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Clean Room System

Clean Room System

Industrial Clean Room

Bio Logical Clean Room

Clean Room Instruments

Air Conditioning System

Clean Room Tec. Data

실용신안한국일보선정2003녹색에너지우수기업

Challenging for

the 21st CenturyChallenging for



































































the 21st Century

연 혁

Fine Air Tech

Clean Room System>>

크린룸 시스템

Industrial Clean Room>>

산업용 크린룸

팬필터 유니트 크린시스템

오픈 플레늄 씰링시스템

크린 터널 모듈시스템

Bio Logical Clean Room>>

바이오 크린룸

- 의약품 제조공정

- 병원 크린룸시설

- 식품제조시설

- 동물실험실

Clean Room Instruments>>

에어 샤워

크린 벤치

크린 부스

패스 박스

팬 필터 유니트

크린 락커

블로워 필터 유니트

헤파 필터 박스

릴리프 담파

프리 필터

무정전 Filter·Carbon Filter

Medium Filter

HEPA Filter

ULPA Filter

Air Filter Test

Air Conditioning System>>

이코노 공조기

이코노 항온항습기

제습장치

냉각식 제습기

건식 제습기

전외기 방식 냉방기

Clean Room 기술자료>>

산업용 크린룸 설비

의약품 제조 시설의 바이오 크린룸

식품공장의 바이오 크린룸

Tab 수행 예정서

Clean Room 운전관리 지침

24

7

17182022

25 27283032

36394042444849 505152535455 56 57

596264656667

6973788182

C o n t e n t s

2200000022000011

22000022

22000033

22000044

2. 세기공조플랜트설립

3. 사업장확장이전

6. 기계설비공사업등록

12. 에너지절약형콘트롤러외2건발명특허출원

3. 엔탈피를이용한공기조화기제어방법발명특허출원

5. (주)화인에어텍법인설립

5. 에너지사용량확인장치외4건실용신안등록

6. 공장설립등록

7. 서울지방조달청입찰등록

8. 외기의엔탈피를이용한공기조화기일본, 미국국제특허출원

8. ISO 9001-2000 인증(DAS 국제경 인증원)

8. 기계공업협동조합가입

8. 화인이코노공조기개발완료

9. 유망중소기업선정(중소기업청)

10. Q마크업체지정(한국기기시험연구원)

10. 국제크린에어텍전시회참가(공기청정협회주관)

1. 공조환경기술연구소설립인가

2. 기업부설연구소인정(한국산업기술기능협회장)

3. 당진제2공장신축허가

5. 녹색에너지우수기업(한국일보)

8. 우량기술기업선정(기술신용보증기금)

9. K마크인증(산업기술시험원장)

10. 에너지위너상수상(산업자원부/소비자시민의모임)

Company HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany HistoryCompany History

11999988

인간과환경을먼저생각하는

Fine Air Tech

화인에어텍의축적된기술과끊임없는연구개발로

21세기꿈의청정공간을실현합니다.

■ 주요납품실적

대한전선 주공장냉각설비 및 항온항습설비

우진A.C.T 안성공장Clean Room 설비

삼성코닝 구미공장Clean Room 설비

삼성전자연구소 장비실냉방설비/향 발생 공조장치

한국 코카콜라보틀링항온항습설비

신세계인터내셔날냉난방 및 공조설비

한국베링거인겔하임Clean Room 설비

테라다인 코리아반도체 정 측정 냉각설비

동신제약(주) 혈액 완제 라인

Clean Room 설비

(주)신신제약GMP시설 및 Clean Room 공사

(주)윈텍아이티 기흥공장Clean Room 시설 공사

(주)월드벨리 골프연습장건물 및 타석별 냉난방 설비공사

(주)엠텍공조 설비 공사

한국과학기술연구원(KIST) 공조기 설치 공사

삼성엔지니어링

가산동 리더스타워공조기 설치 공사

LG전자 오산공장Clean Room 설비

LG실트론 구미공장Clean Room 설비

롯데제과 김해물류센타항온설비

시스코시스템즈코리아냉방 및 공조설비

SK Telecom 냉난방 및 공조설비

백산섬유냉난방공조 및 가습설비

콜트악기 부평공장냉방, Duct 설비

(주)한국백신Clean Room 설비

(주)트로넬 오창공장Clean Room 설비

한국문화재 보호재단공조기 설치 공사

(주)알파 OPS 용인공장Clean Room 공사

하이닉스 반도체EL Clean Room 설비

신풍제약 주식회사제습실 설비공사

수원교통 정보센타ITS 공조 설치 공사

Clean Room System

크린룸시스템CLEAN ROOM SYSTEM

Fed. Std. 209E의개요(Outline of Fed. Std. 209E)

ww

w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

◆ Fed. Std. 209E등급(class) 분포 ◆ Fed. Std. 209E의 주요 개정

항 목

단 위

Class 표시

Class 분류

미소입자 계측

표준 측정 입자

샘 플 링

부 록

내 용

miter법을 주로 하고, 국 단위를 병용해서 기록

0.5㎛이상의 입자수를 10/m3로 하고, X를 Class 표시로 했다.

miter법 표시임을 명확히 하기 위해 M을 부가했다. 예를 들면,

209D에 있어서 Class 100은 100P/ft≒10 P/m3이고, Class

M3.5로 표시한다.

209D Class 1보다 청정도가 높은 Class M1 및 Class

100,000 보다 청정도가 낮은 Class M7을 추가했다.

계측에 CNC의 사용을 가능하게 하고, 그 경우 계측 입자 지름

을 0.02㎛이상으로 했다. 이 경우 표시는 Class U(X)로 한다.

U = 미소입자 계측 표시

X = 최대 허용 입자 농도 P/㎥

0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 5 micron을 기준으로 하나, 그 외의

입자 지름을 사용해도 좋다.

계측 장소에 따라 다른 샘플링 유량에 의해 계측해도 좋으나,

입자농도는 개/단위체적으로 표시할것.

샘플링 점이 10군데 이상인 경우 측정치는 단순평균으로 괜찮다.

Class M2.5보다 청정도가 높은 경우에는 계측 시간 단축을

위해 연속 샘플링을 해도 좋다.

209D의 관련규격, 용어는 삭제되고, 등속 흡인법, 초미소립자

농도 측정법, Class M2.5 보다 청정도가 높은 경우의 연속

샘플링법의 3항목이 추가된다.

◆ Fed. Std. 209의 내용변화

C.R.·W.S의 필요조건

(기류방식, 풍속, 실내압력,

온·습도, 소음, 순화횟수,

진동)

측정법

등급분류(Class 분류)

(100, 10.000, 100.000)

목차 209A와 같음

습도45% → 40±5%

표시 이외의 등급 사용 가능

화재에 대한 주의 추가

표준 풍속

90feet/min±20feet/min

↓

90feet/min±20%

포장에 대한 주의 추가

등급 1000 추가

등급의 보증장소를 작업부

상류로 한다.

청정도의 등급 분류를 주로

한다.

등급 10·1 추가

0.1, 0.2, 0.3㎛의 측정을

추가

청정도 평가에 통계적

수법을 도입

샘플링 위치, 수, 양을

명시했다.

새로운 용어 추가

검증과 모니터링을 나눈다.

S.I 단위로 했다.

등급표시 방법의 변경

M1, M7추가

U표시 추가

연속 샘플링 추가

APPENDIX

장치·필터등의 정의

C.R.설계법

C.R.·W.S 사용법

C.R.·W.S의 모니터링법

사용규율

왼쪽과 동일 왼쪽과 동일 수동에 의한 계수법

광산란식 입자 계수기에

의한 계수법

통계적 해석법

관련규격집

용 어

수동에 의한 계수법

입자 계수기에 의한 계수법

등속 흡인

초미소입자 계수법

통계적 해석법

연속 샘플링법

주) Class 상한치는, 각 Class 이름이 된다.

상한치는 지정입 이상의 농도(단위 체적당 입자수)로 표시된다.

209/209A 209B 추가 Amendment 209C/209D 209E

7

┃┃Fine Air Tech

크린룸시스템 CLEAN ROOM SYSTEM

초청정공간조성으로차세대크린룸을이끌어가는화인에어텍

20세기중엽 반도체의 모태인 트랜지스터가 발명된 후 지속적으로 발전되어온 반도체 기술은 90년대 후반부터

고집적화, 미세프로세스의시대를맞이하여현재에는 IG Dram의상용화시대를맞이하고있습니다. 따라서차세대크린룸

기술에서는 미세입자 뿐만아니라 크린룸내에 확산되는 미량의 이온, 유기미스트, 산성 및 알카리성 가스까지도 계면과

피막에 향을 미쳐서 수율과 신뢰성에 직접적으로 관련이 되기 때문에 ppb레벨(10억분의 1이하)에서 제어되어야 하며

청정관리또한TCC(Total Contamination Control) 개념의도입이필요합니다.

◆ 16M와 G bit 시대 크린룸의 사양

웨 이 퍼

크 린 룸

문제로 되는 파티클 사이즈

파티클 도

허용금속 오염

청정도 Class

순수중의 파티클

가스중의 파티클

화학약품중 파티클

공장자동화 시스템

16 M bit(현재)

0.1 ~ 0.08㎛

0.02개 / cm2

5*1010 원자 / cm2

1(0.05㎛)

1개 / ml(0.1㎛)

1개 / cf(1㎛)

1개 / ml(0.5㎛)

카세트 대기반송

G bit시대

0.04 ~ 0.001 ㎛

0.002개 / cm2

3*109 원자 / cm2

0.01(0.01㎛)

1개 / ml(0.01㎛)

1개 / cf(0.01㎛)

11개 / ml(0.1㎛)

불활성 가스반송

◆ 차세대 슈퍼 크린룸의 환경 요구기준

항 목

청 정 도

온 습 도

압 력

기 류

정 전 기

전 자 계

진 동

소 음

이 온

중 금 속

가 스

환경 요구기준

프로세스 에어리어 > Class 0.1(입자경 0.05㎛)

서비스 에어리어 > Class 100(입자경 0.1㎛)

실내환경 온도 23℃±5℃(평면분포)

23℃±0.2℃(시간분포)

습도 45%±3%(시간분포)

Thermal 챔버 온도 설정치 ±0.02℃(평면분포)

설정치 ±0.01℃(시간분포)

습도 설정치 ±1%(시간분포)

크린룸과 일반실과의 차 ±1.5~3mmAq

절대압력

일방향 역 실단면 속도 0.25~0.3m/s ±20%

필터취출속도 0.3~0.35m/s ±20%

편류각도 14。이내

웨이퍼 대전 5V이하

바닥 105Ω 이상 108Ω 이하

벽체 108Ω 이하

EB 장치 역 1mG(Gauss) 이하

일반 에어리어

포토, SEM역 0.2㎛ 이하(3~50Hz)

일반 에어리어 0.5㎛ 이하(3~50Hz)

60dB(A) 이하

반도체 디바이스 종류, 프로세스 등에 의해 한계치가 달라 단일 기준으로 표시하는 것은

어려움

향도가 높은 물질의 경우 ppb(10억분의 1레벨의 제어 필요)

8

크린룸의5원칙

크린룸을 효율적으로 사용하고 유지하기 위해서는

준수되어야할사항입니다.

설계순서Flow

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Fine Air Tech┃┃

발생된미립자를 제거(Purging)

미립자의침입을 방지(Preventing)

미립자의 누적을 방지(Protecting)

미립자의 발생을 방지(Prohibiting)

필요한 온도, 습도 및실내압을 유지(Providing)

크린룸설계의유의점

◆ 기류방식층류식(수직, 수평), 난류식, 혼류식, 터널식이 있고, 각각 장점이

있으며 사용목적을 고려해 결정합니다.

◆ 청정도Clean Room의 청정도는 제품이 요구하는 정 도에 의해 결정

됩니다. 청정도 레벨은 기류방식, 환기횟수, 실내압력 등을 충분히

검토함으로서 달성됩니다.

◆ 계획(Layout)작업성을 고려하여 청정도를 만족하도록 Layout을 결정합니다.

먼지 발생이 많은 작업은 다른 작업과 격리하고 사람, 물건의

출입구와 통로, Utility, 유지보수 등을 종합적으로 검토하는 것이

필요합니다.

◆ 구조·재료실내 표면은 가능한 한 평활하게 하고, 기류를 어지럽히거나 먼지가

쌓이지 않는 구조로 합니다. 발진이 적고 입자가 부착하기 어렵고

청소가 용이한 재료를 선택합니다. 작업 내용에 따라 내약품성,

내습성, 내화성을 지닌 소재를 사용 하는 경우도 있습니다.

◆ 부속장치Clean Room을 구성하는 주변장치에는 발진제어, 압력유지에

Air Shower(사람 입실용), Pass Box(물건 출입용),

세이프티 댐퍼(실내압력 조정용) 등이 있고, 물품, 무진복 보관에

Clean 스토커, Clean Locker 등이 있습니다. 각각의 기능을

충분히 이해해야 합니다.

◆ 사람과 물건의 관리작업자나 외부로부터 가지고 들어오는 물품은 최대의 발진원입니다.

무진복이나 화장 등을 포함해 작업자는 Clean Room화에 대한

기본지식이 필요합니다.

◆ Utility급·배수, 가스, 전기 등 에너지 공급을 위한 Utility는 기류방식,

Layout의 융통성을 고려해 정해야 합니다. 또 보수시에 청정도

저하를 초래하지 않도록 고려할 필요가 있습니다.

◆ 안전대책과 비상설비Clean Room은 폐구조이므로 화재나 가스가 새는 일 등에 대해

주의 깊은 대책이 필요합니다. 또 정전으로 문제가 되는 장치는

비상전원설비 설치를 검토할 필요가 있습니다.

●요구 표면 청정도

●제품의 온습도 특성

●내진 ●방화

●진동 ●배기 ●배선 ●배관

●경제성 평가 ●소음

●레이아웃 변경에 대한 고려

●공해대책 ●정전기 ●고장

●정전

●청소방법 ●모니터링 ●교육

청정도 결정

온습도 결정

작업 Layout

작업내용사용기계 분석

입지조건과 건축구조

설비 선정

사양서 작성

보수·관리

품질관리


9

대기중입자의크기

┃┃Fine Air Tech

0.0001 0.001 0.01 0.1 0.3 0.5 1 10 100 1,000

비분 무안 개

이스트균

담배연기

곰팡이

유연(油煙)

바이러스

사람이 볼수 있는최소의 크기 (10μm)

직경 0.3μm의 크기를 표시하며HEPA Filter는 입자를 99.97% 제거

1μm의 표시하며VLSI(1M) 선폭의 크기

아래의 크기는 사람의 머리카락 두께(100μm)와 비교하 을때의 크기를 나타낸 것입니다.

사람의 머리카락 두께 100μm

머리카락

화 분

가스분자

식물의포자

박테리아

10,000

ULPA Filter

HEPA Filter

준 HEPA Filter

중성능 Filter

Pre Filter

Air Filter의종류

용 도 특 징Air Filter의

형식 0.12-0.17㎛입자

보집효율

0.3㎛ HOT DOP 비 색 법 중 량 법

LSI공장, 병원, 제약,

연구소 등의

Clean Room용

최종 Filter

원자력시설

Radioisotope시설 등의

급배기계 최종 Filter

Building 공조용 Filter

산업플랜트의 외기처리

Filter / HEPA Filter의

전처리용 Filter

HEPA Filter·

중성능 Filter 등의

전처리용 필터

유니트형

주머니형

유니트형

주머니형

판 넬 형

0.1㎛입자 제어용

ULPA Filter

Leak Test실시

·합격품 HEPA Filter

표준형 HEPA Filter

대처리용량·저압력

손실형 HEPA Filter

HEPA Filter와

중성능 Filter의 중간

성능을 가진 Filter

Holding Frame이

부착된 주머니형

중성능 Filter

유니트형 중성능 Filter

Holding Frame이

부착된 주머니형

Pre Filter

판넬형 Pre Filter

99.99% 이상

99.99% 이상

99.97% 이상

99.97% 이상

95% 이상

90,80,60%이상

90,60% 이상

30% 이상

85% 이상

◆ Air Filter의 종류별 특성


10

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w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

청 정 도

가동시청정도

운 전 비

Layout 변경

제조장치보수

확 장 성

정 제어

방 식

M1.5~3.5

(Class 1~100)

작업자로 부터의

향은 적다.

고

용 이

Room안 혹은

ReturnSpace부터 시행

곤 란

실 전체 제어 때문에 실내

에서의 불균형 약간 있음

M3.5

(Class 100)

상류의 발진이 하류에

향을 끼친다.

중

곤 란

Room안 혹은


곤 란

상류의 발열이 하류에

향을 끼친다.

M4.5~6.5

(Class 1,000~100,000)


향 有

저

용 이

Room안 부터 시행

다소 곤란

불균형 있음

M4.5~6.5

(Class 1,000~100,000)

레이아웃에 따라 작업자로

부터의 향은 약간 有

중

용 이

Room안 혹은


곤 란

불균형 있음

M1.5~3.5

(Class 1~100)


향은 가장 적다.

중

곤 란


라인 마다 증설가능

작업자마다 고 정 도

제어가능

항 목

방 식 수직층류방식Vertical Laminar

Airflow Clean Room

수평층류방식Horizontal LaminarAirflow Clean Room

난류방식Turbulent Airflow

Clean Room

혼류방식Mixed AirflowClean Room

터널방식Tunnel

Clean Room

S.A S.A S.A S.A S.AR.A

R.A R.A R.AR.AR.A

◆ 기류방식과 장점

외기처리

저성능

필터3)

중성능 필터

고성능 필터

초고성능 필터

정전식

공기청정 장치

자동갱신형 터널필터 (건식)

멀티판넬필터 (자동선정)

정기선정형 터널필터 (건식)

소재교환형 터널필터 (건식)

정기세정형 터널필터4)

소재투입형 W형필터5)

Deep Head 주머니형


Deep Head 주머니형


이단하전식 정기세정형

이단하전식 여재집진형

이단하전식 여재유전형

필터 형식

5㎛ 이상

1㎛ 이상

1㎛ 이하

1㎛ 이하

1㎛ 이하

응분진

입자크기

적응분진

농 도1)

압력손실

(mmAq)

분진포집율(%)

중 량 법 비 색 법 계 수 법2)

분진보지

용량(gf/m2)

중~대

중

소

소

소~대

3~20

8~25

15~35

25~50

8~10

10~20

70~90

90~96

98 이상

-

98 이상

15~40

50~80

85~95

-

80~95

5~10

15~50

50~90

90 이상

99.97 이상8)

60~75

500~2,000

100~500

50~70

30~50

600~1,4009)

◆ 필터 등의 성능별 분류 및 성능의 개요


필터 등의

성능별 분류

주) 1) 분진농도 대 : 0.4~0.7mgf/m3, 3 : 0.1~0.6mgf/m3, 소 : 0.3mgf/m3 이상

2) 0.3㎛ 단분산 DOP(Dioctyle Phthalate) 입자에 의하여, 계수법으로 측정한 포집율

3) 중·고성능필터의 정전식 공기청정장치의 프리필터로서 적합하다.

4) 점착식필터

5) 여재면적 : 필터의 정면면적의 약 20배 정도의 것이 많다.

6) 여재면적 : 필터의 정면면적의 약 20~40배 정도의 것이 많다.

7) 여재면적 : 필터의 정면면적의 50~60배 정도의 것이 많다.

8) 일반적으로 일컬어지는 HEPA필터의 경우

9) 필터여재부의 분진보지용량

11

크린룸내의오염물질발생원인및제거기술

종래의크린룸에서는입자상오염물질만관리대상으로여겨졌으나최근256M Dram 이상의고집적화에따른소자의

소형화, 박막화가 진행되면서 크린룸내 암모니아, 무기가스, 유기가스, 이온 등의 가스상 물질과 이러한 가스상 물질들의

상호반응에의한변환으로생성된나노크기의초미세입자에대한오염제어의필요성이제기되고있습니다.

유해가스에 대한 제거 기술로서는 활성탄, 화학반응필터, 활성탄소 섬유필터, 이온교환 부직포, 저온 플라즈마 화학처리

기술등이있으며환경에따라성능과경제성면에서적절한방법을선택하실수있습니다.

┃┃Fine Air Tech

◆ 크린룸내 화학오염물질 및 발생원

발 생 원 주된 화학오염물질

대기오염

크린룸 구성재료

작 업 자

제조공정 재료

공장 배가스, 자동차 배가스

해염입자

농업 비료

스크러버 배기가스

콘크리트

도료, 접착제, 봉제,

가소제, 난연제

땀, 호 흡

세정 장치

노광 장치

GMP 장치

SOX, NOX, 탄화수소

NaCI

탄화수소, NH3

산, 알칼리

NH3

탄화수소, 인산 에스테르,

시로키산

탄화수소, NH3

산, 알칼리

HMDS, 유기화합물

NH3

◆ 가스상태의 오염제거법

제 거 법 적 용 예

고체표면에 의한

분 리

액상에 의한

분 리

반응에 의한

유해성의 소실

또는 저감

물리적 흡착

화학적 흡착

물리적 흡착

화학적 흡착

상온 촉매 반응

연 소 법

생물반응

활성탄에 의한 각종 가스의 흡착

활성탄에 의한 아류산 가스의 산화 (황산으로서 미세한 구멍 내에 집적)

활성탄에 의한 황화수소의 산화 (유황 및 황산으로서 미세한 구명 내의 집적)

산화철에 의한 황화수소의 제거 (황화철로 변화)

첨착활성탄에 의한 각종가스의 제거

슬폰화탄에 의한 염기성가스의 제거

이온 교환수지에 의한 염기성가스, 산성가스의 제거

물에 의한 수용성 가스의 흡수

흡수유에 의한 유용성 가스의 흡수

산 또는 알칼리 용액에 의한 알칼리 또는 산성가스의 흡수

귀금속 촉매 또는 금속 촉매에 의한 일산화탄소의 산화

금속 촉매 또는 활성탄에 의한 염소의 환원

활성탄에 의한 오존의 분해

오존 첨가에 의한 악취가스의 산화

불꽃내 연소법

화로내 송입 연소법

바이오 필터, 지중 송기법

◆ 공기오염물질의 종류와 그 제거법

종 류

가 스 상

분 진

세 균 류

제거방법

용해법, 흡착법, 흡수법, 소각법(직접소각법, 촉매산화법)

중력침강법, 원심력, 관성분리법, 세정분리법, 여과집진법, 정전침착법

여과법, 가열살균법, 소각법, 오존살균법, 자외선 살균법


12

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Fine Air Tech┃┃

◆ 화학반응제의 악취 및 유해물질 제거율

악취 유해물질 공간속도/ SV(1/h) 입구농도(ppm) 출구농도(ppm) 제 거 율(%)

SOX

NOX

NH3

H2 S

CH3 SH

(메틸멜캅탄)

CH3 CHO

(아세트알데히드)

(CH3)3 N

(트리메틸아민)

CH3 SCH3

(유화메틸)

CH3 SSCH3

(이유화메틸)

10,000

15,000

10,000

15,000

10,000

15,000

10,000

15,000

10,000

15,000

10,000

10,000

10,000

10,000

10.0

0.1

10.0

0.1

10.0

0.1

10.0

0.1

50.0

0.5

50.0

0.5

10.0

0.1

10.0

0.1

10.0

0.1

10.0

0.1

10.0

0.1

10.0

0.1

10.0

0.1

10.0

0.1

0.03

0.004

0.04

0.005

0.10

0.007

0.10

0.008

2.55

0.058

2.60

0.0063

0.01

0.006

0.02

0.007

0.01

0.008

0.02

0.009

0.01

0.007

0.52

0.013

0.2

0.01

0.2

0.011

99.7

96.0

99.6

95.0

99.0

93.0

99.0

91.8

94.9

88.4

94.8

87.4

99.9

94.0

99.8

92.0

99.9

92.0

99.8

91.0

99.9

93.0

94.8

87.0

98.0

90.0

98.0

89.0

◆ 화학첨착 탄소섬유필터(Honeycomb Chemical Filter)의 면풍속과 제거효율

면풍속 화학필터 상류측 NH3의 농도 화학필터 하류측 NH3의 농도 제거효율

0.3 m/sec

0.4 m/sec

0.5 m/sec

0.6 m/sec

186.63ppb

163.21ppb

127.13ppb

130.49ppb

0.34ppb

0.38ppb

0.16ppb

0.18ppb

99.81%

99.76%

99.87%

99.86%

◆ SPCP에 의한 반도체 크린룸의 열배기의 유해가스 분해 제거율

분 류ION Li Na NH4 K CI NO2 Br NO3 HPO4 SO4

처리전

처리후

0.18

< 0.05

33.94

18.66

565.90

1.3

11.73

9.4

415.5

42.5

33.4

1.5

1.3

< 0.1

23.2

3.4

85.5

< 0.1

240.8

21.4

◆ 이온교환 부직포 화학필터의 종류

종 류 이온교환기 제거대상가스

강산성 Cation 포

약산성 Cation 포

강염기성 Anion 포

약염기성 Anion 포

설 폰 기

카르보닐기

4급 암모니아

3급 아미노산

NH3, Na+, K+ etc

NH3, Na+, K+ etc

HCI, HNO3, SOX, HF etc

HCI, HNO3, SOX, HF etc


13

크린룸의소음·진동에대한저감대책

차세대슈퍼크린룸에서는공기청정도, 에너지절약, 온·습도의관리등과함께미진동의방지가필연적으로요구되고

있습니다. 크린룸의 미진동은 소음에 의해서도 향을 받으며 특히 반도체로 대표되는 ICR(Industrial Clean Room)내에

설치하는정 기기, 장치및광학기기등에 향을미쳐성능의저하를초래합니다.

크린룸에서의 소음 및 진동의 향을 최소화하기 위해서는 건설예정지의 상시미동, 발진기기의 건물내 전달특성 등의

예측결과를기초로진동허용치와비교하고, 필요에따라차음, 흡음, 방진, 절연및저소음, 저진동기기의선정등종합적인

대책을수립하여야합니다.

┃┃Fine Air Tech

◆ 첨단산업과 생산환경요소

산 업 대상작업 장치 생 산 품생산에 장애가 되는 환경요소 특수 플랜트

진 동 온 습 도 청 정 도 전 자 파 정 전 기 가 스 약 품 순 수

소재산업

정 미세

가공 산업

바이오

테크놀로지 산업

기 타

고순도 결정

마감 처리

레이저 가공

전자빔 묘화

노광 에칭 확산

정 NC공장

유전자조작

GLP, GMP

실험 검사

레이저 장치

통신 시설

병 원

FMS 공장

광 화이바

고순도 석

단결정 실리콘

GaAs 결정

컴팩트 디스크

비디오 디스크

직접회로

정 (광학)기기

조작된 유전자

무균 생물

전자 현미경

마이크론

초정 측정

FM 방송, 통신

CT 스캔

로봇 제어

*○

*○

*○

*○

*○

*○

*○

○

○

○

△

○

○

○

△

△

○

○

○

○

○

○ ○

△

○

○

○

○

○

○

○

△

△

△

△

△

○

○

○

주) ○ : 관련 큼, △ : 관련 있슴, * : 장시간 유지

◆ 정 장치의 예와 진동장해

진동장해 내용

인고트에 목(부분적으로 홀쭉해지는 현상)이 생겨 절단한다.

불순물, 기포가 섞여 들어옴

빔과 대상물이 어긋난다. 묘화정도가 떨어진다.

마스크 웨이퍼가 어긋남, 초점이 흐려짐 패턴의 어긋남, 둔해짐

시료와 대물렌즈의 어긋남, 흔들림 측정정도가 떨어진다.

커팅시 구간격이 어긋남

미러, 렌즈, 필터 등에 구성된 광축이 어긋남

시료와의 접촉점이 불안정

슬라이스 두께가 불균일

방위, 양각이 어긋남

가공정도가 떨어짐

정 장치(생산기기, 측정기기)

<반도체 관련>

- 단결정 인상장치

- 고순도석 생산 장치

- 전자빔 묘화장치

- 노광 장치

- 미소치수 측정장치

- CD(컴펙트 디스크)

VD(비디오 디스크)

커팅장치

- 레이저 실험장치

- 표면조도 시험장치

- 마이크로돔

- 자이로스코프

- 정 공작기기


14

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Fine Air Tech┃┃

◆ 실내환경에 대한 소음의 향

70

60

55

50

45

40

35

30

25

20

65~60

55~50

50~45

45~40

40~35

35~30

30~25

25~20

20~15

15~10

소음에 익숙해 지는데

시간이 걸린다.

소음이 무시 할 수

없다.

웅성대는 느낌이

있다.

소음을 느낀다.

사람의 움직임을

느낀다.

특별히 소음을

못느낀다.

조 용

대단히 조용하다.

고 독 감

무 용 감

큰소리로 1m 이내


큰소리로 1.5m 이내



10m 떨어져서

회의 가능

5m 앞에서

중얼거리는 소리가

들린다.

5m 앞에서

속삭이는 소리가

들린다.

1m 앞에서

속삭이는 소리가

정확히 들린다.

자기소리와

흡수되는 느낌

전화가 곤란

전화가 약간

곤란

전화에 지장 있음

전화는 가능

전화에 거의

지장 없음

전화에 지장 없음

-

-

-

-

반사행동성(발음휴

사용) 타자커펀치

반복행동성

(작업음 발생)

스템프

그룹별 대화성

(회화음 다발)

조용함

그룹내 대화성

(회화음 발생)

그룹내 사무성

(움직임 있음)

단독휴양성

그룹 전달성

단독창조성

그룹 관상성

-

무지향성수음작업

-

공조기계실

전차운행시간내

휴육관, 운동경기장,

자동차고속시차내

레스토랑 바

커피 숍

대사무실

업창구

소사무실, 설계실,

편집실

주택, 휴게실,

회의실, 화관,

재판소

서제, 병실, 극장,

음악실, 교실

음악실

청력시험실

라디오

스튜디오

무향실

청각실험실

소 음 dB(A) NC치 인휴에의 향 회화에의 향 전화에의 향허용되는

작업의 종류적 용 예

◆ 정 진동 허용기준의 분류

ClassDescrip

Facility Equipment or Use8~80Hz RMS / Vel4~8Hz RMS / ACC.

Vibration Criteria

일반적인 진동환경

정 진동 Class : A

정 진동 Class : B

정 진동 Class : C

정 진동 Class : D

정 진동 Class : E

일반작업장

사 무 실

거주지 및 Computer System

100배 정도 현미경, 로봇 수술실, Operators Room,

일반연구실 기타

400배 정도 현미경, 측정실, Optical or Other Balance

Optical Comparators 전자장비, 생산 설비 등

*검사, Probe Test, 생산지원설비 및 장치

400배 이상 현미경 정 , 안과, 신경계 수술실, 방진설비를

갖춘 광학장비, 반도체 생산설비 등

*Aligner Stepper 등 3㎛이상 선폭 노광장치

30000배까지 전자현미경 Magnetic Resonance

Imagers, 반도체 생산설비

*Aligner Stepper 등 1㎛ 선폭 노광장치 : IM DRAM 정도

30000배까지 전자현미경 Mass Spectrometer

세포이식 장치, 반도체 생산설비

*Aligner Stepper 등 1/2㎛이상 선폭 노광장치

: 4M DRAM 정도

Unisolated Laser and Optical Research System

*Aligner Stepper 등 1/4㎛이상 선폭 노광장치

: 64M DRAM 정도

4gal(변위 16㎛)

2gal(변위 8㎛)

1gal(변위 4㎛)

0.5gal(변위 2㎛)

0.25gal(변위 1㎛)

0.25gal(변위 0.5㎛)

0.06gal(변위 0.25㎛)

0.03gal(변위 0.12㎛)

0.015gal(변위 0.06㎛)

800㎛/s

400㎛/s

200㎛/s

100㎛/s

50㎛/s

25㎛/s

12㎛/s

6㎛/s

3㎛/s


15

Industrial Clean Room

산업분야의초청정공간확보

ICR이 가장 많이 적용되는 분야는 IC, VLSI로 대표되는 반도체산업이며 최근에는 신소재, 화인 케미컬 등 적용분야가

점차확대되고있습니다.

산업용 크린룸의 발전은 반도체 산업의 변화와 함께 이루어져 왔다고 해도 과언이 아니며 최근 반도체 산업의 변화가

갈수록 빨라짐에 따라 크린룸에 대한 요구조건도 점점 엄격하여 지는 추세로 미립자의 제거 뿐만 아니라 미량가스 및

소음, 진동장해등에대한종합적인대책이요구되고있습니다.

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Fine Air Tech┃┃

◆ ICR의 적용분야

크린룸이 필요한 산업분야0 1 10 100 1,000 10,000 100,000

공기청정도 ( 0.5㎛, EA/ft3)

LSI 제조 웨이퍼 공정

LSI 조립·테스트공정

실리콘 단결정품

포토 마스크

포토레지스트

일반액정(TN, STN)

디스플레이어용 액(TFT,MIN)

투 용 액정(TFT)

하이브리드 IC

프린트 기판 재료

프린트 배선판

트랜지스터·다이오드

Precision Electronic Components

HDD Head & Disk

컴퓨터·HDD 조립

비디오 테이프·플로피 디스크

사진 필름

광섬유 제조공정

미니어쳐 베어링

카메라, 안경렌즈

반도체용 제조장치

크린 파이프·밸브류

LSI 제조용 화학약품

정 측정기 제조

방진복 클리닝

인쇄·제판

산업용크린룸INDUSTRIAL CLEAN ROOM(ICR)

17

FFU System은 규격화된 유니트를 천정면에 자유롭게 설치할 수 있는 구조로 되어 있으며 현재 국내외 최고급

수퍼크린룸에적용되고있으며그밖에제조라인의부분청정도유지에도매우유용한System 입니다.

┃┃Fine Air Tech

팬필터유니트크린시스템 FAN FILTER UNIT CLEAN SYSTEM

팬필터유니트크린시스템

1) C/R의 Lay-out 변경을 자유로이 할 수 있다.

2) C/R의 청정도 변환이 자유롭다.(Class 1 ~ Class 10,000)

3) Filter 상부의 오염원이 Clean Room내로 유입이 안된다.

4) 중앙 집중식 Control에 의한 청정도 및 대수제어가 가능하며 유지 및 관리가 쉽다.

5) Unit 1대로 다양한 기류를 얻을 수 있다.

6) 저소음형이므로 흡음설비를 하지 않아도 되므로 공기 및 공사비를 줄일 수 있다.

7) 기존 건물이라도 적정한 높이만 있으면 설치가 가능하다.

8) 휴무기간 등에서 최소 Clean화 정도까지만 운전시킬수 있으므로 운전비 등을 절감할 수 있다.

9) 공사기간을 단축할 수 있다.

10) 소규모 C/R에서 대규모 C/R까지 다양하게 할용할 수 있다.

18

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Fine Air Tech┃┃

◆ FFU Unit

FFU 본체, ULPA 필터, Fan으로 구성되어 있다.

◆ Local Control Unit(LCU)

FFU 본체에 장착하여 FFU의 On/Off Control 및 고장신고를 FFU 감시반에 보낸다.

◆ AL Mould Frame

FFU 및 Ceiling Panel을 설치하여 조명기구, 경량하중 Partition, Eyelid 및 자동반송

기구 등이 직접 취부된다.

◆ Multi Control Unit(MCU)

LCU의 대수가 많은 경우 LCU를 몇개의 Group으로 묶어 HCU(Host Computer Unit)

와의 중계역할을 한다.

◆ Dry-Coil

서비스 복도의 바닥 하부에 설치해서 냉수를 이용, 순환공기의 온도조절을 하는 건타입

냉각코일이다.

◆ Wall Partition

C/R 내부를 구분하는 Wall Partition로써 Al Mould Bar Frame에 고정설치한다.

◆ LPA Filter & HEPA Filter

Gasket Type, Tight Seal Type으로 청정도에 맞게 ULPA Filter를 사용한다.

◆ Blind Panel

FFU을 설치하지 않는 천정면에 설치하는 천정 Panel이다.(Bracket로 고정한다)

◆ 조명기구(Acrylic Cover 부착형)

Al Mould Bar Frame 밑면에 취부하는 Tear Drop형 조명기구이다.

◆ FFU Monitor(HCU)

FFU의 LCU 및 MCU를 통해서 FFU를 각각 제어한다.

◆ Eyelid

Al Mould Bar Frame에 직접 취부하여 기류상황이나 청정도를 조정한다.

◆ 자동반송기구(Auto-Conveyance Equipments)

천정주행용 자동반송기기는 Al Mould Bar Frame에 직접 취부할 수 있다.

◆ System 적용에 있어서의 비교 내용

Dry-Coil에 의해 일괄제어를 하므로 전 Line이 동일하다.

FFU 자체의 진동 Level이 낮으므로 별도의 대책이 필요없다.

FFU 1대마다 층류를 확보할 수 있다.

저소음으로 별도의 소음 대책이 필요없다.

Lay-out 변경이 쉽다. 순환풍량을 쉽게 Control하여 운전할 수 있다.

대응이 용이하다.

FFU 고장시 다른 공정에 미치는 향이 적다.

시공이 용이하다.

매우 뛰어나다.

온·습도 제어

진 동

기 류

소 음

Flexibility

Maintenance

기계 고장시

기계실 면적

건물층고

팬필터유니트크린시스템FAN FILTER UNIT CLEAN SYSTEM

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┃┃Fine Air Tech

청정도 클라스 1, 10, 100의 Down Flow 방식 크린룸에서 천정면에 초고성능 필터(ULPA 혹은 HEPA)를 설치하고,

Dead Space를적게하는Ceiling System 방식으로써천정공간이낮은곳에특히유용하게적용될수있으며, Mega Bit

시대에알맞은안정된System입니다.

경년변화가 없이 안정화한 젤리상의 Sealer(Pink Gel) 또는

Silicone sealant를 사용하고 있어 Air leak(공기누설)의 걱정이

없습니다.

조명은 대전방지 아크릴카바를 씌운 Tear Drop 형광등으로

형광등 높이를 낮추어서 난류구역을 줄입니다.

Aluminum flame은 가늘고 가벼우면서도 충부한 강도를 가지고

있습니다.

프레임 접속부는 Smart하고, 외관이 우수합니다.

프레임 가공은 전체 공장에서 실시하므로 현장시공 공기가

짧습니다.

ULPA, HEPA 마감판넬의 조립에 의해 Class 1-100의 크린룸을

자유롭게 설계할 수가 있습니다.

감지기나 스피커는 Al Mould Bar에 직접 취부하므로 천정면의

필터 취부면적에 제대로 취부할 수가 있습니다.

오픈플레늄씰링시스템 OPEN PLENUM CEILING SYSTEM

오픈플레늄씰링시스템

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Fine Air Tech┃┃

◆ C-Channel & Hanging Materials용융도금된 2 C-Channel, Turn Buckle, Long Bolt, Nut및 Bolt, Washer

등으로 구성되어 있으며, 먼지발생이 없고 하중에 충분히 견딜 수 있는 구조로 되어 있다.

◆ 알미늄몰드 프레임(AL Mould Frame)필터 및 블라인드 판넬을 설치할 수 있는 몰드바로써, 조명기구, 경량판넬, 아이리드,

스피커, 감지기 등을 설치할 수 있다.

◆ 브라인드 판넬(Blind Panel)필터가 설치되지 않은 부분에 설치하는 천정 Panel

◆ ULPA Filter & HEPA FilterGel에 의해 폐가 될 수 있도록 구성된 스커트 Type 필터로써 청정도에 따라,

ULPA 필터 또는 HEPA 필터를 설치한다.

◆ 감지기(Sensor)몰드바 하부에 부착, 설치하며 기류에 방해가 되지 않는 Type으로 설치한다.

◆ 아이리드(Eyelid)기류의 평행성을 유지하기 위해 Mould Bar에 부착, 설치하며, 무정전 Type 아크릴판을

사용한다.

◆ 스피커(Speaker)몰드바 하부에 부착, 설치하며 배선은 와이어 덕트로 이용한다.

◆ Gel공기의 기 을 유지하기 위해 몰드바에 일정량을 부어 사용한다. A, B액으로 구성된다.

◆ Packing공기의 누설을 방지하기 위해 몰드바 연결부위 및 틈 사이에 사용한다.

◆ Caulking비초산계 실리콘 코킹재를 사용한다.

오픈플레늄씰링시스템OPEN PLENUM CEILING SYSTEM

◆ System 적용에 있어서의 비교 내용

Dry-Coil에 의해 일괄제어를 하므로 전 Line이 동일하다.

순환 Fan의 진동을 고려한다.

Plenum 높이를 충분히 확보하여야 한다.

별도의 흡음 시설을 해야 한다.

Lay-out 변경이 쉽다. 그러나 풍량증가는 한계가 있다.

대응이 용이하다.

순환 Fan이 고장시 전체풍속이 저하된다.

시공이 용이하다.

FFU 방식에 비하여 낮게 된다.

온·습도 제어

진 동

기 류

소 음

Flexibility

자동반송장치

기계 고장시

기계실 면적

차세대 대응

21

┃┃Fine Air Tech

크린터널모듈시스템 CLEAN TUNNEL MODULE SYSTEM(TCM)

크린터널모듈시스템

크린 터널 모듈 시스템은 비교적 건축물의 층고가 낮고 Lay-Out 등의 변경이 적은 크린룸 방식에 적합한 구조를

가지고있으며전체면Down Flow 크린룸에비교하여설비비, 운전비모두줄일수있습니다.

또Class 10~100 정도의초고청정도를유지할수있고±0.1℃의초청정온도Control도가능합니다.

◆ System의 특징

1. 초정 온도조절장치를 터널에 연결, 전풍량의 10~20%을 Control 함으로써 실온을 ±0.1℃까지 유지할 수 있습니다.

2. 각각의 시스템이 Unit화 되어 있으므로 조합이 자유롭고 조립, 증설이 용이합니다.

3. Filter는 0.1㎛, 0.3㎛용 모두 사용이 가능합니다.

4. 기류 조정은 Shutter부착 Access Flow를 설치하여 생산 장비를 설치한 후에도 쉽게 조정 할 수 있습니다.

5. 자립방식은 어떤 모양의 장소에도 설치 가능하고 건축 설비와 분리계획이 가능합니다.

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Fine Air Tech┃┃

크린터널모듈시스템CLEAN TUNNEL MODULE SYSTEM(TCM)

②

①

④

⑦

⑥

⑤

③⑧

C.T.M 폭

600-

700

유효높이

H

① HEPA or ULPA Filter

② 송풍기(Fan)

③ Eye-lid

④ Pre-filter

⑤ Access Floor

⑥ Post

⑦ Wall Panel

⑧ FL. Lamp

◆ 기본도

FiltrationEfficiency

0.12μm D.O.P ＠99.9995%0.3μm D.O.P ＠99.97%

Filter

Cleanliness

Air Velocity

Illumination

Noise

Installation Method

Floor

Panel

Fan

Power

Non-Woven Fabric-부직포 Filter

Main Filter-ULPA Filter

Class 10~100

0.2m/s~0.5m/s

500Lux

Less than 67dB(A)

자립방식 또는 천정에 메다는 방식

Al or Steel

Sandwich Panel

Sirocco Type

3 ×380/220V×60Hz

◆ Specification

23

Bio Logical Clean Room

식품, 의료, 화장품등첨단바이오테크놀러지의적용

바이오 크린룸(Bio Clean Room, 약칭 BCR)은 생물학적 오염이 제어

되는 청정실을 말합니다. 미생물을 제어대상으로 하는 BCR(Bio Logical

Clean Room)은 의약품 제조 공정의 GMP(Good Manufacturing

Practics : 우수 의약품의 제조 관리 기준)와 병원 수술실에서의 무균화의

필요성에의해발전해왔습니다.

또한식품, 화장품산업에서도점차GMP에 준하는Clean Room이적용되고

있으며 이미 레토르트 식품, 저장기간이 긴 식품(간장, 된장, 햄, 소시지 등)

의제조공정과주류와음료충전공정등에서는크린룸이적용되고있습니다.

바이오 크린룸의 응용 분야는 아래의 표와 같이 제약에서 비롯하여 병원의

수술실 또는 입원실, 실험동물 사육실, 식품제조공정, 화장품, 농업 등의

청정실과 실험자에 대한 감염방지나 오염원의 실험실 외부로의 유출을

방지하는바이오헤저드(Bio Hazard) 시설등에폭넓게응용되고있습니다.

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Fine Air Tech┃┃

◆ BCR의 적용분야

크린룸이 필요한 산업분야1 10 100 1,000 10,000 100,000

청정도 (Class)

의 약 품

항생물질

주 사 제

혈액제제

제제 포장 라인

의료용 기구·디스포자블

병 원

무균 수술실

수 술 실

무균 병실

무균 제제실

식 품

우유·유제품

식육·식육가공

반죽 제품

소주·맥주·와인

떡·두부

제과·제빵

실험동물

베리어 시스템

아이소레이터

기 타

버섯배양

관엽식물 배양

화 장 품

바이오크린룸BIO LOGICAL CLEAN SYSTEM(BCR)

25

┃┃Fine Air Tech26

◆ BCR의 주요적용 분야와 특징

적용분야

의 약 품

병 원

실험동물

사육시설

식 품

화 장 품

농업 등

바이오해저드 시설

BCR을 필요로 하는 이유와 특징

·제조공정중 약진(약진)에 의한 교차방지, 품질저하 방지

·공기환경으로부터 생물성 오염 방지

·수술실 수술중 감염 방지

·병실 면역 저하된 환자의 대기감염 방지, 화상환자의 감염 방지

·무균동물 등의 사육중 대기 감염 방지

·동물간, 사람, 동물간, 대기와 동물간 감염 방지

·동물 배설물 또는 포말에 의한 대기오염 확산 방지

·제조된 식품의 대기 오염방지로 보존기간 연장

·냉각 충전 봉등 공정의 생물오염 방지

·가열멸균 지양으로 풍미 향상

·제조중 교차오염방지, 특히 색조 화장품

·변질방지

·미생물 증식 방지

·육종 유전자 조작 교배, 발아관리시 생물 오염 방지

·생물성 위해 작업중 미생물의 확산 또는 오염 방지

* 클래스(크린룸 클래스)는 미연방규격 209 D의 청정도 상한농도( > 0.5 ㎛)ft3의 입자수)를 의미한다.주) 1) US·Fed-Std-209D 기준에 의한 크린룸에 준하는 등급은 1A와 1B로써 1A(클래스 10,000), 1B(크린벤치 내)는 클래스 100에 상당함.

2) 온도·습도 조절이라 함은 제품과 작업조건에 따라 적절히 설정할 것이지 입자도에 직접 관련 되지는 않는다. 그러나 고온 다습히면 균의 증식을 가져오므로19℃~25℃와 45%~70% RH의 조정이 필요하다. (제습조건은 보통 30%~45%RH)

◆ KGMP에서의 청정도

청정도등급

1A

1B

2B

3

*Class

100

10,000

100,000

-

해당작업실

무균조작을 요하는

제제의 원료칭량, 조제,

충전·폐쇄작업(작업대)

무균제제의 충전·폐쇄

작업(작업대)

무균제제의 무균작업

관리 구역

중앙청량실

비무균제제의 조제,

충전·폐쇄 작업실

무균실의 전실(탈의실,

준비실)

무균제제의 용기 세척실

반제품보관소

직접의 포장 작업실

청정도 1 및 2 구역을

제외한 작업소

보관소

포장실

환기회수

크린부스·벤치(1B지역

내에 설치)

최종 HEPA 필터

수직 또는 수평 층류

온·습도조절

난류형 크린룸

필터 : Pre+Med+

HEPA

양압

온습도조절

전용의 탈의실 및 준비

실(Pass Box) 설치

필터 : Pre+Med+

HEPA

분진이 발생하지 않는

경우 : 양압

분진이 발생하는 경우 :

주변 양압

필터 : 전치

환기회수

풍속 0.3~0.5m/s

(층류방식)

20 회/시 이상

10 회/시 이상

환 기

관리기준

낙하균최대시 1개/시

(9cm ф) 또는 부유균

최대치 1개/m2

무균복장


(9cm ф) 또는 부유균

최대치 20개/m2

무균복장

원료·자재의 외부소독

반입


(9㎝ ф) 또는 부유균

최대치 200개/㎡

갱의, 모자, 마스크, 수세

갱의, 수세

원료·자재의 외부청소

바이오크린룸 BIO LOGICAL CLEAN SYSTEM(BCR)

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Fine Air Tech┃┃

주) 1) 공급공기의 필터는 재순환을 할 경우 별도처리, 필터가 필요2) 제품, 용기내면을 직접 접촉하는 경우 99.99% HEPA, 클래스 100(M3.5) 이상, 단일방향류 균일유속 등 fed/std 209E

무균 구역 무균제제 비무균제제 포 장

공 정 명

청 정 도

환기 횟수

최종 필터

최종 필터 설치위치

실 내

무균제제의 여과충전, 용폐,

직접폭로되는 중요공정

클래스 100

수직일방향류

0.3m./s 이상

HEPA(DOP 99.97%)

필터 천정

2mmAq 이상

(양압 24시간 유지)

주사약, 항생물질, 점안제,

무균성 연고의 제조

클래스 10,000

20회/h 이상

HEPA(DOP 99.97%)

흡출구

2.0~1.5mmAq

(양압 24시간 유지)

고형제제의 조립, 충전,

타정, 코팅

클래스 100,000

10회/h 이상

준HEPA 이상(DOP 95%)

공조기내

1.5~1.0mmAq

PTP 포장

가시진의 없음

5~10회/h

중성능(NBS 90% 이상)

공조기내

1.5~1.0mmAq


의약품제조공정

의약품제조공정관리는GMP(Good Manufacturing Practice : 우수의약품재조관리기준)이란법규에의해관리

됩니다. 이는 세계각국이 국가별 기준을 가지고 있으나, WHO GMP 또는 ICH(International Conference on

Harmonization) 등에 의해 국제적으로 통일 되어가는 경향입니다. 우리나라에서도 아래의 표와 같이 KGMP를 설정하여

의약품 제조 공정을 관리하고 있으며 동물시험(전임상시험)과 인체시험(임상시험)을 거쳐 국가에 의해 허가 될 때 기준과

시험방법이정해지며이규격대로제조되고시판후관리및재평가됩니다.

◆ 청정도와 환기횟수

레 벨Ⅰ제어 항목 레 벨Ⅱ 레 벨Ⅲ a 비무균 레벨 Ⅲ b 비무균

온 도

RH

청정도 클래스

공급공기

환 기

차 압

음압(확산방지 제품)

검 증

기온(관리 없음)

대기온도 레벨(관리 없음)

구분 없음

30% ASHRAE

(방독위생 등의 별도규정)

관리 없음

관리 없음

불 요

제품, 공정특성에 따라 결정


구분 없음

30% ASHRAE (1)

(방독위생 등의 별도규정)

제품을 보호

음 압

제품, 공정특성에 따름



구분 없음

클래스 100,000

85% ASHRAE (1)

10~20

기류방향을 규정

전실에 대하여 음압




클래스 100(M3.5)/주도

클래스 10,000(M5.5)

HEPA

20 이상(2)

0.05~0.06인치 (수압)

양압으로 유리

0.05~0.06인치 (수압)

샌드위치 차압

환기회수, HEPA, 미립자,

생균수, 그외 제품,

공정특성에 따른 항목

◆ 바이오 크린룸 공조 설계의 필요조건

실압제어 (1) 실압제어 (2)

기류의 흐름

설명도

특 징

실압관리

청정도관리

적 용

각 작업실을 청정복도보다 부압으로써 교차 오염을 방지

관리가 쉽다.

청정복도의 공기가 각 작업실에 흐르기 때문에

청정복도에서의 작업·작업원의 동선 등의 관리 수준 증가

바이오해저드 항생물질제제

→ 기류방향 → 청정복도 → 작업실 → 일반구역 → 기류방향 → 작업실 → 청정복도 → 일반구역

각 작업실을 청정복도보다 정압으로 하여 각 작업실의

청정도의 유지를 안정하게 한다.

관리가 어렵다.

보다 관리하기 쉽다.

무균제제

◆ 대표적인 실간압제어 방식과 특징

27



병원크린룸시설

최근 병원에서는 원내감염, 수술중이나 수술후의 2차 감염, 더 나아가

환경오염의관점에서미생물제어문제가중요한과제중하나로다루어지고

있습니다. 특히 면역 억제제의 향으로 감염에 민감해진 환자나 항암제

투여환자, 백혈병 환자 등의 병실이나 화상 치료중인 환자, 신생아실 등도

청정실이 이용됩니다. 근래에는 병원내 감염의 증가로 인해 병원 전체가

청정실화 해가는 경향이 있으며 통상 채택되고 있는 병원내 각 실의 실내

온·습도조건은아래의표와같습니다.

◆ 병원내 각실의 실내 표준적 온·습도 조절

실 명 외기도입량 실 내 압온 도(℃) 습 도(%) 온 도(℃) 습 도(%)

하 계 Vibration Criteria

외래진료부문

진 료 실

외래검사실

외래처치실

대 합 실

관리사무부문

일반사무실

회 의 실

의 국

병동부문

병 실

병 실

처 치 실

검사실험부문

기재준비실

소 독 실

마 취 실

수 술 실

회 복 실

분 만 실

신생아실

미숙아실

X선실

약 국

시 체 실

안 실

일반실험실

암 실

세균실험실

전염병동

전염병동

전염병진찰실

전염병처치실

서비스부문

종업원대기실

직원화장실

린렌창고

매 점

26

26

26

26

26

26

26

26

26

26

25

25

23~25

25

25

26

26

26

26

27

25

25

26

10~26

26

26

26

26

26

26

26

50

50

50

50

50

50

50

50

50

50

50

50

55~60

55~60

55~60

55~60

55~60

55~60

50

50

50

50

50~60

50

40~70

50

50

50

50

50

50

50

23

23

23

21

21~22

21~22

22

22~23

22~23

22~23

22

22

23

24~26

25

24

24

24~25

23

23

21

21

22

22

10~22

50

23

23

21~22

21~22

21

21

40~50

40~50

40~50

45

45

45

45

45~50

45~50

45~50

50~55

50~55

50~55

50~55

50~55

50~55

50~55

50~55

45

45

40

40

45~50

45~50

40~70

45~50

45~50

45~50

45

45

45

45

25%

25%

25%

25%

20~25m3/h·인

20~25m3/h·인

20~25m3/h·인

25%

25%

25%

100%

100%

100%

100%

100%

100%

100%

100%

25%

25%

25%

25%

25%

25%

100%

100%

100%

100%

20~25m3/h·인

20~25m3/h·인

20~25m3/h·인

20~25m3/h·인

양 압

양 압

양 압

타실과균형

타실과균형

타실과균형

타실과균형

양 압

타실과균형

음 압

양 압

양 압

양 압

양 압

양 압

양 압

양 압

양 압

타실과균형

양 압

양 압

양 압

양 압

타실과균형

음 압

음 압

음 압

음 압

타실과균형

타실과균형

타실과균형

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Fine Air Tech┃┃

◆ 청정도에 따른 Zoning과 환기 조건

고청정구역

청정구역A

청정구역B

준청정구역

일반구역

오염확산

방지구역

오염구역

층류식 바이오

크린 수술실

수술실, 응급수술실

중증신생아실,

무균제제실

미숙아실, ICU,

분만실, 특수병실

외래진료실, X선실

검사실, 병실

사무실, 약국,

일반식당

미생물검사실,

MRI 검사실,

감염증병실, 해부실

일반화장실

세탁분류실

100

1,000

10,000

10,000

-

-

-

25

25

25

25

25

-

-

55~60

55~60

55~60

55~60

55~60

-

-

24

24

24

24

24

-

-

55

55

55

55

55

-

-

30

30

30

30

30

-

-

30

10

3~4

2~3

1.5~2

10~15

-

200

~400

50

20~30

10~20

4~6

배기 10

배기 10

양 압

양 압

양 압

양 압

등 압

등 압

음 압

음 압

음 압

×

×

×

○

○

×

×

DOP계수법

99.97%이상

DOP계수법

95~99.97%

비색법

60% 이상

비색법

60% 이상

비색법

60% 이상

비색법

60% 이상

-

-

수술실은 무균

수술, 청정수술,

비청정 수술구역

으로 구분한다.

-

각과마다

Zoning한다.

-

-

-

◆ 각 질병에 대한 필요조건

병 명 필요이유 적합한 병실의 종류 청 정 도 온 도(℃) 습 도(%) 실내압력 필요설비, 비품

급성 백혈병

열상치료

조직이식

강약치료

알레르기성

호흡기질환

연 역

불완전병

재생불량성

빈 혈

인플루엔자

중증 감염증의 예방

개방요법시 감염방지

면역억제제의 투여에

의한 저항력 강화

강력약품 투여에

의한 저항력 대응

유해약품 투여에

의한 저항력 대응

환자 자신의 저향력

결함 감염방지

감염방지

감염방지

수직, 수평공조방식

건축:후레아브 필터묘듈,

단 1~3개월간 생활

하므로 어느정도의

바닥 면적이 필요

수직공조방식

건축:후레아브 필터묘듈

수직, 수평공조방식

건축:후레아브, 장기생활

을 할 수 있도록

넓은 장소가 필요

조직이식과 같음




수직방식

건축:후레아브 필터묘듈

100

100~1,000

100~1,000

100~1,000

100~1,000

100

100~1,000

100~1,000

22~26

24~35

22~26

22~26

22~26

22~26

22~26

22~26

50~60

40~50

(60~75)

50~60

50~60

50~60

50~60

50~60

50~60

+

+, -

+

+

+

-

+

+

의료 Gas, 콘센트, 화장실,

세면기, 멸균수, 제조기,

양욕조, 실내멸균설비

멸균 Pass Box, 공조기,

TV, 모니터단자


세면기 오물방류 시설,

수치료, 설비, 멸균 Pass

Box, 공조기, TV, 모니터

단자, 히터

급성 백혈병과 같음






세면기, 샤워, 공조기

청정구역 실 명

청정도(공기중의미생물수

C.F.U/m3)

온·습도여 름 겨 울

온 도(℃ DB)

습 도(% RH)

온 도(℃ DB)

습 도(% RH)

실 내

소 음

(N/C)

최 소

외기량

(회/HR)

최 소

전용량

(회/HR)

실내압실내순환

기기설치

최종필터의

효 율비 고

주) Note : 일반구역 중 주방, 세탁실은 배기 20회/HR


29

식품제조시설


바이오크린룸

식품공장에서의바이오크린룸기술은가공식품의제조공정중열멸균

시에 식품의 고유풍미나 양가의 상실을 방지하기 위하여 필요하며, 특히

방부제의 사용이 기피되는 현실에서 미립자와 미생물의 오염을 관리하기

위해청정기술을응용하고있습니다. 미국을위시하여각국에서식품공장의

제조 관리 기준으로 HACCP(Hazard Analysis and Critical Control Point

위해요소 중정관리기준)를 채용하고 있고 우리나라도 점진적으로 시행되고

있습니다.

특히 가열가공후 개방 냉각 공정이나, 용기에 봉입하는 공정에서의 오염

관리가중요하며업종과작업공정에따른청정도는우측의표와같습니다.

BIO LOGICAL CLEAN SYSTEM(BCR)

◆ HACCP System 구성요소

◆ HACCP 적용

원재료의 생산, 식품의 제조, 가공 및 최종소비에 이르기까지의 모든 단계에

있어 위해 요소를 분석·평가하여 예방할 수 있는 관리방법 확립

HACCP PLANSSOP

(Sanitation Standard Operation Procedures)

GMP(Good Manufacture Practice)

SOP(Standard Operation Procedures)

HAZARD Analysis : 위해분석

위해를 제거하거나 또는 발생의 가능성을 최소한으로 억제시키기 위하여중점 관리하여야 할 개소(Point), 단계(Step) 또는 공정(Procedure),결정(CCP 설정)

Critical Control Point 중점 관리점

CCP가 적절하게 관리되고 있는지를 확인하기 위하여 가장 적절한

관리기준 설정Critical Limit : 한계기준

CCP의 관리 상태를 Monitoring하기 위한 계획적인 측정 및 관찰 제도 확립Monitoring : 모니터링

Monitoring에 의하여 특정의 CCP가 관리 기준에서 벗어날 경우에 조치해야

할 개선 방법Corrective Action 시정 조치

HACCP 제도가 정상적으로 운 되고 있는지의 여부를 검증하기 위한 방법Verification : 검증

상기 원칙 및 그 적용에 관계되는 모든 방법 또는 기록에 관한 문서 보관

제도 확립Documentation : 문서

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Fine Air Tech┃┃


◆ 식품공장의 청정도 구분 배치

청정도 구분 공기의 흐름 식품의 흐름

입 하

플랫트홈

사람의 흐름

오염구역

준청정구역

(100,000~300,000)

청정구역

1,000~100,000

준청정구역

100,000~300,000

오염구역

0.5mm H2O

0.5mm H2O

대기압

0mm H2O

냉장고 보관(-25℃~5℃)겉포장 벗기기

패스박스전처리(조리가공)급속냉동(-45℃)

내포장재

출하단

포 장

제품보관냉장고

-25℃~-5℃

플랫홈

패스박스방냉 조정

내포장23℃이하

65% RH 이하P/B

◆ 식품공장의 청정도

업 종

어육가공

식육가공

과 자 류

음료공장

낙농공장

유 제 품

잼 공 장

떡 공 장

국수공장

반찬김치공장

설 탕

간장된장

농 업

1,000

10,000

10,000

1,000~10,000

10,000

10,000

100,000

10,000

1,000

10,000

10,000

10,000

10,000

1,000~10,000

10,000

10,000

10,000

10,000

10,000

1,000~10,000

1,000~10,000

10,000~100,000

100

10,000

1,000~10,000

100

어묵 냉각실

어묵 포장실

햄버거 사입

햄버거 냉각

햄버거 포장

햄 포장

햄 포장전실

소시지 포장실

카스테라 포장

전병 포장

생과자 생크림제조

유산균청량음료충전실

과즙음료 충전실

우유 충전실

분유 건조실

치즈 작업실 포장실

아이스크림 충전 포장실

버터 마가린 포장실

충 전 실

방냉포장실

냉각포장실

포 장 실

정 제 실

무균 포장실

표고버섯 배지방냉

표고버섯 종균접종

작업공정 청정도 클래스

실 압

1.0mm H2O

0mm H2O

갱 의

AS

A/S

순 서P/B

W/C

31



동물실험실

◆ 동물사육실의 온·습도기준 및 탈취에 필요환기량

동 물 종

생 쥐

쥐

햄 스 터

기 니 픽

토 끼

고 양 이

개

몰 모 트

닭

장 류

(Nonhuman

Primate)

온 도

Ashrae 1) 편 람2) 실험동물 한마리당의 환기량(Ashrae , 1978)

18~26

18~26

18~26

18~26

18~21

18~29

18~29

18~29

습 도

40~70

40~70

40~70

40~70

40~60

30~70

30~70

30~70

온 도

21~27

21~27

21~23

21~23

16~24

21~24

18~24

18~29

습 도

40~0

40~0

40~0

40~0

40~5

40~5

40~5

40~60

중 량(g)

22

250

120

~3,630

~3,630

10,440/22,700

350

2,000/4,000

~5,450

점유공간3)(m3/필)

9.62×10-4

3.34×10-3

1.87×10-3

0.116

0.170

1.02/1.27

1.16×10-2

5.66×10-2

0.283

환기량(m3/h·필)

0.25

1.4

0.7

21

21

92/128

2.0

12~23

31

주) 1) Ashrae : Handbook, 1982 Applications, 1982, p.14.142) 일본공기조화위생공학회 : 일본공기조화위생공학편람, 제10판 1980 (Ashrae : Guide and Data Book. Application) 1978년 인용3) 점유공간은 1필당의 실용적을 나타냄

(단위:℃)

AC : 오토 클레이브 SL : Still lock

EOG : 가스멸균 차압단위 : mmH2O(대외기)

◆ 배리어 시스템의 차압 계획의 예

AC : 오토 클레이브 SL : Still lock

차압단위 : mmH2O(대외기)

◆ 감염 사육실의 차압 계획의 예

신의약품의 연구나 약효검증을 할때 인체에 직접 임상하기 전에 동물

시험을하게되며이를전임상시험이라고합니다. 동물종류별온·습도및

환기조절이필요하며감염의방지등을위해청정실기술이응용됩니다.

공기청정방식은 격리기(Isolator), 차단시스템(Barrier System), 개방시스템

(Open System) 등 차압의 활용이고 HEPA Filter를 활용한 난류형이 주종을

이룹니다.

배기측에 오염방지를 위한 바이오 헤저드 시설이 있어야 되고, 전체적으로

소음이 적고 무정전 완전 가동을 위한 시설이라야 되며 이규격은 각국마다

GLP(Good Laboratory Practice)에의해관리됩니다.

Clean Room Instruments

① 건물벽

② PARTITION

③ 전실 DOOR

④ 창

⑤ 특수물품 반입품

⑥ RELIEF DAMPER

⑦ PASS BOX

⑧ AIR SHOWER

바른 마음으로!최최고고를를향향한한집집념념과과완완벽벽을을추추구구하하는는장장인인정정신신으으로로!!2211세세기기TToottaall CClleeaann RRoooomm SSyysstteemm의의새새로로운운지지평평을을열열어어가가겠겠습습니니다다..

2

1

23

12 11

19

18

21

9

8

17

20 22

3

CLEAN LOCKER

AIR SHOWER

CLEAN BENCH

⑨ CLEAN BOOTH

⑩ PANEL

⑪ CLEAN BENCH

⑫ RETURN GRILL

⑬ 조명등

⑭ HANGER

⑮ 천정보강 I-BEAM

⒃ HEPA FILTER UNIT

⒔ SUPPLY DUCT

⒕ RETURN DUCT

⒖ ROUND MOLD(AL)

⒗ 바 닥

(21) AIR HANDLING UNIT

(22) DAMPER

(23) CLEAN LOCKER

(24) RACK

FINEAIRTECH Clean Room System

16

1324

4

5

6

7

15

1410

HEPA FILTER UNIT

CLEAN BOOTH

PASS BOX

RELIEF DAMPER

Air Shower(Personal Air Shower 표준(Side Return))

본장치는Clean Room에입실시외부로부터의오염물질이유입되는것을방지하기위하여인체에부착된분진이나

미생물류를고속의청정공기로세정제거하는Clean Up 장치입니다.

┃┃Fine Air Tech

Type

A

B

C

W1

800

800

800

W2

1,500

1,500

1,500

H1

1,950

1,950

1,950

H2

2,200

2,200

2,200

D

1,000

1,500

2,000

◆ Dimension

Type A B C

Filter Efficiency 0.3㎛ DOP Test 99.97%~99.99%

Filtering Element Pre Filter-Non Woven Fabric Filter, Main Filter-HEPA Filter

Air Velocity(M/S) 25m/s Over

Air Volume(CMM) 17 34 34

Number of Nozzles(EA) 14 28 28

Body Oven Baked Melamine Coated Finish

Showering Time 1~30sec(Adjustable)

Operation Sensor Touch, Air jet(Auto/Man) Fan Timer

Power Source 3 ×380/220V×50/60Hz

Fl. Lamp 20w×1EA 40w×1EA 40w×1EA

◆ Specification

에어샤워 AIR SHOWER

W2 D

550 150

200

50H

1 H2

W1

36

본장치는Clean Room Lay-out에대응하여입, 퇴실을자유롭게할수있도록구성된장치입니다.

Air Shower(Special Type Air Shower)

ww

w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

◆ L-Type : 전측과 좌 또는 우측 2면에서 입, 퇴실

◆ T-Type : 전측과 좌 또는 우측 3면에서 입, 퇴실

T-Type

L-Type

Type

L-Type

T-Type

W1

800

800

W2

1,600

1,600

H1

1,950

1,950

H2

2,200

2,200

D1

1,000

1,000

D2

1,400

1,500

◆ Dimension

에어샤워AIR SHOWER

W2 D2

550 250 250 150D1

200

50H

1 H2

W1

H2

H1

W2 D2D1150 150W1

37

대물용(Auto Door) Air Shower

┃┃Fine Air Tech

에어샤워 AIR SHOWER

외형치수(mm)

A

B

C

D

W1

900

1200

1500

1800

W2

2350

2650

3050

3550

D1

1500

1500

1500

1500

D2

1800

1800

1800

1800

H1

2030

2030

2030

2030

H2

2250

2250

2250

2250

◆ Dimension

W2

D2

D1200 200

850

250

H1H

2

850W1

물건및대차의출입이용이하도록바닥이없고Auto Door로개폐합니다.

38

ww

w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

크린벤치CLEAN BENCH

Standard Horizontal Clean Bench

수평층류형은작업Table위의먼지및오염입자의발생을신속히제거시킬수있는장치이며, 청정공기를수평층류로

흘려서청정한국부작업공간을만드는특수한장치입니다. 광학, 전기, 물리적검사에많이사용됩니다.

Type

W

H

H′

FACB-1000

1,000

700

1,720

FACB-1300

1,300

700

1,720

FACB-1600

1,600

700

1,720

FACB-1900

1,900

700

1,720

Air Velocity(m/s Filter 하단 100mm에서 0.35m/s ± over

Air Volume(CMM) 20 26 32 38

Illumination 100Lux

Noise(dB(A)) < 65

Vibration(㎛) X, Y, Z축 < 3

Filter Efficiency(%) 0.3㎛ DOP Test 99.97% 이상 0.1㎛ 99.99% 이상 선택

Fl.Lamp 20w×4EA 20w×4EA 40w×4EA 40w×4EA

Power & Consent 3 ×380/220V×50/60Hz, 1 ×220/110V×15A×2

Power Consumption(W) 280 380 460 460

Table PLY Wood+HPM Coating

Weight(kg) 220 250 280 300

Type FACB-1000 FACB-1300 FACB-1600 FACB-1900

◆ Dimension

◆ Specification

W 1000100 500 400

H

H′

400

570

39

Clean Booth(이동형-수직층류)

Clean Room 내에서 국부적으로 고청정도를 필요로 하는 곳에 사용하며, 천정면에 설치하는 Type과 Structure에

설치하여이동이가능한Type 등이있으며, Lay-out 변경에따라적응력이우수합니다.

┃┃Fine Air Tech

Type FACB-1500 FACB-1800 FACB-2000

Air Velocity(m/s) Filter 하단 100mm에서 0.4m/s ± 10%


Illumination 100Lux

Noise(dB(A)) < 65



Fl.Lamp 40w×2EA 40w×3EA 40w×4EA


Power Consumption(W) 380 720 760

Weight(kg) 250 310 370

◆ Specification

Type

FACB-1500

FACB-1800

FACB-2000

A

1,500

1,800

2,100

B

950

1,200

1,500

C

1,500

1,800

2,000

◆ Dimension

크린부스 CLEAN BOOTH

A

B

C

40

ww

w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

Type FACBH-1500 FACBH-1800 FACBH-2000



Illumination 100Lux

Noise(dB(A)) < 65



Fl.Lamp 40w×2EA 40w×3EA 40w×4EA


Power Consumption(W) 380 720 760

◆ Specification

Type

FACBH-1500

FACBH-1800

FACBH-2000

A

1,500

1,800

2,100

B

950

1,200

1,500

◆ Dimension

Clean Booth(현수형-수평층류)

크린부스CLEAN BOOTH

41

Pass Box

Clean Room의 벽체에 설치하여 재료나 물품의 출입중에 발생하는 오염을 최소화하여 고청정을 유지하기 위한

장치이며물품의양이많을경우Conveyor 설치 Type으로도제작가능합니다.

┃┃Fine Air Tech

Type 표 준

Exterior Oven Baked Melamine Coated Finish

Interior STS(304)

Window Safety Glass (무색투명) 5t

Interlock Mechanical

Power -

Others -

◆ Specification

Type

FAPB-1

FAPB-2

FAPB-3

W1

305

405

505

W2

510

610

710

H1

420

420

620

H2

500

600

700

D

400

500

600

◆ Dimension

패스박스 PASS BOX

W2 DW1

H1

H2

42

Showering Type Pass Box

ww

w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

Type FAPB-S1 FAPB-S2 FAPB-S3

Air Velocity(m/s) 0.25 ± 10%

Air Volume(CMM) 6.5

Noise(dB(A)) 65

Filter Efficiency(%) 0.3㎛ DOP 99.97% 이상 or 0.1㎛ 99.99% 이상, 선택


Power Consumption(W) 375

Weight(kg) ≒ 250

◆ Specification

Type

FAPB-P1

FAPB-P2

FAPB-P3

W1

500

750

500

W2

850

1,100

850

H1

500

500

750

H2

1,500

1,500

1,750

◆ Dimension

패스박스PASS BOX(S)

W2

D

W1

H2

H1

43

Fan Filter Unit

┃┃Fine Air Tech

팬필터유니트 FAN FILTER UNIT

①③⑬

⑥ ⑤

⑨ ⑪ ⑦ ⑧ ⑩ ⑫

②

250

15

1172

FFU System은 규격화된 유니트를 천정면에 자유롭게 설치할 수 있는 구조로 되어 있으며 현재 국내외 최고급

슈퍼크린룸에적용되고있으며, 그밖에제조라인의부분청정도유지에도매우유용합니다.

No.

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

Description

Carrying Handel

ULPA Filter

Over Casing

Side Casing

Bell Mouth

Safety Cover

Motor

Impeller

Fan Housing

기류 조절판

Motor Support

혼용 Guide

단자 Box

No.

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

13

Material

SS41

SEE SPEC.

AL.

AL.

AL.

SCP.

AL.

PE FORM

AL.

AL.

AL.

AL.

Dimension

10

1.5t

1.5t

1.5t

100W

1.0t

2.0t

1.0t

1.5t

◆ Specification

■ Standard Type HFU 600(L)×600(W) (2′×2′) Classification AC DC RemarkModel HFU 606

Grid(Mould Bar) 600×600(2′×2′)

Dimension(mm) 572(L)×572(W)×250~330(H)

Power 1 200V~230V 60Hz 1 200V~240V 50/60Hz Additional

Ex.StaticPressure(mmAq) 9 Standard

Air Velocity(m/s) 0.25~0.45 Dimension 가능

Power Consumption(W) 80~125 45~70

Current(A) 0.40~0.63 0.22~0.35

Noise[dB(A)] 47~53 44~50

Filter Spec.ULPA : 99.99% HAPA Filter

15CMM at 9.5mmAq Applicable

Weight(Kg) 18 16 Excluding Filter

Classification AC DC RemarkModel HFU 906

Grid(Mould Bar) 900×600(3′×2′)

Dimension(mm) 872(L)×572(W)×250 ~ 380(H)


Ex.StaticPressure(mmAq) 9 Standard

Air Velocity(m/s) 0.25 ~ 0.45 Dimension 가능

Power Consumption(W) 80 ~ 135 50 ~ 85

Current(A) 0.40 ~ 0.67 0.25 ~ 0.43

Noise[dB(A)] 46 ~ 53 44 ~ 52

Filter Spec.ULPA:99.99% HAPA Filter



■ Standard Type HFU 900(L)×600(W) (3′×2′)

※ AC:3 , 50Hz Applicable


44

ww

w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

팬필터유니트FAN FILTER UNIT


Grid(Mould Bar) 1200×600(4′×2′)

Dimension(mm) 1172(L)×572(W)×250 ~ 330(H)


Ex. Static Pressure(mmAq) 9 Standard



Current(A) 0.47 ~ 0.75 0.33 ~ 0.55

Noise[dB(A)] 48 ~ 54 45 ~ 53







Grid(Mould Bar) 1200×900(4′×3′)

Dimension(mm) 1172(L)×872(W)×250 ~ 330(H)





Current(A) 0.60 ~ 0.80 0.40 ~ 0.65

Noise[dB(A)] 50 ~ 56 48 ~ 55





Grid(Mould Bar) 1200×1200(4′×4′)

Dimension(mm) 1176(L)×1172(W)×250 ~ 330(H)





Current(A) 0.8 ~ 1.0 0.45 ~ 0.85

Noise[dB(A)] 52 ~ 58 50 ~ 57





Grid(Mould Bar) 1500×750(5′×2.5′)

Dimension(mm) 1472(L)×722(W)×250 ~ 330(H)





Current(A) 0.60 ~ 0.80 0.40 ~ 0.7

Noise[dB(A)] 50 ~ 56 48 ~ 55






■ Standard Type HFU 1500(L)×750(W) (5′×2.5′)




45

┃┃Fine Air Tech

팬필터유니트 FAN FILTER UNIT

BLDC FFU Control System

Ether-Net(TCP/ IP) *Option*

Control Room

LAN Network

Local

Client #1

HCU

COM1

LPT1

RS48RS232 / 485Convertor

RCUBLDC#01

MCUBLDC#01

MCUBLDC#20

RCUBLDC#32

Printer

Channel 1LIU 1FFU 1

LIU 2FFU 2

LIU 32FFU 32

Channel 2

Channel 2

Client #2

LIU 33FFU 33

LIU 34FFU 34

LIU 64FFU 64

LIU 33FFU 33

LIU 34FFU 34

LIU 64FFU 64

RS48

46

ww

w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

팬필터유니트FAN FILTER UNIT

System Ceiling Isometric

◀FFU System ◀Ceiling Grid

Cross Joint T - Joint

Corner Joint Straight Joint

47

Clean Locker

본 장치는 Clean Room내에 출입하는 작업자의 의복(무진복)을 보관하는 것으로 의복의 청정화와 그 오염 방지를

위한장치입니다.

┃┃Fine Air Tech

Type

A

FACL-A

900

FACL-B

1,200

FACL-C

1,500

FACL-D

2,000

◆ Dimension


Air Volume(CMM) 6 6 10 13.3




Power Consumption(W) 220

Type FACL-A FACL-B FACL-C FACL-D

◆ Specification

크린락커 CLEAN LOCKER

A

2300

600

48

Blower Filter Unit

Blower Filter Unit는 Filter 유니트에소형Blower가부착되어있으며, Duct 연결 Type 및자체순환Type이있습니다.

ww

w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

형 식

FABFU-30

FABFU-50

A

1220

1220

B

670

670

H

750

950

◆ Dimension

Filtering

Efficiency

Filter

Air Volume

Body

Power

동 력

0.3㎛

DOP 99.97%~99.99%

HEPA Filter

약 30CMM

Baked

Melamine Coated

3 220 / 380V×60Hz

0.4kW

0.3㎛

DOP 99.97%~99.99%

HEPA Filter

약 50CMM

Baked

Melamine Coated

3 220 / 380V×60Hz

0.7kW

Type FABFU-30 FABFU-50

◆ Specification

블로워필터유니트BLOWER FILTER UNIT

A

B

H

49

HEPA Filter Box

┃┃Fine Air Tech

Clean Room의청정도HEPA Filter의포집효율및환기횟수즉부착방법과설치댓수가Clean Room의성능을크게

좌우합니다. 특히 HEPA Filter는 0.3㎛입자 99.97~99.99%의 높은 효율을 갖고있기 때문에 Unit에 미세한 틈이 있어도

충분한 성능을 발휘치 못합니다. 당사의 HEPA Filter Unit는 실적과 경험을 토대로 특수접합공법 및 용접 등으로 완전하고

합리적인Unit가제작되고있습니다.

헤파필터박스 HEPA FILTER BOX

FAHF-1011

FAHF-1012

FAHF-1013

FAHF-1014

FAHF-1015

FAHF-1016

FAHF-1017

FAHF-1018

FAHF-1019

FAHF-1020

305×305×150

610×305×150

610×610×150

610×610×292

610×760×150

640×760×292

610×915×150

610×915×292

610×1220×180

610×1220×292

4

8

17

32

20

40

25

50

32

60

375

680

680

680

680

680

680

680

680

680

375

375

680

680

830

830

990

990

1320

1320

450

450

450

550

450

550

450

550

550

600

ModelHEPA FilterSize(mm)

풍 량(m3/min) W D H

Size

◆ Specification

H

W D

STS 1.2T

250

50

Relief Damper

실내의정압을일정하게유지하고공기의흐름방향을제어하며실내외또는인접실과의공기차압을제어하는기기로

실외오염공기가Clean Room을오염시키는것을방지합니다.

ww

w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

Type A B C D F

190 280 245 226 20

250 340 302 285 25

A=Wall Thickness(mm)

◆ Dimension

TypeWall Open Size Wall

190 250 Thickness

Size 255H×255W 312H×312W40~75mm조절

(10mm이상 조립기능)

릴리프담파RELIEF DAMPER

E AB

D C B

51

PRE Filter

1. 세척해서 재사용 할 수 있다.

2. 수요자의 요구에 맞추어 어떠한 규격으로도 제작 가능하다.

3. 난연성 Filter로 제작가능하다.

1. Air Handling Unit 및 일반공조기용

2. 외기도입 및 배기 Filter용

3. Medium Filter의 전처리용으로 이용된다.

◆ 특 징 ◆ 용 도

◆ Specification

Frame

Media

표준풍속

포 집 량

압력손실

효 율

AL. Galva. Sus

부직포(난연, 비난연), Glass Fiber

2.5m/sec

400~1400g/m2

초기 : 4mmAq, 말기 : 20mmAq

A·F·I Test 85%

프리필터 PRE FILTER


Fine Air Tech┃┃

무정전 Filter

Carbon Filter

1. 세척이 가능하다.

2. 수명이 길다.

3. 반 구적인 사용기간에 비해 가격이 합리적이다.

4. 담배연기, 박테리아, 곰팡이, 꽃가루 등을 제거한다.

5. 효 율 : 85%(Ashrae Standard 52~76)

6. 정격풍량 : 56CMM

7. 표준규격 : 610×610×25(수용자의 요구에 맞춰 어떠한

규격도 가능하다.)

◆ 특 징

1. 세척이 가능하다.

2. 반 구적인 사용기간에 비해 가격이 합리적이다.

4. 담배연기, 박테리아, 곰팡이, 꽃가루 등을 제거한다.

5. 효 율 : 95%(Ashrae Standard 52~76)

6. 정격풍량 : 56CMM

7. 표준규격 : 610×610×50

◆ 특 징

1. 수요자의 요구 규격에 맞추어 제작가능하며 표준두께는 10, 15, 20,

25, 50T가 있다.

2. Frame은 주로 Aluminum이 이용되고 있으나 Galva 및 Stainless도

제작가능하다.

3. Carbon 입자를 부직포에 함침한 형태이다.

◆ 특 징


2. PRE Filter 대용

◆ 용 도


2. Medium Filter 대용

◆ 용 도

ww

w.fin

eair.co.k

r

무정전Filter·Carbon Filter

FS-662 FS-665

대기중의 유해물질(Nox, Sox, 탄화수소 등), 각종 시설물의

배기Gas, 유해Gas, 악취성분, 공기정화시순환공기중의인체취,

담배 및 기타냄새, 계측기, 통신기기, 컴퓨터, 귀금속 등의 부식

및 염해방지, 휘발성 있는 작업장의 용제포집 및 용해성분 등을

제거할목적으로주로활성탄을이용한다.

형 식

FC-666

FC-663

규 격(H×W×D)

610×610×610

610×610×305

압력손실(mmAq)

9

9

풍 량(CMM)

56

28

소요활성탄량(kg)

40

20

◆ 규격 및 용량

주) ※ 수요자의 요구 규격에 대하여도 제작가능함

53

┃┃Fine Air Tech

공조 System에서 외기 도입 및 내부순환 공기의 오염분진은 1차로 PRE Filter에 의해 제거되지만 미세한 분진은 이를

통과하여 실내로 유입됩니다. 따라서 실내의 청정도가 유지되지 못하여 업무능률이 저하되며 제조라인의 불량률 또한

높아집니다. 이러한 문제점으로 해결하기 위하여 Medium Filter가 요구되며 형태에 따라 Box, Header Type, Bag Type

이있으며, 효율은NBS 65%, 85%, 95%로나뉩니다.

Medium Filter

Box Type의Medium Filter

1. 여재의 표면적이 넓어 포집량이 많다.

2. 압력손실이 적다.

3. 일반공조의 최종 Filter 또는 HEPA Filter의

전처리용 으로 사용된다.

◆ 특 징

Media

Frame

Separator

Sealant

Gasket

Micro Glass Fiber

Particle Board. Ply Wood. Al

Al. Kraft Paper

Polyurethane Resin

Neoprene Sponge

◆ Specification

형 식 규 격(mm)초 기 말 기

압력손실(㎜Aq)

FM-631-95

FM-661-95

FM-632-95

FM-662-95

FM-631-85

FM-661-85

FM-632-85

FM-662-85

FM-631-65

FM-661-65

FM-632-65

FM-662-65

610×305×150

610×610×150

610×305×292

610×610×292

610×305×150

610×610×150

610×305×292

610×610×292

610×305×150

610×610×150

610×305×292

610×610×292

17

15

13

30

30

30

14

28

28

56

14

28

28

56

14

28

28

56

95%

85%

65%

정격풍량(CMM) 효 율

N·B·S Test 기준

MEDIUMFILTER

54

Fine Air Tech┃┃

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r

HEPA FILTER

HEPA Filter

산업사회의정 화로인하여극히미세한분진이라도품질에 향을미치게되므로이를차단하여초청정도의실내를

유지하기위하여개발된제품입니다.

1. 0.3㎛ 크기의 분진을 99.97~99.99% 포집할 수 있는 고효율의 Filter이다.

2. LSI공장, 병원수술실, 제약 연구소 등 Clean Room의 최종 Filter로 이용한다.

◆ 특 징

◆ Specification


압력손실(㎜Aq)

FH-331/FH-331-L

FH-631/FH-631-L

FH-661/FH-661-L

FH-671/FH-671-L

FH-691/FH-691-L

FH-612/FH-612-L

FH-332/FH-332-L

FH-632/FH-632-L

FH-662/FH-662-L

305×305×150

610×305×150

610×610×150

610×762×150

610×915×150

610×1220×150

305×305×292

610×305×292

610×610×292

25 50

4

7

17

22

26

32

7

17

31

6

11

28

35

43

50

10

24

48

99.97

~

99.99%


D·O·P Test 기준

Media

Frame

Separator

Sealant

Gasket

Micro Glass Fiber

Particle Board. Ply Wood. Al

Al. kraft Paper

Polyurethane Resin

Neoprene Sponge

▲ HEPA 필터의 풍량변화에 따른 입경별 포집성능

표시 입자 크기 범위

●0.12~0.17㎛

◆0.17~0.27㎛

▲0.27~0.42㎛

55

┃┃Fine Air Tech

ULPA Filter

1. 입경 0.1~0.12㎛의 분진을 99.99%이상 포집할 수 있다.

2. Class 1에서 10까지의 Super Clean Room에 적용된다.

3. 초 LSI제조공장, Clean Bench, 유전자 연구, 우주항공분야 등에 이용된다.

◆ 특 징

ULPA FILTER

◆ Specification


압력손실(㎜Aq)

FU-667

FU-697

FU-6127

FU-661

FU-671

FU-691

FU-6121

FU-661-L

FU-671-L

FU-691-L

FU-6121-L

610×610×75

610×915×75

610×1220×75

610×610×150

610×762×150

610×915×150

610×1220×150

610×610×150

610×762×150

610×915×150

610×1220×150

25 50

11

16

22

11

13

16

22

16

19

24

33

99.999% 이상


D·O·P Test 기준

※ L : 다풍량

▲ ULPA 필터의 풍량변화에 따른 입경별 포집성능

표 시

풍 량(m3/min)

■

32

◆

18

●

8

▲

4

56

Fine Air Tech┃┃

Air Filter Test

ww

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r

AIR FILTER TEST

1. 중량법 TEST, ASHRAE 52~76

ASHRAE 52~76으로 규정되는 종형시험장치에 Test Filter를

장착하고 시험풍량을 조절한다. Filter의 상류측으로부터 8종 분진을

급진하고 하류측에 설치된 통과분진포집용 Filter(초고성능 Filter)는

Test Filter를 통과한 Dust를 포집한다.

포집효율은 Test Filter의 포집된 분진량과 통과분진포집용 Filter의

포집 분진량에 의하여 산출한다.

η = ( 1- )×100(%)

η = 포집효율

W0

W1

Air Filter 성능평가방법은사용목적, 구조, 성능의차이에따라여러가지방법이있다. 또한표시되는진애포집효율등

성능표시법도 Filter의 종류에 따라 각각의 방법이 마련되어 있으나 일반적으로 중량법, 비색법, 광산란법(D·O·P 측정법,

Particle Counter 계수법)의3가지방법이이용된다.

W1 = 공급된 분진량(g)

W0 = 통과분진포집용 Filter가 포집한 분진량(g)

2. 비색법 TEST, ASHRAE 52~76

ASHRAE 52~76으로 규정되는 횡형시험장치에 Test Filter를

장착하고 시험풍량을 조절한다. Filter의 상류측으로부터 11종 분진을

급진하고 Test Filter의 상류 및 하류측으로부터 흡입 Pump를

이용하여 분진을 여재상에 포집한다.

포집효율은 분진을 포집한 여재의 광학 도에서 분진농도 상당치를

측정하여 이 값으로 산출한다.

η= ( 1- )×100(%)

η= 포집효율

C2

C1C1 = 상류측분진농도상당치

C2 = 하류측분진농도상당치

3. 광산란법

1) D.O.P Test, MIL-STD-282

미국의 MIL-STD-282로 규정되는 초고성능 Air Filter의 포집효율

측정방법이다. 0.3㎛ 단분산 DOP(DiOctyl Phtalate)를 규정의

시험장치(Q107형 DOP 투과율시험장치)를 장착하고 상류 및 하류

측의 에어로졸 농도를 측정하여 포집효율을 산출한다.

η= ( 1- )×100(%)

P = ( 1- )×100(%)

η= 포집효율 P = 투과율

C1 = 상류측 에어로졸 농도

C2 = 하류측 에어로졸 농도

C2

C1

C2

C1

2) Particle Counter 계수법

MIL-STD-282로 규정하는 횡형시험장치에 시험 Filter를 장착하고

시험풍량을 조절한다. Filter의 상류측으로부터 다분산 DOP의 14종

분진 등의 에어로졸을 공급하여 입경 0.12㎛ 이상의 에어로졸에

대하여 상류측 및 하류측의 농도를 측정한다.

포집효율은 상류측과 하류측의 측정대상입경의 에어로졸 농도에

의하여 산출한다.

η= ( 1- )×100(%)

η= 포집효율

C1 = 상류측 에어로졸 농도

C2 = 하류측 에어로졸 농도

C2

C1

57

Air Conditioning System

365일자동연산기능의수행으로

최소한의에너지로최적의실내조건을만족시키는

21세기최첨단공조기!

를사용하시면

◆ 에너지 소모가 획기적으로 줄어듭니다.실내 온 습도 및 외기 도입량등을 콘트롤러 스스로 연산하여

결정함으로써 사용여건에 따라 15~40%의 냉 난방 에너지를

절감할 수 있습니다.

◆ 공조기 기초 콘크리트가 없어집니다.당사에서 자체 개발한 응축수 역류방지 장치를 내장하여 기초

콘크리트 구축을 위한 공사 기간의 단축과 공사 비용을 절감하고

공조실의 바닥하중을 최소화 시켰습니다.

◆ 기계실 면적이 크게 줄어듭니다.착탈반사식 동파방지히타, 폐열 회수가 가능한 내장 Motor,

댐퍼흡입 유도베인 등의 다양한 기술을 응용하여 기존 공조기에

비해 외형 Size를 15%이상 줄 습니다.

◆ 화인이코노 공조기의 주요구성 부품별 특장

신기술개발로21세기최첨단공조기생산

일반빌딩용공조장치에서산업용, 의료용Clean Room 및각종항온항습System에이르기까지 ....

폭넓은사용범위와획기적인에너지절감을실현하는화인이코노공조기!

미래형첨단공조기화인이코노공조기는?

인공지능콘트롤러, 벨트장력조절장치, 응축수및구동모터의폐열회수장치, 착탈반사식동파방지히터등공조기의

주요구성 장치마다 에너지 절감을 위한 새로운 기술을 개발하여 총 14가지의 국내 및 국제 특허와 실용신안을 출원한

21세기최첨단공조기입니다.

1. 벨트장력 자동 조절장치벨트장력을 최초의 설계 치대로 항상 일정하게 유지함으로써주기적으로 장력을 재조절하는 불편을 없애고 에너지 낭비를최소화 하 습니다.

2. 응축수 역류 방지장치공조기 외부에 설치되는 배수트랩과 기초 콘크리트를 제거하여기계실 하중을 줄이고 공기 단축 및 공사비용의 절감을 이룩하 습니다.

3. 공조기 내장형 제어판넬이코노 콘트롤러를 비롯한 제어장치와 Display를 내장하여Local 관리를 용이하게하고 자동제어용 배관배선에 소요되는공사비용을 최소화 시켰습니다.

일반 공조기

실내 온습도 및 외기도입량

수동설정 기능으로 불필요한

에너지 낭비

역류방지 장치 외부설치로

기초 콘크리트 필요

수동으로 조절

열교환 장치 없슴

모터 폐열 배출

코일에 에어벤트 미 설치

대향류 댐퍼 부착

바닥 고정 대류형 동파방지

히타장착

비 고

산업기술 시험원

실증 시험결과

32%절감 확인

기계실 하중 최소화

공사비용절감

공사기간 단축

공조실 상부공간 활용

관리비용 절감

에너지 절감

에너지 절감

에너지 절감

장비 설치 면적 10~15% 축소

코일 부식 방지

열교환 능력 향상

풍량제어 정 도 향상

공조기 외형 Size 10% 축소

히타 소모 전력 50% 이상절감

◆ 이코노 공조기와 기존 공조기의 주요 기술적 특징비교

이코노 공조기

실내 온습도 및 외기도입량

자동설정 기능으로 사용조건에

따라 0~50%의 에너지 절감

역류방지 장치 내장으로

기초 콘크리트 제거

자동으로 조절

열교환 장치 내장

모터 폐열 회수

코일에 에어벤트 부착

선형 비례댐퍼 부착

착탈 반사식 동파방지

히타장착

항 목

1. 콘트롤러

2. 응축수 배출장치

3. 벨트장력 조절장치

4. 응축수 폐열 회수장치

5. 송풍모터 폐열회수장치

6. 에어벤트 내장형 코일

7. 선형 비례제어 특성 댐퍼

8. 에너지 절약형 동파방지 히타

1 2 3

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eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

이코노공조기

59

┃┃Fine Air Tech

이코노공조기

수주사양표

No

필

수

기

재

사

항

선

택

기

재

사

항

공

조

기

등

급

특

기

사

항

01

02

03

04

05

06

07

08

09

10

11

12

13

14

15

16

17

18

19

20

21

22

23

24

25

26

A

B

C

D

공조기Type

외부형태

S/F 풍량, 정압

R/F 풍량, 정압

Coil 형식

냉각 열원

가열열원

가습기 형식

가 습 량

냉각코일

입 출구 온도

가열코일

입 출구 온도

Filter 종류

Motor 위치

Coil Frame 재질

Coil Fin 재질

동파방지 히터 설치

자동 급유기 설치

벨트장력 유지장치

점검등 설치

점검안 설치

보온재 종류

내부 마감재

바닥보온 범위

Coil Air Vent 설치

Tab Hoil 설치

차압계 설치

011

021

031

041

051

061

071

081

091

101

111

121

131

141

151

161

171

181

191

201

211

221

231

241

251

261

RF일체형

수 평 형

CMM

CMM

냉, 난방 겸용

냉 수

온 수

스팀 인젝션

kg/h

℃DB

℃WB

℃DB

℃WB

Pre Filter

공조기 내장형

스테인레스 강판

CU(동)

에너지 절감형

유

유

일반점검등

유

G/W

스테인레스 강판

Coil

유

전체설치

전체 + 경보

012

022

032

042

052

062

072

082

102

112

122

132

142

152

162

172

182

192

202

212

222

232

242

252

262

RF일체형

수 평 형

mmAq

mmAq

냉, 난방 분리

냉 매

증 기

전 극 봉

℃DB

℃WB

℃DB

℃WB

Pre + Medium

공조기 외장형

아연도 강판

AL(강판)

일 반 형

무

무

살균겸용 점검등

무

일반아티론

아연도 강판

Fan + Coil

무

Coil 전후설치

전 체

023

073

083

163

193

213

223

233

253

263

복 합 형

전 기

Pan Type

214

264

마스터폰

무

구 분 사 양 별 CODE

141, 151, 161. 171, 181, 192, 201, 211, 221, 233, 241, 251, 261

142, 151, 161, 171, 182, 191, 201, 211, 222, 232, 242, 252, 262

142, 152, 162, 172, 182, 191, 202, 212, 223, 231, 242, 253, 263

142, 152, 163, 172, 182, 193, 202, 214, 223, 231, 242, 253, 264

■ 응축수 폐열회수 장치(유, 무)

■ 송풍모터 폐열회수 장치(유, 무)

※ 수주사양표를 작성하면( 부분은 필수기재) 당사 Program에 의해 이코노공조기 해당 Model

의 사양표, 시방서, 도면 및 판매가 등이 자동 출력되어 제공됩니다.

60

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w.fin

eair.co.k

r

Fine Air Tech┃┃

이코노공조기

표준사양서

구 분

기 종 FEAR

-100

FEAR

-160

FEAR

-230

FEAR

-300

FEAR

-380

FEAR

-470

FEAR

-580

FEAR

-700

FEAR

-900

FEAR

-1150

FEAR

-1400

코

일

사

양

필 터

코

일

사

양

배

관

구

경증 기

최 대 풍 량

전 정 압

표

준

코

일

능

력

냉 방

(6열)

난 방

(증기)

(2열)

난 방

(온수)

(4열)

전 열 면 적

표 준 치 수

(냉 온수코일)

표 준 치 수

(냉 온수코일)

전 면 면 적

SF

(Air Foil Type)

RF

(SiroccoType)

전동기

냉 온수입출구

입 구(A)

출 구(A)

SF

RF

SF

RF

SF

RF

표 준

범 위

표 준

범 위

표 준

범 위

m3/min

m3/min

mmAq

mmAq

kcal/h

kcal/h

kcal/h

kcal/h

kcal/h

kcal/h

m2

길이×열수

×단수×SET

길이×열수

×단수×SET

m2

DS×대수

DS×대수

kw

kw

100

90

90

50

41500

30000

~41500

62000

44500

~62000

50000

36000

~50000

0.595

1000×6

×20×1

1000×2

×20×1

0.7442

#2½×1

#2½×1

3.7

3.7

40

40

45

160

144

90

50

66800

52000

~66800

99000

77000

~99000

80000

62000

~80000

0.952

1300×6

×24×1

1300×2

×24×1

0.93025

#3×1

#2½×1

5.5

5.5

50

50

32

230

207

90

50

96000

85500

~96000

143000

127000

~143000

114600

102500

~114600

1.369

1400×6

×30×1

1400×2

×30×1

1.4884

#3½×1

#3×1

7.5

5.5

65

50

32

300

270

90

50

125500

103000`

~125500

186500

153500

~186500

150500

123500

~150500

1.786

1600×6

×32×1

1600×2

×32×1

2.2326

#4×1

#3½×1

7.5

7.5

80

65

40

380

342

90

50

159000

142000

~159000

236000

211000

~236000

191000

167000

~191000

2.262

1600×2

×38×1

1600×2

×38×1

2.512

#4½×1

#4×1

11

11

80

65

40

470

423

90

50

197000

168000

~197000

292000

249000

~292000

235000

201000

~235000

2.798

1800×6

×40×1

1800×2

×40×1

3.3489

#5×1

#4½×1

11

11

80

80

40

580

522

90

50

242000

231000

~242000

361000

342000

~361000

291000

276000

~291000

3.452

2100×6

×22×1

2100×2

×22×1

3.628

#5×1

#5×1

15

15

65×2

65×2

40×2

700

630

90

80

292000

259000

~292000

435000

385000

~435000

351000

310000

~351000

4.167

2500×6

×22×2

2500×2

×22×2

4.465

#5½×1

#5½×1

19

19

80×2

80×2

50×2

900

810

90

80

376000

361000

~376000

560000

537000

~560000

451000

433000

~451000

2.679

2500×6

×30×2

2500×2

×30×2

5.954

#7×1

#6×1

22

22

80×2

80×2

50×2

1150

1035

90

80

481000

426000

~481000

680000

633000

~680000

577000

510000

~577000

3.423

3000×6

×30×2

3000×2

×30×2

7.442

#5×2

#5×2

30

30

100×2

80×2

50×2

1400

1260

90

80

585000

540000

~585000

872000

818000

~872000

701000

649000

~70100

4.167

3530×6

×30×2

3530×2

×30×2

8.930

#6×2

#5½×2

37

37

100×2

100×2

50×2

61

이코노항온항습기

◆ 화인이코노 항온항습기의 주요기능

CONSTANT AIR CONDITIONING SYSTEM

초절전형 인공지능 항온항습기실내온도 자가 설정기능 및 허용범위내 최소운전 모드등을 수행할 수 있는 인공지능 콘트롤러를 개발, 내장하여기존방식 대비 약 15~40%의 에너지 절감을 실현하 습니다.

항온항습실의 고청정도 실현D.O.P 99.97%이상의 초 고성능 HEPA Filter를내장하여 항온항습실의 고청정화를 구현합니다.

자체 운전 감시기능의 수행기기에 내장된 터치판넬을 이용하여 각종 프로세스 및기능부품등의 운전상태를 그래픽 화면을 통해 감시 및제어할 수 있습니다.

설치 공간의 최소화기능 부품류의 소형화, 고성능화로 장비자체의 외형 규격을 최소화시킴은 물론 양방향 토출 및 응축수 봉수 기능을내장하여 코너와 바닥설치가 가능 합니다.

화인의신기술로탄생한초절전형청정항온항습기


인공지능 콘트롤러(Econo Controller)

각종연산기능 수행으로 사용에너지를최소화하고 터치판넬에 의한 그래픽모니터링으로 완벽한 감시 및 제어기능을 수행합니다.

완벽한 안전장치(Safety Equip)

모든 구동부에는 개별적으로 과전류보호 장치가 부착되어 있으며, 고·저압차단 스위치로써 냉동 System을 완벽히보호합니다.

전자 전극봉식 가습기(Humidifier)

무균상태의 청정증기를 공급하는 마이콤제어방식으로 정 한 제어를 실현하며완벽한 안전과 청정유지로 유럽 안전규격(CE)을 획득하 습니다.

고청정필터(HEPA Filter)

HEPA Filter를 기본사양으로 내장하여 항온항습실의 청정도를 획기적으로개선 하 으며 필터 면 풍속 및 풍량,차압 감지와 교체시기 통보기능을포함하고 있습니다.

응축수 배출 시스템(Drain System)

응축수 역류방지장치가 내장되어 별도의기초 Frame이 없이 바닥 설치가 가능하며 응축수의 바닥 누수 위험을 해소하 습니다.

미래형항온항습기

◆ 화인이코노항온항습기의 구조 및 주요부 구성

CONSTANT AIR CONDITIONING SYSTEM

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Fine Air Tech┃┃

이코노항온항습기

63

제습장치

제습장치

제습장치란 한마디로 공기중의 수분을 제거하여 저습도의 상태를 유지하는 장치로서 생산성의 향상, 품질의 고급화

및 장시간의 원형 보존등 산업구조의 발전과 함께 광범위한 범위에서 그 필요성이 더욱 강조되고 있습니다. 제습장치에

있어서 가장 중요한 것은 어떤 곳에 어떤 장치를 하면 가장 효과가 있는가 하는 것입니다. 거기에는 제습장치를 Total

System으로취급할수있는풍부한경험과고도의공조기술을필요로합니다. 당사는산업용저습도공조를기본설계에

서부터, 제습기와 부속기기의 선정 및 그에따른 부대공사의 제작 설치 및 사후관리에 이르기까지 일관된 System으로

제공하고있습니다.

제습장치의적용범위

1) 건 조제습기술의 발달에 힘입어 종래의 천일건조에 의존하던 제품들이

계절과 기후에 관계없이 계획 생산이 가능하게 되었으며, 특히

자연의 맛과 풍미 유지가 절대적인 식품 가공업에서는 저온건조

기술에 의해 상품의 가치가 좌우됩니다.

- 과자, 해태,건어물, 건포도, 동두부, 면, 분말식품, 목재 등

2) 저 장습기를 싫어하는 물품의 저장, 특히 녹이나 곰팡이의 발생을

억제하여 제품의 품질을 유지하여야 하는 산업분야에서는 신뢰성이

높은 제습장치의 구비가 필수적 입니다.

- 담배, 차, 약품, 성냥, 전기기구, 정 기계, 미술공예품, 화학,

비료, 종이, 쌀, 의류의 저장 등

3) 생산공정 및 기타정 공업의 제조공정등 특히 습도의 향을 받기쉬운 곳은 안정된

품질의 확보를 위해 생산공정에 따른 습도관리가 절대적입니다.

- 인쇄업, 화학공업, 수지제조, 동·식물의 사육·재배 실험실,

연구실, 약품제조 공정 등

업 종 공 정 온 도(℃) FAH-250DX

정 공업

인쇄공업

병 원

제 약

필름사진

전기제품

미술·도서

박 물 관식 품

연 구 소

정 기계 부품측정 및 검사정 부품 조정옵셋트 인쇄활판 인쇄인쇄물 보관연 구 실

X선·방사선실분말제품 저장정제 공정당의 공정앰플 제조캡슐 제조절단 포장필름 보관

조명 기구조립정 기계가공시험 연구미술품보관

도서, 물품보관빵 제품과 자

주조 제조공정반도체 물성연구화학 실험실통신 연구

2424

24~2624~2724~2724~2725~2725~2721~2724~27

2727

25~2719~2416~24

2027

20~2414~2018~204~7

18~2416~24

2518~2718~27

45~5045~5045~5045~5040~5050~5545~5045~5030~3540~4535~4035~4040~5040~6045~5020~4050이하40~5045~5045~5045~5540~5045~6045~4545~6045~55

◆ 제습장치의 적정 온·습도


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냉각식제습기

Fine Air Tech┃┃

냉각식제습기의원리및특성

냉각식 제습기는 냉매의 증발코일을 이용하여 공기중의 수분을 제거한 후 재열하여 상대습도를 낮추는 방식으로서,

제습제를사용하지않기때문에재생열원을필요로하지않으며, 장시간의연속운전이가능한제습장치입니다.

화인의 냉각제습기는 제습하고자 하는 실내에 설치되어, 연중 일정한 온도와 습도를 유지시켜주는 항온제습장치로서

냉동기의Condenser를열원으로이용한이코노믹System을채용하여대폭적인에너지절감을이룩하 습니다.

또한 저온 실내에서도 별다른 제상장치가 없이 자동운전 되며 성적계수를 최대로 하여, 생산성이 높은 환경을 조성하는

효율좋은제습장치로서제습이필요한모든분야에폭넓게사용되고있습니다.

◆ 냉각식 제습기의 사양

외형치수

외형치수

2응 축 기

송 풍 기

배 수

보호장치

프리휠타

제품중량

실내온도범위1표준제습능력

5℃~40℃

Cross Fin Coil Shell & Tube

Peciprocating - Hermetic

10mmAq

과전류 차단, 고저압 스위치, 저온보호

Polyester

3 ×220V×60Hz

R-22

Cross Fin Coil

Thermal Expansion Valve

Humidistat, Thermostat

Sirocco Doble Suction

냉 매

증 발 기

냉매제어

운전제어

높 이

폭

깊 이

형 식

호칭출력

전 원

형 식

접 속 구

형 식

전동기출력

기외정압

풍 량

1,350

550

550

4.5ℓ/h

1.5kw

20A

0.25kw

20CMM

25A

110kg

형 식 FCD-020

1,500

600

550

6.5ℓ/h

2.2kw

20A

0.45kw

32CMM

25A

140kg

FCD-030

1,860

1,010

550

10ℓ/h

3.75kw

25A

0.75kw

55CMM

25A

190kg

FCD-050

1,860

1,210

680

15ℓ/h

5.5kw

32A×2

1.5kw

82CMM

25A

255kg

FCD-075

2,010

1,410

730

21ℓ/h

7.5kw

40A×2

1.5kw

113CMM

25A

332kg

FCD-100

2,210

1,610

850

32ℓ/h

11kw

50A×2

2.2kw

165CMM

25A

670kg

FCD-150

주) 1 : 실내습도 26℃, 80% 기준입니다.2 : 사용조건에 따라 접속구가 변경될 수 있습니다.3 : 제품개발에 따라 사양이 변경될 수도 있습니다.

65

┃┃Fine Air Tech

건식제습기

건식제습기의원리및특성

외부의다습한공기는제습기의로터(Roter)처리부를통과하면서제습처리된고온의건조공기로됩니다.

이 공기는 실내에서 순환되어 들어온 공기와 합쳐진 후, 에프터 쿨러를 지나면서 적정 조건의 온도로 냉각되어 실내로

토출됩니다. 이러한 과정에 의해 적정 온·습도 조건으로 처리된 공기는 실내를 순환하면서 온·습도 분포를 일정하게

해 줍니다. 따라서 화인 제습기 유니트는 국부적인 습도조절 보다는 다량의 순환 공기량으로 실내 전체에 걸쳐 온·습도

분포를 항상 일정하게 유지시켜 주는 항온·제습기라고 할 수 있습니다. 실내에 설치하는 장비이므로 어떠한 환경에도

잘 어울리는 미려한 외관으로 설계되어 있고 또 그 탁월한 제습성능에 의해 현재 여러 산업체(제약, 조선, 전자, 연구소,

크린룸, 제철, 식품, 의료창고등)에널리사용되고있습니다.

재생 습공기(Regeneration Wet-Air)

재생공기가열기(Heater)

건조공기(Dry-Air)

처리공기(Process Air)

애프터쿨러(After Cooler)

재생공기(Regeneration Air)

◆ 제습장치의 적정 온·습도

A/C 냉각능력

제습능력

압 축 기A/C

제 습 기

크 기

높 이

폭

깊 이

증 발 기

응 축 기

냉 매

냉매제어장치

처리송풍기

재생송풍기

재생 Heater

Rotor

Main Filter

재생 Filter

단 열 재

최대 소비전력

송 풍 기

형 식

풍 량

정격출력

형 식

정격출력

kcal/h

g/h

CMM

kw

kw

kw

mm

mm

mm

3,900 5,200

820 1650

Sirocco 1½ DS

Hermetic Type

Multi Cross Fin Coil

공냉식 Remote Condenser

R-22

감온식 자동 팽창밸브

KPS-1500B KPS-6000N

KPS-1500B KPS-6000N

난연성 폴리에틸렌 폼

3 220V, 60Hz, 160W Q=300CMM

3 220V, 60Hz, 160W Q=90CMM

1.5kw×2

250×W200

1,900

850

650

1,900

850

650

3 220V, 60Hz, 160W Q=300CMM

3 220V, 60Hz, 160W Q=90CMM

1.5kw×2

250×W200

7,800 5,200 7,800 13,000

1.1 1.5 2.2 1.5 2.2 3.7

5 5.5 6 9 9.8 11.4

0.4 30

0.4

40

0.75

50

0.75

50

0.75

60

0.75

항 목 기 종 단 위 FDU-315A FDU-320A FDU-330A FDU-620A FDU-630A FDU-650A

주) 전원은 308V, 440V도 변경가능 압축기는 응축기에 내장됨 상기성능은 실내온도 22℃, 습도 20%의 경우임 동계용 재열 Heater 부착가능

66

전외기냉방기의개요

전외기냉방기의특징

전외기방식(All Flesh Air Type)이란항상신선한외기를받아냉방하는청결공조방식으로서실내공기를다시사용할

수없는특수한곳에적용됩니다.

일반용도의냉방기에비해냉각코일의입·출구공기온도편차가큰관계로, 처리풍량당냉각열량(kcal/m2)이 2배가량

크게설계된특징을갖고있습니다.

◆ 맑은 실내공기고성능에어필터가 내장되어 있어 눈에 보이지 않는 실외의 미세한

먼지까지 제거하여 항상 맑고 깨끗한 환경을 유지할 것입니다.

◆ 강력한 제습기능고온 다습한 우리나라에서는 냉방효과 못지않게 제습효과도 중요

합니다. 강력한 제습기능을 갖춘 화인 전외기 냉방기는 장마중일

때에도 신선하고 깨끗한 공기를 공급합니다.

◆ 무단계 콘트롤박스슬라이드식 실내온도조절기로 가장 알맞은 실내온도를 무한대로

조절하실 수 있습니다.

◆ 적합한 사용장소수술실 음식점 육아실

반도체공장 방사선실 제약회사

◆ 전외기 냉방기의 사양표

외형치수

높 이 mm

폭 mm

깊 이 mm

형 식

전동기출력×대수kw

시동방식

능력조정

형 식

전동기출력 kw

풍량 m3/min

압 축 기

Fan

냉 매

냉동기유

접속배관

응축기 형식

증발기 형식

보호장치

증발압력제어

전 폐 왕복동식 반 폐형 전 폐형

Cross Fin Coil식

Sirocco Fan

가용전, 압축기보호, Themostat, 과전류계전기

Hot Gas Bypass방식

Freon-22(R-22)

Sand Gray(Munsell No.7.5Y 7/1)

중 량 kg

외 장

운전전류 A

정격소비전력 kw

전 원

냉방능력 kcal/hr

냉각수량 ℓ/min

22,400

100

1,840

1,170

510

245

28,000

135

1,840

1,470

510

285

45,000

207

1,870

1,465

720

435

56,000

273

1,870

1,813

720

525

71,000

317

1,875

1,610

900

810

90,000

395

1,900

1,810

1,050

1,330

31.6

10.1

40

12.7

69

21.8

84

26.2

94.8

29.7

114

33.9

0.2

27

0.4

45

0.75

68

0.75

90

1.5

135

3.75

180

3.0

1¾B

1B

1B

3.0

1¾B

1B

1B

3.0×2

1½B

1B

1B

3.0×2

2B

1B

1B

8

2½B

1¼B

1B

8

2½B

1¼B

1B

5.5×1

직입시동

100, 0

순차 직입시동

7.5×1 5.5×2 7.5×2 19×1

Y-

7.5×3

순차직입

100, 67, 33, 0

2중관식

5.3 7 5.3×2 7.6×2 18 22

항 목 기 종 FAF-8A FAF-10A FAF-15A FAF-20A FAF-25A FAF-30A

주) 1. 냉방능력은 실내온도 27℃DB, RH 55%, 외기온도 33℃DB, 28℃WB, 응축온도 35℃일 때의 값입니다.2. 냉각수량은 냉각수 입구수온 32℃, 냉각수 출구온도 37℃일 때의 값입니다.3. 상기 사양은 개량으로 인하여 예고 없이 변경될 수 있습니다.

냉 매 명

충 진 량 kg

냉동기유명

충 진 량 ℓ

냉각수출입구관

상 부 Drain

하 부 Drain

3 ×220V, 380V, 440V×60Hz

100, 50, 0

2중관식

Suniso-3Gs Lunaria-K56

쉘 & 튜브

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전외기방식냉방기

Fine Air Tech┃┃67

Clean Room 기술자료

1. 크린룸의 공기정화설계 순서

크린룸의 공조설비는 일반건물의 공조설비에 비해 설비비가

수배내지 수십배 소요된다. 따라서 일반공조설비 이상으로 경제

성을 고려하고 시스템 성능을 충분히 검토해야 한다,

설계의 제 1단계로서는 그 공기청정실이 무엇을 대상으로 하고

있는가에 대한 확인으로부터 시작된다.

대상을 파악하지 않고서는 공기청정실의 설계는 불가능하다고

해도 과언이 아니다. 따라서 설계자는 이점을 충분히 숙지하여,

설계전 건물주와의 협의단계에서 대상으로 하는 오염물질과

그 크기를 파악해 두지 않으면 안된다. 또, 관련문헌을 찾아 필요

한 정보를 확보해 두는 것도 유효한 방법이다. 대상으로 하는

용도가 판명되면 필요한 청정도가 설정된다. 통상은, 미국 규격을

적용한다. 규격에서는 청정도 클래스마다 입경별 계수농도, 압력,

온습도, 기류, 조도를 규정하고 있으며 클래스가 설정되면 상기와

같은 조건설정에 대해 참고가 된다. 단, 최근의 반도체공업에

있어서의 초LSI 제조에 대해서는, 이들 규격을 그대로 적용시키

기에는 적절하지 않으므로, 서브마이크론의 초미립자까지 포함

시킨 규격이 필요하게 된다.

다음은 건물의 전체계획을 세운다. 먼저 해당 실의 용도 및 중요

도에 다라 배치계획을 하고, 에어샤워, 크린벤치 등의 부대설비와

실내마감을 검토한다. 그리고, 정화방식과 공조방식 즉 크린룸의

시스템을 결정해야 한다. 정화방식은 실내 기류에 따라 비층류방

식, 수직층류방식, 수평층류방식, 병용방식으로 분류되는데, 결정

하는 과정에서 작업공정, 작업동선, 경제성, 건축적 조건과 같은

여러 조건을 충분히 고려해야 한다. 특히 청정도면에서 보면,

비층류방식은 실내공기가 난류상태가 되기 때문에 국부오염의

발생도 생각할 수 있으므로 클래스 10,000~100,000 정도의

청정도밖에 기대할 수 없다. 수직·수평층류방식의 경우는 실내

에서 발생한 오염물질을 어내는 형태가 되므로 클래스 100

이상의 청정도를 얻을 수 있다. 또, 병용방식은 크린벤치와 필터

유니트 등을 사용하므로 작업대 위에서는 클래스 100 이상의

청정도가 얻어진다. 공조방식으로서는 단일덕트방식이 일반적이다.

또, 토출풍량이 대풍량이으로 대다수의 공기를 순환시키는 바이

패스방식이 채용되는 경우도 많다. 실내공기의 정화라는 견지에

서 보면 실내가압방식의 설계가 중요하게 된다. 가압은 실내

오염물질이 실내에 침입하는 것을 방지하는 역할을 하게 되는데,

통상 차압조절 댐퍼와 정풍량장치를 병용함으로써 얻을 수 있다.

그 다음에는 필터를 선정한다. 필터 선정에 있어서는 외기의

오염도, 실내의 발진량, 유지보수의 용역성 등을 고려해야 한다.

필터 선정후는 실내오염농도를 산정하고, 선정된 필터로 요구

되는 청정도가 기대되는지를 확인할 필요가 있다. 이상과 같은

설계가 종료한 후에 경제성과 유지보수의 평가를 행할 필요가

있다. 이 평가결과가 만족스럽지 못하면 설계자는 정화방식의

선정단계까지 되돌아가서 재선정을 하지 않으면 안된다.

2. 건축계획

(1) 요구수준의 확인

크린룸을 포함하는 시설에 대해 건축계획을 할 때에는, 건물내

에서 높은 청정도가 필요한 실의 설계요구 수준, 즉 제어대상이

되는 부유미립자의 입경 및 농도수준을 확인하는 것부터 시작해

야 한다. 미국연방규격 209B에 정해져 있는 바와 같이 0.5㎛

이상의 미립자를 광산란형 입자계수기로 측정하는 방법과 5㎛

이상의 미립자를 광학현미경으로 미립자를 광학현미경으로 측정

하는 방법이 크린룸에 적용되어 왔다. 그러나, LSI 제조의 진보와

함께 MOSD-RAM의 집적도가 M bits로 증가하면서 LSI의 최소

패턴치수에 대해 문제가 되는 입자 크기가 최소 패턴치수 폭의

1/10 정도로 되었으며 따라서 0.1㎛ 정도의 입자가 문제가 되어

0.1㎛의 입자가 1ft3당 10개 이하가 되는 초청정도가 요구되어

졌다. 더욱이 최근에는 0.05㎛가 화제가 될 정도가 되었다.

(2) 평면계획

크린룸을 포함하는 시설의 평면을 계획할 때는, 각종 요구환경

수준의 차이점을 고려하면서 조닝을 하고 사람과 물건의 동선 및

설비공간(배관·덕트경로 포함)을 검토하여 실 배치를 결정한다.

1) 환경수준

① 청정도

- 각 실의 적절한 청정도 설정

- 청정도가 높은 부분으로부터 낮은 쪽으로 기류가 향하게 할 것

(기류는 인접 실간 압력차를 확보해서 제어한다.)

② 온 도

- 제품측 요구 및 작업자에 미치는 향을 고려해서 설정

- 특히 제어폭에 대해서 엄격하게 제한되는 경우도 많다(항온실).

- 외벽·지붕 등과 같이 열부하에 대해 외부의 향이 큰 벽체에

는 접하지 않는 것이 바람직하다.

③ 습 도

- 주로 제품측 요구에 의한 습도 결정

- 정전기에 의한 방전은 바람직하지 않으므로 지나치게 습도가

낮아서는 안되는 경우가 많다.

- 제품측 요구로 제어폭을 작게 제한하는 경우도 많다(항습실).

④ 조 도

- 필요조도의 기준은 일반적으로 표 1과 같다.

⑤ 순환풍량

- 청정도에 따라 순환풍량을 설정(표 2 참조).

⑥ 도기외입량

- 강제배기량에 따라 결정되는 경우도 많다.

- 창이 없는 공장의 도입외기량은 작업인원 1인당 35CMH 이상

및 1m2당 15CMH 이상이라는 두 조건을 동시에 만족해야 한다.

⑦ 소음레벨

- 풍량·정압이 큰 송풍기를 설치하므로 방음대책이 필요하다.

산업용크린룸설비

Fine Air Tech┃┃

ⅠClean Room 기

술자료

FineAir Te

ch

69

⑧ 진 동

- 크린룸에서는 특히 진동의 향이 없어야 하는 정 기기를

사용하는 경우가 많으므로 설비기계실과는 구조적으로 연결이

되지 않도록 하든가, 또는 특별한 방진기초를 고려한다.

⑨ 기 타

- 특수배관설비

순수, 브라인, 냉각수(일반, 비상용), H2, N2, O2, Ar, He, 건조

공기(압축공기), 진공(HV, LA, 청소용)

- 특수배기설비

산·알칼리계 배기, 유기용제계 배기, 열 배기

- 특수배수설비

산·알칼리계 배수(강, 약), 유기용제계 배수, 불산계 배수

(농후, 세정), 중금속계 배수

- 가스소화설비

- 경보설비

압력이상, 기기이상, 산소결핍, 누수, 특수가스검출

- 중앙감시제어설비

2) 크린룸의 부속시설

크린룸의 기능을 보조하는 부속시설로서, 전실, 갱의실, 세정실,

관리실, 기계설비실, 물품이동시설, 통신설비 등이 있다. 설계에

있어서는 크린룸 시설내의 동선 및 각 구역의 오염도(일반적으로

는 라커실, 준청정구역, 청정구역으로 3분류한다)에 주의한다.

3) 기 타

① 간벽 변경에 대한 유연성

공업용 크린룸에 있어서는 생산라인 변경에 따라 간벽의 이동이

예상되므로 유연성을 갖는 간벽계획을 할 것

② 설비동선의 단순, 합리화

크린룸의 공조설비는 상당히 대규모로 되는 것을 예상할 수

있다. 기계실, 덕트공간 등은 충분한 공간을 확보하고, 또 배관·

덕트의 경로가 가능한 한 단순하고 합리적이 되도록 건축평면계

획에 대해 고려한다.

(3) 골조계획

전자·정 공업의 크린룸은 평면적으로 넓어지면서 대스팬구조로

하는 경우가 많다. 생산라인 변경에 대응할 수 있도록, 크린룸의

벽면은 건축구조체와 격리된 구조로 하는 것이 바람직하다. 특히,

수직층류방식에서는 2중바닥 및 천장챔버(필터내장)로 인해 층고가

여분으로 필요하게 된다. 경우에 따라서는 해당 크린룸의 직상층

또는 직하층을 기계실로 한다. 공업용 크린룸에 있어서는 천정내

또는 바닥내에 배기덕트와 특수배관이 있어 상당한 공간이 필요

하게 되는 경우가 많으므로 천정 및 바닥공간에 여유가 필요하다.

(4) 내부마감(바닥, 벽, 천정, 개구부)

1) 재 료

- 표면은 내마모성일 것

- 분진의 흡착성이 낮고, 비발진성일 것

- 열전도율 등 열적 성능이 뛰어날 것(열절연성)

- 가급적 정전장애가 일어나지 않을 것

- 내약품성이 뛰어날 것

- 투습성이 없을 것

- 흡음성이 좋을 것

- 다른 재료와의 접합이 용이하고 가공하기 쉬울 것

- 임의의 형태로 성형할 수 있는 재료일 것

- 재질이 균질한 것

이들 조건을 고려한 마감재료의 예를 나타낸다.

2) 마 감

- 분진의 퇴적을 가능한 한 줄이고 청소를 용이하게 하기 위해,

바닥, 벽의 접합부분을 둥 게 한다.

- 바닥 이외의 수평면은 가능한 한 작게 한다.

- 콘센트류, 조작반 등은 가능한 한 안쪽으로 어넣어 실내표면

을 평평하게 한다.

- 금속은 접지한다.

- 틈새가 없는 구조로 한다. 어쩔수 없는 경우에는 실리콘계

코킹제로 신중히 코킹마감한다.

- 출입구, 창 등은 가능한 한 이 적은 구조로 한다.

3. 크린룸 방식 선정

(1) 실내기류방식

크린룸 방식을 실내기류 형태로 분류하면, 비층류(Conven-

tional Air Flow)방식과 층류(Laminar Air Flow)방식으로 나뉘어

지며, 층류방식은 또 수평층류방식과 수직층류방식으로 분류된다.

1) 비층류방식

비층류방식은 난류방식이라고도 불리워지는 것으로 통상적인

공기조화설비에 초고성능(통칭 HEPA) 필터를 사용하고, 순환

풍량을 크게 한 정도의 설비이다. 이 경우, 기류분포의 관계상

┃┃Fine Air Tech


작업정도

초정 작업

정 작업

중작업

조작업

조도 범위(Lx)

700~1,500

300~700

150~300

70~150

표준 조도(Lx)

1,000

500

200

100

조명 전력(W/m2)

50

25

10

5

표 1. 필요 조도 레벨

청정도(클래스)

100

1,000

10,000

100,000

환기횟수(회/h)

200~600

50~70

30~40

20~30

표 2. 크린룸 클래스의 표준적 순환풍량

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달성 가능한 청정도로서는 클래스 10,000~100,000 정도이다.

비층류방식에 있어서도 흡입구를 바닥에 두고 동일한 형태로

배치하면 기류분포는 상당히 개선되어 분진의 퇴적과 재부유의

관점에서 볼 때 층류방식에 준하는 구조로 할 수 있다. 따라서,

환기횟수를 60~70회 정도로 증대함으로써 클래스 1,000 정도

까지는 달성 가능하다.

2) 수직층류방식

수직층류방식은 천정 전면에 초고성능 필터를 부착하고(조명

기구는 초고성능 필터와 유니트화 시킨 것을 채용하는 것이 바람

직하다), 바닥에는 격자면(그레이팅)을 설치하여 전면흡입으로

함으로써, 청정공기를 수직방향으로 균등하게 어내는 방식이다.

따라서, 실내공간에 발생한 부유미립자는 그 위치에서 그대로

하류(아래쪽)로 려내려감으로써 주변에는 향을 미치지 않는다.

병원의 바이오크린 수술실 등에서는 그 용도를 고려할 때 바닥

흡입은 곤란하므로 수평층류방식을 채택하는 것이 좋을 것으로

본다. 설비비 및 운전비 경감을 위해 흡입공기는 그 일부만을

공기조화기로 되돌리고 대다수는 별도로 설치한 재순환송풍기를

이용해서 송풍하는 것이 원칙이다.

3) 수평층류방식

수평층류방식은 한쪽 내벽면 전면에 초고성능 필터를 설치하고,

반대쪽 벽면 전면으로 흡입해서 청정공기를 수평방향으로 균등

하게 흘려보내는 방식이다. 따라서, 실내공간에 발생한 부유미립

자는 그 위치에서 그대로 하류(흡입구쪽)로 려가게 된다. 상류

측에서는 수직층류와 마찬가지로 클래스 100을 이룰 수 있으나

하류로 갈수록 고농도로 될 위험성이 높다. 순환공기에 대해서는

수직층류방식과 마찬가지로 공기조화기와는 별도로 순환송풍기를

설치하는 것이 원칙이다.

4) 실내기류방식 선정상의 주의사항

실내기류방식을 선정할 때에는 요구되는 청정도, 용도, 규모,

운전·관리방식, 건축공사비 및 설비비, 공기 등을 충분히 검토

하여 과잉설비가 되지 않는 최적의 시스템이 되도록 한다. LSI

공장 등과 같은 공업용 크린룸의 최근 경향으로서는 보수관리 및

설비비 등의 관계상 실 전체를 비층류방식(클래스

1,000~10,000)으로 하고, 내부에 크린벤치와 유니트형 또는

프리패브형의 층류식 크린룸을 설치하는 병용방식이 증가하고

있다. 그러한 경우의 특징을 다음에 나타낸다.

(병용방식의 장점)

- 풍량이 적어서 장치 규모가 비교적 작게 된다.

- 층류방식에 비해 설비비·운전비가 저렴하다.

- 유니트를 증산계획에 따라 증설할 수가 있어 효율적인 투자가

가능해진다.

- 작업위치에서는 층류형이 되므로 작업원의 실질적 향이

대단히 적다.

(병용방식의 단점)

- 생산장치의 치수, 형상에 따라 제약이 있다.

- 사람·물건의 동선계획에 제한이 있다.

- 대규모 개수가 용이하지 않다.

(2) 공기정화시스템

1) 공기정화시스템의 분류

크린룸에 있어서의 공기정화시스템의 기본형은 그림 1에 나타

내는 기본형 A이다. A의 원형으로 B를 생각할 수 있다. 즉, B의

환기용필터 F4를 F2와 공통으로 한 경우가 A라고 할 수 있다.

그러나 공기정화시스템은 공조기 순환송풍기 위치 및 풍량배분과

의 관계를 무시해서는 안된다. 공조기는 기본적으로 필터 F1과

F2 사이에 설치된다. 순환송풍기는 공조기와 병렬로 설치하는

경우와 직렬로 설치하는 경우가 있다.

2) 공기정화시스템 선정상의 주의사항

- 공조기와 순환송풍기를 직렬로 설치하면 순환송풍기가 전체

송풍량을 담당하게 되므로 송풍기가 커져서 기계실공간과 설비

비면에서 불리하게 되는 경우가 많다. 따라서 병렬로 설치하는

것을 표준으로 한다. 단, 병렬인 경우는 공조기의 기외정압은

순환송풍기와 같은 정도로 하는 것이 필요하다.

- 공조기로서 패키지유니트를 이용하는 경우에는 일반적으로

정압을 크게 할 수 없으므로 순환송풍기를 직렬로 설치하지

않을 수가 없는 경우가 많다.

- 송풍기동력 및 소음의 관점에서는 병·직렬배치의 평가가 간단

히 정해지지 않으므로 각각의 경우에 대해 시산해서 비교·

검토하는 것이 바람직하다.

- 필터, 전기집진기 선정에 대해서는 시스템의 운전관리(특히

필터교환의 개념)를 고려하여, 내용년수, 필요정압, 가격 등의

관점에서 결정한다.

3) 필 터

필터의 성능은 일반적으로 저성능~초고성능의 4종류로 분류할

수 있다. 필터 제조업체의 제품에 대해서 분진포집율, 분진함유

용량, 압력손실, 풍속, 단가 비교에 대해서는 카탈로그로 비교

검토할 필요가 있다. 정화방식 선정에 있어서는, 청정도, 실내

기류방식, 보수관리, 설비비, 제조부문의 생산체제 등에 따라

좌우되므로 이들 항목을 충분히 검토한 후 장치가 과잉설비가

되지 않도록 하여야 한다. 또, 크린룸 설계자는 제품 및 그 제조

공정까지 충분히 파악한 후 청정도를 결정할 필요가 있다.

선정해야 하는 필터는 다음 3종류로 나뉘어진다.

① 외기처리용 필터(저성능필터)

② 중간필터(중성능필터)

③ 주필터(HEPA 또는 ULPA 필터)

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이들 필터를 선정하기 위해서는 각종 조건을 설정할 필요가

있다. 조건으로서는 외기량, 공급공기량, 환기량, 배기량, 외기

오염농도, 실내공기 오염물질 발생량, 실내공기 오염농도 허용치

등을 생각할 수 있다. 이들 조건을 설정하고 필요한 필터효율을

구한다. 여기에서 시판되고 있는 HEPA 필터의 효율표시는 모두

계수법(0.3㎛의 입자에 대해 99.97% 이상)인 것에 대해 저성능

필터, 중성능필터에 대해서는 각각 AEI 중량법, NBS 비색법에

의한 표시가 이용되고 있는 관계상 크린룸의 정화계산을 할 때에

는 필터효율은 모두 계수법으로 통일할 필요가 있다.

4. 공기조화시스템

(1) 조 닝

크린룸을 포함하는 건물에 있어서는 다음과 같은 다섯 종류의

공조 조닝을 생각할 수 있다.

- 방위별 조닝(단, 일반적으로 크린룸은 무창실이므로 방위의

향은 별로 받지 않는다.)

- 사용시간별 조닝(간헐운전과 종일운전이 있다.)

- 공조조건별 조닝(실의 설정온습도가 다르다.)

- 부하경향별 조닝(실의 현열비가 크게 다르다.)

- 청정도별 조닝(오염구역, 준오염구역, 비오염구역(각 청정도

클래스별))

(2) 크린룸에 있어서의 공기조화설비의 특징

- 각실의내부발열이크고, 또불균일하다. 그때문에각실마다의

온습도제어법, 동기냉방의필요성에대해검토할필요가있다.

- 잠열부하가 특별히 많은 경우를 제외하고는 일반적으로 현열비

가 대단히 큰 경우가 많다.

- 제조공정에 있어서의 배열, 약품과 가스 사용 등으로 인해

배기 풍량이 많다.

- 내부발열부하 및 도입외기부하 및 장치내부하(송풍기 동력 등)

면에서 냉동기용량이 크게 되는 경향이 있다.

- 실내 청정도를 유지하기 위해, 소정의(상당히 큰) 환기풍량을

급기해야 하므로 공기조화 방식은 전공기방식이 된다. 단일

덕트방식이 일반적이다.

- 필터의 압력손실(일반적으로 종압을 확보한다)이 상당히 커서

송풍기의 필요 정압이 커진다.

- 전송풍량에 비해 공조기에서 처리해야 할 풍량은 일반적으로

작으며, 따라서 순환풍량의 일부분만을 공조기를 경유시킨다.

공기정화시스템에서 기술한 바와 같이 공조기와 순환 송풍기는

직렬 또는 병렬운전이 된다.

- 크린룸내의 기류형태 및 인접실 상호간의 공기밸런스를 중시하여

설계한다. 특히, 토출구, 흡입구배치에는세심한주의가필요하다.

- 오염된 공기의 침입을 막기 위해 실내를 정압으로 유지할 필요

가 있다.(표 3 참조) 정압 유지는 급기량을 환기+배기량보다

크게 함으로써 확보된다.

- 대풍량을 공급하기 때문에 덕트 크기가 커진다. 따라서, 덕트를

위한 공간확보에 세심한 주의가 필요하다.

- 층류방식 크린룸에서는 그 환기 풍량이 특히 많으므로 송풍기

의 병렬운전으로 하는 예도 많다. 그 경우 송풍기의 합성소음

이 크게될 가능성이 있으므로 주의가 필요하다.

- 청정도 유지를 위해 공조기를 종일 운전하는 경우가 있다.

이 경우, 경부하상태(열부하가 작다든가, 생산기기로부터의 강제

배기량이 적다든가 등)의 운전방법에 충분한 검토가 필요하다.

(3) 에너지절약 대책

자원절약, 에너지절약에 대한 요구가 많은 요즈음에 있어서,

이전부터 에너지 다소비형 설비 던 크린룸에서도 어떤 형태로든

에너지절약을 도모할 필요가 있으며, 경제성 면에서도 의미있는

일이기도 하다.

1) 외기냉방 시스템

내부부하가 큰 경우에는 중간기에서 겨울철에 걸쳐 외기를 냉열

원으로 이용할 수가 있어, 연간을 통해서 볼 때 에너지절약 효과

가 크다. 외기를 적극적으로 도일할 경우, 자동제어를 이용한

엔탈피제어에 의해 최적혼합점을 정해, 온습도의 미조정만으로

공조가 가능하게 된다.

2) 온배기이용 시스템

반도체공장과 같은 공업용 크린룸의 경우, 각종 유해물질을 포함한

배기가 있다. 이들로부터의 열회수를 하는 경우 일반공조에서 이용하

고 있는 전열교환기 등에서는 교차오염(Cross Contamination)의

염려와 급배기 밸런스의 문제로 채용이 곤란한 경우가 많다. 그러나

열배기에 대해서는 열교환해서 재열원으로서 크게 이용할 수도 있으

며, 경우에따라서는환기공기로서직접이용하는것도검토할수있다.

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그림 1. 공기조화 시스템의 기본형식

입접실 내

청정도 클래스가 다른 크린룸 상호간

크린룸 크린복도·갱의실 등

크린복도·갱의실 등 일반실

크린룸과 일반실

압력차(mmAq)

0.5

0.5~`1.0

1.0

1.5

표 3. 인접실간의 필요 압력차

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의약품제조시설의바이오크린룸

1. 서 론

의약품 제조공정 관리는 GMP(우수의약품 제조 및 품질관리

기준)란 법규에 의해 관리된다. 이는 세계각국이 국가별 기준을

가지고 있으나 WHO GMP 또는 ICH(International Confer-

ence on Harmonization) 등에 의해 국제적으로 통일되어 가는

경향이다. 우리나라에서도 KGMP를 설정하여 의약품 제조공정을

관리하고 있다.

의약품의 생명 관련성과, 픔질 불가시성으로 인해 엄격한 규제

를 받고 있다. 의약품은 유효성, 안정성, 균질성, 항상성이 확보

되어야 하는데 동물 시험 즉 전임상과 인체시험 즉 임상시험을

거처 국가에 의해 허가될 때 기준과 시험방법 규격이 정해진다.

이 규격대로 제조되고, 시판 후 관리되고 재평가된다.

중간 과정에 오염, 변질, 또는 조작의 과오가 있어서는 안된다.

비파괴 전수검사가 불가능 함으로 철저한 공정관리에 의해 무결

점이 유지되어야 한다. 과학적, 합리적 설계와 시공의 적격성이

검증된 시설에 가동이 확인된 환경조건에서 즉 검증된 조건에서

GMP가 이루어져야 한다. 공기조화 시설은 약사법 시설기준령

제 4조, 5조, 6조, 7조에 언급되어 있다. 모든 시설은 검증되고

무결점 운용되어야 한다.

공기조화시설과 청정시설의 필요성은 외부 대기에 유래된 분진,

미생물의 오염방지와 다종의 약품의 분진 즉 약진에 의한 교차

오염의 방지에 있다. 제조 공정중 발생하는 약진에 의해 타공정

의 의약품과 교차 오염되어, 예상치 아니한 부작용발생, 대기로

부터 유입된 분진, 생물성 입자에 의한 오염, 변질, 작업자와 약품

의 상호 오염에 의한 약화(약화)발생 등의 제어가 필수적이다.

특히 체내 혈관에 직접 주사하는 주사제의 공정에 주의를 요한다.

청정실은 주로 난류형 청정실이 주로 채용되고 칭량, 충전, 페색

등 중요 부위는 층류형 크린부스나 국소적 층류 장치가이용된다.

공정에 따른 작업실의 배치가 중요하며 각실과 통로의 압력설정

에 의해 오염을 방지한다.

특히 제조 의약품의 특성에 따라 실온과 상대습도가 지정된다.

분진 발생이 심하기 때문에 미립자의 계수는 가동중 상태에서

의미가 없다. 부유 미생물 낙하균의 관리가 중요하다.

2. 의약품 제조공정과 필요청정도

(1) 의약품의 제조 공정

의약품의 제조 공정을 분류하면

① 원료 의약품(Bulk Pharmaceuticals)

② 완제 의약품(Finish Pharmaceuticals)

③ 무균 또는 무균 조작 의약품(Sterile Products)

④ 생물학적 제제(Biological Products) 또는 유전공학적 제제 등

제조공정은 일반적으로 원료의 칭량, 혼합, 제제화, 충전페색,

일차포장, 이차포장 등의 순서이다.

(2) 필요 청정도

① 무균구역 : 무균제제, 또는 무균 조작제제에서 칭량과 충전,

페색, 멸균 용기의 보관, 공급 부위로서 클래스 100~10,000의

층류 구역이다. 항상 양압이 유지된다.

② 원료의약품이 노출되는 무균구역 외의 작업장은 주로 칭량

혼합 제제화 일차 포장구역으로 클래스 100,000의 청정도이며

난류형이다.

③ 기타 관리구역 : 그 외의 모든 작업장으로 청정도 비관리 구역

이나 채광, 온도, 습도, 방충, 방서가 이루어진다.

④ 비관리구역 : 관리구역의 주변 외부로서 출입구 현관, 사무실,

시험실, 창고 등이다. 일반 공조 관리 구역이다.

3. 제약공장의 설계

공정중 발생하는 분진의 교차오염 방지, 작업자에 의한 분진

오염 방지, 외부로부터의 분진 미생물 오염을 차단하기 위하여

GMP에서는 다음 사항을 적용한다.

① 의약품의 활성도에 따라 작업장을 분리하거나 구획한다.

② 공정의 순서에 따라 작업실과 기계를 배치한다.

③ 필요한 청정도에 따라 구역(Zoning)화 한다.

④ 여기에 합당한 공조시스템(HVAC:Heating Ventilation and

Air Conditioning)을 설계하고, 공기여과 시스템 즉 HEPA 필터,

중간 필터(Medium Filter), 전치필터(PRE Filter) 등의 배치 설계

를 한다.

또한 필요한 환기횟수, 외기율, 온도, 습도 등을 설정하고 필요

하면 집진, 배기처리 시스템을 설계한다.

(1) 분리구획 구분

KGMP에 의하면 생리활성이 강한 페니실린계 의약품, 성홀몬

계 의약품 및 생물학적 제제는 분리해야 한다고 되어 있다. 그러나

제조의약품에 따라 항암제, 알러지성의 약품, 색소나 취기의 휘산

이 많은 의약품 등도 분리 배치하거나 폐형 기계를 사용한다.

여기서 분리라 함은 완전히 별도의 건물이거나 한건물 안에서

여타 부분과 공조적으로 폐 독립적이며 출입구와 반입구가

별도이고 특별히 정한 출입방법과 반입반출 규정을 갖는다. 공기

의 흡입과 방출이 타 작업실과 인접하여 간섭하지 말아야 한다.

배출공기에 환경 위해를 줄 위험이 있는 페니실린계 바이러스,

세균성 호르몬 등은 바이오해자드 처리를 해야 한다.

구획한다 함은 제형별 작업소 별로 교차오염 방지를 설정할

경우에 이종제품을 동시 생산할 수 있는 제제군별로 동일

AHU(Air Handling Unit)에 의해 분배, 재여와 순환할 수 있는

작업소를 말하며 주로 경제성 관점에서 사용하는 것이다, 조금이

ⅠClean Room 기

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┃┃Fine Air Tech


라도 위해에 문제가 있다고 판단되면 공급공기를 전량 배출해야

한다. 출입과 반출 반입은 같은 구획 구역내에서는 동일경로를

쓰지만 분진, 색소 등 문제에 따라 별도의 추가갱의도 가능하다.

작업실이나 기계의 배치는 공정분속도에 따라 순서대로 배치해

야 한다. 특히 교차오염 방지를 위하여 하나의 작업실이 타작업

의 통로가 되지않게 적절한 복도를 설정한다. 폐형 기계가

아닐 경우 기계별 별도 작업실이 바람직하다.

배치는 공정의 시작과 종말을 반대로 위치하는 Ⅰ형 배치와

시작과 종말의 위치를 인접시키는 U자형 배치가 있으나 간접시

설창고 유틸리티 등의 합리적 배치와 관련하여 선정할 것이다.

Ⅰ형은 원료와 제품의 청결도상 형태상 차이가 있을 때 사용

어느 경우이건 공정 입구에서 청정도가 점진적으로 상승하며

관리구역 또는 무균구역에 이르고 또 단계적으로 청정도가 하향

되게 조닝(Zoning)한다. 즉 고청정도 작업실 주변은 다음 정도의

높은 청정도로 배치한다.

지원시설과 중간제품 및 완제품 보관창고 등 용수시설, 공기

조화시설, 집진시설, 공장내 물류 이동 통로 등은 유사성과 편익

성이 감안되도록 다음과 같이 근접 통합하여 초기 및 운전정비

비용을 절감할 수 있다.

① 불필요한 운반거리 단축 비용절감

② 혼잡스런 동선의 교차 배제를 통한 혼돈방지

③ 지원 정비 시설의 인접배치와 통합배치를 통한 운전비 정비

비용 절감, 건축 단순화

④ 교차오염 혼돈오류 방지

(2) 무균제조소의 건축상 구조

KGMP 시설기준에서 언급된 내용에 따른 구체적인 설명은 다음

과 같다.

① 매끄럽고 청소하기 쉽고 소독액에 잘 견디는 구조 특히 완제

의약품 작업소 무균 작업소 기타 원료 제조의 최종 공정 등 벽,

천장, 문 등에 사용하는 내장재는 철판 에폭시 도장된 샌드위치

패넬이 보편적이고 몰탈 도장 위에 에폭시계 수지도장 벽도 많이

쓰지만 틈새가 없어야 한다. 바닥재는 콘크리트 위에 에폭시,

우레탄 등의 도장을 많이 한다.

② 먼지나 찌꺼기가 쌓이지 않고 청소가 쉬운 구조로 되도록

턱이 없게 설계할 것이며 벽 면이 맞닿는 곳을 둥 게(R=30,

50)하고, 창의 면은 내부가 평면이 되거나 경사진 샤시를 써야

한다. 청소를 용이하게 하고 청소한 잔액이 남지 않게 한다. 재질

은 SUS나 도장 알루미늄 등을 쓴다. 횡으로 지나가는 배관을

가급적 적게 하고 벽과 충분한 청소간격을 둔다. 벽을 통과할

경우 폐가 잘되고 매끄럽게 기 화한다. 판넬이나 철판 등

벽면 부착물, 전등, 스프링쿨러 스위치, 스피커 등 부착물은 청소

에 물이 고이지 않게 하방으로 경사되게 한다.

③ 곰팡이나 미생물이 증식되지 않게 도장 공기의 순환을 고르게

하여 건조가 잘 되게 한다.

④ 균열이나 흠집이 잘 가지 않게 한다. 몰탈이나 타일 등의 균열

패널 사용시 연결접합면 등은 차압 변동시 외기의 유입 가능성이

있다.

⑤ 개문, 폐문, 공조기의 가동과 종료시 차입변동에 잘 견디고

틈이 생기지 않도록 구조체를 보강한다.

⑥ 전동 필터, 기타 집진구 등의 탁찰정비는 외부에서 할 수 있도

록 천정상부나 측면에 충분한 정비공간을 설정한다.

⑦ 공기의 토출구는 분산이 고루되게 한다. 전등기계 기구 크린

부스 등이 토출을 방해하거나 작업자의 등 위에서 토출되지 않게

배출한다.

⑧ 공기의 흡입구는 되도록 하방측면 또는 구석으로 하되 공기의

유동을 균등하게 설계한다. 바닥에서 돌풍이 일어나 먼지가 급상

하지 않게 할 것이고 흡입구측에 필터를 설치한다. 전치 또는

박형 중간 필터를 설치한다.

⑨ 무균실에는 싱크대나 하수트랩은 설치하지 않고 외부로 트랜치

배수한다(5cm이내). 트랩 부착 배수구는 폐형으로 한다.

⑩ 출입문은 폐가 잘되게 하고 미닫이문인 경우 바퀴나 레일이

없어 청소가 용이해야 한다. 되도록 자동개폐식으로 한다.

⑪ 창문은 내부상황이 잘 보이게 하고 온도차가 있을 경우 Pair

Glass로 한다.

- 작업원 출입구 전용 갱의실

·입실순서

㉠ 2차탈의화 → 수세건조 → 무균갱의 → 에어록 → 입실

㉡ 2차탈의화 → 비접지 수세실입실 무균갱의 → 에어록 → 입실

㉢ 2차탈의화 → 수세무균갱의 → 입실 등 순서가 있다. 에어

샤워(Air Shower)는 효과가 재론되어 선택사양이다.

·퇴실순서

㉠ 에어록 → 작업복장 탈의 → 필요시 샤워 수세 → 갱의퇴실

입실 역순

㉡ 작업실화 → 전용퇴실 탈의 → 샤워수세 → 갱의퇴실(갱의실

은 입실시 갱의실 이용) 어느 경우이건 세수용수 MF(Micro

Filtration) 여과수 사용 배관 필요

·자재반입구

예비실(외부청소) → 에어록 무균관리

·원료반입구

에어록 또는 패스박스 통과

·제품반출 에어록, 패스박스, 콘베이어, 출구 에어록

⑫ 무균관리구역

복수의 무균 관리실을 가질 경우 공통 연결 통로, 필요자재의

일시 대기, 샌드위치 배리어(Barrier)의 역할 등에 따라, 즉 작업

실에 청정공기 공급기능의 목적으로 설계되는데 청정실 청정도와

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동등한 무균실이다.

(3) 환기와 차압

청정실의 유지는 오염원의 감소와 제진효율의 증진에 있다.

1) 오염원의 감소와 대책

① 작업원의 청결 무균복장

② 작업원의 동작 제한

③ 작업실의 청소 및 청소용이한 구조

④ 기계의 진동 대책

⑤ 원자재의 청결

⑥ 틈새로부터 유입 봉쇄

2) 제진효율의 증진

분진의 제거효율은 다음에 따라 증진될 수 있다.

① HEPA 필터의 장착법과 AHU의 충실도

② 환기횟수의 증가 20~40회/h 그 이상

③ 기류의 균등한 흐름

④ 혼합공기의 재여과

⑤ 공기환기율 향상 15%~100%

⑥ 환기유속 0.3m~ 0.5m/s 유지

⑦ 상류측의 방해 제거 등

3) 환 기

바이오 크린룸도 산업용 크린룸과 유사하게 단일방향 방식과

비단일방향 방식, 병용 방식으로 구분할 수 있다.

비단일방향류과 청정실 즉 기존의 크린룸에서 HEPA필터의

공기통과 유속 (0.3m~0.5m/s) 유지와 충실도, 실별 공급공기의

양, 즉 시간당 공급공기 양인 환기회수는 청정도 유지의 근간이

된다. 일반적으로 클래스 100,000 WHO D급에서 10~20회가

요구되고 클래스 10,000 WHO C)급에서는 20회, 클래스

100(WHO A와 B급)에서는 20~40회가 필요하다. 그러나 작업

원수와 작업형태에 따라 증감되어야 한다. 외기혼입 순환율은

15~20%가 보통이다.

실내의 공기의 흐름은 특수 스모크나 드라이아이스를 사용하는

기류 가시화장치로 분석하여 공기의 방향을 조정하여야 한다.

작업자의 등 어깨, 손 등으로 공정중 제품의 기류를 방해해서는

안 된다.

4) 크린부스벤치(Clean Booth Bench)

WHO A급 KGMP IA 급의 층류기류를 얻을 수 있는 장치로

무균조작 무균실의 칭량조제 충전폐색 무균제제의 조제충전, 유리

엠플의 멸균후보관 공정에 사용한다. 이곳의 환기회수는 300회/

시 이상이며 여과재통과 유속 0.3~0.5m/s가 유지되어야 한다.

외부공기의 난류성 혼입을 방지키 위하여 비닐, 또는 아크릴

유리 커튼을 쓰며 다음과 같이 설치한다.

① 정전기 발생이 없을 것

② 필터 유닛과의 부착에 틈이 없고 내측으로 연결되게 할 것

③ 바닥으로부터 500mm 정도의 간격을 둘 것 등이다.

5) 격리기(Isolator)

완전 외기와 차단한 상태에서 무균공기를 취입하는 장치인데

자재의 출입 등 연구가 진행중이다.

6) 내용고형제 등 비무균 작업실

무균청정실이 아니므로 일정한 기준은 없다. 보통 5~20회/시

까지 환기한다. 기류 방향과 집진 토출, 재순환 입구의 위치, 기류

정체구역 등의 공기순환에 유의해야 한다.

일반 제조작업은 10회/시 이상, 포장 등 작업실(일차포장,

의약품이 노출되는 작업실) 등은 5~10회/시 많이 쓰인다. 청정

도는 클래스 100,000(KGMP 2급, WHO D급) 이다.

7) 차 압

차압의 설정을 통하여 외기의 유입을 방지함은 중요한 방법

중의 하나이다. 주로 청정실의 양압이 유지되어 복도갱의실, 에어

록, 전실 순으로 흐르게 하는데 대기와의 차압은 단계별로

12.25Pa{1.25mmH2O (0.06inH2O)}이지만 최고 49~58.8Pa

{5~6mmH2O} 이상은 조업에 해롭다.

그러나 작업실이 바이오해자드이거나 분진 발생이 있어 외부

복도를 오염시킬 경우에는 에어록 복도 부분 즉 청정실 주변을

양압으로 하여야 한다. 이때에도 작업실은 대기에 비하여 양압이

유지된다. 페니실린 등 생리활성이 강하거나 바이오해자드의

경우에는 제일 출입구 즉 탈의실이나 에어록이 대기에 비하여

음압으로 하여 고장내 확산을 방지한다.

(4) 온도와 습도

온도와 습도관리의 기준은 작업원의 난이도에 따른다. 보통 20

℃~26℃가 보편적이다. 습도는 제품의 특성에 따르지만

30%~60%로 설정한 예가 많다. 통상 ±10% 설정폭을 갖고

있다.

과다한 온도의 고저는 의약품에 향을 줄 수 있어 의약품의

보관 조건에 따른 보관 온도를 추가 설정해야 한다. 고습이면

변질의 위험이 있고 점착성이 있어 공정진행이 어렵고 저습이면

정전기 발생으로 정제의 성형이나 갭슐의 파손, 라벨의 부착성

장애의 여러 문제가 있어 저습작업의 경우 보통 30%~40%를

말하고 보통 70% 이내에서 작업한다. 제습은 실의 경우 조습용

살포는 증류수와 R/D UF수를 쓴다.

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(5) 집 진

공정중 고형제 제조시 발생하는 분진(주도 1㎛입경이상 100㎛

입경까지)은 공조시스템 재순환 여과재의 수명단축 회수 덕트내

의 침하, 인습, 부패, 공장내약진, 오염의 위해를 준다. 따라서

교차오염 방지를 위하여 공조시스템의 보호를 위하여 작업실별,

기계별로 스팟(Spot)집진하며, 환기공기의 재집진 시스템을 설계

하게 된다.

집진의 필요시기가 균등치 않고 특정작업시 일시적 현상인 경우

가 많아 공조 시스템의 공기흐름과 차압이 순간적으로 혼란될 수

있는게 문제이다. 기계별 스팟 집진하여 해당 작업실에 재순환

하게 하고 전체적 중앙집진은 항시적으로 가동케 함으로써 차압

충격을 줄일 수 있다.

분진이 많거나 재순환이 위해로울 경우 100% 집진 배기처리

하여 분리할 수 있다. 배기시에 세정(Scrubber), HEPA 필터,

카본베드(Carbon bed), 스프레이세정(Spray Scrubber) 등을

부착 처리한다. 주로 쓰는 집진기는 다음과 같다.

① 여과집진 : 백(Bag) 필터, 롤(Roll) 필터가 가장 많이 쓰이고

1㎛~수십㎛의 입자 폭이 85%이상 포집된다.

② 전기집진 : 직류고압 코로나 방전판 사이에 분진을 통과시켜

포집함으로 1㎛이하의 입경에서 수십㎛ 입경까지 포집 가능하며

가동시 압력 손실이 없으나 정전시 대책 없다.

③ 세정집진 스프레이탑(Spray Tower Scrubber) : 물 또는

약제(NaOH)를 살포하며 페니실린작업장 배기에 주로 쓴다. 당의

실이나 색소비만 작업장에는 동적집진기(Dynamic Precipitator)

가 좋다.

④ 원심집진 사이클론(Cyclone) : 집진입경이 수십 ㎛으로 크다.

생약 분쇄시 분진 일차 집진에 응용된다.

그 외에 집진관련 설비로서 덕트와 후드가 있다. 적절한 집진

공기량과 동력 절감을 위해 합리적 설계가 필요하다.

- 후드 포착점 제어 풍속 : 0.5~1m/s

- 덕트 반송속도 : 10~15m/s

제약 공업에서는 청정공기 공급, 온·습도 제어 등 여러 시스템

이 복합되기 때문에 여타 공업에 비해 복잡해지며 완벽에 가까울

수 없다. 제조소의 약품 품목, 제조수량, 생산빈도, 생산방식 등에

따라 많은 연구가 필요하다.

4. 검증과 검증기준

우수한 제품을 위해서 환경이 필요하고 우수한 제조환경을 위해

서는 과학적이고 합리적인 건물시설의 설계가 선행되어야 한다.

모든 공기청정실의 설비와 운용은 설계, 설치가동 운용에 이르기

까지 단위 기계별 종합공정별 적격성이 확인되고 검증되어 표준

화되어야 한다. 이를 검증(Validation)이라 하며 법적 규정으로

규제하고 있다. 즉 모든 설비의 과학적 타당성, 합리성, 항상성,

신뢰성이 보장된 환경위에 GMP 제도가 운 되는 것이다. 시설

의 신설되거나 개선 이전 되었을 경우 시공자에 의해 TAB(Test

Adjustment and Balancing)된 후 제약목적에 따라 다음과

같이 적격성을 검증한다.

① 설계 적격성(Design Qualification : DQ)

② 설치 적격성(Installation Qualification : IQ)

③ 운전 적격성(Operational Qualification : OQ)

④ 성능 적격성(Performance Qualification : PQ)

위와 같은 적격성 검증을 수행한 후 예측적 검증(Prospective

Validation), 실행검증(On-going Validation), 또는 재검증

(Revalidation), 가동실적 검증(Retrospective Validation) 한다.

계속 실시되는 경향치 분석에 의해 공정관리 지표인 경고치(Alert

Level)와 조정치(Action Level), 목표치(Target Level)를 설정

운행한다. 즉 공정운 SOP가 결정된다.

(1) 공조 시스템의 검증

1) 설계 적격성(DQ) 확인

작업실과 공조 시스템의 설비 설계가 제조의 약품 필요 환경에

적합한지를 이론적 검토를 한다. PFD(Process Flow Diagram)

에 따른다.

① 시스템의 설계사양 기본설계 상세설계의 일치성 검토

② 작업실의 청정도 구분 검증

③ 사람 원자재의 흐름과 조닝(Zoning)관계

④ 작업내용 취급의약품의 특성에 따른 청정도, 온도, 습도, 차압,

환기회수, 집진 시스템 등의 재확인

2) 설치 적격성(IQ) 확인

① HVAC관련 시스템의 배치 확인

유틸리티 확인 : 목록별로 배치, 용량 접속 확인

설비 확인 : 목록별 기본설계 합치여부

교정(Calibration) : 목록별 계측기기, 압력계, 전류계 등의 정도

확인

② 설비가동성 확인 : 리스트 별도

설치상태, 배관접속, 단열시공, 전선접속, 모터류 가동, 밸브류

설치와 가동 계측기의 설치와 지시기능, 댐퍼, 디퓨저, 리턴그릴,

소음기, 덕트, 베인 등의 완전성 확인과 자동 댐퍼의 풍량조절기

능 확인

3) 운전 적격성 확인(OQ)

① 각 설비의 운전제어상태가 설계대로 되는가 자동 댐퍼, 풍량,

풍속, 정압 냉각가열 가습, 제습 등 능력이 계산치대로 되는가

확인

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② 각 실별 공기의 공급, 환기양의 적정성

③ 종단 필터의 누설확인, (입자계수기), 즉 HEPA 필터의 장착부

누설확인을 에어로졸에 의한 누설시험, 필터 프레임, 기 자재

조임 누설 확인

④ 공기조화기의 중요 확인

계측기 필요위치에 장착 여부, 정압, 동압, 기류 방향, 필터의

충실도, 소음, 풍량, 풍속, 온·습도 제어능력, 청정도 - 분진과

균, 계장회로 동작 확인, 압력제어 댐퍼 확인

⑤ 공조기의 수행도 확인

- 환기횟수 : 청정구역별 요구수준

- 실간 차압 12.25~14.7Pa{1.25mmAq~1.5mmAq}. 49~58.8

Pa{5~6mmAq}는 위험

- 환기율 20%

⑥ 각 실별 제어능력

- As Built : 설치완료시 기계 미반입

- At Rest : 작업원 입실전, 작업준비 완료

⑦ 항 목

- DOP 스캐닝 시험

- 청정도(부유부진)

- 온도

- 습도

- 풍량, 풍속, 환기회수

- 실압, 실간 압력차

- 기류 풍향

- 필터 장착류 압력손실, 초기차압

4) 성능 적격성(PQ) 확인

① 공조기를 연속가동하여 정상 설계대로 운전되는가 확인

- 공조기 : 정상운전 확인, 이상진동 유무

- 집진기 : 기류 방향, 흡입속도

② 청정도 확인 : 작업원의 실내에 있는 상태(Operational)에서

청정도 확인

- 공중 부유 입자 0.5㎛ 입경이상

클래스 100 3,500개/m3

클래스 1,000 35,000개/m3

클래스 10,000 350,000개/m3

클래스 100,000 3,500,000개/m3

- 부유균 WHO GMP에 따름

클래스 10,000 100CFU/M3 이하

클래스 100 1CFU/M3 이하

그 외 표면 부착균, 낙하균을 측정한다. 샘플링은 규정된 시험

기간에 규정된 양을 실시하고 데이터화하여 경고치, 조정치 설정

에 기준으로 한다.

- 공기 샘플 0.5㎛ 이상의 입자

클래스 100 10,000 100,000

6※ 3※ 3※

※ x10-3/m3(1dm3)

cfu가 대략 20이 되게 샘플링

적격성 확인은 시스템 상태에 따라 설비완료시(As Bult), 설치

완료시(At Rest), 가동조업시(Operational) 등 3가지 경우를

구분하여 실시한다. 3가지 경우 다 측정하고 기준은 가동조업시

로 한다. 분진 발생 작업실은 설치완료시로 실시한다.

③ 낙하균의 노출시간은 클래스 100이내에서 4시간 그 이상의

클래스에서는 2시간 노출하고 측정위치는 보통 5개소 벽과 바닥

에서 30cm 격리된 곳이다.

5) 예측적 검증(Prospective Validation)

이상의 결과를 3회이상 실시하고 각종 측정치의 경향을 데이터

화하여 경고와 조정 레벨을 정하고 가동의 SOP를 설정한다.

6) 기타 검증

① 실행 검증(On-going Validation) : 정상가동시 각종 지표자

료 분석 확인

온도, 습도, 실간압력차, 부유 입자, 부유균 등

② 재검증(Revalidation) : 설비 변경시, 또는 정기적 점검시

공조기계, 청정도, 온·습도, 환기횟수, 실간압차, 필터차압 등

③ 가동실적 검증(Retrospective Validation) : 일정기간 가동

실적의 통계적 분석

온·습도, 실간압차, 환기회수, 부유입자수, 부유균수, 필터

차압 등

④ 교정(Calibration) : 부속기계의 정도와 추적성(Traceability)

온도계, 습도계, 유량 유속계, 차압계, 시간계, 전류 전압계, 입자

계수기 등

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식품공장의바이오크린룸

식품공장에서 바이오 크린룸 운용은 그리 오래된 것은 아니다.

가공식품의 제조공정에 열멸균시에 식품의 고유 풍미나 양가의

상실을 방지하기 위하여, 더욱이 현재 방부제의 사용이 기피되는

현실에서 무균 조작(Aseptic Operation)의 필요성 때문에

무균실 즉 바이오 크린룸이 필요하게 된다.

식품 가공의 목적은 풍미, 양, 증진 외에 보존기간 연장에

있다. 식품의 변질은 자체 효소에 의한 분해와 외부 미생물 오염

에 의한 부패에 있다. 이 부패방지와 효소 활성의 중지를 위해

열살균법을 적용하거나 방부제를 쓴다. 이때 식품고유의 풍미를

상실함은 필연적이다.

식품의 제조공정중 특히 미립자와 미생물오염이 관리되어야

될 부분은 가열가공후 개방 냉각 공정이나, 용기에 봉입하는

공정 이다.

미국을 위시하여 식품공장의 제조공정 관리 기준으로 HACCP

(Hazard Analysis and Critical Control Point)를 채용하고

있고 우리나라도 점진적 시행이 예고되고 있다. HACCP를 중심

으로 공기조화 설비를 소개하면 식품 공장의 바이오 크린룸이

설명된다고 본다.

1. 우리나라의 HACCP 제도

HACCP 위해요소 중점관리 기준이란 식품의 원료관리 유통

관리, 전과정에서 위해한 물질이 당해 식품에 혼입되거나 오염되

는 것을 사전에 방지하기 위하여 각 과정을 중점적으로 관리하는

기준을 말한다. 여기서 위해요소라는 것은 인체의 건강을 해할

우려가 있는 생물학적, 화학적, 또는 물리적 인자를 말한다. 식품

업과 축산업의 일부 업종에 대하여 제정되어 있다.

(1) 제조장과 공기조화 부문의 구조적 특징

건축구조적으로 유해폐기물, 유해물질과의 격리, 청소가 용이

하며 폐수의 배수시설, 미생물의 침입과 증식을 억제하는 구조,

적절한 배기와 응결수의 방지 보관시설, 냉각 냉동 냉장시설의

구분, 온도관리 시설에 주안점을 두고 제조장을 오염구역과

비오염구역으로 나누고 있다. 이 비오염구역에 관한 구체적 규범

은 정하지 않고 있으나 식품의 특성상 클래스 10,000 내지 클래스

100,000의 구역이 주이고, 경우에 따라 클래스 100이나 클래스

300,000도 설정되어 있다.

여기에서는 비오염구역의 설정과 공조 설비의 구조적 특징을

들어 시공에 참고가 될 수 있는 몇가지 자료를 수집 제시하 다.

① 생물 또는 이물이 공장에 침투되지 않게 하는 문제

② 미생물을 증식시키지 않게 하는 문제와 시설설비

③ 공장에서 미생물의 사멸 제거에 관한 문제가 주를 이룬다.

2. HACCP를 위한 공장설계

위해요소가 잘 파악되고 중점관리점과 한계기준이 설정된다고

하더라도 기본적으로는 합리적 근거에 의한 제조방법과 제조시설

및 보조시설의 설계가 선행되고 오염의 침입과 증식 배제 살균

조치가 될 수 있는 공장이 설계되어야 한다.

또한 설치된 기계설비가 검증되고 보증 가동됨이 입증되어야

한다.

① 신규공장의 설계

가. 공정분석과 최적화

나. 오염의 차단, 증식 제거 살균 방법 설정

다. 레이아웃 : 교차오염 대책, 동선대책, 출입절차

라. 죠닝 : 오염구역 비오염구역 공조 및 제균 시스템 설정

마. 건물 : 구조, 바닥, 천장, 벽, 문, 내장재

바. 설비 : 배관, 배수, 환기, 조명, 집진설계

사. 시공 제작 설치

아. 적격성(IQ, OQ, PA)

자. SOP

차. HACCP

② 기존공장의 개수

가. 현 공정, 기계 배치의 분석 조정

나. 이상적 상황과 대비 문제점 도출

다. 비오염구역 설정과 대비 대책 도출

라. 동선 및 출입계획

마. 단계적 개선개조 계획 수립과 공정에 지장 없게 개선

사. 적격성, SOP, HACCP 단계로 순차 실시

3. 위해 요소별 대책

외기, 작업자, 기계, 건물, 온도, 습도, 원부자재, 사용운반구,

급·배수, 곤충, 쥐, 계절풍 등으로 부터 분진입자, 이물, 동물,

또는 동물분비물, 곤충, 유충, 식물 및 미생물의 유입과 온도,

습도, 결로 등에 의한 증식부패 변질을 유발한다.

특히 미생물 대책은 온습도 등 적절한 조건에서 증식 변패를

일으킴으로 오염과 증식억제에 특히 유의해야 된다.

(1) 외부로부터의 침입방지 대책

① 적절 배치(Lay Out)

가. 유해물질 불결한 장소와 분리

나. 공정순서에 따라 기계나 작업실의 배치 특히 식품원료와

완제품에 청결도가 다른 경우 I자 배치하여 멀리한다.

② 동선의 설계

공정중 교차오염과 혼동을 방지하기 위하여 원 자재 동선,

작업원 동선, 제품출하 동선을 검토하며 교차 충돌이 없게 한다.

③ 조닝과 공기조화 시스템 설계

공정별 작업실별 요구청정도를 설정하고 할 것, 블럭별로 공기

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조화 시스템을 설계한다.

가. 환기회수 예

청결구역(마감포장실, 냉각실) 10회/h이상 준청결구역(가열

조리실, 가공실 등) 6~10 일반실(세척실 냉장고 창고) 4회/h

나. 실내압

청결구역 10Pa{1mmH2O}, 준청결구역{0.5mmH2O}로 하여

침입을 방지한다.

차압이 높은 경우 건축구조에 향을 줄수 있다.

다. 공기여과 시스템

전치필터

전치필터 + 중간필터

전치필터 + 중간필터 + HEPA 필터

라. 배기

먼지조심, 전치필터 사용

마. 청정도

오염구역 : 비관리 구역

비오염구역 : 일반관리실 클래스 100,000~300,000

준청정실 클래스 10,000~100,000

청정실 클래스 100~10,000

로 세분할 수 있다. 청정실의 주변은 준청정실로 하며 청정도

를 관리하기 위함이고 고청정실로 기류가 흐르게 한다.

바. 기류 방향

되도록 하방배기가 되게 하나 증기 분리의 발생 구역은 상방

후드배기가 되게 한다.

④ 출입, 입퇴실

작업원 외부복장 → 작업소내 복장 교환 갱의실, 작업장내 복장

→ 청정실용 갱의실, (이 부분은 청정실로 직접 연결한다.) 세수

시설을 갖춘다.

원자재 외피제거와 소독후 에어록(Air Lock) 경유, 패스박스 등

경유 청정실로 반입하고 반입품은 패스박스 또는 에어록 경유

일반실로 반출

⑤ 출입구와 창문은 폐되어 있고, 곤충, 쥐가 들어오지 못하게

될 것

(2) 내부벽 증식 방지 대책

① 건축구조와 재질

미생물 증식을 조장하는 흡습성 표면이 조약한 자재(목재, 목판,

철판 등)가 아닌 매끄럽고 단단한 금이 안가는 자재이어야 한다.

또 소독액에 견뎌야 된다. 모서리는 둥굴게 하여 때가 쌓이지

않고 청소하기 쉽게 한다.

벽, 내수처리된 소부도장 철판의 샌드위치 판넬이 적절하며

바닥은 되도록 에폭시 우레탄계 도장이 좋다. 1/100정도의 구배

를 가져 물이 잘 흐르고 청소가 쉬우며 잘 건조되게 한다. 배수구

는 물이 잘 빠지게 얕게 하며 트랩을 설치하여 역류하지 않게

한다. 천장은 청소가 용이하고 먼지가 쌓이지 않고 응결수가

떨어지지 않게 한다. 문도 내수성 자재이며, 폐되어 쥐, 곤충

침입이 없게 한다. 채광 조명 환기가 잘되게 한다.

② 결로 방지 대책

식품 제조공정은 특히 증기의 발생 수분비산 등의 공정이 많고

외기와의 차에 의해 결로되고 낙하한다. 결로수는 미생물 증식

또는 천장 벽체의 오염물을 용해, 식품에 오염시킬 수 있다. 보온

성 자재의 사용과 환풍통기시설이 적절할 것 등이다.

③ 온·습도 제어

미생물 증식에 온도와 습도는 필수조건이다. 적절한 온도의

유지가 필요하다. 작업실 생활조건 18℃~25℃, 냉각 10℃~15℃

이하, 냉장 5℃이하, 냉동 18℃이하로 한다. 습도는 식품에 수분

활성을 높여 부패를 촉진한다. 일반적으로 75% RH이하가 바람

직하다.

④ 환기 배기

가열, 튀김, 찜 등의 공정은 멸균되어 있다. 냉각 과정의 팬으로

부터의 먼지는 오염의 원인이 된다. 제균된 공기 공급과 팬의

오염을 제거해야 한다.

(3) 살균이나 제균

① 공기 필터에 의한 제균

② 제조기계의 청소와 살균소독, 청소가 용이한 구조로 한다.

③ 가열, 자외선, 약제 등에 의한 살균법이 있고, 특히 미생물

오염이 주의되는 곳은 훈증법도 있다.

(4) 공정 재고 관리

① 기계의 처리 능력, 중간 자재 보관실의 보관 조건, 통풍, 온습

도 등을 고려하여 원료와 자재의 체류가 길어서는 안된다.

② 선입, 선출이 잘 유지되고 최단시간에 가공이 종료되게 관리

되어야 한다.

4. HACCP상 공기조화설비의 특징

청정조건에서 공정을 관리하는 기술이 청정실 기술과 더불어

많이 사용케 되었다. 이를 크린필(Clean Fill) 또는 무균필

(Aseptic Fill)작업이라 한다. 또한, 가열 튀김, 찜 등 공정 후에

냉각하게 되는데 이때 대기로부터 오염공기에 폭로되어 분진

미생물 오염이 있게 된다. 이런 목적을 위해 청정실 기술이 도입

되게 되었다. 주로 난류형 청정실과 국소적 층류실, 폐형 격리

기 등이 쓰인다. 이때 식품공정은 많은 수증기에 의한 결로가

있게되어 모든 공기조화시설 또는 배기시설에 응축수, 즉 결로에

의한 낙수, 부식 등에 대한 조치가 필요하다.

AHU, 덕트, 디퓨저 등 HVAC 시스템 위생적 대책이 강구되어

야 한다. 부위별 점검구가 설치되고 먼지가 쌓이지 않고 청소가

ⅠClean Room 기

술자료

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식품공장의바이오크린룸

용이해야 한다. 흡습성 자재를 쓰지 않고 도장이 떨어지지 말아

야 한다. 드레인이 차지 않게 먼지가 발생될 물건은 격리한다.

이를 부문별로 정리해 보면 다음과 같다.

(1) AHU

① 보온재는 수분흡수되며 미생물이 증식할 수 있으므로 SUS,

강판 등 세척이 용이한 자재로 마감한다.

② 작업실 외에 설치할 때는 기 성이 좋게 한다.

③ 팬은 청소가 가능하게 청소구와 배수가 잘 되게 한다.

④ 팬모터와 벨트는 밖으로 나가게 된다.

(2) 환기횟수

① 수증기, 열기, 분진, 취기, 매연, 발생부위에 후드 분진 배풍기

로 구성된 장치설치

·포착속도 0.25~0.5m/s

·후드 내에는 점검구 설치

·튀김용 배기에는 기름받이, 기름필터 설치

② 오염구역 배기가 청정구역으로 들어가지 않게 할 것

③ 비오염구역 양압은 5Pa{0.5mmH2O} 유지 환기덕트는 완만한

굴곡의 R로 하여 먼지가 쌓이지 않게 할 것

④ 환기계통은 설비별 단독 배기 할 것

⑤ 급기량은 실용적의 20~30배로 하며 열원은 별도로 싸 가지고

단독 배기

⑥ 급기구에는 분진방지 필터 설치

⑦ 배기구에는 방충망과 정기점검

⑧ 배기구는 강풍으로 인한 외기오염이 없게 할 것

(3) 덕 트

① 청정도 별로 단독 배기 할 것

특히 고청정도 작업실용은 단독으로 배기하여 필터 부착

② 덕트 내부 점검

청소 가능한 구조의 점검구

③ 실내 노출덕트의 연결부 등 먼지가 쌓이지 않게 평단하게

할 것

④ 되도록 천장내에 설치하되 부득이 실내에 설치 할 경우 덕트

위에 먼지가 쌓이지 않도록 거리를 두어 청소 가능케 하든가

천장에 착시켜 틈을 메울 것

⑤ 리턴덕트는 되도록 바닥 가까이 설치하고 필터를 부착시킬 것

⑥ 내부 결로의 가능성이 있으면 물배기 장치를 할 것

⑦ 작업실 벽을 통과할 때는 봉을 잘하여 새지 않게 할 것

(4) 배 관

① 되도록 매설할 것

② 천장 밑의 배관은 되도록 적게하고, 기계 위로 통과되지

못하게 할 것

③ 기계 연결 배관은 되도록 매설할 것

④ 브라켓, 지지대 등은 먼지가 쌓이지 않게 할 것

⑤ 관통부는 완전히 폐할 것

⑥ 배관은 청결히 하도록 되어 있으며, 연결 부위은 인체에

무해한 것으로 할 것

5. 미생물 제어

특히 HACCP 구조설비에 유의할 점은 미생물의 제어이다. 이는

바이오 크린룸의 기술을 이용한다.

1) 미생물의 침입 방지, 원재료 포장재, 시설설비, 공기, 용수

작업원

2) 증식 방지

온도·습도 : 냉각, 냉장, 냉동

보관·관리 : 공정지체, 선입선출, 최소재고

식품찌꺼기 : 즉시 청소

양원 제거 : 청소, 배수, 건조화, 먼지제거, 결로 방지

3) 제거와 살균

유입공기 : 제균 필터 및 HVAC 계통의 청결 양압처리

세정 : 기계, 기구, 장치, 건물의 즉시세정 소독(열 약제 가스

자외선)

기계설비의 건조유지 : 건조 바닥, 건조정책

작업원 작업복 : 건강상태·불결상태 확인, 작업 복장의 세척 및

살균, 갱의실의 살균 청정화

4) 보수 정비 : 특히 필터가 젖거나 송풍기 등의 부식이 없고

세척을 잘할 것, 실압의 차압 감시

5) 작업 구역의 낙하균 관리 목표

오염구역 100개 이하

준청정구역 50개 이하

청정구역 30개 이하 세균

10개 이하 진균효모

ⅠClean Room 기

술자료

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TAB수행예정서

1. 목 적

본 자료는 크린룸 공사를 시공함에 있어 모든 설비가 소기의

기능을 발휘하여 그 용도에 부합되는 환경 조건을 제공할 수

있도록 필요한 Tab 수행 내역을 미리 정리하기 위하여 작성

되었으며 다음과 같은 구체적 내용의 달성을 목표로 한다.

1) System의 안정성 추구

Tab 기술을 통하여 공조설비의 전 System이 최적 상태에서

운전되도록 조정하고 준공 후 발생될 수 있는 하자를 미리 예방

하여 사고나 고장 빈도수를 최소화함으로써 System의 안정성을

이룩한다.

2) 운전 경비의 절감 및 장비의 수명 연장

실내의 기류 및 온·습도 분포, 환기 횟수 및 외기 도입량 등

공조 계통이 불균형하거나 실계치보다 과다하게 운전되는 경우

이를 적절하게 재 분배하여 장비의 수명 연장을 꾀함은 물론

사전에 운전 경비의 낭비 요소를 제거한다.

3) 효율적인 운전·관리

Tab 기술 업무가 완료되면 공장내 모든 공조설비의 설계, 제작,

시공에 관련된 기술자료 및 Tab 수행자료, 각 System 및 장비

별 운전자료 등이 정리된 Tab 종합 보고서를 준비하여 향후

공장의 설비 관리에 편리하고 효율적으로 이용할 수 있도록

한다.

2. Tab 업무 수행 내용

Tab와 관련된 업무수행은 현장의 시공 공정 계획표에 맞추어

작성된 Tab 수행 계획서에 의하며 다음과 같은 순서에 따라

실시하도록 한다.

1) System의 최종검토

설계도면, 계산서, 장비용량 산출서, System 구성 배경 및 관련

기술 자료 등을 면 히 파악하고 검토하여 최종 보완 및 수정

토록 한다.

2) 예비 보고서의 작성

설계 도면 및 관련자료 등 검토한 내용을 토대로 하여 Tab

보고서 양식에 각계통별 계통도, 설계 Data, 각 장비사양 및

측정구 위치 등을 작성하여 Tab 작업이 원활히 진행될 수

있도록 준비한다.

3) 현장 점검

공조 설비가 시공중일 때 현장에서 수시로 다음과 같은 사항을

조사 확인하여 완벽한 시공이 되도록 함으로써 시공 후 조정,

균형 작업이 차질없이 이루어지도록 한다.

(가) 설계 도면과의 일치여부

(나) 장비 제작 사양서 및 시방서와 일치여부

(다) 시공 품질 상태 점검 및 공사 시방서와 일치 여부

(라) 기기 설치 누락 여부 및 불량 상태 점검

(마) 현장 여건상 불가피한 변경사항 발생시 문제점 및 대안 점검

(바) 동력, 전압, 전류, 회전수, 결선 상태 등 전기사항 점검

(사) 구동 기기류를 포함한 모든 장비의 명판 기록치 점검

(아) 자동제어 계통 점검 및 예비운전 실시

(자) 기타 관련 공사의 시공상태가 설치 시방서 및 일반 기계설치

기준에 부합되는지 여부의 확인 점검

3. 시험·조정 및 균형 작업

이 작업은 모든 공사가 완료되고 공조 계통 각 장비들의 운전이

가능한 상태에서 실시하며, 완벽한 Balancing 상태가 유지될 때

까지 반복적으로 수행하고 구체적 절차는 다음 각 항에 따른다.

1) 자료수집(각종 장비 및 설비에 대한 설계자료와 시험요령 등)

2) 계통도면 작성(온·습도, 풍량, 증기유량 등을 측정, 조정할

모든 계통의 흐름도작성)

3) 검토 및 준비(측정계기, 보고서양식, 측정위치 및 측정순서,

생산공정에 미치는 향의 최소화 방안 마련 등)

4) 측정, 조정 및 전후 결과 비교표의 작성

5) Tab 종합 보고서의 작성

ⅠClean Room 기

술자료

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CLEANROOM운전관리지침

1. 서 술

모든 기기의 신뢰성, 내구성, Maintenance Free가 크게 요망

되게 되어 Contamination Control의 필요성이 급증되었다.

제 2차 세계대전 전후부터 항공계기 등 그것들에 관련되는 정

한 기기류의 생산에 있어서 소기의 성능을 확보하기 위해 각종의

방법으로 조립구역의 공기를 청정케 하는 일이 행하여져 왔다.

특히 전자기기의 미소화가 진행됨에 따라 합격률을 향상시키기

위하여 기기나 부품이 오염되지 않도록 대단히 노력을 가하여

왔다.

이러한 목적 때문에 Clean Room 기타 공기 청정화 시설은

Contamination Control을 요하는 대부분의 기관에 설치되었다

고 하여도 과언이 아닐 것이다. 그러나 이들의 시설은 단지 설치

하 다는 것만으로는 소기의 청정도 Level을 달성할 수는 없다.

이들의 시설을 유효하게 활용하는 데는 잘 훈련된 전문가에 의해

올바르게 지도하여 주의 깊게 운전되어지지 않으면 안된다.

이 운반관리 지침은 Clean Room 기타의 공기청정 정화시설에

관련이 있는 기술자 및 운전자가 이들의 시설을 운전함에 있어

터득해 두어야 할 사항에 관해 기술한 것이다.

2. 용어의 의미

(1) Clean Room 요원

Clean Room 요원이란 Clean Room을 소정의 청정도 Level

에 유지하고 소정의 생산이 가능케 되도록 관리하는 책임이 있는

Clean Room의 전문가 및 Clean Room내에서 일하는 작업원

을 말한다.

(2) Clean Room용 의복류

Clean Room용 의복류란 Clean Room 내에서 작업원이 착용

하는 Clean Room용 의복, 모자, 신발 또는 장화, 장갑 및

Mask를 말한다.

3. Clean Room 요원

(1) Clean Room의 전문가

Clean Room의 설치에 앞서 Clean Room의 재시설, Clean

Room 작업원에 대한 교육, 훈련 Clean Room 내에서 제조하는

제조설비, 제품용의 원재료, 반제품을 적당한 청정도 Level에

유지하고 안전관리를 위해 한사람 될 수 있으면 두 사람의 전문

가를 양성하여 둘 필요가 있다.

Clean Room의 전문가는 Contamination Control에 관한

광범한 지식과 풍부한 경험을 갖고 있지 않으면 안된다. 관련된

기술은 일진 월보하므로 항상 기술의 진보상황을 파악하여 최선

의 기술에 뒤떨어지지 않도록 마음을 가다듬어 연구에 집중하지

않으면 안된다. Clean Room의 전문가는 다음 모든 항목에

관하여 숙지하여 양호한 상태로 유지하고 중요 항목에 관여는

정확한 기록을 취할 필요가 있다.

1) Clean Room의 전문가가 책임을 질 사항

해당 Clean Room에서 생산되는 제품을 요구하는 제품을 요구

하는 기능에 만족케 하도록 효율적으로 생산해야 할 책임이 있는

것은 당연하지만 구체적으로는 다음사항들이 포함된다.

① 제품

취급하는 제품에 대하여 다음 사항을 숙지하여 적절한 지시를

주고, 그리고 제품에 대한 연구의욕이 왕성해야 한다.

(A) 제품에 대하여 요구되고 있는 청정도 Level을 결절할 수

있는 기술능력이 있는 것

(B) 부품 또는 부품의 기능, 제조법 및 적절한 청정화 기술의

소유

② 해당 Clean Room

해당 Clean Room에 관하여 다음 사항을 숙지하고 필요에

따라 적절한 지시를 준다.

(A) 구조, 성능, 도달 가능한 Level의 한계

(B) 현상 이상으로 청정도 Level을 향상시킬 필요가 있을 때

채택해야 할 방책

(C) Clean Room의 이상이 생겼을 때 취해야 할 방책

(D) Clean Room의 보수, 운전, 청정화 방법

(E) Clean Room의 안전 대책

③ Clean Room에 들어가는 사람(입실자)의 관리

Clean Room의 입실자는 다음과 같이 관리한다.

(A) Clean Room 들어가는 모든 사람은 높은 청정도 Level을

달성하고 그 상태를 유지하기 위한 마음 가짐을 갖지 않으면

안된다. 전문가는 항상 입실자가 적정한가의 여부를 감시

한다.

(B) Clean Room 내에의 입실자수는 필요 최소한을 한다.

(C) Clean Room 내에의 입실자에 관여하는 전문가 또는 담당

자가 다음 내용에 관해 기록한다.

- Clean Room 내에의 오전 오후에 있어서의 각각 입실자수 및

작업시간

- 정규 직원 이외의 입실자수, 입실 년. 월. 일 입퇴실 시각

④ 작업원에 대한 교육 훈련

작업원에 대한 교육 훈련은 전문가의 중대한 업무 중 하나로서

전문가는 평소부터 청정도 관리에 관하여 작업원이 진실하게

ⅠClean Room 기

술자료

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이해되도록 Data를 보여가며 교육을 하고 훈련시킬 필요가 있다.

작업원에 대한 교육 훈련에 있어서 고려할 중요한 항목을 다음과

같이 기술한다.

(A) 청정도 관리에 관한 일반 지식

(B) Clean Room 시설의 구조와 기능

(C) Clean Room 내에 있어서의 작업내용

(D) Clean Room 시설의 유지, 청소

(E) Clean Room 시설내부의 제품 및 작업원의 이동 경로

(F) Clean Room용 운반용기의 관리

(G) 작업원의 보건위생

(H) 안전대책

( I ) Clean Room용 의복의 착탈, 보행방법(발을 끌지 않도록 등)

Clean Room 내에서의 행동

(J) 갖고 들어가는 기재의 청정화 청정도의 검사 등

⑤ Clean Room의 운전 정지

Clean Room의 운전, 정지는 다음과 같이 한다.

(A) Clean Room은 작업의 개시전에 각각의 Clean Room이

소정의 청정도 Level에 이를 때 예비운전을 행한다.

(B) Clean Room은 작업 종료후의 청정작업이 끝난 후 Clean

Room이 소정의 청정도 Level에 회복된 후에 운전을 정지한

다. 단, 제품의 보호를 위해 일부 운전을 계속할 때도 있다.

(C) 화재, 지진등과 같은 이상 상태가 생겼을 때는 운전을 정지

한다.

(D) Clean Room의 운전기록은 전문가 또는 담당자가 작성하고

전문가가 정기적으로 Check 한다.

⑥ Clean Room 시설의 관리 기록

Clean Room은 표 3.1(Clean Room의 관리, 기록항목)에 따라

정상운전의 확인, 이상의 발견과 보수, 오염원인의 규명, 제품의

품질관리상의 기초 데이터의 축적들을 위해 기록하고 관리한다.

(A) Clean Room 시설의 관리기록

- Clean Room 시설

전문가는 Clean Room 시설의 이상 발생시에 즉시 이상상황에

대처되도록 시설에 적합한 관련대장을 정비한다. 대장에는 시설

의 운전순서, 관리수법 이상시의 대응순서 등 외에 관리자나

연락선을 기입한다. 관련업자로서는 해당 Clean Room의 건축

설계 시공업자, 공조설비 설계 시공업자, 위생설비설계 시공업자,

Utilities 설비설계 시공업자, 안전설비설계 시공업자 및 보수관리

업자 Clean Room 운전시설업자, 제조설비 관련업자, Clean

Room용 의복관련업자, Clean Room용 비품류의 관련업자 등이

포함된다.

2) Clean Room

일상의 운전기록은 일보, 월보 등에 의해 전문가 또는 담당자가

작성하고 정기적으로 체크한다.

3) 공조 설비

① 5.5(Clean Room에 있어서의 Monitoring)의 기록에 따라

청정도 풍속, 풍량 공기압 온습도가 정상적인 것을 확인한다.

특히 가습용 수질에 관해서는 적정한 상태에 유지되어 있는

것을 정기적으로 검사한다.

② 이상을 발견했을 때는 대장에 의해 점검 수리를 실시 또는

의뢰한다.

4) 위생(손 닦는곳, 세면소, 변소)설비 년 1회 정도 그 기능을

점검하여 이상이 없는 것을 확인하고 기록한다.

5) Utilities설비

① 전기

년 1회 보안 기준에 따라 점검, 기록한다.

② 순수(Pure Water)

Maker의 교본에 따라 점검, 기록한다.

③ 약품

소비량에 맞는 필요량을 확인하고 기록한다.

일 보

개시 시각 운전자

정지 시각 운전자

압력 청정도

온습도

작업시간

공기압

온습도 분포 (작업

의 필요에 따라)

책임자, 전문가

입퇴출자 수

건강부외자 이름

교환기록, 수리,

제작

시간, 항목, 내용,

작업자

시간, 장소, 작업자

시간, 물품량, 청정

화 Check 책임자

-

-

월 보

운전시간

회수

휴지시간(청정도)

풍속, 풍량

온습도분포

부유미립자 농도

입퇴출자 수

수리, 세탁,

폐기(매수)


작업자 건수

월 별 확인

회수

검사

안전시설의

(검사, 시험)

년 보

총운전시간

휴지회수

휴지시간

작업시간

기류, 주사누 시험

연입퇴출자 수

부외자 총수

수리회수,

세탁회수, 폐기수


작업자 건수

회수

검정, 고정 검사

측정기의 검정

고정 기능 검사

표 3-1. Clean Room의 관리, 기록 항목

Clean Room의

운전장치

Monitoring

사 람

의복, 교환, 검사

점검, 수리, 교환

청 소

물품반 출입

(청정화)

검 사

기타장치,

설비(내부에 있는 것)

ⅠClean Room 기

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CLEANROOM운전관리지침

④ Gas

전문업자에 의한 점검, 정비를 행하고 그 내용을 기록한다.

⑤ 기타(배수, 배액, 배기 등)

처리 기준에 따라서 점검, 검사를 행하고 기록한다. 이상을 발견

하 을 때는 대장에 의해 점검, 수리를 의뢰하고 그 내용을 기록

한다.

6) 안전 설비

① 월 1회 안전설비의 유효 기한 등을 확인하고 필요에 따라

점검을 하고 기록한다.

② 이상, 불비가 있을 때는 대장에 따라 긴급히 정비한다.

7) 반입, 반출물

Clean Room으로서의물품의반입, 반출은필요최소한으로하고,

5.4(Clean Room에 있어서의 기재의 반입, 반출)에 따라 관리하고

그넘긴 년, 월, 일, 시간, 품명, 수량 및 책임자에 관해 기록한다.

(B) 점검수리

설비 및 장치의 점검, 수리 교환 등을 실시했을 때는 작업완료

후, 실시 년월일, 소요시간, 수리점검의 내용 및 시공자(업자)

그외 책임자 등을 기록한다. 이들의 기록은 전문가가 확인한다.

(C) 예비품의 정비, 기록

① 구두 Cleaner, 접착 Mat, 이동식 진공 소제기용 Filter, 세수

대야, 자동 Hand Dryer 등 청정화용 제거기의 부품교환 및 수리

를 위한 예비품이 가까이 있는가를 정기적으로 확인하고 부속품

은 보충하고 대장에 기록한다.

② Clean Room 준 청정실에 반입하는 예비품은 최소한으로

한다.

(D) 시설의 청소기록

시설의 청소는 Clean Room 시설의 청정화에 따라 실시하고

작업 종료후 점검, 확인 후 일시, 작업내용을 기록한다.

2) Clean Room 작업원의 평소의 마음가짐 사항

Clean Room 작업원의 평소 마음 가짐을 열거하면 다음과 같다.

① 매일 저녁 목욕을 하고 항상 신체를 청결히 하여 둘 것

② 적어도 매주 1~2회 저녁 머리를 감고 비듬이 생기지 않도록

한다.

③ 남성은 매일 아침 일찍 수염을 깍는다.

④ 항상 손을 청결히 하기 위해 때때로 손을 닦고 손톱을 청결히

하고, Hand Cream & Hand Lotion을 바르며 피부의 껍질이

일어나지 않도록 방지한다.

⑤ 손의 털구멍을 지키기 위해 가루 등에 손이 담겨지는 등의

일을 피한다. 또 손이 거칠어지는 일을 하지 않는다.

⑥ 피부에 Thinner 중성세제 등의 용제가 부착할때는 천연의

피부지방을 제거하고 심하게 피부의 껍질이 벗겨지게 하는 일이

있으므로 피부를 노출시킨 채 용제를 취급해서는 안된다.

⑦ 다음과 같은 상태가 생기지 않도록 평소부터 주의한다.

⑧ 정리정돈을 잘 한다.

3) Clean Room에 반입해서는 안되는 물품

Clean Room에 갖고 들어가서는 안되는 물품은 다음과 같다.

① 규정대로의 청정화 과정을 거치지 않은 재료, 집기, 비품, 측정

기 등 모든 물품

② 마분지, 기타의 필기용을 포함한 저발진성을 인증받지 못한

종이류

③ 필기용의 연필, 지우개고무, 펜, 잉크, 만년필류

④ 다음에 나타나는 작업원의 개인적 물품 담배, 성냥, Lighter

류, 음식물, 껌류

⑤ 보석, 장식품, 화장품류

⑥ 지갑, 열쇠, 시계류

⑦ 휴지, 손수건류

⑧ 수첩 기타의 개인사물

(2) Clean Room 요원의 입퇴실 및 실내에서의 주의사항

1) 입 실

Clean Room에 입실하는 자는 해당 Clean Room 소정의 청정

도를 유지하기 위해 외부로부터 오염물의 Clean Room 반입과

발생을 극력 억제하지 않으면 안된다. 그 때문에 Clean Room

시설의 사무소 또는 대기실에 들어갈때는 옥외용의 신발을 옥내

전용의 Slipper 또는 실내화로 갈아신고 화장, 메니큐어 등을 지

운다. 탈의실에 들어가기 직전에 실내화를 벗어 신발장에 넣는다.

탈의실에 있어서는 청정구역의 Level에 따르는 순서로 탈의하고

정해진 Locker에 넣어둔다.

세면실에서는 청정구역의 레벨에 따라 청정한 액체세제와 청정

한 물이 공급되는 소정의 수세기로 ①(손닦이)의 방법으로 손을

닦는다. 필요에 따라 소정의 Hand Lotion을 바른다.

Clean Room용 의복(Hood, Coverall을 포함)은 ②(Clean

Room용 의복의 착용순서)에 따라 의복을 바닥이나 기물에 닿지

않도록 착용한다.

Clean Room용 의복 착용 후 Clean Room용 구두

(Overshoes를 포함)를 신고 다시 ①(손닦이)에 따라 손을 닦은

후 접착 Matt 위를 통과한다. Air Washer 등이 있을 때는

소정의 순서에 따라 청정한 공기흐름에 따라 인체의복 등의 표면

에 부착되어 있는 오염물을 제거한 후 Clean Room에 들어간다.

① 손닦이 그릇

ⅠClean Room 기

술자료

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Fine Air Tech┃┃

손은 Gross 오염의 Carrier이므로 따라 수시로 손을 닦는다.

청정화된 부품과 제품, 포장재료 등은 맨손으로 취급하여서는

안된다. 반듯이 청정한 장갑 또는 손가락 Sack를 씌어서 취급케

한다. 수세기의 수도 꼭지 개폐는 손을 사용하지 않고 발로 밟아

서 행한다. 필요에 따라 청정한 물로 잘 행군다. HEPA Filter를

내장한 자동 Hand Dryer로 손을 잘 건조시킨다. 건조 후 피부를

보호하기위해소정의Hand Cream 또는Hand Lotion을바른다.

② Clean Room용 의복의 착용순서

①(손닦이 그릇)에 의해 손을 닦는다. 입실자 개개인 전용의

청정한 Clean Room용 의복을 보관용 Locker & Hanger 또는

소정의 수납장소에서 꺼낸다. 포장되어 있는 Clean Room용

의복의 포장을 뜯어 끌어내서는 안된다.

반듯이 잘드는 가위로 잘라내고 의복을 꺼내야 한다. 포장재료

는 쓰레기통에 넣는다. Clean Room용 의복은 소매, 깃 등이

오염되지 않도록 하여 선채로의 자세로 원칙적으로 위쪽부터

착용하낟. 필요에 따라서 전용의 착의대를 만든다. Hood는 목이

있는 곳에서 Cover의 내측에 들어가도록 하여 Cover의

Fastener를 멈춘다. Boots일때는 바지깃이 모두 Boots 속에

들어가도록 신는다. Boots는 흘러내리지 않도록 하고 또 신목을

단단히 조인다. Clean Room용의 의복을 착용한 후에는 ①(손닦

이 그릇)에 의해 손을 닦는다.

2) 퇴 실

작업도중 또는 종료시에 Clean Room으로부터 퇴실할 때는

재입실 및 다음번 작업에의 Gross 오염을 막기 위해 그림 3.1에

표시한 순서로 퇴실한다. 준 청정실에 있는 갈아입는 구역에

들어갈 때까지 Clean Room용 의복을 벗지 않는다. 갈아입는

구역에 있어서 먼지 Clean Room용 신발은 벗고 오염되지 않도

록 소정의 장소에 수납한다. 필요하면 신발을 벗었을 때 오염된

손을 닦고 Hood 또는 모자를 벗고 오염되지 않도록 소정의 장소

에 수납한다.

Clean Room용 Cover 등을 바닥, 책상, 기타의 비품에 닿지

않는 것을 원칙으로 하여 아래부터 벗어 소정의 장소에 오염되지

않도록 Hanger에 걸어서 수납한다. Clean Room용 의복을

벗은 후, 다시 Clean Room에 들어갈 때는 1)(입실)에 표시한

입실 순서에 따른다. Clean Room에서 퇴실할 때는 Air

Washer를 쬐일 필요는 없다. Clean Room안의 작업원이 손을

닥기 위해 준 청정실에 들어갈 때는 점착 Mat 위를 통과하여 Air

Washer가 있으면 규정된 방법으로 쐬인다. 용변 때문에 Clean

Room용 의복을 벗을 때는 2)(퇴실)의 순서에 따른다.

3) Clean Room 내에서의 주의사항

Clean Room에서의 요원의 동작은 발진원이 되어 Process에

의 직접적 향이나 기류의 흐트러짐이 원인이 되는 Process에

간접적 향이 있다. 이들을 방지 억제하기 위해서 요원은 조용히

소정의 작업을 세심한 주의를 갖고 수행하지 않으면 안된다.

기본적으로 주의할 사항으로는 아래와 같은 것들을 들 수가

있다.

① Process에의 향원이 되는 기류의 흐트러짐 등이 일어나지

않도록 하기 위해 작업지역의 상류층에 물품을 놓거나 작업을

하여서는 안된다.

② 불필요한 동작은 기류의 흐트러짐 및 발진원이 되기 때문에

행하여서는 안된다.

③ 사담은 하지 말 것

④ 보행, 작업은 발진량을 극력 억제하기 위해 조용이 행한다.

⑤ 작업은 청정한 작업대 또는 그 윗쪽에서 행한다. 또, 오염

우려가 있는 것, 예를 들어 바닥에 떨어진 물품들을 사용해서는

안된다.

⑥ Clean Room용 의복은 항시 정상 착의상태를 본전하지

않으면 안된다.

⑦ 공구, 기구, 필기 용구류는 오염물이 발생되도록 난폭하게

취급하여서는 안된다. 사용치 않을 때는 뚜껑이 있는 Cabinet내

또는 소정의 위치에 청정한 상태로 보관한다.

그림 3-1. 크린룸의 입, 퇴실 Flow Chart

●관리구역

●준청정구역

●청정구역

옥외

일반복실

맨발 또는 슬리퍼

Clean Room용의복 갈아입기구역

Matt

신발갈아신기

일차갱의

사무실 등

신주머니

일반용 Locker

손닦기·화장실

양말주머니

수세 Dryer

점착 Matt

Air Shower 등

Clean Room의복용 Locker착의대, 세탁광주리

신 발

탈의·착의

착의·탈의

신 발

준비실

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