Vacuum Square

연구실·기업체 탐방

33Vacuum Square

회사 소개

AP시스템은 국내 TOP 3 디스플레이 및 반도체 장비

제조 기업으로써, 특히 플렉서블 AMOLED 디스플레이

제조에 핵심이 되는 레이저 결정화(ELA, excimer laser

annealing), 레이저 리프트-오프(LLO, laser lift-off),

모듈 공정 장비 등을 주력으로 생산하고 있다.

AP시스템은 1994년에 장비 제어 소프트웨어 기업으로

설립되어 반도체장비 제어 소프트웨어인 EasyClusterTM

를 자체 개발하여 국내외 다수의 장비 제조사에 공급하였

으며 축적된 장비 제어 노하우를 바탕으로 1997년 반도체

장비 시장에 진출하였다. 200mm 웨이퍼용 급속열처리

장비(RTP)를 시작으로 본격적인 장비 기업으로 나아기기

시작하여, 중소형 LCD 장비, 300mm 웨이퍼용 반도체

공정 장비, 대형 LCD 장비로 본격적인 성장이 시작되었

고, AMOLED 분야로 사업을 확장하여 TFT 공정의 핵심

인 레이저 결정화 장비 개발을 성공하여 세계 시장 90%

이상을 차지하는 글로벌 1위 제품으로 성장시킴으로써 국

내 최고의 AMOLED 장비 기업으로 발돋움하였다.

AP시스템은 성장 과정에서 디스플레이 및 반도체 장

비 부품(제니스월드), 검사(디이엔티, 넥스틴) 등 분야의

경쟁력 있는 업체들을 자회사로 인수하여 제품 포트폴리

오를 개선하였으며, 2017년에는 보다 효율적이고 적극적

인 장비 사업 영위를 위하여 지주회사 부문(APS홀딩스)

과 장비사업부문(AP시스템)으로 인적분할을 진행하였다.

APS홀딩스는 AP시스템을 포함한 계열사들의 지주회사

역할을 수행하며, AP시스템은 글로벌 디스플레이 및 반

도체 장비 제조사로 전문화하여 각종 레이저 공정 장비,

OLED 봉지장비(Encapsulation), 반도체 전공정 및 패

키징 장비 분야를 선도하고 있다.

AP시스템은 창업 이래 일등정신, 프로정신, 모험정신

을 바탕으로 끊임없는 개발과 성공을 통해 세계적인 종합

장비 기업으로 성장을 지속해나가고 있다.

APS종합기술연구소

AP시스템의 차세대 장비는 APS종합기술연구소에

서 개발되고 있다. 진공 장비 연구를 수행하는 개발1부

문과 레이저 장비 연구를 수행하는 개발2부문으로 구성

AP시스템 소개

이재승

│연구실·기업체 탐방│

회사명 AP시스템(주)

설립일 2017년 3월 (1994년 창업 후 2017년 인적분할)

대표자 김영주

자본금 76.4 억원

총자산 4,680 억원

직원수 520 명

매출 9,624 억원 (2017년 기준)

홈페이지 www.apsystems.co.kr

사업장

본사 - 경기도 화성시 동탄면동탄 제2사업장 - 경기도 화성시 동탄면 발안지점 - 경기도 화성시 천안지점 - 충청남도 천안시 천안사업장 - 충청남도 천안시 상해 지점 – 중국 상해시베트남 법인 – 베트남 박닌시

Vacuum Square

34 진공 이야기 Vacuum Magazine │2018 12 December

되어 있는데 개발2부문에서는 AMOLED 제조를 위한

FMM(fine metal mask)을 가공하는 레이저 장비를 개발

하고 있으며 현재 1000 ppi 이상의 고해상도 구현이 가능

한 수준에 이르고 있다. 더불어 반도체 레이저를 이용한

LTPS 기판의 결정화 기술을 개발하는 등 AMOLED 제조

공정의 핵심 분야에 대한 레이저 장비 기술을 개발 중이

다.

본 글의 저자는 개발1부문을 맡아서 진공과 플라즈마를

이용하는 장비와 공정 기술을 개발하고 있는데, 플렉서블

디스플레이 구현을 위한 AMOLED 용 박박봉지 장비 개

발을 주력으로 진행하고 있다. 현재 글로벌 박막봉지 연

구센터를 운용중에 있다. 대부분의 국내외 패널 제조사들

이 양산에 적용하고 있는 6세대 2분할 기판용 박막봉지

공정이 가능하다. 무기막 증착을 위한 SiNx/SiOx 다층막

구조 증착기와 Al2O3 ALD 증착기를 개발하고 있고 유

기막 프린팅 장비가 구비되어 있어, OLED 소자상에 유

무기 다층구조 증착이 가능하다. 뿐만아니라 현재 양산에

는 적용되어 있으나 대기압 공정으로 인하여 다양한 문제

점들이 야기되고 있는 유기막 프린팅 장비를 대체하기 위

한 PoCVD 증착기를 개발하고 있는데, 진공 플라즈마 중

합 반응으로 폴리머 막을 증착할 수 있다. 진공에서 유

기막을 증착함으로써 유무기 다층구조 전체를 진공 공정

으로 수행가능하므로 파티클 발생 가능성을 현저히 줄이

고 생산성을 개선할 수 있다. 그리고 OLED 발광 소자 투

입을 위한 글로브 박스가 구비되어 있고 박막봉지 공정

후 표면 파티클 검사를 위한 AOI 검사기가 구비되어 있

어, AMOLED 소자 박막봉지 공정 및 장비 개발을 위한

“Total solution”이 구현 가능하다.

APS종합기술연구소는 다수의 석박사급 인력을 포함하

여 50 여 명의 엔지니어로 구성되어 자체적으로 장비 제

조 및 공정 개발을 수행하고 있다. 디스플레이 및 반도체

제조를 위한 첨단 장비 및 공정 기술 개발에 매진하고 있

으며, 세계 1위 제품인 레이저 결정화 장비에 버금가는

“World the Best” 제품을 만들어 나갈 것이다.