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昊德工程有限公司

冷凍空調技師駱昀昊

1昊德工程有限公司

目錄

無塵室系統架構說明

無塵室管理說明

無塵室空調設備保養說明無塵室空調設備保養說明

Q&A

昊德工程有限公司誠信、專業、負責 2

無塵室系統架構說明無塵室系統架構說明



一、何謂無塵室

二、無塵室驗收標準

三、無塵室須具備之因素

四系統架構說明四、HEPA系統架構說明五、FFU系統架構說明六、案例說明六案例說明

七、使用材料說明



一、何謂無塵室：

無塵室是一個為了對空間內空氣中的微塵粒子做控制，所建造的特殊封閉性

建築。一般而言，無塵室也會對溫濕度、氣流運動模式、震動與噪音等環境因素

做控制。

無塵室依等級的不同對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範無塵室依等級的不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範，

在國際標準中最常見的規範有Fed-Std-209E。



二、無塵室驗收標準(美國聯邦FED STD 209E)：

等級

等級級限

0.1μｍ 0.2μｍ 0.3μｍ 0.5μｍ 5μｍ

體積位體積位體積位體積位體積位體積單位體積單位體積單位體積單位體積單位

公制英制 m³ ft³ m³ ft³ m³ ft³ m³ ft³ m³ ft³

M1.5 1 1240 35 265 7.5 106 3 35.3 1 — —

M2.5 10 12400 350 2650 75 1060 30 353 10 — —

M3.5 100 — — 26500 750 10600 300 3530 100 — —

M4.5 1000 — — — — — — 35300 1000 247 7

M5.5 10000 — — — — — — 353000 10000 2470 70

M6 5 100000 3530000 100000 24700 700


M6.5 100000 — — — — — — 3530000 100000 24700 700


三、無塵室須具備之因素：

A. 能去除空氣中飄游之微塵粒子B. 能防止微塵粒子之產生C. 溫度和濕度之控制D. 壓力之調節E. 有害氣體之排除F. 結構物與隔間之氣密性G. 靜電之防制H. 電磁干擾之預防H. 電磁干擾之預防I. 安全因素J. 節能之考量



三、無塵室須具備之因素：潔淨室依氣流型態可分為亂流型態(Turbulent Flow )與層流型態(Laminar )。

亂流式：氣流在潔淨室非直線型運動，而形成不規則之亂流或渦流狀態。其型式只通用於無塵室等級Class 1,000~100,000。

層流式氣流在潔淨室運動成一均勻之直線形態其型式適用於潔淨室等級為Cl 1 100層流式：氣流在潔淨室運動成一均勻之直線形態，其型式適用於潔淨室等級為Class 1~100。層流式又分為水平層流與垂直層流。



四、HEPA系統架構說明(一)：(適用CLASS-10,000~100,000等級無塵室) 氣流型式：亂流式無塵室

上方空間可利用



四、HEPA系統架構說明(二)：(適用CLASS-1,000~10,000等級無塵室) 氣流型式：亂流式無塵室

上方空間可利用



四、HEPA系統架構說明：(HEPA與FFU比較)HEPA. FFU.

分為天花板上更換型與室內更換型

濾網處附保護網

風量大小為規格品，可多段調速

一般尺寸：600*600 & 600*1200 & 600*900分為拋棄式與室內更換型

濾網處附保護網(避免安裝更換時毀損)

入風口徑可依風量大小設計(12“ or 14”)

一般尺寸

可連接中央監控-監視運轉狀況

分為不銹鋼與鋁合金製

昊德工程有限公司誠信、專業、負責 11一般尺寸：600*600 & 600*1200


五、FFU系統架構說明：(適用CLASS-100~1,000等級無塵室,無高架地板) 氣流型式：亂流式無塵室

昊德工程有限公司誠信、專業、負責 12F.F.U.系統架構圖(一)

FFU介紹


五、FFU系統架構說明：(適用CLASS-100~1,000等級無塵室,有高架地板) 氣流型式：垂直層流式無塵室

昊德工程有限公司誠信、專業、負責 13F.F.U.系統架構圖(二)


五、FFU系統架構說明：(庫板種類)

PU 紙蜂巢陶瓷紙蜂巢鋁蜂巢岩棉



五、FFU系統架構說明： (FFU架構)上層天花板

天花板二次鋼構天花板二次鋼構

Ceiling Grid系統+盲蓋板O FFU TOr FFU Type

無塵室空間

鋁合金高架地板+鋁蜂巢板



五、FFU系統架構說明： (Ceiling Grid載重型天花板)



五、FFU系統架構說明： (玻璃視窗安裝)



五、FFU系統架構說明： (高架地板)

斜支撐架

昊德工程有限公司誠信、專業、負責 19高架盲板


五、FFU系統架構說明： (各種方式潔淨室之比較)

項目亂流方式水平層流方式垂直層流方式潔淨隧道方式潔淨管道方式局部潔淨方式

潔淨度 1,000~100,000 10~1,000 1~100 1~100 1~100 10~1000

換氣次數(次/小時)

20~70 100~300 300~500 300~500 100~400 100~300

送風速度( / ) 0.1~0.3 0.25~0.5 0.25~0.45 0.3~0.5 0.35~0.5 0.25~0.45(m/s)

壓差值(mmH2O)

0.5~1.0 1.0~2.0 1.0~2.5 0.5~1.0 1.0~2.5 0.5~1.5

建造成本小大最大大中最小建造成本小大最大大中最小

維護費用小大最大大小最小

升級能力難容易難容易難稍難

維修難易中中容易容易難中


維修難易中中容易容易難中

噪音度小大最大大中中


六、案例說明： (二廠4F CAM房無塵室擴充-隔間工程)

空氣浴塵室暗房區

落地式傳遞箱

溫濕度顯示器

昊德工程有限公司誠信、專業、負責 21ERIC−LOURERIC−LOUR

K.G.−HO


六、案例說明： (二廠4F CAM房無塵室擴充-風管工程)

空氣調節箱

保溫送、回風管


ERIC−LOURERIC−LOUR

K.G.−HO回風立柱、回風口

空調箱結構介紹



七、使用材料說明： (庫板系列)回上頁

種類：PU庫板、紙蜂巢庫板、鋁蜂巢庫板、岩棉庫板。

防火等級：耐燃二級、耐燃一級、防火1hr、防火2hr。

回上頁

材質：分為一般型與抗靜電型。又可分單面抗靜電與雙面抗靜電型。

厚度：42mm與50mm


PU庫板紙蜂巢庫板鋁蜂巢庫板金像用板


七、使用材料說明： (過濾網材系列)

初級過濾網：集塵率25~35%，使用於一般外氣空調箱或過濾較粗之微塵，通常為第一道濾材。可分為不織布、全鋁質、滾筒式濾網。

中級過濾網：集塵率80~85%，通常用於初級過濾網之後，為第二道過濾濾材。有分為袋型及板式。

高效率過濾網(俗稱HEPA)：集塵率95~99.99%(@0.3um)，過濾效果佳，使用於無塵室( ) (@ )1,000~10,000等級範圍，如電子業、食品業等。

超高效率過濾網(俗稱ULPA)：集塵率99.999%(@0.1um)，過濾效果為最佳，適用於醫療、實驗室等。實驗室等。



七、使用材料說明： (過濾網材系列)

類別適用灰塵直徑

(um)適用灰塵濃度

(mg/H3)壓力損失(mmAq)

效率

(%)過濾網材質用途

初級過濾網 ≧ 5 0 1 7 3 20 25 35合成纖維外氣處理，空調箱前

初級過濾網 ≧ 5 0.1~7 3~20 25~35玻璃纖維端處理

中級過濾網 ≧ 1 0.1~0.6 8~25 80~85 同上高性能過濾網之前端用或循環空氣前端用

準HEPA ≧ 0.3 ≦ 0.3 15~35≧95

(@0.3um DOP)玻璃紙

Class 100~10,000無塵室最終過濾網

HEPA ≧ 0.3 ≦ 0.3 25~5099.97

(@0.3um DOP)同上

Class 100~10,000無塵室最終過濾網(@ ) 最網

ULPA 0.1~0.3 ≦ 0.1 25~50 99.995 (@0.1um DOP) 特殊玻璃紙 Class 1~100級用

超ULPA 0 1 0 05 ≦ 0 1 25 5099.99995

同上 Class 1級用


超ULPA 0.1~0.05 ≦ 0.1 25~50(@0.1um DOP)

同上 Class-1級用

無塵室管理說明無塵室管理說明



圖：以空氣當介質的微塵粒子傳送途徑


圖：以空氣當介質的微塵粒子傳送途徑


1um=10-6m

昊德工程有限公司誠信、專業、負責 29圖：大氣中微塵分佈及粒子大小比較圖

1um=10 6m人類頭髮直徑=100um


潔淨室運轉管理，可依作業人員、原物料、設備及潔淨室內所用東西等加以探討，並依計畫（Planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking）、動作（Action）之步驟執行。依計畫（Planning）、實施（Doing）、追蹤（Checking）、動作（Action）之步驟執行。

作業人員之管理

在無塵室內污染來源80％來自作業人員，因此若能使作業人員依無塵室管理辦法確實執行管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的產生可說已減少大半。現就進入無塵室的作業人員之進出流程說明如下出流程說明如下

圖：無塵室人員進出流程

原物料、設備進出管理

除了人員進出無塵室須予以規範管理外，原物料及設備之進出也必須經過潔淨程序，方不至於影響無塵室之潔淨度其進無塵室之流程如表所示至於搬出則反向而行但不須經潔淨程序


影響無塵室之潔淨度。其進無塵室之流程如表所示。至於搬出則反向而行，但不須經潔淨程序。


無塵室內用品管理

表：原物料及設備搬遷流程

無塵室內用品管理

無塵衣、鞋、帽子等須由專人管理，並做定期清洗，清洗需在潔淨室內進行，並以純水配合清潔溶劑，並經約0.2um之過濾器為之。一般洗滌週期視無塵室等級而定，在高潔淨區(Class-1)為2~3天，其他區域則為5天~1星期，洗滌完畢乾燥後應立即密封。

桌、椅一般以不銹鋼材質，並須表面加工處理為之，若不得不使用木製品或鍍鋅品，其表面需施環氧樹脂(Epoxy)加工以防止表面發塵。



無塵室四大原則及其管理要項：

不帶入：

(1) 實施入口管制。

(2) 入口使用腳踏黏墊(2) 入口使用腳踏黏墊。

(3) 設立緩衝區（Buffer Zone）來進出物料或設備。

(4) 階段性使用無塵衣。

不產生：

(1) 減少發塵作業。

(2) 良好的工作習慣。

(3) 使用不發塵材料。

(4) 在指定區域切割材料。

(5) 無塵室內絕對禁止吸煙、嚼檳榔及飲食。



無塵室施工四大原則及其管理要項：

不堆積：

(1) 每日收工前確實作好清理工作。

(2) 垃圾不堆積應定期清除(2) 垃圾不堆積，應定期清除。

迅速排除：

(1) 發塵作業時應使用吸塵器或排煙設備。(1) 發塵作業時應使用吸塵器或排煙設備

(2) 不使用之材料應移出。

(3) 使用適當的清潔工具。

(4) 每日清理工作區域。

(5) 作好日常工作區域的“潔淨（ Clean）＂自我檢查。



無塵室管理方法：

出入口管制鞋子管制飲食管制衣著管制防護及臨時預置場

絕對潔淨期

Ult Cl*佩戴許可證*只允許特定人員進出

進入管制區須著無塵鞋或穿戴鞋

*禁煙、禁吃食物、飲料、檳榔、口香

*工作人員須穿著乾淨衣服進入管

*申請物料放置區*禁止放置不清潔物Ultra Clean

Stage*只允許特定人員進出*管制出入*出入人員經過A/S*進入無塵室需著無塵衣無塵鞋

無塵鞋或穿戴鞋套

飲料檳榔口香糖

乾淨衣服進入管制區

*進入無塵室須著無塵衣

*禁止放置不清潔物料

*使用鋁製梯子

設備與物料到達工具管制清潔管制非工作人員管制

絕對潔淨期

Ultra Clean Stage

*禁止使用木質和紙類*物料和工具須用5%IPA+DI 清潔

*用5%IPA (異丙醇) +DI擦拭乾淨

*物料和剩料於每日收工前整理整頓*剩料須分類分地方放置*每天收工前須清理工作區域*使用吸塵系統及擦拭方式清潔

*須經業主同意及由業主代表陪同進入



無塵室管制要點： (運轉時)進入無塵室內需依本法規之要求，人員方得進入。

進入無塵室人員，均需受過二小時以上訓練講習方得進入。

凡未受過講習及未佩掛證件者不得進入，一但發現立即驅離。

所有人員進出無塵室人員，均依管制人員管制要求，未得許可不得進入。

未按規定穿著不得進入。

如做激烈運動流汗者不得進入。

抽煙或吃東西後未經半小時以上者不得進入抽煙或吃東西後未經半小時以上者不得進入。

因日晒、溼疹或燙傷而皮膚有問題者不得進入。

對化學纖維有過敏性體質者不得進入。

容易出汗者不得進入。容易出汗者不得進入

容易流鼻水及鼻子常流排出物者不得進入。

感冒或患哮喘病，常咳嗽或容易打噴嚏者不得進入。

比一般皮膚表皮容易剝離頭皮或毛體容易掉落者不得進入。

化妝或塗口紅者不得進入


化妝或塗口紅者不得進入。


無塵室管制要點： (運轉時)經常有搔抓者不得進入。

有精神病神經過敏或閉鎖性恐懼症者不得進入。

無塵室內部需隨時保持內部整齊清潔。

所有進入物品必須經過特殊擦拭檢查後方可進入。

不可攜帶紙箱、紙張、鉛筆、橡皮擦、鋼筆、墨水等物品進入，如果需攜帶圖紙進入時，應外覆以塑膠袋保護。

進入之人員不可攜帶香煙、打火機、食品、裝飾品、錢包、衛生紙、手帕等個人物品。進入之人員不可攜帶香煙、打火機、食品、裝飾品、錢包、衛生紙、手帕等個人物品。

必須穿著無塵衣，並戴好口罩手套，進入時應經過AIR SHOWER洗淨後方得進入。

需穿專用鞋子進入無塵室，進入前須先清潔鞋底，檢查好後方得進入。

進入施工者應使用無塵室專用吸塵器等工具做清潔工作。

每一步驟小區域施作完後必須立即清除地面垃圾塵埃，不得拖延至當日完工時才清除。

離開無塵室必須將垃圾帶離無塵室。

除另有規定，無塵室內區域開放時間為AM 8：00 ~PM：5：00。



無塵室管制要點： (人體不同動作之微塵產生數) (單位：每分鐘、每人)粒子大小

衣服

動作

≧ 0.3um ≧ 0.5um

一般工作服無塵服

普通作業衣無塵服

白衣型全覆型白衣型全覆型

為控制發塵量，

人員步行及作業要靜

靜地進行

(單位每分鐘每人)

動作白衣型全覆型白衣型全覆型

站立(靜姿) 543,000 151,000 13,800 339,000 113,000 5,580

坐下(靜姿) 448,000 142,000 14,800 302,000 112,000 7,420

腕上下 4 450 000 463 000 49 000 2 980 000 298 000 18 600

靜地進行。

右表所示為人體在不

同動作時之發塵量。腕上下 4,450,000 463,000 49,000 2,980,000 298,000 18,600

上身前屈 3,920,000 770,000 39,200 2,240,000 538,000 24,200

腕的自由運動 3,470,000 572,000 52,100 2,240,000 298,000 20,600

頸上下左右 1 230 000 187 000 22 100 631 000 151 000 11 000頸上下左右 1,230,000 187,000 22,100 631,000 151,000 11,000

屈身 4,160,000 1,110,000 62,500 3,120,000 605,000 37,400

踏步 4,240,000 1,210,000 92,100 2,800,000 861,000 44,600

步行 5 360 000 1 290 000 157 000 2 920 000 1 010 000 56 000

昊德工程有限公司誠信、專業、負責 37資料來源：中國生產力中心技術研討會資料

步行 5,360,000 1,290,000 157,000 2,920,000 1,010,000 56,000


無塵室管制要點： (半導體零件對靜電之敏感度)

半導體零件之種類破壞電壓(V)

MOS/FET(金屬氧化半導體/場效電晶體) 100~200

靜電會造成半導體的電子迴路被破壞，也

會引起微塵粒子之大量附著，造成無塵室的污

染若靜電過大會造成靜電放電房間中若J-FET(J-場效電晶體) 140~10000

CMOS(互補金屬氧化半導體) 250~2000

肖脫基二極體(Schottky Diode) 300~2500

染。若靜電過大，會造成靜電放電，房間中若

存有可燃性或爆炸性氣體，極易引起爆炸之危

險。右表為半導體零件對靜電之可接受度。肖脫基二極體(Schottky Diode) 300~2500

肖脫基TTL(Schottky TTL) 1000~2500

雙極性電晶體(Bipolar Transistor) 380~7000靜電防制，是防止靜電發生，但依目前技

術上無法全面避免靜電之發生只能從減少其 ECL混合電路(印刷電路機板水準) 500

SCR(矽控整流器) 680~1000

TFT-LCD(薄膜液晶顯示器) 300~2000

術上無法全面避免靜電之發生，只能從減少其

發生原因的分離、接觸和摩擦，並將發生的靜

電想法消除它。


資料來源：電子工業人才培訓上課講義


無塵室管制要點： (半導體零件對靜電之敏感度)(單位：V)

產生靜電之動作相對濕度10~20% 相對濕度65~90%

地毯上之行走 35,000 1,500

消除靜電方法如下：

1. 物體接地—使其靜電向大地釋出。

(單位：V)

塑膠地板上之行走

12,000 250

工作台(Bench)工作

6,000 100

2. 將非導電物體變為導電體

(a)增加環境濕度，參右表內容。

(b)在物體上塗抹帶電防止劑—在非導電物作

6,000 100

防止打擾工作用之塑膠布

7,000 600

從工作台拿起來

( )

體表面上塗抹，使之成為有導電性。

©物體在製造時加入導電材料—如碳材。

用離子中和在過濾器下方安裝靜電消除從工作台拿起來的塑膠桶

20,000 1,200

蓋有聚胺脂套之椅子

18,000 1,500

3. 用離子中和--在過濾器下方安裝靜電消除裝置，以產生正負空氣離子來中和無塵室

內產生之靜電。


資料來源：電子工業人才培訓上課講義


無塵室管制要點： (不同紙張發塵量比較)

100 稻焊紙打字紙

資料來源：中國生產力中心技術研討會資料

60

80打字紙

感光紙

衛生紙

發塵指數

40

60捲筒紙

牛皮紙

羊皮紙

數

0

20 新聞紙模造紙

靜電複寫紙實驗法：將兩者紙張相疊，而互相摩擦時所產生之紙塵量


描圖紙實驗法：將兩者紙張相疊，而互相摩擦時所產生之紙塵量(0.5um以上)

無塵室空調設備保養說明無塵室空調設備保養說明


無塵室空調設備保養說明

空調箱設備檢查項目：

初級過濾網每2~4星期檢查或更換(視外氣環境或回風條件)。初級過濾網每2 4星期檢查或更換(視外氣環境或回風條件)。

中級過濾網每3~6個月檢查或更換(視初級過濾網更換頻率或顏色判斷)。

高效過濾網每1年檢查或更換(以量測值判定較為準確，Ex：壓差、出風量、濾材破損

情形等)。情形等)。

電加熱器經電磁接觸器、SCR等，檢查線路接點及過載保護。

電加濕器每月檢查每季清洗一次(清除水箱內部及電熱棒或電極板之水垢，RO補水正常

暢通)暢通)

傳動皮帶每季應檢查張力一次，太鬆時予以調整。摩擦過劇時，應立即更新或每年更

換。

空調箱上之壓差指示計數據達到原始壓差值之一倍時，建議將濾網更換之。



無塵室檢查項目：

建築物之維護管理：

1. 無塵室內定期檢查清潔。

2. 地板之清掃管理及損壞更新。

3. 隔間牆及天花板檢查清潔和封補。

4. 窗戶和門之保養。

環境測定與管理：環境測定與管理：

無塵室內之運轉環境狀況如溫、濕度及微塵粒子數應每日定期測量，以確實掌握

環境品質。遇有數據異常，可立即做緊急處理。

防塵空調設備之維護管理：防塵空調設備之維護管理：

1. 量測儀器應定期校正檢驗，若有設備移動或施工時需做局部測量。

2. 過濾網之管理，定期檢查及更換，參“空調箱設備檢查項目＂。


3. 空調箱之管理，定期檢查隔板接縫及內部污染狀況，冷熱盤管是否有腐蝕現象。


無塵室檢查項目：

4. 送風機之管理，定期檢查送風機運轉狀況，並定期測量風量。

5. 風管及出風口之管理，檢查風管有無腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。

6. 室內壓力管理，連續監視室內壓力紀錄，以維持正壓為基準。(Ex:1.25mmAq以上)

7. 冰水主機、泵浦、冷卻水塔之管理，定期檢查保養及紀錄運轉狀況及水質變化分析，

以調整加藥量等。

8. 無塵室停止運轉再開機要點管理，啟動後立即進行微塵粒子之測試，待無塵室恢復穩8. 無塵室停止運轉再開機要點管理啟動後立即進行微塵粒子之測試待無塵室恢復穩

定正常時再開始作業。另外避免開機時之結露狀況，應從監控將無塵室內之露點溫度

值提高，再階段性降低露點溫度值至要求條件。


Q & AQ & A


說明結束說明結束

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