍵：提高設定值

鍵：降低設定值

鍵：提高設定值

鍵：降低設定值

使用時欲提高比例值時


不使用比例值變更功能時 ※出廠原始設定


＋

＋

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

569


EVD Series

本功能可用來防止操作錯誤，如欲變更設定，請先解除按鍵鎖定。

按鍵鎖定解除方法

※ 導入電源後（包含重新導入電源），自動進入按鍵鎖定狀態。

按鍵鎖定功能操作方法

功能設定範圍

按鍵鎖定

F5：比例值變更功能

〜比例值提高時〜

F5：比例值變更功能

〜比例值提高時〜

F2：零/跨距調整功能

F4：開關輸出功能

〜模式2時〜

F4：開關輸出功能

〜模式1時〜

F1：輸入訊號選擇功能

〜直接記憶輸入時〜

F1：輸入訊號選擇功能〜預設記憶輸入時〜

功能設定畫面設定內容設定規格

執行設定值（壓力）設

定。

範圍：註1

100 / 000〜100500 / 000〜500900 / 000〜900最小設定單位：1kPa

執行設定值（壓力）設

定。

範圍：註1

100 / 000〜100500 / 000〜500900 / 000〜900最小設定單位：1kPa

執行零點調整值設定。範圍：00〜50註2

最小設定單位：1％

執行跨距點調整值設定。範圍：100〜010註2

設定最小單位：1％

執行“−”容許值設定。範圍：−00〜−50設定最小單位：−1％

執行“＋”容許值設定。範圍：00〜50設定最小單位：1％

執行下限值設定。範圍：00〜90註2


執行上限值設定。範圍：100〜010註2


無法設定數值。

可設定數值。範圍：01〜10設定最小單位：1

F4：開關輸出功能為開關輸出型專屬功能，不適用於類比輸出型。適用機型：EVD--SN，EVD--SP

F5：比例值變更功能僅適用於壓力範圍100kPa型。適用機型：EVD-1100-

註1：當壓力設定小於1%F.S.時，殘壓將使得裝置無法控制壓力。註2：部分設定值有其設定範圍限制。

同時按壓2秒以上同時按壓2秒以上

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

570



設定為出廠初始模式（初始化）

發生上述任一種錯誤時，錯誤顯示燈會在發生錯誤時同時燈亮。

錯誤代碼

顯示畫面名稱設定表示設定內容

F1畫面

選擇輸入訊號

類比型平行型

A0.A1.A2

類比/平行輸入

F2畫面

零/跨距調整實際比例

（零/跨距調整無效）

畫面F3

自動關機自動關機無效

畫面F4開關輸出

※僅適用於開關輸出

規格

開關輸出無效

畫面F5變更比例值

※僅限EVD-100標準設定

（比例值變更無效）

錯誤顯示原因對策

所供應的電源電壓超過額定規格。檢測電壓需小於DC19.5V。檢出精度±10%

重新導入電源前，請確認主機的電源規格，並供應符合額定規格的電源電壓。

輸入訊號超過額定範圍。檢測時，輸入訊號需大於110%。檢出精度±1%

重新導入電源前，請確認主機的輸入訊號類型，並輸入符合額定範圍的輸入訊號。

EEPROM讀寫時發生錯誤。請聯絡本公司最近的業務單位或代理商洽詢處理事宜。

記憶體發生讀寫錯誤。請聯絡本公司最近的業務單位或代理商洽詢處理事宜。

二次側壓力持續5秒以上無法到達設定值。與設定值的差低於±20% F.S.以上時，

檢測精度將變為±6% F.S.

重新導入電源前，請先確認一次側壓力，並供應符合額定範圍內的壓力。重新導入電源前，請先確認配管、接頭或其他裝置是否發生洩漏，並正確予以連接。倘錯誤持續發生，請聯絡本公司最近業務單位或代理商。

開關輸出端的過電流保護回路啟動。重新導入電源前，請確認負載電流是否超過額定規格，並正確予以連接。

( )

結束

初始化進行中

〈初始化方法〉

同時按壓 3 秒以上

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

571


EVD Series

用語說明

最高使用壓力

在符合所規定的規格條件下一次側壓力最大值。實際壓力值依壓力規格而異。

最低使用壓力

亦即控制實際比例壓力所需之一次側壓力值。實際壓力值依壓力規格而異。

保證耐壓力

對電空比例閥瞬間加壓，也不會造成損壞之壓力值。二次側所能配載的壓力感測器有其耐壓限制，因此必須依供應端及輸出端分別記錄其保證值。

壓力控制範圍

代表符合控制範圍內之壓力，部分產品可能會出現殘壓 ; 使用 EVD 時，當輸入訊號為 0%F.S.，將產生 1%F.S. 以下的殘壓。

註．壓力控制範圍不等同於精度保證範圍，詳情請參閱下述應差及線性等項目之相關說明。

應差（測試回路 1）讓輸入訊號在0%~100%條件下反覆一次所得到之上升曲線、下降

曲線差值（D1）與實際比例（FS）對比後所得到之比率。

（應差）＝D1最大值 / FS控制壓力×100[％]

註．產品不同，精度保證範圍亦各有差異。

EVD 時，保證範圍為 10％〜90％F.S.。

線性（測定回路1）讓輸入訊號在0%F.S~100%F.S 條件下反覆一次所得到之輸入訊號（X1）%F.S. 與（X2）

%F.S. 相交線與基準線差值（D2）和實際比例（FS）對比後所得到之比率。

（線性）＝D2最大值 / FS 控制壓力×100[％ ]

註．產品不同，精度保證範圍亦各有差異。

使用 EVD 時，為 X1=10%F.S.、X2=90%F.S.。

分辨率（測量回路 1）控制壓力發生變化時輸入訊號最小值與實際比例（FS）對比後所得到之比率。讓輸入

訊號在 0%F.S.~15%F.S. 條件下加壓並持續 10 秒以上，接著讓輸入訊號慢慢增加，

當控制壓力再次上升後所產生的輸入訊號與原始訊號之差。當輸入訊號為 50%F.S. 及 85%F.S. 時，也會發生同樣的情形。

重複性（測量回路1）在相同設定值的條件下反覆施壓，控制壓力最大差異值與實際比例（FS）對比後之比率。

根據輸入訊號在 0%F.S. 及 50%F.S. 條件下反覆施壓所產生之控制壓力落差（D3），即可求出本項數值。

（反覆性）＝D3 / FS 之控制力×100[％]

溫度特性

每 1因環境溫度改變所造成之控制壓力變化（基準溫度 25）換算值。

本書已針對零點及實際比例相關細節加以說明。

最大流量（測量回路2）控制壓力在100%F.S.條件下所通過之流量。

洩壓特性（測量回路3）在壓力控制狀態下，從外部對二次側施加背壓時所產生的控制壓力與排氣流量之間的關係。

讓背壓慢慢增加，即可測量出洩壓流量。

步驟應答（測量回路1）當步驟訊號輸入時，控制壓力到達設定壓力所需的時間。

施加輸入訊號後，並測量控制壓力被縮小至設定值±5%F.S.範圍內所需的時間。

(應答時間)＝縮小至最終值±5% 範圍內所需時間

輸入訊號步驟應答時間

0％

105%

95%

設定控制壓力

100％

（中心值 10%F.S. 與 90%F.S. 相交的直線）

應差

D1

線性D2

特性曲線中心值

特性曲線上升時

100%X2X10%

特性曲線下降時

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

572


EVD Series用語說明

（測量回路3）

（測量回路2）

（測量回路1）

本公司專用測試回路

X

Y

壓力檢測器

X-Y 記錄器

訊號發生裝置

P1

外徑φ6（內徑φ4）軟管

外徑φ6（內徑φ4）軟管×1000

樣品

X

Y

壓力檢測器（P2）

X-Y 記錄器

訊號發生裝置

差壓檢測器（流量）

流量計

層流型

節流閥

P2

P1

樣品

EXH

IN

供應端背壓端節流閥

OUT

P2P2'P1

樣品

XY

差壓檢測器（流量）

X-Y 記錄器壓力檢測器訊號發生裝置

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

573


PALECT 電空比例閥（電磁閥方式中流量型）

EV2000 Series以節省裝置空間為最高目標之高精度空壓比例控制閥。

項目 EV2500 EV2509使用流體潔淨壓縮空氣（相當於ISO 8573-1等級1.3.2或相當於JIS B 8392-1等級1.3.2）

最高使用壓力 0.7MPa

最低使用壓力控制壓力＋0.05MPa

保證耐壓力（供給端） 1.05MPa

（輸出端） 0.75MPa

壓力控制範圍 0〜0.49MPa


消費電流 0.1A以下（電源ON時之沖擊電流需為0.6A）

輸入訊號

（輸入電阻）

0−10V DC（20kΩ）

0−5V DC（10kΩ）

4−20mA DC或1−5V DC（250Ω）註110kΩ可變電阻或0−10V DC（20kΩ）

顯示器輸出 1−5V DC（但輸入10kΩ可變電阻時則無）

應差 1％F.S.以下註2

線性 ±0.5％F.S.以下註2

分辨率 0.5％F.S.以下註2

重複性 0.5％F.S.以下註2

溫度特性（零點變動） 0.15％F.S./以下

（跨距變動） 0.07％F.S./以下

最大流量（ANR） 800ℓ/min

步驟應答

註3

（無負載） 0.6s以下

（1ℓ負載） 0.6s以下

耐振動性 98m/S2以下（JIS C60068-2-6）

環境溫度 5〜50

保護結構相當於IP64（主體）、IP67（纜線連接器）註4

連接口徑 Rc 1/4

質量（主體） 300g 320g

防止發塵的構造，可適用於無塵室環境

P70

P70

…………………

…………………

EV2500

EV2509

無塵室規格（型錄No.CB-033S）

註1：使用訊號電壓1-5V DC時，4-20mA的電流將由訊號源流入EV內部。使用前，請仔細確認您所使用

的訊號源規格。

註2：上述特性係指以電源電壓24±0.1V DC、環境溫度25±3、無負載、使用壓力範圍：0.54〜0.7MPa時控制壓力10〜100%之特性。此外，只有當二次側為閉回路且使用吹氣時，才會產生壓力

變化。

註3：使用壓力：最高使用壓力、步驟量： 50％F.S.→100％F.S.50％F.S.→60％F.S.50％F.S.→40％F.S.

註4：IP64級主體保護結構只能垂直安裝於纜線連接器下方。

規格

概要

主要特色

電空比例閥EV2000系列是一款利用半導體壓力

感測器及電子控制回路達到反饋控制目的，並

藉由電子訊號，以連續、高精度方式來控制空

氣壓力之電空比例閥。

小型・輕巧

輕巧、模組化

無洩漏

高洩壓

高精度、高速應答

備有連座型可供選擇

埋入型選購品

備有多種輸入訊號

單觸配線

可監控壓力

相當於IP64級保護結構

集中排氣

JIS 記號

EXH

IN2IN1

OUT

EXH

IN OUT

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

574


EV2000 Series型號標示方法・內部結構及零件一覽表

編號零件名稱材質編號零件名稱材質

1 O型環氟橡膠 8 外殼 ABS樹脂

2 底部閥黃銅、特殊丁腈橡膠 9 三口閥

3 主體鋁合金壓鑄 10 活塞桿不鏽鋼

4 圓盤鋁合金 11 上部閥黃銅、特殊丁腈橡膠

5 膜片特殊丁腈橡膠 12 E型止動環鋼

6 閥底座聚苯硫醚樹脂 13 護板蓋 ABS樹脂

7 壓力感測器（擴散型半導體）

註1：連接口徑大於Rc3/8時，需使用配管轉接器，（請參閱第578頁所述之其他週邊

裝置）但禁止使用B型、C型托座。

註2：僅選購品型號標示方法為EV2000− 選購品記號。

註3：使用EV2509（連座型）時，不得搭配托座選購品B4使用。

連接口徑

控制壓力

選購品

註1註2註3

型號標示方法

5 00 0EV2 C11E2B08 記號內容控制壓力

5 0−0.49MPa

主體型式0 單品

9 連座單體

輸入訊號0 0−10V DC

1 0−5V DC

2 4−20mA DC或1−5V DC

3 10kΩ可變電阻或0−10V DC

連接口徑08 Rc1/4

選購品纜線選購品無記號無

C11 添附1 m

C13 添附3 m

排氣選購品無記號 Rc1/4孔口

E1 附φ8快速接頭

E2 附消音器

托座選購品無記號無

B 附C型托座

B4 附B型托座

d

e

a 主體型式b

輸入訊號c


EV2500 EV2509

a

b

c

d

e

13 13

1212

11 11

10 10

IN2IN1

OUT

OUTIN

9 98 8

7 7

6 6

5 5

4 4

3 3

2 2

1 1

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

575


EV2000 Series

EV2500 EV2509

外型尺寸圖

顯示器輸出

接線方法請參閱第578頁「纜線選購品」相關說明。

選購品尺寸請參閱第577、578頁說明。

輸出輸入特性

輸入訊號 0-10VDC 輸入訊號 0-5VDC 輸入訊號 4-20mADC或1-5VDC 輸入訊號 10kΩ可變電阻或0-10VDC

EV2500・2509

M12，4插銷連接器、盲栓

零、跨距調整窗

OPENPUSH

50

3−Rc1/4

OUTIN

26 26

22.5

EXH

1172

26 26

723222

.59.5 4−Rc1/4

（安裝面板用）

安裝螺帽

IN2IN1 EXH

11

面板切割

10

9.5

M12，4 插銷連接器、盲栓


φ26

φ8（止轉用）

OPENPUSH

50OUT

（VDC）

監控輸出電壓

控制壓力

0.5

0.5 0.5 0.5 0.5

0.4

0.4 0.4 0.4 0.4

0.3

0.3 0.3 0.3 0.3

0.2

0.2 0.2 0.2 0.2

0.1

0.1 0.1 0.1 0.1

4

4 2

2

2 4 6 86 43

3

8 84

4

10 12 16 10205

5

3

2

2 1

1

1

0

0 0 0 0

（MPa）

5

控

制

壓

力

控

制

壓

力

控

制

壓

力

控

制

壓

力

（MPa）（MPa）（MPa）（MPa）



（VDC）（VDC）

（VDC）

（mADC）

（VDC）（kΩ）

EV250※ EV250※ EV250※EV250※

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

576


EV2000 Series流量特性・附選購品外型尺寸圖

流量 ℓ/min（ANR）流量 ℓ/min（ANR）

EV2500 EV2509

流量特性


B 型托座（－B4）：地面安裝型 C 型托座（－B）：壁面安裝型

EV2000系列共用選購品

標準（無記號）專用消音器：※※ -E2

質量：10g


質量：13g

φ 8 快速連接器：※※ -E1

埋入型選購品

托座選購品

0.5 0.5

0.4 0.4

0.3 0.3

0.2 0.2

0.1 0.1

0 0

控

制

壓

力

控

制

壓

力

（MPa）（MPa）

1500 15001000 1000500 500

使用壓力：0.7MPa 使用壓力：0.7MPa

背面圖側視圖背面圖側視圖背面圖側視圖

26 4226 3526 26 Rc 1/4

t2.336

54 40

4-φ68674

41 33

7

543818 t2.3

45

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

577


EV2000 Series

＊插銷

編號

絕緣體

顏色用途

輸入訊號類型質量

g0-10V 0-5V 4-20mA1-5V

10kΩVR（0-10V）

1 紅電源＋ 24V

C11：79C13：212

2 綠 —— 監控輸出1-5V VR輸入端子

3 黑共用 0VVR輸入端

子0V

4 白輸入訊號 0-10V 0-5V4-20mA

1-5VVR輸入端子

（0-10V）

-C1＊屏蔽線・纜線・連接器

若未使用纜線連接器時，請使用下述建議之纜線插座，但纜線必須選擇屏蔽線。

固定螺絲型 ELW1KA4012 Correns（Hirschmann）直型（焊接） XS2C-D421 歐姆龍

L型（焊接） XS2C-D422 歐姆龍

系統組裝範例

A400-8・10・15-W

配管用轉接頭組件

A400-8-W・10-W・15-W-B31W

配管用轉接頭組件

D401-00-8・10・15-W-（B31W）

分配器

A401-8・10・15-W-（B31W）

L型配管轉接頭

纜線選購品

其他週邊裝置


質量：161g　　　216g（B31W）

質量：161g　　　216g（B31W）

45±5

φ6.

8

屏蔽線

4-0.3mm2

30001000

38.5

F3000-W

B310-W

A401-＊-W

B310-W

A400-＊-W

J400-WEV2509

墊圈

回路

連接口

接合器

O 型環

T 型托座

接合器

T 型托座

或 O 型環

墊圈

連接口

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

578


JIS 記號

纜線選購品d

電空比例閥（電磁閥方式小流量型）

EV0000 Series以節省裝置空間為最高目標之高精度空壓比例氣導閥。

註1：使用訊號電壓1-5V DC時，4-20mA的電流將由訊號源流入EV內部。使用前，請仔細確認您所使用的訊號源規格。

註2：上述特性係指以電源電壓24±0.1V DC、環境溫度25±3、無負載、使用壓力範圍：EV0100/110〜200kPa, EV0500/0.54〜0.7MPa時控制壓力10〜100％之特性。此外，只有當二次側為閉回路且使用吹氣時，才會產生壓力變化。

註3：使用壓力：最高使用壓力、步驟量： 50％F.S.→100％F.S.50％F.S.→60％F.S.50％F.S.→40％F.S.


規格項目 EV0100 EV0500使用流體潔淨壓縮空氣（相當於ISO 8573-1等級1.3.2或相當於JIS B 8392-1等級1.3.2）

最高使用壓力 200kPa 0.7MPa

最低使用壓力控制壓力＋最高控制壓力×0.1

保證耐壓力（供給端） 300kPa 1.05MPa

（輸出端） 150kPa 0.75MPa

壓力控制範圍 0〜98kPa 0〜0.49MPa


消費電流 0.1A以下（電源ON時之沖擊電流需為 0.6 A）

輸入訊號

（輸入電阻）

0−10V DC（20kΩ）0−5V DC（10kΩ）

4−20mA DC或1−5V DC（250Ω）註110kΩ可變電阻或0−10V DC （20kΩ）

顯示器輸出 1−5V DC（但輸入10kΩ可變電阻時則無）

應差 1％F.S.以下註2

線性 ±0.5％F.S.以下註2

分辨率 0.5％F.S.以下註2

重複性 0.5％F.S.以下註2

溫度特性零點變動 0.15％F.S./以下

跨距變動 0.07％F.S./以下

最大流量（ANR） 2ℓ/min 6ℓ/min

步驟應答（無負載） 0.2s以下

　　註3 （15cm3負載） 0.5s以下

耐振動性 98m/S2以下（JIS C60068-2-6）

環境溫度 5〜50


連接口徑 M5

質量（主體） 180g


P70………………EV0

無塵室規格

型號標示方法

01EV0 00 C11M5

記號內容

控制壓力1 0−98kPa

5 0−0.49MPa

輸入訊號0 0−10V DC

1 0−5V DC

2 4−20mA DC或1−5V DC

310kΩ可變電阻或0−10V DC

（連接內置10V DC電源）

連接口徑

M5 M5

纜線選購品

無記號無

C11 添附1 m

C13 添附3 m

a

b

c

d

控制壓力a

輸入訊號b

連接口徑c （型錄 No.CB- 033S）

概要

電空比例閥EV0000系列是一款利用半導體壓

力感測器及電子控制回路達到反饋控制目的，

並藉由電子訊號，以連續、高精度方式來控制空

氣壓力之電空比例閥。

主要特色

小型・輕巧

無洩漏



單觸配線

可監控壓力


備有2種配管孔口產品系列

集中排氣

註1：僅選購品型號標示方法為

EV2000− 。選購品記號

R

P A

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

579


EV0000 Series

外型尺寸圖

※P.A.R孔口設有兩側之系統，未使用的孔口

請以包裝中所添附的密封盲栓塞住，R孔

口空氣則需排放至大氣中。

接線方法請參閱第581頁「纜線選購品」相關說明。

顯示器輸出

EV0100 EV0500

輸入訊號 0-10VDC 輸入訊號 0-5VDC 輸入訊號 4-20mADC或1-5VDC 輸入訊號 10kΩ可變電阻或0-10VDC

輸出輸入特性

6-M5

A向視

A

50 38.5

12.5 12.5

7.5

38

50

54.5

11

安裝用螺絲孔4−M3深度6

M12，4 插銷連接器、盲栓


OPENPUSH

控制壓力控制壓力10080604020

5

4

3

2

1

0（kPa）（MPa）

0.50.40.30.20.1

5

4

3

2

1

0

EV0100

EV0500

輸入訊號（VDC）

108642

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0

EV0100

EV0500


54321

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0

EV0100

EV0500

（mADC）

輸入訊號（VDC）54321

20161284

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0

EV0100

EV0500

（kΩ）（VDC）

輸入訊號

108642

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0

監控輸出電壓

（VDC）

監控輸出電壓

（VDC）

控

制

壓

力

（MPa）

控

制

壓

力

（MPa）

控

制

壓

力

（MPa）

控

制

壓

力

（MPa）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

580


EV0000 Series流量特性


若未使用纜線連接器時，請使用下述建議之纜線插座，但纜線必須選擇屏蔽線。



＊插銷編號

絕緣體顏色用途


g0-10V 0-5V 4-20mA1-5V

10kΩVR（0-10V）

1 紅電源＋ 24V

C11：79C13：212

2 綠 —— 監控輸出 1-5V VR 輸入端子

3 黑共用 0V VR 輸入端子0V

4 白輸入訊號 0-10V 0-5V 4-20mA1-5V

VR 輸入端子（0-10V）

纜線選購品

流量特性

EV0100 EV0500

使用壓力：200kPa

流量 /min （ANR）321

100

80

60

40

20

0

使用壓力：0.7MPa

流量 /min （ANR）108642

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0

45±5

φ6.

8

屏蔽線

4-0.3mm 2

10003000

38.5

控

制

壓

力

（kPa）

控

制

壓

力

（MPa）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

581


JIS 記號

電空比例閥（小型電磁閥方式）

EVS Series


P70…………………EVS

①小型化重新修正內部結構，體積比本公司舊型機型（EV0000系列）足足縮小了50%。（纜線取出口除外）

②輕量化體積更小，質量比本公司舊型機型（EV0000系列）足足減輕了20%。

③省空間主體寬度比本公司舊型機型（EV0000系列）足足縮小了40%。就連狹小空間也能設置本產品，並排放置也不占空間，因此能有效協助裝置縮小體積。

④無洩漏採用全提動閥結構及PWM控制方式，因此能解除恆壓排氣的問題，不但節能，更適用於空氣源不足的場所。

⑤高精度、高速應答延續了EV系列高精度、高速應答的優點，可直接在輸入訊號型下更換（未使用監控輸出訊號時）

⑥單觸配線採用主體直接取出纜線連接器，可減少配線所需工時，適合設置於不易配線的場所，維護變得更輕鬆，且纜線連接器使用屏蔽線。

主要特色

電空比例閥EVS系列係藉由半導體壓力感測器及電子控制回路，進行反饋控制，然後再透過電子訊號，以連續、高精度方式來控制空氣壓力。體積比EV0000小，而且採用主體直接取出纜線，因此更好用也更省空間。

概要

50％F.S.→100％F.S.50％F.S.→ 60％F.S.50％F.S.→ 40％F.S.

註1：上述特性係指以電源電壓24±0.1V DC、環境境度25±3、無負載、使用壓力為最高控制壓力x1.1（EVS100：110kPa、EVS500：0.54MPa）〜最高使用壓力條件下，控制壓力為10〜100%時之特性。此外，只有當二次側為閉回路時且使用吹氣時，才會產生壓力變化。

註2：使用壓力：最高使用壓力、控制壓力：最高控制壓力註3：使用壓力：最高使用壓力、步驟量：

規格項目 EVS100 EVS500使用流體潔淨壓縮空氣（相當於ISO 8573-1等級1.3.2或相當於JIS B 8392-1等級1.3.2）最高使用壓力 200kPa 0.7MPa最低使用壓力控制壓力＋最高控制壓力×0.1

保證耐壓力供應端 300kPa 1.05MPa輸出端 150kPa 0.75MPa

壓力控制範圍 0〜98kPa 0〜0.49MPa電源電壓 DC24V±10％（漣波小於1%之穩定電源）消耗電流 0.1A以下（電源ON時之沖擊電流需為 0.6 A）

輸入訊號（輸入電阻）0-10VDC（6.6kΩ）0-5VDC（3.3kΩ）

4-20mA或1-5VDC（250Ω）接線方法屏蔽線纜線連接器或適用之連接器、屏蔽線絕緣電阻 100MΩ（使用DC500V電阻表）以上絕緣耐壓 AC1500V 1分鐘應差註1 1％F.S.以下線性註1 ±0.5％F.S.以下分辨率註1 0.5％F.S.以下重複性註1 0.5％F.S.以下

溫度特性零點變動 0.15％F.S.／以下跨距變動 0.07％F.S.／以下


液體吐出量控制微小位置控制


使用實例

步驟應答註3

無負載 0.2s以下15cm3 負載 0.5s以下

環境溫度 5〜50流體溫度 5〜50潤滑不可安裝方式任意保護結構 IP60（無防水結構）主要尺寸 W30×D50×H50連接口徑 M5質量（主體） 140g

R

P A

波紋管

調壓閥（藥液用）

桶槽

氣導

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

582


EVS Series型號標示方法・外型尺寸圖

記號內容

壓力控制範圍

1 0〜98kPa

5 0〜0.49kPa

控制輸入訊號

0 0〜10V DC

1 0〜5V DC

2 4〜20mA DC或1〜5V DC

（輸入電阻250Ω）

連接口徑

M5 M5

纜線選購品

無記號無

C11 1m（直型)

C13 3m（直型)

a

b

c

d

C11M52001EVS

機種型號

d 纜線選購品

c 連接口徑

a 壓力控制範圍

b 控制輸入訊號

纜線選購品記號

註：僅選購品型號標示方法為

EV2000− 。

選擇型號時的注意事項

外型尺寸圖

型號標示方法

50067

18

7.5

A

輸出孔口

M5深度7

50

P

R

排氣孔口

供氣口

7.5

30

14.517.5

14

M12，4插銷連接器、盲栓

3-M3深度7

2-M5深度7

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

583



若未使用纜線連接器，請使用下述建議之纜線插座，但纜線必須選擇屏蔽線。



＊插銷

編號

絕緣體

顏色用途


g0-10V 0-5V4-20mA

1-5V

1 紅電源＋ 24V

C11：79C13：212

2 綠未使用

3 黑共用 0V

4 白輸入訊號 0-10V 0-5V4-20ｍA

1-5V

EVS Series

輸出輸入特性

輸入訊號　0-10VDC 輸入訊號 0-5VDC 輸入訊號 4-20mADC或1-5VDC

纜線選購品

45±510003000

38.5

φ6.

8

屏蔽線

4-0.3mm2

108

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0

（MPa） 642

EVS100

EVS500

54

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0

（MPa） 321

EVS100

EVS500

5

20

4

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0

（MPa）（mADC）


16

3

12

2

8

1

4

EVS100

EVS500

控制

壓

力

控

制

壓

力

控

制

壓

力

輸入訊號（VDC）輸入訊號（VDC）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

584


JIS 記號

電空比例閥（電磁閥方式真空對應型）

EV2100V Series


P70

P70……………

……………

EV2100V

EV2109V

註1：僅選購品型號標示方法為

EV2000 − 選購品記號。註2：但選購時，無法選擇吸氣選購品的“吸氣塊 1”

和托座選購品的“T 型托座”組合。

註3：使用 EV2109V（連座型）時，無法使用托座

選購品 B4。

C11081V0EV210

小型・輕巧

可連接模組

無洩漏

高洩壓


備有連座型可供選擇


單觸配線

可監控壓力


主要特色

電空比例閥EV2100V係藉由半導體壓力感測器

及電子控制回路，進行反饋控制，然後再透過電

子訊號，以連續、高精度方式來控制真空壓力。

概要

型號標示方法

規格

註1：使用訊號電壓1-5V DC時，4-20mA的電流將由訊號源流入EV內部。使用前，請仔細確認您所使用的訊號源規格。

註2：上述特性係使用壓力範圍-96.0〜-101.3kPa、電源電壓24±0.1V DC、環境境度25±3、無負載、控制壓力為10〜90％之特性，此外，只有當二次側為閉回路且將空氣排放至二次側，才會發生真空壓力降低或改變的情形。

註3：使用壓力：-100kPa、步驟量：

註4：IP64級主體保護結構只能垂直安裝於纜線連接器下方。上述特性係使用壓力未超過範圍的條件下之數值，若使用壓力超過所規定的範圍，請洽詢本公司。

註5：輸入訊號0%時，會產生0〜-5kPa的殘壓。請參閱輸入特性圖（第588頁型號標示方法）之相關說明。

50％F.S.→ 90％F.S.50％F.S.→ 60％F.S.50％F.S.→ 40％F.S.

項目 EV2100V EV2109V使用流體空氣（需使用第629頁所建議之空壓回路）使用壓力範圍 -96kPa〜-101.3kPa

保證耐壓力供應端 196kPa輸出端 196kPa

壓力精度保證範圍註5 -10.1〜-91.2kPa（10〜90％F.S.）電源電壓 DC24V±10％（漣波小於1%之穩定電源）消耗電流 0.1A以下（電源ON時之沖擊電流需為 0.6 A）輸入訊號（輸入電阻）

0-10VDC（20kΩ）

0-5VDC（10kΩ）

4-20mA DC或1-5VDC（250Ω）註1

10kΩ可變電阻或0-10VDC（20kΩ）

顯示器輸出 1-5VDC（但輸入10kΩ可變電阻時則無）應差 1％F.S.以下註2線性 ±0.5％F.S. 註2分辨率 0.5％F.S.以下註2重複性 0.5％F.S.以下註2

溫度特性零點變動 0.15％F.S./以下跨距變動 0.07％F.S./以下

最大流量（ANR） 150ℓ/min 120ℓ/min

記號內容主體形狀

0 單品9 連座單體

輸入訊號0 0-10VDC1 0-5VDC2 4-20mA或1-5VDC

310kΩ可變電阻或0-10VDC（連接內置10V DC電源）

連接口徑08 Rc1/4

選購品纜線選購品無記號無C11 添附1 mC13 添附3 m吸氣選購品無記號吸氣塊1

K1 吸氣塊2托座選購品無記號無

B4 B型托座T T型托座

a

b

c

d

主體形狀a

輸入訊號b

連接口徑c

選購品

註1註3

d選擇型號時的注意事項


步驟應答註3

無負載 0.6sec以下1ℓ負載 2.0sec以下

耐振動性 98m/s2以下（JIS C60068-2-6）環境溫度 5〜50保護結構相當於IP64（主體）、IP67（纜線連接器）註4連接口徑 Rc1/4質量（主體） 300g 320g

EV2100V

VAC

OUT

IN

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

585


EV2100V Series

內部結構圖及零件一覽表

EV2109V EV2100V

編號零件名稱材質編號零件名稱材質1 O型環氟橡膠 8 外殼 ABS樹脂

2 底部閥黃銅、特殊丁腈橡膠 9 三口閥

3 主體鋁合金壓鑄 10 活塞桿不鏽鋼

4 圓盤鋁合金 11 上部閥黃銅、特殊丁腈橡膠

5 膜片特殊丁腈橡膠 12 E型止動環鋼

6 閥底座聚苯硫醚樹脂 13 護板蓋 ABS樹脂

7 壓力感測器擴散型半導體

IN1 IN2

1

2

3

4

5

6

7

8

13

12

11

10

9

1

2

3

4

5

6

7

8

13

12

11

10

9

IN OUT

OUT

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

586


EV2100V Series外型尺寸圖

※詳細內容請參閱第629頁注意事項〈建議空壓回路〉之相關說明。

配管方法

外型尺寸圖

EV2109V

EV2100V

9.5

（面板切割）φ8

（止轉用）

φ26

Rc1/4

Rc1/4（朝下取出）

2-Rc1/4

Rc1/4

2-Rc1/4

9.5

7222

.5

39

5026

10

50


115

M12，4插銷連接器盲栓

49

7222

.5

352650


105.

5M12，4插銷連接器盲栓

PUSH OPEN

IN1 IN2

OUT

VAC

VACOUTIN

真空幫浦

工件

EV210V

VAC

OUT（大氣）IN

49

PUSH OPEN

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

587


EV2100V Series

輸出輸入特性

輸入訊號 0-5VDC 輸入訊號 0-10VDC

輸入訊號 10kΩ可變電阻或0-10VDC 輸入訊號　4-20mADC或1-5VDC

EV2100V

流量特性

EV2109V

EV2100V、EV2109V

顯示器輸出

使用壓力-100kPa

流量 /min（ANR）

2001000

-20

-40

-60

-80

-100使用壓力-100kPa

流量 /min（ANR）

2001000

-20

-40

-60

-80

-100

控制壓力（kPa）-100-90-80-70-60-50-40-30-20-100

0

1

2

3

4

5


1098765432100

0

0

0

-10

-10

-10

-10

-20

-20

-20

-20

-30

-30

-30

-30

-40

-40

-40

-40

-50

-50

-50

-50

-60

-60

-60

-60

-70

-70

-70

-70

-80

-80

-80

-80

-90

-90

-90

-90

-100

-100

-100

-100


543210


輸入訊號（mADC）

5.04.54.03.53.02.52.01.51.00.50

20181614121086420（kΩ）（VDC）

輸入訊號

109876543210

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

控制壓力

（kPa）

監控輸出

（VDC）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

588


埋入型吸氣選購品

托座選購品

纜線選購品

EV2100V Series選購品

背面安裝型：※※-T（T型托座）地面安裝型：※※-B4（B型托座）

-K1 標準（無記號）

選購品

＊插銷

編號

絕緣體

顏色用途


g0-10V 0-5V 4-20mA1-5V

10kΩVR（0-10V）

1 紅電源＋ 24V

C11：79C13：212

2 綠監控輸出1-5V VR輸入端子

3 黑共用 0VVR輸入端子

0V

4 白輸入訊號 0-10V 0-5V4-20mA

1-5VVR輸入端子

（0-10V）


若未使用纜線連接器，請使用下述建議之纜線插座。但纜線必須選擇屏蔽線。



※添附O型環・墊片。

註：T型托座外型尺寸圖請參閱第242頁之相關說明。

質量：24g

質量：165g

質量：50g

質量：135g

Rc 1/4（配管朝下取出）

吸氣塊2吸氣塊1

5026Rc 1/4

3526

t2.336

54 40

4-φ68674

45±510003000

38.5

φ6.

8

屏蔽線

4-0.3mm 2

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

589


JIS 記號

低壓電空比例閥

EVL Series

項目 EVL－1050使用流體潔淨壓縮空氣（相當於ISO1.3.2）

最高使用壓力 160kPa

最低使用壓力 140kPa

保證耐壓力供應端 240kPa

壓力側 100kPa

壓力控制範圍 0〜50kPa


消費電流 0.1A以下（電源ON時之沖擊電流需為 0.6 A）

輸入訊號

（輸入電阻）

0〜10VDC

（20kΩ）

0〜5VDC

（10kΩ）

4〜20mADC或

1〜5VDC（250Ω）

註4

10kΩ 可變電阻或

0〜10VDC

（20kΩ）

顯示器輸出 1±0.1〜5±0.1VDC （但，輸入10kΩ可變電阻訊號時則無）

精度註1

應差 0.5％F.S.以下

線性 ±0.5％F.S.以下

分辨率 0.2％F.S.以下

重複性 0.5％F.S.以下

溫度特性零點變動 0.15％F.S./以下

跨距變動 0.07％F.S./以下

最大流量註2 100ℓ/min（ANR）

步驟應答註3 0.6s以下（無負載時）

耐振動性 98m/s2以下（JIS C0040）

空氣消耗量 4ℓ/min（ANR）

使用溫度範圍 5〜50

安裝方式任意


連接口徑

IN/OUT孔口 Rc1/4

EXH孔口 φ4.3

氣導排氣孔口（R）

排水孔口M3


規格

註1：上述特性係指以電源電壓24.0±0.1VDC、無負載、環境溫度25±3、一次側使用壓力未超過規定範

圍、壓力控制範圍為10〜100%之特性。此外，只有當二次側為閉回路且使用吹氣時，才會產生壓力變

化。

註2：使用壓力：160kPa、控制壓力：50kPa條件時之特性

註3：使用壓力：160kPa、步驟量：50％F.S.→100％F.S. 50％F.S.→60％F.S. 50％F.S.→40％F.S.註4：使用訊號電壓1~5V DC時，420mA的電流將由訊號源流入EV內部。使用前，請仔細確認您所使用的訊

號源規格。


註6：EXH孔口係用來將氣體排放至大氣中。如需配管請選擇排氣選購品「-E1」。

註6

概要

低壓電空比例閥EVL系列是一款體積小、低壓

的電空比例閥，可在過去所無法到達小於

50kPa的低壓條件進行比例控制，以高精度、靈

活的方式進行0kPa以上之控制。

主要特色

低壓型

可在0〜50kPa條件下進行低壓控制。

高精度控制

應差 0.5％F.S.以下

分辨率 0.2％F.S.以下

單觸配線

流路區無潤滑油規格

EXH

OUTIN

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

590


EVL Series型號標示方法

型號標示方法

記號內容

輸入訊號

0 0-10V

1 0-5V

2 4-20mA或1-5VDC

3 10kΩ可變電阻或0-10V

選購品

纜線選擇品

無記號無

C11 添附1 m

C13 添附3 m

排氣選購品

無記號無

E1 註1 附快速接頭φ8


無記號無

B1 註1 地面安裝型

B11 排氣接頭用地面安裝型

L11 壁面安裝型

記號內容C11 纜線 1 m

C13 纜線 3 m

E1 附快速接頭φ8

記號內容B11 排氣接頭用地面安裝型

L11 壁面安裝型

記號內容B1 地面安裝型

a

b

輸入訊號a

選購品b

L11E1C11080EVL 1050

註1：無法同時選擇排氣選購品「E1」及地面安裝型

「B1」。

選購品單品型號 ① 纜線/排氣選購品

② 托座選購品

EV2000 - C11

EVD - B1

EVL - B11


F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

591


EVL Series

內部結構圖及零件一覽表

外型尺寸圖

編號零件名稱材質連接器盲栓

外殼 ABS樹脂

控制器基板

三口閥

壓力感測器

氣導主體鋁合金

流孔不鏽鋼

膜片特殊丁腈橡膠

洩壓墊鋁合金

鋼球（排氣閥）不鏽鋼

O型環氟橡膠

閥底座鋁合金

閥（供氣閥）特殊丁腈橡膠、不鏽鋼

主體鋁合金

盲栓鋼、鍍鎳

底部橡膠矽橡膠

底部盲栓黃銅、無電解鍍鎳

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

16

17

17

16

15

11

10

9

8

7

6

5

14

13

4

1

2

3

12

48.5

排水孔口M3深度3

R孔口、M3深度3

50

42

1894

.5 105.

5

49

27 30

9

4−M3深

度5

27

36

OUTIN


M12，4插銷連接器盲栓

2−Rc1/4

（φ4.3）EXH孔口

R

PUSH OPEN

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

592

hojokiki_P0590-0595.indd 592 2015/9/24 下午 05:04:47

EVL Series附選購品外型尺寸圖


托座地面安置型（−B1）・安置於水平方向（配管方向）

・主體水平向托座背面安置型（−L11）・主體朝正面

・安置於垂直方向（前後方向）

托座排氣接頭用地面安置型（−B11）・安置於水平方向（配管方向）

・安置於垂直方向（前後方向）

GWL4-8或GWL6-8（另售）（配管方向朝上）

排氣選購品「−E1」

26.5壁面

R

快速接頭〈另售〉（型號GWL4-8或 GWL6-8）

快速接頭〈另售〉（型號GWJL3-M3）

PUSH OPENPUSH OPEN

PUSH OPEN

排氣選購品「−E1」

GWJL3-M3

127.

5

116.

5

26壁面

排氣選購品「−E1」排氣選購品「−E1」

「B11」托座「B11」托座

（13

0）OUTINOUTIN

「B1」托座「B1」托座

（11

3）

（11

3）

EXH孔口EXH孔口

OUTINOUTIN

PUSH OPEN

註：將托座安置於水平方向時，必須由出口將排氣軟管拉出。

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

593


EVL Series

・質量：32g

・質量：31g

・質量：13g

・質量：32g

纜線選擇品

・壁面安裝型（−L11）

・排氣接頭用地面安裝型（−B11）

附快速接頭φ8（−E1）


若未使用纜線連接器，請使用下述建議之纜線插座，但纜線必須選擇屏蔽線。



＊插銷

編號

絕緣體

顏色用途


g0-10V 0-5V4-20mA

1-5V

10kΩVR

（0-10V）1 紅電源＋ 24V

C11：79C13：212

2 綠 —— 監控輸出1-5V VR輸入端子

3 黑共用 0VVR輸入端子

0V

4 白輸入訊號 0-10V 0-5V4-20mA

1-5VVR輸入端子

（0-10V）


托座選購品（−B1，−B11，−L11）・地面安置型（−B1）

7.2

8−φ3.5

φ22

44

1.6

27

36

27

4.4

4.4

64

563036 44

2−R816 16

10

25

4.4

4.4

30

1.6

8−φ3.

5

44 2736

27

64

56

36

3.5

3.5

8

19

27

36

1.6

3436

27

3.5

30.5

42

4.4

32

22

42

5

17.5

75

3.5

22

45±5

φ6.

8

屏蔽線

4-0.3mm2

3000100038.5

側視圖正面圖

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

594


洩壓特性流量特性

顯示器輸出輸出輸入特性

EVL Series特性圖使用注意事項

使用注意事項

本產品採用恆壓排氣方式，使用時請勿阻塞排氣孔口。

如需集中排氣，請選擇排氣選購品「−E1」。此外，除了EXH孔口外，請讓排氣孔口、氣導排氣孔口（R）同時

排氣。

此外，此時請勿選擇托座「−B1」。

為了提高使用時之精度，供氣壓力必須維持在140kPa〜160kPa之間。

若施加的輸入訊號超過下表所示之規格範圍，將造成電磁閥過度動作，並造成使用壽命劣化及特性劣化等情形，

因此使用時不得超過所規定之規格範圍。

採用壁面安裝（主體朝正面）時，如要將接頭安裝於排氣孔口氣導排氣孔口時，必須使用GWJL3−M3。

採用壁面安裝（主體朝水平方向）時，壁面側接頭需使用GWL4−8或GWL6−8，且配管方向必須朝上。

如需解決微粒問題，必須於EVL二次側設置過濾器（FCS1000系列等）。

注意

0-10V型 0-5V型 4-20mA型

小於0V大於10Ｖ

小於0V大於5Ｖ

小於4mA大於20mA

流量［ℓ/min（ANR）］流量［ℓ/min（ANR）］

806040200

100

80

60

40

20

0160140120100806040200

60

50

40

30

20

10

0

類比輸出

（VDC）


使用壓力160kPa

50403020100

5

4

3

2

1

0

控制壓力

控制壓力

控制壓力

（kPa）

（kPa）（kPa）

輸入訊號（％F.S.）

100806040200

50

40

30

20

10

0

使用壓力160kPa

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

595


MEVT Series

薄型電空比例閥/連座型

超精度、微小系統再進階。適合PC控制、省配線用途之薄型電空比例閥連座型。最適合半導體領域、精密用途等各種壓力控制、微速氣缸控制等用途。

輸出孔口快速接頭

動作指示器

DIN 導軌可 2 面安裝

串列傳輸

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

596


MEVT Series

超薄14 mm、質量僅80 g高積體化、連座數最高可達24連座。

可建構網路

備有串列傳輸、集中端子台、D 輔助連接器等電裝塊。

以雙色顯示動作狀態

設有雙色動作顯示燈（PAT.PEND），設定壓力時亮綠燈，超過設定範圍及錯誤時亮紅燈。

配管、配線作業更簡便

配管、配線集中於主體正面，不但提高作業性更省空間。

2種安裝方向

除了底面安裝外、亦適合背面安裝。可靈活選擇設置或維護等所需之作業面。

高精度、高應答

利用電子訊號，以高精度、高速應答控制流體壓力。反覆精度0.3% F.S.應答時間0.1 sec（無負載時）※詳細請參照規格表

環保產品

主要零件皆標示材質名稱。回收更輕鬆。

D輔助連接器集中端子台型串列傳輸型

14mm

（PAT.PEND）

其他用途範例

液體精密定量吐出裝置

・IC晶面黏著

・機板錫膏

・基板塗布

・UV接著劑等

CMP研磨裝置

使用範例

ｍでねじ固定して下さい

寄せ、レールに爪掛け確認後

固定時リティナは矢印方向に

１

Ｒ

Ｐ

Ａ

Ａ

Ａ

Ａ

・ｍでねじ固定して下さい


　固定時リティナは矢印方向に

Ａ

Ａ

Ａ

Ｐ

Ｒ

１

MEVT

多連分配器

微膠囊

控制用PC

塗布裝置

背面安裝

底面安裝

輸出孔口

排氣孔口配線連接器

輸入孔口

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

597


項目 EVT100 EVT500使用流體潔淨壓縮空氣（相當於ISO 8573-1等級1.3.2或相當於JIS B 8392-1等級1.3.2）

最高使用壓力 200kPa 0.7MPa

最低使用壓力控制壓力+最高控制壓力×0.1

保證耐壓力供應端 300kPa 1.05MPa

輸出端 150kPa 0.75MPa

壓力控制範圍 0～100kPa 0～0.5MPa


消費電流 0.1A以下


0～10V DC（6.6kΩ）

0～5V DC（3.3kΩ）

4～20mA

顯示器輸出註2 1～5VDC（負載電阻1 kΩ以上）

絕緣電阻 100MΩ（使用DC 500 V電阻表）以上

絕緣耐壓 AC1500V １分鐘

應差註3 0.4%F.S.以下



重複性註3 0.3%F.S.以下

溫度特性零點變動 0.15％ F.S.／以下

跨距變動 0.07％ F.S.／以下


步驟應答註5 無負載 0.1s 以下

15 cm3負載 0.5s 以下

環境溫度 5～50

流體溫度 5～50

動作顯示註6 雙色顯示

潤滑不可

安裝方式任意

使用環境禁止在腐蝕性氣體環境下使用

主要尺寸 W14×D75×H75

連接口徑 φ4、φ6快速接頭（選擇）


註1：上述特性係指以電源電壓為24 V ± 0.1 V DC條件下常溫測量之特性。

註2：監控輸出未提供串列傳輸型。

對應DeVice Net（T9DAR）、對應CC-Link（T9GAR）附有壓力監控數據。（詳情請參閱第613頁串列傳輸分局規格之相關說明。）

註3：所示數值為環境溫度25 ± 3、無負載、使用壓力為最高控制壓力x 1.1（EVT100：110 kPa、EVT500：0.55 MPa）且控制壓力為10～100%之特性。

此外，只有當二次側為閉回路時且使用吹氣，才會產生壓力變化。

註4：所示數值係以最高使用壓力為使用壓力，最高控制壓力作為控制壓力條件時之特性。

註5：所示數值係以最高使用壓力為使用壓力、步驟量條件下之 50％ F.S.→100％ F.S. 條件時之特性。

50％ F.S.→ 60％ F.S. 50％ F.S.→ 40％ F.S.

註6：動作顯示僅為參考基準，並非精度保證值。

薄型電空比例閥省配線連座型

MEVT Series

※1：每個分局的最大連座數為 T9DAR・T9GAR：4連座。

連座規格

（註1）規格

項目電裝・供排氣塊

T11R・T30R T9DAR・T9GAR連座型式閥塊型連座

安裝方法 DIN安裝導型

供氣、排氣方法集中供氣、集中排氣

最大連數 8連 12連 ※1

連接口徑輸出孔口（A） φ4、φ6快速接頭（選擇）

輸入（P）、排氣孔口（R） φ4、φ6快速接頭（選擇）

JIS 記號AP

R

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

598


MEVT Series型號標示方法


無塵室規格

P70…………………MEVT

註1：輸入（P）、排氣（R）孔口口徑，請根據連座規格表所示的電裝、供排氣塊項目來指定。

註2：輸入（P）、輸出（A）孔口已內置過濾器。

C4500 U80 3T11RMEVT

機種型號

※請將本型號填入「連座規格表」（第 619 頁）中。

EVT單品型號

連座型號

型號標示方法

記號內容

壓力控制範圍

100 0～100kPa

500 0～0.5MPa

控制輸入訊號

電裝・供排氣塊

T11R T30R T9DAR T9GAR

0 0～10VDC

1 0～5VDC

2 4～20mA

連接口徑（輸出孔口（A））

C4 φ4快速接頭

C6 φ6快速接頭


T11R 集中端子台型

T30R D輔助連接器

T9DAR 串列傳輸型（DeVice Net 輸入 4 點、輸出 4 點）

T9GAR 串列傳輸型（CC-Link Ver 1.10 輸入 4 點、輸出 4 點）

引線型


T11R T30R T9DAR T9GAR

E2 4P連接器

連數

1 1連

～實際連座數依省配線連接規格而異。

12 12連詳情請確認第618頁連座規格表之相關說明。

DIN導軌安裝方向

U 底面

B 背面

電壓

3 DC24V

500 0 E2C4 3EVTa

b

c

d

e

f

g

h

壓力控制範圍a

控制輸入訊號b

連接口徑註1註2

c

電裝・供排氣塊d

引線類型e

連數f

DIN導軌安裝方向

g

電壓h


（型錄No.CB-033S）

（）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

599


MEVT Series

質量（g）

主要零件一覽表編號閥塊構成零件名稱型號編號閥塊構成零件名稱型號

1 護圈L EVT-HL 5 電裝、供排氣塊 EVT-T※

2 端塊L EVT-EL 6 端塊R EVT-ER

3 EVT EVT※00 7 護圈R EVT-HR

4 配管接頭 EVT-P

閥塊種類質量閥塊種類質量

EVT EVT※00 80

電裝、供排氣塊

T11R 115

端塊EVT-EL 30 T30R 125

EVT-ER 30 T9※R 145

護圈 EVT-H※ 25

配管接頭 EVT-P −

MEVT零件構成說明及零件一覽表

集中端子台型

D 輔助連接器

串列傳輸型

7

7

7

6

5

5

5

4

3

3

3

2

2

2

1

1

1

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

600


MEVT Series內部結構及零件一覽表

主要零件一覽表編號零件名稱材質編號零件名稱材質

1 供氣用電磁閥 7 連接用鉤板聚醯胺樹脂

2 配線護蓋 ABS樹脂 8 排氣用電磁閥

3 閥護蓋 ABS樹脂 9 制御基板

4 顯示鏡頭聚碳酸酯樹脂 10 壓力感測器

5 主體聚醯胺樹脂 11 外殼 ABS樹脂

6 快速接頭


EVT

AP

R

9

10

321

114

5

6

7

8

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

601


MEVT-T1・3・9 Series

外型尺寸圖

MEVT 集中端子台型（T11R）

MEVT D輔助連接器（T30R）

n：EVT連數

L1=(14×n)＋42＋10＋23

L3=L2−12.5

L2=L1＋(40～)

87.9

2.3

131

固定時リティナは矢印方向に寄せレールに爪掛け確認後０.7Nm でねじ固定して下さい

12 77.3

32.8

快速接頭φ4、φ6（選擇）排氣孔口（R）

快速接頭φ4、φ6（選擇）輸出孔口（A）

快速接頭 φ4、φ6（選擇）

輸入孔口（P）

電裝、供排氣塊（D輔助連接器）

EVT端塊L

141410 4220 11.5 11.5

2A2A2AA 22A R

１

3

P

37

756.

5

5.5

35

n：EVT連數

固定時リティナは矢印方向に寄せレールに爪掛け確認後０.7Nm でねじ固定して下さい

快速接頭φ4、φ6（選擇）排氣孔口（R）

快速接頭φ4、φ6（選擇）輸出孔口（A）

2A R

１

3

P

2A2AA 22A

2.3

131

12 77.3

32.8

快速接頭 φ4、φ6（選擇）

輸入孔口（P）

電裝、供排氣塊（集中端子台）

EVT端塊L

37

35 75

5.5

6.5

14

L1=(14×n)＋42＋10＋23

L3=L2−12.5

L2=L1＋(40～)

1410 4220 11.5 11.5

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

602


MEVT-T1・3・9 Series外型尺寸圖

※1：每個分局的最大連座數為T9DAR・T9GAR：4連座。

MEVT 串列傳輸型（T9※）

外型尺寸圖

37

75

快速接頭φ4、φ6（選擇）

輸入孔口（P）

6.5

1414

端塊 R

12

32


排氣孔口（R）

10

2.3

10

電裝、供排氣塊（串列傳輸）77

.3


輸出孔口（A）

EVT

32.8

131

端塊 L

11.5

35

5.5

11.520

L1 ＝（14×n）＋（32×m）＋20＋23

n：EVT 連數、m：通信分局閥塊數量

L3＝L2−12.5

L2＝L1＋（40～）

2A2A2A

1P

R 3A 22A

寄せ、レールに爪掛け確認後固定時リティナは矢印方向に

0.7N・m でねじ固定して下さい

A 23R

P 1

A 2 A 2

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

603



輸出輸入特性

輸入訊號 0-10VDC 輸入訊號 0-5VDC 入力信號 4-20mA

流量特性

EVT100 EVT500

108

0.5

0.4

0.3

0.2

0.1

0

輸入訊號（VDC）輸入訊號（VDC）輸入訊號（mA）

642 54

0.5 0.5

0.4 0.4

0.3 0.3

0.2 0.2

0.1 0.1

0 0321 20161284

流量（ /min）

使用壓力200kPa

3.53.02.52.01.51.000

20

40

60

80

120

100

流量（ /min）

使用壓力0.7MPa

1210864200

0.1

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

（MPa）

控

制

壓

力

（MPa）（MPa）

控

制

壓

力

控

制

壓

力

︵KP

a

︶

控制壓力

︵KP

a

︶

控制壓力

EVT100 EVT100 EVT100

EVT500 EVT500 EVT500

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

604



空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

605



MEVT：閥塊零件構成

EVT單品①安裝時，只要將EVT需要的連座數配置於DIN導軌上即可。

但實際連座數依配線方式而異。（請參閱第609頁。）

②將EVT接頭置於前方，從右至左依序為第1.2.3…連座。

③標示於EVT配線護蓋上的REG-No.係由最近端開始，依每個連接的電裝、供排氣塊分別編上1.2.3…等號碼。


①所有閥塊連接部可依實際需要自由配置。

端塊

①串列傳輸型設置於兩側。

②集中端子台型、D輔助連接器型僅設置於電裝、供排氣塊的反向側。

配管部

配線部

相關裝置

MEVT構成

配

管

塊

電

裝

・供

排

氣

塊

相

關

裝

置

A EVT單品

B 端塊

C 集中端子台型

F 相關裝置

D D輔助連接器 E 串列傳輸型

4P連接器

左側用右側用（串列傳輸用）

（）集中端子台用、D 輔助連接器用DeViceNet 用、CC-Link 用

DIN導軌消音器盲栓

A

2



０．７Nmでねじ固定して下さい


寄せ、レ

ールに爪掛け確認後

０．７

Nm でねじ固定して下さい

固定時リティナは矢印

方向に寄せレールに爪

掛け確認後０. ７N・m

でねじ固定して下さい




でねじ固定して下さい3

1

P

3

1

P

3

1

P

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

606


請固定於連座兩側。

〈護圈〉REEVT

種類設置位置E 集中排氣 L 左側用

R 右側用（串列傳輸用）

設置位置L 左側用

R 右側用

T11R C6EVT

輸入（P）・排氣（R）孔口連接口徑C4 φ4快速接頭

C6 φ6快速接頭

輸入（P）・排氣（R）孔口連接口徑C4 φ4快速接頭

C6 φ6快速接頭

種類輸入（P）、排氣（R）孔口連接口徑T9DAR DeViceNet 輸入 4 點、輸出 4 點 C4 φ4快速接頭

T9GAR CC-Link Ver1.10 輸入 4 點、輸出 4 點 C6 φ6快速接頭

配管部


MEVT-T1・3・9 Series閥塊零件構成

A. EVT 單品

B. 端塊

C. 集中端子台型

E. 串列傳輸型

D.D 輔助連接器

選擇機種時請參閱第 598、599 頁之相關說明。

使用串列傳輸型時（T9※）需設置於連座兩側。

使用端子台型（T11R）、D 輔助連接器型（T30R）時，僅能設置於電裝、供排氣塊的反向側（EVT-EL）。

機種型號 a 種類 b 設置位置

a b aREVT H

機種型號 a 設置位置

機種型號機種型號

機種型號

種類種類輸入（P）、排氣（R）孔口連接口徑a 輸入（P）、排氣（R）孔口連接口徑a

輸入（P）・排氣（R）孔口連接口徑b

a

a b

a

種類a

C6T9DAREVT

T30REVT C6

3

1P

3

1

P

3

1

P




でねじ固定して下さい固定時リティナは矢印






０．７Nm でねじ固定して下さい



０．７Nm でねじ固定して下さい

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

607



型號 D L A 質量gSLW-H6 φ6 41 16 3.9

型號 D L l d 質量gGWP4-B φ4 27 9 6 0.4

GWP6-B φ6 29 11 8 0.8

相關裝置 DIN導軌、消音器、盲栓

DIN導軌

EVT-BAA〈長度〉

※〈長度〉請利用第618頁DIN導軌長度設定表L2選擇適合之長度。

消音器盲栓

5.5

2535

4−R 3

12.5

（間距）

L

87.5

20

23

φD

φA

L

φD

φd

l

L

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

608


端子編號 18 17 16 15 14 13 12 11 10端子排列 COM 顯示器輸出8 顯示器輸出7 顯示器輸出6 顯示器輸出5 顯示器輸出4 顯示器輸出3 顯示器輸出2 顯示器輸出1

端子編號 9 8 7 6 5 4 3 2 1端子排列電源＋輸入訊號8 輸入訊號7 輸入訊號6 輸入訊號5 輸入訊號4 輸入訊號3 輸入訊號2 輸入訊號1

MEVT-T1・3・9 Series技術資料配線注意事項

集中端子台型（T11R）：配線方法配線注意事項

【集中端子台型（T11R）注意事項】

請將配管孔口置於前方，由右至左依序設定EVT連座數。同時進

行通訊或是某些纜線長度可能會造成電壓下降的情形，建議最好

使用4～20mA電流型輸入訊號。

端子台螺絲建議固定轉矩為0.25N・m

T11R配線方式內部接線圖（EVT最大連座數為8連座）

T11R 配線方式端子排列表

※EVT最大連座數為8連座。

〈標準配線〉

1

端子台No.端子排列

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

14

15

16

17

18

987654321

181716151413121110

COM＋監控輸入

COM＋監控輸入

COM＋監控輸入

COM＋監控輸入

COM＋監控輸入

COM＋監控輸入

COM＋監控輸入

COM＋監控輸入

REG No.1

REG No.2

REG No.3

REG No.4

REG No.5

REG No.6

REG No.7

REG No.8

n 連座第2連座第1連座・・・ EVT連座數

端子編號

123456789

101112131415161718

第8連座第7連座第6連座第5連座第4連座第3連座第2連座第1連座

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

609



插銷編號 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13插銷排列輸入訊號1 輸入訊號2 輸入訊號3 輸入訊號4 輸入訊號5 輸入訊號6 輸入訊號7 輸入訊號8 （閒置）電源＋（閒置） COM COM

插銷編號 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25插銷排列顯示器輸出1 顯示器輸出2 顯示器輸出3 顯示器輸出4 顯示器輸出5 顯示器輸出6 顯示器輸出7 顯示器輸出8 （閒置）電源＋（閒置） COM

D輔助連接器（T30R）：配線方法

T30R配線方式連接器插銷排列

※ EVT最大連座數為8連座。

D 輔助連接器型（T30R）

【D 輔助連接器型（T30R）注意事項】

此種連接器適用於T30R配線方式，一般稱之為D輔助連接器，

目前被廣泛運用在FA裝置及OA裝置上。尤其是25P型更是RS-

232C指定連接器，被運用在PC通訊功能上。

EVT 連座數係將配管孔口置於前方，由右至左依序設定。

同時進行通訊或是某些纜線長度可能會造成電壓下降的情形，

建議最好使用 4 ～ 20mA 電流型輸入訊號。

第8連座第7連座第6連座第5連座第4連座第3連座第2連座第1連座

n 連座第2連座第1連座・・・ EVT連坐數REG No.1監控輸入＋COM

REG No.2監控輸入＋COM







連接器插銷No.

13251224112310229218207196185174163152141

13

12

11

10

9

8

7

6

5

4

3

2

1

25

24

23

22

21

20

19

18

17

16

15

14

252423222120191817161514

13121110987654321

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

610


多蕊纜線(UL2464-SB-13P24AWG) 圓形壓接端子

纜線長度

MEVT Series技術資料配線注意事項

D輔助連接器插銷編號 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13

線蕊辨識方法

絕緣體顏色黃色綠色灰色白色黃色綠色灰色白色黃色橘色綠色橘色橘色

標記類型 1點 1點 1點 1點 2點 2點 2點 2點 3點 1點 3點 1點 2點標記顏色黑色黑色黑色黑色黑色黑色黑色黑色黑色紅色黑色黑色黑色

D輔助連接器插銷編號 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25

線蕊辨識方法

絕緣體顏色黃色綠色灰色白色黃色綠色灰色白色黃色橘色橘色橘色

標記類型 1點 1點 1點 1點 2點 2點 2點 2點 3點 2點 3點 3點標記顏色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色黑色

D輔助連接器插銷編號 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13

線蕊辨識方法

絕緣體顏色黃色綠色灰色白色黃色綠色灰色白色黃色橘色綠色橘色橘色

標記類型 1點 1點 1點 1點 2點 2點 2點 2點 3點 1點 3點 1點 2點標記顏色黑色黑色黑色黑色黑色黑色黑色黑色黑色紅色黑色黑色黑色

標記軟管編號 1 2 3 4 5 6 7 8 切斷 10 切斷 12 13

D輔助連接器插銷編號 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25

線蕊辨識方法

絕緣體顏色黃色綠色灰色白色黃色綠色灰色白色黃色橘色橘色橘色

標記類型 1點 1點 1點 1點 2點 2點 2點 2點 3點 2點 3點 3點標記顏色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色紅色黑色

標記軟管編號 14 15 16 17 18 19 20 21 切斷 23 切斷 25

0 10DCABLEEVT

附D輔助連接器纜線型號標示方法

機種名稱

EVT記號0 僅裁切

1 附M3.5螺絲用圓形端子

1 1m3 3m5 5m

使用端連接方式a

纜線長度b

a

b

D輔助連接器插銷編號與線蕊之對應 EVT-CABLE-D00- b

EVT-CABLE-D01- b

1

纜線長度質量 g1m 1913m 4925m 793

HIROSE ElEctric製造（UL）2464−SB−13P24AWG

D輔助連接器HDBB−25S 多蕊纜線

HDB-CTF纜線長度盲栓外殼

HIROSE ElEctric製造


盲栓外殼HDB-CTF


D 輔助連接器HDBB-25S

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

611


MEVT Series

分局（電裝・供排氣塊）型號通訊系統名稱EVT最大連數

使用1台分局時使用2台分局時使用3台分局時T9DAR DeviceNet 4台 8台 12台T9GAR CC-Link 4台 8台 12台

纜線固定螺絲連接器固定螺絲

電源連接器 0.25N・m0.4N・m

通信連接器 0.5N・m

T9DAR

分局輸入頻道編號（壓力設定數據）

0（1） 1（2） 2（3） 3（4）

分局輸入頻道編號（壓力監視器數據）

0（1） 1（2） 2（3） 3（4）

連接器No. （REG No.）（EVT連數）

1 2 3 4

※部分主機的頻道編號可能由“1”開始。

T9GAR

分局輸出頻道編號（壓力設定數據）

1 2 3 4

分局輸出頻道編號（壓力監視器數據）

1 2 3 4

連接器No. （REG No.）（EVT連數）

1 2 3 4

※EVT連座數請參閱下表所述。

【電源線配線方法】分局（電裝、供排氣塊）超過 2 台時，電源線需輸入到第 1 個 MAIN，再輸入到由 SUB 的 MAIN。

1 台分局時（電裝、供排氣塊）需將電源線輸入 MAIN。

串列傳輸型（T9※）：配線方法【串列傳輸型（T9※）注意事項】

分局輸出編號依廠牌而異，內部連接器編號與EVT對照表請參閱下方所示。

請將配管孔口置於前方，由右至左依序設定EVT連座數。

為了讓內部連接器能依照編號順序配線，若電裝、供排氣塊左側的EVT連座數小於連接器總數，

則必須設置閒置的連接器，而且此閒置的連接器不得用於EVT驅動以外用途。

若將保護連接器連接至閒置的連接器恐造成誤動作發生，因此嚴禁任意拔除。

適用電源為DC 24 V專用電源。

本產品使用各通訊系統專用分局。如需瞭解適用之PLC機型、主局型號、通訊系統規格等請洽詢

本公司。（請參閱第613頁）

為確保網路可靠性，通訊纜線需使用各家通訊系統之建議纜線。

附屬連接器需使用固定用螺絲確實固定。（適用之固定轉矩請參閱右表所示）

SUB電源端子為過渡配線專用，單獨配線時只能使用MAIN電源端子。

對SUB電源端子及MAIN電源端子施加電源電壓，恐造成誤動作發生，

因此嚴禁此類配線方式。

MAIN 電源端子及 SUB 電源端子需連接於內部。為避免未使用 SUB 電源端子而造成短路，使用前

請連接附屬連接器。

EVT最大連數

每台連座最高可連接3台分局。

配線方式T9※頻道編號及連接器編號之對應內部連接器編號

※請注意電源極性。

T9DAR・T9GAR：左側24V、右側0V：左側0V、右側24V

※請注意電源極性。

T9DAR・T9GAR：左側 24V、右側 0V：左側 0V、右側 24V

MS

NS

ｎ連座第2連座第1連座・・・ EVT連數

3

4

2

1

3

4

2

1

2

DRH／C

−

34 1

REG No.

REG No.

2 16 321

0 1

4 8

NA

ON

↑

ON

↑

0

88

8

99

9

７７

７

1

1

1

6

6

6 5

5

5 4

4

4

33

3

22

2

24 13

5

0

0

5

STA

TION

No.

0

5

×1

×10

HO

LD EN

D

ONH

/CCLE

AR

B R

AT

E

T9DAR T9GAR

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

612


MEVT Series技術資料配線注意事項

項目 T9DAR T9GAR通訊對象 DeviceNet CC-Link ver1.10

通信速度 125kbps/250kbps/500kbps156kbps/625kbps/2.5Mbps/

5Mbps/10Mbps

電源電壓

DC24V ± 10%

（組件電源･調壓閥電源共用端子）

通訊電源（V+、V-）：DC11～25V

DC24V ± 10%（組件電源･調壓閥電源共用端子）

消耗電流

60mA以下

不含負載電流

通訊電源（V+、V-）：50mA以下

80mA以下

不含負載電流

最大輸出點數

（DA輸出）4點

最大輸入點數

（AD輸入）4點

DA輸出壓力設定數據 12位元

精度 ※4 ±1%F.S.以下

AD輸入壓力監視器數據 12位元

精度 ※5 ±6%F.S.以下

佔用佔用之輸出記憶體：2×n（Byte）※6佔用之輸入記憶體：2×n（Byte）※6

佔用局數：1局（遠端裝置局）

型號廠牌名稱（推動團體）系列名稱通訊系統名稱主局型號

T9DAR

ODVA 對應各社DeviceNet之PLC廠牌、電腦、SBC DeviceNet 連接對應各廠牌之DeviceNet

歐姆龍

SYSMAC CS系列

SYSMAC CJ系列

SYSMAC CV系列

SYSMAC α系列

SYSMAC C200HS系列

其他

DeviceNet

（CompoBus/D）

CS1W-DRM21-V1

CJ1W-DRM21

CVM1-DRM21-V1

C200HW-DRM21-V1

ITNC-EI01-DRM型（內置主機PLC）

3G8B3-DRM21型（VME板）

其他DeviceNet主機

Toyoda PC3J/2J系列

PC3JD

PC2F/PC2FS

DeviceNet

（DLNK）

THK-5398

TIC-5642（內置主機PLC）

TFU-5359

其他對應DeviceNet主機

T9GAR

CLPA 對應各社CC-Link之PLC廠牌、電腦、SBC CC-Link 連接對應各廠牌CC-Link主機

Mitsubishi

MELSEC A系列

MELSEC QnA系列

MELSEC Q系列

其他

CC-Link

AJ61BT11

AJ61QBT11

A1SJ61BT11

A1SJ61QBT11

QJ61BT11

A80BD-J61BT11（PCI Bus用）

其他CC-Link主機

串列傳輸分局規格（適用PLC對照表請參閱下表）

※1 ※2

※3※3

※ 1 如需EDS檔請洽詢本公司。

※ 2 如需規範相關資料請洽詢本公司。

※ 3 為確保輸出精度，請使用漣波小於1%之穩定電源。

※ 4 DA輸出精度不包含EVT精度。

※ 5 AD輸入精度已包含EVT監控精度之值。

※ 6 傳送至PLC的分局佔用記憶體依分局導入電源時所連接的EVT台數（n）而異。（但連接0台時，將佔用相當於4台）

PLC對應表

1

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

613


−

型號 LED顯示配線連接及設定方法

T9DAR

T9GAR

MEVT Series

LED名稱顯示內容NS 顯示網路狀態

MS 顯示分局狀態

LED名稱顯示內容

LERR

傳送錯誤時亮燈，一旦逾

時即熄燈。

局號設定、傳輸速度設定

錯誤時亮燈。

中途變更局號設定或傳輸

速度時閃爍。

LRUN正常接收資料時亮燈，一

旦逾時即熄燈。（再次正常

接收資料後即亮燈。）

RD 接收資料時亮燈

SD 傳送資料時亮燈

POWER 電源ON時亮燈

0：156kbps 3：5Mbps

1：625kbps 4：10Mbps

2：2.5Mbps 5～：不可設定

※已在分局內部將SLD和

FG短路。

HOLD/CLEAR設定

請設定傳輸速度。請設定子局station編號（1位）

請設定子局station編號（10位）

請設定通訊異常時之輸出狀態。

設定終端局本產品通訊線的 DA、DB 之間內置 110 Ω終端電阻。將終端局開關設定ON，即可設定終端局，且不需要連接終端電阻至本產品的連接器。＜注意＞若以本產品為終端局，而且使用 110 Ω以外終端電阻的 CC-Link 專用通訊纜線（CC-Link 專用高性能纜線（Kuramo 製 FANC-SBH）時，依 T 分歧接頭類型不同，終端電阻的連接方法亦各異，因此務必將終端局設定開關OFF。此外，連接本產品連接器當作終端局時，需依照市售產品或是主機所附的終端電阻連接條件（規格）來連接，而且必須為電阻進行絕緣處理。

HOLD・「類比輸出許可訊號」旗標 OFF 時相關頻道輸出將會維持旗標 OFF 前的狀態。・通訊發生異常時，所有頻道輸出將會維持異常發生前的狀態。（但僅限於所設定的

位址）〈注意〉發生某些異常狀態時，可能會出現無法維持先前狀態的情形。

CLEAR・「類比輸出許可訊號」旗標 OFF 時相關頻道輸出會被 OFF。（EVT 輸出數據 0）。・發生通訊異常時，所有頻道的輸出會被 OFF（傳送至 EVT 的輸出數據 0）。（但僅

限於所設定的位址）

輸出至EVT時，所有頻道將同時輸出。如需規範相關資料請洽詢本公司。

本產品附有配線連接器。請注意電源極性（左側：24 V、右側：0 V）。組件電源及調壓閥電源使用共用端子。

LERR

RD

LRUN

POWER

SD

注意事項

設定方法

配線連接方法

HOLD可在通訊發生異常時，維持異常發生前的狀態。（但僅限於所設定的位址）

〈注意〉發生某些異常狀態時，可能會出現無法維持先前狀態的情形。CLEAR

發生通訊異常時，所有頻道的輸出會被 OFF（傳送至 EVT 的輸出數據 0）。（但僅限於所設定的位址）

HOLD/CLEAR設定

輸出至EVT時，所有頻道將同時輸出。如欲瞭解佔用記憶體，請參閱分局規格之相關說明。如需EDS檔，請洽詢本公司。

本產品附有配線連接器。請注意電源極性（左側：24 V、右側：0 V）。組件電源及調壓閥電源使用共用端子。電源連接器（24 V、0 V）和通訊電源（V+、V-）已採取絕緣處理。

MS

NS

注意事項

設定方法

配線連接方法

通信速度 0 1

125kbps OFF OFF

250kbps ON OFF

500kbps OFF ON

不可設定 ON ON請設定通訊異常時之輸出狀態。請設定通訊速度。

SUB(24V 0V)

ＭＡIＮ

1P

R 3

(24V 0V)

V+

CAN_H

Drain

CAN_L

V −（黑）

（藍）

（無）

（白）

（紅）

前一局

V+

CAN_H

Drain

CAN_L

V −

（黑）

（藍）

（無）

（白）

（紅）

（黑）

（藍）

（無）

（白）

（紅）

下一局T分岐攻牙DeviceNet纜線

T分岐方式多點連接方式

DR HOLD

ON

ON

NA

CLEAR0 1

1 2 4 8 16 32

請設定分局位址。

SUB(24V 0V)

MAIN

1P

R 3

(24V 0V)

SLD

FG

DG

DB

DA

CC-Link專用纜線 DA

DB

DG

SLD

FG

DA

DB

DG

SLD

FG DA DB DGSLD FG

（藍）

（白）

（黃）

（裸色）

（藍）

（白）

（黃）

（裸色）

下一局前一局

0 0

0

8 88

9 99

７７７

1 1

1

6 6

6

5 5

5

4 4

4

3 33

2 22

CLEAR

B RATE STATION No.（×1）

STATION No.（×10）

HOLD END

設定終端局

ON

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

614



空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

615


ｍでねじ固定して下さい

・

　０．７Ｎ



集中端子台型（T11R） D 輔助連接器（T30R）串列傳輸型（T9※）

MEVT Series

EVT 連座增減1. 請鬆開護圈上的DIN導軌固定螺絲

2. 請開啟EVT配線護蓋

3. 使用集中端子台型或 D 輔助連接器型時，需滑動端掛鉤 R ，再取出掛鉤，接著鬆開並卸除電裝護蓋螺絲。使用串列傳輸型時，請開啟配線護

蓋。（使用集中端子台型時，請確認配線護蓋沒有被端子台卡住。）

A

B

DC

E

MEVT分解圖

護圈 L

端塊 L

EVT

配管接頭


端塊 R

護圈R

2A

2

1G

2

1

POW

COM

MAIN

SUB

P

R

1

DIN導軌固定螺絲

DIN導軌

滑動端掛鉤

滑動端掛鉤

端子台

DIN 導軌固定螺絲 DIN 導軌

固定螺絲


電裝護蓋電裝護蓋

護圈護圈

護圈






でねじ固定して下さい掛け確認後 0.7 N・m

掛け確認後0 . 7N・m

配線護蓋

配線護蓋配線護蓋

配線護蓋配線護蓋

D

BB

B

AA

A

D

A

3

1

P2

A

2A

A

3

1

P2

A

2A

SUB

MAIN

2

3

1P

A

A2

A

FG

L2

L2

L1

L1

０.７Ｎ・ｍでねじ固定して下さい



TE

HN 1

3216842

-

ADD

→ＯＮ→ＯＮ

87

56 4

3

12

-

RＥＧ No.

端掛鉤 R E 端掛鉤 R E

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

616


Ａ

Ａ

ＡＡ



０．７Ｎｍでねじ固定して下さい

ＡＡ

Ａ

－

－



０７Ｎｍでねじ固定して下さい

Ａ

－

－



０７Ｎｍでねじ固定して下さい

ＡＡ

Ａ

SUB

P

R2

2

2

1

MAIN

1

2

G

1

2

B

ＲＥＧ　Ｎｏ．

４５

３→ＯＮ

８

→ＯＮ

７１

ＴＥ

２

ＮＨ

ＡＤＤ

６

ＦＧ

ＳＵＢ

Ｌ２

Ｌ１

Ｌ１

Ｌ２

ＡＡ

1248

1632

MAIN

P

R 3222

1

-

-

ADD

HTE

ON

ON

No.

REG

43

21

56

78

N

12481632

SUB

P

R2

2

2

1

MAIN

1

2

G

1

2

ADD

HTE

ON

ON

No.

REG

43

21

56

78

N

12481632

8. 請將連接掛鉤彈簧及連接掛鉤板關閉後再連接在一起，且壓入時端塊間不得出現任何間隙。

9. 請將欲增設的EVT訊號線插入電裝、供排氣塊內部連接器。

10. 使用串列傳輸型時，需關閉配線護蓋。使用集中端子台型或D輔助連接器型時，請先將電裝護蓋組入，並用

螺絲固定，接著再將端掛鉤RE 恢復原狀。

（固定轉矩：0.35 ～ 0.5 N・m）

11. 關閉配線護蓋B 時，請注意訊號線的咬合。

12. ①請將護圈的爪鉤入DIN導軌中，

②壓入時，需避免閥塊間出現縫隙，

③將護圈朝箭頭方向壓入，

④固定DIN導軌固定螺絲。

（建議之固定轉矩：0.6 ～ 0.8 N・m）

6. 請將配管接頭（2個）插入分離部之輸入（P）、排氣（R）孔口。

（註：分離部配管接頭H 位於兩側各 2 個，總共 4 個突出主體。）

MEVT Series技術資料省配線連座增設方法

F G

H

GF

A

C

H

4. 欲增加連座時，請將連接的掛鉤彈簧及連接掛鉤板卸下，以解除端塊間的連結。

5. 請將欲增連部之閥塊分離。

7. 將欲增設的EVT安裝於DIN導軌上。

2

配線護蓋

配線護蓋


護圈

4. 5.

G

F

C

B

配管接頭

端塊不動

增設的EVT

H

1

2

鉤住前面的爪

確實鉤住外鉤

④

②

③

鎖緊DIN導軌固定螺絲

壓入時需避免出現間隙。

將護圈朝箭頭方向壓入

請將護圈的爪鉤住DIN導軌中

①

A

2

2

R

1P

2

2

SUB

POW

COM

MAIN

G

2

2

1

1

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

617


DIN導軌L2＝

添附

配件

盲栓消音器GWP4-B GWP6-B SLW-H6

品名型號配置位置

數量1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31EVT EVT - 12

EVT -EVT -EVT -EVT -

電裝、供排氣塊 EVT-T R- 3端塊 EVT-EL（左側用） 1

EVT-ER（右側用） 1

500 0 C4

9DA C4

MEVT Series


3U120 T9DAR500 C4 連座型號（例）

電壓DIN安裝導軌方向

連數連接口徑控制輸入訊號

機種型號

＊2.串列傳輸型之複數組合

串列傳輸型可同時設置多台於同一個DIN導軌上。

（最大連座數：T9DAR・T9GAR 為 12 連座）

串列傳輸分局必須和EVT或端塊相鄰。

組合方式請參閱連座規格表之相關說明。

例）EVT：12 連座、電裝、供排氣組件 T9DAR：4 個×3 時

閥塊寬度（mm）

A EVT 14

B電裝、

供排氣塊

T11R 42T30R 42T9※ 32

C 端塊 10D 護圈 11.5

註1：當L1超過本表所示數值時，請利用“DIN導軌長度計算方法”計算。

DIN導軌長度設定表

L1

：連座長度 97.5

以下

超過97.5

～

110以下

110

～

122.5

122.5

～

135

135

～

147.5

147.5

～

160

160

～

172.5

172.5

～

185

185

～

197.5

197.5

～

210

210

～

222.5

222.5

～

235

235

～

247.5

247.5

～

260

260

～

272.5

272.5

～

285

285

～

297.5

297.5

～

310

310

～

322.5

322.5

～

335

335

～

347.5

347.5

～

360

360

～

372.5

372.5

～

385

385

～

397.5

397.5

～

410

410

～

422.5

422.5

～

435

435

～

477.5

L2

：導軌

長度 137.5 150 162.5 175 187.5 200 212.5 225 237.5 250 262.5 275 287.5 300 312.5 325 337.5 350 362.5 375 387.5 400 412.5 425 437.5 450 462.5 475 487.5

間距

L3

125 137.5 150 162.5 175 187.5 200 212.5 225 237.5 250 262.5 275 287.5 300 312.5 325 337.5 350 362.5 375 387.5 400 412.5 425 437.5 450 462.5 475

MEVT 連座規格書（Ver. 2）編製方法

MEVT ーーーーーd壓力控制

範圍

a cb E f g

＊1.DIN導軌長度（L2）

①請依照下述計算方法來計算DIN導軌長度。

計算結果為標準長度。

②如為標準長度，則不需要將長度（L2）填入規格表中。

如非標準長度，則必須將長度填入。

長度請由下方DIN導軌長度設定表L2中選擇。

DIN導軌長度計算方法

連座長度（L1）＝（A×n）＋（B×m）＋（C×l）＋ D ×2

DIN 導軌長度（L2）＝L2’×12.5

電裝・供排氣塊端塊護圈EVT

＜填寫方法＞

・請將配管孔口置於前方，由左至右依序設定配置位置。

・請依照閥塊零件構成表（第606～608頁）來選擇型

號。

・上表配置位置所示之1～31為方便性數字，標示於

EVT配線護蓋上的REG-No.係由最近端開始，依每

個連接的電裝、供排氣塊分別編上1.2.3…等號碼。

n、m、l分別代表閥塊使用數量。

n：EVT m：電裝、供排氣塊 l：端塊

A、B、C、D 分別代表各閥塊長度（寬度）。L2’：

L1 ＋ 4012.5

→小數點無條件進位

DIN導軌安裝間距（L3）＝L2ー12.5

4連4連4連

REG-No.

1 1 12 2 23 3 34 4 4

MAIN MAINMAIN SUB SUBSUB(0V 24V) (0V 24V)(0V 24V) (0V 24V)(0V 24V) (0V 24V)

2Ａ 2ＡＡ 22Ａ

1P

R 3 ＦＧ

Ｌ２

Ｌ１

Ｌ１

Ｌ２

2Ａ 2ＡＡ 22Ａ

1P

R 3 ＦＧ

Ｌ２

Ｌ１

Ｌ１

Ｌ２

2Ａ 2ＡＡ 22Ａ

1P

R 3 ＦＧ

Ｌ２

Ｌ１

Ｌ１

Ｌ２

L3（＝ L2−12.5）

L2

12.5

5.5

2.25 8

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

618


品名型號配置位置

數量1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31EVT EVT - 12

EVT -EVT -EVT -EVT -

電裝、供排氣塊 EVT-T R- 3端塊 EVT-EL（左側用） 1

EVT-ER（右側用） 1

MEVT Series連座規格書

・配置位置係將配管孔口置於前方，由左至右依序設定。・標示於EVT配線護蓋上的REG-No.係由最近端開始，依每個連接的電裝、供排氣塊分別編上1.2.3…等號碼。・電裝、供排氣塊需設置於EVT的右側。串列傳輸型亦可設置於左側，如需瞭解相關訊息請洽詢本公司。

連座型號

MEVT 連座規格書（Ver.2）

MEVT ーーーーー電裝、供排氣塊

電壓DIN安裝導軌方向

連數連接口徑控制輸入訊號

機種型號 d壓力控制範圍

a cb E f g

品名型號

配置位置

數量1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31

EVT EVT -

EVT -

EVT -

EVT -

EVT -

電裝、供排氣塊 EVT-T R-

端塊 EVT-EL（左側用）

EVT-ER（右側用）

DIN導軌L2＝

添附

配件

盲栓消音器

GWP4-B GWP6-B SLW-H6

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

619


EV 用比例控制介面

PI Series使用介面裝置，連接比例控制閥更輕鬆。對應數位8位元、BCD、類比訊號。

註1：電空比例閥（EV系列）動作時

規格

項目類比輸入數位輸入

PI-EV-D0 PI-EV-D1 PI-EV-D2 PI-EV-D3 PI-EV-D4

輸入規格

設定輸入範圍 DC0〜10V DC0〜5V DC4〜20mA ― ―輸入電阻 1MΩ 250Ω ― ―輸入點數 ― ― ― 8點 BCD2位數

輸入方式 ― ― ― 無電壓接點或開路集極輸入

絕緣方式非絕緣光耦合器

輸入顯示無 LED

規格

輸出

輸出電壓 DC0〜10V

保護回路輸出短路保護（50 mA截止）

手動規格

手動設定方法外部速度設定器（2 kΩ以上）

切換方法指撥開關（附遙控切換端子）

手動顯示藉由LED（AUTO）之熄燈來顯示

綜合精度 ±1.5％F.S.

電源電壓額定 ± 10％

消耗功率10 W以下

註1

外部輸出電壓 DC 24 V

使用溫度 0〜50

使用濕度 0〜85％R.H.

保存溫度 −10〜65

質量 0.7kg

D3EVPI 1

電源電壓

型號標示方法

記號內容

外部輸出電源

EV DC 24V（）輸入訊號

D0 電壓DC 0 ~ 10 V

D1 電壓DC 0 ~ 5 V

D2 電流DC 4 ~ 20 mA

D3 數位8 Bit

D4 數位BCD

電源電壓

1 AC 100 V

2 AC 200 V

概要

本商品是連結 PARECT系列（比例控制閥）與上

位控制器之介面。因此不需專用控制器，藉由

泛用可程式化控制器能隨意控制電氣訊號，且

手動操作僅安裝外部速度設定器就能操作。

主要特色

全機種

由於內置電源，因此能直接連接於 AC 100 V、200 V。・藉由手動端子、遙控開關端子能進行遙控手

動操作。

數位輸入型

・由於是無電壓接點輸入，因此能使用負載用

無電源。

・採用光耦合器輸入絕緣保護。

・採用LED之輸入顯示。

數位輸入型之連接範例

a

b

c

a 外部輸出電源

b 輸入訊號

c

接點輸出

電晶體輸出

註）電晶體源輸出無法使用。

註）外部電源請使用 DC 12 V 以上。

註）COM 端子請連接外部電源 0 V。

電空比例閥

EV系列專用電源

上層控制器 PALECT介面

內部回路

輸入回路電源（DC10 V）

87

COMCOM

10

〜〜

突波消除器內

部回路

RA

RA

上層控制器 PALECT介面

外部電源

輸入回路電源（DC10 V）

內部回路

內部回路

8

1

7

0

〜〜

COM

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

620


PI Series系統構成・外型尺寸圖

電空比例閥 EV2500

使用控制器

系統構成

外型尺寸圖

端子台護蓋

43

端子台間距ー10（M3.5）

173

157

145

4−φ5.5

64 78

PARECT INTERFACE

AUTO

AUTO

MANU

RUN

2 4 6 8AC OUT SW COM

1 3 5 7

＋GG

＋G

SI15V

EXT MANU

24V

IN

類比輸出裝置

輸入訊號

形式：PI-EV-D0

形式：PI-EV-D1

DC 0〜5 V

DC 4〜20 mA

形式：PI-EV-D2

8位元二進位

形式：PI-EV-D3

形式：PI-EV-D4

BCD2位數

DC 0〜10 V


FA 用電腦

PALECT 介面PARACT

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

621


請避開在陽光直射、直接遭受水、油潑及等場所使用。

各機器所使用之空氣配管請充分沖洗後再連接。此外，配管時，請避免密封帶混入。

安裝方向請依照個別注意事項所記載之內容。

連接配管時，密封膠帶的纏繞方法是由距離配管螺牙部前端2 mm以上內側位置開始與螺牙反方向進行纏繞。

注意

設計/選擇時

安裝/固定/調整時

在拆下護蓋、外殼狀態下，請勿使用。內部組裝有電子基板，如在拆下的狀態下使用，則可能發

生意外事故或造成故障，請多加注意。請勿拆解，否則可能造成故障。拆解後之動作不在

保固範圍內，請見諒。

注意

使用/維護注意事項

一般注意事項：電空比例閥

空壓裝置（電空比例閥）

產品安全使用守則使用前請務必詳閱本守則。

空壓裝置一般注意事項請參閱卷首第63頁，各產品系列之詳細注意事項，請確認本文的「使

用注意事項」之相關說明。

〔建議固定轉矩〕連接螺牙固定轉矩 N・m

M5 1 ～ 1.5Rc1/4 6 ～ 8Rc3/8 13 ～ 15

應答性受使用壓力和負載容積之影響。此外，如使用壓力變動，則二次側控制壓力將受影響。如需穩定的重複性時，請在前段設置調壓閥等，讓使用壓力穩定化。

為避免因雜訊而造成錯誤動作請採取以下防護對策。請在AC電源線上設置管道式過濾器。請在誘導負荷（電磁閥、繼電器等）上使用CR、二極體等

突波消除器，在發生源側將雜訊去除。請將各裝置之配線與強電場分離。各裝置之配線請用屏蔽線連結。請將屏蔽線連接於電源側之接地處。但，串列傳輸型通訊

纜線之屏蔽線請配合各通訊系統規格處理。

如吹氣般，將二次側之控制壓力朝大氣釋放使用時，可能會因配管條件、吹氣條件而引起壓力變動。雖然很麻煩，但請以實際使用條件測試看看或洽詢本公司。

注意當選擇乾燥器、空氣過濾器、油霧過濾器、調壓閥時，請選擇大於使用流量。

本產品在動作結構上具有活動部，其精度等特性會隨使用時間而產生變化。當使用時，請事前對系統進行評估，對應因動作頻繁而作為定期維修零件。

符合CE之使用條件電空比例閥（EVD、EV、EVS、MEVT系列）系列係能因應EMC指令且符合CE產品。有關適用於本產品抗干擾性之匹配規格為EN61000-6-2，但本規格必須符合下列條件。條件本產品之評估是使用電源線與訊號線成一對之纜線，作為

訊號線進行評估。由於對突波抗干擾性無耐性，因此請在裝置側實施防護對

策。

如果密封膠帶突出於配管螺牙部份的前端，則膠帶會在鎖

螺牙的過程中被切斷，並進入空壓裝置內部，因而導致故

障的發生。

如栓塞插於排氣孔口，則無法控制正常的壓力，因此請務必排放至大氣中。

連接配管時，請使用正確的轉矩來固定。在於防止漏氣及螺牙損壞。剛開始請用手鎖入，然後再使用工具以避免損壞螺牙。

當使用本公司纜線選購品 M12 接頭型時，請以適當固定轉矩。（EV，EVS 系列）建議固定轉矩 0.4 〜 0.49 N・m

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

622

固態液狀密封劑

固態液狀密封劑


請將維護條件載明於裝置之使用說明書中。因使用狀況、使用環境、維護而使產品功能明顯下降，可能

會無法確保安全性。如維護正確，則能充分發揮產品功能。

所使用的電源請使用定電壓電源。

請避免因來自其他控御裝置之漏電流而造成誤動作，

因此請確認漏電流。當使用可程式化控制器等時，可能會受漏電流的影響而造成電

空比例閥誤動作。

應答性受使用壓力和負載容積之影響。當需要應答性

穩定之再現性時，請在前段設置調壓閥。

設計空壓回路前，需充分瞭解壓縮空氣的特性。如需在緊急停止狀態下維持瞬間停止功能，本產品並不一

定能達到與機械式、油壓式、電氣式產品同等水準。本產品有可能因為壓縮性、膨脹性等空氣特性，造成飛

出、噴出或洩漏現象。

請確認產品能夠耐受使用環境中的各項條件。嚴禁在含有腐蝕性氣體、藥液、溶劑、水、水蒸氣等環境

下使用。有可能沾附水滴、油、金屬粉末（焊渣、切削粉

末等）時，需採取相關防護措施。內置錶壓式壓力感測器而加以防護時，請勿密閉，以便能

引進大氣壓。

請勿在含有爆炸性氣體之環境中使用。

請注意緊急停止時之電氣回路及停電時之氣缸動作

等。

請在裝置壓縮空氣供應側安裝“壓力開關”和“殘

壓排出閥”。壓力開關未達設定壓力時，無法動作。殘壓排出閥是將空壓

回路內所殘留的壓縮空氣排出，防止空壓機因殘壓動作而發

生事故。

在電源關閉之狀態下，如施加一次側壓力放置，則

二次側壓力可能上升到一次側壓力。此外，結構

上，在產生二次側壓力之狀態下，會從EXH孔口消

耗微量空氣。

不使用時，請將一次側調壓閥設定在0或在一次側使

用閥等將供應源關閉。

EVD Series個別注意事項

使用DC 24 V時 1.8 mA以下

設計/選擇時

個別注意事項：EVD 系列

注意

警告為避免因雜訊而造成錯誤動作，請採取以下防護對

策。請在AC電源線上設置管道式過濾器。請在誘導負荷（電磁閥、繼電器等）上使用CR、二極體等

突波消除器，在發生源側將雜訊去除。請將裝置之配線與強電場分離。裝置之配線請用屏蔽線連結。請將屏蔽線連接於電源側之接地處。電源線不要太長，儘量以最短距離配線。請勿與變頻器、馬達等發生雜訊產生裝置共用電源。

電源線、訊號線與其他動力線請勿平行配線。

電流輸入型在配線上，電源接地與訊號之共通成為

共同點。當以1台PLC及D/A裝置驅動複數個電空比例閥時，採用D/A裝

置之回路方式可能因配線上問題而無法輸入正常的訊號，請

使用時洽詢PLC製造商。

電流輸入型也能使用輸入訊號1-5 V，但與其他電壓

輸入型不同，輸入電阻較小為250 Ω，因此請使用符

合訊號的產生裝置。

品質不好的空氣可能會使特性惡化及耐久性受到不

良影響。

所使用的空氣品質請使用符合清淨乾燥空氣「相當於

ISO 8573-1等級1.3.2」或「相當於JISB 8392-1等級

1.3.2」。空壓源請使用清淨的空氣，使用乾燥器、空氣過濾器、油霧

過濾器，將固體物、水分、油分充分去除。

此外，供油空氣可能導致特性惡化，因此請勿使用。

此外，如因輸入訊號而降低二次側壓力時，二次側空氣透過

產品內部從EXH口排出。如二次側配管、負載側內部髒

污，同樣造成特性惡化等不良影響，因此請徹底將配管內部

清淨化。

在加壓狀態下如關掉電源，二次側壓力仍維持著。當想設定排氣狀態時，藉由輸入訊號將設定壓力降低後，請

將電源關閉、或用殘壓排出閥等加以排出。此外，這種維持

狀態並非保證長時間維持。

（壓力開關）油霧過濾器（去除油分）

＜建議空氣回路＞

空氣乾燥機

空氣過濾器5 μm

減壓閥

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

623


一次側壓力為

壓力規格：100 kPa時，請勿低於「設定二次壓＋ 50 kPa」。

壓力規格：500、900 kPa時，請勿低於「設定二

次壓＋ 100 kPa」。尤其是在電源開啟的狀態下，如未長時間供應一次側壓

力，則產品壽命變短，因此請勿使用這種方式。

如吹氣般，將二次側之控制壓力朝大氣釋放使用

時，可能會因配管條件、吹氣條件而引起壓力變

動。雖然很麻煩，但請以實際使用條件測試看看或

洽詢本公司。

當選擇乾燥器、空氣過濾器、油霧過濾器、調壓閥

時，請選擇大於使用流量。

使用環境

請避開陽光直射、避免在直接遭受水、油潑及等場

所使用。如欲在指定規格外或特殊用途使用時，其

規格請洽詢本公司。

防滴環境

本產品之防護結構相當於I P40。請勿設置在有水

分、鹽分、塵埃及切削粉末之場所，或加壓、減壓

環境下。請勿在溫度急遽變化之場所、或高濕度環

境使用，否則可能會因主體內部結露而產生故障。

輸入訊號0 MPa設定待機時，請施加殘壓部分（相

當於1% F.S.）之offset訊號。如未施加offset訊號

時，電磁閥過度動作，使得產品壽命變短。

本製品在0 M Pa但最高控制壓力之1% F.S.以下範

圍，無法釋放二次側壓力而殘留下來。如一定要0 MPa時，則請使用二次側壓力洩壓、或在二次側設

置三位閥切換於大氣之對策。

EVD Series

設計/選擇時


安裝・固定時

安裝・固定時

配線時

電源電壓及輸出請使用規格電壓。如施加規格以上之

電壓，可能造成誤動作、控制器破損及觸電或火災。

此外，請勿使用超過輸出額定之負載。否則可能造

成輸出破損或火災。

配線時，請確認接頭銷及纜線芯線顏色。誤配線可

能造成破壞、故障、及錯誤動作，請依照使用注意

書，確認配線顏色後再進行配線。

請確認配線之絕緣。

請避免與其他回路接觸、短路、端子間絕緣不良。

否則可能因過電流流入而造成破損。

本產品所使用之電源請使用與交流電源絕緣之額定內

DC穩定化電源。未絕緣之電源可能有觸電的危險。

不穩定之電源，如峰值超過額定則可能使本產品破

損，或造成精度惡化。

請停止控制裝置、機械裝置後，切斷電源之狀態時進

行配線。如急遽動作，可能產生意外動作，非常危

險。首先，在控制裝置、機械裝置停止狀態時，請進

行通電測試。作業前、作業中，讓人體、工具、裝置

所帶的靜電放電後，再進行作業。在活動部請連接配

線如機械手臂用線材般，具耐彎曲性能之線材。

請勿使用超出電源電壓範圍。如施加使用範圍以上之

電壓或施加交流電源（AC 100V），則可能造成破裂

或燒毀。

請勿將負載短路。否則可能造成破裂或燒毀。

安裝方式

對安裝方向及安裝方式並無規定，但請在產品周圍

確保空間，以便操作、安裝、拆卸、配線、配管作

業。

使用空壓機之回路前端，請設置空壓過濾器。

設置時請避免排氣孔口堵塞，並確保排氣所需空間。

注意

警告

危險

注意

5 mm以上

壁

主排放空氣

氣導排氣空氣

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

624


EVD Series個別注意事項

〔建議固定轉矩〕連接螺牙固定轉矩　N・m

Rc1/4 6 〜 8

Rc3/8 13 〜 15


配管時

配線時

D輔助連接器之旋轉機構並非設計成可移動使用。可

使用在上方向或水平方向之位置（不可斜方向），

如纜線可能鬆動時，請固定纜線側或連接器後再使

用。

D輔助連接器部為旋轉90°之機構。當組入D輔助連

接器時，請朝上或水平方式以手確實按住邊插入。

在實施配管前，孔口密封請勿拆下。如在配管連接作業前將孔口密封拆下，異物可能從配管孔

口混入造成故障或誤動作等。

空氣配管請充分進行吹除異物後再進行連接。

此外，配管時，請避免密封帶混入。

連接配管時，密封膠帶的纏繞方法是由距離配管螺

牙部前端2 mm以上內側位置開始與螺牙反方向進行

纏繞。如果密封膠帶突出於配管螺絲部份的前端，則膠帶會在鎖

螺牙的過程中被切斷，並進入空壓裝置內部，這樣可能會

導致故障。

選購品之屏蔽纜線連接器為屏蔽線。未使用的配線為避免與其他線（含屏蔽線）接觸，請做絕

緣處理。如誤與接地等連接，則可能造成誤動作或產品破

損。

請將D輔助連接器牢固地組入到底部。

如盲栓塞於排氣孔口，則無法進行正常的壓力控

制，因此請務必排放至大氣中。

連接配管時，請使用正確的轉矩來固定。在於防止漏氣及螺牙損壞。剛開始請用手鎖入，然後再使用工具以避免損壞螺牙。

電氣裝置部能用外殼側面之2處固定爪組裝於主體。

如對外殼施力過大，則固定爪可能脫落或破損，因

此安裝時請加以注意。

配管連接完成後，供應壓縮空氣時，請勿以施加急

遽較高壓力方式供應。

完成配管連接並開始供應壓縮空氣時，請務必確認

所有配管連接部，並未發生空氣洩漏的情形。請在配管連接部用刷子塗上洩漏檢測液，檢查是否漏氣。

請將D輔助連接器鎖定，以避免脫落。當欲旋鬆鎖定

時，請用工具將固定座固定後再將鎖定旋鬆。

注意

(×)()()

以手確實按住邊插入連接器 !!

必須以用工具固定再將螺絲鎖定旋鬆 !!

螺絲起子

工具

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

625

固態

液狀

密封劑

固態

液狀

密封劑


EVD Series


請勿供應壓縮空氣以外之空氣。

請使用壓縮空氣內不含腐蝕性氣體之清淨空氣。

請使用去除油之清淨乾燥空氣「相當於 ISO 8573-1等級 1.3.2」或「相當於 JISB 8392-1 等級 1.3.2」。

進行維護時，請事前將電源關閉，停止供應壓縮空

氣，並確認無殘壓後再進行維護。這是確保安全之必要條件。

請訂定計畫實施日常檢查及定期檢查，以利維護管

理正確執行。維護管理不確實，將明顯影響產品功能，並導致產品使用壽命

降低、損壞或誤動作等不良及事故發生。

1.管理供應壓縮空氣時之壓力是否依照設定壓力來供氣?裝置動作時的壓力計顯示數據是否

與設定壓力一致?

2.管理空壓過濾器排水是否正常?

盆頭、元件髒污狀況是否正常?

3.管理配管連接部位之壓縮空氣洩漏尤其是移動部位的連接狀態是否正常?

如配管發生洩漏，則可能無法正常動作。

4.管理動作狀態動作是否延遲或是排氣狀態是否正常?

5.管理空壓驅動元件動作狀態動作是否順暢?終端停止狀態是否正常?

與負載端之間的連接部位是否正常?

動作中如發生異常時，請馬上切斷電源及空壓源，

並停止使用。

本產品請在規定壓力之範圍內使用。

本產品在通電後，自己診斷約 2 秒期間，不進行壓

力控制動作。請使用通電後約 2 秒能忽略訊號之控

制回路、程式。

當想變更輸出設定值時，控制系統裝置可能進行突

發之動作，因此請停止裝置後再進行變更。

請1年進行一次以上之定期檢查，並確認是否正常動

作。本產品將小型電磁閥作為驅動元件。壽命因壓力切換之動作頻

度、使用條件等因素而異。

本產品以1年或反複動作300萬次較短的作為保固期

間，因此請以此作為檢查基準。

※將保固期間所規定之300萬次動作條件規定如下。

控制壓力從零以漸進狀反複施加最高控制壓力之

輸入訊號。此時使用空氣品質條件建議空氣回路

之清淨壓縮空氣，二次側負載容積為300 cm3。

護蓋材質為樹脂。為去除髒污等，請勿使用溶劑、

酒精、清潔劑等。否則可能侵蝕樹脂。請用沾有稀

釋中性清潔劑之濕抹布拭去。

警告

注意

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

626

最低（MIN）

最高（MAX）


EV Series個別注意事項

設計/選擇時

個別注意事項：EV2000 系列、EV0000 系列、EVS000 系列

警告

注意

0-10 V型 0-5 V型 4-20 mA型

小於0 V大於10 V

小於0 V大於5 V

小於4 mA大於20 mA

若施加的輸入訊號超過下表所示之規格範圍，將造

成電磁閥過度動作，並造成使用壽命劣化及特性劣

化等情形，因此使用時不得超過所規定之規格範

圍。

輸入訊號0 kPa設定待機時，請施加殘壓部分（相當

於5 kPa）之offset訊號。如未施加offset訊號時，電

磁閥過度動作，使得產品壽命變短。

電流輸入型在配線上，電源接地與訊號共通配線為

共用。使用1台PLC及D/A裝置驅動複數個EV時，依照D/A裝置之

回路方式可能因配線上問題而無法輸入正常的訊號，因此

使用時請洽詢PLC製造商。

電流輸入型也能使用輸入訊號1-5 V DC，但與其他

電壓輸入型不同，輸入電阻較低為250 Ω，因此請使

用符合此訊號產生裝置。

EV2000 系列雖設定在 0 MPa，但在 5 kPa 以下範

圍二次側壓力並未釋放而殘留下來。當需要 0 MPa時，請採用將不影響二次側精密之量朝大氣排放或

在二次側設置三位閥切換於大氣等防護對策。

EV2509系列之供應口在主體左右兩側設有IN1、IN2之兩系統。未使用的供應口請務必堵塞。

EV0000 系列及 EVS000 系列為流量少之規格。使

用時，如從二次側配管系統發生洩漏時，則可能引

起共振等現象。如從二次側配管系統發生洩漏時，或在大氣開放狀態（含吹

氣）、或微速氣缸等之洩漏量在大氣缸等二次側施加背壓

使用條件下，可能無法維持設定壓力而產生較大的跳動聲

音並發生壽命劣化及特性劣化，因此請避免使用這種方

式。

防滴環境

若本產品之防護結構在各產品規格欄使用環境確認

中產生問題時，請勿使用。

在電源關閉之狀態下，如施加一次側壓力放置，則

二次側壓力可能上升到一次側壓力。如有安全上問

題時，請在一次側或二次側使用閥等，以確保系統

上之安全。


良影響。

空氣品質請使用相當於清淨乾燥空氣「ISO 8573-1等級 1.3.2」或「相當於 JISB 8392-1 等級 1.3.2」。空壓源請使用清淨的空氣，使用乾燥器、空氣過濾器、油

霧過濾器，將固體物、水分、油分充分去除。

此外，供油空氣可能導致特性惡化，因此請勿使用。

此外，如因輸入訊號而使二次側壓力下降時，二次側之空

氣可透過 EV 內部，從排氣孔口（EXH 口或 R 口）排出。

如二次側配管、負載側內部髒污，同樣會造成特性惡化等

不良影響，因此請徹底清潔配管內部。

在加壓狀態下如關掉電源，二次側壓力仍維持著。當想設定排氣狀態時，藉由輸入訊號將設定壓力降低後，

請將電源關閉、或用殘壓排出閥等加以排出。此外，這種

維持狀態並非保證長時間維持。

一次側壓力請勿低於「設定二次側壓力＋最高控制

壓力×0.1」。尤其是，二次側壓力設定在12% F.S.之範圍狀態下，如一

次側壓力持續未長時間供應之狀態，則可能發生產品壽命

劣化及特性劣化，因此請勿使用這種方式。

如以無加壓，在施加電源及輸入訊號之狀態放

置，則可能發生產品壽命劣化及特性劣化，因此

請避免使用這種方式。

（壓力開關）


空氣乾燥機

空氣過濾器減壓閥5μm

油霧過濾器（去除油分）

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

627


EV Series


使用/維護注意事項時

關於安裝方式

安裝方向及安裝方式雖無規定，但請確保排氣孔口

之排氣所要的空間。

選購品之屏蔽纜線連接器為4蕊屏蔽線。

EV2000 系列、EV0000 系列中，如未使用綠色特殊

用途之線（監視輸出等）時，請避免與其他線（含

屏蔽線）接觸，並做絕緣處理。如因誤連接地 ... 等，

則可能造成誤動作或產品破損。此外，如在監視輸

出加來自外部的感應雜訊等，則同樣會造成產品破

損，因此請遠離強電場等雜訊源配線。 EVS000系列之主體側屏蔽線連接於選購品之屏蔽纜線連接器

之綠色線，因此請將綠色線和屏蔽線連接於電源接地。


作。本產品將小型電磁閥作為驅動器。壽命因壓力切換之動作頻

度、使用條件等因素而異。

本產品以1年或反複動作100萬次較短的作為保固期

間，因此請以此作為檢查基準。

※保固期間所規定之100萬次動作條件規定如下。

控制壓力從零以漸進狀反複施加最高控制壓力之

輸入訊號。此時使用空氣品質採用建議空氣回路

之清淨壓縮空氣，而二次側負載容積EV2000系列

以300cm3，EV0000、EVS系列以15cm3為條件。

注意

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

628


EV210 V Series個別注意事項

設計/選擇時


個別注意事項：真空控制用EV210 V 系列

如在 IN 孔口塞住盲栓，則無法進行正常壓力控制，

因此請務必排放至大氣壓中。把接頭安裝於配管孔口（VAC、OUT、IN）時，為

避免洩漏，使用密封材質（密封膠帶、膠狀密封劑），

但請多加注意，請勿將密封材質或配管螺牙之切削

粉末混入內部。此外，請將 VAC 孔口之接頭用扳手

旋入吸氣塊（ 27）。當連座型以模組連接數台時，大氣開放孔口（IN1、

IN2）為共用。選購品之屏蔽纜線連接器為4蕊屏蔽線。當未使用綠色特殊用途線（監視輸出等）時，請避

免與其他線（含屏蔽線）接觸，並做絕緣處理。如

因誤與接地等連接，則可能造成誤動作或產品破

損。

此外，如在監視輸出施加來自外部的感應雜訊等，

則同樣會造成產品破損，因此請遠離強電場等雜訊

源配線。

當使用油旋轉式真空幫浦時，為防止油滲入，將真

空幫浦之電源 OFF 後，再用殘壓排出閥等進行真空

破壞。請 1 年進行一次以上之定期檢查，並確認是否正常

動作。本產品將小型電磁閥作為驅動器。壽命因壓力切換之動作

頻度、使用條件等因素而異。

本產品之以1年或反複動作100萬次較短的作為保固

期間，因此請以此作為檢查基準。

※當控制壓力從零以漸進方式反複施加成為最高控

制壓力之90%的輸入訊號時。此時的使用空氣品

質建議空氣回路之清淨壓縮空氣，二次側負載容

積以300cm3為條件。

注意

注意

警告

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

629

在電源關閉之狀態下，如施加使用壓力（真空側壓力）

放置，則二次側壓力之真空度可能上升到使用壓力。

如有安全上有問題時，請在二次側使用閥等或在系統

上採用安全對策。

如將品質不好之空氣供應給一次側（大氣側），則

會造成特性惡化及使耐久性受到不良之影響。當在有粉塵等環境使用時，請用過濾器將粉塵去除。二次側負載也同樣，如配管內、負載側內部髒污，則可能

使特性惡化及使耐久性受不良影響，空氣配管在配管作業

前，靠吹氣等將異物去除後再接管。視需要，請如下圖建議空氣回路般，設置過濾器。

使用壓力側在真空狀態下，如關掉電源仍維持二次

側壓力。當二次側朝大氣開放時，將輸入訊號降低後，請關掉電源或

用殘壓排出閥等排出。此外，這種維持狀態並非保證長時間

維持。

真空用空氣過濾器5 μm





（大氣壓）

工件

使用壓力是對控制壓力供應規定壓力。請使用在規

定的壓力範圍。尤其是，二次側壓力超過0 kPa，設定在12% F.S.之範圍狀態

下如長時間未供應使用壓力時、或使用壓力在「控制壓力 + (-10 kPa)」以下長時間放置時，可能縮短產品壽命，因此請勿

使用這種方式。

輸入訊號請勿設定在規格範圍外。如施加範圍外之訊號，則可能發生壽命劣化及特性劣化，

因此請勿使用這種方式。

電流輸入型也能使用輸入訊號1-5 V，但與其他電壓

輸入型不同，輸入電阻較小為250 Ω，因此請使用符

合此訊號之電壓產生裝置。電流輸入型在配線上，電源接地與訊號共通配線為

共用。使用 1 台 PLC 及 D/A 裝置驅動複數個 EV 時，依照 D/A 裝置

之回路方式可能因配線上問題而無法輸入正常的訊號，因此

使用時請洽詢 PLC 製造商。

輸入訊號0 kPa設定待機時，請施加殘壓部分（相當

於－5 kPa）之offset訊號。如未施加offset訊號時，

電磁閥過度動作，使得產品壽命變短。雖設定在0 kPa，但在0〜−5 kPa之範圍，無法釋放

二次側壓力而殘留。如需要0 kPa時，請採取在二次側安裝三位閥往大氣切換等

防護對策。


MEVT Series

使用DC 24 V時 1.8 mA以下

設計/選擇時

個別注意事項：薄型電空比例閥MEVT系列

回路設計時

設計空壓回路前，需充分瞭解壓縮空氣的特性。如需在緊急停止狀態下維持瞬間停止功能，本產品並不一

定能達到與機械式、油壓式、電氣式產品同等水準。本產品有可能因為壓縮性、膨脹性等空氣特性造成飛出、

噴出或洩漏現象。

請確認產品能夠耐受使用環境中的各項條件。嚴禁在含有腐蝕性氣體、藥液、溶劑、水、水蒸氣等環境

下使用。有可能沾附水滴、油、金屬粉末（焊渣、切削粉

末等）時，需採取相關防護措施。請勿在有爆炸性氣體之環境中使用。

請注意緊急停止時之電氣回路及停電時之氣缸動作

等。請在裝置壓縮空氣供應側安裝“壓力開關”和“殘

壓排出閥”。壓力開關未達設定壓力時，無法動作。殘壓排出閥是將空壓

回路內所殘留的壓縮空氣排出，防止空壓機因殘壓動作而發

生事故。

請將維護條件載明於裝置之使用說明書中。因使用狀況、使用環境、維護而使產品功能明顯下降，可

能發生無法確保安全性。如維護正確，則能充分發揮產品

功能。

所使用的電源請使用定電壓電源。輸入訊號請勿設定在規格範圍外。

如施加範圍外之訊號，則可能發生壽命劣化及特性劣化，

因此請勿使用這種方式。

輸入訊號0 MPa設定待機時，請施加殘壓部分（相

當於(EVT100：2 kPa、EVT500：10 kPa）之offset訊號。如未施加offset訊號時，電磁閥過度動作，使

得產品壽命變短。請避免因來自其他控制裝置之漏電流而造成錯誤動

作，因此請確認漏電流。當使用可程式化控制器等時，可能影響漏電流而造成EVT錯誤動作。

為避免因雜訊而造成錯誤動作，請採取以下防護對

策。請在AC電源線上設置管道式過濾器。請在誘導負荷（電磁閥、繼電器等）上使用CR、二極體等

之突波消除器，在發生源側將雜訊去除。請將MEVT之配線與強電線分離。串列傳輸型之傳送路徑請務必使用指定線材。當考量受雜訊影響時，請儘量將各連座電源個別配線。電源線不要太長，儘量以最短距離配線。請勿與變頻器、馬達等發生雜訊產生源裝置共用電源。電源線、訊號線與其他動力線請勿平行配線。

配線注意事項集中端子台型及D輔助連接器型在配線上電源接地與訊號

共通為共用。使用1台PLC及D/A裝置驅動複數個EVT系列

時，依照D/A裝置之回路方式可能因配線上問題而無法輸

入正常的訊號，因此使用時請洽詢PLC製造商。此外，使

用屏蔽線時請將屏蔽線往下接合至於電源側之接地。

無法與空氣軸承氣缸等洩漏量較大之氣缸組合使

用。使用吹氣、或二次側施加背壓使用條件下，可能無法維持

設定壓力而產生較大的跳動聲音並發生壽命劣化，因此請

避免使用這種方式。

輸入訊號雖設定在 0%，EVT100 產生 2 kPa 以下之

殘壓，EVT500 產生 10 kPa 以下殘壓。當需要

0MPa 時，請採取在二次側安裝三位閥往大氣切換等

防護對策。

視需要，請於1次側、2次側使用閥。在電源關閉之狀態下，如施加一次側壓力放置，則二次側

壓力可能上升到一次側壓力。如有安全上問題時，請在一

次側或二次側使用閥等，以確保系統上之安全。

使用環境

請避開陽光直射、避免在直接遭受水、油等潑及場

所使用。如想使用在指定規格外或特殊用途時，其

規格請洽詢本公司。環境溫度

・使用在超過50之高溫或5以下之低溫環境時。振動、衝擊

・請勿在振動50m/s2以上、衝擊300m/s2以上的環境中使

用。

注意注意

警告

シリンダ

バルブ

空氣壓縮機

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

630

殘壓排出閥壓力開關


閥

氣缸


MEVT Series個別注意事項


安裝時

配管時

MEVT之安裝，請勿採用以配管安裝之方法。請安裝並固定MEVT主體。

請勿對MEVT以水或溶劑洗淨或進行塗布。否則樹脂零件可能破損。

塗層劑可能堵塞排氣孔口而造成動作不良。

請在EVT之周圍預留空間，以便安裝、拆卸、配

線、配管作業。

使用空壓機之回路前端，請設置空壓過濾器。

應答性不受使用壓力和負載容積之影響。當需要應

答性穩定之再現性時，請在前段設置調壓閥。

關於安裝方式 MEVT為安裝DIN導軌，當連座總質量超過1 kg時，或在有

振動及衝擊之環境下，請將DIN導軌以50〜100 mm間隔固

定於安裝面，確認固定狀態無異常後再使用。安裝方向及安裝方式雖無規定，但會因振動所產生之共振

而使安裝螺絲產生鬆弛，造成連座脫落，因此運轉時請加

以確認。 MEVT之拆裝方法

拆下

將DIN導軌固定螺絲（左右2處共4根）旋鬆。

安裝

1.依①②之順序將爪扣住於DIN導軌。

2.將護圈朝方向③壓入。

3.壓緊使塊間無間隙，並固定 DIN導軌固定螺絲（建議固定轉

矩為 0.6〜 0.8 N・m）。

註：護圈的爪如未牢掛，則可能造成漏氣、產品脫落，因此請

務必加以確認。

防滴環境

本產品之防護結構相當於I P40。請勿設置在有水

分、鹽分、塵埃及切削粉末之場所，或加壓、減壓

環境下。請勿在溫度急遽變化之場所使用、或高濕

度環境，否則可能會因主體內部結露而產生故障。

符合CE之使用條件

MEVT 是符合 EMC 指令之 CE 產品。有關適用於本

產品抗干擾性之匹配規格為 EN61000-6-2，但本規

格必須符合下列條件。條件所使用之電源線長度請在3m以下。

警告

注意

注意

在實施配管前，請勿解開MEVT包裝袋。在配管連接作業以前，如將包裝袋解開，則異物從配管口

混入EVT內部，可能造成故障或誤動作等。

配管時，在連接於空壓機前，請務必實施吹除異物。配管時，內部所含之異物不得混入EVT內。

配管連接部之結合部配管請避免因裝置運轉、振動、

張力等而移動再進行配管。

排氣孔口（R）為能充分進行排氣，請朝大氣排放。

EVT之排氣孔口（R）請勿縮小到配管孔口之口徑以

下。

EVT之排氣孔口（R）會因閥體動作而產生呼吸作

用，將排氣孔口（R）周邊之異物吸入，或排氣孔口

（R）朝上時異物可能混入。如排氣不順暢，則驅動器無法正常動作。使用連座時，排

氣可能會妨礙其他EVT之正常動作。

配管連接完成後，供應壓縮空氣時，請勿施加急遽較

高壓力方式供應。如配管連接脫落，配管軟管會被彈出，可能發生事故。注意：如太慢供應壓縮空氣，則可能因EVT內部之密封機

構而未產生密封壓力，因此造成漏氣現象。

DIN 導軌固定螺絲

按壓

3

EVT

2

1

護圈

固定時リティナは矢印方向に寄せ、レールに爪掛け確認後0.7Ｎ・ｍでねじ固定して下さい

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

631

空氣過濾器（5 μm以下）

排除異物


此外，當二次側壓力下降時，二次側空氣透過EVT內部，

從排氣孔口（R）排出。如二次側配管、負載側內部髒

污，同樣造成特性惡化等不良影響，因此請徹底清潔配管

內部。

當對空壓機實施拆解、組裝時，請由受過專業知識訓練之

作業人員進行。

空壓技能檢定2級以上之等級。

當對空壓機實施拆解、組裝時，請詳閱該產品使用說明

書，待充分瞭解後再進行拆解、組裝作業。

進行維護時，請事前將電源關閉，停止供應壓縮空氣，

並確認無殘壓後再進行維護。這是確保安全之必要條件。

MEVT Series

軟管口徑最小彎曲半徑 mm

尼龍尿烷φ4 10 10φ6 20 20

軟管口徑最短長度 mm

尼龍尿烷φ4 200 320φ6 80 80


使用・維護注意事項

軟管彎曲半徑

軟管彎曲半徑請保持在最小彎曲半徑以上。（否則可能造成

脫落或漏氣）

軟管最短長度

使用輸出孔口（A）側軟管長度請以軟管內容積 1 cc 以上

為基準。

（否則可能造成共振之原因）

軟管的切斷

請使用軟管切割器（AZ1200），切成與軸方向垂直。如

插入斜切之軟管，則可能漏氣。

軟管連接狀態

從接頭之前端部，設置使用軟管外徑部分長度之直線部，

請避免在接頭插入口急遽彎曲配管。請注意水平方向之軟

管張力勿超過40N。

適用盲栓

請使用本公司指定的盲栓。

盲栓 GWP-B系列

空氣的品質

請勿供應壓縮空氣以外之空氣。

請使用壓縮空氣內不含腐蝕性氣體之清淨空氣。

請使用空氣品質請清淨乾燥空氣「相當於 I S O 8573-1等級1.3.2」或「相當於J ISB8392-1等級

1.3.2」。


良影響。空壓源請使用清淨的空氣，使用乾燥器、空氣過濾器、油霧過

濾器，將固體物、水分、油分充分去除。

警告

警告注意

完成配管連接並開始供應壓縮空氣後，請務必確認所

有配管連接部是否有空氣洩漏的情形。請在配管連接部用刷子塗上洩漏檢測液，檢查是否漏氣。

配管材質中，當使用尼龍軟管或聚氨酯軟管時，請注

意下列事項。如環境中有焊渣飛散時，請使用耐燃性軟管。

關於配管連接適用軟管

作業時必須使用本公司所指定的軟管。

軟尼龍（F-1500系列）

尿烷（U-9500系列）

使用一般市售軟管時，請注意外徑尺寸精度及厚度、硬度。

聚氨酯軟管之硬度請使用93°以上（橡膠硬度計），不符合

徑精度、硬度之軟管時，可能產生夾緊力降低、脫落、不易

插入之情形。

外徑公差

軟・硬尼龍管 ±0.1 mm尿烷φ4、φ6 ＋0.1 mm

−0.15 mm

外徑 mm內徑 mm

尼龍尿烷φ4 φ2.5 φ2φ6 φ4 φ4

軟管尺寸

（壓力開關）油霧過濾器（去除油分）


空氣乾燥機

空氣過濾器5μm

減壓閥

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

632

電源OFF



作。本產品將小型電磁閥作為驅動器。壽命因壓力切換之動作

頻度、使用條件等因素而異。

本產品以1年或反複動作100萬次較短的作為保固期間，因

此請以此作為檢查基準。

※保固期間所規定之100萬次動作條件規定如下。

控制壓力從零以漸進狀反複施加最高控制壓力之輸入訊

號。此時之使用空氣品質建議空氣回路之清淨壓縮空

氣，二次側負載容積條件為15 cm3。

請勿拆解，否則可能造成故障。拆解後之動作不在保固範圍內，敬請見諒。

在加壓狀態下如關掉電源，控制壓力仍維持著。當想設定排氣狀態時，請將設定壓力降低後，將電源關閉、

或用殘壓排出閥等加以排出。此外，這種維持狀態並非保證

長時間維持。

供應壓力請勿低於「設定二次側壓力＋最高控制壓力

×0.1」。尤其是，二次側壓力超過0 MPa，設定在12% F.S.之範圍狀態

下，如持續一次側壓力未長時間供應之狀態，則可能發生跳動聲及產品壽命劣化，因此請勿使用這種方式。

EVT系列中，如從二次側配管系統發生漏氣，則可

能引起共振。請確實配管以防止漏氣。否則會產生無法維持設定壓力之巨

大低吟噪音並產生壽命劣化，因此請避免使用這種方式。

MEVT Series個別注意事項

匣式快速接頭型號

機種零件名稱型號

EVTφ4直型 4G1ーJOINTーC4

φ6直型 4G1ーJOINTーC6

注意

注意

注意

匣式接頭更換方法

其他

請訂定計畫，實施日常檢查及定期檢查，以利維護管

理正確執行。維護管理不夠確實，將明顯影響產品功能，並且造成產品使用

壽命縮短、產品損壞等誤動作及故障發生。

1.管理供應壓縮空氣時之壓力是否依照設定壓力來供氣?裝置動作時的壓力計顯示數據是否

與設定壓力一致?

2.管理空壓過濾器排水是否正常?　盆頭、元件髒污狀況是否正常?

3.管理配管連接部位之壓縮空氣洩漏尤其是移動部位的連接狀態是否正常?

4.管理EVT動作狀態動作是否延遲或是排氣狀態是否正常?

5.管理空壓驅動元件動作狀態動作是否順暢?終端停止狀態是否正常?

與負載之間的連接部位是否正常?

當快速接頭尺寸變更時，請依照步驟進行更換。如不能正確

安裝，則可能造成漏氣，請加以注意。

① 請用螺絲起子，取出止

動銷。

② 取出接頭。

※更換時，請加以注意，

過濾器不可脫落。

③ 請將更換用接頭垂直插

入至最底部。

④ 插入止動銷。拉伸接頭，

確認是否已固定。2

Ａ

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

模組型

F.R.L

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

633

最低（MIN）

最高（MAX）


PI Series

EV250-0……… 0〜10VDCEV000-0……… 0〜10VDCEVS00-0……… 0〜10VDCEV210V-0…… 0〜10VDC

設計/選擇時


個別注意事項：PI 系列

手動用外部可變電阻器請使用 2 kΩ以上。

EV 系列之輸入訊號因型號而異。當使用 PI 系列時，

請選擇輸入訊號「0 〜 10 V」型。

通電時，如碰觸AC電源部則可能觸電。配線時，請

務必關掉電源後再進行作業。此外，請勿濕手碰觸

充電部。

輸出端子請勿長距離纏繞。

固定端子螺絲時，請勿過度緊鎖。

除 EV 系列以外，請勿連接外部輸出電源。

（不能連接 PARECT控制器。）

儘量避免在施加振動、衝擊之場所使用。

P I之輸出線請儘可能使用捻線（將2條線捻在一

起）。

請注意COM端子之極性。

警告

警告

注意

F.R.L組件

空壓輔助裝置


精密裝置



主管路組件

卷尾

F.R.L

模組型

FR

F

R

L

壓力SW

殘壓排出閥

緩啟動閥

耐燃

禁油

中壓


附件

小型

大口徑類型

精密R


真空F、R

清淨FR

電空R

氣體增壓缸

634


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