蒸着源radak / oledoled 600 熱 電 対 radak type c or k oled type k 高 さ 2.60’’ (66mm)...
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オプション Option
LUXEL は蒸着源 RADAK を 30 年以上にわたり提供しています。るつぼ、ライナー、熱電対、その他の
オプションを適切に選択し、組み合わせることで薄
膜電池・太陽電池などさまざまな用途に対応が可能
です。また、有機 EL 開発に最適な OLED もラインナップされています。
さらに大きい内容量 100cc の RADAK Ⅲ、1000cc の IV もございます。詳細はお問い合わせ下さい。
高 さ 3.9’’(99.5mm)
直 径 2.25’’(57mm)
標準るつぼ 15cc alumina
内 容 量 10cc
最高温度 RADAK 1500℃
OLED 600℃
熱 電 対 RADAK Type C or K
OLED Type K
高 さ 2.60’’ (66mm)
直 径 1.75’’ (44.5mm)
標準るつぼ 2cc alumina
内 容 量 1cc
最高温度 RADAK 1500℃
OLED 600℃
熱 電 対 RADAK Type C or K
OLED Type K
熱電対 Thermo Couple
Type K (Chromel-Alumel) Type C (Tungsten-Rhenium) For applications up to 1200℃ For applications up to 1500℃
るつぼ Crucible Alumina / Quartz / Pyrolytic Boron Nitride / Organics Evap
/ Arc Coated SS / Al Evap など
ライナー liner Tungsten / Molybdenum / Tantalum など
コントローラ Controller
RADAK Power Controller II / RADAK Power Controller II+ / RADAK Power Controller IIP
RADAK II / OLED II RADAK I / OLED ICompact size for limited space
Vapor Shield
Crucible Radiation
Baffle Liner
(optional) Cover
Thermo couple
Base
Thermocouple Plug
Power Boss Mounting Boss
1500℃までの温度管理が可能
内蔵型熱電対による温度モニター
不純物の混入を防止
るつぼ洗浄、材料の補充が容易
シールドによるチャンバー温度
上昇の抑制
コントロール容易な低電圧電源
均一なコーティングや蒸着材料の
最大利用が可能
Larger size for greater capacity
蒸蒸着着源源 RRAADDAAKK // OOLLEEDD
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電源コントローラ Power Controller
RADAK Power Controller II
RADAK Power Controller II + RADAK Power Controller IIP
Mar. ‘09
RADAK パワーコントローラⅡは、手動設定及びプログラムコントロールの両方で蒸着炉を制御できる基本的な
PID コントローラです。シンプルなインタフェースで蒸着炉を一定温度に保つことが可能です。プログラムは
設定温度に従ってコントロールできる様、RAMP 、DWELL で構成されています RS 232 シリアルインタフェース
を介してパラメータをリモートで設定することができます。
RADAKパワーコントローラⅡ+はパワーコントローラⅡのすべての特長を有し、加えて自動制御の蒸着装置への
導入が容易という特長があります。４つのプログラムを格納し、いずれかを選択することができます。また、
出力電力や設定温度を外部デバイスで直接調整することにより、堆積率のコントロールにも対応しています。
外付けデバイスとの接続でデジタル入力と中継出力が可能です。
RADAK パワーコントローラⅡP はパワーコントローラⅡ+の上位機種で、Ⅱ+の特長に加え、出力を２つの蒸着
炉に接続できるようになりました。内部スイッチによって、制御する蒸着炉の選択が可能です。片方の炉から
の堆積が完了すると、コントローラは２つ目の炉の制御に切り替えられます。４つのプログラムのいずれかを、
画面スイッチやリモートで選択できます。
輸入元: RAD Device ラドデバイス株式会社 http://www.rad-dvc.co.jp 〒192-0046 八王子市明神町 2-26-4
ｱｰﾊﾞﾝﾌﾟﾗｻﾞ IZUMI 7F TEL: 042-642-0889 （FAX:-0896）
Email：[email protected]
国内代理店: Technoport 株式会社 テクノポート http://www.technoport-jp.com
〒111-0052 東京都台東区柳橋 1-6-9 TEL: (03) 5825-3559 （FAX: -3589）
Email：[email protected]
モデル Ⅱ Ⅱ+ ⅡP
Eurotherm モデル # 2404 2404 2404RS 232 ○ ○ ○
オートチューンアルゴリズム ○ ○ ○出力チャネル数 1 1 2
格納プログラム数 1 4 4プログラムセグメント数 8 16 16
プログラムリンク ○ ○プログラム選択用
デジタル表示パネルアナログ入力 1 PV† 1 PV, external control 2 PV, external control
ソフトウェア‐入力ソースの選択 ○ ○ ○‐ 熱電対タイプ ○ ○ ○
‐ Custom linearization profile ○ ○ ○‐ All standard RTDs, pyrometers ○ ○ ○
‐ 電圧、電流入力 ○ ○ ○User calibration ○ ○ ○
外部コントロール入力 ○ ○デジタル I/O 3 input 3 input
中継出力 2 SPST, 1 SPDT 2 SPST, 1 SPDTControl schemes simple PID simple PID, external simple PID, external
Eurotherm iTools software forconfiguration and instrument
communications
○
○ ○ ○
http://www.rad-dvc.co.jp/�mailto:[email protected]�http://www.technoport-jp.com/�mailto:[email protected]�
モデル
ⅡⅡ+ⅡP
Eurotherm モデル #240424042404
RS 232○○○
オートチューンアルゴリズム○○○
出力チャネル数112
格納プログラム数144
プログラムセグメント数81616
プログラムリンク○○
プログラム選択用
デジタル表示パネル
アナログ入力1 PV†1 PV, external control2 PV, external control
ソフトウェア‐入力ソースの選択○○○
‐ 熱電対タイプ○○○
‐ Custom linearization profile○○○
‐ All standard RTDs, pyrometers○○○
‐ 電圧、電流入力○○○
User calibration○○○
外部コントロール入力○○
デジタル I/O3 input3 input
中継出力2 SPST, 1 SPDT2 SPST, 1 SPDT
Control schemessimple PIDsimple PID, externalsimple PID, external
Eurotherm iTools software for
configuration and instrument
communications
○
○○○
モデル
ⅡⅡ+ⅡP
Eurotherm モデル #240424042404
RS 232○○○
オートチューンアルゴリズム○○○
出力チャネル数112
格納プログラム数144
プログラムセグメント数81616
プログラムリンク○○
プログラム選択用
デジタル表示パネル
アナログ入力1 PV†1 PV, external control2 PV, external control
ソフトウェア‐入力ソースの選択○○○
‐ 熱電対タイプ○○○
‐ Custom linearization profile○○○
‐ All standard RTDs, pyrometers○○○
‐ 電圧、電流入力○○○
User calibration○○○
外部コントロール入力○○
デジタル I/O3 input3 input
中継出力2 SPST, 1 SPDT2 SPST, 1 SPDT
Control schemessimple PIDsimple PID, externalsimple PID, external
Eurotherm iTools software for
configuration and instrument
communications
○
○○○
LUXELは蒸着源RADAKを30年以上にわたり提供しています。るつぼ、ライナー、熱電対、その他のオプションを適切に選択し、組み合わせることで薄膜電池・太陽電池などさまざまな用途に対応が可能です。また、有機EL開発に最適なOLEDもラインナップされています。
高 さ
3.9’’(99.5mm)
直 径
2.25’’(57mm)
標準るつぼ
15cc alumina
内 容 量
10cc
最高温度
RADAK
1500℃
OLED
600℃
熱 電 対
RADAK
Type C or K
OLED
Type K
高 さ
2.60’’ (66mm)
直 径
1.75’’ (44.5mm)
標準るつぼ
2cc alumina
内 容 量
1cc
最高温度
RADAK
1500℃
OLED
600℃
熱 電 対
RADAK
Type C or K
OLED
Type K
さらに大きい内容量100ccのRADAK Ⅲ、1000ccのIVもございます。詳細はお問い合わせ下さい。
熱電対
Thermo Couple
Type K (Chromel-Alumel) Type C (Tungsten-Rhenium)
For applications up to 1200℃ For applications up to 1500℃
るつぼCrucible
Alumina / Quartz / Pyrolytic Boron Nitride / Organics Evap
/ Arc Coated SS / Al Evap など
ライナー liner
Tungsten / Molybdenum / Tantalumなど
コントローラ
Controller
RADAK Power Controller II / RADAK Power Controller II+
/ RADAK Power Controller IIP
RADAK Power Controller II
RADAK Power Controller II +
RADAK Power Controller IIP
RADAKパワーコントローラⅡは、手動設定及びプログラムコントロールの両方で蒸着炉を制御できる基本的なPIDコントローラです。シンプルなインタフェースで蒸着炉を一定温度に保つことが可能です。プログラムは設定温度に従ってコントロールできる様、RAMP 、DWELLで構成されていますRS 232シリアルインタフェースを介してパラメータをリモートで設定することができます。
1500℃までの温度管理が可能
内蔵型熱電対による温度モニター
不純物の混入を防止
るつぼ洗浄、材料の補充が容易
シールドによるチャンバー温度
上昇の抑制
コントロール容易な低電圧電源
均一なコーティングや蒸着材料の最大利用が可能
Vapor Shield
Crucible
Radiation
Baffle
Liner
(optional)
Cover
Thermo
couple
Base
Thermocouple
Plug
Power Boss
Mounting Boss
Larger size for greater capacity
Compact size for limited space
オプション Option
RADAKパワーコントローラⅡ+はパワーコントローラⅡのすべての特長を有し、加えて自動制御の蒸着装置への導入が容易という特長があります。４つのプログラムを格納し、いずれかを選択することができます。また、出力電力や設定温度を外部デバイスで直接調整することにより、堆積率のコントロールにも対応しています。外付けデバイスとの接続でデジタル入力と中継出力が可能です。
RADAKパワーコントローラⅡPはパワーコントローラⅡ+の上位機種で、Ⅱ+の特長に加え、出力を２つの蒸着炉に接続できるようになりました。内部スイッチによって、制御する蒸着炉の選択が可能です。片方の炉からの堆積が完了すると、コントローラは２つ目の炉の制御に切り替えられます。４つのプログラムのいずれかを、画面スイッチやリモートで選択できます。
輸入元: RAD Device ラドデバイス株式会社
�HYPERLINK "http://www.rad-dvc.co.jp"�http://www.rad-dvc.co.jp�
〒192-0046八王子市明神町2-26-4
ｱｰﾊﾞﾝﾌﾟﾗｻﾞIZUMI 7F
TEL: 042-642-0889 （FAX:-0896）
Email：�HYPERLINK "mailto:[email protected]"�[email protected]�
国内代理店: Technoport 株式会社 テクノポート
� HYPERLINK "http://www.technoport-jp.com" �http://www.technoport-jp.com�
〒111-0052東京都台東区柳橋1-6-9
TEL: (03) 5825-3559 （FAX: -3589）
Email：� HYPERLINK "mailto:[email protected]" �[email protected]�
蒸着源RADAK / OLED
電源コントローラ Power Controller
RADAK I / OLED I
RADAK II / OLED II
Mar. ‘09
� EMBED Excel.Sheet.8 ���
_1298311473.xls
Sheet1
モデルⅡⅡ+ⅡP
Eurotherm モデル #240424042404
RS 232○○○
オートチューンアルゴリズム○○○
出力チャネル数112
格納プログラム数144
プログラムセグメント数81616
プログラムリンク○○
プログラム選択用○
デジタル表示パネル
アナログ入力1 PV†1 PV, external control2 PV, external control
ソフトウェア‐入力ソースの選択○○○
‐ 熱電対タイプ○○○
‐ Custom linearization profile○○○
‐ All standard RTDs, pyrometers○○○
‐ 電圧、電流入力○○○
User calibration○○○
外部コントロール入力○○
デジタル I/O3 input3 input
中継出力2 SPST, 1 SPDT2 SPST, 1 SPDT
Control schemessimple PIDsimple PID, externalsimple PID, external
Eurotherm iTools software for○○○
configuration and instrument
communications
RAD Device ラドデバイス株式会社 http://www.rad-dvc.co.jp〒192-0046八王子市明神町2-26-4 ｱｰﾊﾞﾝﾌﾟﾗｻﾞIZUMI 7FTEL: 042-642-0889 （FAX:-0896） Email：[email protected]
Sheet2
Sheet3