在高科技廠房的污染控制系統裏有那些 · • 平均式的空氣採樣概念。...

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在高科技廠房的污染控制系統裏在高科技廠房的污染控制系統裏現階段我們所碰到的狀況及擁有的技術現階段我們所碰到的狀況及擁有的技術

有那些有那些？？


資料庫應用資料庫應用

缺角不良

對比

找出可疑兇手0

0.05

0.1

0.15

0.2

0.25

0.3

0 5 10 15 20

Concentration(μg/m3)Pr

obab

ility

y = 1.0969x - 2.5067R2 = 0.9685

-3

-2

-1

0

1

2

3

0 1 2 3 4 5

Ln(xn)

z(pn

)

統計分析


空氣採樣分析技術空氣採樣分析技術～～非即時監測非即時監測技術技術～～

• 無法立即知道空氣品質。

• 只能夠點監測。

• 平均式的空氣採樣概念。


AMC AMC OnlineOnline監測技術監測技術～～半即時監測半即時監測技術技術～～

• 可立即知道空氣品質。但是，要看當初規劃時，點位與分析儀器的匹配性。一台分析儀器所搭配的點位愈多，愈偏離即時性，因此，名之為半即時監測。

• 只能夠點監測。

• 分析儀器具物種針對性。

• 不支援某些製程特殊氣體，如：PH3、B2H6、SiH4等。


FTIR FTIR OnlineOnline監測技術監測技術～～即時監測即時監測技術技術～～

• 可立即知道空氣品質。同時可量測多種類氣體。

• 線監測。因此，無法單獨靠FTIR指認污染源的位置。

• 支援許多製程特殊氣體，如：PH3、B2H6、SiH4等。且偵測極限具應用性。

污染源氣體流動方向


FTIRFTIR診斷技術診斷技術～～即時監測即時監測技術技術與製程尾氣資料庫的結合與製程尾氣資料庫的結合～～


潔淨室氣流與潔淨室氣流與LayoutLayout關係關係

透過對潔淨室氣流與製程/AMHS Layout關連性的綜合判斷

對問題處理、監測點位的佈置、監測結果的判讀

都極具有幫助


以上所介紹的技術以上所介紹的技術不是各自獨立就是分散於不同公司不是各自獨立就是分散於不同公司

有沒有可能將以上技術有沒有可能將以上技術透過一個平台熔於一爐透過一個平台熔於一爐

？？


平台

概念概念

監測設備

數據、報表與趨勢圖

產品或工安問題

工程處理手法

資料庫

統計分析

問題 / 風險警報

行動 / 措施採取

數據收集非即時監測技術半即時監測技術

FTIR即時監測技術

分析判斷製程尾氣資料庫人為與經驗，如：潔淨室氣流與製程/AMHS Layout關連性的綜合考量

統計科學的有效分析與應用

?


系統開發架構構想系統開發架構構想在工研院能環所的研究團隊支援與協助下，目前系統的開發

構想如下：

FTIR IMS sensors 歷史監測資料庫

即時監測資訊整合平台統計分析模組統計模式

診斷平台統計分析模組統計模式

診斷結果應變控制資料庫

應變與控制策略

統計模式

統計分析模組

異常→污染源搜尋正常→現況評估


Total Purity Environment ProviderTotal Purity Environment Provider全方位純淨生產環境的提供者全方位純淨生產環境的提供者

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