isnnm-2016전달하는 도체 부품인 피드스루(feedthrough), 금속이나 ... 세라믹 소재...
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8 I 한국희소금속산업기술센터 Newsletter I 06. 2016
C O N T E N T S
01 미래를 여는 창 ㅣ우즈베키스탄, 희소금속산업 국제협력관계 구축 위해 한국희소금속산업기술센터 방문
02 희소식 인터뷰 ㅣ미래 소재 산업의 핵심, 세라믹 부품 소재 전문기업 ㈜네오세라
04 첨단산업의 비타민, 희소금속 A to Z
ㅣ타이타늄 _ Titanium, Ti
06 장비 속으로
ㅣ분석장비 2종, 공정장비 2종
08 희망 나침반 ㅣISNNM-2016 The 14th International Symposium on Novel and nano Materials
2016
06JUNE
발행인 이영수
편집인 김범성
발행일 2016. 06. 30
통 권 제 24호
희망 나침반
주소 (우) 21999 인천광역시 연수구 갯벌로12(송도동) 갯벌타워 9층 한국희소금속산업기술센터
Tel 032-458-5116 | Fax 032-458-5120 | Homepage www.kiram.re.kr | 발행처 한국희소금속산업기술센터
미래를 여는 창
우즈베키스탄, 희소금속산업 국제협력관계 구축 위해 한국희소금속산업기술센터 방문 우즈베키스탄의 대외경제투자무역부 장관을 비롯한 관계자들이 희소금속 기술개발 교류와
국제협력관계 구축을 위해 지난 5월 22일 한국희소금속산업기술센터를 방문했다.
이 자리에는 우즈베키스탄 대외경제투자무역부 장관, 우즈베키스탄 대사관 관계자와 센터 소장,
희소금속산업 실장 등 6명이 참석해 국내 희소금속 주요기업과의 공동 원천기술 개발, 인력교류 등
전략적 국제협력관계 구축을 통해 우즈베키스탄 내 신생 과학산업단지 조성에 협력하기 위한 논의를
진행했다.
이날 자리는 우즈베키스탄 대외경제투자무역부와 대사관 측에서 한국의 산업자원부를 통해
희소금속 산업 관련 협력을 요청해 마련되었다.
우즈베키스탄은 자원 빈국인 우리나라와 달리 주요 비철금속 자원이 풍부하게 매장된 국가다.
그 중에서도 철강산업, 화학산업, 전기전자산업 등에 있어 다양한 용도로 사용되는 ‘몰리브데넘’의
세계 10위 생산국이다. 우즈베키스탄은 현재 이러한 비철금속 자원과 관련한 해외협력, 수출시장
확보 정책을 진행 중이다. 특히 희소금속산업 발전을 위한 과학산업단지 설립을 위한 정책 마련을
추진하고 있다.
우즈베키스탄 내에도 희소금속 전문기업이 있긴 하지만, 특정 희소금속만 다루고 있으며 가공과
기술력이 다소 뒤처져있는 형편이다. 이날 자리는 가공 및 기술력 향상을 위한 전략적 해외 파트너를
찾아나선 이들과의 협력관계 구축을 논의하기 위한 자리였다.
한국희소금속산업기술센터는 “우즈베키스탄의 우리나라에 대한 기술의존도와 그들의 풍부한
자원을 활용해 자원 빈국의 약점을 극복할 수 있는 미래전략적 협력관계를 맺을 수 있기를
기대한다”고 말했다.
ISNNM-2016The 14th International Symposium on Novel and nano Materials
■Date : July 3 ~ July 8, 2016
■Venue : Danubius Hotel Helia, Budapest, Hungary
■Organized by
The Korean Powder Metallurgy Institute
Centre for Energy Research, Hungarian Academy of Sciences (HAS)
Institute of Materials Research, Slovak Academy of Sciences (SAS)
University of Miskolc
■Rare Metals and Recycling (RMR)
Chair - Dr. Bum Sung Kim (Korea Institute of Industrial Technology, Korea)
- Prof. Tadeusz Pieczonka (AGH University of Science and Technology, Poland)
WED THU FRI
07-06 07-07 07-08
A B C Poster A A
Registration
TechnicalTour
PanelDiscussion
Plenary lecture(Prof. Hikaru Kobayashi)
Chairman : Dr. Mohammad Farvizi
Plenary Lecture(Prof. Guoxiu Wang)
Chairman : Prof. Young Do Kim
Coffee Break
Rare Metals andRecycling Ⅰ
(RMR : I1-I3, O1, O2)
Chairman :Dr. Ryan Ott
Dr. Jung-Goo Lee
Refractory Metals and Hard MaterialsⅠ(RMH : K1, O1-O4)
Chairman :Prof. Young Do Kim
Prof. Jean-Michel Missiaen
Nanocomposites and Nanoporous Materials Ⅰ
(NNP : I1, O1, O2)
Chairman :Prof. Seung Nam Cha
Lunch
Rare Metals andRecycling Ⅱ
(RMR : I4, I5, O3, O4)
Chairman :Prof. Tadeusz Pieczonka
Dr. Bum Sung Kim
Refractory Metals and Hard MaterialsⅡ
(RMH : K2, O5-O8)
Chairman :Dr. Alan J. HurdDr. Min-Ha Lee
Nanocomposites and Nanoporous MaterialsⅡ
(NNP : O3, O4, O5)
Chairman :Prof. Dayang WangProf. Il-Kyu Park
Poster(RMR, RMH, NNP)
Chairman: Dr. Chang Kyu Rhee
Coffee BreakNanocomposites and
Nanoporous MaterialsⅢ(NNP : K1, I2, I3)
Chairman :Prof. Bin Zhang
Prof. Hyo-Jin Ahn
Poster(RMR, RMH, NNP)
Chairman: Dr. Chang Kyu Rhee
Gala Dinner
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희소식 인터뷰
미래 소재 산업의 핵심, 세라믹 부품 소재 전문기업 ㈜네오세라
브레이징 기술은 오늘날처럼 고도로 산업화된 사회에서
가장 광범위하게 사용되고 있는 접합기술의 하나다. 서로
다른 종류의 이종 금속의 접합이 가능하고, 강한 접합
강도로 정교하게 접합할 수 있으며, 불량 요소가 발생했을
때도 반복적인 보수가 가능하다는 장점이 있다. 제품의
기능, 생산성, 원가 면에서 장점이 커 널리 사용되고 있다.
㈜네오세라(대표 이성배)는 최근 주목 받는 방사선
장치나 인공위성 등의 초정밀 부품 제작에 필요한 첨단
기술인 고온·고진공 이종접합 분야에서 오랜 시간 기술을
축적해온, 이종금속 브레이징 전문 기업이다.
주력 생산품인 세라믹(Ceramic)소재부품을 비롯해
절연체(Isolator), 전자 인클로저나 인쇄회로기판에서 신호를
전달하는 도체 부품인 피드스루(Feedthrough), 금속이나
비금속재료를 접합하는 브레이징 제품(Brazing Product), 뷰
포트(View Port) 등을 주로 생산한다.
고온·고진공 이종접합의 풍부한 경험
나대전시 유성구 탑립동에 위치한 ㈜네오세라는 지난 2006년 창업했다. ㈜네오세라
측은 “이종금속 브레이징의 풍부한 경험과 장인정신으로 설립된 업체로, 직원 모두 집약된
경험과 접합기술을 보유하고 있으며, 개인의 창조성 개발과 가치 실현을 위해 서로 협력하고
사회공헌을 위해 앞장서고 있다”고 자부했다.
지난 2007년에는 고온·고진공 이종접합 기술을 바탕으로 차세대 방사선 산업기술
지역혁신센터와 함께 방사선 장치기술 이용, 방사선 분석기술 공동개발 및 기술교류, 상호
교육 프로그램 운영 등에 관한 산학기술교류 협약을 맺고 공동 연구를 수행하기도 했다.
㈜네오세라는 특히 이종금속 접합과 세라믹 및 세라믹 용사(Metalizing), 전자 피드
스루(Electrical-Feedthroughs) 등의 제품이 상당 부분 수입에 의존하고 있는 현실에서
생산 효율성을 이뤄 국가 기초산업에 기여하고 수입에 의존하지 않는 자국 생산 부품을
만들어내기 위한 최선의 노력을 다하고 있다.
세라믹 소재 부품은 산업 전반에 두루 활용되고 있음에도, 많은 희소금속 생산품이
그렇듯 부품의 형태로 있기 때문에 눈에 잘 띄지 않는다. 그러나 세라믹 소재 부품은
차세대 정보통신, 융합 신산업, 친환경에너지 산업의 핵심 소재 부품이다. 스마트폰의 70%,
리튬이차전지의 50%, 고체연료전지의 90%, LED의 70%가 세라믹 소재와 부품으로 구성되고
*㈜네오세라(대표 이성배, http://neocera.co.kr)는
세라믹(Ceramic) 소재부품을 비롯해 절연체(Isolator),
피드스루(Feedthrough), 브레이징(Brazing) 제품,
용사(Metal iz ing) 제품, 뷰 포트(View Port) 등을
생산·취급하는 부품소재 전문기업이다.
있어 미래의 친환경 소재 산업과 차세대 경제의 흐름에 부합하는 주목받는 산업으로
꼽힌다. 부품별로 보면, 차세대 반도체 소재, 센서 소재, 초소형 부품, 환경친화적 건축 소재,
초고온용 세라믹 소재 등에 쓰여 미래 소재 산업으로 가는 중요한 부품소재인 셈이다.
현재 우리나라의 세라믹 소재부품 산업은 세계적인 반도체 장비회사들의 세라믹소재부품
공급 다변화, 중국 반도체 시장의 성장 등으로 기회와 위협을 함께 맞고 있다.
세라믹 소재부품 산업의 위기와 기회
한국경영혁신중소기업협회의 ‘대한민국 산업·기술 비전 2020’ 리포트에 따르면
우리나라의 세라믹 산업은 2007년 국내 약 28조원의 생산을 했고, 2009년 종사자는 약 8만
여명인 것으로 나타났다.
그럼에도 우리나라의 첨단 세라믹 소재의 대일 의존성은 큰 편이다. 그 중에서도 세라믹
소재 산업의 핵심으로 꼽히는 파인세라믹스(고순도의 천연무기물 또는 인공물로 합성한
무기화합물을 원료로 하는 세라믹스로 내열성·내마모성·내식성·전기절연성이 뛰어나
인공뼈, 인공치아 등 의료용 소재나 산소 센서 등의 재료로도 검토된다.)의 경우 일본에서
수입하는 비율이 절대적으로 높으며, 판유리나 타일 등의 전통 세라믹 제품은 중국 등
저임금 국가에서 수입해오는 형편이다. 세라믹의 전체무역 수지로 따지면 2008년 44억 달러
적자를 냈는데, 이중 92%가 대일 무역적자인 것으로 나타났다. 지난 2011년에는 일본 지진의
여파로 세라믹 소재의 수입 여건이 악화되고, IT 산업이나 에너지 산업에 필요한 세라믹
부품의 부족 현상 발생하기도 했다.
그러나 최근에는 반도체용 세라믹소재부품 시장을 주도하던 일본기업들이
장비개발에 적절히 대응하지 못하면서 장비업체들이 한국 세라믹소재부품을 주목하고
있다는 소식도 들린다. <신소재경제>에 따르면 세계 5위권내 반도체 장비회사인
어플라이머티리얼즈(AMAT)와 램리서치는 일본산에 의지했던 세라믹부품 공급을 다변화해
최근 한국산 도입을 적극적으로 검토하고 있는 것으로 알려졌다.
다만 중국이 반도체산업을 육성하면서 자국 소재부품 기업에도 투자를 활성화함에 따라
중국기업의 추격도 곧 가시화될 전망이어서, 이에 대한 대비가 필요하다는 지적이 많이
나온다. 우리나라의 세라믹소재부품은 반도체산업의 발전과 함께 신뢰성과 품질을 확보한
상태다. 앞으로 국내 기업들을 중심으로 한 세라믹 소재 산업 진출에 따른 관련 시장의
성장을 기대하는 목소리가 높다.
㈜네오세라는 세라믹 부품소재 개발에 대한 투자를 한층
더 강화해 기업혁신을 계속해 나갈 계획이다. ㈜네오세라
측은 “고객의 입장에서 보다 편리함과, 신속하고 상호
호환성의 장점을 살려 더 나은 제품과 품질로서 고객 감동과
고객 이익을 위하여 변화와 기업 혁신을 끊임없이 지속 할
것”이라고 밝혔다.
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1791년 영국 아마추어 지질학자이자 목사인 William Gregor가 강가의 하천에서 타이타늄을 발견하고 ‘Manaccin’으로 명명하였다. 1795년 독일의 Martin H. Klaproth이 금홍석에서 타이타늄을 따로 발견하고 ‘Titan’으로 명명하였다. 그러나 아직 타이타늄을 단독으로 분리하는 방법이 존재하지 않았다.
타이타늄의 발견으로부터 100년 이상 지난 1910년 뉴질랜드 출신의 미국 화학자인 매튜 A 헌터에 의해 타이타늄을 고순도(99.9%)로 분리하는 데 성공했으며, 1946년 룩셈부르크의 공학자인 윌리엄 크롤 링이 마그네슘 환원방법을 이용하여 고순도 타이타늄을 얻는 데 성공했다.
타이타늄의 특성
타이타늄은 원자번호 22번으로 원소기호 Ti로 표시된다. 매우 강한 금속으로 밀도가 낮으며
연성이 있다. 또한 흰색의 금속광택을 나타낸다. 비 자성체이며 낮은 전기 및 열 전도도를
가진다. 상대적으로 높은 융점(1650°C)을 가지며 내화물 금속으로 유용하다. 타이타늄은
상업적으로 널리 사용되는 알루미늄보다 60% 밀도가 높고 두 배나 강하다. 특정 타이타늄
합금은 200,000Psi 이상의 인장강도를 가진다. 그러나 타이타늄은 430℃ 이상으로 가열하면
그 강도를 잃어버린다.
타이타늄의 가장 주목할 화학적 특성은 부식에 대한 저항성이 우수한 것이다. 황산과
염산뿐만 아니라 염소 가스, 염화솔루션 및 대부분의 유기 지방산의 공격을 견딜 수
있어 거의 백금 정도의 저항력이 있다. 타이타늄은 1200°C에서 산소와 즉시 반응하여
이산화티탄을 형성한다. 그 결과 금속은 공기 중에서 용해될 수 없으며 녹는점에 도달하기
전에 타버린다. 그러므로 용융은 불활성 분위기에서 또는 진공에서만 가능하다.
타이타늄 (Titanium, Ti)
원자번호 22
원자량 47.88g/mol
녹는점 1,675℃
끓는점 3,287℃
밀도 4.506g/cm³
전기음성도 1.54(Pauling scale)
첨단산업의 비타민, 희소금속 A to Z
타이타늄 (Titanium, Ti)
<도표> 한국의 타이타늄 물질흐름도
광석 매장량 : 일메나이트 600,000 루틸광 52,000 천톤(MSC2007)출처 : 한국무역통계(2007), 수집자료
<도표> 타이타늄의 수출입 현황
●수입 단위 : kg(중량), 천$(금액), $/kg(단가) ●수출 단위 : kg(중량), 천$(금액), $/kg(단가)
분류 단위 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014
광·회·슬래그
중량 160,637,380 120,465,885 123,253,911 155,463,365 127,321,837 129,564,713 120,455,133
금액 40,690 32,855 34,955 66,133 110,233 67,315 45,533
단가 0.3 0.3 0.3 0.4 0.9 0.5 0.4
화합물
중량 126,871,578 144,573,272 143,093,473 144,183,022 122,261,389 137,813,714 145,814,164
금액 296,273 267,404 366,745 503,926 471,893 429,250 425,118
단가 2.3 2.3 2.6 3.5 3.9 3.1 2.9
제품
중량 8,869,321 7,438,744 6,590,928 21367,958 21,136,622 16,711,008 11,534,903
금액 287,342 173,252 3,075,572 476,539 459,685 396,455 282,901
단가 32.4 23.3 466.6 22.3 21.7 23.7 24.5
총합계중량 296,378,279 242,477,901 272,938,312 321,014,345 270,719,848 284,089,435 277,804,200
금액 625,305 473,511 3,477,272 1,046,598 1,041,811 893,020 753,552
분류 단위 2008 2009 2010 2011 2012 2013 2014
광·회·슬래그
중량 82,669,000 30,520,008 84,060,872 154,114,940 183,684,585 216,077,625 195,178,150
금액 6,654 3,109 5,609 10,878 13,471 15,415 17,451
단가 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1
화합물
중량 38,726,899 37,373,030 43,631,340 43,278,328 36,615,731 40,225,395 38,659,176
금액 103,979 71,321 89,970 119,167 119,248 114,036 107,580
단가 2.7 1.9 2.1 2.8 3.3 2.8 2.8
철강
중량 48,200 86,000 190,188 17,500 109,500 39,000 10,000
금액 279 213 957 106 579 185 51
단가 2.7 1.9 2.1 2.8 3.3 4.7 5.1
제품
중량 1,758,773 653,111 1,732,558 4,038,334 5,041,949 10,840,644 6,340,969
금액 31,070 22,925 19,612 74,729 101,423 194,966 142,279
단가 17.7 35.1 11.3 18.5 20.1 18.0 22.4
총합계중량 123,202,872 68,632,149 129,614,958 201,449,102 225,451,765 267,182,664 240,188,295
금액 141,982 97,568 116,148 204,880 234,721 324,602 267,361
타이타늄의 활용
타이타늄은 항공우주 산업에서 엔진, 종체, 각종 부품을 만드는 데 금속
자체 또는 합금으로 사용되며, 보잉 777에는 1대 당 약 59톤, 747에는 45톤,
에어버스 A340에는 32톤이 사용되는 것으로 추정된다. 또한 미사일, 군용
차량의 장갑, 우주선 제작에도 많은 양의 타이타늄이 사용된다.
타이타늄은 바닷물에서도 부식되지 않기 때문에 선박의 추진축 등 선박
부품, 해수 담수화 장치의 열교환기, 수족관의 난방 및 냉방기, 낚시 도구,
잠수부 칼, 해양 감시장치의 부품 등에 사용되며, 잠수함 재료로도 사용된다.
또한 화학약품에 잘 부식되지 않아 반응기, 화학물질 이동 파이프와 용기
등 화학공업과 제지공업에서 여러 장치와 설비를 만드는데 사용되며, 특히
산이나 염소를 사용하는 산업에 많이 사용된다.
생체 적합성이 탁월한 것으로 여겨져 인공관절, 치과 임플란트, 인공
심장박동 조절기, 안경테 등에도 사용된다. 이외에도 휴대폰과 시계의
케이스, 장신구, 골프클럽 등 운동기구, 자동차 부품 등에도 타이타늄이 널리
사용된다.
타이타늄의 수출입 현황
타이타늄 총 수입량은 2008년 약 30만 톤에서 2009년 다소 감소된 약 24만
톤이었다가 이후 지속적인 증가로 2011년 약 32만 톤으로 최대량이 수입되었다.
이후 2014년에는 다소 감소된 약 28만 톤이 수입되었다. 타이타늄은 주로
광·슬랙·회 형태와 화합물의 형태로 수입되고 있다.
화합물 형태의 수입량은 2010년 14.4만 톤의 수입량을 기록한 이후
증감하였으며, 2014년 약 14.6만 톤으로 최대치를 기록하였고 전체의 52.5%를
차지하였다. 광·슬랙·회의 수입량의 경우 2008년 16만 톤에서 2009년과
2010년 12만 톤으로 감소하였다가 2011년 15.5만 톤으로 증가, 다시 계속해서
감소하여 2014년에 12만 톤이 수입되었으며, 광·슬랙·회의 수입량은 2014년
기준 전체의 약 43.4%를 차지하고 있다.
타이타늄의 총 수출량은 2008년 12만 톤에서 2009년 감소된 7만 톤이
수출되었으나 이후 지속적으로 증가하였다. 2013년도 27만 톤이 수출되었으나
2014년 다소 감소하여 24만 톤이 수출되었다. 타이타늄은 주로 광·슬랙·회의
형태로 수출되고 있으며 2008년 8만 톤에서 점차적으로 증가하여 2013년 22만
톤을 수출하였으나, 2014년 20만 톤으로 감소되었다.
원료 중간제품 최종제품 주요응용제품 재활용
타이타늄광석
UGI스폰지
타이타늄잉곳
스크랩
순수타이타늄스크랩
재활용 없음페로타이타늄 외 철강첨가재료
타이타늄전신재
타이타늄합금
항공우주(제트엔진, 기체재료, 미사일 로켓)그외(자동차부품, 골프 헤드, 형상기억합금)
화력, 원자력발전(복수기, 관판 등), 조수
석유, 화학공업(배관, 탈조 열 교환기 등)
전해설비(소다공업, 아연도금, 돌박제조 등)
플레이트식 열 교환기
건축토목(지붕, 모뉴먼트, 가교 등)
자동차(이륜 소음기 등)
의료, 민생품 외
판매업자 용
고장력강, 내열강, 스테이리스강,Deep Drawing 강판 등
자동차(밸브, 콘로드 외)화학공업(필터, 밸브 외)
밸브, 펌프, 원심분리기, 골프헤드 등 재활용 없음타이타늄 주조물
재활용 없음산화 타이타늄
재활용 없음타이타늄 분말
도료잉크, 합성수지, 제지 외
일메나이트광루틸광
•수출 98,750•수입 116,377•인도 62,013•호주 13,206•기타
•출하 3,524•러시아 1,296•중국 931•영국 707
•수입 3,861•일본 1,571•미국 1,035
•수입 1,103•영국 582•러시아 223
•수입 282•중국 253
스크랩•수출 432•미국 184•일본 135
•수입 516•카자흐 310•중국 102
•수출 39,706•미국 8,457•일본 7,068
•수입 11,794•카자흐 5,291•중국 3,502
출하 1,405
출하 8,172
출하추정 4,000
출하 37
출하 164,487
6 I 한국희소금속산업기술센터 Newsletter I 06. 2016 7 I 한국희소금속산업기술센터 희소식
공정장비
희토 자석(6종) ••••••
희토 형광체(1종) •••••
희소금속 성형(2종) ••••
고융점/활성 금속(9종)•••
희소금속 분말(3종) ••••
희소금속 코팅(2종) ••••
전처리(1종) •••••••
글로브 박스, 건식파쇄장치, 습식나노파쇄장치, 스트립 캐스터, 수소분사 진공로, 기능성 분말 성형기
형광체합성장비
열간가압소결로, 통전활성소결장치
용융염전해정련장비, 자전연소고온합성기, 진공열처리로,
와이어제조장치, 고주파용해로, 유도용해장비, 진공유도로, 진공가압주조로, 전기로
전기선폭발장치, 아토마이저 2kg, 아토마이저 20kg
아크 플라즈마 증착기, 건식박막증착시스템
밴드쏘
기능성 분말 성형기 Magnetic forming system
탁상형주사전자현미경 Table SEM
장비담당자 : 이상현(E-mail : [email protected] / 연락처 : 032-458-5117)
■사양
•사이즈 : Max. 35mm
•가속전압 : 600 eV∼200 KeV
•전류 : 1 pA∼3 ㎂
■용도
•표면, 단면, 요철 및 조성관찰
■사양
•인가하중 : Max. 20 ton
•시편크기 : 10 mm x 10 mm
•인가자장 : 2.0 Tesla
■용도
•분말 자장 성형
■사양
•온도 : Max. 2,200℃
•용량 : 200 mm x 200 mm x 200 mm
•진공도 : Max. 10-3 torr
■용도
•수소화물 제조
■사양
•배율 : 10 ~ 1,000,000배
•이미지모드 : SEI, BSE
•분석모드 : EDS, EBSD
■용도
•미세조직분석, 성분분석, 결정분석 등
장비 속으로
‘한국희소금속산업기술센터’
분석장비
물리(7종)••••••
열물성(4종)•••••
조직(3종)••••••
성분(5종)••••••
특수분석(9종)••••
시편준비(7종)••••
입도분석기, 마이크로 분말 입도분석기, 비표면적분석기, 진동자 테스터기, 비커스경도계, 표면조도측정기, 만능인장시험기
열전도도 분석기, 고온열분석기, 시차주사열량계, 열기계분석기
금속현미경, 원자현미경, 탁상형 주사전자현미경, 주사전자현미경, 후방산란전자회절장치
유도결합플라즈마, 가스크로마토그래프질량분석기, N/OH분석기, X선 형광분석기, 휴대용 X선 형광분석기
광발광 측정기, 자외선 가시광선 분광분석기, 직류자화특성측정장치, 전위차계, 비저항 탐사 시스템, 유도분극탐사기,
팩트 세이지, 탐침위치장비, 반도체 특성 분석기
자동 연마기, 백금 코팅기, 핫마운팅기, 회전증발기, 저속정밀절단장치, 고속정밀절단장치, 원심분리기
장비담당자 : 조혜미(E-mail : [email protected] / 연락처 : 032-458-5116)
수소분사 진공로 Hydrogen spraying vacuum furnace
주사전자현미경 Field Emission Scanning Electron Microscope