用途に合わせて各種シリーズを用意 補助ポンプにロータリーポンプを採用した標準仕様と、ドライスクロールポンプを採用したドライ仕様があります。優れた停電対策 フォアバルブに電磁弁を標準装備し、停電時の逆流・故障を防止します。粗引き状況を確認可能 ピラニ真空計を標準装備し粗引き排気中の圧力の確認が可能です。UHV領域までの排気が可能 オプションのベーキングヒータを取り付けて脱ガス処理を行うことにより、UHV領域までの排気が可能です。 （※製品仕様値として）

特 長

大気圧から高真空の排気系

各種実験・研究用装置の排気系

高純度ガスの真空置換

超高真空装置の粗引き排気系

分析装置の排気系

用 途

YTP シリーズ Ver.B は、セラミック玉軸受型ターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットです。大気圧から高真空までの排気が可能です。START/STOP スイッチで自動で排気可能な SA タイプと、手動操作の M タイプをラインアップしています。また、補助ポンプは、ロータリーポンプを標準仕様とし、ドライスクロールポンプのドライ仕様も選択可能です。

ターボ分子ポンプ排気ユニット【YTP シリーズ　Ver.B】

高真空ポンプ

高真空ポンプ

YTP-300SABYTP-50MB-DRY

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当カタログの記載内容は性能向上等の目的により、予告なしに変更することがあります。

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ターボ分子ポンプ排気ユニット【YTP シリーズ　Ver.B】

外 形 寸 法 図

仕 様

*1：ベーキングはICFフランジ仕様のみ実施可能です。*2：排気速度は保護ネットなし時の値です。

単位：mmYTP-50 Ver.B（下図はDRY仕様） YTP-300 Ver.B（下図はRP仕様）

YTP-50MBYTP-50SAB

YTP-50MB-DRYYTP-50SAB-DRY

A 580 580A' 592 592B 400 450C1 430 430C2 412 412D 311 311E 65 65F 70 70G 160 160H 470 463

YTP-300MBYTP-300SAB

YTP-300MB-DRYYTP-300SAB-DRY

A 650 650A' 665 665B 450 500B' 492 542C1 440 440C2 428 428D 311 311E 65 65F 100 100G 100 100H 576 576

型式 YTP-50MBYTP-50SAB

YTP-50MB-DRYYTP-50SAB-DRY

YTP-300MBYTP-300SAB

YTP-300MB-DRYYTP-300SAB-DRY

TMP吸気口フランジICF114 ICF152VG65 VG100

ISO63-K ISO100-K

TMP到達圧力*1

ベーキング前 10-6Pa台 10-6Pa台ベーキング後 10-8Pa台 10-8Pa台

TMP排気速度（L/s）*2

N2 70 280H2 49 220

補助ポンプ排気ロフランジ G3/4 NW16 G1 NW16

補助ポンプ排気速度（L/min）50Hz 50 90 200 25060Hz 60 100 240 300

TMP背圧・粗引圧力モニタ ピラニ真空計（2.7×103 ～ 10-1Pa）フォアバルブ ロータリーポンプ自動ベント機構付電磁弁（L型電磁弁）入力電圧 単相AC100V（50/60Hz）入力ケーブル長 5m（3Pコンセント付）電源容量（kVA） 1.2 0.9 1.7 1.6定常時消費電力（kVA） 0.6 0.4 1.0質量（kg） 55 57 86 85