m-722hg/m-822hg/ m-922hg/m-832hg - riken...
TRANSCRIPT
FT-651-043-04
M-722HG/M-822HG/
M-922HG/M-832HG電離真空計
取扱説明書
5 1999 . 12 . 7
4 1999 . 8 . 25
3 1999 . 6. 29
2 1999 . 3. 16
1 1999 . 2. 10
版数 年 月 日
アネルバ株式会社
Copyright© 1991 by ANELVA Corporation
All Rights Reserved.
輸出に関する注意事項
本製品は、日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法の規定
に基づく判定が必要となりますので、弊社に必ずお問い合わせ下さい。
安全上の注意
FT-651-043 (I)
安全上のご注意
本取扱説明書は、真空計制御電源の設置、使用方法について解説しておりま
す。ご使用を行う前に必ず本取扱説明書をよくお読みの上、正しく取り扱い
下さい。お読みになった後は、いつでも見られる所に必ず保管してください。
本取扱説明書の中で特に注意していただきたい事項には、以下の警告語をつ
けています。
この警告に従わなかった場合、人が死亡または重傷を負う可能性が想定される
内容を示しています。
この注意に従わなかった場合、人が傷害を負う可能性が想定される内容、およ
び機器等の損傷に至る可能性のある状態を示します。
本真空計制御電源を正しく安全にご使用いただくために、下記安全注意事項
を必ずお守り下さい。これらの注意事項に反した取扱により生じた傷害につ
いて、アネルバ株式会社は責任と保証をいたしかねます。
重要な事前安全注意事項
M722-HG/M-822HG/M-922HG/M-832HG の上蓋を外す時は、制御電源のパワ
ースイッチをOFF し、必ずコンセントから電源ケーブルを抜いて下さい。
上蓋を完全に取り付けるまでは、電源ケーブルをコンセントに差し込まない下
さい。
本真空計の制御電源は、電源ケーブルの接地端子部、または FG 端子にて接地
して下さい。感電する可能性があります。
安全上の注意
FT-651-043 (II)
測定子ケーブルを測定子と真空計制御電源に接続してから、パワースイッチを
ON して下さい。感電する可能性があります。
測定子、外部出入力、電源等のケーブルを真空計制御電源に接続する場合は、
必ずパワースイッチをOFF にして下さい。
その他注意を促す内容や、参考となる内容の文章の左端にこのマークが付いていま
す。
保証
FT-651-043 (III)
保証
本真空計制御電源に対する保証
ご検収後 1 年間以内に、設計及び製造上の欠陥等，当社の責により発生した故障に関し
ては、無償にて修理または交換を行います。
但し、保証は取扱説明書及びその他の取扱指示に従って、正しく使用された場合にのみ
適用するものと致します。更に以下のような故障に関しては保証の適用を除外させて頂き
ます。
1) 不適当な取り扱い、使用方法及び保管方法に起因する故障
2) 当社及びアネルバフィールドサービス以外による、補修及び改造による故障の場合
3) 火災、水害、地震、落雷、その他不可抗力に起因する故障
なお、本保証に基づく当社の保証責任の範囲は、欠陥部品の修理または交換にのみ限定
するものと致します。
故障又は異常が発生した場合には，直ちにアネルバ(株)フィールドサービス(事)へ御連絡
下さい。（巻末参照）
目次
FT-651-043
目目目目次次次次
1111 MMMM----722722722722HHHHG/G/G/G/MMMM----822822822822HHHHG/G/G/G/MMMM----922922922922HHHHG/G/G/G/MMMM----832832832832HHHHGGGG概概概概要要要要とととと特特特特長長長長 ................................................................................................................................................ 1111----11111111....1111 概概概概要要要要 ........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................1111----11111111....2222 特特特特長長長長 ........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................1111----11111111....3333 仕仕仕仕様様様様 ........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................1111----2222
2222 開開開開梱梱梱梱とととと点点点点検検検検 .................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................... 2222----11112222....1111 構構構構成成成成品品品品............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................2222----11112222....2222 初初初初期期期期点点点点検検検検 ............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................2222----2222
3333 操操操操作作作作部部部部おおおおよよよよびびびび表表表表示示示示部部部部のののの説説説説明明明明 ................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................ 3333----11113333....1111 前前前前面面面面パパパパネネネネルルルル部部部部説説説説明明明明 ................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................3333----2222背背背背面面面面パパパパネネネネルルルル........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................3333----3333
4444 設設設設置置置置おおおおよよよよびびびびシシシシスススステテテテムムムムへへへへのののの接接接接続続続続 .................................................................................................................................................................................................................................................................................................................... 4444----11114444....1111 設設設設置置置置 ........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................4444----11114444....2222 電電電電源源源源おおおおよよよよびびびび接接接接地地地地 ................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................4444----22224444....3333 電電電電源源源源電電電電圧圧圧圧のののの切切切切換換換換 ................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................4444----22224444....4444 測測測測定定定定球球球球のののの取取取取付付付付けけけけ ................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................4444----22224444....5555 測測測測定定定定子子子子ののののピピピピンンンン配配配配列列列列 ................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................4444----44444444....6666 測測測測定定定定子子子子ケケケケーーーーブブブブルルルルのののの接接接接続続続続 ....................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................4444----6666
5555 外外外外部部部部制制制制御御御御.................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................... 5555----11115555....1111 外外外外部部部部制制制制御御御御ｺﾈｸﾀｺﾈｸﾀｺﾈｸﾀｺﾈｸﾀ----のののの機機機機能能能能説説説説明明明明 ................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................5555----11115555....2222 外外外外部部部部出出出出力力力力 ............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................5555----22225555....3333 外外外外部部部部入入入入力力力力（（（（前前前前面面面面パパパパネネネネルルルル REREREREMMMMOOOOTTTTEEEEモモモモーーーードドドド OOOONNNNににににししししてててておおおおききききまままますすすす。。。。）））） ....................................................................................................................................5555----33335555....4444 ＤＤＤＤ／／／／ＡＡＡＡ出出出出力力力力 ............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................5555----44445555....5555 アアアアナナナナロロロロググググ出出出出力力力力（（（（ｴﾚｸﾄﾛﾒｰﾀｴﾚｸﾄﾛﾒｰﾀｴﾚｸﾄﾛﾒｰﾀｴﾚｸﾄﾛﾒｰﾀ出出出出力力力力）））） ........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................5555----5555
6666 測測測測定定定定................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................ 6666----22226666....1111 測測測測定定定定のののの準準準準備備備備 ............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................6666----22226666....2222 測測測測定定定定 ........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................6666----2222
7777 操操操操作作作作方方方方法法法法.................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................... 7777----11117777....1111 基基基基本本本本操操操操作作作作 ............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................7777----11117777....2222 応応応応用用用用操操操操作作作作１１１１（（（（頻頻頻頻度度度度のののの少少少少なななないいいい設設設設定定定定１１１１）））） .................................................................................................................................................................................................................................................................................................................... 7777----111111117777....3333 応応応応用用用用操操操操作作作作２２２２（（（（エエエエミミミミッッッッシシシショョョョンンンン電電電電流流流流自自自自動動動動モモモモーーーードドドド／／／／固固固固定定定定モモモモーーーードドドド）））） ....................................................................................................................................................................7777----232323237777....4444 7777....4444 ＴＴＴＴＣＣＣＣオオオオププププシシシショョョョンンンン実実実実装装装装時時時時のののの操操操操作作作作................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................7777----25252525
8888 ﾚﾌｧﾚﾝｽﾚﾌｧﾚﾝｽﾚﾌｧﾚﾝｽﾚﾌｧﾚﾝｽ ................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................ 8888----11118888....1111 操操操操作作作作早早早早見見見見表表表表 ............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................8888----11118888....2222 測測測測定定定定原原原原理理理理 ............................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................8888----33338888....3333 測測測測定定定定誤誤誤誤差差差差のののの要要要要因因因因 ................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................8888----4444
9999 エエエエララララーーーーメメメメッッッッセセセセーーーージジジジ ........................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................................ 9999----1111
概要と仕様
FT-651-043 1-1
1 M-722HG/M-822HG/M-922HG/M-832HG概要と特長概要と特長概要と特長概要と特長
1.1 概要概要概要概要
M-722HG/M-822HG/M-922HG/M-832HGは、広範囲な圧力領域での測定が可能な、レンジを持ち、高速、高精度の圧力測定が可能な電離真空計です。M-722HGでは UGD-1S、M-822HGでは BRG-1B、M-922HGでは NIG-2Fまたは NIG-2TF、M-832HGではﾐﾆﾁｭｱｹﾞｰｼﾞ測定球専用の真空計です。
1.2 特長特長特長特長
l B-A ゲゲゲゲーーーージジジジ UGD-1S，，，，BRG-1B，，，，またはまたはまたはまたはヌヌヌヌーーーードドドドイイイイオオオオンンンンゲゲゲゲーーーージジジジ NIG-2F、、、、NIG-2TFをををを専専専専用用用用球球球球ととととししししてててて、、、、広広広広範範範範囲囲囲囲なななな圧圧圧圧力力力力測測測測定定定定がががが可可可可能能能能
圧圧圧圧力力力力測測測測定定定定範範範範囲囲囲囲（（（（圧圧圧圧力力力力値値値値表表表表示示示示範範範範囲囲囲囲））））
M-832HG 1.32××××101Pa～～～～0.01××××10-７７７７Pa
M-722HG 1.32××××10-1Pa～～～～0.01××××10-6Pa
M-822HG 1.32××××101Pa～～～～0.01××××10-6Pa
M-922HG 1.32××××10-1Pa～～～～0.01××××10-9Pa
l H100××××W210のののの 1/2ララララッッッッククククササササイイイイズズズズをををを採採採採用用用用ししししたたたたデデデディジタルィジタルィジタルィジタル表表表表示示示示のののの自自自自動動動動レンジレンジレンジレンジ切切切切替替替替のののの電電電電離離離離真真真真空空空空計計計計
l 広広広広範範範範囲囲囲囲なななな圧圧圧圧力力力力領領領領域域域域にににに適適適適ししししたたたたエエエエミミミミッッッッシシシションのョンのョンのョンの自自自自動動動動切切切切替替替替方方方方式式式式のののの採採採採用用用用
l 豊豊豊豊富富富富なななな外外外外部部部部入入入入出出出出力力力力（（（（フフフフィラメンィラメンィラメンィラメントトトト ON/OFF、、、、脱脱脱脱ガガガガスススス ON/OFFななななどどどど））））ににににより、より、より、より、自自自自動動動動化化化化装装装装置置置置にににに対対対対応応応応可可可可
l オオオオププププシシシションョンョンョンボボボボーーーードドドドにににによるよるよるよる機機機機能能能能拡拡拡拡張張張張がががが可可可可能能能能（（（（ココココンンンンピピピピュュュューーーータタタタイイイインタンタンタンターーーーフフフフェェェェイイイイスススス等等等等））））
l レレレレココココーーーーダダダダ出出出出力力力力（（（（仮仮仮仮数数数数、、、、指指指指数数数数、、、、複複複複合合合合））））おおおおよよよよびびびびアアアアナナナナロロロロググググ出出出出力力力力をををを標標標標準準準準装装装装備備備備
概要と仕様
FT-651-043 1-2
1.3 仕様仕様仕様仕様
型名 M-722HG M-832HG M-822HG M-922HG
適用測定子 UGD-1S MG-2MG-2F
BRG-1B NIG-２FNIG-２TF
圧力表示範囲 1.32×10-1Pa
～0.01×10-6Pa
1.32×101Pa～
0.01×10-7Pa
1.32×101Pa～
0.01×10-6Pa
1.32×10-1Pa～
0.01×10-9Pa
レンジ切換 自動（レンジホールド機能付）
圧力表示
（デジタル）
仮数部 0.00～9.99指数部-1～ -6(Pa)
仮数部 0.00～9.99指数部-1～ -7(Pa)
仮数部 0.00～9.99指数部+1～-6(Pa)
仮数部 0.00～9.99指数部-1～ -9(Pa)
400µA
4mA
10μA
100μA
1mA
40µA
400µA
4mA
400µA
4mA
ｴﾐｯｼｮﾝ電流
自動切換ﾓｰﾄﾞ（工場出荷時），固定ﾓｰﾄﾞから選択
グリッド通電方式 電子衝撃方式ガス出し
手動､自動
外部制御可能
オートデガス設定時ガス出し時間設定可（３，６，９分、連続）
表示周期 0.5sec
ﾌｨﾗﾒﾝﾄ電位 + 45V
グリッド電位 + 180V 通 常 時 ：+180V
ガ ス 出 し 時 ：+450V
ｺﾚｸﾀｰ電位 0V
ｼｰﾙﾄﾞ電極電位 0V
ﾌｨﾗﾒﾝﾄ電力: 1～10V, 6A (MAX)
DC駆動方式
0.5～6V,2A(MAX)
DC駆動方式」
1～10V, 6A (MAX)
DC駆動方式
ﾌｨﾗﾒﾝﾄ切換 リアパネル外部入力信号により制御可能
ﾌｨﾗﾒﾝﾄ保護 1.33x10-1Pa以上 1.33×101Pa以上
設定圧力：１Ｐａ 、 0.1 Ｐ ａ ､0.01Pa
1.33×101Pa以上 1.33x10-1Pa以上
概要と仕様
FT-651-043 1-3
型名 M-722HG M-832HG M-822HG M-922HG
外部入力
入力形態
ﾌｫﾄｶﾌﾟﾗ入力
DC 5V～24V
（6～12mA）
① フィラメント ON/OFF
② デガス ON/OFF
③ フィラメントインビット
④ ゲージセレクト（オプション使用時）
⑤ レンジホールド 1
⑥ レンジホールド 2
フィラメント切替
外部出力
出力形態
ﾌ ｫ ﾄ ｶ ﾌ ﾟ ﾗ出力100mA／各出力
各出力電流合計
450mA以下
① フィラメント ON/OFFステータス
② デガス ON/OFFステータス
③ リモート／ローカルステータス
④ セットポイント（2点）
⑤ フィラメント 1/2ステータス
⑥ ゲージセレクトステータス（オプション使用時）
アラーム、パワーON/OFFステータス
記録計出力 ① 仮数部出力 (0～10VDC)
② 指数部出力 (0～10VDC)
③ 複合出力 D/A出力
l リニア（0～11VDC）
l LOG（0～10VDC）
エレクトロメータ出力(0～1V)ＡＰＣﾓｰﾄﾞでは、ｍａｘ2.5V
所要電力 AC 100V ±10%､1A（M-922HGは 2A）､50/60Hz
外形寸法 H99mm x W209mm x D330mm (1/2ラックサイズ)
質量 5.4Kg
使用環境 5℃～40℃ 湿度 70％以下
開梱と点検
FT-651-043 2-1
2 開梱と点検開梱と点検開梱と点検開梱と点検
着荷後、ただちに開梱し、運搬時の外部損傷の有無、初期点検を行って下さい。
2.1 構成品構成品構成品構成品
2.1.1 M-722HG/M-822HG構構構構成成成成品品品品
M-722HG/M-822HG 本体 １台
AC入力ケーブル ３ｍ １本
予備ヒューズ （5A､15A） 各１本
外部制御用入出力コネクタ（富士通 360型 32Pin） １個
取扱説明書 FT-651-043 １部
2.1.2 M-922HG構構構構成成成成品品品品
M-922HG 本体 １台
AC入力ケーブル ３ｍ １本
予備ヒューズ （5A） １本
外部制御用入出力コネクタ（富士通 360型 32Pin） １個
取扱説明書 FT-651-043 １部
2.1.3 M-832HG構構構構成成成成品品品品
M-832HG 本体 １台
AC入力ケーブル ３ｍ １本
予備ヒューズ （３A） １本
外部制御用入出力コネクタ（富士通 360型 32Pin） １個
取扱説明書 FT-651-043 １部
開梱と点検
FT-651-043 2-2
2.2 初期点検初期点検初期点検初期点検
BAゲージ球とゲージケーブルを接続する前に、M-722HG/M-822HG/M-922HG/M-832HG本体のみにて次の初期点検を行って下さい｡
①①①① 入入入入力力力力ココココーーーードドドドをををを AC100V にににに接接接接続続続続ししししまままますすすす。。。。
②②②② パパパパワワワワーーーーススススイイイイッッッッチチチチをををを ONににににししししまままますすすす。。。。パパパパワワワワーーーーススススイイイイッッッッチチチチをををを押押押押すすすすとととと、、、、液液液液晶晶晶晶画画画画面面面面ににににソソソソフフフフトトトトウウウウェェェェアアアアののののババババーーーージジジジョョョョンンンンがががが表表表表示示示示さささされれれれたたたた後後後後機機機機種種種種名名名名がががが表表表表示示示示さささされれれれ、、、、最最最最後後後後にににに図図図図１１１１にににに示示示示すすすす B-A ゲゲゲゲーーーージジジジ計計計計測測測測画画画画面面面面がががが現現現現れれれれるるるるここここととととをををを確確確確認認認認ししししまままますすすす。。。。
図図図図１１１１ 電電電電源源源源 ON直直直直後後後後のののの B-A ゲゲゲゲーーーージジジジ計計計計測測測測画画画画面面面面
以上の動作チェックにより、初期点検は終了です。
Use AC 100 V for the vacuum gauge controller. If AC 115 V / 200 V / 230 V are tobe used, modification is necessary prior to shipping.電源は、AC100Vのみ御使用下さい。AC115V/200V/230V入力にて使用する場合は、弊社工場にて改造工事が必要となりますので注意が必要です。また入力ケーブルを電源に接続する場合は、必ずパワースイッチが OFFである事を確認して下さい。
操作部および表示部の説明
FT-651-043 3-1
3 操作部および表示部の説明操作部および表示部の説明操作部および表示部の説明操作部および表示部の説明
この章では、M-722HG/M-822HG/M-922HG/M-832HGの全面パネルの操作部および表示部についての機能説明を行います。後面パネルのコネクター類についての説明は次章にて述べますが、後面パネルへの接続および実際に操作を開始する前にこの章を通読して操作方法、表示内容等を理解してからご使用下さい。
１１１１ ７７７７
２２２２ ３３３３ ４４４４ ５５５５ ６６６６ ８８８８ ９９９９ 10００００
操作部および表示部の説明
FT-651-043 3-2
3.1 前面パネル部説明前面パネル部説明前面パネル部説明前面パネル部説明
名 称 機 能
① 表示画面 この部分は圧力表示を行う他に、データおよび機器の状態を示すさまざまなメッセージを表示します。 エラーメッセージについては、９章をご覧ください
② POWER 電源パワーON/OFFスイッチです。パワーON時の初期状態に関しては 2.2章を参考にして下さい。
③ REMOTE このスイッチの切換により、前面パネルでの操作（ローカルモード）か、外部入力による操作 （リモートモード）かの切換が出来ます。リモートモードでは外部入力による操作が可能です。なお、リモートモード時には液晶画面上部に RMTと表示されます。リモートモードでの制御方法は、5章を参照して下さい。
④ GAUGE 1/2 B-Aゲージ球 2ケをゲージセレクターオプションを用いて切換えて測定する場合に使用します。現在選択されているゲージが液晶画面左上のSENSORという表示の右横に BA1もしくは BA2と表示されます。
⑤ PROG プログラムモード設定スイッチ。
プログラムモードの設定方法については 7.1.1章を参照下さい。
⑥ SHIFT
ENTER
プログラムモードの設定等においてパラメータ入力の確定に使用します。
⑦ EMSN このスイッチを押し続けている間、圧力表示部にエミッション電流が表示されます。本真空計ではエミッション電流を自動切替えするモードと固定で使うモードがあります。機種毎の圧力範囲におけるｴﾐｯｼｮﾝ電流値との対応を表7.3章に示します。
このエミッション電流は、測定圧力領域により自動的に切り換わります。（エミッション値は ± 2%程度の変動が有ります。)
⑧ SENSOR Ｂ－Ａゲージ以外のオプションゲージを実装した場合、SENSOR ｽｲｯﾁでゲージの圧力表示を切り換えて表示させます。
⑨ このフィラメントスイッチを押す事により、フィラメントが点火し、エミッション電流が流れ、圧力測定を開始します。フィラメントのON/OFFは、”REMOTE”スイッチ ③ が OFF（即ちローカルモード）では本スイッチにより可能で、 ”REMOTE”③ が ON（リモートモード）では外部入力により可能です。
⑩ フィラメントスイッチ⑨によりフィラメントが ONになった状態で、このスイッチを押すと、ゲージ球のガス出しが可能となります。またREMOTEスイッチが ONの場合、外部入力により、ガス出しが可能で
操作部および表示部の説明
FT-651-043 3-3
名 称 機 能
す。デガス時間は AUTOデガスを選択した場合のみ 3,6.9分および連続動作に設定出来ます。（設定方法は 7.2.1章参照）
後後後後面面面面パパパパネネネネルルルルののののケケケケーーーーブブブブルルルル類類類類のののの接接接接続続続続はははは、、、、必必必必ずずずず電電電電源源源源をををを切切切切っっっっててててかかかからららら行行行行っっっってててて下下下下ささささいいいい。。。。
3.2 背面パネル背面パネル背面パネル背面パネル
操作部および表示部の説明
FT-651-043 3-4
番号.
名称 機能説明
1 入力コネクター
AC100V
電源は AC 100の計装用電源をご使用下さい。 (AC 100V 2A以上.) もし動力用の電源を使用する場合はノイズフィルターを付けるようにして下さい。
また測定球ケーブル、外部制御用ケーブルの配線とは切り離して配置して下さい。
2FUSE
SB5A
AC入力ライン保護用遅延フューズが内蔵されています。
M-722HG,M-822HG,M-922HG：５Ａ
M-832HG：３Ａ。
3 筐体用設置端子です。 (M3)
この設置は、動力用アースとは分離された計装用アース側で設置して下さい。
4
GAUGE 1/2
ゲージ切換えボックスのオプションを使用する場合に必要なコネクターで通常使用しません。外部のゲージ切換器駆動電圧として１２Ｖ出力されます。
5
ＳＧ
この設置はゲージ球が接続されているチャンバーと直接接続するためのものです。ﾁｬﾝﾊﾞｰとｺﾝﾄﾛｰﾗのｱｰｽ電位の差が大きい場合は、使用して下さい。
6
GAUGE
ゲージ用ケーブルと接続するコネクターです。
ＢＮＣコネクターが付いた同軸ケーブルと丸形コネクターが付いた５芯ケーブルを接続します。
M-722HG、M-822HG、M-922HGで使用されるゲージコネクターです。
6' M-832HGに使用されるゲージケーブルコネクターです。
7
RT
M MIG-831のフィラメント ON/OFF、デガス ON/OFF等を外部制御にて行う場合のコネクターです。
8FUSE
デガス回路用 FUSEです。Ｍ－９２２ＨＧには付いていません。
M-722HG,M-822HG（１５Ａ）、M-832HG（３Ａ）
９ ＦＡＮ 空冷用ＦＡＮです。フィラメントｏｎ時に回転します。
１０ オプションボードスロット
オプションボード用の空きスロットです。
設置およびシステムへの接続
FT-651-043 4-1
4 設置およびシステムへの接続設置およびシステムへの接続設置およびシステムへの接続設置およびシステムへの接続
この章ではコントローラー後面パネルの説明と、システムへの接続方法、および設置方法に関して説明します。外部入出力信号に関する説明も行います。
後面パネルのケーブル類の接続は、必ず電源を切ってから行って下さい。
4.1 設置 設置 設置 設置
4.1.1 外外外外径径径径寸寸寸寸法法法法とととと取取取取りりりり付付付付けけけけ
寸法単位は、ｍｍ
前面パネルの板厚３ｍｍ
4.1.2 ララララッッッッククククへへへへのののの取取取取付付付付けけけけ
巻末の添付外観図を参照してラックへ取り付けてください。対流による放熱が十分行なわれる様シャーシの上下面および側面には 10mm以上通風のための空間を確保してください。
設置およびシステムへの接続
FT-651-043 4-2
ラックに取り付けるような場合には、通風が無くなり、熱がこもりやすいので必ずラックにファンを取り付け通風するようにしてください。そして動作環境温度が 40℃を超えないよう、注意してください。
4.2 電源および接地電源および接地電源および接地電源および接地
電源は AC100Vの計装用電源をご使用ください。（AC100V 5A以上）もし動力用の電源を使用する場合には、ノイズフィルターを付けるようにしてください。（AC100V 10A程度のノイズフィルター）
接地は、動力用アースとは分離された計装用アース側で接地してください。また、ゲージケーブル、外部制御用ケーブルの配線は、電源ラインとはできるるだけ分離してください。
ｺﾝﾄﾛｰﾗののシャーシ電位と真空装置のアース電位に差が生じますと測定が、 正常に行われないことがありますのでご注意ください。
4.3 電源電圧の切換電源電圧の切換電源電圧の切換電源電圧の切換
ご購入頂きましたコントローラーの電圧を変更希望される場合は、基本的には、弊社にて別途承ります。
4.4 測定球の取付け測定球の取付け測定球の取付け測定球の取付け
① ＵＧＤ－１Ｓ及びＢＲＧ－１Ｂの取り付けには、２通りの方法があります。
（M-722HG,M-822HGの場合）
a) Φ１５アダプタで取り付ける方法：Φ１５のガラス管を適当な寸法に開放し端面を滑らかに（開放済みの場合はそのままで結構です。）し、Ｏﾘﾝｸﾞにより真空シールします。
b) ガラスアダプタで取り付ける方法：ゲージのガラスを金属のフランジに融着させたもので、メタルガスケットやＯﾘﾝｸﾞで真空シールします。
② ＮＩＧ－２Ｆの取り付けは、Φ７０のＩＣＦフランジを使用します。
設置およびシステムへの接続
FT-651-043 4-3
③③③③ ミニチュアゲージの取り付け
ミニチュアゲージの取り付け方法は、次の取り付けタイプがあります。
MW16付ミニュチュアゲージ球
954-7885 クランプ952-7806 φ15アダプター
952-7010変換フランジ
φ34 ICFフランジ付ミニュチュアゲージ球
ミニュチュアゲージ球
MW16/φ70 ICF変換フランジ
φ70 ICFフランジ付ミニュチュアゲージ球
MG-2Fミニュチュアゲージ球
設置およびシステムへの接続
FT-651-043 4-4
4.5 測定子のピン配列測定子のピン配列測定子のピン配列測定子のピン配列
①①①① ＵＵＵＵＧＧＧＧＤＤＤＤ－－－－１１１１ＳＳＳＳ及及及及びびびびＢＢＢＢＲＲＲＲＧＧＧＧ－－－－１１１１ＢＢＢＢののののピピピピンンンン配配配配列列列列
②②②② ＮＮＮＮＩＩＩＩＧＧＧＧ－－－－２２２２ＦＦＦＦののののピピピピンンンン配配配配列列列列
Φ35max
75±2
39±2
Φ70
①：COLECTOR
②：GRID
③④⑤：
FILAMENT
設置およびシステムへの接続
FT-651-043 4-5
③③③③ ミミミミニニニニチチチチュアュアュアュアゲゲゲゲーーーージジジジ（（（（ＭＭＭＭＧＧＧＧ－－－－２２２２、Ｍ、Ｍ、Ｍ、ＭＧＧＧＧ－－－－２２２２ＦＦＦＦ））））ののののピピピピンンンン配配配配列列列列
①
②
③
④ ⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
φ26
63.5(69.5)
24 (30)
38.5
φ70
φ26
φ15
①
②
③
④ ⑤
⑥
⑦
⑧
⑨
MG-2 MG-2F
キーピンキーピン
リーク溝
(φ18)注
そそそそのののの他他他他にににに、、、、ＮＮＮＮＷＷＷＷ１１１１６６６６フフフフラララランンンンジジジジ付付付付きききき、、、、ＮＮＮＮＷＷＷＷ２２２２５５５５フフフフラララランンンンジジジジ付付付付きききき、、、、ΦΦΦΦ３３３３４４４４ＩＩＩＩＣＣＣＣＦＦＦＦフフフフラララランンンンジジジジ付付付付きききき、、、、
ΦΦΦΦ７７７７００００ＩＩＩＩＣＣＣＣＦＦＦＦフフフフラララランンンンジジジジ付付付付きききき等等等等ののののタタタタイイイイププププががががあああありりりりまままますすすす。。。。
設置およびシステムへの接続
FT-651-043 4-6
4.6 測定子ケーブルの接続測定子ケーブルの接続測定子ケーブルの接続測定子ケーブルの接続
①①①① UGD-1S､､､､BRG-1B 用用用用ケケケケーーーーブブブブルルルルのののの場場場場合合合合
ケケケケーーーーブブブブルルルルのののの取取取取りりりり付付付付けけけけのののの際際際際はははは、、、、無無無無理理理理なななな力力力力がががが加加加加わわわわららららぬぬぬぬよよよようううう注注注注意意意意ししししてててて下下下下ささささいいいい。。。。
②②②② MG-2用用用用ケケケケーーーーブブブブルルルルのののの場場場場合合合合
MG-2
MG-2F
φ70 ICF フランジ
圧着端子をボルトでとも締め
アース用リード線
接続ケーブル
接続ケーブル
φ70 ICF フランジ
ゲージ球のメタル側面は、10-1Pa以上の圧力測定を精度よく行うために、必ずアース電位に落としてご使用下さい。
MIG-831真空計電源と、ゲージ球を取り付けた真空チャンバーのアースラインにおいて、測定値のフラツキの原因となりますのでループをつくらぬようにご使用下さい。
可燃ガス、有害ガス等を用いる装置では、安全面からφ15 アダプタを使用したゲージ球の取付は行わないで下さい。
設置およびシステムへの接続
FT-651-043 4-7
FG
MIG-831AC100V
AC
アースリード線
チャンバー測定子
不十分
Ｏリング
M-832HG本体は、電源ケーブルの接地端子部か、またはＦＧ端子にて接地される様にして下さい。
ゲージケーブルのアース線をチャンバーに接続しても、O リングシール等により接地が不充分の場合がありますので、接地個所が設置されているか、確認して下さい。
M-832HG
外部制御
FT-651-043 5-1
5 外部制御外部制御外部制御外部制御
前面パネルからのキー操作以外に、外部入出力用コネクターを使った外部制御が行えます。外部制御を有効にするためには、まずREMOTEキーを押して、表示画面に「REMOTE」の文字が表示されていることを確認してください。コントローラのパワースイッチをオンした時に自動的にREMOTEが設定される方法（７．２．２章を参照）もあります。以下に必要な機能に対する配線について述べます。
5.1 外部制御外部制御外部制御外部制御ｺﾈｸﾀｺﾈｸﾀｺﾈｸﾀｺﾈｸﾀ-の機能説明の機能説明の機能説明の機能説明
表 1
機 能 ピン番号 機 能
+ 12 V出力 A 1 B 1 外部電源用入力 (12 V – 24 V)
+ 12 V用 COM A 2 B 2 外部電源入力用 COM
外部電源入力用 COM A 3 B 3 外部電源入力用 COM
フィラメント ON/OFF入力 A 4 B 4 フィラメント ON/OFF ステータス出力
デガス ON/OFF 入力 A 5 B 5 デガス ON/OFF 入力 ステータス出力
フィラメントインヒビット入力 A 6 B 6 リモート／ローカルステータス出力
レンジホールド 1入力 A 7 B 7 セットポイント 1出力
レンジホールド 2入力 A 8 B 8 セットポイント 2出力
ゲージ 1/2セレクト入力 A 9 B 9 ゲージ 1/2セレクトステータス出力
A 10 B 10 アラーム出力未使用
A 11 B 11 Power ON/OFF ステータス出力
フィラメントチェンジ入力 A 12 B 12 フィラメント１／２ステータス出力
A 13 B 13 アナログ出力 ( 5.5参照)
A 14 B 14 仮数部 D/A出力 (5. 4参照)
A 15 B 15 指数部 D/A出力 (5. 4参照)
↓
アナログ GND
↓ A 16 B 16 複合 D/A出力 (5.4参照)
（注）B2,B3,A3は共通の COM（コモン）端子です。
外部制御
FT-651-043 5-2
5.2 外部出力外部出力外部出力外部出力
名称 ピン番号 説明
フィラメント ON/OFFステータス
B4 B2 フィラメントが点灯しているか否かを示す出力信号です。フィラメント ONでフォトカプラ ON。
デガス ON/OFFステータス B5 B2 ゲージ球がデガスしているか否かを示す出力信号です。デガス ONでフォトカプラ ON。
リモート／ローカルステータス B6 B2 リモート（外部入力）モードかローカル（前面パネル）モードかの状態を示す出力信号です。リモートモードにてフォトカプラ ON。
セットポイント 1 B7 B2
セットポイント 2 B8 B2
前面パネルにて設定した圧力のｾｯﾄﾎﾟｲﾝﾄ値より表示圧力が低くなると、フォトカプラがONします。詳細は、7.1.3章を参照
ゲージ 1/2セレクターステータス
B9 B2 ゲージ切換えオプションを用いる場合に、CH2に切り換わっている状態で、ﾌｫﾄｶﾌﾟﾗがONします。
アラーム B10 B2 エミッション電流が設定値から ± 50% 以上ズレが生じた原因でフィラメント OFFした時、あるいはフィラメントプロテクションが働いた場合などにフォトカプラが ONします。
パワー ON/OFFステータス B11 B2 パワースイッチの ON/OFFの状態を示し、パワーの ONでフォトカプラが ONします。
このステータスは、電源が投入され、各機能がイニシャライズされた状態で出力されます。
フィラメント１／２ステータス フィラメント２がに切り替わっている状態で出力は、ｏｎ状態になります。
使使使使用用用用例例例例
外部制御
FT-651-043 5-3
フィラメント ON/OFF状態を LEDにて表示する配線例です。フォトカプラ出力を用いているため、外部電源 (12 – 24 VDC)を使用する事で、絶縁出力が得られます。コントローラー本体から供給されている+12 V ([A 1] – [A 2]) を利用する場合、絶縁されないため、出来るだけ外部電源を用いて下さい。
5.3 外部入力外部入力外部入力外部入力（前面パネ（前面パネ（前面パネ（前面パネルルルル REMOTEモーモーモーモードドドド ONにしておきますにしておきますにしておきますにしておきます。。。。））））
名称 ピン番号 説明
フィラメント ON/OFF フィラメント ON/OFFを行います。
デガス ON/OFF デガス ON/OFFを行います。
フィラメントインヒビット 入力をｏｎにしておくとフィラメント ON操作不可。ローカルモード（前面パネル）、リモートモードともに不可とするフィラメントONを禁止するためのものです。
レンジホールド 1 ローカルモードと同じ圧力指数にてホールドするためのもので、入力ｏｎにて動作。レンジホールドは 7.1.4章参照
レンジホールド 2 レンジホールド 1より一桁低い圧力指数部にてホールドするためのもので、入力ｏｎで動作。
ゲージ 1/2セレクト ゲージセレクトオプションを用いる場合に、ゲージ球 1または 2に切換えるためのものです。*ピン間ショートにてゲージ 2セレクト ON
フィラメントチェンジ 現在のフィラメントから別のフィラメントに切り換える信号で、パルス入力で切り替える。M-822HGでは、動作は無効になります。
外部制御
FT-651-043 5-4
（B2,B3,A3は共通です。）
l 入入入入力力力力ににににｏｎのｏｎのｏｎのｏｎの信信信信号号号号をををを与与与与ええええるためるためるためるためにににには、は、は、は、次次次次のペのペのペのペーーーージジジジにににに示示示示すようなすようなすようなすような（（（（外外外外部部部部電電電電源源源源 12～～～～24Vをををを含含含含むむむむ））））接接接接続続続続がががが必必必必要要要要です。です。です。です。
使使使使用用用用例例例例
外部入力でフィラメント ONした状態でフィラメントプロテクションが動作して、フィラメントOFFになった場合、再度フィラメントONするには、一度フィラメント OFF後、再度 ON信号を入れることが必要です。
· 記記記記録録録録用用用用出出出出力力力力
D/A 出力およびアナログ出力とも絶縁出力されませんので注意して下さい。ノイズによる影響がある場合は、シールドケーブルの使用あるいは絶縁ｱﾝﾌﾟの使用を推奨します。
5.4 Ｄ／Ａ出力 Ｄ／Ａ出力 Ｄ／Ａ出力 Ｄ／Ａ出力
機能 ピン番号 説明
仮数部 Ｄ／Ａ出力 表示圧力値の仮数部を 0 – 9 VDCにてリニア出力します。. (出力インビーダンス約 300Ω)
例 1.0x10-N→1v9.9x10-N→9.9v
指数部 D/A 出力 表示圧力値の指数部を 0 – 10 VDCで表します。 (出力インビーダンス約 300Ω)
外部制御
FT-651-043 5-5
出力電出力電出力電出力電圧圧圧圧 表示表示表示表示指指指指数数数数部部部部
Volt M-722HG
M-822HG
M-922HG
M-832HG
0 １０１０１０１０－８－８－８－８ １０１０１０１０－８－８－８－８ １０１０１０１０－－－－１１１１１１１１ １０１０１０１０－８－８－８－８
1 １０１０１０１０－７－７－７－７ １０１０１０１０－７－７－７－７ １０１０１０１０－－－－１１１１００００ １０１０１０１０－７－７－７－７
2 １０１０１０１０－６－６－６－６ １０１０１０１０－６－６－６－６ １０１０１０１０－９－９－９－９ １０１０１０１０－６－６－６－６
3 １０１０１０１０－５－５－５－５ １０１０１０１０－５－５－５－５ １０１０１０１０－８－８－８－８ １０１０１０１０－５－５－５－５
4 １０１０１０１０－４－４－４－４ １０１０１０１０－４－４－４－４ １０１０１０１０－７－７－７－７ １０１０１０１０－４－４－４－４
5 １０１０１０１０－３－３－３－３ １０１０１０１０－３－３－３－３ １０１０１０１０－６－６－６－６ １０１０１０１０－３－３－３－３
6 １０１０１０１０－２－２－２－２ １０１０１０１０－２－２－２－２ １０１０１０１０－５－５－５－５ １０１０１０１０－２－２－２－２
7 １０１０１０１０－１－１－１－１ １０１０１０１０－１－１－１－１ １０１０１０１０－４－４－４－４ １０１０１０１０－１－１－１－１
8 １０１０１０１０００００ １０１０１０１０００００ １０１０１０１０－３－３－３－３ １０１０１０１０００００
9 １０１０１０１０１１１１ １０１０１０１０１１１１ １０１０１０１０－２－２－２－２ １０１０１０１０１１１１
10 １０１０１０１０２２２２ １０１０１０１０２２２２ １０１０１０１０－１－１－１－１ １０１０１０１０２２２２
複合 D/A 出力 複合出力は、次のように出力されます。(出力インビーダンス約 300Ω) 注）上記表
=
(0～11V) = (0.1～0.99) + (0～10V)
==
（複合出力）=1/10 x（仮数部出力）+（出力指数部）
ﾌｨﾗﾒﾝﾄが OFFの時は、１１Ｖ出力となります。
5.5 アナログ出力 アナログ出力 アナログ出力 アナログ出力（（（（ｴﾚｸﾄﾛﾒｰﾀｴﾚｸﾄﾛﾒｰﾀｴﾚｸﾄﾛﾒｰﾀｴﾚｸﾄﾛﾒｰﾀ出力）出力）出力）出力）
アナログ出力 エレクトロメータ出力を直接出力します。レンジホールド機能を利用することにより圧力の自動制御用出力として利用できます。(出力インビーダンス約 100Ω)(レンジホールド使用例)
10-Nにてレンジホールドを行った場合に、圧力と出力電圧は、次のような関係となります。
1×10N →0.1V10×10N →1.0V
16×10N →1.6V
最大出力電圧は、約２．５Ｖになります。
レンジホールドがｏｎ設定されている場合、モードによってレンジホールドの設定圧力のＮレンジを越えた場合、アナログ出力は、以下のようになります。
外部制御
FT-651-043 5-6
測定
FT-651-043 6-2
6 測定測定測定測定
この章では、実際の操作方法について述べます。設置および接続方法については、４章を参照してください。
6.1 測定の準備測定の準備測定の準備測定の準備
① 4章にしたがって真空計電源の設置、ﾁｬﾝﾊﾞｰへ測定球の取り付け、ケーブルの接続を行います。
ﾌｨﾗﾒﾝﾄ点灯圧力確認のため、荒引き圧力モニター用ゲージをﾁｬﾝﾊﾞｰに設置して下さい。
② チャンバー内を排気します。
6.2 測定測定測定測定
パパパパワワワワーーーーススススイイイイッッッッチチチチをををを ONししししまままますすすす。。。。表表表表示示示示部部部部にににに数数数数秒秒秒秒、、、、ププププロロロロググググララララムムムムナナナナンンンンババババーーーーをををを表表表表示示示示、、、、そそそそのののの後後後後２２２２秒秒秒秒ほほほほどどどどゲゲゲゲーーーージジジジ型型型型名名名名をををを表表表表示示示示ししししたたたた後後後後““““ＯＯＯＯＦＦＦＦＦＦＦＦ””””のののの表表表表示示示示がががが現現現現れれれれまままますすすす。。。。
圧圧圧圧力力力力がががが測測測測定定定定範範範範囲囲囲囲内内内内ににににああああるるるるここここととととをををを確確確確認認認認ししししててててかかかからららら、、、、FILAMENT ススススイイイイッッッッチチチチををををONししししてててて下下下下ささささいいいい。。。。すすすするるるるとととと表表表表示示示示部部部部にににに圧圧圧圧力力力力がががが表表表表示示示示さささされれれれまままますすすす。。。。
電離真空計の FILAMENT ｽｲｯﾁを点灯する際は、荒引き圧力を測定出来る真空計で測定ﾁｬﾝﾊﾞｰの圧力を確認して下さい。
(例例例例) 圧圧圧圧力力力力表表表表示示示示状状状状態態態態
必必必必要要要要にににに応応応応じじじじてててて測測測測定定定定球球球球ののののデデデデガガガガススススをををを行行行行っっっってててて下下下下ささささいいいい。。。。
（（（（ﾃﾃﾃﾃﾞｶﾞｽﾞｶﾞｽﾞｶﾞｽﾞｶﾞｽすすすするるるる圧圧圧圧力力力力ととととししししててててはははは１１１１００００－－－－３３３３ＰＰＰＰａａａａ以以以以下下下下でででで行行行行ううううよよよよううううににににししししてててて下下下下ささささいいいい。。。。））））
但但但但しししし、、、、ＴＴＴＴＣＣＣＣややややＣＣＣＣＭＭＭＭオオオオププププシシシショョョョンンンンがががが実実実実装さ装さ装さ装されれれれてててていいいいるるるる場場場場合合合合はははは、、、、オオオオププププシシシショョョョンンンンゲゲゲゲーーーージのジのジのジの表表表表示示示示がががが実実実実行行行行さささされれれれまままますすすす。。。。
操作方法
FT-651-043 7-1
7 操作方法操作方法操作方法操作方法
7.1 基本操作基本操作基本操作基本操作
①FILAMENT キーをオンすると表示部に圧力が表示されます。
電離真空計の他にサーモカップルゲージやキャパシタンスゲージのオプションボードを実装している場合は、②「SENSOR」キーを操作すると右図のように、オプションゲージの圧力が表示されます。
操作方法
FT-651-043 7-2
7.1.1 測測測測定定定定値値値値のののの表表表表示示示示画画画画面面面面
（（（（１１１１）））） ププププロロロロググググララララムムムムモモモモーーーードドドドににににつつつついいいいてててて（（（（簡簡簡簡単単単単ななななパパパパララララメメメメーーーータタタタのののの設設設設定定定定））））
ここでは、圧力のセットポイント、ﾌｨﾗﾒﾝﾄ切換、感度、レンジホールドの設定を行います。
以下のフローは、プログラムモードの概略です。詳細は、次頁からお読み下さい。
測定ﾓｰﾄﾞよりPROG ｷｰでﾌﾟﾛｸﾞﾗﾑﾓｰﾄﾞに移行する
PARA1 ﾌｨﾗﾒﾝﾄ1/2の切換
PARA2 ｾｯﾄﾎﾟｲﾝﾄ1,2の設定 SPBｵﾌﾟｼｮﾝ実装時は 3,4も設定
PARA3 ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞのON/OFF 設定
PARA4 比感度(ｶﾞｽ感度）と ｹﾞｰｼﾞ感度の設定
PARA6 ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞのﾚﾝｼﾞ設 定
PARA7 ﾚﾝｼﾞﾎｰﾙﾄﾞのﾓｰﾄﾞ選 択
PARA8 ﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ時のｴﾐｯｼｮ ﾝ電流選択（（（（M-922HGM-922HGM-922HGM-922HGののののみみみみ適適適適用用用用））））
操作方法
FT-651-043 7-3
（（（（２２２２））））ププププロロロロググググララララムムムムモモモモーーーードドドド画画画画面面面面表表表表示示示示（（（（詳詳詳詳細細細細））））
Ｍ－８２２ＨＧでは、フィラメント切換は、適用ゲージのフィラメントは、１本のみのため無関係となります。
操作方法
FT-651-043 7-4
7.1.2 ﾌｨﾗﾒﾝﾄﾌｨﾗﾒﾝﾄﾌｨﾗﾒﾝﾄﾌｨﾗﾒﾝﾄ切切切切換換換換
この操作は、２本のﾌｨﾗﾒﾝﾄを持った測定球を使うＭ－７２２ＨＧとＭ－９２２ＨＧに適用します。Ｍ－８２２ＨＧでは、設定は無効となります。
î キー：最初キーを操作すると現在のﾌｨﾗﾒﾝﾄから別のﾌｨﾗﾒﾝﾄへ表示が変わります。設定確定後このキーを操作するとこの設定画面の始まりに戻ります。
ENTERキー：このキーお操作することで確定させ、次の画面に移ります。
ゲージ切換によって、ＢＡ２を選択した場合は、ＢＡ１とは別にフィラメントの切換を行えます。
操作方法
FT-651-043 7-5
7.1.3 圧圧圧圧力力力力セセセセッッッットトトトポポポポイイイインンンントトトト
電離真空計のセットポイントを２点標準で持っています。各セットポイントに、セットポイントＨとセットポイントＬを設定することでヒステリシスを設定することができます。つまり、ｾｯﾄﾎﾟｲﾝﾄ信号は、設定値Ｌより圧力が低い状態でｏｎとなり、設定値Ｈより圧力が高い状態でｏｆｆとなります。
ì キー：数字の桁を移動させます。 ENTERキー：数値を確定させ、次の画面に移ります。î キー：数値を変えます。設定確定後このキーを操作するとこの設定画面の始まりに戻りま す。
オプションにセットポイントボードを実装した場合は、ＳＰ３，ＳＰ４の設定画面が出てきますｏｎ
ｏｆｆＬ
Ｈ
操作方法
FT-651-043 7-6
7.1.4 レレレレンンンンジジジジホホホホーーーールルルルドドドド
レンジホールドをｏｎにしますと、予め設定された圧力レンジとモードに従ってエミッション電流を固定し更に初段ｱﾝﾌﾟのゲインを固定させた測定を行います。
必要にに応じて、圧力レンジの設定及びモードの設定を行って下さい。
î キー：ｏｎとｏｆｆが切換わります。設定が確定後は、設定確定後このキーを操作するとこの設定 画面の始まりに戻ります。ENTERキー：このキーを操作すると設定が確定されます。
操作方法
FT-651-043 7-7
7.1.5 感感感感度度度度のののの設設設設定定定定
電離真空計の比感度（窒素ガスを基準の１とした場合の他のガス種との感度の割合を示す。）とゲージ感度（窒素ガスで校正した場合の感度。ゲージの種類により異なります。）
参参参参考考考考 B-A ゲゲゲゲーーーージジジジのののの各各各各種種種種気気気気体体体体のののの比比比比感感感感度度度度表表表表
各種ガスの比感度
ガス N2 O2 H2 CO2 CO CH4 H2O He Ar
比感度 1.0 0.85 0.44 1.4 1.04 1.5 1.0 0.2 1.2
î キー：数値を変えます。設定確定後このキーを操作するとこの設定画面の始まりに戻ります。ì キー：設定する数字の桁に移動します。ENTERキー：このキーを操作すると設定が確定されます。
比比比比感感感感度度度度デフォルト値は、１． ００
可変範囲は、０． ０１～ ９．９９
ゲゲゲゲーーーージジジジ感感感感度度度度M-722HG,M-822HGデフォルト値=１１１１００００．．．．００００可変範囲０．１～９９．９M-922HGデフォルト値=２２２２５．５．５．５．００００可変範囲０． １～９９．９M-832HGデフォルト値=６．６．６．６．００００可変範囲０．１～９９．９
操作方法
FT-651-043 7-8
7.1.6 ホホホホーーーールルルルドドドドレレレレンンンンジジジジ
レンジホールドが設定された時に、固定される圧力レンジ（指数部）を設定します。
î キー：数値を変えます。設定確定後このキーを操作するとこの設定画面の始まりに戻ります。 ENTERキー：このキーを操作すると設定が確定されます
設定範囲① M-722HG:－２～－６
(Pa)② M-822HG: ０～－５
(Pa)③ －２～－８
単位は、Ｐａ
現在設定されているレンジを表示している。
レンジホールドを外部制御で行った場合は、ここで設定したレンジの値は、ＨＯＬＤ１のパラメータとして働き、この値より１桁低い圧力レンジが、ＨＯＬＤ２のパラメータとして働きます。
操作方法
FT-651-043 7-9
7.1.7 ⑥⑥⑥⑥ ホホホホーーーールルルルドドドドモモモモーーーードドドド選選選選択択択択
レンジホールドには、ノノノノーーーーママママルルルルモモモモーーーードドドド（レンジホールドで設定した圧力レンジより圧力が高い範囲では、初段ｱﾝﾌﾟのゲイン及びエミッション電流はオートレンジとして動作します。）とＡＡＡＡＰＰＰＰＣＣＣＣモモモモーーーードドドド（レンジホールドで設定した圧力レンジより圧力が高くなっても初段ｱﾝﾌﾟのゲイン及びエミッション電流は固定状態で動作します。）の選択ができます。
î キー：数値を変えます。設定確定後このキーを操作するとこの設定画面の始まりに戻ります。 ENTERキー：このキーを操作すると設定が確定します。
・ノーマルモード：レンジホールドを設定した圧力レンジを越えた場合は、自動レンジ切り替えが働きます。
・ ＡＰＣモード：レンジホールドを設定した圧力レンジを越えた場合でも、レンジの切換は行われません。
5.1.4章にて示すように、アナログ出力を圧力制御用ﾓﾆﾀｰ信号として使う場合にこのモードを使うと便利です。
操作方法
FT-651-043 7-10
7.1.8 ボボボボンンンンババババーーーードドドドエエエエミミミミッッッッシシシショョョョンンンン設設設設定定定定
Ｍ－９９２ＨＧにのみ適用します。（他のコントローラでは、表示されません。）
ＮＩＧ－２Ｆ（ヌードイオンゲージ）のデガス（ｴﾚｸﾄﾛﾝﾎﾞﾝﾊﾞｰﾄﾞ法）する際の、エミッション 電流値を選択します。 設定値は、５，１０，２０，４０ｍＡの４段階です。
î キー：数値を変えます。設定確定後このキーを操作するとこの設定画面の始まりに戻ります。 ENTERキー：このキーを操作すると設定を確定します。
５ｍ５ｍ５ｍ５ｍＡＡＡＡ
１１１１００００ｍｍｍｍＡＡＡＡ
２２２２００００ｍｍｍｍＡＡＡＡ
４４４４００００ｍｍｍｍＡＡＡＡ
デフォルト値は、５ｍＡです。ゲージが汚れていそうな場合は、急激なガス放出を抑えるため、５ｍＡから始めることを推奨します。
ＮＩＧ－２ＴＦ使用の場合は、１０ｍＡで使用して下さい。
操作方法
FT-651-043 7-11
7.2 応用操作１応用操作１応用操作１応用操作１（頻度の少ない設定１）（頻度の少ない設定１）（頻度の少ない設定１）（頻度の少ない設定１）
ここでの操作は、比較的操作の少ない設定を行うモードです。SHIFTキーを押しながら SENSORキーを押すと新しく操作画面がでてきます。以下は、概略のフローです。
１
６
７
８
９
10
５
４
３
２
全体のフロー
操作方法
FT-651-043 7-12
7.2.1 オオオオーーーートトトトデデデデガガガガススススモモモモーーーードドドド
デガスを行う場合、オートデガス（自動的なデガス動作）させる否かを設定する画面とデガスを行った場合の時間設定を行う画面が出てきます。圧力が１．２ｘ１０－３Ｐａより低くなるとデガスが自動的に動作します。
î キー：設定を切り換えたり、数値を変えます。設定確定後このキーを操作するとこの設定 画面の始まりに戻ります。 ENTERキー：このキーを操作すると設定を確定します。
圧力 ＜ １．２ｘ１０－３Ｐａの時、オートデガスｏｎならば、自動的にデガスが実行されます。時間は、 ３分，６分，９分、連続から選択します。
操作方法
FT-651-043 7-13
7.2.2 リリリリモモモモーーーートトトト／／／／ロロロローーーーカカカカルルルルのののの設設設設定定定定
コントローラの電源が投入された時、ＬＯＣＡＬ（フロントパネル操作）かＲＥＭＯＴＥ（外部制御による操作）のどちらで立ち上げるかを決めるモードです。
î キー：設定を切り換えます。設定確定後このキーを操作するとこの設定画面の始まりに 戻ります。ENTERキー：設定を確定します。
２
操作方法
FT-651-043 7-14
7.2.3 レレレレココココーーーーダダダダーーーー信信信信号号号号出出出出力力力力タタタタイイイイププププ設設設設定定定定
レコーダー出力の信号の設定を行います。出力タイプは、LINER（複合出力）とＬＯＧ（対数）出力のタイプを選択できます。
複合出力の電圧は、Vout＝ 仮数部Ｘ０．１ ＋指数部 （指数と電圧の関係は表＊＊）
で表されます。ＬＯＧタイプには更にＬＯＧ１，ＬＯＧ２，ＬＯＧ３の３タイプがあります。
ＬＯＧ出力の電圧は、 Ｖout＝ＬＯＧ（圧力値）＋Ｎ （Ｎ＝8:LOG1、9:LOG2、10:LOG3）
で表わされ、Ｎを変えることで電圧を１voltずつシフトして出すことができます。
î キー：設定を切り換えます。設定確定後このキーを操作するとこの設定画面の始まりに 戻ります。ENTERキー：設定を確定します。
複複複複合合合合出出出出力力力力
ＬＯＧ出力Ｎ＝８
ＬＯＧ出力Ｎ＝９
ＬＯＧ出力Ｎ＝１０
３
操作方法
FT-651-043 7-15
7.2.4 圧圧圧圧力力力力表表表表示示示示仮仮仮仮数数数数部部部部のののの桁桁桁桁切切切切りりりり換換換換ええええ
圧力表示の仮数部表示の桁を２桁（＊．＊）か３桁（＊．＊＊）を選択します。
î キー：設定を切り換えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。ENTERキー：設定を確定します。
２桁表示
３桁表示
４
操作方法
FT-651-043 7-16
7.2.5～～～～7.2.10にににに記記記記すすすす操操操操作作作作説説説説明明明明はははは、、、、オオオオププププシシシショョョョンンンンボボボボーーーードドドドをををを装装装装着着着着ししししてててていいいいるるるる場場場場合合合合ののののみみみみ表表表表示示示示さささされれれれまままますすすす。。。。
7.2.5 オオオオーーーートトトトフフフフィィィィララララメメメメンンンントトトトのののの機機機機能能能能設設設設定定定定とととと連連連連動動動動ささささせせせせるるるるゲゲゲゲーーーージジジジのののの選選選選択択択択
ここでは、荒引きゲージをオプションとして実装していると、圧力に連動してＢ－Ａゲージを自動的にｏｎさせることができます。
ＴＣボードオプション（型名７２２－ＴＣ）あるいはＣＭボードオプション（７２２－ＣＭ）を選択し、連動させるゲージを設定します。
î キー：設定を切り換えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。
ENTERキー：設定を確定します。
注）ＴＣボードオプションでのオートフィラメント は、Ｍ－７２２ＨＧとＭ－９２２ＨＧは設定不可。
OFF
ON
ＴＣｵﾌﾟｼｮﾝの
ｃｈ１を表示
ｵﾌﾟｼｮﾝの２枚目を
実 装 し た 場 合 、
Ｃｈ１をＴＣ３と表
2-Ch2
1-Ch1
1-Ch2
2-Ch1
ＣＭﾎﾞｰﾄﾞ Ch1
Ch2
５
操作方法
FT-651-043 7-17
7.2.6 オオオオーーーートトトトフフフフィィィィララララメメメメンンンントトトトのののの切切切切りりりり換換換換ええええ圧圧圧圧力力力力値値値値設設設設定定定定
（１） オートフィラメント（前頁参照）のゲージとしてＴＣを選択した場合、この画面が表示されます。
Ｍ－７２２ＨＧとＭ－９２２ＨＧには、この機能はありません。表示されません。
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ENTERキー：設定を確定します。
デフォルトの値は、Ｂ－ＡがＯＮする圧力 ７Ｐａ
ｏｆｆする圧力 １０Ｐａ
設定圧力範囲
６
操作方法
FT-651-043 7-18
（２） オートフィラメントのゲージにＣＭボードオプションを選択した場合、以下のような画面が
表示されます。この機能は、Ｍ－７２２ＨＧとＭ－９２２ＨＧには、この機能はありません。
表示されません。
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ENTERキー：設定を確定します。 センサーヘッドは、フルスケールが０．１(13.3Pa)、１０(133Pa)、２(266Pa)、５(665Pa)タイプ に適用できます。
デフォルト値Ｂ－Ａが ON する圧力：７．０ Ｐａ OFFする圧力：１０Ｐａ設定圧力範囲ON側：１～８Ｐａ
６
操作方法
FT-651-043 7-19
7.2.7 ＴＴＴＴＣＣＣＣゲゲゲゲーーーージジジジののののＤＤＤＤ／／／／ＡＡＡＡ出出出出力力力力設設設設定定定定
ＴＣゲージの圧力信号をＢ－Ａと同一の端子から出力できます。ＴＣボードのチャンネルは、２枚まで実装した場合、ＴＣ１～ＴＣ４まであり、そのうちから１つを選択します。
この機能は、Ｍ－９２２ＨＧにはありません。
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ENTERキー：設定を確定します。
デフォルト値Ｂ－Ａが ON する圧力：７．０ Ｐａ OFFする圧力：１０Ｐａ設定圧力範囲ON側：１～８Ｐａ
７
操作方法
FT-651-043 7-20
7.2.8 ＴＴＴＴＣＣＣＣゲゲゲゲーーーージジジジののののＢＢＢＢＣＣＣＣＤＤＤＤ出出出出力力力力設設設設定定定定
この機能は、ＢＣＤ出力ボード（略してＢＯＢ）とＴＣボードオプションを実装している場合のＢＯＢに出力したいＴＣゲージのチャンネル（ＴＣ１～ＴＣ４）を選択します。
î キー：設定を切り換えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ENTERキー：設定を確定します。 ＴＣボードを２枚まで実装した場合は、ＴＣ１～ＴＣ４まで表示されます。
８
操作方法
FT-651-043 7-21
7.2.9 ＧＧＧＧＰＰＰＰＩＩＩＩＢＢＢＢ設設設設定定定定
ＧＰ－ＩＢオプションを実装した場合、パラメータの設定を行います。
パラメータとしては、本コントローラのアドレスとデリミッタがあります。
ＧＰ－ＩＢの通信内容については、ＧＰ－ＩＢの取扱説明書をご覧下さい。
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ì キー：設定する数字の桁に移動します。 ENTERキー：設定を確定します。
９
操作方法
FT-651-043 7-22
7.2.10 ＲＲＲＲＳＳＳＳ２２２２３３３３２２２２ＣＣＣＣ設設設設定定定定
ＲＳ－２３２Ｃボードを実装した場合、パラメータの設定を行います。
パラメータは、ボーレート，ストップビット、パリティ、ビット数、デリミッタ、「Ｆ、Ｄ」コマンドに対するメッセージ、電源ｏｎ時のメッセージからなります。
ここでは、説明を省略します。詳しくは、ＲＳ－２３２Ｃオプションの取扱説明書をご覧下さい。
操作方法
FT-651-043 7-23
7.3 応用操作２ 応用操作２ 応用操作２ 応用操作２（エミッション電流自動モード／固定モード）（エミッション電流自動モード／固定モード）（エミッション電流自動モード／固定モード）（エミッション電流自動モード／固定モード）
Ｂ－Ａゲージの圧力を表示する画面で、SHIFTキーと EMSNキーを同時に押すと、このモードの画面に変わります。
この機能を使いますと、エミッション電流を固定で使用できます。更に、自動モードでもエミッション電流を切り換える圧力のレンジをを選択できます。
フィラメントの温度を変えたくない場合やフィラメント寿命がガスから影響される場合に使用すると効果的です。
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ì キー：設定する数字の桁に移動します。 ENTERキー：設定を確定します。
Ｂ－Ａゲージ測定 ↓SHIFTｷｰ＋EMSNｷｰ
自自自自動動動動モモモモーーーードドドド／／／／
固定モード固定モード固定モード固定モード
40μA
400μA
4mA
10-6 の 設定。低圧力側の圧力レンジ
10-5に変更
10-3の設定。高圧力側
10-2に変更
固定モ ード
ｴﾐｯｼｮﾝｴﾐｯｼｮﾝｴﾐｯｼｮﾝｴﾐｯｼｮﾝ電流切換ポイント範囲電流切換ポイント範囲電流切換ポイント範囲電流切換ポイント範囲M-722HG:１ｘ１０－６≦Ｌｏ≦１ｘ１０－２ （Ｐａ）M-822HG:１ｘ１０－６≦Ｌｏ＜Ｈｉ≦１ｘ１００ （Ｐａ）M-922HG:１ｘ１０－８≦Ｌｏ≦１ｘ１０－２ （Ｐａ）M-832HG:１ｘ１０－６≦Ｌｏ＜Ｈｉ≦１ｘ１００ （Ｐ
ｴﾐｯｼｮﾝ電流値M-722HG,M-922HG：４００μA、４mAM-822HG ：４０μA,４００μA，４mAM-832HG ：１０μA,１００μA，１mA
操作方法
FT-651-043 7-247.4
圧圧圧圧力力力力（（（（ 10101010－－－－ ＮＮＮＮ））））にににに対対対対すすすするるるるｴｴｴｴﾐﾐﾐﾐｯｯｯｯｼｼｼｼｮｮｮｮﾝﾝﾝﾝ電電電電 流流流流 切切切切 換換換換ﾎﾎﾎﾎﾟ゚゚゚ｲｲｲｲﾝﾝﾝﾝﾄﾄﾄﾄとととと電電電電 流流流流 固固固固定定定定 時時時時 のののの圧圧圧圧力力力力測測測測 定定定定 範範範範囲囲囲囲
（Ｐａ） X１０－ ９ － ８ － ７ － ６ － ５ － ４ － ３ － ２ － １ － ０ ＋ １
4mA 400μA
M-722HG
←←←← →→→→
400μA 固定 時
電 流固定 時
の測 定 範囲 4mA 固定 時
4mA 400μA 40μA
M-822HG←←←← →→→→ →→→→
電 流固定 時
の測 定 範囲
4mA 400μA
M-922HG
←←←← →→→→
400μA 固定 時
電 流固定 時 4mA 固定 時
の測 定 範囲
M-832HG
電 流固定 時
の測 定 範囲
注注注注））））圧圧圧圧力力力力最最最最大大大大ﾚﾝｼﾞではﾚﾝｼﾞではﾚﾝｼﾞではﾚﾝｼﾞでは、、、、 1.31.31.31.33333××××11110000－－－－ＮＮＮＮ ままままででででがががが表表表表示示示示範範範範囲囲囲囲ととととななななるるるる。。。。
AUTO時AUTO時AUTO時
AUTO時
AUTO時
AUTO時100μA 10μA1mA
1mA 固定 時
100μA 固定 時
10μA 固定 時
←←←← ←←←← →→→→→→→→
40μA 固定 時
400μA 固定 時
4mA 固定 時
操作方法
FT-651-043 7-25
7.4 ＴＣオプション実装時の操作 ＴＣオプション実装時の操作 ＴＣオプション実装時の操作 ＴＣオプション実装時の操作
ここでは、オプションボードの中でも比較的使う機会の多いＴＣゲージオプションについて説明します。
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ì キー：設定する数字の桁に移動します。 ENTERキー：設定を確定します。
現在のＴＣは、Ch2ボードの実装が２枚なら、ＴＣ１～ＴＣ４まで表示される。
セットポイント設定
ＴＣゼロ調整の実行
ＴＣゼロ調整後の調整値の表示と数値クリア
ＴＣオートゼロ調整のＯＮ／ＯＦＦ
操作方法
FT-651-043 7-26
7.4.1 セセセセッッッットトトトポポポポイイイインンンントトトト設設設設定定定定
Ｂ－Ａの設定と同じようにＴＣのセットポイントを設定すると、オプションボードからセットポイント信号を取り出せます。
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ì キー：設定する数字の桁に移動します。 ENTERキー：設定を確定します。
操作方法
FT-651-043 7-27
7.4.2 ゼゼゼゼロロロロ調調調調整整整整のののの実実実実行行行行
ここでは、ＴＣのゼロ調整を実行します。
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ENTERキー：設定を確定します。
ＲＵＮでゼロ調整を実行します。ゼロ調整がうまくいった場合は、ＥＮＤと表示され、問題がある場合は、ＥＲＲと表示されます。この場合は、調整範囲外であることを示しています。詳しくは、ＴＣオプションの取説を参照のこと。
操作方法
FT-651-043 7-28
7.4.3 ＴＴＴＴＣＣＣＣゼゼゼゼロロロロ調調調調整整整整後後後後のののの調調調調整整整整値値値値のののの表表表表示示示示とととと数数数数値値値値ククククリリリリアアアア
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ENTERキー：設定の確定を行います。
ゼロ調整が実行された
操作方法
FT-651-043 7-29
7.4.4 オオオオーーーートトトトゼゼゼゼロロロロ調調調調整整整整ののののＯＯＯＯＮＮＮＮ／／／／ＯＯＯＯＦＦＦＦＦＦＦＦ設設設設定定定定
ここで、オートゼロをＯＮしておくと、Ｂ－Ａで圧力測定を実行すると、ゼロ調整できる圧力になった場合、設定されたＴＣのチャンネルは、自動的にゼロ調整を実行します。
î キー：数値や設定を変えます。設定確定後このキーを操作すると次の設定画面に進みます。 更に押していくとこの設定画面の始めに戻ります。 ENTERキー：設定の確定を行います。
レファレンス
FT-651-043 8-1
8 ﾚﾌｧﾚﾝｽﾚﾌｧﾚﾝｽﾚﾌｧﾚﾝｽﾚﾌｧﾚﾝｽ
8.1 操作早見表操作早見表操作早見表操作早見表
レファレンス
FT-651-043 8-2
レファレンス
FT-651-043 8-3
8.2 測定原理測定原理測定原理測定原理
B-Aゲージの構造は基本的にはコイル状のグリッドとその中心軸に置かれた細線のイオンコレクター及びグリッドの外に置かれたフィラメントの三つの電極より構成されています。これらの電極は下図に示す様な電位配置となっていてフィラメントを発した電子はグリッドに向かって加速されてグリッドのまわりを振動しながら最後にグリッドに入ります。
この間にグリッドコイルの中の気体分子のあるものは電子に衝突してイオン化され電位の谷間にあるイオンコレクタに集められます。温度が一定であれば気体分子密度は圧力に比例し、又一定の電子電流（エミッション電流）を常に与えておけばイオン化されてイオンコレクタに流れ込むイオン電流は気体分子密度に比例するのでイオン電流から圧力を知る事ができます。
Ｂ－Ａゲージによる圧力測定は次の式を基本としています。Ii = SPIe ——— (１)ただし
Ii: イオン電流Ie: エミッション電流P : 測定すべき圧力S : B-Aゲージの感度係数
0
+45V
+180V
フィラメント
イオンコレクタ
グリッド
B-A ゲゲゲゲーーーージジジジのののの各各各各電電電電極極極極電電電電位位位位
(１）式はＳ及び Ieが一定であれば Ii は Pに比例する事を示しています。感度Ｓはゲージ球の構造により又測定する気体の種類により異なりますが普通Ｎ２ガスに対する感度で表されます。ミニュチュアゲージの場合の標準感度は 0.045Pa-1ですが、ゲージ球の個々の感度にバラツキがありますのでより正確な測定を行いたい場合には弊社にて感度校正を行っておりますのでご用命ください。
レファレンス
FT-651-043 8-4
8.3 測定誤差の要因測定誤差の要因測定誤差の要因測定誤差の要因
B-Aゲージを用いて圧力測定に於いて誤差を生じる要因がいくつかあります。以下そのいくつかに関して説明します。
（1） 真空計の取り付け場所による誤差
真空内の圧力は一様でなく場所により大きく異なります。特に測定する系内が高真空になれば表面のガス放出が支配的になり、場所によるガス放出速度の差によって圧力の不均一を生じます。逆にＬＮ２トラップなどの冷却された面に向かって真空計が取り付けられれば他より低い圧力を示します。又気体の流れのある場合は真空計の導管が流れの上流を向いているか下流を向いているかで圧力指示値が大きく変わります。この様に真空内の圧力は一義的に決まらず極端な場合一桁、二桁と圧力が異なる時もあります。
（2） 測定する気体の種類による誤差
真空計の感度Ｓは測定する気体の種類により異なります。5-2項に代表的な気体に対する比感度（N2に対する感度を1.0として）を示します。測定する気体の種類が判っている場合にはMIG-831の機能により感度補正が行えます。（5-2項参照）残留圧力測定の様に何種類かの気体の混合物を測定する場合で成分比も判っていない場合には通常Ｎ２に対する感度を用いて窒素換算圧力として求めますが比感度が 1.0より大きく異なる気体成分の多い場合には測定誤差となります。
（3） B-Aゲージの感度の個体差による誤差
B-Aゲージ球の感度には個体差があります。既に(1)(2)に述べた様に、真空の圧力の絶対値を測定する事は困難な事ですから、ゲージ球毎に感度の個体差があっても同一のゲージ球を使用すれば相対的な測定には差しつかえありませんが、より正確な測定を行いたい場合には副標準電離真空計に対して校正された感度校正球をご使用ください。
（4） Ｂ－Ａゲージのガス放出による誤差
B-Aゲージは熱フィラメントを用いてありますので、電極及びケース壁面からのガス放出で見掛けの圧力が高く測定される事があります。これを避けるるためには B-Aゲージ内のガス出しを充分行う必要があります。本真空計ではグリッドの通電加熱でガス出しが行えます。特に高真空の測定では充分なガス出しを行ってください。
（5） グリッドでの表面電離イオンによる測定誤差
測定原理に述べた様にフィラメントを発した電子は途中で気体分子をイオン化し、このイオン電流が圧力として観測されるわけですが、電子がグリッドに入射する際にグリッド表面に吸着していた気体分子も同時にイオンかされてイオン電流に混入します。これは空間の気体密度に比例する量ではないので測定誤差となります。特に高真空～超高真空では区間での気体分子密度に比べ、グリッド表面に吸着している気体分子の割合が大きくなり、時には１桁以上もの圧力測定度差となって現れる事もあります。この誤差はグリッド表面の汚染が激しい程顕著で又エミッション電流が低い程大きな誤差となります。この測定誤差を避けるために MIG-831では低い圧力ほど高いエミッション電流で測定を行っていますので常にグリッド表面はきれいな状態に保たれ、表面電離イオンによる誤差の少ない測定が行えます（エミッション電流設定モードを変更した場合、高真空領域で低いエミッションになっている場合にはこの誤差が現れる事がありますので注意が必要です）。
（6） 真空計の持つ排気速度による誤差
B-Aゲージは微小ながら排気速度を持っています。他のポンプで排気している系の圧力測定にはほとんど影響がありませんが、封じ切り系の圧力測定の場合には若干影響の出る事もあります。
エラーメッセージ
FT-651-043 9-1
9 エラーメッセージ エラーメッセージ エラーメッセージ エラーメッセージ
ここでは、表示画面に出力されるエラーメッセージと内容について説明します。
メッセージ 内容
（エミッションアラーム）エミッション電流が設定値から±20％以上ずれているとEMSNの表示が点滅します。なお、計測は続行されます。
(フィラメント異常）エミッション電流が設定値から±50％以上ズレるとフィラメントはOFFとなり、FILの点滅表示が表れます。デガスはOFFとなり、圧力セットポイントリレーは全てリセットされます。（FILが表示されると、外部出力 ALAEMが動作します。）原因はフィラメントの断線またはグリット－フィラメント間のショートなどが考えられます。
(圧力異常） PRES OVER Pは、圧力が測定範囲を超えて上昇したために、フィラメントプロテクションが動作してフィラメントが OFFとなった事を示します。この状態ではデガスは OFFとなり、圧力セットポイントリレーは全てリセットされます。
(イオン電流異常） PRES OVER lは、イオン電流が規定の範囲を超えて上昇したために、フィラメントプロテクションが動作してフィラメントが OFFとなった事を示します。この状態ではデガスは OFFとなり、圧力セットポイントリレーは全てリセットされます。
（内部温度上昇異常）機器本体の内部温度が異常に高くなった場合に表示されます。また、ゲージ球のフィラメントが OFFされます。デガスは OFFとなり、圧力セットポイントリレーは全てリセットされます。
（プログラムモードエラー）
ＢＡ2のゲージを選択時にプログラムモード２へ移行した。
（注：ＢＡ２ではプログラムモード１の一部しか設定できない）
（プログラムモードエラー）
リモートモード時にパラメータ値を変更しようとした。
（注：リモートモード時には設定パラメータの変更は不可、モニタは可）
（プログラムモードエラー）
ＲＣ-232ＣまたはＧＰ-ＩＢのロックモード時に設定パラメータを変更しようとした。
（注：ロックモード時には設定パラメータの変更は不可、モニタは可）
（プログラムモードエラー）
エミッション電流のパラメータ設定が FIX時に測定圧力上限以上でレンジホールドを ONしようとした。